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DE1963740A1 - Impuls-Elektronenquelle - Google Patents

Impuls-Elektronenquelle

Info

Publication number
DE1963740A1
DE1963740A1 DE19691963740 DE1963740A DE1963740A1 DE 1963740 A1 DE1963740 A1 DE 1963740A1 DE 19691963740 DE19691963740 DE 19691963740 DE 1963740 A DE1963740 A DE 1963740A DE 1963740 A1 DE1963740 A1 DE 1963740A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cathode
electron
pulse
suction electrode
electron source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19691963740
Other languages
English (en)
Inventor
Arnulf Dipl-Phys Pro Schlueter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Original Assignee
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV filed Critical Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority to DE19691963740 priority Critical patent/DE1963740A1/de
Publication of DE1963740A1 publication Critical patent/DE1963740A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/22X-ray tubes specially designed for passing a very high current for a very short time, e.g. for flash operation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/075Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Impuls-Elektronenquelle Die voriiegende Erfindung betrifft eine Elektronenquelle für Elektronenimpulse hoher Stromstärke und kurzer Dauer, mit einer geheizten Metallkathode, die eine emissionsfähige Oberfläche hat, einer Kathodenheizvorrichtung, einer Saugelektrode und einer zwischen die Kathodenheizvorrichtung, einer 5augelektrode und einer zwischen die Kathode und die Saugelektrode geschalteten Vorspannungsquelle, die an die Saugelektrode eine bezüglich der Kathode positive Spannung liefert.
  • Die mit einer Elektronenquelle erzielbaren Elektronenströme werden im wesentlichen durch die Ausbildung der emittlerenden Kathode bestimmt. Es sind direkt geheizte und indirekt geheizte Kathoden bekannt. Letztere enthalten gewöhnlich ein Metallröhrchen mit emissionsfähiger Oberfläche, das von innen durch einen Heizfäden, Elektronenbeschuß und dgl. auf Emissions temperatur gebracht wird.
  • FUr manche Zwecke werden Elektronenquellen benötigt, die hohe Ströme (Größenordnung kA) liefern und in einem möglichst kleinen, jedoch genau vorherbestimmten Bereich emittieren. Es wird dabei häufig auch gefordert, daß der erzeugte Elektronenimpuls eine kurze Dauer hat (Größenordnung einige 10 9 Sekunden) und durch ein äußeres Steuersignal mit möglichst geringer Verz8gerung und möglichst geringer Zeitunsicherheit (Größenordnung einige nsec) auslösbar ist.
  • Mit den bekannten Elektronenquellen und Kathoden lassen sich diese Forderungen nicht alle erfüllen.
  • Durch die vorliegende Erfindung soll also eine Elektronenquelle für Elektronenimpulse hoher Stromstärke und kurzer Dauer angegeben werden, die den obigen Forderungen genügt.
  • Diese Aufgabe wird gemäß der findung bei einer Elektronenquelle der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Heizvorrichtung aus einem Impuls-Laser und einer optischen Anordnung zum Fokussieren des Laserstrahlungsimpulses auf die emissionsfähige Oberfläche besteht.
  • Bevorzugte Anwendungsgebiete der Erfindung sind Elektronenbeschleuniger, Röntgenblitzgeräte hoher Leistung für Materialdurchstrahlungen, insbesondere bei schnellen Vorgängen, Materialbearbeitung mit Elektronenströmen, punktförmige Elektronenquellen für Elektronennikroskope und dgl.
  • Die Erfindung wird im folgenden: anhand der Zeichnung näher erläutert, in der eine Elektronenquelle gemäß der Erfindung dargestellt ist.
  • Die dargestellte Elektronenquelle ist in einem Vakuumgefäß 10 angeordnet, in dem im Betrieb ein Druck von etwa 10 6 Torr oder darunter herrscht. Im Vakuumgefäß 10 befindet sich eine als Kathode dienende Metallscheite 12, die z.B. aus (gegebenenfalls thoriertem) Wolfram, Molybdän oder dgl. bestehen kann. Die Kathodensoheibe 12 wird von einem Leiterstab 14 getragen, der isoliert durch die Wand des Vakuumgfäßes 10 durchgeführt ist.
  • Vor der Kathode 12 befindet sich eine becherförmige Beschleunigungs- oder Saugelektrode 16, die von einem Durchführungsleiter 18 getragen wird und im Betrieb z.B. auf Massepotential liegen kann. Die Saugelektrode 16 hat eine Mittelöffnung 20, durch das der erzeugte Elektronenimpuls in einen Vakuumkanal 22 austreten kann, der z.B. zu einem Beschleuniger, Elektronenmikroskop oder dgl. führt.
  • Die Saugelektrode 16 weist bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel noch eine weitere Öffnung 24 auf, durch die mittels einer Linse 26 ein Laserstrahlungsbündel 28, das von einem Rubin-laser 30 geliefert wird, auf einen Punkt auf der Kathodenscheibe 12 fokussiert werden kann.
  • Im Betrieb liegt die Kathode 12 auf einer hohen negativen Spannung gegenliber der Saugelektrode 16. Durch ein Steuersignal S wird ein Laserstrahlungsimpuls 28 ausgelöst, der die Oberfläche der Kathode 12 punktförmig stark aufheizt. Der aufgeheizte Bereich hat ein entsprechend starkes Elektronenemissionsvermögen und der Elektronenimpuls setzt praktisch verzögerungsfrei mit dem Eintreffen des Laserimpulses ein.
  • Die Dauer den Elektronenimpulses ist dadurch begrenzt, daß der Laserimpuls an der Kathode gleichzeitig mit den elektronen eine expandierende Plasma- und Gaswolke auslöst. Die Expansionsgeschwindigkeit dieser Wolke ist um Größenordnungen kleiner als die Elektronengeschwindigkeit; ihre Ancunft an der Saugelektrode begrenzt jedoch die maximal mögliche Länge des Elektronenimpulses.
  • Zum Abschalten der zwischen der Kathode 12 und der Saugelektrode 16 herrschenden Saugspannung und damit zur Beendigung des Elektronenimpulses wird bei der dargestellten Elektroneneine Funkenstrecke 32 verwendet, die durch einen abgezweigten Teil 28a des Laserstrahlungsimpulses, der den Elektronenimpuls auslöst, gezündet wird. Hierzu sind ein teildurchlässiger Spiegel 34 und eine Fokussierungslinse 36 vorgesehen, durch die der abgezweigte Teil 28a des Laserimpulses durch eine Durchbrechung in der einen Funkenstreckenelektrode in den Bereich zwischen den beiden Funkenstreckenelektroden fokussiert wird, wo er das dort vorhandene Gas ionisiert und die Entladung einleitet. Die Funkenstrecke ist in Reihe mit einem Abschlußwiderstand 38 an die einen der beiden Leiter eines Laufzeit-Koaxialkabels 40 angeschlossen. Die anderen Enden der Leiter des Laufzeitkabels sind mit der Kathode 12 bzw. Saugelektrode 16 verbunden. Das Kabel dient als Spannungs- und Energiequelle für den Elektronenimpuls und wird über einen Widerstand 42 von einer nicht dargestellten Spannungsquelle, die eine Spannung von z.B.
  • 30 kV liefert, aufgeladen. Selbstverständlich kann die Beschleunigungsspannung auch durch irgendeine andere geeignete elektrische Energiequelle geliefert werden.
  • Bei Verwendung eines Rubinlasers mit etwa 2 Joule Ausgangsleistung und 5 mrad Winkeldiverganz, einer Impulsbreite von 17 nsec und einer Brennweite der Fokussierungslinse 26 von 15 cm konnten mit der dargestellten Anordnung Elektronenimpulse mit einer Stromstärke bis etwa 1 kA hergestellt werden. Die Brennfleckfläche auf der Kathode 12 betrug dabei etwa 1012 cm2.
  • Bei Verwendung größerer Laserenergien, kleinerer Winkeldivergenz und kürzerer Linsenbrennweite lassen sich die oben angegebenen Elektronenstromstärken entsprechend vergrößern.

Claims (1)

  1. Patent anspruch
    Elektronenquelle für Elektronenimpulse hoher Stromstärke und kurzer Dauer, mit einer geheizten Metallkathode, die eine emissionsfähige Oberfläche hat, einer Kathodenheizvorrichtung, einer Saugelektrode und einer zwischen die Kathode und die Saugelektrode geschalteten Vorspannungsquelle, die an die Saugelektrode eine bezüglich der Kathode positive Spannung liefert, d a d u r c h g e k e n n z e i o h n e t, daß die Heizvorrichtung aus einem Impuls-Laser (30) und einer optischen Anordnung (26) zum Poskussieren des Laserstrahlungsimpulses auf die emissionsfähige Oberfläche der Kathode (12) besteht.
    L e e r s e i t e
DE19691963740 1969-12-19 1969-12-19 Impuls-Elektronenquelle Pending DE1963740A1 (de)

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DE1963740A1 true DE1963740A1 (de) 1971-07-08

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DE (1) DE1963740A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2491257A1 (fr) * 1980-04-14 1982-04-02 Thermo Electron Corp Source d'electrons a grande densite a excitation par laser
FR2517470A1 (fr) * 1981-11-30 1983-06-03 Thermo Electron Corp Generateur d'electrons a haute densite de courant stimule par laser et son procede de fabrication
DE102006024437A1 (de) * 2006-05-24 2007-11-29 Siemens Ag Röntgenstrahler

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