DE19633293A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Justieren von wenigstens zwei zu koppelnden optischen Mikrokomponenten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Justieren von wenigstens zwei zu koppelnden optischen Mikrokomponenten, insbesondere eines Lasers und einer Faser, die jeweils einen strahlführenden Bereich haben, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine mikromechanische Justiervorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 11.

Auf dem Gebiet der Nachrichtentechnik gewinnt die optische Übertragungstechnik neben der klassischen Richtfunk- und Kupferkabeltechnik zunehmend an Bedeutung. Ein wichtiges und noch nicht in befriedigender Weise beherrschtes Tätigkeitsfeld ist dabei die Laser-Faser-Kopplung. Eine präzise Laser-Faser-Kopplung ist erforderlich, um die Lichtdämpfung beim Einkoppeln von Licht aus einem Laser in eine Faser möglichst gering zu halten. Eine Koppeltechnik ist bekannt, bei der die Faser in eine Halterung eingelegt und in einem vorgegebenen Abstand gegenüber dem Laser angeordnet wird. Die Halterung wird anschließend manuell verstellt, bis eine vertretbare Koppeldämpfung erreicht ist. Darüber hinaus sind mikromechanische Justagevorrichtungen bekannt, mit denen zu einem Bändchen zusammengefaßte Fasern gegenüber einer Laserzeile ausgerichtet werden können. Dabei werden die Fasern in parallele V-förmige Nuten, die präzise in einen Siliziumträger eingeätzt worden sind, eingelegt und darin festgeklebt. Ein Nachteil dieser mikromechanischen Justagevorrichtung besteht darin, daß die V-förmigen Nuten Durchmesserschwankungen der Fasern, die infolge der Faserbeschichtung auftreten, nicht ausgleichen können. Die Faser-Laser-Kopplungsdämpfung hängt somit erheblich von den Durchmessertoleranzen der Faserbeschichtung ab. Schwankungen im µm-Bereich sind denkbar.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung verfügbar zu machen, mit denen die Präzision bei der Justierung von optischen Mikrokomponenten gegenüber den bekannten Verfahren und Vorrichtungen deutlich verbessert werden kann.

Dieses technische Problem löst die Erfindung mit den Verfahrensschritten des Anspruchs 1 sowie den Merkmalen des Anspruchs 11.

Die mikromechanische Justiervorrichtung umfaßt eine ein- oder mehrstückig ausgebildete Halteeinrichtung zur Aufnahme der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten. Wenigstens einer optischen Mikrokomponente ist eine steuerbare Stelleinrichtung zugeordnet. Die Justierung der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten erfolgt dadurch, daß die Stelleinrichtung die zugeordnete optische Mikrokomponente unter Ansprechen auf ein bestimmtes Steuersignal bewegt. Die Stelleinrichtung kann dazu unmittelbar oder mittelbar - z. B. über die, die optische Mikrokomponente tragende Halteeinrichtung - an der jeweiligen optischen Mikrokomponente angreifen.

Um die Justierung präzise steuern zu können, weist die Halteeinrichtung wenigstens ein flexibles Stützelement auf, an dem die steuerbare Stelleinrichtung angreifen kann. Bei dem flexiblen Stützelement handelt es sich beispielsweise um ein aus Silizium oder Glas gefertigtes mikromechanisches Halteelement. Das Stützelement kann in mikrolithografischer und mikromechanischer Technik durch Trockenätzen oder durch die an sich bekannte LIGA-Abformtechnik kostengünstig hergestellt werden.

Um die optischen Mikrokomponenten in einer Ebene senkrecht zur Strahlachse ausrichten zu können, weist die Halteeinrichtung für eine oder jede Mikrokomponente drei flexible Stützelemente auf. Mit Hilfe der flexiblen Stützelemente - das sind vorzugsweise Blattfedern - ist außerdem eine Vorjustierung der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten in einem Bereich von etwa 5-10 µm möglich. Diese Vorjustierung, kann beim Herstellungsprozeß der Halteeinrichtung präzise vorgegeben werden. Dadurch können herstellungsbedingte Faserschwankungen insbesondere im Beschichtungsmaterial kompensiert werden. Die flexiblen Stützelemente können bezüglich des Umfangs der zu haltenden Mikrokomponente in einem beliebigen Winkelabstand oder jeweils um 90° zueinander versetzt angeordnet sein.

Die Präzision bei der Justierung von optischen Mikrokomponenten kann dadurch weiter erhöht werden, daß der oder jeder optischen Mikrokomponente eine steuerbare Stelleinrichtung mit mehreren Stellgliedern zugeordnet ist. Die Anzahl der Stellglieder entspricht vorzugsweise der Anzahl von flexiblen Stützelementen, die die zugeordnete optische Mikrokomponente halten. Die Stellglieder können an einer vorbestimmten Stelle an den jeweiligen flexiblen Stützelementen angreifen. Mit einer solchen Vorrichtung ist es möglich, optische Mikrokomponenten in einer Ebene senkrecht zur Strahlachse mit einer Genauigkeit von etwa 0,1 µm und weniger zu justieren.

Um einen präzise vordefinierten Abstand zwischen den zu koppelnden optischen Mikrokomponenten mit Bezug auf die Strahlachse erreichen zu können, weist die Halteeinrichtung mehrere Anschläge auf. Diese Anschläge sind vorzugsweise an den flexiblen Stützelementen selbst angebracht. Die axiale Lage der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten kann auf diese Weise mit einer Genauigkeit von etwa 1 µm festgelegt werden.

Um die Justiervorrichtung leichter handhaben und in einen Automationsprozeß einbinden zu können, sind die steuerbaren Stelleinrichtungen an einem separaten Werkzeugrahmen befestigt. Die Halteeinrichtung weist deshalb zur Aufnahme der steuerbaren Stelleinrichtungen an entsprechenden Stellen Aussparungen oder Öffnungen auf.

Zweckmäßigerweise kann die Halteeinrichtung innerhalb des Werkzeugrahmens angeordnet und während des Betriebs lösbar mit dem Werkzeugrahmen verbunden sein.

Um die einmal erreichte optimale Justierung der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten einfrieren zu können, sind in der Halteeinrichtung definierte Bereiche zum Einfüllen von härtbarem Material vorgesehen. Diese Bereiche weisen aus Sicherheitsgründen einen ausreichend großen Abstand zu den Stellgliedern auf. Sie werden vorzugsweise mit Kunststoff oder Metall ausgefüllt, so daß durch Löten, Schmelzen oder UV-Polimerisierung von niedrig schmelzenden Kunststoffen die präzise justierten optischen Mikrokomponenten ggf. zusammen mit den flexiblen Stützeinrichtungen an der Halteeinrichtung dauerhaft fixiert werden können.

Nach dem Fixieren bilden daher die Halteeinrichtung, die präzise justierten optischen Mikrokomponenten und ggf. die flexiblen Stützelemente eine feste, untrennbare Einheit.

Um beispielsweise die von einem Laser erzeugte Wärme besser abführen zu können, sind die flexiblen Stützelemente als Kühlflächen ausgebildet.

Die Halteeinrichtung selbst kann als Montageplattform ausgebildet sein, die als Modul zusammen mit den an ihr dauerhaft fixierten Mikrokomponenten in ein optisches System eingesetzt werden kann.

Dank der erfindungsgemäßen mikromechanischen Justiervorrichtung ist es möglich, alle Arbeitsschritte, wie zum Beispiel das Einlegen der optischen Mikrokomponenten in die Halterung, das Anordnen der bestückten Halteeinrichtung in dem Werkzeugrahmen und das Herausnehmen der Halteeinrichtung automatisiert durchzuführen.

Die erfindungsgemäß hergestellte, mikromechanische Justiervorrichtung kann derart erweitert werden, daß mehrere zu einem Band zusammengefaßte Fasern präzise gegenüber einer Laserzeile justiert werden können. Auch die genaue Justierung matrixartig angeordneter optischer Mikrokomponenten ist ohne weiteres realisierbar.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer Ausführungsform beispielhaft in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 in Draufsicht eine erfindungsgemäße mikromechanische Justiervorrichtung zur Laser-Faser-Kopplung,

Fig. 2 eine Seitenansicht entlang der Linie A-A der in Fig. 1 dargestellten Justiervorrichtung und

Fig. 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht entlang der Linie B-B der in Fig. 1 gezeigten Justiervorrichtung.

In Fig. 1 ist eine allgemein mit 10 bezeichnete mikromechanische Justiervorrichtung gemäß der Erfindung dargestellt. Die mikromechanische Justiervorrichtung 10 umfaßt eine Halteeinrichtung 20, in die der Endabschnitt einer Faser 30 und ein Laser 40 eingesetzt sind. Es ist auch denkbar, die Halteeinrichtung 20 wenigsten zweistückig auszubilden, wobei jeder getrennte Abschnitt eine optische Mikrokomponente trägt. Auf dem Faserende 35 und dem Laserende 45 können Mikrolinsen nach bekannten Herstellungsverfahren aufgebracht sein. Die Mikrolinsen dienen dazu, vom Laser 40 emittiertes Licht in die Stirnfläche 35 der Faser 30 einzukoppeln. Man spricht in diesem Anwendungsfall auch von Linsenkopplung. Die Halteeinrichtung 20 weist zwei im Abstand zueinander, im wesentlichen parallel verlaufende längliche Seitenwände 50 und 60 auf, die stirnseitig mit einer vorderen Wand 70 und einer rückwärtigen Wand 80 abgeschlossen sind. In der rückwärtigen Wand 80 ist eine Aussparung oder Öffnung vorgesehen, durch die der Endabschnitt der Faser 30 eingeführt werden kann. Eine entsprechende Aussparung kann auch in der vorderen Wand 70 ausgenommen sein. Sowohl an der vorderen Wand 70 als auch an der rückwärtigen Wand 80 sind jeweils drei flexible Stützelemente 90, 92 und 94 in Form von Blattfedern angeformt. Die Blattfedern 90, 92 und 94 können mit Hilfe mikrolithografischer und mikromechanischer Verfahren in Verbindung mit Trockenätzen oder der an sich bekannten LIGA-Abformtechnik kostengünstig hergestellt werden. Die Blattfedern sind derart angeordnet, daß die Blattfedern 94 als Auflagefläche und die Blattfedern 90 und 92 als seitliche Stütze für die Faser 30 bzw. den eingesetzten Laser 40 fungieren. Wenigstens die beiden seitlich angeordneten Blattfedern 90, 92 - sie verlaufen parallel zu den Seitenwänden 50 und 60 - weisen Anschlagelemente 100 und 110 auf, mit denen der Abstand zwischen der zu koppelnden Faser 30 und dem Laser 40 in Richtung der Strahlachse S präzise festlegbar ist. Der Abstand zwischen Laser 40 und Faser 30 beträgt hier etwa 20 µm. Natürlich kann auch die Auflageblattfeder 94 Anschlagelemente aufweisen. Zur stabilen Dreipunktlagerung des eingesetzten Lasers 40 und der eingeführten Faser 30 weisen die seitlichen Blattfedern 90 und 92 drei gegeneinander versetzte Abstützpunkte auf, wobei die der Faser 40 zugeordnete Blattfeder 90 und die dem Laser 40 zugeordnete Blattfeder 94 zwei Abstützpunkte 120, 122 und die der Faser 30 zugeordnete Blattfeder 94 und die dem Laser 30 zugeordnete Blattfeder 90 jeweils nur einen Abstützpunkt 124 besitzt. Obwohl die Blattfedern 90, 92 und 94 umfangsseitig in einem Winkelabstand von 90° zueinander angeordnet sind, ist jede andere Anordnung denkbar. Es können auch mehr oder weniger als drei Stützelemente verwendet werden. Beispielsweise könnte zur Halterung der Faser 30 oder des Lasers 40 jeweils nur eine Spiralfeder benutzt werden. An dieser Stelle sei angemerkt, daß die Halteeinrichtung 20 derart weitergebildet werden kann, daß mehrere Laser-Faser-Kopplungen gleichzeitig durchgeführt werden können. Dazu können die Seitenwände 50 und 60 sowie die vordere und rückwärtige Wand 70 bzw. 80 nach oben, d. h. aus der Blattebene der Fig. 1 heraus, verlängert werden, so daß mehrere Laser 40 und Fasern 30 übereinander angeordnet und mittels angeformter flexibler Stützelemente gehalten werden können. Allerdings ist auch eine Verbreiterung der vorderen 70 und rückwärtigen Wand 80 unter Ausbildung von Zwischenwänden möglich, um mehrere Laser und Fasern nebeneinander zur gemeinsamen Kopplung anordnen zu können. In Fig. 2 ist im Querschnitt noch einmal die Lage der Blattfedern 90, 94, 92 bezüglich der Seitenwände 50 und 60 und des eingesetzten Lasers 40 deutlich zu sehen.

Die mikromechanische Justiervorrichtung 10 umfaßt ferner einen Werkzeugrahmen 150. Der Werkzeugrahmen 150 weist eine Bodenplatte 140 sowie ein im wesentlichen N-förmiges Trägergestell 130 auf, das lösbar oder unlösbar an der Bodenplatte 140 befestigt ist und diese überspannt. Zwei senkrecht zur Bodenplatte 140 verlaufende Stützen 160, 165, die in Fig. 2 zu sehen sind, begrenzen das Trägergestell 130 seitlich. Die beiden Stützen 160 und 165 sind über eine Querstange 168 miteinander verbunden. An der Bodenplatte 140 sind zwei steuerbare Stellglieder 170 und 175. Das Stellglied 170 greift an einer vorbestimmten Stelle der Auflageblattfedern 94, die die Faser 30 trägt, an, wohingegen das Stellglied 175 an einer vorbestimmten Stelle der Auflageblattfeder 94, auf der der Laser 40 liegt, angreift. An der Stütze 160 sind zwei Haltearme 180, 185, die jeweils ein steuerbares Stellglied 200 bzw. 190 tragen, verschiebbar angeordnet. Auf ähnliche Weise sind zwei Haltearme 210, 215 an der gegenüberliegenden Stütze 165 verschiebbar angeordnet, die wiederum jeweils ein steuerbares Stellglied 195 bzw. 205 tragen. Unter Bezugnahme auf das in Fig. 2 dargestellte Koordinatensystem sind die Haltearme 180, 185, 210 und 215 entlang der Stützen 160 und 165 beispielsweise in der Höhe - in y-Richtung - automatisch verschiebbar. Der Hub ist dabei so zu bemessen, daß die Halteeinrichtung 20 problemlos in den Werkzeugrahmen 150 eingesetzt und wieder herausgenommen werden kann. Wie man am besten aus Fig. 2 ersehen kann, ist die Halteeinrichtung 20 innerhalb des Werkzeugrahmens 150 lösbar an diesem befestigt. Um den Werkzeugrahmen 150 gegenüber der Halteeinrichtung 20 präzise ausrichten zu können, sind Positionierstifte und damit fluchtende Positionierlöcher, Führungsnuten oder dergleichen vorgesehen.

Bei den in Fig. 2 und Fig. 3 gezeigten Stellgliedern 170, 175, 190, 195, 200 und 205 handelt es sich vorzugsweise um elektrisch ansteuerbare Piezo-Steller. Sofern es realisierbar ist, sind Stellglieder einsetzbar, die sich pneumatisch oder hydraulisch ansteuern lassen. Die steuerbaren Stellglieder 175, 190 und 195 bilden dabei eine Stelleinrichtung für den Laser 40, wohingegen die steuerbaren Stellglieder 170, 200 und 205 eine Stelleinrichtung für die Faser 30 bilden. Die Seitenwände 50 und 60 weisen Aussparungen oder Öffnungen 220-226 auf, die ein Heranführen der Piezo-Steller 190, 195, 200 und 205 an die jeweiligen Blattfedern 90 bzw. 94 während des Betriebs erlauben. Sollen mit der erfindungsgemäßen mikromechanischen Justiervorrichtung 10 gleichzeitig mehrere optische Mikrokomponenten positioniert werden, kann der Werkzeugrahmen 150 an eine modifizierte Halteeinrichtung 20, wie sie bereits weiter oben erwähnt worden ist, entsprechend angepaßt werden.

Obwohl hierin ein Werkzeugrahmen 150 mit einem im wesentlichen N-förmigen Trägergestell 130 und einer Bodenplatte 140 beschrieben ist, sind beliebige Konstruktionen einsetzbar, mit denen die erfindungsgemäße Wirkung erreicht werden kann. So ist es denkbar, eine Bodenplatte anstatt an dem Trägergestell 130 an der Halteeinrichtung 20 zu befestigen. Die seitlichen Stützen 160, 165 können dann in x-Richtung gegenüber den Seitenwänden 60 und 50 der Halteeinrichtung 20 zum Heranführen und Entfernen der Piezo-Steller verschoben werden.

Um ein Gefühl für die Abmessungen der mikromechanischen Justiervorrichtung 10 zu erhalten, seien nachfolgend einige Dimensionierungen angegeben. Der Durchmesser einer beschichteten Faser beträgt etwa 100-150 µm. Die Länge der seitlichen Blattfedern 90, 92 beträgt dementsprechend 100-300 µm.

Die in Fig. 1 mit 240 bezeichneten Bereiche kennzeichnen die Orte, an denen die Blattfedern 90, 92 und 94 einschließlich der Faser 30 bzw. des Lasers 40 nach einer präzisen Faser- Laser-Kopplung an die Halteeinrichtung 20 dauerhaft fixiert werden. Dazu können in den Seitenwänden 50, 60 Öffnungen (nicht dargestellt) vorgesehen sein, durch die ein härtbares Material einfüllbar ist. Als härtbares Material kann Kunststoff oder Metall verwendet werden, so daß durch Löten, Schmelzen oder UV-Polimerisieren von niedrig schmelzenden Kunststoffen eine dauerhafte Fixierung erreicht werden kann.

Nachfolgend wird die Funktionsweise der mikromechanischen Justiervorrichtung 10 beschrieben. Die einzelnen Arbeitsschritte können dank der besonderen Ausbildung der Justiervorrichtung 10 vollautomatisiert durchgeführt werden. Dies ist ein besonderer Vorteil der Erfindung.

Es sei deshalb angenommen, daß die erfindungsgemäße mikromechanische Justiervorrichtung 10 in einer entsprechend ausgebildeten Automationsanlage eingebunden ist. Zunächst wird eine Halteeinrichtung 20 bereitgestellt und der Endabschnitt der Faser 30 durch eine Öffnung in der rückwärtigen Wand 80 bis zum Anschlag an die Anstoßelemente 100 und 110 eingeführt. Anschließend oder gleichzeitig wird der Laser 40 in die Halteeinrichtung 20 zwischen die Blattfedern 90, 92 und 94 eingesetzt. Die mit der Faser 30 und dem Laser 40 bestückte Halteeinrichtung 20 wird nun innerhalb des Werkzeugrahmens 150 an der vorbestimmten Stelle angeordnet und lösbar daran befestigt. Die Anordnung der Blattfedern 90, 92 und 94 in der Halteeinrichtung 20 sorgt bereits für eine Vorjustierung der Faser 30 und des Laser 40 im Bereich von 5-10 µm. Zur Feinjustierung werden nunmehr die elektrisch steuerbaren Piezo-Steller 190, 195, 200 und 205 mit Hilfe der verschiebbaren Haltearme 185, 210, 180 bzw. 215 an die Blattfedern herangeführt. Die Piezo-Steller sind individuell ansteuerbar. Das Steuersignal für die Piezo-Steller kann beispielsweise aus der Intensität eines Lichtes abgeleitet werden, das vom Laser 40 emittiert und in die Faser 30 eingekoppelt wird. Darüber hinaus lassen sich auch mit Hilfe einer Streulichtmessung im Koppelbereich die erforderlichen Steuersignale für die Piezo-Steller gewinnen. Unter Ansprechen auf die Steuersignale verbiegen die Piezo-Steller die drei Blattfedern 90, 92 und 94, die sowohl die Faser als auch den Laser 40 halten derart, daß eine optimale Justierung, d. h. Laser-Faser-Kopplung erreicht wird. Mit der erfindungsgemäßen mikromechanischen Justiereinrichtung 10 kann in der x-y-Ebene eine Positionierungs-Genauigkeit von etwa 0,1 µm und geringer erreicht werden. Nachdem die Laser-Faser-Kopplung optimiert worden ist, wird durch Einlaßstellen in den Seitenwänden 50 und 60 der Halteeinrichtung 20 in die Bereiche 240 ein härtbares Material eingefüllt, mit dessen Hilfe die optimale Faser-Laser-Kopplung eingefroren wird. Dazu werden der feinjustierte Laser 40, die feinjustierte Faser 30 zusammen mit den Blattfedern 90, 92 und 94 an die Halteeinrichtung 20 dauerhaft fixiert. Nach der Fixierung der optischen Mikrokomponenten 30 und 40 an die Halteeinrichtung 20 werden die Piezo-Steller wieder zurückgezogen und die Halteeinrichtung 20 wird zusammen mit der Faser 30 und dem Laser 40 aus dem Werkzeugrahmen 150 entfernt. Die Halteeinrichtung 20, die in Form einer Montageplattform ausgebildet sein kann, steht nunmehr zur weiteren Verwendung bereit. Jetzt kann eine neue mit optischen Mikrokomponenten bestückte Halteeinrichtung 20 wieder in den Werkzeugrahmen 150 eingelegt werden und der Arbeitsvorgang zur optimalen Laser-Faser-Kopplung läuft von vorne ab.

Claims (22)

1. Verfahren zum Justieren von wenigsten zwei zu koppelnden optischen Mikrokomponenten, insbesondere eines Lasers (40) und einer Faser (30), die jeweils einen strahlführenden Bereich haben, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

• a) Einsetzen der optischen Mikrokomponenten (30, 40) in eine Halteeinrichtung (20);
• b) wenigstens einer optischen Mikrokomponente (40) wird eine steuerbare Stelleinrichtung (175, 190, 195) zugeordnet und
• c) Ansteuern der Stelleinrichtung (175, 190, 195) derart, daß eine optimale Justierung der optischen Mikrokomponenten (30, 40) durch Bewegen der, der Stelleinrichtung (175, 190, 195) zugeordneten optischen Mikrokomponente (40) erreicht wird.

2. Justierverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Signal zur Ansteuerung der Stelleinrichtung (175, 190, 195) in Schritt c) aus einer Streulichtmessung oder der Intensität des in eine optische Mikrokomponente eingekoppelten Lichtes abgeleitet wird.

3. Justierverfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt b) an jede optische Mikrokomponente (30; 40) eine Stelleinrichtung (170, 200, 205; 175, 190, 195) herangeführt wird, die jeweils wenigstens ein steuerbares Stellglied aufweisen.

4. Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in Schritt c) justierten optischen Mikrokomponenten (30, 40) zueinander fixiert werden.

5. Justierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) mehrere flexible Stützelemente (90, 92, 94) aufweist, mit denen die eingesetzten optischen Mikrokomponenten (30, 40) vorjustiert werden, und daß die in Schritt c) angesteuerten Stelleinrichtungen (170, 200, 205; 175, 190, 195) an den flexiblen Stützelementen (90, 92, 94) zur Feinjustierung der optischen Mikrokomponenten (30, 40) angreifen und daß die feinjustierten optischen Mikrokomponenten (30, 40) einschließlich der Stützelemente (90, 92, 94) an die Halteeinrichtung (20) fixiert werden.

6. Justierverfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Fixieren jede Stelleinrichtung zur Wiederverwendung entfernt wird.

7. Justierverfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Fixieren folgende Schritte umfaßt:
Einfüllen von härtbarem Material zwischen die Halteeinrichtung (20) und die justierten, optischen Mikrokomponente (30, 40) an definierten Bereichen (240) und
dauerhaftes Fixieren der optischen Mikrokomponenten (30, 40) und/oder der jeweiligen Stützelemente (90, 92, 94) an die Halteeinrichtung (20).

8. Justierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die steuerbaren Stelleinrichtungen an einem separaten Werkzeugrahmen (150) befestigt werden.

9. Justierverfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) innerhalb des Werkzeugrahmens (150) angeordnet und mit diesem lösbar verbunden wird.

10. Justierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß alle Schritte automatisiert durchgeführt werden.

11. Mikromechanische Justiervorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, mit einer Halteeinrichtung (20) zur Aufnahme der zu koppelnden optischen Mikrokomponenten (30, 40), gekennzeichnet durch wenigstens eine steuerbare Stelleinrichtung (175, 190, 195), die zur Justierung der optischen Mikrokomponenten (30, 40) die zugeordnete optische Mikrokomponente (40) bewegt.

12. Mikromechanische Justiervorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) wenigstens ein flexibles Stützelement (90, 92, 94) aufweist, an dem die steuerbare Stelleinrichtung (175, 190, 195) angreifen kann.

13. Mikromechanische Justiervorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur Halterung der oder jeder optischen Mikrokomponente (30, 40) drei flexible Stützelemente (90, 92, 94) vorgesehen sind.

14. Mikromechanische Justiervorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der oder jeder optischen Mikrokomponente (30, 40) eine steuerbare Stelleinrichtung mit jeweils drei Stellgliedern (170, 200, 205; 175, 190, 195) zugeordnet ist, die an einer vorbestimmten Stelle an den jeweiligen flexiblen Stützelementen (90, 92, 94) angreifen können.

15. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß jedes flexible Stützelement (90, 92, 94) eine Blattfeder ist.

16. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die flexiblen Stützelemente (90, 92, 94) aus Glas oder Silizium gefertigt sind.

17. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) mehrere Anschläge (100, 110) zur Festlegung des Abstandes der optischen Mikrokomponenten (30, 40) mit Bezug auf die Strahlachse (S) aufweist.

18. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die steuerbaren Stelleinrichtungen (170, 200, 205; 175, 190, 195) an einem separaten Werkzeugrahmen (150) befestigt sind und die Halteeinrichtung (20) Aussparungen (220, 222, 224, 226) zur Aufnahme der steuerbaren Stelleinrichtungen aufweist.

19. Mikromechanische Justiervorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) lösbar mit dem Werkzeugrahmen (150) verbunden ist.

20. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß in der Halteeinrichtung (20) definierte Bereiche (240) zum Einfüllen von härtbarem Material vorgesehen sind.

21. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die flexiblen Stützelemente (90, 92, 94) als Kühlfläche für die optischen Mikrokomponenten (40) ausgebildet sind.

22. Mikromechanische Justiervorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung (20) als Montageplattform zur weiteren Montage ausgebildet ist.