DE19617488C2 - Kontaktelement für lösbare elektrische Verbindungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Kontaktelement für lös­ bare elektrische Verbindungen, insbesondere zur Prüfung von Bauteilen der Mikroelektronik.

Lösbare elektrische Verbindungen sind bekannt. Diese werden unter anderem bei der Prüfung von Bau­ teilen der Mikroelektronik benötigt. So werden bei­ spielsweise mittels federnder Kontaktnadeln Leiter­ bahnen von Leiterplatten oder Pads auf Wafern kon­ taktiert und geprüft. Aufgrund der Lösbarkeit der elektrischen Verbindungen stellt die Zuverlässig­ keit des Prüfvorgangs häufig ein Problem dar. Eine vergleichsweise geringe Zuverlässigkeit der elek­ trischen Prüfung kann nämlich dazu führen, daß ein­ wandfreie elektrische oder elektronische Bauteile als defekt eingestuft und verworfen werden. Lösbare elektrische Verbindungen müssen daher neben einer guten elektrischen Leitfähigkeit und einem über die Lebensdauer des Kontaktelementes gleichmäßigen Kon­ taktwiderstand auch ausgezeichnete elastische Ei­ genschaften aufweisen, um eine zuverlässige Kontak­ tierung zu ermöglichen.

Kontaktelemente werden daher sehr häufig aus Wolf­ ram oder einer Wolfram-enthaltenden Legierung her­ gestellt. So beschreibt die DE 90 16 992 U1 einen Federkontaktstift, der ein kolbenartiges Kontaktelement aufweist. Der Schaft des Kontaktelements besteht aus einem Material mit einem hohen Elasti­ zitätsmodul, zum Beispiel aus Stahl, Wolfram oder Molybdän, wobei Wolfram oder Wolfram-enthaltende Legierungswerkstoffe bevorzugt sind.

Trotz seines hohen Elastizitätsmoduls weist Wolfram einige unerwünschte Eigenschaften auf. So überzieht sich Wolfram aufgrund seiner hohen Affinität zu Sauerstoff an Luft rasch mit einer unerwünschten isolierenden Oxidschicht. Zudem werden Kontaktele­ mente aus reinem Wolfram beispielsweise beim Testen von Wafern mit einer Fremdschicht überzogen, die den Kontaktwiderstand erheblich erhöht.

Um die Oxidation von Wolfram zu verhindern und da­ mit den Kontaktwiderstand niedrig zu halten, be­ steht die Möglichkeit, das Wolfram-haltige Kontakt­ element zumindest teilweise mit einem metallhalti­ gen Überzug zu versehen.

Das US-Patent Nr. 5,266,895 beschreibt ein Kontakt­ element, das aus Wolfram, aber auch aus Kupfer-Be­ ryllium bestehen kann. Das Kontaktelement ist mit einer Kontaktierspitze versehen, die die elektri­ sche Verbindung herstellt. Die Kontaktierspitze be­ steht aus einer aufgetragenen Schicht, die 74-76 Gew.-% Au, 24-26 Gew.-% Cu und geringfügige Ver­ unreinigungen aus Ag, Ni, Fe, C, O etc. umfasst. Da Au-Schichten für ihre geringe Abriebfestigkeit be­ kannt sind und der Kontaktwiderstand nach kurzer Zeit wieder stark zunimmt, sollen die Verunreini­ gungen in dieser Schicht die Abriebfestigkeit erhö­ hen und für einen niedrigen stabilen Kontaktwider­ stand sorgen.

Die DE 37 15 171 A1 beschreibt einen Federkontakt­ stift für Prüfvorrichtungen zum Prüfen von elektri­ schen Prüflingen. Der Federkontaktstift weist einen Zylinder auf, in dem der Kolben eines federbela­ steten Kontaktelements gleitbar gelagert ist. Der Zylinder besteht aus beschichtetem oder unbe­ schichtetem Stahl, Bronze, Messing oder Kupfer-Be­ ryllium, wobei im Falle der Beschichtung der Lauf­ bahn des Zylinders die Beschichtung aus galvanisch oder chemisch aufgebrachtem Nickel oder Hartnickel oder aus Edelmetall oder einer Edelmetallegierung oder aus einer Schicht aus Nickel oder Hartnickel und einer auf sie aufgebrachten Schicht aus Edelme­ tall, wie Silber, Gold oder Palladium, oder einer Edelmetallegierung bestehen kann. Die Druckschrift betrifft also die Ausgestaltung eines Kolbens oder Zylinders bezüglich der inneren Gleitfläche, nicht jedoch die des Kontaktelements selbst bezüglich der den Prüfling kontaktierenden Kontaktfläche. Die An­ forderungen, die an die Beschichtung eines Kontakt­ elements, insbesondere im Hinblick auf Elastizität, die elektrische Leitfähigkeit etc., gestellt wer­ den, sind jedoch andere als die Anforderungen, die an die Beschichtung eines Zylinders gestellt wer­ den. Die für einen Kolben beziehungsweise einen Zy­ linder geltenden Erkenntnisse lassen sich daher nicht ohne weiteres auf das Kontaktelement übertra­ gen.

Das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende technische Problem liegt also darin, Kontaktelemente bereitzustellen, die die hervorragenden ela­ stischen Eigenschaften von Wolfram beziehungsweise verbesserte elastische Eigenschaften aufweisen und gleichzeitig einen geringen und während der Ge­ brauchsdauer des Kontaktelementes konstanten Kon­ taktwiderstand sowie hohe elektrische Leitfähigkeit aufweisen und somit die im Stand der Technik be­ kannten Nachteile überwinden.

Die Erfindung sieht demgemäß insbesondere vor, ein Kontaktelement, insbesondere zur Herstellung einer lösbaren elektrischen Verbindung, bereitzustellen, das einen Grundkörper aus Wolfram oder einer Wolf­ ram-Legierung umfasst, wobei der Grundkörper des Kontaktelementes zumindest teilweise mit einer nickelhaltigen Grundschicht und einer diese über­ deckenden kupfer-, silber- oder goldhaltigen Kon­ taktschicht versehen ist, wobei das Kontaktelement dadurch gekennzeichnet ist, daß die Grundschicht aus einer auf dem Grundkörper galvanisch aufge­ brachten nickelhaltigen Basisschicht und einer diese überdeckenden, chemisch aufgebrachten nickel­ haltigen Deckschicht aufgebaut ist. Erfindungsgemäß ist also vorgesehen, den Grundkörper aus Wolfram oder einer Wolfram-Legierung herzustellen. Wolfram weist ein besonders hohes Elastizitätsmodul und eine hohe Elastizitätsgrenze auf, so daß sich ein hohes Energiespeichervermögen und damit ein ausge­ zeichnetes Federungsvermögen ergibt. Die Federkraft und die Bruchsicherheit eines derartiges Kontakt­ elementes sind somit in vorteilhafterweise hoch. Zudem erhöht sich aufgrund der Anisotropie der ela­ stischen Eigenschaften des kubisch-raumzentrierten Gitters des Wolframkristalls bei der Verarbeitung zu Draht die Steifigkeit des Grundkörpers, da die Kristallite im federnden Bauteil entsprechend aus­ gerichtet werden.

Die Erfindung sieht in einer weiteren Ausführungs­ form auch vor, den Grundkörper aus einer Wolfram- Legierung herzustellen, wobei vorzugsweise minde­ stens 50 Gewichtsprozent Wolfram in der Legierung vorhanden ist. Bei der Auswahl der Legierungsbestandteile und deren Mengenverhältnissen ist unter anderem ausschlaggebend, daß die vorteilhaften fe­ dernden Eigenschaften des Wolframs auch in Form seiner Legierung möglichst erhalten bleiben.

Die Erfindung sieht in vorteilhafter Weise vor, den Grundkörper zumindest teilweise mit einer Grund­ schicht zu überdecken, die aus Nickel besteht oder dieses enthält. Erfindungsgemäß sind Kontaktele­ mente vorgesehen, deren nickelhaltige Grundschicht eine unmittelbar auf dem Grundkörper aufgetragene galvanisch aufgebrachte Nickelschicht (Basis­ schicht) sowie eine diese überdeckende weitere Schicht aus chemisch aufgebrachtem Nickel (Deck­ schicht) umfaßt. In vorteilhafter Weise weist die chemisch aufgebrachte Nickeldeckschicht eine Dicke von 1 µm bis 2 µm auf. Die Nickeldeckschicht zeich­ net sich durch eine hohe Härte von über 550 HV (Vickershärte) aus und ist besonders abriebfest. Das chemisch erfolgende Auftragen dieser Schicht hat den Vorteil, daß auch im Fall von sehr kleinen Spitzenradien der Kontaktelemente eine gleichmäßige Dicke erreicht werden kann.

Im Zusammenhang der vorliegenden Erfindung wird un­ ter galvanischem Aufbringen ein Aufbringen einer metallischen Schicht auf elektrochemischen Weg ver­ standen. Unter chemischen Aufbringen wird ein Auf­ bringen einer metallischen Schicht auf rein chemi­ schen beziehungsweise physikalischen Weg, bei­ spielsweise durch Behandlung mit Metallsalzlösungen und Reduktionsmitteln, Vakuummetallisieren, Plat­ tieren, Aufdiffundieren, Aufspritzen oder Überzie­ hen mit schmelzflüssigen Metallen verstanden.

Beispielsweise kann die Nickelschicht zusätzlich Bor oder Phosphor enthalten. Vorzugsweise enthält die Grundschicht mindestens 50 Gewichtsprozent Nickel, besonders bevorzugt mindestens 90 Gewichts­ prozent Nickel. Die Grundschicht bedeckt die Ober­ fläche des Grundkörpers, insbesondere in dem Be­ reich, in dem eine Kontaktierung mit dem Prüfling erfolgt. Selbstverständlich kann jedoch auch der gesamte Grundkörper mit der nickelhaltigen Grund­ schicht überzogen sein. Die Erfindung sieht ferner vor, daß die nickelhaltige Grundschicht mit einer Kontaktschicht überzogen ist, die Kupfer, Gold oder Silber enthält oder aus diesen besteht. Neben den genannten Elementen kann die Kontaktschicht auch Nickel, Phosphor, Bor, Wasserstoff oder ähnliche enthalten, wobei vorzugsweise mindestens 50 Ge­ wichtsprozent Kupfer, Gold oder Silber, besonders bevorzugt mindestens 90 Gewichtsprozent Kupfer, Silber oder Gold in der Kontaktschicht enthalten sind. Die erfindungsgemäßen Kontaktelemente weisen einen niedrigen Kontaktwiderstand auf, der auch bei längerem Gebrauch konstant bleibt. Die erfindungs­ gemäßen Kontaktelemente weisen zudem aufgrund des wolframhaltigen Grundkörpers dessen hervorragende elastische Eigenschaften auf, sind jedoch in über­ raschender und vorteilhafter Weise gegenüber Verschmutzungen und/oder Oxidation unanfällig. Wolfram selbst überzieht sich aufgrund seiner hohen Affinität zu Sauerstoff an Luft rasch mit einer unerwünscht isolierenden Oxidschicht. Zu­ dem werden Kontaktelemente aus reinem Wolfram bei­ spielsweise beim Testen von Wafern, insbesondere beim Kontaktieren von Aluminium-Pads, schnell mit einer festhaftenden Fremdschicht überzogen, die teilweise aus Aluminiumoxid besteht und den Kon­ taktwiderstand erheblich erhöht. Außerdem kann Wolfram Poren enthalten, die ebenfalls zur Aufnahme von Fremdmaterial führen, so daß sich auch hier ein unerwünscht erhöhter Kontaktwiderstand ergeben kann. All diese Nachteile werden durch den Überzug eines Grundkörpers aus Wolfram mit einer nickelhal­ tigen Grundschicht und einer diese überdeckenden Kontaktschicht überwunden. Die Nickelschicht wirkt dabei als Diffusionssperre, beispielsweise für die Gold- oder Silberatome.

In vorteilhafter Weise bleiben die guten Kontaktei­ genschaften der erfindungsgemäßen Kontaktelemente auch erhalten, wenn nach einer längeren Gebrauchs­ dauer die unmittelbar nach dem Aufbringen der Kon­ taktschicht entstandene Gold-, Silber- oder Kupfer­ färbung nicht mehr sichtbar ist. Die Diffusion der Gold-, Silber- oder Kupferatome in das Gitter der Nickelschicht beeinträchtigt die Wirksamkeit der Gold-, Silber- oder Kupferatome kaum.

Die Erfindung betrifft auch einen Federkontaktstift für Prüfvorrichtungen zum Prüfen von elektrischen, insbesondere elektronischen Prüflingen, wie Leiter­ platten oder dergleichen, wobei der Federkontakt­ stift ein Zylinderglied aufweist, in dessen Zylin­ der der Kolben eines federbelasteten Kontaktbolzens gleitbar gelagert ist, und wobei der Kontaktbolzen ein erfindungsgemäßes Kontaktelement ist oder die­ ses enthält. Die erfindungsgemäßen Federkontakt­ stifte weisen aufgrund der verwendeten Kontaktele­ mente ausgezeichnete elastische Eigenschaften, hohe Steifigkeit, geringe Kontaktwiderstände und gute elektrische Leitfähigkeit auf. Die Erfindung be­ trifft auch Prüfkarten zur Prüfung von Chips auf Wafern, die Halterungen mit daran befestigten er­ findungsgemäßen Kontaktelementen aufweisen. Ferner betrifft die Erfindung Nadelträger, die beispiels­ weise mittels Lötverbindungen befestigte erfin­ dungsgemäße Kontaktelemente aufweisen.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Her­ stellung der erfindungsgemäßen Kontaktelemente, wo­ bei zunächst eine gegebenenfalls auf dem Grundkör­ per aus Wolfram oder einer Wolframlegierung beste­ hende Oxidschicht entfernt wird, eine Nickelgrund­ schicht und anschließend eine gold-, silber- oder kupferhaltige Kontaktschicht aufgebracht wird. In besonders vorteilhafter Weise wird auf den Grund­ körper zunächst eine Nickelschicht galvanisch abge­ schieden und anschließend eine weitere Schicht aus Nickel chemisch aufgebracht. Auf die so aufge­ brachte Nickeldeckschicht wird die Kontaktschicht aus Gold, Silber, Kupfer oder deren Legierungen chemisch oder galvanisch aufgebracht. In besonders vorteilhafter Weise sieht die Erfindung vor, das Kontaktelement nach dem Aufbringen der Nickeldeck­ schicht einer Wärmebehandlung zu unterziehen, wobei diese vorzugsweise im Hochvakuum durchgeführt wird. In besonders bevorzugter Weise findet die Wärmebe­ handlung bei einer Temperatur von 400° bis 600° Celsius über eine Zeit von 30 Minuten bis 120 Minu­ ten statt.

Die Erfindung wird anhand der folgenden Ausfüh­ rungsbeispiele und Figuren näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine erfindungsgemäße Kontaktnadel,

Fig. 2A einen stark vergrößerten Ausschnitt des Kontaktelements nach Fig. 1 und Fig. 5,

Fig. 2B einen stark vergrößerten Ausschnitt einer anderen Ausführungsform des Kontaktele­ mentes nach Fig. 1 und Fig. 5,

Fig. 3 einen Ausschnitt einer Anordnung von Kon­ taktnadeln auf einer Prüfkarte zur Wafer­ prüfung,

Fig. 4 eine Kontaktnadel nach Fig. 1, aufgelö­ tet auf einen Nadelträger,

Fig. 5 einen Federkontaktstift mit erfindungsge­ mäßen Kontaktelement.

Die Fig. 1 stellt ein erfindungsgemäßes als Kon­ taktnadel 1 ausgeführtes Kontaktelement 20 dar, wie sie beispielsweise auf einer Prüfkarte zur Prüfung von Chips auf Wafern verwendet wird. Der Kreis zeigt den Ausschnitt der Fig. 2A und 2B an. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, wird in diesem Fall eine Anzahl von erfindungsgemäßen Nadeln 1 in Kunstharz 2 eingebettet derart, daß die Nadelspitzen 3 die Pads auf dem zu prüfenden Chip treffen. Der Kunst­ harzkörper, meist als Ring oder Oval ausgebildet, wird von einer Prüfkarte 4 getragen, die einzelne den Nadeln entsprechende Leiterbahnen 5 aufweist.

Auf diesen werden die rückwärtigen Enden 6 der Na­ deln elektrisch leitend befestigt.

An Stelle eines Kunststoffrings 2, wie in Fig. 3 dargestellt, können die Nadeln auch nach Fig. 4 auf speziellen Haltern aus Metall befestigt werden, die ihrerseits wieder auf einer Prüfkarte aufge­ bracht werden. Die Fig. 4 zeigt einen Nadelträger 7, auf welchem die Nadel 1 mittels einer Lötverbin­ dung 9 elektrisch leitend befestigt ist.

Ferner kann ein erfindungsgemäßes Kontaktelement 20 auch als Kontaktkolben 10 in Federkontaktstiften 8 Verwendung finden, wie in Fig. 5 dargestellt ist: Der erfindungsgemäße Kontaktkolben 10 wird von ei­ nem Mantelrohr 11 (Zylinderglied) axial beweglich geführt. Eine Druckfeder 12, die sich auf das Man­ telrohr 11 und auf ein auf dem Kolben 10 zum Bei­ spiel durch Preßsitz festsitzendes Begrenzungsstück 13 abstützt, liefert die zur Ankontaktierung not­ wendige Kontaktkraft. Die Bewegung des Kolbens 10 wird durch ein das rückwärtige Ende des Zylinders bildendes, dort festsitzendes Rohrstück 14 be­ grenzt, welches auch zur Befestigung eines An­ schlußdrahtes dient. In dem zuletzt beschriebenen Fall kommt der Steifigkeit des Kontaktelements 20 große Bedeutung zu, da insbesondere bei der Ankon­ taktierung von Lötstellen auf bestückten Leiter­ platten unter Umständen beträchtliche Querkräfte auftreten können.

Die Fig. 2A stellt in vergrößerter, schematischer Darstellungsweise den Aufbau des Kontaktelementes 20 dar. Das Kontaktelement 20 weist einen vorzugs­ weise einstückigen Grundkörper 24 aus Wolfram oder einer Wolfram-Legierung auf. Dem erfindungsgemäßen Kontaktelement 20 wird dadurch ein hohes Energie­ speichervermögen und Federungsvermögen verliehen. Der Grundkörper 24 ist mit einer nickelhaltigen Grundschicht 26 versehen. Diese Schicht weist vor­ zugsweise eine Dicke von 1 µm bis 5 µm, besonders bevorzugt 1,5 µm bis 3 µm auf. Die Grundschicht 26 ist von einer Kontaktschicht 28 aus Gold, Silber, Kupfer oder einer Legierung dieser Metalle, bei­ spielsweise mit Nickel, überzogen. Die Kontakt­ schicht 28 weist vorteilhafterweise eine Dicke von < 1 µm, vorzugsweise von 0,1 µm bis 0,3 µm auf.

Die Fig. 2B verdeutlicht eine Variante des in den Fig. 1 und 5 dargestellten Kontaktelementes 20, das einen anderen Aufbau als in Fig. 2A aufweist. Der Wolfram-Grundkörper 24 ist mit einer nickelhal­ tigen Grundschicht 26 überzogen, die aus einer nic­ kelhaltigen Basisschicht 32 und einer nic­ kelhaltigen Deckschicht 30 besteht. Die Basis­ schicht 32 überzieht unmittelbar den Grundkörper 24 und ist galvanisch abgeschieden. Auf der Basis­ schicht 32 befindet sich die Deckschicht 30, die aus chemisch aufgebrachtem Nickel besteht und bei­ spielsweise eine Dicke von 1 µm bis 2 µm aufweist. Die Deckschicht 30 zeichnet sich durch eine hohe Härte von über 550 HV aus und ist besonders abrieb­ fest. Da sie nicht galvanisch, sondern chemisch aufgebracht ist, weist sie den Vorteil auf, daß auch sehr kleine Spitzenradien von Kontaktelementen mit Schichten gleichmäßiger Dicke versehen werden können. Über der Deckschicht 30 befindet sich die Kontaktschicht 28.

Die Erfindung sieht vor, daß das gesamte Kontakte­ lement 20 den in den Fig. 2A oder B beschriebe­ nen schichtweisen Aufbau aufweist. Selbstverständ­ lich kann jedoch auch vorgesehen sein, daß nur der Bereich der Oberfläche des Kontaktelementes 20 die erfindungsgemäßen Grund-, Kontakt-, Deck- oder Ba­ sisschichten aufweist, der mit der zu kontaktieren­ den Prüfstelle in Kontakt kommt.

Das in dem erfindungsgemäßen Federkontaktstift 2 zu verwendende Kontaktelement 20 wird hergestellt, in­ dem ein Grundkörper aus Wolfram oder einer Wolfram- Legierung zunächst einem Verfahren zur Desoxidation unterzogen wird, um eine eventuell auf dem Wolfram vorhandene Oxidschicht zu entfernen. Verfahren zur Desoxidation sind bekannt und werden beispielsweise in der DE 41 18 624 beschrieben. Ohne erneuten Kon­ takt mit atmosphärischem Sauerstoff erfolgt dann das Beschichten mit Nickel mittels eines üblichen galvanischen Prozesses in einem sauren Bad. Die Kontaktschicht 28 wird anschließend entweder che­ misch oder galvanisch auf die nickelhaltige Grund­ schicht 26 aufgebracht. In vorteilhafter Weise wird das Aufbringen in Form einer chemischen Abscheidung vorgenommen, da dadurch eine gleichmäßige Dicke der Kontaktschicht 28 erzielt wird, so daß auch an Stellen starker Krümmung eine Schicht derselben Dicke wie an Stellen weniger starker Krümmung auf­ gebracht wird.

Soll eine Ausführungsform gemäß der Fig. 2B herge­ stellt werden, wird zunächst eine nickelhaltige Ba­ sisschicht 32 galvanisch abgeschieden, auf die an­ schließend eine nickelhaltige Deckschicht 30 chemisch aufgebracht wird. Nach dem Aufbringen der nickelhaltigen Deckschicht 30 wird das Kontaktele­ ment 20 einer Wärmebehandlung unter Hochvakuum aus­ gesetzt, die bei einer Temperatur von 400°C bis 600°C über eine Zeit von 30 Minuten bis 120 Minuten durchgeführt wird.

Claims (12)

1. Kontaktelement, insbesondere zur Herstellung einer lösbaren elektrischen Verbindung, umfassend einen Grundkörper aus Wolfram oder einer Wolfram- Legierung, wobei der Grundkörper (24) zumindest teilweise mit einer nickelhaltigen Grundschicht (26) und einer diese überdeckenden gold-, silber- oder kupferhaltigen Kontaktschicht (28) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht (26) aus einer auf dem Grundkörper (24) galvanisch aufgebrachten nickelhaltigen Basisschicht (32) und einer diese überdeckenden, chemisch aufgebrachten nickelhaltigen Deckschicht (30) aufgebaut ist.

2. Kontaktelement nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Kontaktelement (20) vollstän­ dig mit einer Grundschicht (26) und einer darüber befindlichen Kontaktschicht (28) versehen ist.

3. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktschicht (28) weniger als 50 Gewichtsprozent Nickel enthält.

4. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktschicht (28) dünner als eine der darunterliegenden Grund-, Basis- oder Deckschichten (26, 32, 30) ist.

5. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Grund-, Basis- oder Deckschicht (26, 32, 30) 1 µm bis 5 µm, vorzugsweise 1,5 µm bis 3 µm, beträgt.

6. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Kon­ taktschicht (28) kleiner als 1 µm, vorzugsweise 0,1 µm bis 0,3 µm, ist.

7. Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktelement (20) als Nadel oder Kolben ausgeführt ist.

8. Federkontaktstift für Prüfvorrichtungen zum Prüfen von elektrischen, insbesondere elektroni­ schen, Prüflingen, wie Leiterplatten oder derglei­ chen, wobei der Federkontaktstift ein Zylinderglied aufweist, in dessen Zylinder der Kolben eines fe­ derbelasteten Kontaktelementes geleitbar gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Kontaktelement (20) ein Kontaktelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7 ist.

9. Verfahren zur Herstellung eines Kontaktelemen­ tes, insbesondere eines Kontaktelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei eine gegebenenfalls auf dem Grundkörper aus Wolfram oder einer Wolfram- Legierung befindliche Oxidschicht entfernt, eine nickelhaltige Grundschicht aufgebracht und diese mit einer Kontaktschicht überzogen wird, die Gold, Silber oder Kupfer enthält oder aus diesen besteht und wobei zur Herstellung der Grundschicht zunächst Nickel galvanisch aufgebracht wird und auf die so aufgebrachte nickelhaltige Basisschicht chemisch eine nickelhaltige Deckschicht aufgebracht wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kontaktschicht chemisch aufge­ bracht wird.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Aufbringen der Deckschicht eine Wärmebehandlung im Hochvakuum er­ folgt.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur der Wär­ mebehandlung 400°C bis 600°C beträgt.