DE19613303C3 - Verfahren und Einrichtung zur absoluten Distanzmessung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrich­ tung zur absoluten Distanzmessung mit durchstimmba­ rer Wellenlänge mit zwei Lasern geringfügig unter­ schiedlicher oder gleicher Frequenz gemäß dem Ober­ begriff des ersten bzw. des vierten Anspruchs.

Bekannte Verfahren der absoluten interferometri­ schen Distanzmessung verwenden mindestens einen La­ ser. Die einzelnen Verfahren hierzu unterscheiden sich in der Art und Weise der Detektion der Phasenände­ rung. Anordnungen mit zwei Lasern nutzen dabei das Heterodynsignal und führen die notwendige Phasendif­ ferenzbildung mittels Analogschaltungen, wie Mischer und Filter, durch. Bei den bekannten Anordnungen wer­ den den Lasern nachgeordnete akustooptische Modula­ toren (AOM) verwendet, um die Frequenz der Laser­ strahlung zu verschieben. Optische Elemente als Kop­ pelelemente in Form von Prismen sind ferner vorgese­ hen zur kolinearen Überlagerung und Führung der La­ serstrahlen. Fotoelektrische Empfänger registrieren die zwischen den Strahlen generierten Schwebungssignale, aus denen nach elektronischer Mischung und Filterung periodische Signale erzeugt werden, deren Phasenände­ rung bei Änderung von mindestens einer Laserfrequenz dem innerhalb des Interferometers realisierten opti­ schen Gangunterschied proportional ist. Es sind weitere Interferometereinheiten vorgesehen, die sich jedoch in ihren optischen Weglängen unterscheiden und als Refe­ renz- bzw. Vergleichsinterferometer dienen. Elektroni­ sche Misch- und Filterstufen ermöglichen eine Ver­ knüpfung der unterschiedlichen Interferometersignale dahingehend, daß solche Signale gewonnen werden, die unabhängig von den AOM-Frequenzen alle durch La­ serfrequenzvariation bedingten und von den Reflekto­ rentfernungen abhängigen Phasenwinkeländerungen anzeigen. Über elektronische A-D-Wandler werden die Signale zur Weiterverarbeitung und Auswertung an ei­ nen Rechner weitergeleitet.

Für die absolute Distanzinterferometrie (ADI) haben sich besonders Verfahren als vorteilhaft erwiesen, die von einer variablen, durch optische Überlagerung min­ destens zweier kohärenter Strahlen erzeugten syntheti­ schen Wellenlänge durch obengenannte Heterodynan­ ordnungen ausgefiltert und deren Phasen mit hoher Ge­ nauigkeit ermittelt werden. Die synthetische Wellenlän­ ge Λ ergibt sich aus der Beziehung Λ = λ₁.λ₂/Δλ, wobei λ₁ und λ₂ die Wellenlängen der beiden Laser sind.

Vorauszusetzen ist stets, daß die Strahlen mit Wellen­ längen λ_i identische optische Wege durchlaufen und daß insbesondere während der Durchstimmung keine relati­ ven Verlagerungen der Strahlenachsen stattfinden. Durch die optische und elektronische Überlagerung der Interferenzsignale entstehen Zwischenfrequenzen, die die distanzproportionale Phaseninformation enthalten. Die optische Wellenlänge λ sollte über einen großen Bereich durchstimmbar sein, da der Durchstimmbereich Δλ und die Phasenmeßgenauigkeit ΔΦ das Auflösungs­ vermögen ΔM des Verfahrens bestimmen. Die Zwi­ schenfrequenzen liegen in der Größenordnung bei 100 MHz.

In US-PS 4 907 886; DE 41 39 839 und einem vorge­ schlagenen Interferometer sind Anordnungen darge­ stellt, die zur Bildung der Heterodynsignale zwei in ih­ ren Frequenzen unterschiedliche AOM umfassen. Da­ durch ist u. a. eine Signalbildung möglich, die auch bei nicht monotonem Durchstimmvorgang z. B. infolge ei­ nes Frequenzjitters eine exakte Phasenmessung erlaubt. Der Nachteil der bekannten Interferometer besteht je­ doch darin, daß die optische Strahlführung und die elek­ tronische Signalauswertung mit einem hohen techni­ schen Aufwand verbunden sind. Insbesondere besteht das Problem, daß mit dem Einsatz von zwei AOM auch zwei verschiedene Strahlteilungspunkte innerhalb der Interferometeranordnung existieren. Dadurch können unkontrollierbare Phasenfluktuationen der Interfero­ metersignale resultieren, die sich aus den unterschiedli­ chen Bedingungen in den einzelnen Teilabschnitten bzw. Strahlenbündeln der Interferometeranordnung er­ geben. Aus diesem Grunde ist bei den Anordnungen des Standes der Technik ein Referenzinterferometer not­ wendig, auf das die Signale aller übrigen verwendeten Interferometer bezogen werden. Der technische Auf­ wand zur Signalbildung und -analyse reduziert sich, wenn eine monotone Durchstimmung realisiert werden kann.

Alle diese Interferometer besitzen den Nachteil, daß sie technisch sehr aufwendig sind, weil HF-Verstärker, HF-Filter und -mischer sowie akustooptische Modula­ toren und deren Ansteuerschaltungen zum Einsatz kommen.

Aus der DD-PS 158 187 ist ein Zweistufeninterfero­ meter insbesondere für Längenmessungen bekannt, welches eine Lichtquelle, einen Strahlenteiler mit einer strahlenteilenden teilverspiegelten, als Interferenzebe­ ne dienenden Fläche zur Erzeugung zweier getrennter Lichtbündel, einen im Lichtweg des ersten Lichtbündels angeordneten Meßreflektor und einen im Lichtweg ei­ nes zweiten Lichtbündels angeordneten Referenzre­ flektor umfaßt. Der Strahlenteiler besitzt beiderseits seiner die Interferenzebene bildenden strahlenteilenden Fläche jeweils eine weitere strahlenteilende teilverspie­ gelte Fläche, wobei diese Flächen symmetrisch zur In­ terferenzfläche liegen. An dem dem Meß- und dem Re­ ferenzreflektor zugewandten Ende des Strahlenteilers ist ein einteiliges oder aus mehreren unabhängig von­ einander justierbaren Einzelprismen zusammengesetz­ tes Umlenkelement angeordnet. Das Umlenkelement besitzt optisch wirksame, die Lichtbündel parallel rich­ tende Reflexionsflächen, welche vorzugsweise mit der Interferenzebene gleiche Winkel einschließen. Die Strahlenaustrittsflächen der Umlenkelemente verlaufen vorteilhaft senkrecht zur Interferenzebene.

Aus der DE 43 14 486 A1 sind ein absolutinterfero­ metrisches Meßverfahren und eine dafür geeignete La­ serinterferometeranordnung mit zwei durchstimmba­ ren Lasern bekannt, wobei ein Laser moduliert und der andere Laser mit einer festen Wellenlänge betrieben wird. Durch Überlagerung der beiden Wellenlängen der Laser wird eine synthetische Wellenlänge (Schwebungs­ wellenlänge) erzeugt. Es ist ferner ein Meßinterferome­ ter vorgesehen, bei welchem ein Interferometerarm die eigentliche Meßstrecke bildet. In unmittelbarer Nähe zu diesem Meßinterferometer ist zusätzlich ein Regelinter­ ferometer mit einer konstanten Regelstrecke und mit einem dem Meßinterferometer analogen Aufbau vorge­ sehen. Die aufgrund der Wellenlängenmodulation im Referenz- oder Regelinterferometer und im Meßinter­ ferometer erzeugten Phasenänderungen ΔΦ_ref; ΔΦ_abs werden gemessen, wobei die Meßstreckenlänge L_abs bei bekannter Referenzstreckenlänge L_ref nach der Formel L_abs = (ΔΦ_abs/ΔΦ_ref).L_ref bestimmt wird.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine interferometrische Einrichtung zur absoluten Distanz­ messung mit variabler synthetischer Wellenlänge zu schaffen, welche die Nachteile des Standes der Technik weitgehend beseitigt und welche einen wesentlich ge­ ringeren technischen Aufwand erfordern und bei denen durch die Unterschiede in den einzelnen optischen Strahlenverläufen und durch die elektronischen Aus­ werteschaltungen bedingte Fehlereinflüsse auf die Pha­ se und die Amplitude der Nutzsignale weitestgehend ausgeschaltet sind.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Ver­ fahren zur absoluten Distanzmessung mit den Mitteln des kennzeichnenden Teils des ersten Anspruches ge­ löst. In den weiteren Ansprüchen sind eine Einrichtung zur absoluten Distanzmessung mit variabler syntheti­ scher Wellenlänge und weitere Ausgestaltungen der Er­ findung dargelegt.

Bei den interferometrischen Verfahren zur absoluten Distanzmessung werden im Gegensatz zu den inkre­ mentellen Interferometern, bei denen der Meßreflektor verschoben wird, beide Reflektoren der Interferometer im Meß- und Korrekturstrahlengang im Moment der Messung fixiert. Verändert wird nur die Wellenlänge mindestens eines der Laser, indem seine Resonatorlän­ ge durchgestimmt wird. Unter diesen Bedingungen kon­ stanter optischer Wege werden in den einzelnen Strah­ lengängen der Interferometer Interferenzsignale er­ zeugt, die mit Hilfe der fotoelektrischen Empfänger in elektrische Signale gewandelt und digitalisiert werden. Im nachgeordneten Rechner werden die zu den einzel­ nen Lasern gehörenden Phasenmeßwerte voneinander subtrahiert, wodurch die Distanzmeßwerte von Reflek­ torvibrationen unabhängig werden.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn die distanzabhängigen Interferenzsignale von den zu den jeweiligen Lasern gehörenden Übertragungskanälen so zu den nachge­ schalteten Zählern übertragen werden, daß sich keine unterschiedlichen Phasenlaufzeiten ergeben.

Vorteilhaft ist ferner, daß die Durchstimmung der fre­ quenzvariablen Laser mit geringem Anfangs- und End­ gradienten, etwa nach einer cos-Funktion, durchgeführt wird und daß mit Beginn und Ende der Durchstimmung der Laser die Zähler getriggert werden.

Die Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens umfaßt

• - zwei in ihrer Frequenz durchstimmbare Laser als Lichtquellen, welche linear polarisiertes Licht hinreichender Kohärenz aussenden, optische Isola­ toren und gegebenenfalls Kollimatoren, die den La­ sern jeweils nachgeordnet sind,
• - einen Strahlenkoppler zum Mischen der ortho­ gonal zueinander polarisierten Lichtbündel der La­ ser und zur Aufteilung der gemischten Lichtbündel in zwei Ausgangsstrahlenbündel
• - und den Ausgängen des Strahlenkopplers nach­ geordnete, den Polarisationszustand der gemisch­ ten Lichtbündel erhaltende Lichtleiter, wobei je­ weils ein erster Lichtleiter den einen Ausgang des Strahlenkopplers mit einem Meßkanal und ein zweiter Lichtleiter den zweiten Ausgang des Strah­ lenkopplers mit einem Korrekturkanal verbindet und in einem jeden dieser beiden Kanäle ein zuge­ ordnetes Interferometer vorgesehen ist.

Diese den Kanälen zugeordneten Interferometer sind identisch aufgebaut und sind je mit einem Interferome­ terteiler zur Aufspaltung der Lichtbündel in einem Meßzweig mit einem Meßreflektor und in einem Refe­ renzzweig mit einem Referenzreflektor versehen, wobei die Interferometerteiler beidseitig zu ihrer strahlentei­ lenden, die Interferenzebene umfassenden Fläche je­ weils eine weitere Teilerfläche besitzen und an dem dem Meß- und Referenzreflektor zugewandten Ende eines jeden Interferenzteilers jeweils die Strahlen parallel richtende Umlenkelemente vorgesehen sind. Diesen Umlenkelementen sind polarisationsneutrale Strahlent­ eiler zur Teilung und Parallelversetzung der die Strahl­ enteiler passierenden Lichtbündel unmittelbar nachge­ ordnet. An den den fotoelektrischen Empfängern zuge­ wandten Endflächen der Interferometerteiler sind Pola­ risationsstrahlenteiler vorgesehen, die die Strahlenbün­ del mit unterschiedlichen Polarisationsrichtungen von­ einander trennen und in gesonderten Empfangskanälen und den einzelnen nachgeordneten, fotoelektrischen Empfängern zuordnen. Die fotoelektrischen Empfänger stehen über nachgeschaltete Impedanzwandler und Verstärker mit Interpolatoren zur Digitalisierung der Signale in Verbindung. Es sind diesen Interpolatoren nachgeordnete Zähler vorgesehen, deren Ausgänge an den Eingängen eines Rechners anliegen.

Vorteilhaft ist bei dieser Einrichtung, daß die Erzeu­ gung von optischen Zwischenfrequenzen bei den Strah­ lenbündeln mit Hilfe von AOM nicht mehr notwendig ist. Durch die orthogonale Polarisation der verstimmba­ ren Laserstrahlung ist unter Beibehaltung identischer optischer Wege eine getrennte Gewinnung und Verar­ beitung der Interferenzsignale beider Laser möglich. Die synthetische Wellenlänge entsteht erst nach der di­ gitalen Messung der Einzelphasen der Wellen λ_i im Rechner; es erfolgt also in Wirklichkeit eine Überlage­ rung der Information der Laserstrahlen nach digitaler Phasenmessung in Form digitaler Differenzbildung und Verrechnung der Werte.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß der technische Aufwand der Einrichtung verringert wird, indem HF-Filter und Mischer sowie AOM ein­ schließlich ihrer aufwendigen Ansteuereinrichtungen gänzlich vermieden werden können.

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausfüh­ rungsbeispiel näher erläutert werden. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 schematisch den Aufbau einer erfindungsgemä­ ßen Einrichtung,

Fig. 2 den Aufbau der im Meß- und Korrekturkanal angeordneten Interferometer und

Fig. 3 anhand eines Blockschaltbildes die Signalverar­ beitung.

Die in Fig. 1 schematisch dargestellte Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Messen von Strec­ ken und Verschiebungen umfaßt zwei Laser 1 und 2, welche orthogonal polarisiertes Licht aussenden und von denen mindestens einer in seiner Frequenz durch­ stimmbar ist. Die von den Lasern 1 und 2 ausgesendeten Laserlichtbündel werden u. a. über optische Isolatoren 3 und 4, die Licht in einer Richtung durchlassen und ver­ hindern, daß reflektiertes Licht zurück in die Laser ge­ langt, und gegebenenfalls über Kollimatoren 5 und 6 einem diesen Teilen nachgeordneten, polarisationsneu­ tralen Strahlenkoppler 7 mit einer teildurchlässigen Strahlenteilerfläche 8 zugeführt und durch diesen Strah­ lenkoppler 7 in zwei Ausgangsstrahlenbündel 9 und 10 aufgespalten. Das Licht eines jeden dieser Ausgangss­ trahlenbündel 9 und 10 besitzt orthogonal polarisierte Lichtanteile, die von den Lasern 1; 2 ausgestrahlt wer­ den. Den beiden Ausgängen des Strahlenkopplers 7 sind Lichtleiter 11 und 12 mit Einkoppelgliedern 13; 14 und Auskoppelglieder 15; 16 nachgeordnet, wobei die Licht­ leiter 11 und 12 den Polarisationszustand der weitergeleiteten Ausgangsstrahlenbündel 9 und 10 nicht verän­ dern. Die Auskoppelglieder 15 und 16 stehen mit jeweils einem Einkoppelglied 17 und 18 von Interferometern 19 und 20 in Verbindung. Dabei ist das Interferometer 19 einem Meßkanal M und das Interferometer 20 einem Korrekturkanal K zugeordnet.

Die Interferometer 19 und 20, von denen ersteres in Fig. 2 in zwei Ansichten dargestellt ist sind, identisch aufgebaut und umfassen je einen polarisationsneutralen Interferometerteiler 19.1 und 20.1 mit je einer strahlent­ eilenden Fläche 19.2 und 20.2 zur Aufspaltung des durch das jeweilige Einkoppelglied 17; 18 in die Interferome­ ter 19 und 20 eingekoppelten Strahlenbündels in einen Meß- und Referenzzweig. Die die Interferometer 19 und 20 über Umlenkelemente 19.3; 19.4 und 20.3; 20.4 parallelgerichtet verlassenden Strahlenbündel werden über polarisationsneutrale Strahlenteiler 21 und 22 Re­ troreflektoren 23; 24; 25; 26 zugeleitet. Nach Reflexion durch diese Retroreflektoren 23; 24; 25; 26 werden die zurückgeworfenen Strahlenbündel in den Strahlentei­ lern 21 und 22 erneut geteilt, parallel versetzt und an den strahlenteilenden Flächen 19.2 und 20.2 der Interfe­ rometerteiler 19.1 und 20.1 zur Interferenz gebracht. Dabei interferiert das Licht der Laser 1 und 2 an den gleichen strahlenteilenden Flächen 19.2; 20.2.

Es entstehen für jede Polarisation jeweils vier opti­ sche Interferenzsignale O_Mi und O_Ki(i = 1 . . . 4), die die Interferometerteiler 19.1 und 20.1 verlassen und diesen in Lichtrichtung nachgeordneten Polarisationsteilern 27; 28; 29; 30 zugeleitet werden. Durch die Polarisation­ steiler 27; 28; 29; 30 werden die optischen Interferenzsi­ gnale O_Mi und O_Ki beider Laser 1; 2 nach ihrem Polari­ sationszustand getrennt und, wie in Fig. 3 dargestellt, fotoelektrischen Empfängern 31 bis 38 und 39 bis 46 zugeführt und durch diese in elektrische Signale Φ_Mj und Φ_Kj(j = 1 . . . 8) umgewandelt.

Diese den optischen Phasenwerten entsprechenden elektrischen Signale werden über Transimpedanzwand­ ler 47; 48; 49; 50 und Verstärker 51; 52; 52; 54 nachge­ schalteten Interpolatoren 55; 56; 57; 58 zur Digitalisie­ rung zugeführt. Die digitalisierten Signale werden den mit dem Ausgang der Interpolatoren 55 bis 58 verbun­ denen Zählern 59; 60; 61; 62 zugeleitet. Die Zähler 59 bis 62 sind mit einem nachgeordneten Prozessor 63 verbun­ den, welcher die Zählergebnisse übernimmt und zu Di­ stanzmeßwerten weiterverarbeitet. Dabei wird in be­ kannter Weise, hinreichende Ähnlichkeit der Umwelt­ bedingungen im Meß- und Korrekturkanal vorausge­ setzt, zur Ermittlung der Distanzwerte die an sich be­ kannte Verhältnismessung nach der Gleichung

M_S/K_S = Z_M/Z_K

angewendet, wobei M_S die Streckenlänge und K_S die Vergleichsstreckenlänge und Z_M; Z_K die Zählergebnisse der Zähler 59 bis 62 im Meß- und Korrekturkanal beim Durchstimmen der Laser 1 und 2 sind. Vorteilhaft wird der Anfangspunkt der Meßstrecke so gelegt, daß er mit dem Invarianzpunkt (Interferenzpunkt) des Interfero­ meters im Meßkanal zusammenfällt.

Als Phasenmeßwerte stehen die elektrischen Signale Φ_ij an den jeweils zugeordneten Zählern an und es gel­ ten folgende Beziehungen:

Φ_1M - Φ_2M ⇒ Z_1M - Z_2M = Z_M

Φ_1K - Φ_2K ⇒ Z_1K - Z_2K = Z_K.

Da K_S als Vergleichstrecke bekannt ist, ergibt sich die gesuchte Streckenlänge M_S nach der Beziehung

M_S = K_S.Z_M/Z_K.

Claims (5)

1. Verfahren zur absoluten Distanzmessung mittels mit variablen Wellenlängen arbeitender, durch Lichtleiter gekoppelter Laserinterferometer, wobei die von durchstimmbaren frequenzvariablen Lasern ausgesandten orthogonal polarisierten Lichtbündel einem Strahlenkoppler zugeführt und, durch diesen in zwei polarisationsmäßig gemischte Ausgangsstrahlenbündel aufgespalten, über Lichtleiter jeweils dem Interferometer eines Meß- und eines Korrekturkanals zugeführt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß dem jeweils einen Interferometer (19; 20) des Meß- und Korrekturkanals (M; K) über die den Polarisationszustand des übertragenen Lichtes nicht verändernden Lichtleiter (11; 12) gleichzeitig zwei durch orthogonale Polarisationsrichtungen unterscheidbare Strahlenbündel zugeleitet werden, wobei diese Strahlenbündel in diesen Interferometern (19; 20) identische geometrisch-optische Wege durchlaufen,
daß in den Interferenzpunkten dieser Interferometer (19; 20) die Strahlenbündel gleichen Polarisationszustandes zur Interferenz gebracht und distanzabhängige optische Interferenzsignale erzeugt werden,
daß diese distanzabhängigen Interferenzsignale durch die den Interferometern (19; 20) zugeordneten Polarisationsteiler (27; 28; 29; 30) jeweils nach ihrem Polarisationszustand getrennt und in separaten Empfangskanälen nachgeordneten fotoelektrischen Empfängern (31 bis 38 und 39 bis 46) zugeführt und von diesen in elektrische Signale umgewandelt werden,
daß diese distanzabhängigen und optischen Phasenwerten entsprechenden elektrischen Signale über Impedanzwandler (47; 48; 49; 50) und nach einer Verstärkung durch vorgesehene Verstärker (51; 52; 53; 54) in Interpolatoren (55; 56; 57; 58) digitalisiert und in digitaler Form Zählern (59; 60; 61; 62) zugeführt werden,
daß in den Zählern Zählerergebnisse Z_1K; Z_2K; Z_1M und Z_2M gebildet werden, aus denen durch Differenzbildung Z_1K - Z_2K und Z_1M - Z_2M die Zählergebnisse Z_K und Z_M gebildet werden
und daß die so erhaltenen Zählergebnisse einem nachgeschalteten Rechner (63) zugeführt und zu einem der zu ermittelnden Streckenlänge M_S proportionalen Distanzmeßwert gemäß der Beziehung
M_S = K_S.Z_M/Z_K
weiterverarbeitet werden, wobei M_S die Streckenlänge, K_S die Vergleichsstreckenlänge, Z_M und Z_K die Zählergebnisse der Zähler sind.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die distanzabhängigen Interferenzsi­ gnale in gesonderten Empfangskanälen mit glei­ chen elektrischen Übertragungseigenschaften zu den einzelnen fotoelektrischen Empfängern (31 bis 46) übertragen werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchstimmung der fre­ quenzvariablen Laser mit geringem Anfangs- und Endgradienten nach einer cos-Funktion durchge­ führt wird und daß mit Beginn und Ende der Durch­ stimmung der Laser die Zähler (59; 60; 61; 62) ge­ triggert werden.

4. Einrichtung zum Messen von Strecken mittels mit variablen Wellenlängen arbeitender, durch Lichtleitfasern gekoppelter Laserinterferometer, umfassend

• - zwei in ihrer Frequenz durchstimmbare La­ ser als Lichtquellen, welche orthogonal polari­ siertes Licht aussenden,
• - optische Isolatoren, die den Lasern jeweils nachgeordnet sind,
• - einen Strahlenkoppler zum Mischen der Lichtbündel der Laser und zur Aufteilung der gemischten Lichtbündel in zwei Ausgangss­ trahlenbündel,
• - den Ausgängen des Strahlenkopplers nach­ geordnete, den Polarisationszustand der ge­ mischten Lichtbündel erhaltende Lichtleiter, wobei jeweils ein erster Lichtleiter den einen Ausgang des Strahlenkopplers mit einem Meßkanal und ein zweiter Lichtleiter den zweiten Ausgang des Strahlenkopplers mit ei­ nem Korrekturkanal verbindet und in einem jeden dieser beiden Kanäle ein zugeordnetes Interferometer vorgesehen ist,

dadurch gekennzeichnet,

• - daß diese den Kanälen (M; K) zugeordne­ ten Interferometer (19 und 20) identisch aufge­ baut sind und je einen Interferometerteiler (19.1; 20.1) zur Aufspaltung der Lichtbündel in einen Meßzweig mit einem Meßreflektor und in einen Referenzzweig mit einem Referenzre­ flektor umfassen, wobei die Interferometertei­ ler (19.1; 20.1) beidseitig zu ihrer strahlentei­ lenden, die Interferenzebene umfassenden Flä­ che (19.2; 20.2) jeweils eine weitere Teilerflä­ che besitzen und an dem dem Meß- und Refe­ renzreflektor zugewandten Ende eines jeden Interferometerteilers (19.1; 20.1) jeweils die Strahlen parallel richtende Umlenkelemente (19.3; 20.3) vorgesehen sind und diesen Um­ lenkelementen (19.3; 20.3) polarisationsneutra­ le Strahlenteiler (21; 22) zur Teilung und Paral­ lelversetzung der die Strahlenteiler (21; 22) passierenden Lichtbündel unmittelbar nachge­ ordnet sind,
• - daß an den den fotoelektrischen Empfän­ gern (31 bis 38 und 39 bis 46) zugewandten Endflächen der Interferometerteiler (19.1; 20.1) Polarisationsstrahlenteiler (27; 28; 29; 30) vorgesehen sind, die die Strahlenbündel mit unterschiedlichen Polarisationsrichtungen voneinander trennen und in gesonderten Emp­ fangskanälen den einzelnen nachgeordneten, fotoelektrischen Empfängern (31 bis 38 und 39 bis 46) zuordnen,
• - und daß die fotoelektrischen Empfänger (31 bis 38 und 39 bis 46) über nachgeschaltete Im­ pedanzwandler (47; 48; 49; 50) und Verstärker (51; 52; 53; 54) mit Interpolatoren (55; 56; 57; 58) zur Digitalisierung der Signale verbunden sind und diesen Interpolatoren (55; 56; 57; 58) nachgeschaltete Zähler (59; 60; 61; 62) vorge­ sehen sind, deren Ausgänge mit einem Rech­ ner (63) in Verbindung stehen.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß optische Isolatoren und Kollimatoren den Lasern nachgeordnet sind.