DE1955040A1 - Piezoelektrischer Beschleunigungsmesswandler - Google Patents
Piezoelektrischer BeschleunigungsmesswandlerInfo
- Publication number
- DE1955040A1 DE1955040A1 DE19691955040 DE1955040A DE1955040A1 DE 1955040 A1 DE1955040 A1 DE 1955040A1 DE 19691955040 DE19691955040 DE 19691955040 DE 1955040 A DE1955040 A DE 1955040A DE 1955040 A1 DE1955040 A1 DE 1955040A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric
- measuring element
- pressure plate
- support
- quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 20
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0907—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the compression mode type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Professor Dipl.-Ing.Dr.Dr.h.c. Hans List, Graz (Österreich),
Heinrichstraße 126
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Beschleunigungsmeßwandler
mit zwischen der seismischen Masse und einem am Wandlergehäuse vorgesehenen Auflager angeordnetem,
aus Scheiben bestehenden axial vorgespannten piezoelektrischen Meßelement.
Diese Meßgeräte werden in verschiedenen Anwendungsfällen, beispielsweise bei der Triebwerksüberwachung an
Düsenflugzeugen, hohen thermischen Belastungen ausgesetzt. Bei der Triebwerksüberwachung können dabei an den Auflageflächen,
an denen die -^eschleunigungsmeßgeräte befestigt
sind, vorübergehend Temperaturen bis zu 6000O auftreten.
Dies ist beispielsweise bei Schubumkehr der Fall oder aber nach Abstellen des Triebwerkes, wobei infolge des Fehlens
des Kühlluftstromes die Wärme von den sehr heißen Innenteilen
nach außen fließt.
Durch spezielle, bereits bekannte Maßnahmen, wie z.B. die Anordnung von Kühlkanälen in der Auflagefläche der
Geräte, ist en zwar möglich, ein Temperaturgefälle zwischen
Auflagefläche und Meßelement zu erreichen, doch sind die am
009820/0493 BA60RlGlNAL
a,
Meßelement auftretenden Temperaturen immer noch unzulässig
hoch. Bei Beschleunigungsmeßgeräten für Überwachungszwecke
wirkt sich zwar die bekannte Verminderung des Piezoeffektes der in der üegel für das Meßelement verwendeten Quarzkristalle
mit steigenden Temperaturen nicht all zu störend aus, solange die Gewähr besteht, daß sich der Piezoeffekt
nach Abkühlung des Gerätes in vollem Umfang wieder einstellt, In den meisten fällen wird auch nicht im Bereich der extrem
hohen Temperaturen gemessen. Außerdem kann die Überwachungsanlage für eine relativ hohe mittlere Betriebstemperatur
abgestimmt werden·
Um aber eine Austauschbarkeit der Beschleunigungsmeßgeräte untereinander zu gewährleisten, müssen diese hinsichtlich
der Abstimmung ihrer Empfindlichkeit genau übereinstimmen. Eine bleibende Veränderung der Empfindlichkeit
während des Betriebes ist dabei absolut unzulässig. Nun ist es zwar theoretisch durchaus möglich, Meßelemente aus Quarzkristallen "bis zu einer Temperatur von 5730C (Curie-Punkt)
zu erhitzen, ohne daß es zu einem bleibenden Empfinulichkeitsverlust
kommt. In der Praxis ist aber die Temperaturbelastbarkeit eines solchen Meßwandlers selbst unter der
Voraussetzung, daß das verwendete Isolationsmaterial den auftretenden Temperaturen gewachsen ist, wesentlich geringer.
In der Regel ist bereits bei einer Temperatur von 3000C im Bereich des Meßelementes mit einem dauernden
Empfindlichkeitsverlust zu rechnen.
Biesen Nachteilen der bekannten Geräte wirksam zu
begegnen und einen Beschleunigungsmeßwandler hoher Temperaturbeständigkeit zu s chaffen, ist das Ziel der vorliegenden
Erfindung. Hiezu ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß das Auflager eine konkave sphärische Stützfläche aufweist,
an der sich eine zwischen dem Meßelement und dem Auflager angeordnete Druckplatt« mit einer konvexen
sphärischen Gegenfläche abstützt. Dieser Ausbildung liegt
OOQ98 20/C4S3
die Erkenntnis zugrunde, daß vor allem eine ungleichmäßige
Druckbelastung der einzelnen Scheiben -des Meßelementes für eine mangelhafte Temperaturbeständigkeit eines solchen Meßwandlers
verantwortlich ist. Auf Grund der großen Festigkeit und Starrheit des Quarzmaterials kann dabei an einzelnen
Stellen der Quarzscheiben eine gegenüber der mittleren Vorspannung auf ein Vielfaches überhöhte Flächenpressung
auftreten, welche im Zusammenwirken mit den hohen Temperaturwerten zu einer örtlichen Überbeanspruchung des
kristallinen Quarzgefüges und damit zum Auftreten von Rissen führt. Solche einseitige Druckbelastungen können
schon bei der Kontage des Wandlers zufolge ungleichmäßiger
Vorspannung der die Meßanordnung enthaltenden Rohrfeder entstehen. Es kann aber auch im Betrieb durch ungleichmäßige
Erwärmung von Gehäuse und Rohrfeder, beispielsweise bei einseitiger Luftkühlung des Meßgerätes, zu stark
ungleichmäßiger Druckbelastung der Quarzscheiben kommen.
Beim Wandler der erfindungsgemäßen Bauart ergibt sich
demgegenüber eine gleichmäßige Verteilung der Vorspannung, da sich das Meßelement auf Grund seiner einseitigen kardanischen
Abstützung von selbst in jene Richtung einstellt, in der seine Achse mit der Wiricungsrichtung der Vorspannkraft
zusammenfällt. Dieser Ausgleich findet nicht nur bei der Montage des Wandlers sondern auch während des Betriebes
bei unsymmetrischer thermischer Belastung des Wandlers statt.
Eine weitere Verbesserung der Temperaturbeständigkeit
wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Stützfläche des Auflagers und die ^egenflache der Druckplatte ringförmig
ausgebildet sind. Damit steht für den Wärmeübergang vom Wandlergehäuse auf die Druckplatte und damit auf das
Meßelement nur ein sehr kleiner Querschnitt zur Verfugung, so daß es zu einer langsamen und gleichmäßigen Erwärmung
des Meßelementes unter Vermeidung eines unzulässig großen Temperaturgradienten kommt. Auch diese Maßnahme wirkt der
Bildung von Rissen in den Quarzscheiben entgegen.
Bei der letztgenannten Αμβΐϋηπι^ ist es im Sinne
eines weiteren Erfindungsvorschlages besonders vorteilhaft, wenn die Druckplatte einen zur ringförmigen Gegenfläche hin
allmählich abnehmenden Querschnitt besitzt. Dies begünstigt die gleichmäßige Erwärmung der Druckplatte und damit der
anliegenden Scheiben-des Meßelementes.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung besteht
die Druckplatte aus einem Material, welches einen wesentlich kleineren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist
als das Material des Wandlergehäuses und des die Vorspannung erzeugenden Wandlerteiles,. z.B. einer Rohrfeder. Diese Anordnung
bezweckt eine Verminderung der Vorspannung des Meßelementes bei extrem hohen Ternperaturbelastungen. Man vermeidet
damit, daß es bei Spitzentemperaturen, bei welchen normalerweise ohnehin keine Messungen durchgeführt werden,
zu einer Beschädigung des Meßelementes und damit zu einem Empfindliehkeitsverlust kommt. Es wurde nämlich erkannt,
daß man einen mechanisch unbelasteten Meßquarz bzw· Meßquarzsatz bei langsamer gleichmäßiger Erwärmung bis nahezu
an den Curie-Punkt bringen kann, ohne daß es zu einem
bleibenden Empfindliehkeitsverlust kommt. Wird dagegen neben einer hohen Wärmebelastung auch eine relativ große mechanische
Vorspannung auf das Mets element ausgeübt, so tritt
durch Überbeanspruchtung des Quarzes schon bei wesentlich niedrigeren Temperaturen eine teilweise Zerstörung der Meßquarze ein, wobei mikroskopisch kleine Risse im Quarzgefüge
zu bleibender Empfindlichkeitsverminderung führen.
Schließlich erweist es sich nach einem weiteren Merkmal der Erfindung als besonders vorteilhaft, mindestens an
einer der beiden Stirnseiten des Meßelementes eine Scheibe aus
0 0 9 S 2 0 /(H S 3
nicht piezoelektrischen Material, z.B. aus bis über den
Curie-Punkt erhitztem Quarz, beizulegen. Es wird damit
auf den Umstand Bedacht genommen, daß die unterste und
oberste Scheibe des Meßelementes beim Erwärmen bzw. Abkühlen des Meßwandlers durch einen zu großen Temperaturgradienten
am ehesten thermisch überlastet werden können. Durch die Verwendung nicht piezoelektrischer Endscheiben
wird also auch bei Vorhandensein eines großen lemperaturgradienten an der Übergangszone zwischen dem
Meßelement und den benachbarten metallischen Wandlerbauteilen ein Einfluß auf die Empfindlichkeit des Meßwandlers
ausgeschaltet. Die Verwendung von hoch überhitztem Quarz als Material für die nicht piezoelektrischen
Scheiben erweist sich als besonders vorteilhaft, weil sich diese Hitzebehandlung leicht durchführen läßt
und die übrigen physikalischen Eigenschaften des Quarzmaterials,
übereinstimmend mit den übrigen Scheiben des Meßelementes, erhalten bleiben.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles eines hochtemperaturbeständigen
piezoelektrischen Beschleunigungsmeßwandlers näher erläutert.
Das Gehäuse 1 des Meßwandlers ist an seiner Auflagefläche
2 mit Kühlkanälen 3 und 4 versehen, durch die der Wärmeübergang von der Meßstelle auf das Gehäuse reduziert
wird. In der zentralen Aufnahmebohrung 5 befindet sich das Meßelement 6 des Wandlers, welches aus übereinandergeschichteten
Scheiben 7 aus piezoelektrischem Material " wie Quarz und zwei Endscheiben 8 aus piezoelektrisch
neutralem Material, beispielsweise aus bis über den Curie-Punkt erhitztem Quarz, besteht. Die zur ladungsableitung
von den Scheiben 7 erforderlichen Blektroden sowie deren
Verbindungen sind nicht gesondert dargestellt. Die An-
0098 20/049 3
schlußdrähte 9 des Meßelementes 6 sind über eine seitliche
Bohrung 10 des Gehäuses 1 zu einem nicht dargestellten Anschlußstutzen herausgeführt.
Das Meßelement 6 liegt auf einer Druckplatte 11 auf, die sich an einer ringförmigen Stützfläche 12 des
das Auflager für die Meßanordnung bildenden Gehäusebodens
13 abstützt.
Die Stützfläche 12 gehört einer zur Aufnahmebohrung 5
konzentrischen konkaven Kugelfläche an. Der Querschnitt der Druckplatte 11 verjüngt sich gegen den Gehäuseboden 13
hin, so daß die Druckplatte 11 nur mit einer ringförmigen
Gegenfläche 14 auf der Stützfläche 12 aufliegt.
Auf das Meßelement 6 ist über eine metallische Zwischenscheibe 15 die seismische Masse 16 aufgesetzt, welche
sich am Boden 17 einer sie umgebenden Rohrfeder 18 abstützt, welche mit. ihrem verstärkten. Ringrand 19 an der Oberseite
des Wandlergehäuses 1 angeschweißt ist.
Die in bekannter Weise unter gleichzeitiger Anwendung einer axialen Belastung angeschweißte Rohrfeder 18 hält das
Meßelement unter einer vorbestimmten axialen Vorspannung.
Beim Anschweißen der Rohrfeder 18 an das Gehäuse 1 kann
es leicht zu kleinen Montagefehlern kommen, welche bei Meßwandlern konventioneller Bauart zu einer ungleichmäßigen
Verteilung der Vorspannung über die fläche der einzelnen Quarzscheiben und damit zu einer mechanischen Überbeanspruchung
derselben führt. Beim dargestellten Meßwandler ist diese Gefahr ausgeschaltet, da sich die Druckplatte 11
infolge ihrer Abstützung auf der sphärischen Stützfläche 12 des Gehäuses 1 von selbst in jene Richtung einstellt, in
der die Achse des Meßelemeiites mit der Wirkungsrichtung
der von der Rohrfeder 18 erzeugten Vorspannkraft zusammenfällt. Durch die auf eine sehmale Ringfläche beschränkte
9820/0493 . Of?i<3i^Atinspected
-JT-
Abstützung der Druckplatte 11 sowie durch die besondere Formgebung derselben werden außerdem besondere Bedingungen
für den Wärmeübergang vom Gehäuse 1 auf das Meßelement 6
geechaffen. Einerseits steht in der ringförmigen Stützfläche
12 nur ein sehr kleiner wärmeleitender Querschnitt zur
Verfügung und anderseits wird durch den zum Meßelement hin allmählich zunehmenden Querschnitt der Druckplatte 1t eine
sehr gleichmäßige Verteilung der vom Gehäuse zum Meßelement strömenden Wärme gewährleistet, so daß es im Bereich des
Meßelementes 6 zu keinen unzulässig hohen Temperaturdifferenzen kommen kann.
Die Druckplatte 11 besteht weiters aus einem Material,
welches einen wesentlich kleineren Wärmeausdehnungskoeffizienten als das Material des Gehäuses 1 bzw. der Rohrfeder
18 besitzt. Beim Auftreten von Spitzentemperaturen kommt es daher zu einer Verminderung der Vorspannung des
Elementes 6, was meßtechnisch durchaus zulässig ist, da im Bereich dieser extrem hohen Temperaturen ohnehin keine
Messungen stattfinden. Anderseits wird aber durch die Verringerung der Vorspannung eine gleichzeitige thermische
und mechanische ^pitzenbelastung der Quarzscheiben, welche
zu einem bleibenden Empfindlichkeitsverlust führen würde,
verhindert.
Die Anordnung der beiden aus nicht piezoelektrischem Material bestehenden Endscheiben θ stellt eine weitere
Sicherheitsmaßnahme zur Schonung der piezoelektrischen Scheiben 7 dar. Das Auftreten von großen Temperaturunterschieden
ist ja am ehesten an den Stellen des Wandlers su erwarten, wo das Meßelement 6 an metallische Wandlerteile,
im vorliegenden Fall die Druckplatte 11 sowie die Zwischenscheibe 15, angrenzt. Die nicht piezoelektrischen Scheiben
8 können diese hohen Temperaturepannungen ohne weiters aufohne
irgendwelche Veränderungen zu erfahren.
009820/0493 ÖAD ORIGINAL
Claims (1)
- atentansprüche :1./Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler mit zwischen *■—' der seismischen Masse und einem am Wandlergehäuse vorgesehenen Auflager angeordneten, aus Scheiben bestehenden, axial vorgespannten piezoelektrischen Meßelement, dadurch gekennzeichnet, daß das Auflager eine konkave sphärische Stützfläche (12) aufweist, an der sich eine zwischen dem Meßelement (6) und dem Auflager angeordnete Druckplatte (11) mit einer konvexen sphärischen Gegenfläche (H) abstützt.2. Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützfläche (12) des Auflagers und die Gegenfläche (14) der Druckplatte (11) ringförmig ausgebildet sind.3. Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckplatte (11) einen zur ringförmigen Gegenfläche (H) hin allmählich abnehmenden Querschnitt besitzt.4. Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckplatte (11) aus einem Material besteht, welches einen wesentlich kleineren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist als das Material des Wandlergehäuses (1) und des die Vorspannung erzeugenden Wandlerteiles, z.B. einer Rohrfeder (18).5. Piezoelektrischer Beschleunigun^smeßwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens an einer der beiden Stirnseiten des Meßelementes (6) eine Scheibe (8) aus nicht piezoelektrischem Material, z.B. aus bis über den Curie-Punkt erhitztem Quarz, beigelegt ist.24.10.1969
Kr/W/Kg.. 00 9 8 20/0.4 9
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT1080668A AT293065B (de) | 1968-11-06 | 1968-11-06 | Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1955040A1 true DE1955040A1 (de) | 1970-05-14 |
| DE1955040B2 DE1955040B2 (de) | 1972-02-10 |
Family
ID=3624818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19691955040 Pending DE1955040B2 (de) | 1968-11-06 | 1969-11-03 | Piezoelektrischer beschleunigungsmesswandler |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3569749A (de) |
| AT (1) | AT293065B (de) |
| CH (1) | CH501228A (de) |
| DE (1) | DE1955040B2 (de) |
| GB (1) | GB1240408A (de) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3935484A (en) * | 1974-02-25 | 1976-01-27 | Westinghouse Electric Corporation | Replaceable acoustic transducer assembly |
| DE2556298C2 (de) * | 1975-12-13 | 1982-05-13 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München | Piezoelektrischer Beschleunigungsgeber |
| US4885498A (en) * | 1985-06-19 | 1989-12-05 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Stacked type piezoelectric actuator |
| KR940006950B1 (ko) * | 1989-05-02 | 1994-07-30 | 후지꾸라 가부시끼가이샤 | 압전형 가속도센서 및 압전형 가속도센서장치 |
| US5282387A (en) * | 1990-11-02 | 1994-02-01 | Takata Corporation | Shock sensor |
| US6060811A (en) * | 1997-07-25 | 2000-05-09 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Advanced layered composite polylaminate electroactive actuator and sensor |
| CN100397086C (zh) * | 2007-07-09 | 2008-06-25 | 北京信息工程学院 | 新型压电石英加速度计 |
| CN104777330B (zh) * | 2014-01-14 | 2018-04-10 | 北京信息科技大学 | 单岛多电极石英加速度计 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3206626A (en) * | 1962-05-15 | 1965-09-14 | Electra Scient Corp | Accelerometer |
| US3229128A (en) * | 1962-10-16 | 1966-01-11 | Electra Scient Corp | Accelerometer and method of manufacture |
| US3351787A (en) * | 1965-01-11 | 1967-11-07 | Kistler Instr Corp | Accelerometer |
| AT286000B (de) * | 1966-11-16 | 1970-11-25 | Vibro Meter Ag | Piezoelektrischer Meßwertwandler, insbesondere für die Beschleunigungsmessung |
-
1968
- 1968-11-06 AT AT1080668A patent/AT293065B/de not_active IP Right Cessation
-
1969
- 1969-10-31 GB GB53553/69A patent/GB1240408A/en not_active Expired
- 1969-10-31 CH CH1622969A patent/CH501228A/de not_active IP Right Cessation
- 1969-11-03 US US873319A patent/US3569749A/en not_active Expired - Lifetime
- 1969-11-03 DE DE19691955040 patent/DE1955040B2/de active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1240408A (en) | 1971-07-21 |
| CH501228A (de) | 1970-12-31 |
| AT293065B (de) | 1971-09-27 |
| US3569749A (en) | 1971-03-09 |
| DE1955040B2 (de) | 1972-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69111337T2 (de) | Druckmassfühler. | |
| EP0619439B1 (de) | Scheibenbremsbelag mit Sinterreibelementen | |
| DE3026617C2 (de) | Meßanordnung | |
| DE2709834A1 (de) | Kapazitiver druckfuehler | |
| EP0086737A1 (de) | Druck- oder Druckdifferenzmessgerät mit einer vor Überlastung geschützten Drucksensor-Einrichtung | |
| DE1942892A1 (de) | Druckwandler zur Messung von Fluidumdrucken | |
| DE3423711C2 (de) | Meßwertaufnehmer zur Messung heißer Medien, sowie Verfahren zu seiner Montage | |
| DE1955040A1 (de) | Piezoelektrischer Beschleunigungsmesswandler | |
| EP0226742B1 (de) | Druckaufnehmer für Druckmessungen unter hohen Temperaturen | |
| DE1648782A1 (de) | Piezoelektrischer Messwertwandler,insbesondere fuer die Beschleunigungsmessung | |
| DE2812019C2 (de) | Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid | |
| EP0200709B1 (de) | Druckaufnehmer | |
| DE3922331A1 (de) | Gasmessfuehler | |
| DE102018113935A1 (de) | Membrandrucksensor mit Messfeder-Stützrohr und darauf beschichtetem Drucksensor | |
| DE3421149C2 (de) | Druckaufnehmer | |
| DE3109232C2 (de) | Druckgeber | |
| AT258610B (de) | Piezoelektrischer Druckgeber | |
| DE3342248C2 (de) | ||
| DE1573680C3 (de) | Piezoelektrischer Druckgeber | |
| DE1648600A1 (de) | Piezoelektrischer Messwandler | |
| DE1955040C (de) | ||
| AT264156B (de) | Piezoelektrischer Druckgeber | |
| DE3147607C2 (de) | ||
| DE4319197A1 (de) | Druckgeber zur Druckerfassung im Brennraum von Brennkraftmaschinen | |
| DE2028927C3 (de) | Druckmeßwandler |