DE19520627A1

DE19520627A1 - Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium, Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren unter Verwendung eines solchen sowie Herstellverfahren dafür

Info

Publication number: DE19520627A1
Application number: DE19520627A
Authority: DE
Inventors: Junji Hirokane; Hiroyuki Katayama; Akira Takahashi; Kenji Ohta
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1994-07-20
Filing date: 1995-06-06
Publication date: 1996-01-25
Anticipated expiration: 2015-06-07
Also published as: DE19520627B4; JPH0836792A; JP3426034B2; US5932364A

Description

Die Erfindung betrifft (i) ein magnetooptisches Aufzeich nungsmedium wie eine magnetooptische Aufzeichnungsplatte, ein magnetooptisches Aufzeichnungsband, eine magnetooptische Aufzeichnungskarte oder dergleichen, wie in einem magneto optischen Aufzeichnungsgerät zu verwenden, (ii) ein Verfah ren zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Information auf bzw. von einem solchen magnetooptischen Aufzeichnungsmedium, und (iii) ein Verfahren zum Herstellen eines solchen magnetoop tischen Aufzeichnungsmediums.

Magnetooptische Schreibplattenspeicher wurden als über schreibbare optische Speicher praktischer Verwendung zuge führt. Jedoch sind herkömmliche magnetooptische Schreibplat tenspeicher dahingehend von Nachteil, daß sich ihre Abspiel eigenschaften verschlechtern, wenn der Durchmesser eines Aufzeichnungsbits und der Abstand zwischen benachbarten Auf zeichnungsbits kleiner werden als der Durchmesser eines ge bündelten Halbleiterlaserstrahls. Dies, da benachbarte Auf zeichnungsbits in den Fleck des gebündelten Laserstrahls eintreten, was es verhindert, daß jedes Aufzeichnungsbit getrennt von benachbarten Aufzeichnungsbits abgespielt wird.

Um diesen Mangel zu überwinden, schlägt die Veröffentlichung Nr. 4-255941 zu einer japanischen Patentanmeldung eine ma gnetische Superauflösungstechnologie unter Verwendung eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums mit einer Abspiel schicht, einer Hilfsabspielschicht und einer Aufzeichnungs schicht vor. Genauer gesagt, wird dieses magnetooptische Aufzeichnungsmedium vorab so initialisiert, daß die Magneti sierungsrichtung in der Abspielschicht in eine Richtung zeigt, und dann werden die stromaufwärts und stromabwärts in bezug auf einen Lichtstrahlfleck vorhandenen Aufzeichnungs bits durch die Abspielschicht massiert, wodurch jeweils ein Bit unter solchen Bits abgespielt werden kann, die mit en gerer Schrittweite aufgezeichnet sind, als es der Weite des Lichtstrahlflecks entspricht.

Jedoch erfordert die vorstehend genannte Technologie ein Magnetfeld zum Vorabinitialisieren der Magnetisierungsrich tung in der Abspielschicht, was bewirkt, daß die Größe eines Aufzeichnungs- und Wiedergabegeräts zunimmt.

Angesichts des Vorstehenden schlägt die Veröffentlichung Nr. 5-81717 zu einer japanischen Patentanmeldung eine Wieder gabetechnologie mit Superauflösung unter Verwendung eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums mit einer Zweischicht struktur vor, die über folgendes verfügt: (i) eine Lese schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raum temperatur und rechtwinkliger Magnetisierung bei einem Tem peraturanstieg; und (ii) einer Aufzeichnungsschicht, die rechtwinklige Magnetisierung aufweist. Gemäß dieser Techno logie kann jeweils ein Aufzeichnungsbit, dessen Durchmesser kleiner als derjenige eines Laserstrahls ist, getrennt von benachbarten Aufzeichnungsbits abgespielt werden, ohne daß die Abspielschicht initialisiert wird.

Beim Aufzeichnen von Bildinformation oder dergleichen ist ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit sehr großer Spei cherkapazität erwünscht. Bei den vorstehend genannten, her kömmlichen magnetooptischen Aufzeichnungsmedien kann jedoch Information nicht mit so hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie es zum ausreichenden Erhöhen der Aufzeichnungskapazität erforderlich ist.

Es ist eine erste Aufgabe der Erfindung, folgendes zu schaf fen: (i) ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium, dessen Aufzeichnungskapazität erhöht ist, das hervorragende T/R- Eigenschaften aufweist und das für Aufzeichnen mit hoher Dichte geeignet ist; und (ii) ein Verfahren zum Herstellen eines solchen magnetooptischen Aufzeichnungsmediums.

Es ist eine zweite Aufgabe der Erfindung, ein Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren zu schaffen, mit dem Information auf bzw. von einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium mit ho her Dichte und ausgezeichneten T/R-Eigenschaften aufgezeich net bzw. abgespielt werden kann.

Die erste Aufgabe ist hinsichtlich des Aufzeichnungsmediums durch die Lehre von Anspruch 1 gelöst.

Bei dieser Anordnung ist die Weite einer stabilen magneti schen Domäne der Abspielschicht bei Raumtemperatur größer als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne in der Aufzeichnungsschicht. Demgemäß ist beim Abspielen die Weite der stabilen magnetischen Domäne in einem solchen Bereich der Abspielschicht, in den kein Lichtstrahl eingestrahlt wird und in dem die Temperatur nicht erhöht ist, weiter als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeich nungsschicht.

Demgemäß wird, obwohl im vorstehend genannten Bereich, in dem die Temperatur nicht erhöht ist, eine magnetische Domäne durch magnetische Kopplung zwischen der magnetischen Auf zeichnungsdomäne der Aufzeichnungsschicht und der magneti schen Domäne der Abspielschicht eine magnetische Domäne von der Aufzeichnungsschicht auf die Abspielschicht übertragen wird, die an die Abspielschicht übertragene magnetische Do mäne nicht stabil vorhanden und verschwindet daher. Anderer seits wird in demjenigen Bereich der Abspielschicht der mit einem Lichtstrahl beleuchtet wird und in dem die Temperatur einen vorgegebenen Wert überschreitet, die Weite der stabi len magnetischen Domäne der Weite der magnetischen Aufzeich nungsdomäne gleich oder sie ist kleiner. Demgemäß wird im Bereich, in dem die Temperatur den vorgegebenen Wert über schreitet, durch magnetische Kopplung zwischen der magneti schen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeichnungsschicht und der magnetischen Domäne der Abspielschicht eine magnetische Do mäne von der Aufzeichnungsschicht auf die Abspielschicht übertragen. Demgemäß kann in der Abspielschicht eine ab spielbare magnetische Domäne auf stabile Weise ausgebildet werden.

Daher ist es möglich, die Information einer magnetischen Domäne nur aus demjenigen Bereich der Aufzeichnungsschicht, der dem zentralen Bereich des Lichtstrahls entspricht, in dem die Temperatur durch das Einstrahlen des Lichtstrahls den vorgegebenen Wert überschreitet, auf die Abspielschicht zu übertragen bzw. von dieser abzuspielen.

Demgemäß ist es möglich, Information mit hoher Dichte aufzu zeichnen, wie es erforderlich ist, um die Aufzeichnungskapa zität eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums zu erhö hen. Demgemäß kann ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium geschaffen werden, das Bildinformation oder dergleichen auf zeichnen kann, wozu eine große Aufzeichnungskapazität erfor derlich ist.

Ferner kann zwischen der Aufzeichnungsschicht und der Ab spielschicht eine Zwischenschicht vorhanden sein, um die In tensität der magnetischen Kopplung zwischen der Abspiel schicht und der Aufzeichnungsschicht temperaturabhängig zu ändern. So kann unter Verwendung einer transportierenden oder rotierenden Sputtervorrichtung ein magnetisches Auf zeichnungsmedium hergestellt werden, bei dem die Übertragung einer magnetischen Domäne der Aufzeichnungsschicht auf die Abspielschicht nach Bedarf abgeschwächt werden kann und bei dem die magnetische Domäne nur eines erforderlich kleinen Bereichs der Aufzeichnungsschicht an die Abspielschicht übertragen werden kann.

Ferner kann die Curietemperatur der Zwischenschicht auf einen Wert eingestellt werden, der niedriger als die Curie temperatur der Aufzeichnungsschicht ist. Wenn bei einer sol chen Anordnung die Temperatur der Aufzeichnungsschicht auf deren Curietemperatur oder darüber erhöht wird, steigt auch die Temperatur der Zwischenschicht auf deren Curietemperatur oder darüber an, so daß ihre Magnetisierung verschwindet. Demgemäß verhindert die Zwischenschicht dann, wenn ein Auf zeichnungsmagnetfeld an die Aufzeichnungsschicht angelegt wird, die Übertragung der Magnetisierung durch das Magnet feld an die Aufzeichnungsschicht nicht. Dies führt zu einer Verringerung der Intensität des zum Aufzeichnen erforderli chen Magnetfelds.

Die vorstehend genannte zweite Aufgabe ist durch das Auf zeichnungs- und Wiedergabeverfahren gemäß dem beigefügten Anspruch 19 gelöst.

Bei diesem Verfahren überschreitet nur derjenige Bereich der Abspielschicht, der im Zentrum des Lichtstrahls liegt, einen vorgegebenen Wert. Es wird nur die Information eines der mit hoher Dichte aufgezeichneten Bits an die Abspielschicht übertragen und von dieser abgespielt. Dies beschränkt Über sprechen von Aufzeichnungsbits, die an das abgespielte Auf zeichnungsbit angrenzen, was es ermöglicht, daß Information mit hervorragenden T/R-Eigenschaften wiedergegeben wird. Da her ist es möglich, Information auf zufriedenstellende Weise von einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium wiederzuge ben, in dem mit hoher Dichte Information wie Bildinformation aufgezeichnet wurde, wofür große Aufzeichnungskapazität er forderlich ist.

Die obengenannte erste Aufgabe ist hinsichtlich des Her stellverfahrens durch die Lehre von Anspruch 21 gelöst.

Bei diesem Herstellverfahren wird ein Substrat jeweils in der Nähe von Targets vorbeigeführt, wenn die Abspielschicht hergestellt wird und wenn die Aufzeichnungsschicht herge stellt wird. Wenn das Substrat zu jedem der Targets hin und von diesen weg bewegt wird, wird jedes der Sputtermateria lien schräg auf das Substrat aufgebracht. Wenn dagegen das Substrat an einer Position unmittelbar jedem Target gegen überstehend angeordnet ist, wird das Sputtermaterial im we sentlichen rechtwinklig auf das Substrat aufgetragen. So wird das magnetooptische Aufzeichnungsmedium im wesentlichen mit einer Zweischichtstruktur mit einer Abspielschicht und einer Aufzeichnungsschicht hergestellt. Jedoch ist in jeder der Schichten eine nicht meßbare Zusammensetzungsverteilung vorhanden. Daher liegen an der Grenzfläche zwischen der Ab spielschicht und der Aufzeichnungsschicht magnetische Eigen schaften vor, die sich von den mittleren magnetischen Eigen schaften jeder der Schichten unterscheiden. Dies schwächt die magnetische Kopplung zwischen der Abspielschicht und der Aufzeichnungsschicht.

Demgemäß kann die Übertragung einer magnetischen Domäne von der Aufzeichnungsschicht auf die Abspielschicht nach Bedarf eingestellt oder geschwächt werden. So kann eine magnetische Domäne aus nur einem erforderlich kleinen Bereich der Auf zeichnungsschicht auf die Abspielschicht übertragen werden. Daher kann das erfindungsgemäße Herstellverfahren ein magne tooptisches Aufzeichnungsmedium mit großem Speichervermögen schaffen, das für Aufzeichnen mit hoher Dichte geeignet ist.

Diese und andere Merkmale, Aufgaben und Vorteile der Erfin dung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen deutlicher.

Fig. 1 (a) ist eine Draufsicht, die ein Verfahren zum Ab spielen von Information von einem magnetooptischen Aufzeich nungsmedium gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht;

Fig. 1 (b) ist eine Schnittansicht von Fig. 1 (a);

Fig. 2 ist eine Ansicht, die den Aufbau des in den Fig. 1 (a) und (b) dargestellten magnetooptischen Aufzeichnungsme diums veranschaulicht;

Fig. 3 ist ein Kurvendiagramm, das die magnetische Charakte ristik des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums gemäß Fig. 1 (a) und (b) zeigt;

Fig. 4 ist ein Kurvendiagramm, das die Aufzeichnungs- und Abspielcharakteristik des magnetooptischen Aufzeichnungs mediums gemäß Fig. 1 (a) und (b) abhängig von der Markie rungslänge zeigt;

Fig. 5 ist ein Kurvendiagramm, das die Aufzeichnungs- und Abspielcharakteristik des magnetooptischen Aufzeichnungs mediums gemäß Fig. 1 (a) und (b) abhängig von der Abspiel leistung zeigt;

Fig. 6 und Fig. 7 sind Ansichten, die Verfahren zum Herstel len des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums gemäß Fig. 1 (a) und (b) veranschaulichen;

Fig. 8 ist eine Ansicht, die den Aufbau eines magnetoopti schen Aufzeichnungsmediums gemäß einem anderen Ausführungs beispiel der Erfindung veranschaulicht;

Fig. 9 ist ein Kurvendiagramm, das Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums von Fig. 8 veranschaulicht;

Fig. 10 ist ein Kurvendiagramm, das Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften eines magnetooptischen Aufzeichnungsme diums gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht;

Fig. 11 (a) ist eine Draufsicht auf ein Verfahren zum Auf zeichnungen und Abspielen von Information auf bzw. von einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium gemäß noch einem ande ren Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 11 (b) ist eine Schnittansicht zu Fig. 11 (a);

Fig. 12 ist ein Kurvendiagramm, das Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums von Fig. 11 (a) und (b) veranschaulicht;

Fig. 13 bis 15 sind Ansichten, die Verfahren zum Aufzeichnen und Abspielen von Information auf bzw. vom magnetooptischen Aufzeichnungsmedium von Fig. 11 (a) und (b) veranschauli chen;

Fig. 16 (a) ist eine Draufsicht, die ein Verfahren zum Auf zeichnen und Abspielen von Information auf bzw. von einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium gemäß einem noch weite ren Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht;

Fig. 16 (b) ist eine Schnittansicht zu Fig. 16 (a);

Fig. 17 ist ein Kurvendiagramm, das Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums von Fig. 16 (a) und (b) veranschaulicht;

Fig. 18 (a) ist eine Draufsicht, die ein Verfahren zum Auf zeichnen und Abspielen von Information auf bzw. vom magneto optischen Aufzeichnungsmedium von Fig. 16 (a) und (b) veran schaulicht;

Fig. 18 (b) ist eine Schnittansicht zu Fig. 18 (a);

Fig. 19 ist ein Kurvendiagramm, das Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des in Fig. 16 (a) und (b) dargestellten magnetooptischen Aufzeichnungsmediums veranschaulicht;

Fig. 20 (a) ist eine Draufsicht, die ein Verfahren zum Ab spielen von Information von einem herkömmlichen magnetoopti schen Aufzeichnungsmedium veranschaulicht; und

Fig. 20 (b) ist eine Schnittansicht zu Fig. 20 (a).

[Erstes Ausführungsbeispiel]

Die folgende Beschreibung erörtert ein erstes Ausführungs beispiel der Erfindung.

Wie in Fig. 2 dargestellt, verfügt ein magnetooptisches Auf zeichnungsmedium gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel über einen Aufbau, bei dem auf ein Substrat 1 eine transparente dielektrische Schicht 2, eine Abspielschicht 3, eine Auf zeichnungsschicht 4, eine Schutzschicht und eine Überzugs schicht in der genannten Reihenfolge auflaminiert sind. Es ist dafür gesorgt, daß eine Objektivlinse 7 die Abspiel schicht 3 mit einem Lichtstrahl 8 beleuchtet, wodurch Infor mation auf dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium aufge zeichnet und von ihm abgespielt wird.

Fig. 1 (a) und (b) veranschaulichen eine Abspieltechnik mit magnetischer Superauflösung beim magnetooptischen Aufzeich nungsmedium gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel. Zum Ver gleich zeigt Fig. 20 (a) und (b) eine herkömmliche Abspiel technologie mit magnetischer Superauflösung, wie in der Ver öffentlichung Nr. 5-81717 zu einer japanischen Patentanmel dung offenbart.

Zunächst erfolgt eine Beschreibung in Verbindung mit Fig. 20 (a) und (b). Aufzeichnungsbits 201, 202 sind entlang auf einem Substrat ausgebildeten Spuren 203 vorhanden. In diesem Zustand wird ein gebündelter Lichtstrahl 205 auf eine Ab spielschicht 33 gestrahlt, und es entsteht eine Temperatur verteilung 204 in der Abspielschicht 33 und einer Aufzeich nungsschicht 34, die von der Intensitätsverteilung des ge bündelten Lichtstrahls 205 abhängt. Die Abspielschicht 33 weist bei Raumtemperatur in der Ebene liegende Magnetisie rung auf, jedoch rechtwinklige Magnetisierung bei einem Tem peraturanstieg.

Der Kerreffekt, der beim Abspielen eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums genutzt wird, entsteht nur beim Vorlie gen einer Komponente mit rechtwinkliger Magnetisierung. Ge nauer gesagt, ist nur derjenige Bereich des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums rechtwinklig magnetisiert, der vom ge bündelten Lichtstrahl 205 beleuchtet wird, d. h. derjenige Bereich der Abspielschicht 33, der im zentralen Bereich eines Lichtstrahlflecks 206 liegt, wo die Temperatur erhöht ist. So kann ein Abspielsignal aus diesem Bereich der Ab spielschicht 33 erhalten werden, der im zentralen Bereich des Lichtstrahlflecks 206 liegt. Im Ergebnis wird durch ma gnetische Kopplung nur die Magnetisierung dieses Bereichs der Aufzeichnungsschicht 34 des Aufzeichnungsbits 201, der im zentralen Bereich des Lichtstrahlflecks 206 liegt, an die Abspielschicht 33 übertragen. Solche Bereiche der Abspiel schicht 33, die anderen Aufzeichnungsbits 202 als dem Auf zeichnungsbit 201 entsprechen, weisen in der Ebene liegende Magnetisierung auf. Dies ermöglicht es, daß die Information des Aufzeichnungsbits 201 abgespielt wird, wodurch mit hoher Dichte aufgezeichnete Information ausgelesen werden kann.

Jedoch ändert sich der Magnetisierungszustand der Abspiel schicht 33 beim Stand der Technik bei einem Temperaturan stieg allmählich von in der Ebene liegender Magnetisierung auf rechtwinklige Magnetisierung, und es steigt auch die Temperatur der an das Aufzeichnungsbit 201 angrenzenden Auf zeichnungsbits 202 etwas an. Demgemäß befindet sich die Ma gnetisierung der Abspielschicht 33, die benachbarten Auf zeichnungsbits 202 entspricht, in der Mitte einer Magneti sierungsänderung, wobei die Magnetisierungsrichtung schräg steht und eine Komponente mit rechtwinkliger Magnetisierung vorhanden ist.

Dies führt zu einem gleichzeitigen Abspielen der Komponenten rechtwinkliger Magnetisierung von den benachbarten Aufzeich nungsbits 202 her, zusammen mit dem Abspielen der Informa tion vom Aufzeichnungsbit 201. Dies verhindert, daß das Ab spielsignal vom Aufzeichnungsbit 201 vollständig von Signa len von benachbarten Aufzeichnungsbits 202 getrennt ist.

Beim magnetooptischen Aufzeichnungsmedium gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel wird die Stabilität der magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 so verwendet, daß die Informa tion eines abzuspielenden Aufzeichnungsbits 101 völlig ge trennt von der Information von jedem der benachbarten Auf zeichnungsbits 102 erfaßt wird, wie durch Fig. 1 (a) und (b) veranschaulicht. So wird eine magnetische Superauflösungs technologie erzielt. In den Fig. 1 (a) und (b) sind die Auf zeichnungsbits 101, 102 entlang Spuren 103 aufgezeichnet, die entsprechend wie in den Fig. 20 (a) und (b) auf dem Sub strat ausgebildet sind. In diesem Zustand wird ein gebündel ter Lichtstrahl auf die Abspielschicht 3 gestrahlt, und es entsteht eine Temperaturverteilung 104 in dieser, wie auch in der Aufzeichnungsschicht 4, abhängig von der Intensitäts verteilung des gebündelten Lichtstrahls 105. Die Abspiel schicht 3 und die Aufzeichnungsschicht 4 sind so ausgebil det, daß die Weite einer stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 bei Raumtemperatur größer ist als die Weite einer magnetischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeichnungs schicht 4 und daß mit einem Anstieg der Temperatur auf einen vorgegebenen Wert die Weite der stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 der Weite der magnetischen Aufzeich nungsdomäne der Aufzeichnungsschicht 4 entspricht oder klei ner ist.

Demgemäß entspricht im zentralen Bereich eines Lichtstrahl flecks 106, in dem die Temperatur den vorgegebenen Wert überschreitet, die Weite der stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 die Weite der magnetischen Aufzeich nungsdomäne der Aufzeichnungsschicht 4 oder ist kleiner. So wird in der Abspielschicht 3 eine abspielbare magnetische Domäne auf stabile Weise ausgebildet. Das heißt, daß die ab spielbare magnetische Domäne so ausgebildet wird, daß die magnetische Aufzeichnungsdomäne der Aufzeichnungsschicht 4 mit der magnetischen Domäne der Abspielschicht magnetisch gekoppelt ist, wodurch die Information des Aufzeichnungsbits 101 der Aufzeichnungsschicht 4 auf die Abspielschicht 3 übertragen wird.

Andererseits ist in anderen Bereichen des Lichtstrahlflecks 106, in denen die Temperatur nicht den vorgegebenen Wert überschritten hat, die Weite einer stabilen magnetischen Do mäne der Abspielschicht 3 größer als die Weite einer magne tischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeichnungsschicht 4. Dem gemäß befindet sich, obwohl die Information jedes Aufzeich nungsbits 102 der Aufzeichnungsschicht 4 durch magnetische Kopplung an die Abspielschicht 3 übertragen wird, die in der Abspielschicht 3 durch eine solche Übertragung ausgebildete magnetische Domäne nicht in stabilem Zustand oder sie ver schwindet. Demgemäß wird die Information der Aufzeichnungs bits 102 nicht an diejenigen Bereiche der Abspielschicht 3 übertragen, die diesen Aufzeichnungsbits 102 entsprechen. Demgemäß sind diese Bereiche der Abspielschicht 3, die den Aufzeichnungsbits 102 entsprechen, in derjenigen Richtung magnetisiert, die mit der Magnetisierungsrichtung der Umge bung der Aufzeichnungsbits 102 übereinstimmt, d. h. in der Richtung entgegengesetzt zur Magnetisierungsrichtung der Aufzeichnungsbits 102.

Wie erörtert wird an die Abspielschicht 3 nur die Informa tion der magnetischen Domäne des Aufzeichnungsbits 101 in der Mitte des Lichtstrahlflecks 106 übertragen, in der der Temperaturanstieg wegen des Einstrahlens eines Lichtstrahls den vorgegebenen Wert übersteigt. So kann die Information des abgespielten Aufzeichnungsbits 101 vollständig getrennt von der Information jedes der benachbaren Aufzeichnungsbits 102 erfaßt werden. Demgemäß kann Information mit so hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie es zum Erhöhen der Auf zeichnungskapazität erforderlich ist. Demgemäß kann ausrei chend Bildinformation oder dergleichen aufgezeichnet werden, wozu ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit großem Spei chervermögen erforderlich ist.

Die folgende Beschreibung erörtert ein Verfahren zum Her stellen eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums mit dem vorstehend genannten Aufbau.

Ein aus Polycarbonat bestehendes Substrat 1 mit vorab ausge bildeten Gräben und Pits wird in einer transportierenden Sputtervorrichtung mit drei Targets aus Al, einer GdFeCo- Legierung bzw. einer DyFeCo-Legierung auf einem Halter ange ordnet. Die Sputtervorrichtung wird auf 1 × 10^-6 Torr (1 Torr = 1,33 hPa) evakuiert, und dann wird ein Mischgas aus Argon und Stickstoff eingeleitet, und es wird elektri sche Spannung an das Al-Target angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr wird der Halter mit dem darauf angeordne ten Substrat 1 verstellt und am Al-Target vorbeibewegt, um eine transparente dielektrische Schicht 2 aus AlN herzustel len. Um die Abspieleigenschaften zu verbessern, wird die Dicke der transparenten dielektrischen Schicht 2 auf unge fähr einen Wert eingestellt, wie er dadurch erhalten wird, daß 1/4 der Wellenlänge des Abspiellichts durch den Bre chungsindex der Schicht 2 geteilt wird. Wenn nun angenommen wird, daß die Wellenlänge des Abspiellichts 680 nm beträgt, reicht es aus, daß die Dicke der Schicht 2 ungefähr 10 nm bis 68 nm beträgt. Beim ersten Ausführungsbeispiel ist die Dicke der Schicht 2 auf 50 nm eingestellt.

Nachdem die Sputtervorrichtung erneut auf 1 × 10^-6 Torr eva kuiert wurde, wurde erneut Argongas eingeleitet, und es wird elektrische Spannung an das Target mit der GdFeCo-Legierung angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr wird der Hal ter mit dem darauf angeordneten Substrat 1 verstellt, um eine Abspielschicht 3 aus Gd_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78 mit einer Dicke von 50 nm herzustellen. Im Vergleich mit der Kompensa tionszusammensetzung weist die so hergestellte Abspiel schicht 3 eine ÜM(Übergangsmetall)-reiche Zusammensetzung auf, die immer mehr Übergangsmetall als SE(Seltenerd)-Metall enthält. Diese Abspielschicht 3 weist einen Curiepunkt von 420°C auf.

Dann wird das Anlegen elektrischer Spannung an das Target aus der GdFeCo-Legierung beendet, und es wird elektrische Spannung an das Target aus der DyFeCo-Legierung angelegt. Unter denselben Bedingungen, wie vorstehend angegeben, wird eine Aufzeichnungsschicht 4 aus Dy_0,23(Fe_0,78Co_0,22)_0,77 mit einer Dicke von 50 nm hergestellt. Diese Aufzeichnungs schicht 4 weist rechtwinklige Magnetisierung auf, mit einem Kompensationspunkt ungefähr bei Raumtemperatur. Die Auf zeichnungsschicht 4 verfügt über einen Curiepunkt von 200°C.

Dann wird ein Mischgas aus Argon und Stickstoff in die Sput tervorrichtung eingeleitet, und elektrische Spannung wird an das Al-Target angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr wird auf ähnliche Weise wie oben angegeben eine Schutz schicht 5 aus AlN hergestellt. Es reicht aus, daß die Dicke der Schutzschicht 5 so eingestellt ist, daß die magnetischen Schichten gegen Korrosion, wie Oxidation oder dergleichen, geschützt sind. Beim ersten Ausführungsbeispiel beträgt die Dicke der Schutzschicht 5 20 nm.

Dann wird ein durch Ultraviolettstrahlung oder wärmehärtba res Harz durch Schleuderbeschichtung auf die Schutzschicht 5 aufgetragen, und Ultraviolettstrahlung wird auf die Harz schicht gestrahlt oder sie wird erwärmt, um dadurch eine Überzugsschicht 6 herzustellen.

Auch wurde als Probe ein magnetooptisches Aufzeichnungsme dium hergestellt, bei dem nur eine Abspielschicht 3 und eine Schutzschicht 5 vorhanden sind, die auf ähnliche Weise wie vorstehend beschrieben ausgebildet wurden. Fig. 3 zeigt die Temperaturabhängigkeit der Weite einer stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 bei diesem Beispiel. Aus Fig. 3 ist erkennbar, daß die Weite der stabilen magnetischen Domä ne mit ansteigender Temperatur kleiner wird. Es ist auch erkennbar, daß eine magnetische Domäne mit nur 0,5 µm bei Raumtemperatur in der Abspielschicht 3 nicht stabil ist, daß aber eine derartige kleine magnetische Domäne stabil vorhan den ist, wenn die Temperatur einen vorgegebenen Wert über schreitet, der beim Beispiel ungefähr 80°C beträgt.

Das beim ersten Ausführungsbeispiel hergestellte magnetoop tische Aufzeichnungsmedium wurde hinsichtlich Aufzeichnungs- und Abspieleigenschaften untersucht. Fig. 4 zeigt die Abhän gigkeit des T/R(Trägersignal/Rauschsignal)-Verhältnisses TRV von der Markierungslänge im magnetooptischen Aufzeichnungs medium des ersten Ausführungsbeispiels. Nachdem die Magneti sierung der Aufzeichnungsschicht 4 in einer Richtung ausge richtet wurde, wurde Laserlicht mit einer Leistung von 6 mW impulsförmig auf das magnetooptische Aufzeichnungsmedium ge strahlt, dessen Lineargeschwindigkeit auf 5 m/s eingestellt war, wobei die Intensität eines Aufzeichnungsmagnetfelds auf 75 kA/m eingestellt war. Dadurch wurden Aufzeichnungsbits mit verschiedenen Markierungslängen ausgebildet, wobei die Abstände jeweils das Doppelte jeder Markierungslänge aus machten. Dann wurden die TRV-Werte mit einer Abspiellaser leistung von 2 mW gemessen. Zum Vergleich wurde auf ähnliche Weise auch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit der in den Fig. 20 (a) und (b) dargestellten Anordnung als Ver gleichsbeispiel 1 gemessen, bei dem Gd_0,26(Fe_0,82Co_0,18)_0,74 als Abspielschicht 33 verwendet war. Die Meßergebnisse sind ebenfalls in Fig. 4 dargestellt.

Beim Vergleichsbeispiel 1 dringt die Information aus jedem benachbarten Aufzeichnungsbit 202 in die Information des ab zuspielenden Aufzeichnungsbits 201 ein. Beim ersten Ausfüh rungsbeispiel haben diejenigen Bereiche der Abspielschicht 3, die den benachbarten Aufzeichnungsbits 102 entsprechen, genau gleiche Magnetisierungsrichtung wie die Umgebung. Dem gemäß tritt keine Information aus den benachbarten Aufzeich nungsbits 102 in die Information des abzuspielenden Auf zeichnungsbits 101 ein. Demgemäß konnten in einem Bereich, in dem die Markierungslänge kürzer ist, viel höhere TRV-Wer te als beim Vergleichsbeispiel 1 erzielt werden.

Aus Fig. 4 ist erkennbar, daß das magnetooptische Aufzeich nungsmedium gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel einen guten TRV-Wert von 35 dB für Aufzeichnungsbits mit einer Markie rungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm liefert. Diese TRV-Messungen erfolgten mit einem op tischen System unter Verwendung eines Lasers mit einer Wel lenlänge von 830 nm. Bei üblichen Aufzeichnungsbits, die mit einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungs schrittweite von 0,6 µm aufgezeichnet sind, kann ein abzu spielendes Aufzeichnungsbit nicht vollständig von benachbar ten Aufzeichnungsbits getrennt werden. Genauer gesagt, hat TRV für in üblicher Weise aufgezeichnete Bits mit einer Mar kierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm den Wert null. Die Tatsache, daß sich bei diesem Zustand ein TRV ergibt, bedeutet, daß sich beim ersten Aus führungsbeispiel der Effekt magnetischer Superauflösung ein stellte.

Fig. 5 zeigt die Abhängigkeit des TRV von der Abspiellei stung für Aufzeichnungsbits, die mit einer Markierungslänge von 0,5 µm und einer Markierungsschrittweite von 1,0 µm aus gebildet sind. Beim Vergleichsbeispiel ändert sich die Ma gnetisierungsrichtung allmählich von in der Ebene liegender Magnetisierung auf rechtwinklige Magnetisierung. Demgemäß nimmt das TRV mit ansteigender Abspielleistung allmählich zu. Andererseits nimmt das TRV beim ersten Ausführungsbei spiel bei einer Abspielleistung von ungefähr 1,4 mW plötz lich zu. Genauer gesagt, erfolgt ein derartiger plötzlicher Anstieg des TRV, da nur ein Aufzeichnungsbit an die Abspiel schicht 3 übertragen wird, wenn die Temperatur der Abspiel schicht 3 bei einem Erhöhen der Abspielleistung so weit zu genommen hat, daß die Weite der stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 kleiner als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne wird.

In der Zone mit niedriger Leistung zeigt sich ein gewisses TRV. Dies, da durch die Abspielschicht 3 hindurchstrahlendes Licht Signale von Aufzeichnungsbits in der Aufzeichnungs schicht 4 abspielt.

Demgemäß kann beim ersten Ausführungsbeispiel ein Signal so lange nicht zufriedenstellend abgespielt werden, als nicht die Abspielleistung auf einen Wert eingestellt ist, der nicht kleiner als die Leistung ist, bei der ein Aufzeich nungsbit übertragen werden kann. Anders gesagt, ist es er forderlich, die Abspielleistung auf einen Wert einzustellen, bei dem die Temperatur der Abspielschicht 3 so weit erhöht werden kann, daß die Weite der stabilen magnetischen Domäne kleiner wird als die Weite der magnetischen Aufzeichnungs domäne.

Ferner sinkt dann, wenn die Abspielleistung weiter erhöht wird, das TRV plötzlich ab. Dies, da die Übertragung von Aufzeichnungsbits auch für benachbarte Aufzeichnungsbits er folgt. Beim magnetooptischen Aufzeichnungsmedium des ersten Ausführungsbeispiels darf die Abspielleistung nicht kleiner sein als derjenige Wert, durch den ein abzuspielendes Auf zeichnungsbit an die Abspielschicht 3 übertragen werden kann; und die Abspielleistung muß noch kleiner sein als der Wert, bei dem die Übertragung irgendeines benachbarten Auf zeichnungsbits beginnt. Daher ist es möglich, nur diejenige Information auf die Abspielschicht 3 zu übertragen und von ihr abzuspielen, die der magnetischen Domäne der Aufzeich nungsschicht 4 im zentralen Abschnitt des Lichtstrahls ent spricht, in dem die Temperatur durch das Einstrahlen eines Lichtstrahls einen vorgegebenen Wert überschritten hat. Dem gemäß kann Information mit so hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie es zum Erhöhen der Aufzeichnungskapazität erfor derlich ist. Demgemäß kann ausreichend Bildinformation oder dergleichen aufgezeichnet werden, wofür ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit großem Speichervermögen erforderlich ist.

Unter Verwendung einer rotierenden Sputtervorrichtung wurde auch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit einer Ab spielschicht und einer Aufzeichnungsschicht als Vergleichs beispiel 2 hergestellt, mit demselben Aufbau wie beim ersten Ausführungsbeispiel. Es wurde die Abhängigkeit des TRV von der Markierungslänge beim so hergestellten magnetooptischen Aufzeichnungsmedium gemessen. Die Meßergebnisse sind in Fig. 4 dargestellt. Beim Vergleichsergebnis 2 ist kein Effekt mit magnetischer Superauflösung erzielt, und das TRV nimmt plötzlich ab, wenn die Markierungslänge verkürzt wird, ähn lich wie bei einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium mit nur einer Aufzeichnungsschicht. Das bedeutet, daß bei einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium mit ähnlichem Aufbau wie beim ersten Ausführungsbeispiel, das jedoch unter Ver wendung einer rotierenden Sputtervorrichtung hergestellt wurde, die Information von Aufzeichnungsbits 102 an die Ab spielschicht übertragen wurde, so daß Information eines ab zuspielenden Aufzeichnungsbits 101 nicht getrennt von der Information benachbarter Aufzeichnungsbits 102 abgespielt werden konnte.

Die Fig. 6 und 7 veranschaulichen den Unterschied zwischen magnetischen Schichten, wie sie unter Verwendung einer transportierenden und einer rotierenden Sputtervorrichtung hergestellt wurden. Der Einfachheit halber erörtert die fol gende Beschreibung nur Schritte zum Herstellen einer Ab spielschicht und einer Aufzeichnungsschicht.

Beim transportierenden Typ wird ein an einem Halter befe stigtes Substrat 1 in einer Richtung von einer Position 701 durch eine Position 702 zu einer Position 703 an einem Tar get 709 aus einer GdFeCo-Legierung vorbeibewegt, um dadurch eine Abspielschicht herzustellen. Dann wird das Substrat 1 zum Herstellen einer Aufzeichnungsschicht in einer Richtung von einer Position 704 über eine Position 705 in eine Posi tion 706 an einem Target 710 aus einer DyFeCo-Legierung vor bei transportiert.

Wenn die Ausbildung der Abspielschicht betrachtet wird, ist es ersichtlich, daß Zustandsunterschiede zwischen der Posi tion 702 und jeder der Positionen 701 und 703 bestehen. Ge nauer gesagt, steht das Substrat 1 in der Position 702 dem Target 709 aus der GdFeCo-Legierung genau gegenüber, so daß GdFeCo horizontal auf dem Substrat 1 ausgebildet wird. An dererseits liegt das Substrat 1 in jeder der Positionen 701 und 703 entfernt vom Target 709 aus einer GdFeCo-Legierung, so daß GdFeCo schräg auf dem Substrat 1 ausgebildet wird.

Das Vorstehende gilt auch entsprechend hinsichtlich des Tar gets 710 aus einer DyFeCo-Legierung, das zum Herstellen der Aufzeichnungsschicht verwendet wird.

Demgemäß hat ein mit einer transportierenden Sputtervorrich tung hergestelltes magnetooptisches Aufzeichnungsmedium zwar im wesentlichen eine Zweischichtstruktur aus einer Abspiel schicht und einer Aufzeichnungsschicht, jedoch ist in derar tigen Schichten eine nicht meßbare Zusammensetzungsvertei lung vorhanden. Das heißt, daß an der Grenzfläche zwischen der Abspielschicht und der Aufzeichnungsschicht magnetische Eigenschaften vorliegen, die sich von den mittleren magneti schen Eigenschaften jeder der Schichten unterscheiden. Dies schwächt die magnetische Kopplung zwischen der Abspiel schicht und der Aufzeichnungsschicht wesentlich. Daher ist es möglich, Übertragungsvorgänge so zu steuern, daß die Übertragung einer magnetischen Domäne aus der Aufzeichnungs schicht in die Abspielschicht nach Bedarf unterdrückt ist, z. B. wenn die Temperatur niedrig ist. Im Ergebnis tritt eine Übertragung von Information ausgehend von der Aufzeich nungsschicht kaum in einem anderen Bereich als demjenigen der Aufzeichnungsschicht auf, der dem mittleren Bereich eines Lichtstrahls entspricht. Daher ist es möglich, an die Abspielschicht nur die magnetische Domäne aus einem erfor derlich kleinen Bereich der Aufzeichnungsschicht zu übertra gen, d. h. nur aus demjenigen Bereich der Aufzeichnungs schicht, der dem mittleren Bereich eines Lichtstrahls ent spricht. So kann der Effekt des Verhinderns des Eindringens von Störsignalen weiter dadurch verbessert werden, daß die Zusammensetzung der Abspielschicht 3 so ausgewählt wird, daß die Weite einer stabilen magnetischen Domäne in ihr bei einem Temperaturanstieg kleiner wird, wobei durch die Ver wendung einer transportierenden Sputtervorrichtung die ma gnetische Kopplung bei Raumtemperatur verringert wird.

Unter Verwendung einer rotierenden Sputtervorrichtung wird dagegen ein an einem Halter befestigtes Substrat 1 in einer Position 707 einem Target 709 aus einer GdFeCo-Legierung gegenüberstehend gedreht, um eine Abspielschicht herzustel len. Dann wird das Substrat 1 zum Herstellen einer Abspiel schicht an einer Position 708 gedreht, die einem Target 710 aus einer DyFeCo-Legierung gegenübersteht. So ist weder in der Abspielschicht noch der Aufzeichnungsschicht eines mit einer rotierenden Sputtervorrichtung hergestellten magneto optischen Aufzeichnungsmediums eine unregelmäßige Zusammen setzung vorhanden. Demgemäß ist die magnetische Kopplung zwischen der Abspiel- und der Aufzeichnungsschicht stark.

Wie erörtert, zeigt das magnetooptische Aufzeichnungsmedium des ersten Aufzeichnungsbeispiels den Effekt magnetischer Superauflösung, da magnetische Domänen in der Abspielschicht stabil sind und da die Abspielschicht und die Aufzeichnungs schicht mit geeigneter Stärke magnetisch miteinander gekop pelt sind. Ferner kann ein magnetooptisches Aufzeichnungs medium für Aufzeichnungsvorgänge mit hoher Dichte und mit hohem TRV mit einer transportierenden Sputtervorrichtung hergestellt werden, wodurch die magnetische Kopplung zwi schen der Abspiel- und der Aufzeichnungsschicht geschwächt werden kann, jedoch kann kein entsprechendes magnetoopti sches Aufzeichnungsmedium mit einer rotierenden Sputtervor richtung hergestellt werden, in welchem Fall eine starke magnetische Kopplung zwischen der Abspiel- und der Aufzeich nungsschicht erzielt wird.

Beim ersten Ausführungsbeispiel ist als Material für die Ab spielschicht bei der Erfindung GdFeCo erörtert, von dem an genommen wird, daß es die besten Abspieleigenschaften er gibt. Gemäß dem Grundgedanken der Erfindung besteht für das Material der Abspielschicht jedoch keine Beschränkung auf GdFeCo. Neben GdFeCo kann als Material, bei dem sich die Weite einer stabilen magnetischen Domäne mit einem Tempera turanstieg ändert, eine andere Seltenerdmetall-Übergangs metall-Legierung verwendet werden, wie TbFeCo, DyFeCo, HoFeCo, GdTbFeCo, GdDyFeCo, GdHoFeCo oder dergleichen.

Ferner besteht der Trend, einen Halbleiterlaser als Licht quelle mit kürzerer Wellenlänge zu verwenden. Wenn zur Ab spielschicht eine Spurenmenge mindestens eines der Elemente Nd, Pt, Pr und Pd hinzugefügt wird, kann der Winkel der po laren Kerr-Rotation für Licht kurzer Wellenlänge erhöht wer den, ohne daß sich die Eigenschaften verschlechtern, die die Abspielschicht aufweisen muß. Demgemäß kann selbst beim Ver wenden eines Lasers mit kurzer Wellenlänge ein Abspielsignal hoher Qualität erhalten werden.

Ferner ist beim ersten Ausführungsbeispiel DyFeCo als Mate rial für die Aufzeichnungsschicht bei der Erfindung erör tert. Gemäß dem Grundgedanken der Erfindung besteht jedoch für das Material der Aufzeichnungsschicht keine Beschränkung auf DyFeCo. Neben DyFeCo können Materialien verwendet wer den, wie sie für herkömmliche magnetooptische Platten ver wendet werden, d. h. Seltenerdmetall-Übergangsmetall-Legie rungen, wie TbFeCo, GdDyFe, GdTbFeCo, GdDyFeCo oder derglei chen.

Ferner kann die Beständigkeit jeder Schicht gegen Umgebungs einflüsse dadurch verbessert werden, daß sowohl zur Abspiel- als auch zur Aufzeichnungsschicht beim ersten Ausführungs beispiel eine Spurenmenge mindestens eines der Elemente Cr, V, Nb, Mn, Be und Ni zugesetzt wird. Genauer gesagt, verhin dert ein derartiger Zusatz, daß sich die Eigenschaften jeder Schicht wegen Oxidation des Materials verschlechtern, zu der es durch das Eindringen von Feuchtigkeit oder Sauerstoff kommt, um dadurch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit ausgezeichneter Langzeitzuverlässigkeit zu schaffen.

Ferner wurde beim ersten Ausführungsbeispiel AlN als Mate rial für die transparente dielektrische Schicht und die Schutzschicht bei der Erfindung erörtert. Jedoch besteht für das Material dieser Schichten keine Beschränkung auf AlN. Die transparente dielektrische Schicht soll nur durch Licht interferenz den Kerreffekt unterstützen, und sie soll das Eindringen von Sauerstoff oder Feuchtigkeit von außen ver hindern. Es kann eine transparente dielektrische Schicht aus SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiN, TiON, BN, TiO₂, BaTiO₃, SrTiO₃, ZnS oder dergleichen, neben AlN, verwendet werden. Unter diesen enthalten SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiN, BN und ZnS keinen Sauerstoff als Bestandteil. Demgemäß kann un ter Verwendung jeder dieser Verbindungen ein magnetoopti sches Aufzeichnungsmedium geschaffen werden, das besonders feuchtigkeitsbeständig ist. Andererseits muß die Schutz schicht nur das Eindringen von Sauerstoff oder Feuchtigkeit von außen verhindern. So kann als Schutzschicht eine un durchsichtige Schicht aus Cr, Ta oder dergleichen verwendet werden, welche Materialien ausgezeichnete Feuchtigkeitsbe ständigkeit haben, neben den Materialien der transparenten dielektrischen Schicht.

Beim magnetooptischen Aufzeichnungsmedium des ersten Ausfüh rungsbeispiels kann z. B. eine Wärmefreisetzschicht aus Al mit einer Dicke von ungefähr 100 nm zwischen die Aufzeich nungsschicht 4 und der Schutzschicht 5 oder zwischen der Schutzschicht 5 und der Überzugsschicht 6 vorhanden sein. Bei einer solchen Anordnung kann Wärme, wie sie im magneto optischen Aufzeichnungsmedium bei einem Aufzeichnungsvorgang entsteht, in der Dickenrichtung freigesetzt werden. Dies verringert die Wärmeausbreitung in der Richtung der Schicht fläche, so daß die Temperaturverteilung im magnetooptischen Aufzeichnungsmedium steiler wird. Dies ermöglicht es, Auf zeichnungsbits mit gleichmäßigerer Form zu erzeugen. Als Ma terial für die Wärmefreisetzschicht kann ein solches verwen det werden, bei dem die Wärmeleitfähigkeit größer als die der Aufzeichnungsschicht ist. So wird vorzugsweise ein Mate rial wie Au, Ag, Cu, SUS, Ta, Cr oder dergleichen verwendet.

[Zweites Ausführungsbeispiel]

Im folgenden wird ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfin dung erörtert. Der Einfachheit halber sind solche Teile beim zweiten Ausführungsbeispiel, die mit solchen beim ersten Ausführungsbeispiel übereinstimmen, mit denselben Bezugszah len versehen, und eine detaillierte Beschreibung zu ihnen wird weggelassen.

Wie in Fig. 8 dargestellt, verfügt ein magnetooptisches Auf zeichnungsmedium gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel über eine Anordnung, bei der eine transparente dielektrische Schicht 2, eine Abspielschicht 3, eine Zwischenschicht 9, eine Aufzeichnungsschicht 4, eine Schutzschicht 5 und eine Überzugsschicht 6 in dieser Reihenfolge auf ein Substrat 1 auflaminiert sind. Die Zwischenschicht 9 verfügt über in der Ebene liegende Magnetisierung, und sie ist vorhanden, um die magnetische Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 zwangsweise zu steuern.

Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium des zweiten Ausfüh rungsbeispiels wurde auf die folgende Weise hergestellt.

Ein Substrat 1 aus einem Polycarbonat, in dem vorab Gräben und Pits ausgebildet waren, wurde auf einem Halter in eine rotierende Sputtervorrichtung mit fünf Targets aus Al, Gd, Fe, Co bzw. Dy eingesetzt. Nachdem die Sputtervorrichtung auf 1 × 10^-6 Torr evakuiert war, wurde ein Mischgas aus Ar gon und Stickstoff eingeleitet, und es wurde elektrische Spannung an das Al-Target angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr und einer Sputtergeschwindigkeit von 12 nm/min wurde der Halter mit dem darauf befindlichen Substrat 1 ge dreht, um eine transparente dielektrische Schicht 2 aus AlN herzustellen. Um die Abspieleigenschaften zu verbessern, wurde die Dicke der transparenten dielektrischen Schicht 2 ungefähr auf einen Wert eingestellt, wie er dadurch erhalten wird, daß 1/4 der Wellenlänge des Abspiellichts durch den Brechungsindex der Schicht 2 geteilt wird. Wenn nun angenom men wird, daß die Wellenlänge des Abspiellichts 680 nm be trägt, reicht es aus, die Dicke der Schicht 2 im Bereich von ungefähr 10 nm bis ungefähr 68 nm einzustellen. Beim zweiten Ausführungsbeispiel war die Dicke der Schicht 2 auf 50 nm eingestellt.

Dann wurde, nachdem die Sputtervorrichtung erneut auf 1 × 10^-6 Torr evakuiert war, Argon in sie eingeleitet, und es wurde elektrische Spannung an die Targets aus Gd, Fe und Co angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr und einer Sputtergeschwindigkeit von 15 nm/min wurde eine Abspiel schicht 3 aus Gd_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78 mit einer Dicke von 50 nm hergestellt. Die so hergestellte Abspielschicht 3 hat te ÜM-reiche Zusammensetzung, in der das Konzentrationsver hältnis von Übergangsmetall zu SE-Metall größer war, als es einer Kompensationszusammensetzung entspricht. Diese Ab spielschicht 3 wies einen Curiepunkt von 420°C auf.

Dann wurde die an jedes der Targets anzulegende elektrische Spannung eingestellt, und es wurde bei ähnlichen Bedingungen wie den vorstehend genannten eine Zwischenschicht 9 aus Gd_0,42(Fe_0,60Co_0,40)_0,58 mit einer Dicke von 10 nm mit in der Ebene liegender Magnetisierung hergestellt.

Dann wurde das Anlegen elektrischer Spannung an das Gd-Tar get beendet, und elektrische Spannung wurde an das Dy-Target angelegt. Bei ähnlichen Bedingungen wie den oben genannten wurde eine Aufzeichnungsschicht 4 aus Dy_0,23(Fe_0,78Co_0,22)_0,77 mit einer Dicke von 50 nm herge stellt. Diese Aufzeichnungsschicht 4 hatte rechtwinklige Magnetisierung mit einem Kompensationspunkt ungefähr bei Raumtemperatur. Die Aufzeichnungsschicht 4 wies einen Curie punkt von 200°C auf.

Dann wurde in die Sputtervorrichtung ein Mischgas aus Argon und Stickstoff eingeleitet, und elektrische Spannung wurde an das Al-Target angelegt. Bei einem Gasdruck von 4 × 10^-3 Torr und einer Sputtergeschwindigkeit von 12 nm/min wurde auf ähnliche Weise wie oben angegeben eine Schutzschicht 5 aus AlN hergestellt. Es reicht aus, daß die Dicke der Schutzschicht 5 so eingestellt wird, daß die magnetischen Schichten gegen Korrosion geschützt sind, wie Oxidation oder dergleichen. Beim zweiten Ausführungsbeispiel war die Dicke der Schicht 5 auf 20 nm eingestellt. Auf ähnliche Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel wurde eine Überzugsschicht 6 hergestellt.

Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium wurde hinsichtlich der Abhängigkeit des TRV von der Markierungslänge unter sucht wie beim ersten Ausführungsbeispiel. Fig. 9 zeigt die Ergebnisse einer solchen Untersuchung. Entsprechend wie beim ersten Ausführungsbeispiel wurden hohe TRV-Werte selbst in einer Zone erhalten, in der die Markierungslänge kurz ist. Genauer gesagt, wurde ein TRV von 33 dB erzielt, wenn Auf zeichnungsbits mit einer Markierungslänge von 0,3 µm mit einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm hergestellt wurden und dann mit einer Abspielleistung von 2 mW abgespielt wur den. Dies bedeutet, daß das zweite Ausführungsbeispiel zu guten Abspieleigenschaften führt, entsprechend denen beim ersten Ausführungsbeispiel.

Beim magnetooptischen Aufzeichnungsmedium mit dem vorstehend angegebenen Aufbau steuert die Zwischenschicht 9 zwangsweise die magnetische Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4. Selbst wenn die Grenzfläche zwi schen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 eine Zustandsänderung erfährt, übt demgemäß eine solche Än derung auch einen Einfluß auf die Übertragung einer magneti schen Domäne von der Aufzeichnungsschicht 4 auf die Abspiel schicht 3 aus.

Dabei kann, obwohl anstelle einer transportierenden eine ro tierende Sputtervorrichtung verwendet wird, die Übertragung einer magnetischen Domäne von der Aufzeichnungsschicht 4 auf die Abspielschicht 3 nach Bedarf abgeschwächt oder gesteuert werden. So kann die magnetische Domäne nur eines erforderli chen kleinen Bereichs der Aufzeichnungsschicht 4 auf die Ab spielschicht 3 übertragen werden. Demgemäß kann Information mit so hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie es zum Erhöhen der Aufzeichnungskapazität erforderlich ist. Demgemäß kann Bildinformation oder dergleichen ausreichend aufgezeichnet werden, wozu ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit gro ßem Speichervermögen erforderlich ist.

In der folgenden Beschreibung werden Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums mit der vorstehend angegebenen Anordnung erörtert.

Tabelle 1 zeigt die Ergebnisse von Messungen von TRV-Werten für Aufzeichnungsbits mit jeweils einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm bei ma gnetooptischen Aufzeichnungsmedien gemäß dem zweiten Ausfüh rungsbeispiel, wobei die Abspielschicht 3 jeweils dieselbe Zusammensetzung aufweist, die Zwischenschicht 9 jeweils die selbe Zusammensetzung aufweist und die Aufzeichnungsschicht 4 jeweils dieselbe Zusammensetzung aufweist, aber diese Schichten verschiedene Dicken haben. Die Messungen wurden mit einem optischen System unter Verwendung eines Lasers mit einer Wellenlänge von 830 nm ausgeführt. Die Tatsache, daß, wie in Tabelle 1 dargestellt, einige TRV-Werte für Bits er halten wurden, die auf übliche Weise mit einer Markierungs länge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm aufgezeichnet wurden, bedeutet, daß der Effekt magne tischer Superauflösung erzielt war. In der Tabelle 1 ist die Markierung o in der Spalte für die Abspieleigenschaften für jedes Medium eingesetzt, das die auszeichnenden Abspiel eigenschaften gemäß der Erfindung aufweist, d. h. einen plötzlichen Anstieg des TRV mit einem Anstieg der Abspiel leistung, ähnlich der Abhängigkeit des TRV von der Abspiel leistung, wie in Fig. 5 in Verbindung mit dem ersten Ausfüh rungsbeispiel dargestellt.

Aus der Tabelle 1 ist erkennbar, daß die Dicke der Abspiel schicht 3 nicht kleiner als 10 nm sein darf. Wenn die Dicke der Abspielschicht 3 kleiner als 10 nm ist, verringert sich die Menge des durch die Abspielschicht 3 reflektierten Lichts, so daß Information hauptsächlich durch Licht abge spielt wird, das durch die Abspielschicht 3 gedrungen ist und an der Aufzeichnungsschicht 4 reflektiert wurde. Dies erschwert es, den Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung zu erzielen. Dagegen besteht für die Dicke der Abspiel schicht 3 keine obere Grenze. Wenn jedoch die Abspielschicht 3 zu dick ist, ist viel Lichtleistung erforderlich, um die Temperatur des Mediums zu erhöhen. So beträgt die Dicke der Abspielschicht 3 vorzugsweise nicht mehr als 100 nm.

Es ist auch zu beachten, daß die Dicke der Zwischenschicht 9 nicht weniger als 4 nm und nicht mehr als 40 nm betragen soll. Wenn die Dicke der Zwischenschicht 9 auf ungefähr 2 nm verringert wird, kann die magnetische Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 nicht ge steuert werden. Dies führt dazu, daß die Abspielschicht 3 und die Aufzeichnungsschicht 4 immer sicher miteinander ge koppelt sind. Dadurch kann der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht erzielt werden. Wenn dagegen die Dicke der Zwischenschicht 9 auf 50 nm erhöht wird, wird die magne tische Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Auf zeichnungsschicht 4 sehr klein. Demgemäß kann selbst dann, wenn die Temperatur erhöht wird, keine Information aus der Aufzeichnungsschicht 4 in die Abspielschicht 3 übertragen werden, wodurch der Superauflösungseffekt gemäß der Erfin dung nicht erzielt werden kann.

Ferner ist zu beachten, daß die Dicke der Aufzeichnungs schicht 4 nicht kleiner als 10 nm sein soll. Wenn die Dicke der Aufzeichnungsschicht 4 auf ungefähr 5 nm verkleinert wird, verringert dies die Kraft der magnetischen Kopplung, wie sie zwischen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungs schicht 4 besteht. Demgemäß kann selbst bei einer Erhöhung der Temperatur keine Information aus der Aufzeichnungs schicht 4 in die Abspielschicht 3 übertragen werden, wodurch der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht erzielt werden kann. Dagegen besteht keine Obergrenze für die Dicke der Aufzeichnungsschicht 4. Wenn diese Aufzeichnungsschicht 4 jedoch zu dick ist, ist viel Licht erforderlich, um die Temperatur des Mediums zu erhöhen. Demgemäß beträgt die Dicke der Aufzeichnungsschicht 4 vorzugsweise nicht mehr als 100 nm.

Tabelle

Tabelle 2 zeigt die Meßergebnisse für das TRV für Aufzeich nungsbits mit jeweils einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm in magnetooptischen Aufzeichnungsmedien gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel, bei denen die Abspielschichten drei verschiedene Zusammen setzungen aufweisen und auch die Zwischenschichten 9 ver schiedene Zusammensetzungen aufweisen. In der Tabelle 2 re präsentieren X, Y, A und B die Zusammensetzungsverhältnisse in Gd_X(Fe_YCo_1-Y)_1-X der Abspielschichten 3 und in Gd_A(Fe_BCo_1-B)_1-A der Zwischenschichten 9. Diese Messungen wurden mit einem optischen System unter Verwendung eines La sers mit einer Wellenlänge von 830 nm ausgeführt. Die Tat sache, daß einige TRV-Werte für normal mit einer Markie rungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm aufgezeichnete Bits erhalten wurden, bedeutet, daß der magnetische Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erzielt war. In der Tabelle 2 ist die Markierung o in die Spalte der Abspieleigenschaften für jedes der Medien einge setzt, das die unterscheidenden Abspieleigenschaften gemäß der Erfindung zeigt, d. h. einen plötzlichen Anstieg des TRV mit ansteigender Abspielleistung, ähnlich der Abhängigkeit des TRV von der Abspielleistung, wie in Fig. 5 in Verbindung mit dem ersten Ausführungsbeispiel dargestellt. Auch zeigt Tabelle 2 die Stärken der zum Aufzeichnen erforderlichen Aufzeichnungsmagnetfelder.

Aus der Tabelle 2 ist erkennbar, daß für Gd_X(Fe_YCo_1-Y)_1-X der Abspielschicht 3 die folgende Bedingungen erfüllt sein müssen:

0,13 X 0,33; und
0,50 Y 1,00.

Genauer gesagt, befindet sich bei einer von den vorstehend angegebenen Bereichen abweichenden Zusammensetzung die Ab spielschicht 3 immer im Zustand mit in der Ebene liegender Magnetisierung, so daß also keine rechtwinklige Magnetisie rung erzielbar ist, wie sie zum Erzielen des Superauflö sungseffekts gemäß der Erfindung erforderlich ist. Durch ge eignetes Einstellen der Zusammensetzung innerhalb der vor stehend angegebenen Bereiche kann in der Abspielschicht 3 rechtwinklige Magnetisierung erzielt werden, wie sie für den Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erforderlich ist.

Aus der Tabelle 2 ist auch erkennbar, daß hinsichtlich des Gd_A(Fe_BCo_1-B)_1-A der Zwischenschicht 9 die folgenden Bedin gungen erfüllt sein müssen:

0,05 A 0,15; oder
0,31 A 0,85.

Im Zusammensetzungsbereich A < 0,05 oder 0,85 < A ist die Anisotropie der in der Ebene liegenden Magnetisierung der Zwischenschicht 9 zu stark. Demgemäß kann die magnetische Kopplung zwischen der Aufzeichnungsschicht 4 und der Ab spielschicht 3 nicht so aufrechterhalten werden, daß der ma gnetische Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung gewähr leistet ist. Im Zusammensetzungsbereich 0,15 < A < 0,31 wird die Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung der Zwi schenschicht 9 zu stark, so daß die Aufzeichnungsschicht 4 und die Abspielschicht 3 magnetisch vollkommen miteinander gekoppelt sind. Dadurch kann nicht der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erzielt werden.

Vorzugsweise weist die zum Herstellen eines erfindungsgemä ßen magnetooptischen Aufzeichnungsmediums verwendete Zwi schenschicht 9 eine Zusammensetzung auf, gemäß der die Kon zentration an Seltenerdmetall größer als bei der Kompensa tionszusammensetzung ist, d. h. eine Zusammensetzung, bei der A nicht kleiner als 0,31 und nicht größer als 0,85 ist. Unter Verwendung einer Zwischenschicht 9, deren Zusammenset zung im vorstehend genannten Bereich liegt, kann die Aniso tropie der rechtwinkligen Magnetisierung der Zwischenschicht 9 geschwächt werden, wenn die Temperatur niedrig ist, d. h., wenn die Temperatur unter dem Wert liegt, bei dem die Weite einer stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 der Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeich nungsschicht 4 entspricht oder kleiner ist, und die Aniso tropie der rechtwinkligen Magnetisierung der Zwischenschicht 9 verstärkt werden kann, wenn die Temperatur hoch ist, d. h., wenn die Temperatur auf einem Wert ist, bei dem die Weite der stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 der Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeich nungsschicht 4 entspricht oder kleiner ist. Genauer gesagt, kann die magnetische Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 geschwächt werden, wenn die Temperatur niedrig ist, und die magnetische Kopplung zwi schen der Abspielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 kann verstärkt werden, wenn die Temperatur hoch ist. Demge mäß kann stabilerer Superauflösungsbetrieb auf einfache Wei se in einem weiteren Bereich im obengenannten Zusammenset zungsbereich der Abspielschicht 3 ausgeführt werden.

Vorstehend wurde das Fe_0,6Co_0,4-System beschrieben. Jedoch erweitert sich der für A zugängliche Bereich, wenn das Zu sammensetzungsverhältnis von Fe zu Co so verändert wird, daß die Konzentration an Co erhöht wird.

Tabelle 2

Ferner wurden beim zweiten Ausführungsbeispiel GdFeCo und GdDyFe für die Zwischenschicht 9 bei der Erfindung erörtert. Gemäß dem Grundgedanken der Erfindung besteht jedoch für das Material der Zwischenschicht 9 keine Beschränkung auf GdFeCo und GdDyFe. Das heißt, daß es ausreicht, wenn die magneti sche Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Auf zeichnungsschicht 4 durch die Zwischenschicht 9 gesteuert werden kann. Demgemäß erfolgte beim zweiten Ausführungsbei spiel eine Beschreibung für GdFeCo und GdDyFe, mit denen auf einfache Weise eine Schicht mit in der Ebene liegender Ma gnetisierung hergestellt werden kann, mit der relativ ein fach die magnetische Kopplungskraft gesteuert werden kann. Jedoch können außer GdFeCo und GdDyFe andere Seltenerdme tall-Übergangsmetall-Legierungen verwendet werden wie TbFeCo, DyFeCo, GdTbFe, GdDyFeCo, GdTbFeCo oder dergleichen.

Ferner kann ähnlich wie zur Abspielschicht 3 und zur Auf zeichnungsschicht 4 eine Spurenmenge mindestens eines der Elemente Cr, B, Nb, Mn, Be und Ni zugegeben werden, um die Umgebungsbeständigkeit zu verbessern. Genauer gesagt, ver hindert ein solcher Zusatz, daß sich die Eigenschaften der Zwischenschicht 9 durch Oxidation des Materials verschlech tern, hervorgerufen durch das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff; dadurch wird ein magnetooptisches Aufzeich nungsmedium mit ausgezeichneter Langzeitzuverlässigkeit er halten.

[Drittes Ausführungsbeispiel]

Im folgenden wird ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfin dung erörtert. Der Einfachheit halber sind solche Teile beim dritten Ausführungsbeispiel, die mit solchen beim ersten und zweiten Ausführungsbeispiel übereinstimmen, mit denselben Bezugszahlen versehen, und eine detaillierte Beschreibung zu ihnen wird weggelassen.

Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel wurde bei ähnlichen Bedingungen herge stellt, wie sie beim zweiten Ausführungsbeispiel verwendet wurden, mit der Ausnahme, daß die Zwischenschicht 9 beim dritten Ausführungsbeispiel als Schicht mit in der Ebene liegenden Magnetisierung aus (Gd_0,61Dy_0,39)_0,4Fe_0,60 mit einer Dicke von 10 nm hergestellt wurde. Beim dritten Aus führungsbeispiel betrug die Curietemperatur der Zwischen schicht 9 180°C, was niedriger ist als die Curietemperatur (200°C) der Aufzeichnungsschicht 4. Beim magnetooptischen Aufzeichnungsmedium des dritten Ausführungsbeispiels über schreitet die Temperatur der Zwischenschicht 9 dann, wenn die Temperatur der Aufzeichnungsschicht 4 auf deren Curie temperatur oder mehr erhöht wird und ein Magnetfeld zum Auf zeichnen von Information in der Aufzeichnungsschicht 4 ange legt wird, ihre Curietemperatur, wodurch ihre Magnetisierung verschwindet. Im Ergebnis verhindert die Zwischenschicht 9 nicht, daß das Magnetfeld die Magnetisierung auf die Auf zeichnungsschicht 4 überträgt. Demgemäß kann die Intensität des zum Aufzeichnen erforderlichen Magnetfelds verringert werden. Daher kann ohne Kostenerhöhung Information mit hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie zum Erhöhen der Aufzeich nungskapazität erforderlich. So kann Bildinformation oder dergleichen in ausreichender Weise aufgezeichnet werden, wo für ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit großem Spei chervermögen erforderlich ist.

Fig. 10 zeigt die Abhängigkeit des TRV vom Aufzeichnungs magnetfeld für Aufzeichnungsbits mit jeweils einer Markie rungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm für magnetooptische Aufzeichnungsmedien gemäß dem zweiten und dritten Ausführungsbeispiel. Aus Fig. 10 ist er kennbar, daß ein Magnetfeld mit einer Stärke von 75 kA/m er forderlich ist, um Information beim zweiten Ausführungsbei spiel aufzuzeichnen, wohingegen beim dritten Ausführungsbei spiel Information mit einem Magnetfeld von 15 kA/m aufge zeichnet werden kann. Ferner sind die Eigenschaften der Ab spielschicht 3 beim dritten Ausführungsbeispiel dieselben wie beim zweiten Ausführungsbeispiel. Demgemäß kann hin sichtlich der Abspieleigenschaften Superauflösung erzielt werden, ähnlich wie beim zweiten Ausführungsbeispiel. Wenn Aufzeichnungsbits mit einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm hergestellt und dann mit einer Abspielleistung von 2 mW abgespielt wurden, wurde ein gutes TRV von 32 dB erhalten.

Die folgende Beschreibung erörtert Aufzeichnungs- und Ab spieleigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums mit dem vorstehend angegebenen Aufbau.

Tabelle 3 zeigt Meßergebnisse für das TRV für Aufzeichnungs bits mit jeweils einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm bei magnetooptischen Auf zeichnungsmedien gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel, wo bei die Abspielschicht 3, die Zwischenschicht 9 und die Auf zeichnungsschicht 4 in allen Fällen dieselbe Zusammensetzung jedoch jeweils verschiedene Dicken aufwiesen. Diese Messun gen wurden mit einem optischen System unter Verwendung eines Lasers mit einer Wellenlänge von 830 nm ausgeführt. Die Tat sache, daß, wie in Tabelle 3 dargestellt, einige TRV-Werte für Bits erhalten wurden, die auf übliche Weise mit einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschritt weite von 0,6 µm aufgezeichnet wurden, bedeutet, daß magne tische Superauflösung erzielt war. In der Tabelle 3 ist die Markierung o in die Spalte für die Abspieleigenschaften für jedes der Medien eingesetzt, die die unterscheidenden Ab spieleigenschaften der Erfindung aufweisen, d. h. einen plötzlichen Anstieg des TRV mit einem Anstieg der Abspiel leistung, ähnlich der Abhängigkeit des TRV von der Abspiel leistung, wie in Fig. 5 in Verbindung mit dem ersten Ausfüh rungsbeispiel dargestellt.

Aus der Tabelle 3 ist erkennbar, daß die Dicke der Abspiel schicht 3 nicht kleiner als 10 nm sein soll. Wenn die Dicke der Abspielschicht 3 kleiner als 10 nm ist, verringert sich das von der Abspielschicht 3 reflektierte Licht in solchem Ausmaß, daß Information hauptsächlich durch Licht abgespielt wird, das durch die Abspielschicht 3 gedrungen ist und an der Aufzeichnungsschicht 4 reflektiert wurde. Dies erschwert es, den Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung zu erzie len. Andererseits besteht keine Obergrenze für die Dicke der Abspielschicht 3. Wenn jedoch die Abspielschicht 3 zu dick ist, ist viel Lichtleistung erforderlich, um die Temperatur des Mediums zu erhöhen. So ist die Abspielschicht 3 vorzugs weise nicht dicker als 100 nm.

Es ist auch zu beachten, daß die Dicke der Zwischenschicht 9 nicht kleiner als 4 nm und nicht größer als 40 nm sein soll. Wenn die Dicke der Zwischenschicht 9 auf ungefähr 2 nm ver ringert wird, kann die magnetische Kopplung zwischen der Ab spielschicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 nicht gesteu ert werden. Dies bewirkt, daß die Abspielschicht 3 und die Aufzeichnungsschicht 4 dauernd sicher miteinander gekoppelt sind, wodurch der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht erzielt werden kann. Wenn dagegen die Dicke der Zwi schenschicht 9 auf über 50 nm erhöht wird, wird die magneti sche Kopplung zwischen der Abspielschicht 3 und der Auf zeichnungsschicht 4 sehr klein. Demgemäß kann, selbst wenn die Temperatur erhöht wird, keine Information von der Auf zeichnungsschicht 4 auf die Abspielschicht 3 übertragen wer den, wodurch der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht erzielt werden kann.

Ferner ist es erkennbar, daß die Dicke der Aufzeichnungs schicht 4 nicht kleiner als 10 nm sein darf. Wenn die Dicke der Aufzeichnungsschicht 4 auf ungefähr 5 nm verringert wird, verringert dies die Kraft der magnetischen Kopplung, die von der Aufzeichnungsschicht 4 auf die Abspielschicht 3 ausgeübt wird. Demgemäß kann selbst dann, wenn die Tempera tur erhöht wird, die Information der Aufzeichnungsschicht 4 nicht auf die Abspielschicht 3 übertragen werden, wodurch der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht erzielt werden kann. Dagegen besteht keine Obergrenze für die Dicke der Aufzeichnungsschicht 4. Wenn die Aufzeichnungsschicht 4 jedoch zu dick ist, ist viel Lichtleistung erforderlich, um die Temperatur des Mediums zu erhöhen. Demgemäß beträgt die Dicke der Aufzeichnungsschicht vorzugsweise nicht mehr als 100 nm.

Tabelle 3

Tabelle 4 zeigt Meßergebnisse für TRV-Werte für Aufzeich nungsbits mit einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungsschrittweite von 0,6 µm bei magnetooptischen Auf zeichnungsmedien gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel, wo bei die Aufzeichnungsschichten 3 verschiedene Zusammenset zungen aufweisen und die Zwischenschichten 9 verschiedene Zusammensetzungen aufwiesen. In der Tabelle 4 repräsentieren X, Y, A und B die Zusammensetzungsverhältnisse in Gd_X(Fe_YCo_1-Y)_1-X der Abspielschichten 3 und (Gd_ADy_1-A)_BFe_1-B der Zwischenschichten 9. Diese Messungen wurden mit einem optischen System unter Verwendung eines Lasers mit einer Wellenlänge von 830 nm ausgeführt. Die Tatsache, daß TRV- Werte für Bits erhalten wurden, die auf übliche Weise mit einer Markierungslänge von 0,3 µm und einer Markierungs schrittweite von 0,6 µm aufgezeichnet wurden, bedeutet, daß der magnetische Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erzielt war. In Tabelle 4 ist in die Spalte der Abspiel eigenschaften die Markierung o für jedes der Medien einge setzt, die die unterscheidenden Abspieleigenschaften der Er findung zeigen, d. h. einen plötzlichen Anstieg des TRV mit einem Anstieg der Abspielleistung, ähnlich wie der Abhängig keit des TRV von der Abspielleistung, wie in Fig. 5 in Ver bindung mit dem ersten Ausführungsbeispiel dargestellt. Auch zeigt Tabelle 4 die Stärken der zum Aufzeichnen erforderli chen Aufzeichnungsmagnetfelder.

Aus Tabelle 4 ist erkennbar, daß hinsichtlich des Gd_X(Fe_YCo_1-Y)_1-X der Abspielschicht 3 die folgenden Bedin gungen erfüllt sein müssen:

0,13 X 0,33; und
0,50 Y 1,00.

Genauer gesagt, befindet sich die Abspielschicht 3 bei einer von den vorstehend genannten Bereichen abweichenden Zusam mensetzung immer im Zustand mit in der Ebene liegender Ma gnetisierung, und in der Abspielschicht 3 kann demgemäß kei ne rechtwinklige Magnetisierung erzielt werden, wie sie für den Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erforderlich ist. Wenn die Zusammensetzung innerhalb der vorstehend ange gebenen Bereiche geeignet eingestellt wird, kann in der Ab spielschicht 3 rechtwinklige Magnetisierung erzielt werden, wie sie für den Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erforderlich ist.

Aus der Tabelle 4 ist auch erkennbar, daß hinsichtlich des (Gd_ADy_1-A)_BFe_1-B der Zwischenschicht 9 die folgenden Bedin gungen erfüllt sein müssen:

0,30 A 1,00; und
0,05 B 0,15 oder 0,35 B 0,85.

Im Zusammensetzungsbereich von A < 0,30 wird die Curietempe ratur der Zwischenschicht 9 zu niedrig. Demgemäß steigt beim Einstrahlen von Abspiellicht die Temperatur der Zwischen schicht 9 auf die Curietemperatur oder mehr, was verhindert, daß Information übertragen werden kann.

Auch wird im Zusammensetzungsbereich B < 0,05 oder 0,85 < B die Anisotropie der in der Ebene liegenden Magnetisierung der Zwischenschicht 9 zu stark. Demgemäß kann keine magneti sche Kopplung zwischen der Aufzeichnungsschicht 4 und der Abspielschicht 3 beibehalten werden, was für den magneti schen Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung erforderlich wäre. Auch wird im Zusammensetzungsbereich 0,15 < B < 0,35 die Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung zu stark, so daß die Aufzeichnungsschicht 4 und die Abspielschicht 3 magnetisch vollständig miteinander gekoppelt sind. Dadurch kann der Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung nicht er zielt werden.

Unter Verwendung einer Zusammensetzung in den oben angegebe nen Bereichen für die Zwischenschicht 9 zum Herstellen eines erfindungsgemäßen magnetooptischen Mediums kann die Aniso tropie der rechtwinkligen Magnetisierung der Zwischenschicht 9 geschwächt werden, wenn die Temperatur niedrig ist, d. h., wenn die Temperatur auf einem Wert ist, bei dem die Weite einer stabilen magnetischen Domäne der Abspielschicht 3 der Weite einer magnetischen Aufzeichnungsdomäne in der Auf zeichnungsschicht 4 entspricht oder größer ist, und die An isotropie der rechtwinkligen Magnetisierung der Zwischen schicht 9 kann verstärkt werden, wenn die Temperatur hoch ist, d. h., wenn die Temperatur auf einem Wert ist, bei dem die Weite der stabilen magnetischen Domäne der Abspiel schicht 3 der Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne der Aufzeichnungsschicht 4 entspricht oder kleiner ist. Genauer gesagt, kann die magnetische Kopplung zwischen der Abspiel schicht 3 und der Aufzeichnungsschicht 4 geschwächt werden, wenn die Temperatur niedrig ist, dagegen kann sie verstärkt werden, wenn die Temperatur hoch ist. Demgemäß kann ein sta bilerer Superauflösungsvorgang auf einfache Weise in einem größeren Bereich innerhalb des Zusammensetzungsbereichs der oben angegebenen Abspielschicht 3 ausgeführt werden.

Um Information in einem schwachen Magnetfeld aufzuzeichnen, muß A im Bereich von 0,30 A 0,68 liegen. Wenn A im Be reich 0,6 < A 0,85 liegt, ist die Konzentration an Dy ver ringert, so daß die Curietemperatur der Zwischenschicht 9 erhöht ist und über der Curietemperatur der Aufzeichnungs schicht 4 liegt.

Tabelle 4

[Viertes Ausführungsbeispiel]

Im folgenden wird ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfin dung erörtert. Der Einfachheit halber sind solche Teile beim vierten Ausführungsbeispiel, die mit solchen beim ersten bis dritten Ausführungsbeispiel übereinstimmen, mit denselben Bezugszahlen versehen, und eine detaillierte Beschreibung zu ihnen wird weggelassen.

In den Fig. 11 (a) und (b) umfaßt ein magnetooptisches Auf zeichnungsmedium gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel eine Mediumsschicht 10 und ein Substrat 1, auf dem die Mediums schicht 10 ausgebildet ist. Die Mediumsschicht 10 verfügt über die Schichtanordnung des dritten Ausführungsbeispiels mit folgendem: der transparenten dielektrischen Schicht 2 aus AlN mit einer Dicke von 50 nm, der Abspielschicht 3 aus Gd_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78 mit einer Dicke von 50 nm, der Zwi schenschicht 9 aus (Gd_0,61Dy_0,39)_0,40Fe_0,60mit einer Dicke von 10 nm, der Aufzeichnungsschicht 4 aus Dy_0,23(Fe_0,78Co_0,22)_0,77 mit einer Dicke von 50 nm, der Schutzschicht 5 aus AlN mit einer Dicke von 50 nm und der Überzugsschicht 6. Das Substrat 1 verfügt über eine speziel le Struktur mit erhabenen Bereichen aus Polycarbonat mit (i) erhabenen Bereichen 301 mit jeweils einer Weite von 0,9 µm und einer Gangweite von 1,2 µm, und (ii) Gräben 302 jeweils mit einer Weite von 0,3 µm. Die erhabenen Bereiche 301 die nen als Aufzeichnungsspuren. Das heißt, daß Aufzeichnungs bits 303, 304, 305 mit jeweils verschiedenen Breiten in sol chen Bereichen der Aufzeichnungsschicht 4 ausgebildet sind, die den erhabenen Bereichen 301 entsprechen.

Fig. 12 zeigt Meßergebnisse, die zeigen, wie das Übersprech verhalten abhängig von verschiedenen Markierungslängen eine Änderung erfährt, wenn die Breite von Aufzeichnungsbits so geändert wird, wie es in Fig. 11 (a) dargestellt ist. Betref fend das Übersprechverhalten legt der Standard ISO 10089 (der die Bestimmungen für neu beschreibbare optische Platten von 5,25 Zoll vorschreibt) vor, daß das Übersprechausmaß für die kürzesten Aufzeichnungsbits (0,765 µm) nicht mehr als -26 dB beträgt. Für längere Aufzeichnungsbits kann der Über sprechwert ansteigen, beträgt jedoch vorzugsweise nicht mehr als -26 dB. Beim vierten Ausführungsbeispiel wurde der Über sprechwert für jedes Aufzeichnungsbit abhängig vom Über sprech-Meßverfahren gemessen, wie es im Standard ISO 10089 festgelegt ist.

Aus Fig. 12 ist erkennbar, daß für jedes Aufzeichnungsbit mit einer Breite nicht über 0,7 µm der Übersprechwert unge fähr -40 dB für alle Markierungslängen betrug, so daß im wesentlichen kein Übersprechen vorlag. Wenn jedoch die Brei te eines Aufzeichnungsbits 0,7 µm übersteigt, steigt plötz lich das Übersprechen an. Dieser Trend ist auffällig, wenn die Markierungslänge größer ist. Genauer gesagt, muß zum Verringern des Übersprechens beim vierten Ausführungsbei spiel die Breite eines Aufzeichnungsbits kleiner als die Breite eines erhabenen Bereichs sein.

In den Fig. 13 und 15 sind zum Veranschaulichen des vorste hend genannten Effekts der Einfachheit halber nur die Ab spielschicht 3 und die Aufzeichnungsschicht 4 des magneto optischen Aufzeichnungsmediums dargestellt. In jeder der Fig. 13 und 14 ist ein Aufzeichnungsbit 305 mit einer Brei te, die kleiner als die Breite eines erhabenen Bereichs ist, in der Aufzeichnungsschicht 4 ausgebildet. Wenn ein gebün delter Lichtstrahl 105 nicht eingestrahlt wird, wie in Fig. 13 dargestellt, ist die Weite einer stabilen magnetischen Domäne in der Abspielschicht 3 größer als die Weite eines Aufzeichnungsbits. Demgemäß wird keine Information an die Abspielschicht 3 übertragen, und der Bereich der Abspiel schicht 3 auf dem Aufzeichnungsbit hat dieselbe Magnetisie rungsrichtung wie die Umgebung des Aufzeichnungsbits.

Wenn der gebündelte Lichtstrahl 105 eingestrahlt wird, wie in Fig. 14 dargestellt, wird die Weite der stabilen magneti schen Domäne in der Abspielschicht 3 kleiner als die Weite des Aufzeichnungsbits. Demgemäß erfolgt eine Übertragung von Information an die Abspielschicht 3.

Wenn jedoch ein Aufzeichnungsbits 303 vorhanden ist, das dieselbe Weite hat, wie es der Breite des erhabenen Bereichs entspricht, wie in Fig. 15 dargestellt, sind die magneti schen Schichten an der Grenze zwischen den erhabenen Berei chen und den Gräben unterbrochen, so daß die Weite einer stabilen magnetischen Domäne im wesentlichen mit der Breite eines erhabenen Bereichs übereinstimmt. Demgemäß wird im Zu stand, in dem kein Lichtstrahl 105 eingestrahlt wird, d. h. im Zustand bei Raumtemperatur, die Information der Aufzeich nungsschicht 4 auf die Abspielschicht 3 übertragen, was kei nem Superauflösungseffekt gemäß der Erfindung entspricht. Aus diesem Grund muß die Weite eines Aufzeichnungsbits so eingestellt sein, daß sie kleiner als die Breite eines erha benen Bereichs ist. Z. B. muß die Abspielleistung des Licht strahls 105 auf einen Wert eingestellt werden, durch den die Weite eines Aufzeichnungsbits kleiner wird als die Breite eines erhabenen Bereichs.

Gemäß dem vorstehend genannten Aufzeichnungs- und Abspiel verfahren ist es möglich, auf die Abspielschicht 3 nur die Information einer magnetischen Domäne desjenigen Bereichs der Aufzeichnungsschicht zu übertragen oder von dort abzu spielen, der dem mittleren Bereich des Lichtstrahls ent spricht, in dem die Temperatur wegen des Einstrahlens des Lichtstrahls einen vorgegebenen Wert überschritten hat. Dem gemäß kann Information mit so hoher Dichte aufgezeichnet werden, wie es zum Erhöhen der Aufzeichnungskapazität erfor derlich ist. So kann Bildinformation oder dergleichen in ausreichender Weise aufgezeichnet werden, wofür ein Auf zeichnungs- und Wiedergabegerät mit hohem Speichervermögen erforderlich ist.

[Fünftes Ausführungsbeispiel]

Die folgende Beschreibung erörtert ein fünftes Ausführungs beispiel der Erfindung. Der Einfachheit halber sind Teile beim fünften Ausführungsbeispiel, die mit solchen beim er sten bis vierten Ausführungsbeispiel übereinstimmen, mit denselben Bezugszahlen versehen, und eine detaillierte Be schreibung zu ihnen wird weggelassen.

In den Fig. 16 (a) und (b) umfaßt ein magnetooptisches Auf zeichnungsmedium gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel eine Mediumsschicht 10 und ein Substrat 1, auf dem die Mediums schicht 10 ausgebildet ist. Die Mediumsschicht 10 hat die Schichtanordnung des dritten Ausführungsbeispiels mit fol gendem: einer transparenten dielektrischen Schicht 2, aus AlN mit einer Dicke von 50 nm, einer Abspielschicht 3 aus Gd_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78 mit einer Dicke von 50 nm, einer Zwischenschicht 9 aus (Gd_0,61Dy_0,39)_0,40Fe_0,60 mit einer Dicke von 10 nm, einer Aufzeichnungsschicht 4 aus Dy_0,23(Fe_0,78Co_0,22)_0,77 mit einer Dicke von 50 nm, einer Schutzschicht 5 aus AlN mit einer Dicke von 50 nm und einer Überzugsschicht 6. Das Substrat 1 ist durch erhabene Berei che spezifiziert, und es besteht aus Polycarbonat mit (i) erhabenen Bereichen 401 mit einer Breite von 0,7 µm und einer Gangweite von 1,4 µm und (ii) Gräben 402 mit einer Breite von 0,7 µm. Die erhabenen Bereiche 401 dienen als Aufzeichnungsspuren. Das heißt, daß in denjenigen Bereichen der Aufzeichnungsschicht 4, die den Gräben 402 entsprechen, Aufzeichnungsbits 403, 404, 405 mit jeweils verschiedenen Weiten ausgebildet sind.

Fig. 17 zeigt Meßergebnisse, die zeigen, wie das Übersprech verhalten für verschiedene Markierungslängen eine Änderung erfährt, wenn sich die Weite von Aufzeichnungsbits so än dert, wie es in Fig. 16 (a) dargestellt ist. Beim fünften Ausführungsbeispiel wurde das Übersprechen für alle Auf zeichnungsbits abhängig vom Übersprech-Meßverfahren gemes sen, wie es im Standard ISO 10089 festgelegt ist, also so wie beim vierten Ausführungsbeispiel.

Aus Fig. 17 ist erkennbar, daß für jedes Aufzeichnungsbit mit einer Weite nicht über 0,5 µm das Übersprechen -40 dB für alle Markierungslängen betrug, so daß praktisch kein Übersprechen vorlag. Wenn jedoch die Weite der Aufzeich nungsbits 0,5 µm übersteigt, steigt das Übersprechen plötz lich an. Dieser Trend ist auffällig, wenn die Markierungs länge größer ist. Genauer gesagt, muß zum Verringern des Übersprechens beim fünften Ausführungsbeispiel die Weite der Aufzeichnungsbits kleiner als die Grabenbreite sein.

Was die erhabenen Bereiche betrifft, fällt es ebenfalls auf, daß die Weite eines Aufzeichnungsbits kleiner als die Breite eines erhabenen Bereichs sein muß, entsprechend wie beim vierten Ausführungsbeispiel.

Die Fig. 18 (a) und (b) veranschaulichen einen Fall, bei dem sowohl die erhabenen Bereiche 401 als auch die Gräben 402 als Aufzeichnungsspuren dienen, und Information ist sowohl in den erhabenen Bereichen 401 als auch den Gräben 402 auf gezeichnet. Bei dieser Anordnung muß das Übersprechen von benachbarten Gräben oder von benachbarten erhabenen Berei chen minimiert werden, und das Übersprechen beträgt vorzugs weise nicht mehr als -26 dB.

Fig. 19 zeigt Auswertungsergebnisse für das Übersprechen, wie es von benachbarten Gräben erzeugt wird, und zwar sowohl für das magnetooptische Aufzeichnungsmedium des fünften Aus führungsbeispiels, wie in den Fig. 18 (a) und (b) darge stellt, und für das magnetooptische Aufzeichnungsmedium, wie es in der Veröffentlichung Nr. 5-81717 zu einer japanischen Patentanmeldung offenbart ist, d. h. zum Vergleichsbeispiel 1, das in Verbindung mit dem ersten Ausführungsbeispiel er örtert wurde. Bei dieser Anordnung ist Information sowohl in den erhabenen Bereichen 401 als auch den Gräben 402 aufge zeichnet. Demgemäß wurde das Übersprechen dadurch bewertet, daß Übersprecheffekte gemessen wurden, wie sie für jeden er habenen Bereich 401, der als Meßgegenstand diente, von be nachbarten Gräben erzeugt wurden.

Information wurde in der Form von Aufzeichnungsbits 406 auf gezeichnet, von denen jedes eine Weite aufwies, die um 0,1 µm kleiner war als die Breite jedes erhabenen Bereichs oder jedes Grabens (a/2). Beim Vergleichsbeispiel 1 wurde Übersprechen über -26 dB bereits bei einer Breite a/2 der erhabenen Bereiche oder der Gräben von 0,7 µm erzeugt. Beim fünften Ausführungsbeispiel wurde jedoch selbst dann, wenn die Breite a/2 der erhabenen Bereiche oder der Gräben den kleinen Wert von 0,6 µm einnahm, nur wenig Übersprechen nicht über -26 dB erzeugt. Demgemäß kann beim fünften Aus führungs 00224 00070 552 001000280000000200012000285910011300040 0002019520627 00004 00105beispiel Information mit höherer Dichte als beim Vergleichsbeispiel 1 aufgezeichnet werden.

Claims

1. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit

- einer Aufzeichnungsschicht (4), in der Information aufzu zeichnen ist; und
- einer Abspielschicht (3), an die in der Aufzeichnungs schicht aufgezeichnete Information übertragen wird und von der diese Information ausgelesen wird;

dadurch gekennzeichnet, daß die Abspielschicht so beschaffen ist, daß die Weite einer stabilen magnetischen Domäne in derselben bei Raumtemperatur größer ist als die Weite einer magnetischen Aufzeichnungsdomäne, wie sie beim Aufzeichnen von Information in der Aufzeichnungsschicht ausgebildet wur de, und daß die Weite dieser stabilen magnetischen Domäne bei einem Temperaturanstieg nicht größer ist als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne in der Aufzeichnungs schicht.

2. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Weite der stabilen magnetischen Domäne auch dann nicht größer als die Weite der magnetischen Auf zeichnungsdomäne in der Aufzeichnungsschicht ist, wenn die Temperatur einen vorgegebenen Wert überschreitet.

3. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Zwischenschicht (9) zum temperaturabhängigen Än dern der Intensität der magnetischen Kopplung zwischen der Abspielschicht (3) und der Aufzeichnungsschicht (4), zwi schen denen die Zwischenschicht angeordnet ist.

4. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die Zwischenschicht (9) so beschaffen ist, daß die Intensität der magnetischen Kopplung zwischen der Ab spielschicht (3) und der Aufzeichnungsschicht (4) bei einer Temperatur unter dem vorgegebenen Wert verringert ist und daß die Stärke dieser magnetischen Kopplung bei einer Tem peratur über dem vorgegebenen Wert verstärkt ist.

5. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die Zwischenschicht (9) eine Anisotropie der rechtwinkligen Magnetisierung aufweist, die bei einer Tempe ratur über dem vorgegebenen Wert größer als bei einer Tempe ratur unter dem vorgegebenen Wert ist.

6. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abspielschicht (3) eine an Übergangsmetall reiche Zusammensetzung aufweist, bei der das Verhältnis von Übergangsmetall zu Seltenerdmetall größer als bei der Kompensationszusammensetzung ist.

7. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Abspielschicht (3) aus Gd_0,22(Fe_0,60Co_0,40)_0,78 besteht.

8. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht (4) rechtwinklige Magnetisierung mit einer Kompensationstempera tur aufweist, die im wesentlichen der Raumtemperatur ent spricht.

9. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch eine Wärmefreisetzschicht zum Abstrah len von Wärme, die an der entgegengesetzten Seite der Ab spielschicht (3) angeordnet ist, wobei die Aufzeichnungs schicht (4) dazwischen liegt.

10. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (9) in der Ebene liegende Magnetisierung aufweist.

11. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Abspielschicht (39) und der Aufzeichnungsschicht (4) im Bereich von nicht unter 10 nm bis nicht über 100 nm liegt und die Dicke der Zwi schenschicht (9) im Bereich von nicht unter 4 nm bis nicht über 40 nm liegt.

12. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 3 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß

- die Abspielschicht aus Gd_X(Fe_1-YCo_1-Y)_1-X, wobei 0,13 X 0,33 sowie 0,50 Y 1,00 gelten; und
- die Zwischenschicht (9) aus Gd_A(Fe_BCo_1-B)_1-A besteht, wo bei 0,31 A 0,85 gilt.

13. Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 3 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Curietemperatur der Zwi schenschicht (9) niedriger ist als die Curietemperatur der Aufzeichnungsschicht (4).

14. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dicke der Abspielschicht (39) und der Aufzeichnungsschicht (4) im Bereich von nicht unter 10 nm bis nicht über 100 nm liegt und die Dicke der Zwischen schicht (9) im Bereich von nicht unter 4 nm bis nicht über 40 nm liegt.

15. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß

- die Abspielschicht aus Gd_X(Fe_1-YCo_1-Y)_1-X, wobei 0,13 X 0,33 sowie 0,50 Y 1,00 gelten; und
- die Zwischenschicht (9) aus (Gd_ADy_1-A)_BFe_1-B besteht, wo bei 0,30 A 0,68 und 0,05 B 0,15 oder 0,35 B 0,85 gelten.

16. Verfahren zum Abspielen eines magnetooptischen Auf zeichnungsmediums mit einer Aufzeichnungsschicht, in der In formation aufzuzeichnen ist, und einer Abspielschicht, an die in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Information übertragen wird und von der diese ausgelesen wird, gekenn zeichnet durch die folgenden Schritte:

- Verwenden eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums ge mäß einem der Ansprüche 2 bis 15; und
- Einstrahlen eines Lichtstrahls auf das magnetooptische Aufzeichnungsmedium in solcher Weise, daß ein Aufzeichnungs bit nur aus demjenigen Bereich der Aufzeichnungsschicht, in dem die Temperatur auf den vorgegebenen Wert erhöht wurde, an die Abspielschicht übertragen und aus dieser abgespielt wird.

17. Verfahren zum Aufzeichnen und Abspielen von Information auf einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium und von diesem, mit: einer Aufzeichnungsschicht, in der Information aufzuzeichnen ist, und einer Abspielschicht, an die in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Information übertragen wird und von der diese ausgelesen wird, gekennzeichnet durch das Aufzeichnen von Information mit einer Weite der magneti schen Aufzeichnungsdomäne in der Aufzeichnungsschicht mit solcher Beschränkung, daß die Weite einer stabilen magneti schen Domäne in der Abspielschicht größer ist als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne in der Aufzeichnungs schicht und daß bei einem Temperaturanstieg auf einen vorge gebenen Wert die Weite dieser stabilen magnetischen Domäne größer als die Weite der magnetischen Aufzeichnungsdomäne wird.

18. Aufzeichnungs- und Abspielverfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Abspielleistung eines auf das magnetooptische Aufzeichnungsmedium zu strahlenden Lichtstrahls begrenzt wird.

19. Verfahren zum Aufzeichnen und Abspielen von Information auf einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium bzw. von diesem, mit: einer Aufzeichnungsschicht, in der Information aufzuzeichnen ist, und einer Abspielschicht, an die in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Information übertragen wird und von der diese ausgelesen wird, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

- Verwenden eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums ge mäß einem der Ansprüche 2 bis 15; und
- Einstellen der Intensität eines auf das magnetooptische Aufzeichnungsmedium zu strahlenden Lichtstrahls in einem Be reich, der (i) nicht kleiner als ein Wert ist, durch den die Temperatur der Abspielschicht auf den vorgegebenen Wert er höht wird, der bewirkt, daß ein abzuspielendes Aufzeich nungsbit an die Abspielschicht übertragen wird, und (ii) der kleiner als derjenige Wert ist, bei dem Aufzeichnungsbits angrenzend an das abzuspielende Aufzeichnungsbit an die Ab spielschicht übertragen werden.

20. Verfahren zum Aufzeichnen und Abspielen von Information auf einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium bzw. von diesem, mit: einer Aufzeichnungsschicht, in der Information aufzuzeichnen ist, und einer Abspielschicht, an die in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Information übertragen wird und von der diese ausgelesen wird, und mit erhabenen Bereichen und Grabenbereichen, wobei mindestens einer dieser Bereiche für Aufzeichnungsspuren zum Ausbilden von Aufzeich nungsbits verwendet wird, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

- Verwenden eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums ge mäß einem der Ansprüche 2 bis 15; und
- Ausbilden von Aufzeichnungsbits, um dadurch Information aufzuzeichnen, wobei jedes Aufzeichnungsbit eine Weite auf weist, die kleiner als die Weite jeder Aufzeichnungsspur ist.

21. Verfahren zum Herstellen eines magnetooptischen Auf zeichnungsmediums, dadurch gekennzeichnet, daß

- eine transportierende Sputtervorrichtung mit folgendem verwendet wird: (i) einem Target zum Aufbringen von Sputter material auf ein Substrat zum Herstellen einer Aufzeich nungsschicht, in der Information aufzuzeichnen ist, und (ii) einem Target zum Aufbringen eines Sputtermaterials auf das Substrat zum Herstellen einer Abspielschicht, auf die in der Aufzeichnungsschicht aufgezeichnete Information zu übertra gen ist und von der diese auszulesen ist, wobei die Vorrich tung so ausgebildet ist, daß das Substrat in der Nähe jedes der Targets vorbeigeführt wird;
- wobei ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium hergestellt wird, das so ausgebildet ist, daß die Weite einer stabilen magnetischen Domäne in der Abspielschicht bei Raumtemperatur größer ist als die Weite einer in der Aufzeichnungsschicht beim Aufzeichnen von Information in derselben ausgebildeten magnetischen Aufzeichnungsdomäne, und daß bei einem Tempera turanstieg auf einen vorgegebenen Wert die Weite der stabi len magnetischen Domäne größer als die Weite der magneti schen Aufzeichnungsdomäne wird.