DE19511196A1 - Optische Prüfvorrichtung - Google Patents
Optische PrüfvorrichtungInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004512 die casting Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum optischen Prüfen einer
Oberfläche eines Gegenstandes bei der die Oberfläche von wenigstens einer
Lichtquelle von oben durch ein Oberlicht und/oder durch ein Unterlicht von der
Seite in einem spitzen Winkel in bezug auf die Oberfläche beleuchtbar ist und
die wenigstens einen lichtempfindlichen Empfänger zur Aufnahme des von der
Oberfläche kommenden reflektierten und/oder gestreuten Lichtes aufweist.
Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf die optische Prüfung der
bedruckten Oberfläche einer Compact-Disc (CD), so daß im folgenden
überwiegend von einer CD die Rede ist, ohne daß damit eine Beschränkung
verbunden sein soll.
In der letzten Zeit haben sich CD′s aufgrund der hohen möglichen
Klangqualität als Tonträger für den Hausgebrauch und der hohen möglichen
Datendichte als reiner Datenträger in der Datenverarbeitung immer mehr
durchgesetzt. Es handelt sich da her um ein Massenprodukt, das jedoch hohen
bis höchsten Qualitätsansprüchen, insbesondere bei der Verwendung als reiner
Datenträger, genügen muß.
Eine CD besteht im allgemeinen aus einer im Querschnitt mehrschichtigen
kreisrunden Scheibe mit einem mittigen Kernloch für die Aufnahme und
Zentrierung in einem Abspielgerät. Die CD setzt sich von unten, d. h. von der
Leseseite des Abspielgerätes her gesehen, nach oben aus einer lichtdurchlässi
gen Kunststoffschicht, auf der alle Informationen in Form von Vertiefungen
(Pits) enthalten sind, einer dünnen metallischen Schicht, im allgemeinen aus
Aluminium, zum Verspiegeln der Kunststoffschicht, und einer dünnen
Lackschicht, die im allgemeinen durch UV- Licht gehärtet wird, zum Schutz der
Metallschicht zusammen. Auf die UV-Lackschicht wird dann der Aufdruck, das
sogenannte Label, für die Information des Verbrauchers mit bekannten
Druckverfahren aufgebracht.
In radialer Richtung kann man bei einer CD mehrere koaxiale, kreisringförmige
Bereiche vom Kernloch ausgehend nach außen unterscheiden. Unmittelbar am
Kernloch befindet sich der Bereich, der zum Einspannen der CD in dem
Abspielgerät dient. Daran schließt sich ein Bereich an, in dem der sogenannte
Ident-Code eingeprägt ist, anhand dessen die CD eindeutig identifiziert werden
kann. Anschließend folgt der Bereich, der zur eigentlichen Datenspeicherung
dient. Falls die CD bis zu ihrer maximalen Speicherkapazität bespielt ist, endet
der Bereich unmittelbar am äußeren Randbereich. Andernfalls ist zwischen
dem Randbereich der CD und dem Datenbereich noch das sogenannte Lead-
Out oder ein Spiegelband angeordnet.
Bei der Herstellung wird zunächst ein Rohling aus Polycarbonat im
Druckgußverfahren hergestellt, wobei durch die Matrize bereits alle
Informationen eingeprägt werden. Anschließend wird die eine Oberfläche des
Rohlings mit der metallischen Spiegelschicht im Sputterverfahren versehen und
mit der Lackschicht versiegelt. Um eine gleichförmige Verteilung der
Lackschicht zu erhalten und um eine möglichst dünne Schicht zu erzielen, wird
die CD bei diesem Vorgang zentrifugiert. Anschließend erfolgt das Bedrucken
der CD mit dem Label.
Das Label ist für die Funktion der CD grundsätzlich ohne Bedeutung, da das
Ablesen einer CD von der Unterseite her erfolgt. Für die Verbraucher ist jedoch
ein einwandfreies Label häufig ein Kriterium für eine einwandfreie
Abspielbarkeit der CD, so daß es erforderlich ist, einen fehlerfreien Druck auf
der Oberfläche der CD zu erzeugen. Die UV-Lackschicht einer CD muß jedoch
stets einwandfrei sein, da ansonsten die Gefahr besteht, daß die darunter
liegende Metallschicht frühzeitig oxidiert, wodurch Ablesefehler entstehen
können. Es sind daher Verfahren erforderlich, mit denen die Oberseite der CD,
also das Label und gegebenenfalls auch die UV-Lackschicht, geprüft werden
können. Da eine Prüfung jeder CD nach der Herstellung durchgeführt werden
muß, ist es erforderlich, das Prüfungsverfahren für die Oberseite der CD in den
laufenden Produktionsprozeß einzugliedern. Dadurch steht dem Prüfungsver
fahren häufig nur eine begrenzte Prüfzeit zur Verfügung.
Für die Prüfung der bedruckten Oberfläche der CD wird im allgemeinen eine
optische Vorrichtung eingesetzt, mit der die Oberfläche der CD von einem
lichtempfindlichen Empfänger, im allgemeinen einer elektronischen CCD-
Kamera, in der Draufsicht von oben aufgenommen wird. Das aufgenommene
Istbild wird in einer Datenverarbeitungsanlage mit einem vorher eingemessenen
Sollbild von einer einwandfreien Oberfläche mit bestimmten Prüfungskriterien
verglichen. Jede Abweichung wird dann als Fehler erfaßt, und die CD wird in
Abhängigkeit von der Größe und der Art der Abweichung aussortiert. Bei einer
bekannten Vorrichtung wird die Kamera einmal belichtet, während die CD
gleichzeitig sowohl von oben mit dem sogenannten Oberlicht als auch von der
Seite in einem spitzen Winkel in bezug auf die Oberfläche mit dem
sogenannten Unterlicht beleuchtet wird. Die Kamera empfängt dabei das von
der Oberfläche reflektierte Oberlicht und das an der Oberfläche gestreute
Unterlicht.
Ein Problem besteht bei der Eingliederung der Prüfvorrichtung darin, daß in der
Regel nur ein begrenzter Einbauraum zur Verfügung steht. Insbesondere ist es
erforderlich, daß Handhabungsmittel den Gegenstand, beispielsweise die CD,
zu der Prüfvorrichtung hin- und von der Prüfvorrichtung wegbewegen können.
Herkömmlicherweise wird daher das Oberlicht über einen teildurchlässigen
Spiegel auf die Oberfläche umgelenkt, der oberhalb des Freiraumes für die
Handhabungsmittel angeordnet ist. Aufgrund des Strahlenverlaufes der an der
Oberfläche der CD reflektierten Strahlen, die vollständig von dem
lichtempfindlichen Empfänger aufgenommen werden müssen, weist der
teildurchlässige Spiegel eine Fläche auf, die etwa viermal so groß ist wie die
der CD und demnach einen etwa doppelt so großen Durchmesser (der
Durchmesser einer CD beträgt etwa 120 mm) hat. Die Prüfvorrichtung erfordert
daher einen hohen Platzbedarf in seitlicher Richtung, wobei die seitliche
Begrenzung der Vorrichtung mindestens einen halben Durchmesser der CD
über den Rand der CD hinausragt.
Dies führt insbesondere bei sogenannten Doppelnutzenanlagen zu Problemen.
Bei Doppelnutzenanlagen werden jeweils zwei CD′s gleichzeitig denselben
Bearbeitungsschritten zugeführt. In solchen Anlagen liegen die CD′s sehr dicht,
beispielsweise mit einem Achsabstand von nur etwa 135 mm, nebeneinander.
Es ist daher in der Regel kein Raum für ein derartig ausgebildetes Oberlicht, so
daß Kompromißlösungen hinsichtlich der Beleuchtung in Kauf genommen
werden müssen.
Auf der anderen Seite werden die Handhabungsmittel für den Gegenstand,
beispielsweise die CD, häufig durch das Unterlicht, das die CD in Form eines
Ringes entlang dem Umfang mit seitlichem Abstand oberhalb der Oberfläche
umgibt, behindert. Der Gegenstand liegt hier in einer Art Mulde, so daß es
erforderlich ist, daß die Handhabungsmittel relativ komplizierte Bewegungen
ausführen müssen, um den Gegenstand zu greifen. Ferner besteht bei einem
ringförmigen Unterlicht ebenfalls das Problem, daß aufgrund des erhöhten
radialen Platzbedarfs entlang dem Umfang der CD eine Anordnung bei
Doppelnutzenanlagen nicht ohne weiteres möglich ist, so daß auch hier
Kompromisse hinsichtlich der Beleuchtung durch das Unterlicht in Kauf
genommen werden müssen.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs
geschilderten Art so auszubilden, daß sie im Vergleich zum Stand der Technik
kleinere Abmessungen hat und somit ohne weiteres in bestehende
Herstellungsanlagen des betreffenden Gegenstandes eingebaut werden
können. Insbesondere soll die Vorrichtung auch in Doppelnutzenanlagen
einbaubar sein.
Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß im Lichtstrahlver
lauf zwischen der Oberfläche und dem Objektiv des lichtempfindlichen
Empfängers wenigstens eine Linsenanordnung vorgesehen ist, die von ihrem
Brennpunkt divergierende Lichtstrahlen in im wesentlichen parallele
Lichtstrahlen bündelt, daß im Lichtstrahlverlauf zwischen der Linsenanordnung
und dem Objektiv wenigstens ein Strahlteilungsmittel vorgesehen ist, um
wenigstens zwei Brennpunkte der Linsenanordnung zu erzeugen, wobei die
Lichtquelle für das Oberlicht in dem einen Brennpunkt angeordnet ist, um die
Oberfläche mit im wesentlichen parallelen Lichtstrahlen zu beleuchten, und das
Objektiv in dem anderen Brennpunkt der Linsenanordnung angeordnet ist, so
daß die im wesentlichen parallel verlaufenden Lichtstrahlen des von der
Oberfläche kommenden Lichtes auf das Objektiv des lichtempfindlichen
Empfängers direkt oder indirekt projiziert werden. Diese Anordnung hat den
Vorteil, daß das Oberlicht durch die Linsenanordnung mit zumindest
näherungsweise parallelen Strahlen auf die Oberfläche strahlt und die
reflektierten Strahlen ebenfalls im wesentlichen parallel entgegengesetzt
verlaufen, so daß die Verwendung des bisher benötigten großflächigen
Spiegels zur Einbringung des Oberlichtes nicht mehr erforderlich ist. Dadurch
weist die Vorrichtung eine wesentlich geringere Breite auf und kann
beispielsweise auch ohne weiteres in Doppelnutzenanlagen eingesetzt werden.
Selbstverständlich weist die Vorrichtung entsprechende Abdeckmittel auf, um
eine unmittelbare Beleuchtung des lichtempfindlichen Empfängers durch die
Lichtquelle für das Oberlicht zu verhindern. Dies kann auch dadurch erreicht
werden, daß durch das Strahlteilungsmittel eine Strahlaufteilung in der Weise
erfolgt, daß die Brennpunkte so angeordnet sind, daß das Licht von der
Lichtquelle für das Oberlicht nur durch Reflexion an der Oberfläche zu dem
lichtempfindlichen Empfänger gelangen kann, ohne ihn unmittelbar zu
belichten.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist vorgesehen, daß die Linsenanordnung
einen Achromat aufweist. Dies hat den Vorteil, daß eine relativ genaue
Abbildung der Oberfläche auf dem Objektiv erfolgen kann.
Durch den parallelen Lichtstrahlverlauf wird zwischen der Linsenanordnung und
der Oberfläche ein telezentrischer Aufbau bewirkt, so daß der Abstand
zwischen der Oberfläche und dem Oberbau der Vorrichtung, der das Oberlicht,
den lichtempfindlichen Empfänger und dergleichen trägt, in bestimmten
Bereichen ohne weiteres, insbesondere ohne eine Verstellung der Optik im
Oberbau, variiert werden kann. Dadurch ist eine vorteilhafte flexible
Anpassung der Vorrichtung an vorhandene Herstellungsvorrichtungen mit
unterschiedlich arbeitenden und/oder bemessenen Handhabungsmitteln
möglich.
In einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß
im Lichtstrahlverlauf des von der Oberfläche kommenden Lichtes wenigstens
ein Spiegelelement zwischen der Linsenanordnung und dem lichtempfindlichen
Empfänger vorgesehen ist, um das von der Oberfläche kommende Licht
wenigstens einmal vor dem Eintritt in den lichtempfindlichen Empfänger
umzulenken. Insbesondere bei der Verwendung eines Achromats besteht ein
Problem darin, daß dessen Brennweite in der Regel relativ groß bemessen ist.
Durch eine wenigstens einmalige Strahlfaltung vor dem Eintritt in den
lichtempfindlichen Empfänger läßt sich die Höhe in vorteilhafter Weise
reduzieren.
In einer anderen zweckmäßigen Ausführungsform ist vorgesehen, daß im
Lichtstrahlverlauf des von der Oberfläche kommenden Lichtes ein zweites
Spiegelelement vorgesehen ist, um das Licht vor dem Eintritt in den
lichtempfindlichen Empfänger zweimal umzulenken, und daß der
lichtempfindliche Empfänger so ausgerichtet ist, daß seine optische Achse
seitlich versetzt im wesentlichen parallel zu dem Lichtstrahlverlauf zwischen
Oberfläche und Linsenanordnung verläuft. Durch diese Anordnung läßt sich ein
besonders kompakter Aufbau erzielen, da die Höhe des Oberbaus, der das
Oberlicht, die Linsenanordnung und den lichtempfindlichen Empfänger trägt,
nunmehr kaum größer als die Höhe des lichtempfindlichen Empfängers sein
kann. Durch die doppelte Strahlfaltung kann zudem der lichtempfindliche
Empfänger sehr dicht neben der optischen Achse der Linsenanordnung
angeordnet werden, so daß die Tiefe der Vorrichtung nur unwesentlich erhöht
wird.
Gemäß einer zweckmäßigen Ausführungsform ist vorgesehen, daß das
Strahlteilungsmittel einen teildurchlässigen Spiegel aufweist. Der
teildurchlässige Spiegel ist dabei so ausgerichtet, daß das von der Lichtquelle
für das Oberlicht ausgestrahlte Licht zumindest teilweise in Richtung auf die
Linsenanordnung reflektiert wird, ohne unmittelbar zu dem Empfänger zu
gelangen. Das von der Oberfläche kommende Licht durchläuft den Spiegel
teilweise, um den lichtempfindlichen Empfänger zu belichten. Grundsätzlich
sind auch andere Strahlenverläufe möglich. Der teildurchlässige Spiegel kann
hier an einer beliebigen Stelle des Strahlenverlaufes zwischen der
Linsenanordnung und dem lichtempfindlichen Empfänger angeordnet sein.
Dabei kann vorgesehen sein, daß der teildurchlässige Spiegel näher an dem
lichtempfindlichen Empfänger als an der Linsenanordnung plaziert ist. Aufgrund
des hinter der Linsenanordnung vorliegenden konvergierenden Strahlenverlau
fes kann der Spiegel um so kleiner bemessen werden, je näher an dem
lichtempfindlichen Empfänger angeordnet wird. Insbesondere können die
Abmessungen des Spiegels kleiner als die Abmessungen der Linsenanordnung
sein, so daß durch ein derartig ausgebildetes Strahlteilungsmittel eine
Verbreiterung der Vorrichtung nicht erforderlich ist.
In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß als
Strahlteilungsmittel wenigstens ein optisches Prisma vorgesehen ist. Ein
optisches Prisma kann in vorteilhafter Weise auf sehr begrenztem Raum eine
Vielzahl von teildurchlässigen, total reflektierenden und lediglich das Licht
brechenden Seitenflächen aufweisen, so daß die gewünschte Forderung,
nämlich zwei Brennpunkte der Linsenanordnung zu erzeugen, ohne daß die
Lichtquelle in einer unmittelbaren Lichtstrahlenverbindung mit dem
lichtempfindlichen Empfänger steht, erfüllt werden kann. Insbesondere kann
hierdurch eine kleine Bauweise erreicht werden.
Es ist daher in einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, daß
das Prisma eine erste Seitenfläche aufweist, die als teildurchlässiger Spiegel
ausgebildet und so ausgerichtet ist, um das von der Oberfläche kommende
Licht in Richtung auf den lichtempfindlichen Empfänger zumindest teilweise zu
reflektieren, und daß das Prisma eine zweite Seitenfläche aufweist, auf deren
zur ersten Seitenfläche abgekehrten Seite die Lichtquelle für das Oberlicht
angeordnet ist und die in einem Winkel zu der ersten Seitenfläche verläuft, der
so gewählt ist, daß die Lichtstrahlen der Lichtquelle in Richtung auf die
Linsenanordnung durch Brechung gelenkt werden und solche Lichtstrahlen, die
von dem lichtempfindlichen Empfänger ausgehen würden, an der inneren
Grenzfläche der zweiten Seitenfläche eine Totalreflexion erfahren würden. Der
Winkel ist dabei in Abhängigkeit von der Lage des Prismas im Strahlenverlauf,
von der Brennweite der Linsenanordnung und des Materials zu wählen. Die
entsprechenden Bedingungen sind dem Fachmann jedoch bekannt und
brauchen daher nicht weiter erläutert zu werden. Durch die Totalreflexion kann
der lichtempfindliche Empfänger nicht mehr direkt das Licht der Lichtquelle
aufnehmen, so daß diese Seitenfläche des Prismas wie eine Abdeckung der
Lichtquelle in dieser Richtung wirkt. Durch die Verwendung eines solchen
Prismas ist eine Einbringung des Oberlichtes in den Strahlenverlauf ohne eine
direkte Belichtung des lichtempfindlichen Empfängers ohne weiteres möglich.
Ferner kann in vorteilhafter Weise ein sehr kompakter Aufbau bewirkt werden.
Zweckmäßig kann es dabei sein, wenn die als teildurchlässiger Spiegel
ausgebildete erste Seitenfläche des Prismas das zweite Spiegelelement bildet.
Dadurch kann die Strahlfaltung einerseits und das Einbringen des Oberlichtes
andererseits durch ein einziges Bauelement in vorteilhafter und platzsparender
Weise realisiert werden.
Aufgrund der vorteilhaften Beleuchtung der Oberfläche mit parallelen Strahlen
und der Bündelung der von der Oberfläche kommenden parallelen Strahlen, die
sowohl reflektiertes Licht von dem Oberlicht als auch gestreutes Licht von
dem Unterlicht sein können, kann vorgesehen werden, daß die Abmessungen
der zu der Oberfläche parallelen optisch wirksamen Fläche der Linsenanord
nung zumindest den Abmessungen der zu prüfenden Oberfläche des
Gegenstandes entsprechen. Grundsätzlich sind jedoch Linsenanordnungen mit
größeren Abmessungen als die zu prüfende Oberfläche vorteilhaft, da dadurch
die Beeinflussungen der Verkippungen reduziert werden können. Ferner wird
dann in jedem Fall gewährleistet, daß auch Randbereiche der Oberfläche
ausreichend beleuchtet werden und das aus diesen Bereichen kommende Licht
vollständig in das Objektiv des lichtempfindlichen Empfängers projiziert wird.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zum optischen Prüfen einer
Oberfläche eines Gegenstandes, insbesondere einer CD, bei der die Oberfläche
von wenigstens einer Lichtquelle durch ein Oberlicht von oben und/oder durch
ein Unterlicht von der Seite in einem spitzen Winkel in bezug auf die
Oberfläche beleuchtbar ist und die wenigstens einen lichtempfindlichen
Empfänger zur Aufnahme des von der Oberfläche reflektierten und/oder
gestreuten Lichtes aufweist, wobei das Unterlicht optische Mittel umfaßt, die
wenigstens eine Linsenanordnung aufweisen, um das von der Lichtquelle für
das Unterlicht ausgestrahlte Licht so zu bündeln, daß die Oberfläche von nur
einer Seite des Gegenstandes mit einer im wesentlichen gleichbleibenden
Lichtstärke ausgehend von dem dem Unterlicht zugekehrten Rand bis zu dem
dem Unterlicht abgekehrten Rand der Oberfläche beleuchtbar ist. Die
Vorrichtung kann dabei in vorteilhafter Weise auch mit den Merkmalen der
oben genannten Ausführungsformen versehen sein. Durch diese Ausbildung
des Unterlichtes ist es in vorteilhafter Weise möglich, die Breite der
Vorrichtung auch im unteren Abschnitt zu minimieren, da nunmehr die
Abmessungen des Unterlichtes kleiner als die Breite des Gegenstandes,
beispielsweise kleiner als der Durchmesser der CD, sein kann. Durch die
Beleuchtung von nur einer Seite können auch sehr dicht oder sogar unmittelbar
nebeneinanderliegende Gegenstände mit gleichmäßiger Lichtstärke über die
gesamte Fläche beleuchtet werden. Dadurch wird der Einbau in eine
Doppelnutzenanlage weiter vereinfacht.
Ferner besteht ein Vorteil darin, daß der Gegenstand nunmehr fast vollständig
frei auf der Aufnahmeeinrichtung liegt, so daß die Handhabungsmittel den
Gegenstand ohne weiteres greifen können. Dadurch wird in vorteilhafter Weise
die Flexibilität des Einbaus der erfindungsgemäßen Vorrichtung in bestehende
Einrichtungen erhöht.
Insbesondere bei der gleichzeitigen Verwendung der telezentrischen
Anordnung kann eine optische Prüfvorrichtung bereitgestellt werden, die
neben einem geringen Platzbedarf noch ein Höchstmaß an Flexibilität
hinsichtlich der Anpassung an bestehende Herstellungsvorrichtungen aufweist.
In einer zweckmäßigen Ausgestaltung ist vorgesehen, daß die optischen Mittel
für das Unterlicht wenigstens eine sphärische Sammellinse und eine
Zylinderlinse aufweisen. Die Linsen können dabei so bemessen sein, daß die
Oberfläche von oben gesehen durch leicht divergierende und von der Seite her
gesehen durch im wesentlichen parallele Lichtstrahlen beleuchtet werden kann.
Dadurch kann eine gleichmäßige Beleuchtung der Oberfläche mit einfachen
Mitteln erreicht werden. Die Reihenfolge der Linsen ist grundsätzlich beliebig.
Ferner ist es möglich, kombinierte Linsen zu verwenden, die auf der einen
Seite eine sphärische und auf der anderen Seite eine zylindrische Oberfläche
aufweisen. Auch kann der gewünschte Strahlenverlauf durch eine Fresnellinse
erzeugt werden. Bei der Auswahl der Linsen ist darauf zu achten, daß das von
der Lichtquelle ausgestrahlte Licht möglichst vollständig auf die Oberfläche
gebündelt wird, ohne danebenliegende Bereiche zu beleuchten. Dadurch kann
die Lichtausbeute erhöht werden.
In einer vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, daß die Zylinderlinse
um eine Längsachse senkrecht zur optischen Achse verschwenkbar ist.
Dadurch können die sogenannten Linsenfehler ausgenutzt werden, um in
vorteilhafter Weise die Homogenität der Ausleuchtung der gesamten
Oberfläche weiter zu verbessern.
Ferner kann es zweckmäßig sein, daß zwischen der Lichtquelle für das
Unterlicht und der Oberfläche wenigstens ein Spiegelelement vorgesehen ist.
Das Spiegelelement kann dabei so ausgerichtet sein, daß die optische Achse
der Linsen im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des Gegenstandes
verläuft, so daß in vorteilhafter Weise die Tiefe der Vorrichtung im Bereich des
Unterlichtes, in dem im allgemeinen ein Platzmangel um den Gegenstand
herum herrscht, verringert werden kann.
Ferner kann vorgesehen werden, daß das Unterlicht und/oder das Oberlicht
diffuses Licht ausstrahlt. Dadurch kann die Gleichmäßigkeit sowohl der
Beleuchtung durch das Oberlicht als auch durch das Unterlicht erhöht werden.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der schematischen Zeichnung näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Vorrichtung gemäß der Erfindung,
Fig. 2 eine Seitenansicht einer Vorrichtung gemäß einer anderen
Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 3 eine Seitenansicht eines Prismas in vergrößerter Darstellungsform,
Fig. 4 einen Schnitt gemäß der Linie IV-IV in Fig. 2, und
Fig. 5 eine Draufsicht Schnitt entlang der Linie V-V in Fig. 2.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 10 zum optischen Prüfen einer
Oberfläche, beispielsweise einer CD, weist einen im allgemeinen
säulenförmigen vertikalen Aufbau auf, an dem die einzelnen Funktionselemente
befestigt sind. Der Übersichtlichkeit halber sind in der Zeichnung die für die
Befestigung der einzelnen Funktionselemente erforderlichen Haltemittel nicht
dargestellt.
Die Vorrichtung 10 weist an ihrem unteren Abschnitt eine ebenfalls nicht
dargestellte Aufnahmeeinrichtung auf, um eine CD 11 für die Prüfung
aufzunehmen und zu zentrieren. Die Oberfläche 12 der CD 11 kann von der
Seite mit einem unter einem spitzen Winkel einfallenden Licht durch ein
Unterlicht 13 beleuchtet werden. Im einzelnen ist die Anordnung so getroffen,
daß das Unterlicht eine ringförmige Lichtquelle 14 aufweist, die die CD 11
seitlich oberhalb der Oberfläche 12 in Umfangsrichtung umgibt. Es kann auch
vorgesehen sein, daß das Unterlicht 13 aus mehreren einzelnen, in
Umfangsrichtung mit Abstand zueinander angeordneten Lichtquellen besteht.
Oberhalb der CD 11 ist ein Oberbau 15 der Prüfvorrichtung 10 vorgesehen, in
dem ein lichtempfindlicher Empfänger 16 für die fotografische Aufnahme der
Oberfläche 12 der CD 11 in der Draufsicht, eine Lichtquelle 17 für ein
Oberlicht 18 und eine Linsenanordnung 19 zum Ausrichten der Lichtstrahlen
auf die Oberfläche 12 und zum Bündeln des von der Oberfläche 12
kommenden reflektierten und/oder gestreuten Lichtes in das Objektiv 20 des
lichtempfindlichen Empfängers 16 angeordnet sind. Durch die Linsenanordnung
19 wird das von dem Oberlicht 18 ausgestrahlte Licht parallel auf die
Oberfläche 12 ausgerichtet und gleichzeitig das von der Oberfläche 12
kommende Licht in das Objektiv 20 des lichtempfindlichen Empfängers 16
projiziert. Durch den im wesentlichen parallelen Strahlenverlauf zwischen der
Linsenanordnung 19 und der Oberfläche 12 der CD 11 kann die Breite der
Vorrichtung 10 senkrecht zur Zeichenebene (in Blickrichtung des Pfeiles 21)
verringert werden. Wie beispielsweise in Fig. 4 gezeigt, wird Breite B dabei im
wesentlichen durch die Abmessungen der Linsenanordnung 19 bestimmt und
ist daher nur unwesentlich größer als die Breite der Oberfläche oder der
Durchmesser der CD 11. Die Linsenanordnung 19 kann beispielsweise aus
einem Achromat bestehen.
In Strahlrichtung des von der Oberfläche 12 kommenden Lichtes wird das
Licht durch ein erstes ebenes Spiegelelement 22 und durch ein zweites ebenes
Spiegelelement 23 zweimal umgelenkt, bevor es in das Objektiv 20 des
lichtempfindlichen Empfängers eintritt. Durch diese Strahlfaltung kann eine
Verringerung der Bauhöhe bewirkt werden. Dies ist deshalb zweckmäßig, da
die Brennweite beispielsweise eines Achromats nicht beliebig klein sein kann,
so daß ohne die Strahlfaltung die Vorrichtung relativ hoch wäre. Falls bei der
Herstellungsvorrichtung des betreffenden Gegenstandes jedoch nach oben
ausreichend Platz vorhanden ist, kann auf die Strahlfaltung verzichtet werden.
Durch die Strahlfaltung ist der lichtempfindliche Empfänger 16 so ausgerichtet,
daß seine optische Achse 26 im wesentlichen parallel zu den parallel
ausgerichteten Strahlen zwischen der Oberfläche 12 und der Linsenanordnung
19 verläuft. Diese Ausrichtung bewirkt jedoch lediglich eine größere Tiefe
(Tiefe T in Fig. 4) des Oberbaus, während die Breite des Oberbaus, die im
wesentlichen durch den Durchmesser der Linsenanordnung 19 bestimmt wird,
nicht verändert wird.
Zum Ausrichten des Oberlichtes 18 auf die Linsenanordnung 19 ist ein
Strahlteilungsmittel vorgesehen, das bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungs
form als teildurchlässiger Spiegel 24 ausgebildet ist. Im einzelnen ist die
Anordnung so getroffen, daß der teildurchlässige Spiegel 24 so in dem
Strahlverlauf ausgerichtet ist, daß das Licht der Lichtquelle 17 für das
Oberlicht 18 teilweise in Richtung auf die Linsenanordnung 19 reflektiert wird,
während ein Teil des von der Oberfläche 12 kommenden Lichtes durch den
Spiegel 24 hindurchtritt und den lichtempfindlichen Empfänger belichtet.
Um Mißverständnissen vorzubeugen, wird darauf hingewiesen, daß unter einer
Ablenkung in Richtung eines Elementes auch zu verstehen ist, daß der
Lichtstrahl hinter diesem diese Ablenkung bewirkenden optischen Mittel
natürlich noch weitere Umlenkungen und/oder Ablenkungen durch andere
optische Mittel erfahren kann. Demzufolge kann ein Strahlverlauf auch einer
mehrfach umgelenkten Linie entsprechen.
Durch den teildurchlässigen Spiegel 24 wird erreicht, daß die Linsenanordnung
19 Strahlen auf zwei Brennpunkte fixieren kann. Dies ist deshalb erforderlich,
da zum einen für eine optimale Ausleuchtung durch das Oberlicht sich die
Lichtquelle 17 für das Oberlicht zumindest näherungsweise in einem
Brennpunkt der Linsenanordnung 19 befinden muß. Zum anderen muß sich
zum Erreichen des telezentrischen Aufbaus das Objektiv 20 des
lichtempfindlichen Empfängers 16 in einem Brennpunkt der Linsenanordnung
19 befinden. Durch die Verwendung des teildurchlässigen Spiegels wird
erreicht, daß zwei Brennpunkte der Linsenanordnung erzeugt werden und daß
die Brennpunkte keine direkte optische Verbindung aufweisen, d. h., daß ein
Lichtstrahl von der Lichtquelle 17 nur über die Oberfläche 12 der CD 11 zum
lichtempfindlichen Empfänger 16 gelangen kann.
Der teildurchlässige Spiegel 24 ist bei der in Fig. 1 dargestellten
Ausführungsform zwischen dem zweiten Spiegelelement 23 und dem
lichtempfindlichen Empfänger 16, also im Strahlverlauf näher an dem
lichtempfindlichen Empfänger als an der Linsenanordnung, angeordnet. Durch
den konvergierenden Strahlenverlauf zwischen Linsenanordnung 19 und dem
lichtempfindlichen Empfänger kann der teildurchlässige Spiegel 24 relativ klein
bemessen sein. Zwischen der Lichtquelle 17 für das Oberlicht 18 und dem
Objektiv des lichtempfindlichen Empfängers 16 sind entsprechende
Abdeckelemente 27 vorgesehen, um eine direkte Belichtung zu vermeiden.
Derartige Abdeckelemente 27 sind an entsprechenden Stellen auch für die
Lichtquelle 14 für das Unterlicht 13 vorgesehen. Ferner kann vorgesehen
werden, daß die Lichtquellen mit entsprechenden, nicht dargestellten
Abdeckmitteln versehen sind, um Licht nur in eine bevorzugte Richtung
auszustrahlen.
Der Oberbau 15 ist mit einem hülsenförmigen Abdeckelement 28 umgeben,
um eine Blendung der Umgebung durch das Oberlicht 18 und eine
Beeinflussung des lichtempfindlichen Empfängers 16 durch Umgebungslicht zu
vermeiden. Dieses hülsenförmige Abdeckelement 28 kann einen rechteckigen
Querschnitt aufweisen, dessen lichte Breite zumindest dem äußeren
Durchmesser der Linsenanordnung 19 entspricht, so daß keine merkliche
Vergrößerung der Breite durch das hülsenförmige Abdeckelement 28 zu
erwarten ist.
Der lichtempfindliche Empfänger 16 steht in Verbindung mit einer
Datenverarbeitungsanlage 29, die die aufgenommenen Istbilder mit wenigstens
einem vorher eingemessenen Sollbild vergleicht. Weiterhin sind ein erstes und
ein zweites Steuermittel 30 und 31 vorgesehen, um die Belichtungszeit des
lichtempfindlichen Empfängers 16 beziehungsweise die Beleuchtung der
Oberfläche durch das Oberlicht 18 und/oder das Unterlicht 13 einzustellen.
Das erste Steuermittel 30 steht in Verbindung mit dem zweiten Steuermittel
31, um eine Synchronisation zwischen der Beleuchtung und dem
lichtempfindlichen Empfänger zu ermöglichen.
Es kann beispielsweise vorgesehen werden, daß innerhalb einer Prüfzeit zwei
Bilder der Oberfläche aufgenommen werden, um eine Kontrastschwächung,
die bei einer gleichzeitigen Beleuchtung durch das Oberlicht und das Unterlicht
auftreten könnte, bei den jeweiligen Bildern zu vermeiden. Dabei kann
vorgesehen werden, daß das Oberlicht als Blitzlicht ausgebildet ist, während
das Unterlicht ein Dauerlicht ist. Während des Blitzens wird der
lichtempfindliche Empfänger, im allgemeinen eine CCD-Kamera, in den
sogenannten Shutter-Mode geschaltet, um die entsprechend kurze
Belichtungszeit einzustellen. Das Blitzlicht bewirkt eine wesentlich stärkere
Belichtung der Kamera, so daß die gleichzeitige Belichtung mit dem
kontinuierlichen Unterlicht bei der gemachten Aufnahme kaum zur Geltung
kommt. Dadurch können in einfacher Weise zwei Bilder einer Oberfläche in
kürzester Zeit erstellt werden.
Durch den parallelen Strahlenverlauf zwischen der Linsenanordnung 19 und
der Oberfläche 12 der CD 11 in Form eines telezentrischen Aufbaus ist es
möglich, daß der Abstand des Oberbaus 15 zu der Oberfläche des
Gegenstandes ohne Veränderung der Optik im Oberbau in bestimmten Grenzen
variiert werden kann. Dazu kann wenigstens ein Ständer 32 vorgesehen sein,
der beispielsweise wenigstens ein Langloch 33 aufweist, um den Oberbau 15
verschiebbar mit Spannelementen 34, beispielsweise Schrauben, zu halten.
In Fig. 2 ist eine andere Ausführungsform einer optischen Prüfvorrichtung
gemäß der Erfindung vorgesehen. Die Funktionsweise und der säulenförmige
Aufbau dieser Vorrichtung 40 entspricht im wesentlichen der der Vorrichtung
10 gemäß Fig. 1, und es sind gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen
versehen.
Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform ist das Unterlicht 13 nur auf einer
Seite der CD angeordnet. Das Unterlicht weist eine Lichtquelle 41 auf, deren
Lichtstrahlen durch eine Linsenanordnung 42 und einen Spiegel 43 auf die
Oberfläche 12 der CD 11 gerichtet werden. Im einzelnen ist die Anordnung so
getroffen, daß in Strahlrichtung der Lichtquelle 41 eine runde Sammellinse 44
und eine Zylinderlinse 45 angeordnet sind, um die Oberfläche 12 mit einem
Lichtstrahlbündel unter einem spitzen Einfallswinkel zu beleuchten, das von
oben her gesehen leicht divergierende und von der Seite her gesehen im
wesentlichen parallele Lichtstrahlen aufweist. Die Zylinderlinse 45 ist
verkippbar um eine Längsachse 56 senkrecht zur Zeichenebene gelagert.
Dadurch kann die Zylinderlinse 45 so ausgerichtet werden, daß durch die
Ausnutzung der Linsenfehler eine Beleuchtung der gesamten Oberfläche mit im
wesentlichen gleicher Lichtstärke bewirkt werden kann. Hinter der Lichtquelle
41 kann noch ein Hohlspiegel 46 vorgesehen werden, um die Lichtausbeute zu
erhöhen.
Grundsätzlich ist es in Abhängigkeit des zur Verfügung stehenden Raumes auf
der einen Seite des Gegenstandes natürlich auch möglich, daß eine Linse der
Linsenanordnung größer als der Durchmesser beispielsweise einer CD
bemessen ist, so daß die Oberfläche mit leicht konvergierenden Strahlen
beleuchtbar ist. Dies hat den Vorteil, daß die Homogenität der Lichtverteilung
über der Oberfläche verbessert werden kann.
Wie insbesondere in Fig. 5 ersichtlich, kann durch die Anordnung auf nur einer
Seite des zu prüfenden Gegenstandes die Breite der Prüfvorrichtung auch im
unteren Abschnitt verringert werden. Insbesondere liegt jedoch beispielsweise
die CD im wesentlichen frei zugänglich, so daß eine ungehinderte
Bewegungsmöglichkeit der Handhabungsmittel zum Ergreifen der CD möglich
ist.
Das Oberlicht 18 wird bei der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung 40 durch ein
optisches Prisma 47 in Richtung auf die Linsenanordnung 19 eingebracht. Das
optische Prisma 47 ist in vergrößerter Darstellungsform in Fig. 3 gezeigt.
Im einzelnen ist die Anordnung so getroffen, daß das optische Prisma 47 eine
teildurchlässige Spiegelfläche 48 aufweist, die entsprechend dem
Spiegelelement 23 der Vorrichtung 10 in Fig. 1 ausgerichtet ist. Die von der
Oberfläche 12 kommenden und durch die Linsenanordnung 19 gebündelten
Lichtstrahlen 49, die in Fig. 3 durch Vollinien dargestellt sind, werden daher in
entsprechender Weise in Richtung auf den lichtempfindlichen Empfänger
teilweise reflektiert.
Das Prisma 47 weist ferner eine zweite Seitenfläche 50 auf, auf deren der
teildurchlässigen Spiegelfläche abgekehrten Seite eine Lichtquelle 51 für das
Oberlicht angeordnet ist. Diese zweite Seitenfläche 50 verläuft in einem
solchen Winkel α zu der teildurchlässigen Spiegelfläche 48, daß die von der
Lichtquelle 51 ausgehenden Lichtstrahlen 52, die in Fig. 3 durch gestrichelte
Linien dargestellt sind, durch Brechung an der zweiten Seitenfläche und durch
erneute Brechung an der teildurchlässigen Spiegelfläche genau entgegenge
setzt zu den von der Oberfläche kommenden Lichtstrahlen 49 verlaufen. Die
Lichtquelle 51 ist hier in dem durch das als Strahlteilungsmittel wirkende
Prisma 47 erzeugten zweiten Brennpunkt der Linsenanordnung 19 angeordnet.
Ferner ist der Winkel α so gewählt, daß der lichtempfindliche Empfänger nicht
direkt in die Lichtquelle 51 sehen kann. Dies bedeutet, daß Lichtstrahlen 53,
die von dem lichtempfindlichen Empfänger 16 ausgehen würden, an der
inneren Grenzfläche 54 der zweiten Seitenfläche 50 eine Totalreflexion
erfahren. Die Einstellung eines solchen Winkels ist möglich, da ein von der
Lichtquelle kommender Lichtstrahl in einem bestimmten Winkel auf die zweite
Seitenfläche 50 treffen muß, um durch Brechung an den beiden Seiten den
gewünschten Strahlenverlauf zu erhalten. Ein von dem lichtempfindlichen
Empfänger kommender Lichtstrahl wird zunächst an der ersten Seite
gebrochen und trifft in einem anderen Winkel als der, der für die Lichtquelle
eingestellt ist, auf die zweite Seitenfläche 50. Es sind daher Winkel in
Abhängigkeit von der Lage der ersten Seite des Prismas im Strahlenverlauf so
einstellbar, daß ein von der Lichtquelle kommender Lichtstrahl an der zweiten
Seite gerade keine Totalreflexion erfährt, während ein von dem lichtempfindli
chen Empfänger kommender Lichtstrahl an dieser Seite total reflektiert wird.
Die an der inneren Grenzfläche 54 total reflektierten Strahlen 53, die in Fig. 3
durch strichpunktierte Linien dargestellt sind, treffen dann auf eine dritte Seite
55 des Prismas, die beispielsweise geschwärzt ist. Eine Schwärzung oder
andere Verdunkelung dieser Seite hat auch den Vorteil, daß eine Beeinflussung
durch Streulicht vermieden werden kann. Durch eine entsprechende
Einstellung des Winkels α zwischen den Seitenflächen 48 und 50 kann daher
eine direkte Beleuchtung des lichtempfindlichen Empfängers durch die
Lichtquelle 51 für das Oberlicht vermieden werden.
Der Winkel α ist in Abhängigkeit von den örtlichen Gegebenheiten, also
insbesondere durch die Lage des Prismas im Strahlenverlauf, und von dem
verwendeten Material für das Prisma auszuwählen. Die Bestimmung des
Winkels zur Erfüllung der gestellten Anforderungen ist dem Fachmann bekannt
und bedarf daher keiner weiteren Erläuterung. Der Vollständigkeit halber wird
darauf hingewiesen, daß die jeweiligen Lichtstrahlen 49, 52 und 53 in
bestimmten Abschnitten übereinander verlaufen. Der Übersichtlichkeit halber
ist jedoch stets nur ein Strahl dargestellt.
Durch diese Ausbildung des Oberlichtes kann die Tiefe der Vorrichtung weiter
verringert werden, da sich die Lichtquelle 51 für das Oberlicht 18 in
unmittelbarer Nähe der optischen Achse 26 des lichtempfindlichen Empfängers
16 befinden kann. Aufgrund der besonderen Ausbildung des optischen Prismas
47 wird jedoch eine unmittelbare Belichtung durch das Oberlicht zuverlässig
vermieden, da durch die Totalreflexion der gedachten Strahlen 53 an der
inneren Grenzfläche 44 der zweiten Seitenfläche 50 diese Fläche wie ein
Abdeckelement wirkt.
Der Ständer 32 für die verschiebbare Anordnung des Oberbaus 15 ist der
Übersichtlichkeit halber in der Fig. 2 nicht dargestellt. Es ist aber
selbstverständlich auch möglich, die Vorrichtung 40 mit einem derartigen
Ständer 32 zu versehen. Ferner ist es selbstverständlich, daß die
unterschiedlichen Bauarten des Oberlichtes 18 oder des Unterlichtes 13 in den
Vorrichtungen 10 beziehungsweise 40 vertauscht werden können.
In der Zeichnung und in der Beschreibung sind die einzelnen einzuhaltenden
Winkel nicht näher dargestellt worden, da sie insbesondere von den jeweils
unterschiedlichen Abmessungen der einzelnen Elemente abhängen. Die
exakten Ausrichtungen der jeweiligen Elemente können, ohne daß es einer
weiteren Erläuterung bedarf, durch den Fachmann anhand der vorliegenden
Beschreibung ermittelt und eingestellt werden.
Bezugszeichenliste
10 Vorrichtung
11 CD
12 Oberfläche
13 Unterlicht
14 Lichtquelle
15 Oberbau
16 lichtempfindlicher Empfänger
17 Lichtquelle
18 Oberlicht
19 Linsenanordnung
20 Objektiv
21 Richtungspfeil
22 Spiegelelement
23 Spiegelelement
24 teildurchlässiger Spiegel
26 optische Achse
27 Abdeckelement
28 Abdeckelement
29 Datenverarbeitungsanlage
30 erstes Steuermittel
31 zweites Steuermittel
32 Ständer
33 Langloch
34 Spannschraube
40 Vorrichtung
41 Lichtquelle
42 Linsenanordnung
43 Spiegel
44 Sammellinse
45 Zylinderlinse
46 Hohlspiegel
47 Prisma
48 Seitenfläche
49 Lichtstrahl
50 Seitenfläche
51 Lichtquelle
52 Lichtstrahl
53 gedachter Lichtstrahl
54 Grenzfläche
55 Seitenfläche
56 Achse
11 CD
12 Oberfläche
13 Unterlicht
14 Lichtquelle
15 Oberbau
16 lichtempfindlicher Empfänger
17 Lichtquelle
18 Oberlicht
19 Linsenanordnung
20 Objektiv
21 Richtungspfeil
22 Spiegelelement
23 Spiegelelement
24 teildurchlässiger Spiegel
26 optische Achse
27 Abdeckelement
28 Abdeckelement
29 Datenverarbeitungsanlage
30 erstes Steuermittel
31 zweites Steuermittel
32 Ständer
33 Langloch
34 Spannschraube
40 Vorrichtung
41 Lichtquelle
42 Linsenanordnung
43 Spiegel
44 Sammellinse
45 Zylinderlinse
46 Hohlspiegel
47 Prisma
48 Seitenfläche
49 Lichtstrahl
50 Seitenfläche
51 Lichtquelle
52 Lichtstrahl
53 gedachter Lichtstrahl
54 Grenzfläche
55 Seitenfläche
56 Achse
Claims (15)
1. Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche (12) eines
Gegenstandes, insbesondere einer Compact-Disc (CD), bei der die Oberfläche
von wenigstens einer Lichtquelle (14, 17, 41, 51) von oben durch ein
Oberlicht (18) und/oder durch ein Unterlicht (13) von der Seite in einem
spitzen Winkel in bezug auf die Oberfläche beleuchtbar ist und die wenigstens
einen lichtempfindlichen Empfänger (16) zur Aufnahme des von der Oberfläche
kommenden reflektierten und/oder gestreuten Lichtes aufweist, dadurch
gekennzeichnet, daß im Lichtstrahlverlauf zwischen der Oberfläche und dem
Objektiv (20) des lichtempfindlichen Empfängers wenigstens eine
Linsenanordnung (19) vorgesehen ist, die von ihrem Brennpunkt divergierende
Lichtstrahlen in im wesentlichen parallele Lichtstrahlen bündelt, daß im
Lichtstrahlverlauf zwischen der Linsenanordnung und dem Objektiv wenigstens
ein Strahlteilungsmittel (24, 47) vorgesehen ist, um wenigstens zwei
Brennpunkte der Linsenanordnung (19) zu erzeugen, wobei die Lichtquelle (17,
51) für das Oberlicht (18) zumindest näherungsweise in dem einen Brennpunkt
angeordnet ist, um die Oberfläche mit im wesentlichen parallelen Lichtstrahlen
zu beleuchten, und das Objektiv (20) in dem anderen Brennpunkt der
Linsenanordnung (19) angeordnet ist, so daß das von der Oberfläche
kommende Licht auf das Objektiv des lichtempfindlichen Empfängers direkt
oder indirekt projiziert werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Linsenanordnung (19) einen Achromat aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im
Lichtstrahlverlauf des von der Oberfläche kommenden Lichtes wenigstens ein
Spiegelelement (22) zwischen der Linsenanordnung (19) und dem
lichtempfindlichen Empfänger (16) vorgesehen ist, um das von der Oberfläche
kommende Licht wenigstens einmal vor dem Eintritt in den lichtempfindlichen
Empfänger umzulenken.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß im Lichtstrahlverlauf des von der Oberfläche kommenden Lichtes ein
zweites Spiegelelement (23) vorgesehen ist, um das Licht vor dem Eintritt in
den lichtempfindlichen Empfänger (16) zweimal umzulenken, und daß der
lichtempfindliche Empfänger so ausgerichtet ist, daß seine optische Achse (26)
seitlich versetzt im wesentlichen parallel zu dem Lichtstrahlverlauf zwischen
der Oberfläche und der Linsenanordnung verläuft.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß das Strahlteilungsmittel einen teildurchlässigen Spiegel (24) aufweist, der
in dem Lichtstrahlverlauf zwischen der Linsenanordnung (19) und dem
lichtempfindlichen Empfänger (16) angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der teildurchlässige Spiegel (24) in Strahlrichtung näher an dem Objektiv
(20) als an der Linsenanordnung (19) angeordnet ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß als Strahlteilungsmittel wenigstens ein optisches Prisma (47) vorgesehen
ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß das Prisma eine erste Seitenfläche (48) aufweist, die als teildurchlässiger
Spiegel ausgebildet und derart im Strahlenverlauf ausgerichtet ist, um das von
der Oberfläche kommende Licht (49) direkt oder indirekt in Richtung auf den
lichtempfindlichen Empfänger (16) zumindest teilweise zu reflektieren, und daß
das Prisma eine zweite Seitenfläche (50) aufweist, auf deren zur ersten
Seitenfläche (48) abgekehrten Seite die Lichtquelle (51) für das Oberlicht (18)
angeordnet ist und die in einem Winkel (α) zu der ersten Seitenfläche (48)
verläuft, der so gewählt ist, daß die Lichtstrahlen (52) der Lichtquelle (51)
direkt oder indirekt in Richtung auf die Linsenanordnung (19) durch Brechung
gelenkt werden und solche Lichtstrahlen (53), die von dem lichtempfindlichen
Empfänger (16) ausgehen würden, an der inneren Grenzfläche (54) der zweiten
Seitenfläche (50) eine Totalreflexion erfahren würden.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die als teildurchlässiger Spiegel ausgebildete erste Seitenfläche (48) des
Prismas (47) das zweite Spiegelelement (23) bildet.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abmessungen der zu der Oberfläche parallelen optisch wirksamen
Fläche der Linsenanordnung zumindest den Abmessungen der zu prüfenden
Oberfläche des Gegenstandes entsprechen.
11. Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche (12) eines
Gegenstandes, insbesondere einer Compact-Disc (CD), bei der die Oberfläche
von wenigstens einer Lichtquelle (17, 41, 51) durch ein Oberlicht (18) von
oben und/oder durch ein Unterlicht (13) von der Seite in einem spitzen Winkel
in bezug auf die Oberfläche beleuchtbar ist und die wenigstens einen
lichtempfindlichen Empfänger (16) zur Aufnahme des von der Oberfläche
reflektierten und/oder gestreuten Lichtes aufweist, insbesondere nach einem
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Unterlicht
(13) optische Mittel (41, 43) umfaßt, die wenigstens eine Linsenanordnung
(42) aufweisen, um das von der Lichtquelle (41) für das Unterlicht
ausgestrahlte Licht so zu bündeln, daß die Oberfläche (12) von nur einer Seite
des Gegenstandes (11) mit einer im wesentlichen gleichbleibenden Lichtstärke
ausgehend von dem dem Unterlicht zugekehrten Rand bis zu dem dem
Unterlicht abgekehrten Rand der Oberfläche beleuchtbar ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
optischen Mittel für das Unterlicht (13) wenigstens eine Sammellinse (44) und
eine Zylinderlinse (45) aufweisen.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zylinderlinse (45) um eine Längsachse (56) senkrecht zur optischen Achse
verschwenkbar ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeich
net, daß zwischen der Lichtquelle (41) für das Unterlicht und der Oberfläche
wenigstens ein Spiegelelement (43) vorgesehen ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet,
daß das Unterlicht (13) und/oder das Oberlicht (18) diffuses Licht ausstrahlt.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1995111196 DE19511196A1 (de) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | Optische Prüfvorrichtung |
| GB9606311A GB2300913A (en) | 1995-03-27 | 1996-03-26 | Optical surface testing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1995111196 DE19511196A1 (de) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | Optische Prüfvorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19511196A1 true DE19511196A1 (de) | 1996-10-02 |
Family
ID=7757875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1995111196 Withdrawn DE19511196A1 (de) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | Optische Prüfvorrichtung |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE19511196A1 (de) |
| GB (1) | GB2300913A (de) |
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| US7577353B2 (en) | 2005-12-23 | 2009-08-18 | Intelligente Optische Sensoren Und Systeme Gmbh | Device and method for optically inspecting a surface |
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1995
- 1995-03-27 DE DE1995111196 patent/DE19511196A1/de not_active Withdrawn
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1996
- 1996-03-26 GB GB9606311A patent/GB2300913A/en not_active Withdrawn
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9606311D0 (en) | 1996-05-29 |
| GB2300913A (en) | 1996-11-20 |
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Legal Events
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