DE1728951U - Ableseeinrichtung fuer praezisionsteilungen. - Google Patents

Description

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ASKANlA-WERItE A.G. ^M^j BERLBN-FRIEDENAU

Pat/Seiffert/ΚΙ. 4. Juni 1956

Gebraachamusteranmeldunfi Sr« 3559 - A 1/5

AbIβseeinrichtung für Präzisionsteilungen·

Die Neuerung befaßt sioh mit einer Ableseeinriehtung für Präzisions— teilungen, wie sie in hochempfindlichen lleßinstrumenten (z.B· zur optischen Längenmessung o.a.) benutzt werden. In solchen Geräten sind Teilungen notwendig, deren Teilungsmarken mitunter nur Strichbreiten von wenigen Mikron und Strichtiefen von Bruchteilen der Breite aufweisen. Sie sind meist auf Glasplatten oder auch auf metallischen Trägern angebracht. Die Ablesung der Teilung erfolgt gewöhnlich mit Hilfe eines Mikroskops.

TSn bei diesem Verfahren die Teilstriche, insbesondere solche, die sioh auf einem gläsernen Träger befinden, genügend sichtbar zu. machen, müssen sie zwecke Erhöhung des Kontrastes besonders behandelt werden. In der Regel werden sie mit einer absorbierenden Substanz ausgelegt. Wegen der erwähnten geringen Strichtiefen ergeben sich für die Behandlung des Q!eilungsträgers Schwierigkeiten, da sich die Kontrastmittel bei Reinigung des Trägers aus den Markierungen herauswischen lassen. Infolgedessen sind besondere Einrichtungen zur Ablesung der Markierung notwendig, die auch ohne kontraststeigernde Auslegung der Teilstriche eine sichere Ablesung der Teilung zulassen.

Es wird deshalb neuerungsgemäß vorgeschlagen, ein an sich bekanntes Interferenzmikroskop zur Ablesung der Teilung zu benutzen.

Zur Punktion derartiger Mikroskope sei an einer Ausführung β art

- da sie an sich bekannt ist - nur folgendes ausgeführtt

Das Mikroskop enthält eine Leuchtquelle, deren lage in der Figur 1

- um eine Vorstellung zu vermitteln - mit (1 ) angedeutet iet_o Im übrigen zeigt die Figur nur die Umrisse einer Ausführungsf ona dieäer Mikroskope, Am Ort (2) befindet sich eine Vergleichsepiegelfläche. Daneben besitzt das Mikroskop zwei untereinander gleiche optische abbildende Systeme, von denen die Lage des einen mit (3) gekennzeichnet ist. Das andere (4) befindet sich vor der Yergleiohsspiegelflache (2) und dient zur Betrachtung dieser Vergleichaflache*

Das System (3) ist auf daszu betrachtende Objekt (5) gerichtet. Yon (1) g&angt Licht über ein geeignet ausgebildetes physikalisches strahlenteilendes Mittel (6) sowohl zu (2) als auch zu (5), wird von beiden Flächen reflektiert undgelangt wieder über das * strahlenteilende Mittel (6) jetzt in die Objektebene dee eigentlichen Mikroskopes (7).

Bei entsprechender Justierung entstehen dort durch Vereinigung beider Strahlenbündel die bekannten Interferenzstreifen, die einen Schluß auf einzelne hervortretende Oberilächenteile in Bezug auf ihre Abweichung von benachbarten Teilen der Oberfläche des Objekts zulassen, da sich Inhomogenitäten in der Oberfläche in Wegdifferenzen des Lichtes bemerkbar machen.

Ea entsteht so z.B. beim Betrachten eines Teilstriches (8) unter Verwendung monochromatischen Lichtes ein Bild wie es die Pigur 2 die das Gesichtefeld des Mikroskopes zeigt, wiedergibt. Es lassen sich dort abwechselnd die bekannten hellen und dunklen Interferenzstreifen beobachten, die an Stellen, die dem Ort der Ϊeilungsmarkierung entsprechen, fransenförmige Ausbuchtungen aufweisen, deren Lage mit Hilfe eines Ableseindex (9) im Mikroskop eine genauere Lokalisierung des Teilstriches zulassen.

Die Ausbildung der Perm und Lage der oben erwähnten Fransen hängt von der Struktur des Teilstrichgrundes ab. Es ergeben sich demzufolge gewisse Unregelmäßigkeiten in Form und Lage, aus denen die Möglichkeit einer Mittelung über die Orte der einzelnen Pransen zwecks genauerer Lokal-isierung des Strichortes resultiert.

Die Einrichtung zur Ablesung von Teilungsmarkierungen mit Hilfe eines Interferenzmikroskopes erhält ihren Wert vermöge ihrer kontraststeigernden Wirkung an einem kontrastarmen Teilbereich der T eilstrichstruktur. Darüber hinaus ist die Ableseeinrichtung nicht anfällig gegenüber Beugung ©effekt en an allerfeinet en Teile-trichen.

Weiterhin ergibt sich die Möglichkeit, in Einrichtungen, in denen die Ablesung der Teilung mit Hilfe eines Interferensaaikroekopee erfolgt, Teilungen zu benutzen, deren Herstellung wesentlich einfacher ist als die Herstellung der bekannten Teilungen. So ist es z.B. überflüssig, die Teilung durch Ätzen - ein Verfahren, das die Teilstriche unnötig unscharf werden läßt - herzustellen, sondern es genügt vielmehr, die Teilung durch geringfügige Beschädigung der Oberfläche des Teilungsträgers zu erzeugen.

Claims (1)

1. Bei der Bezifferung der Teilungen ist es zweckmäßig, die Ziffern auszulegen, damit keine Abweichungen von der Homogenität der Oberfläche am Ort der Ziffern auftreten. Das Bild würde Infolge dg*r durch diese Inhomogenitäten verursachten Interferenzersoheinongen unübersichtlich werden.

   Die Ableseeinrichtung läßt sich auch in den Fällen benutzen, in den es sich nicht um die Ablesung allerfeinater Teilstriche von Präzisionsteilungen handelt.

   Schutzanspruch

   Ableseeinrichtung mit Mikroskop für Teilungen, vorzugsweise für Präzisionsteilungen sehr geringer Strichbreite- und Tiefe» deren Teilstriche nicht mit einem kontrastfördernden Mittel auslegbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop als ein an sich bekanntes Interferenzmikroskop ausgebildet ist.

   ASKANIA-WERKE

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