DE1791285B2 - Verfahren zum Nachstimmen piezoelektrischer Resonatoren und nach dem Verfahren nachgestimmte piezoelektrische Resonatoren - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren zum Nachstimmen von piezoelektrischen Resonatoren und nach dem Verfahren nachgeschaltete piezoelektrische Resonatoren.

Sie bezieht sieh insbesondere auf Verfahren zum

Nachstimmen eines mit mindestens einer Elektrode versehenen piezoelektrischen Resonators, bei dem sich der mit Elektroden versehene Bereich nicht über die gesamte Oberfläche des Resonators erstreckt.

Die Erfindung läßt sich auf piezoelektrische Resonatoren anwenden, die eine dünne Platte aus einem monokristallinen oder keramischen Material enthalten, deren Schwingungsformen zu (Teilchen-) Verschiebungen in Ebenen der Platte führen, die zu der Mittelebene der Platte antisymmetrisch sind. Derartige Schwingungsformen umfassen die Dickenscherungs-, Dickendrehungs- und Torsionsschwingungen, die in monokristallinen, piezoelektrischen Stoffen und in piezoelektrischen Keramiken auftreten können.

Derartige allgemein bekannte plattenförmige Resonatoren der Dicke (t) sind auf den beiden gegenüberliegenden ebenen Oberflächen mit Elektroden vorgewählter Größe belegt, damit sie elektromechanisch in ihren Grundschwingungen angeregt werden können. Im Resonanzfall erhält man maximale Verschiebungen und Schwingungsamplituden.

Verbesserungen, die die Ausbildung und die Herstellung von piezoelektrischen Resonatoren betreffen, haben zu Kriterien geführt, die auf die Herstellung von Filtern aus Resonatoren oder Mehrfachresonatoren angewendet werden können. In der US-PS 32 22 622 ist z. B. ein Mehrfachresonator beschrieben, der mehrere Resonatoren auf einer einzigen Platte enthält. Man erhält eine derartige Anordnung, wenn man die Resonatorelektroden mit Rücksicht auf den »Aktionsbereich« oder die Wellenausbreitung der einzelnen Resonatoren in dem umgebenden Plattenmaterial beabstandet.

Es ist möglich, bei den Resonatoren die Schwingungsausbreitung über den mit den Elektroden versehenen Bereich hinaus auf ein Minimum zu reduzieren, damit der »Aktionsbereich« verringert und das mechanische Q möglichst groß wird. Man erreicht dies dadurch, daß man strukturell eine Beziehung zwischen der Resonanzfrequenz h des mit den Elektroden versehenen Bereichs und der Resonanzfrequenz A des diesen umgebenden und nicht mit Elektroden versehenen Bereichs der Platte herstellt, durch die die Frequenz A als Sperrfrequenz für die Ausbreitung von Schwingungen aus dem mit den Elektroden versehenen Bereich wirkt. Nach dieser Beziehung liegt /a/A vorzugsweise zwischen 0,8 und 0,999, d. h. unterhalb von 1. Diese Werte sind bereits in der Offenlegungsschrift 14 41 633 angegeben worden. Eine Möglichkeit zur Einstellung der Frequenzbeziehung ist nach dieser Offenlegungsschrift die Verwendung einer bezüglich der Dicke tw der Platte berechneten Elektrodendicke te, um eine vorgewählte Massenbelegung des mit den Elektroden versehenen Bereiches zu erhalten. Dadurch wird die Resonanzfrequenz dieses Bereiches bezüglich des diesen umgebenden, aus dem Plattenmaterial bestehenden Bereiches erniedrigt.

Wie aus der Offenlegungsschrift 15 16 744 hervorgeht, existiert für eine gegebene Platte der Dicke tw und einen Elektrodendurchmesser dein sehr enger Bereich, in welchem die Arbeitsfrequenz verändert oder nachgestimmt werden kann, ohne Nebenresonanzen zu verursachen, indem die Massenbelegung des mit Elektroden versehenen Bereichs geändert wird. Insbesondere kann unter Berücksichtigung der Massenbelegung der Elektrodendurchmesser d eines HF-Resonators durch die Gleichung

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(D

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ausgedrückt werden, die ebenfalls in der Offenlegungsschrift 1516 744 angegeben ist. M ist dabei eine ¹S Konstante, tw die Plattendicke, π gibt die Ordnung der Harmonischen (1,3,5...) an, fa ist die Resonanzfrequenz des zwischen den Elektroden der Platte liegenden Bereichs, und A ist die berechnete Sperr-(Resonanz-)frequenz des diesen umgebenden und nicht mit Elektroden versehenen Bereichs. Wenn die Gleichung (1) nicht erfüllt ist, dann treten unerwünschte, nicht harmonische Oberschwingungen bzw. deren Resonanzen auf.

Mit Hilfe der Gleichung (1) kann der maximale Abstand der Resonanzfrequenz des zwischen den ²S Elektroden liegenden Bereichs von der Resonanzfrequenz des nicht zwischen den Elektroden liegenden Bereichs ausgerechnet werden, der noch ohne das Auftreten von Nebenresonanzen möglich ist. Insbesondere kann die Gleichung (1) für falfb gelöst werden, um ein minimales Frequenzverhältnis zu erhalten.

Bei der Herstellung eines Resonators an Hand der obigen Angaben wird zunächst der Elektronendurchmesser je nach den besonderen erwünschten Eigenschaften wie Kapazitäten, Widerstand usw. gewählt. Der gewählte Durchmesser und die Arbeitsfrequenz fa werden dann in die Gleichung (1) eingesetzt, woraufhin aus dieser Gleichung fb ermittelt wird. Die relativen Dicken der Bereiche mit und ohne Elektroden werden erst anschließend festgelegt, um die erwünschte Beziehung zwischen fa und A zu erhalten.

Die Arbeitsfrequenz kann bekanntlich durch die Vorausberechnung der Dimension nie genau eingestellt werden, was hauptsächlich durch die hohen Herstellungstoleranzen bedingt ist. Daher muß der Resonator anschließend nachgestimmt werden. Bei der Herstellung von Mehrfachresonatoren, die z. B. in der USA.-Patentschrift 32 22 622 beschrieben sind, können außerdem verschiedene Arbeitsfrequenzen für die einzelnen Resonatoren erwünscht sein, so daß ein getrenntes Nachstimmen der einzelnen Resonatoren notwendig wird.

• Das Nachstimmen erfolgte bisher durch das Messen der Resonanzfrequenz des zwischen den Elektroden liegenden Bereichs nach der Herstellung des Resonators und durch das anschließende Verändern der Elektrodendicke durch Entfernung oder Hinzufügung von Elektrodenmaterial bis zur Einstellung der genauen Arbeitsfrequenz. Die Frequenzverschiebung, die so erreicht werden kann, ohne die Resonatoreigenschaften in schädlicher Weise zu beeinflussen, ist ziemlich gering. Wenn nämlich mehr als eine bestimmte Menge an Elektrodenmaterial hinzugefügt wird, dann wird die Massenbelegung des zwischen den Elektroden liegenden Bereichs derart verändert, daß das Verhältnis falfb modifiziert wird und Nebenresonanzen auftreten. Diese Beschränkung führt zu besonderen Schwierigkeiten bei der Herstellung von Mehrfachresonatoren, bei denen wesentliche Frequenzunterschiede zwischen den einzelnen Resonatoren, die auf einer gleichförmig dicken Platte angeordnet sind , möglich sein sollten, um das gewünschte Verhältnis zwischen den Resonanz- und Antiresonanzfrequenzen der den Filter bildenden Resonatoren zu erhalten.

Aus der deutschen Patentschrift 8 72 966 ist zwar ein Verfahren zum Frequenzabgleich metallisierter Schwingkristalle bekannt, bei dem auf dem Metallbelag des Schwingkristalls feste und beständige chemische Verbindungen niedergeschlagen werden, die die Masse der Belegung vergrößern und damit die Frequenz erniedrigen. Das Niederschlagen dieser chemischen Verbindungen geschieht durch Einwirkung gas- oder dampfförmiger Substanzen, die mit dem Metallbelag reagieren. Hierdurch wird nur die Frequenz innerhalb der mit Metall belegten, d. h. mit Elektroden versehenen Bereiche erniedrigt, während die Eigenfrequenz in den nicht mit Metall belegten Bereichen des Schwingkristalls konstant bleibt. Es gibt jedoch Anwendungsmöglichkeiten für nachgestimmte Schwingkristalle, bei denen es wünschenswert ist, daß das Verhältnis der Frequenz in dem mit Elektroden belegten Bereich zu der Frequenz des Schwingkristalls in dem nicht mit Elektroden belegten Bereich auch bei der Abstimmung des Schwingkristalls konstant bleibt.

Aus der deutschen Auslegeschrift 10 27 735 ist es nun bekannt, zum Zwecke der Erhöhung der Frequenzkonstanz von Schwingkristallen mit elektrisch leitenden Oberflächen auf die Oberflächenelektrode einen Belag aus Siliciummonoxid oder Siliciumdioxid oder einem Material mit gleichen physikalischen Eigenschaften aufzudampfen, um Nachkristallisation und einen die Frequenz beeinflussenden Alterungsvorgang zu verhindern.

Ausgehend von diesem Stand der Technik besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren zum Nachstimmen von piezoelektrischen Resonatoren der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, durch das Resonatoren, insbesondere Mehrfachresonatoren, die unter anderem als elektrische Filter ausgebildet sein können, im wesentlichen unter Konstanthaltung des Verhältnisses der Frequenz eines mit Elektroden versehenen Bereiches zu der Frequenz des Bereiches ohne Elektroden nachgestimmt werden können.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß der mit Elektroden versehene Bereich und das diesen umgebende piezoelektrische Material zur Einstellung gewünschter Arbeitsfrequenzen selektiv beschichtet werden.

Das Konstanthalten des Verhältnisses der Frequenzen des Bereichs mit Elektroden und des Bereichs ohne Elektroden bei dem erfindungsgemäßen Verfahren besitzt eine wesentliche Bedeutung im Hinblick auf Resonatoren, die mehrere mit Elektroden versehene Bereiche auf einem einzigen piezoelektrischen Resonatormaterial enthalten. Das isolierende Beschichtungsmaterial, das vorzugsweise einen hohen <?-Wert aufweist und sich sowohl über den Bereich mit Elektroden als auch über den ohne Elektroden erstreckt, verändert die Resonanzfrequenzen dieser Bereiche um Beträge, die das ursprüngliche Verhältnis dieser Frequenzen in guter Näherung konstant halten. Hierdurch wird es relativ leicht und auf sehr exakte Weise möglich, nicht nur einen Resonanzbereich, sondern mehrere derartige Resonanzbereiche auf einer einzigen dünnen Platte aus piezoelektrischem Material nachzustimmen. Zur wahlweisen Nachstimmung dieser einzelnen Resonatoreinheiten auf ihre gewünschte

Arbeitsfrequenzen wird auf die Elektroden und das unmittelbar an sie angrenzende Plattenmaterial jeweils eine Schicht aus Isoliermaterial selektiv aufgebracht, durch die die jeweiligen Verhältnisse der Resonanzfrequenzen des Bereichs mit Elektroden und des Bereichs ohne Elektroden in guter Näherung konstant bleiben.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung an Hand der Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen zeigt

Fig. 1 einen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren nachgestimmten piezoelektrischen Resonator, F i g. 2 einen Schnitt durch die Linie 2-2 in F i g. 1, Fig.3 eine Draufsicht auf einen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren nachgestimmten Mehrfachresonator, der als elektrisches Filter ausgebildet ist, und

- F i g .4 ein Ersatzschaltbild -für den Mehrfachresonator nach Fig. 3.

Fig. 1 zeigt einen piezoelektrischen Resonator 10. Er enthält eine dünne Platte 12 aus piezoelektrischem Material, welche mit zwei Elektroden 14 und 16 auf entgegengesetzten Seiten versehen ist, die mit dem dazwischenliegenden piezoelektrischen Material zusammenwirken. Die Platte 12 ist auf ihren entgegengesetzten Oberflächen außerdem mit elektrisch leitenden Zuführungen 18 und 20 versehen, die von den entsprechenden Elektroden bis zum Plattenrand verlaufen, damit die Einschaltung des Resonators 10 in eine elektrische Schaltung erleichtert wird. Die Elektroden 14 und 16 und die Zuführungen 18 und 20 können durch Aufdampfen eines elektrisch leitenden Materials, z. B. Aluminium, Gold oder Silber, auf die Plattenoberflächen hergestellt werden, wenn man außerdem bekannte Maskierungsverfahren verwendet. Die Elektroden und Zuführungen können jedoch auch in geeignete Ausnehmungen in den Plattenflächen eingesetzt werden. Der Resonator 10 kann außerdem verschiedene Formen aufweisen, damit man vorgewählte Verhältnisse zwischen den Resonanzfrequenzen des zwischen den Elektroden und des nicht zwischen den Elektroden liegenden Bereichs erhält. Zur Vereinfachung der Darstellung enthält der dargestellte Resonator 10 eine kreisförmige Platte gleichförmiger Dicke mit kreisför-_ migen Elektroden und Zuführungen auf ihren Oberflächen. Die Dicke der Elektroden reicht aus, um die erwünschte Massenbelegung im mit Elektroden versehenen Bereich zu erhalten, wie es nach der oben dargelegten Theorie erforderlich ist.

Die Platte 12 besteht vorzugsweise aus einem monokristallinen oder keramischen Material und weist Schwingungsformen auf, die in zur Mittelebene der Platte antisymmetrischen Ebenen zu (Teilchen-)Verschiebungen führen, d. h., es handelt sich um Dickenscherungs-, Dickendrehung- und Torsionsschwingungen.

Bekannte monokristalline piezoelektrische Stoffe sind Quarz, Rochelle Salz, DKT (Dikaliumtartrat), Lithiumsulfat od. dgl. Die Grundschwingung einer Kristallplatte ist bekanntlich durch die Orientierung der Platte bezüglich der kristallographischen Achse des Kristalls, aus dem sie geschnitten wird, bestimmt. Für eine Dickenscherungsschwingung kann beispielsweise ein O°-Z-Schnitt bei DKT oder ein AT-Schnitt bei Quarz dienen.

Von den zahlreichen monokristallinen piezoelektrischen Stoffen ist der Quarz wegen seiner Stabilität und seiner hohen mechanischen Güte Qm das bevorzugte Material, wenn es sich um die Herstellung von Filtern enger Bandbreite handelt. Eine Quarzplatte mit AT-Schnitt spricht in der Dickenscherschwingungsmode auf einen Potentialgradienten zwischen den beiden Hauptflächen an und ist insbesondere wegen seiner Frequenzstabilität bei Temperaturschwankungen besonders^geeignet.

Für Filter mit größerer Bandbreite werden die Platten vorzugsweise aus geeigneten polarisierbaren ferroelektrischen Keramiken wie Bariumtitanat, Bleizirkonat-Bleititanat oder verschiedenen Modifikationen davon hergestellt. Für die Zwecke der Erfindung eignen sich beispielsweise keramische Zusammensetzungen, die in der USA.-Patentschrift 30 06 857 beschrieben sind. Derartige Keramiken können in bekannter Weise vorpolarisiert werden. Eine Dickenscherungsschwingung kann beispielsweise dadurch erhalten werden, daß

in. einer zu „ den Hauptflächen der Platte parallelen Richtung vorpolarisiert wird, wie es in der USA.-Patentschrift 26 46 610 beschrieben ist.

Obgleich die Erfindung, wie schon erwähnt wurde, grundsätzlich alle Platten aus keramischem und monokristallinem piezoelektrischen Material betrifft, in denen die Verschiebungen antisymmetrisch zur Mittelebene verlaufen, wird sie hier nur an Hand eines Quarzkristalls mit AT-Schnitt erläutert.

Der Resonator 10 enthält einen mit Elektroden versehenen Bereich mit der Resonanzfrequenz /ä, die kleiner als die Resonanzfrequenz A des diesen umgebenden und nicht mit Elektroden versehenen Bereichs ist. Das Verhältnis falh der beiden Frequenzen zueinander liegt vorzugsweise zwischen 0,8 und 0,99999.

Bei der Herstellung des Resonators wird zunächst der

Elektrodendurchmesser je nach den erwünschten Eigenschaften, z. B. den Kapazitäten, des Widerstands usw., ausgewählt. Der ermittelte Durchmesser und ein Wert für /a, der etwa über der erwünschten Arbeitsfrequenz liegt, werden in die Gleichung (1) eingesetzt, aus der man dann A ausrechnen kann. Die Platten- und Elektrodendicken werden anschließend bestimmt.

Die Resonanzfrequenz /ä des mit Elektroden versehenen Bereichs kann durch die folgende Gleichung bestimmt werden:

f _ JL Π

te

e»

in der Qe die Dichte des Elektrodenmaterials und Qq die Dichte des Quarzes sind, während te die Dicke der Elektrode und ta die Dicke der Platte in dem mit Elektroden belegten Bereich bedeutet. N ist eine Frequenzkonstante.

Die Resonanzfrequenz A des nicht zwischen den Elektroden liegenden Bereichs kann durch die Frequenzkonstante N und die Plattendicke /6 wie folgt ausgedrückt werden:

_N

A-- ■ ο)

Durch Kombination der Gleichungen (2) und (3) kann das Verhältnis ßo der Resonanzfrequenz formuliert" werden:

+2 A

Man sieht, daß durch die Verwendung der Gleichungen (2), (3) und (4) die zwischen den Elektroden bzw. außerhalb der Elektroden liegenden Bereiche getrennt dimensioniert und erwünschte Differenzen der Resonanzfrequenzen erhalten werden können.

Zur Nachstimmung mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nach der Herstellung eines Resonators in der bisher beschriebenen Weise ein dünner Film oder eine dünne Schicht 22 aus einem dielektrischen Isolatormaterial mit hohem Q-Wert, z. B. Siliciummonoxid, auf die Elektrode 14 und die obere Plattenfläche aufgetragen bzw. aufgedampft. Es kann aber auch ein dünner Metallfilm aus z. B. Aluminium oder Tantal gleichförmig auf die Plattenoberfläche aufgetragen und dann durch anodische Oxydation bzw. ein Eloxalverfahren behandelt werden, um einen isolierenden, dielektrischen Film zu erhalten. Es ist jedoch einfacher, direkt einen isolierenden Film wie Siliciummonoxid aufzutragen, da in diesem Falle nur ein einziger Verfahrensschritt notwendig ist.

Obwohl die isolierende Schicht 22 nach der Fig.2 die ganze obere Oberfläche der Platte 12 bedeckt, braucht sie nur die Elektrode und den unmittelbar angrenzenden Teil des nicht mit Elektroden versehenen Bereichs, in welchem noch eine Schwingung auftritt, d. h. die aktiven Zonen des Resonators, zu bedecken. In der Praxis ist es jedoch einfacher, den gesamten Teil der einen Oberfläche zu beschichten, als Maskierungen zu bilden und ausgewählte Teile der Platte mit Schichten zu versehen. Außerdem können Schichten zur Nachstimmung des Resonators auch an den beiden Seiten der Platte angebracht werden.

F i g. 3 zeigt einen Mehrfachresonator 23 mit einer Platte 24 gleichförmiger Dicke. Die Platte ist auf der einen Oberfläche mit mehreren Elektroden 26 versehen, während die nicht gezeigten Gegenelektroden dazu auf der entgegengesetzten Seite der Platte angebracht sind.

Die Elektrodenpaare arbeiten mit den dazwischenliegenden piezoelektrischen Schichten zusammen, wodurch mehrere piezoelektrische Resonatoren A, B und Centstehen. Die einzelnen Resonatoren sind, wie in der genannten USA.-Patentschrift 32 22 622 beschrieben ist, entsprechend ihrem Aktionsbereich im umgebenden Plattenmaterial beabstandet, so daß ein gleichzeitiger.

unabhängiger Betrieb der einzelnen Resonatoren möglich ist.

Um den elektrischen Anschluß der einzelnen Resonatoren innerhalb eines Filters in einer elektrischen Schaltung zu vereinfachen, ist die Platte 24 mit elektrisch leitenden Zuführungen 30 und 32 auf ihren entgegengesetzten Oberflächen versehen. Die in diesem Ausführungsbeispiel dargestellte Art der Verbindung der Zuführungen stellt ein T-Filter dar, zu dem das in der F i g. 4 gezeigte Ersatzschaltbild gehört. Wie bereits im USA.-Patent 32 22 622 beschrieben wurde, können beliebig viele Elektrodenpaare in verschiedener Weise angeordnet und miteinander verbunden werden, wobei jeweils verschiedene Filter entstehen. Bei dem in der Fig.4 dargestellten T-Filter werden die in Serie liegenden Resonatoren A und C vorzugsweise auf die gleiche Grundresonanzfrequenz nachgestimmt (die im Durchlaßbereich liegt), wohingegen die Frequenz des Resonators B im Parallelkreis vorzugsweise derart nachgestimmt wird, daß sie bei der Mittelfrequenz des Durchlaßbereichs in Antiresonanz ist.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die Resonatoren A, B und C durch das Auftragen von Schichten 34 nachgestimmt, die auf die mit Elektroden und die nicht mit Elektroden versehenen Bereiche der Resonatoren A, B und C aufgetragen werden. Die Schichten auf den Resonatoren A und C müssen die gleiche Dicke haben, da diese Resonatoren die gleiche Resonanzfrequenz aufweisen sollen. Zur Nachstimmung des Resonators B ist dagegen eine dickere Schicht 34 notwendig.

Bei der Anwendung des Nachstimmverfahrens nach der Erfindung können die einzelnen Elektroden auf die Platte 24 die gleiche Dicke besitzen, da die erwünschte Arbeitsfrequenz durch Schichten verschiedener Dicke eingestellt werden kann. Die Erfindung ist deswegen insbesondere in Verbindung mit Mehrfachresonatoren von großem Wert.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 509533/353

Claims (12)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Nachstimmen eines mit mindestens einer Elektrode versehenen piezoelektrischen Resonators, bei dem sich der mit Elektroden versehene Bereich nicht über die gesamte Oberfläche des Resonators erstreckt, dadurch gekennzeichnet, daß der mit Elektroden versehene Bereich und das diesen umgebende piezoelektrische Material zur Einstellung gewünschter Arbeitsfrequenzen selektiv beschichtet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschichten durch Aufdampfen durchgeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die aufgebrachte Schicht ein Isolatormaterial verwendet wird.

4. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß für die aufgebrachte Schicht ein dielektrisches Material mit hohem Q-Wert verwendet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 zum Nachstimmen eines Quarzresonators, der auf gegenüberliegenden Oberflächen mit Elektroden versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der Masse auf mindestens eine Elektrode und den angrenzenden Teil der Plattenoberfläche Siliciummonoxid als Beschichtung aufgebracht wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 4 zur Nachstimmung eines Resonators aus piezoelektrischer Keramik, der auf gegenüberliegenden Oberflächen mit Elektroden versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der Masse auf mindestens eine Elektrode und den angrenzenden Teil der Plattenoberfläche Siliciummonoxid als Beschichtung aufgebracht wird.

7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche I bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung elektrischer Filter ausgewählte Teile einer Platte aus piezoelektrischem Material, die zur Ausbildung mehrerer unabhängig arbeitender piezoelektrischer Resonatoren mit Elektroden belegt worden sind, und die an sie angrenzenden Teile der Platte zur Einstellung gewünschter Arbeitsfrequenzen selektiv mit Isoliermaterial beschichtet werden.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf die mit Elektroden versehene Oberfläche und die unmittelbar daran angrenzenden Teile der Plattenoberfläche eine Beschichtung als Aluminium aufgebracht wird, die anschließend anodisch oxydiert oder eloxiert wird.

9. Nachgestimmter piezoelektrischer Resonator, der nach einem Verfahren der Ansprüche 1 bis 8 nachgestimmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Resonatoren (A, B, C) vorgesehen sind, deren Elektroden (26) mit leitfähigen Zuführungen (30, 32) auf der piezoelektrischen Resonatorplatte versehen und in einer vorgewählten Schaltung, insbesondere der eines Filters, untereinander verbunden sind.

10. Nachgestimmter Resonator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (26) von gleichförmiger Dicke sind.

11. Nachgestimmter Resonator nach Anspruch 9 oder 1Ö, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der piezoelektrischen Resonatorplatte (12) Quarz oder piezoelektrische Keramik ist.

12. Nachgestimmter Resonator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (14,16, 27) aus Aluminium, Gold, Silber oder deren Legierungen bestehen.