DE1788112U

DE1788112U - Pumpensatz fuer vakuumanlagen.

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Publication number: DE1788112U
Application number: DE1958H0030037
Authority: DE
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1958-11-22
Filing date: 1958-11-22
Publication date: 1959-05-06

Description

Gebrauchsmusteranmeldung

Pampensats'fur Vaknumanlagen"

eo, n ? U

Die Neuerung bezieht sich auf einen Pumpensatz für Bakmman-

lauge insbesondere welche 9 in welchen zeitweilig in Behand=-

lungsprozessen Gase oder Dämpfe freigesetzt werdeno

Für solche Vpknumanlagen ist es bekemnt, zwei Ilochvakuumpumpen

verschiedenen Arbeitsprinzipes su benüten9 von welchen die eine

nach höheren Drücken hin geringere Saugleistung, aber ein besseres

Endaknum als die andere aufweists, beispielsweise eine Diffusions-

pumpe,während die andere nach höheren Drücken hin höhere Saug-

leistungy aber geringerem EndTakums beispielsweise eine Roets-

Hochvakuumpumpe, aufvieiet. Bei den bekannten Anlagen dieser Art

war es bisher stets notwendig, den Druck im Inneren des Rezipienten

ständig sn üborwaehen und bei Gaaein-oder Ansbrüehen die beiden

parallelliegenden Hoehvalmumpumpen umsuschaltenp und dann, wenn

die Folgen eines es Gasein-oder Ausbruches beseitigt waren, wieder

zurückzuschalten. Diese Art der Schaltung ist aber besonders nachteilige weil sie nicht mit der erforderlichen Schnelligkeit durchgeführt werden kann, insbesondere weil es dabei noch erforderlich istp die entsprechenden Ventilumschaltungen vorzunehmen. Alle diese Nachteile werden durch die Erfindung in einfacher

Weise dadurch behoben :, daß zumindest ein im Rezipierten unter=-

gebrachtes Druckmeßgerät mit einer Schaltvorrichtung für amins

dest die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung (Hochvakuum-Roots-

pumpe) verbunden ist. Hierdurch wird erreicht, daß sofort bei

Auftreten eines Druckes oberhalb einer bestimmten Grenze innerhalb des Rezipienten diese Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung eingeschaltet wird und im Rezipienten wieder einen geringeren Druck erzeugt, bevor durch den höheren Druek in der Hochvakuumpumpe geringerer Saugleistung (Diffusionspumpe) Schäden oder nachteilige Folgen eingetreten sein können.

Zweckmäßig ist das mit der Schaltvorrichtung verbundene Druck-

meßgerät ein Vakwummeßgerät mit automatischer Bereichaumschal-

dessen Bereichaumschalter mittels eines zusätzlichen

Kontaktesates mic der Schalteinrichtung für die HochTakn-ampumpe

höherer Saugleietung (Hochvakuum-Rootspumpe) vezbunden ist.

Neen einem-verhältnismäßig einfachen A'afba bietet sieb hif ? °

durch eine sehr hohe Betriebssicherheit des Pumpensatzeo nach

derNeuerung.

In beTorgngter Ausführungsf. orm enthält die Sehaltworrishtung

einen Z@itschalterp'der sum Einsshalten der Hochvakuumpttmpe

höherer Sangleistung (Hochakuum°Rootapumpe) mit dem Dnekmeß-

gerät verbunden ist und eine Einrichtung aufweist, die nach Ab-

lauf d@r eingestellten Zeit den Schulter wieder öffnet. Der be-

sonders Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß die

Arbeitsdauer-der Hochvakuump-umpe höherer Saugleistung (Hochvakuum-

Rootspumpe) so eingestellt'werden kanns daß beim Abschalten dieser'

Pumpe der im Rezipienten herrschende Druck bereits wieder so weit

herabgesetzt worden ist daß die Hoehvakuumpumpe geringerer Saug-

leistung (Piffusionspumpe) wieder ihre gesamte Sangleistung ent-

falten kann. Es wird hierdurch vor allem ein allzu häufiges Um-

schaltenTon der einen HoehvakuuNpumpe auf die andere vermieden.

In einer anderen Ausführungsform der Neuerung können im Re-

f

sipionten zwei Druckmeßgeräts mit automatischer Bereichsumschal-

tung angebracht und mit der Schaltvorrichtung derart verbunden

sein daß die Einschalteinrichtung für die HochvakMumpumpe

höherer Saugleistung (Hochvaltuum-Rootspumpe) an dem einen und

derenAusachalteinridhtung an demlanderen Druckmeßgerät liegen.

San erreicht hierdurchp daß'beim Ausschalten der Hochvakuumpumpe

höherer Saugleistung tatsächlich im-Rez'ipienten wieder der ge-

wünschte niedere Druck herrsche bei welchem die andere Hochvakuum-

pumpe(Diffusionspumpo) ihre volle Saugleistung entfalten kann.

Als dritte Möglichkeit kann auch das im Rezipienten angebrachte

Druckmeßgerät zwei Bereichsumschaltetufen aufweisen, von welchen

jedes zusätzliche Schlterkontak aufweist wobei die Kontakte

der höheren Druckbereichsstufe mit den Einschalteinrichtungen

und die Kontakte der tieferen Druokbereichsstufe mit den Aus-

sehalteinrichtungen der Schaltvorrichtung für die Hochvakuum-

pumpe höherer Saugleistung (Hochvakums-Rootspumpe) verbunden

sind. In einem wolchen Fall ist es vorteilhaftg daß nur ein

Drnekmeßgerät'benotigt wirdp während andererseits die Sicherheit

geben istp daß diese Hochvakuumpumpe tatsächlich erst s, ge-°

ehaltet wirdg emi ein gewmjhtr ieaeis Lrnck erreiche istg

bei welchem die andere Hochvakuumpumpe (Diffusionspumpe) wiederum

ihre Saugleistung entfalten kanno

Während es im allgemeinen zweckmäßig erscheint :, nur die Hoch-

Takuump's. mpe höherer Sauglstung (HochTaknm-Rootspumpe) anto-

matigeh ein-und auszuschalten ist es jedoch auch mögliche daß

die Schaltvorrichtung Ein-und Ausschalteinrichtungen für beide

Hoehvakuumpumpen enthält wobei in die Einschalteinrichtungen

der einen Pumpe jjev.'eils mit den Ausschalteinrichtungen der anderen

Pumpegekuppelt sind.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist zwischen der Hochvaknm=

p

pumpe höherer Saugleistung und der Vorvakuumpumpe ein Ventil an-

gebrachte dessen Betätigungseinrichtung mit der Schaltvorrichtung

für die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung (Ho@hvaknum-Roots°

pumpe) verbunden ist. Ein solches Ventil ist in allen solchen

Fällen erforderlich, in denen diese Hochvakuumpumpe höherer Saug-

leistung in abgeschaltetem Zustand nicht in der Lae ists von

sich ans die Vorvakuumstufe gegenüber der Hochvakuumstufe völlig

abzusperreng also beispielsweise eine schon mehrfach als Beispiel

erwähnte Hochvaknma=Rootspumpe ist. Durch die Erfindung wird es

aberbesondere vorteilhafte daß dieses im allgemeinen notwendige

Ventil zusammen mit der Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung

automatisch gesteuert wirdo

'Darüber hinauo ist-es auch möglich, zwischen der Hochvakuumpumpe

niedererSaugleistung (Diffusionspumpe) und der Vorvakuumpumpe ein

Ventil anzubringen dessen Betätigungseinrichtung mit der Schalt-

Vorrichtung für diese Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung ver-

bunden ist. Ein solches Bentil ist im allgemeinen dann erforder-

lichv wenn mit dem Einschalten der Hochvakuumpumpe höherer Saug-

leistung (Hochvakuum-Rootspumpe) die Hochvakuumpumpe niederer ~AS

j9G1-

Saugleistung(Diffusionspumpe) °-abgeschaltet wird.

Nach der Erfindung ist bei der Anordnung eines solchen Ventiles auch dafür Sorge getragen, daß dieses Ventil mit Sicherheit - und schnell betätigt wird.

Ein besonders häufiger und zweckmässiger Anwendungsfall der Er-

findung ist dann gegeben. wenn in der wiederholt als Beispiel

ervighnten die Hochvakuumpumpe niederer Saugleistung, eine

Diffusionspumpe, und die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung eine solche ; die nach Art eines Roots-Gebläses arbeitet.

Sine Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung beispiels-

halbor dargestellt. Sie zeigt die Vakuumanlage bestehend aus einem

Rezipienten 1, an den der Pumpendatz nach der Erfindung angesetzt

ist, In iepense sind zwei parallelliegende Hochvakuum-

pumpen vereinigt, nämlich eine Diffusionspumpe 2 und eine nach Art eines Roots-Gebläses arbeitende Hochvakuumpumpe 3. Vor beide Hochvakuumpumpen 2 und 3 sind eine oder mehrere gemeinsame Vorpumpen 4 gesetzt. In dem dargestellten Beispiel handelt es sich

bei der Vorpumpe 4 um eine ölgedichtete, mechanische Pumpe mit

exzentrisch in einem Arbeitsraum 5 ablaufenden Kolben 6. Zwischen

diese Verpuppe 4 und die Hochvakuumpumpe 2 und 3 sind Ventile 7

bzw. 8 eingesetzt.

Zur Steuerung des Pumpensatzes nach der Erfindung ist das in den

Rezipienten 1 eingesetzte Druckmeßgerät 9 als Vakuummeßgerät mit

automatischer Bereichsumschaltung ausgebildet. Der Umschalter

dieses VakumameDgerätes 9 ist mit zusätzlichen Kontakten versehen,

die mit der Schaltvorrichtung 10 für die Vakuumpumpe 3 und die Ventile 7 und 8 verbunden sind. Diese Schaltvorrichtung 10 enthält

einerseits eine Bin-und Ausschalteinrichtung für die Hochvakuum-

CD

pumpe 3 und damit gekuppelte Schalteinrichtungen für die

BetätigungseinriCrhtungen der Ventile 7 und 8. Ausserdem ent-

hält die Schaltvorrichtung einen Zeitschalter 11, der mit dem Einschalten der Hochvakuum-Rootspumpe 3 mit höherer Saugleistung zulaufen beginnt und nach Ablauf der an ihm eingestellten Zeitspanne den Einschalter für die Hochvakuum-rootspumpe 3 wieder ausrückt. Die Arbeitsweise der Vorrichtung nach der Erfindung ist wie folgt Im normalen Betrieb, d.h. bei gut evakuiertem Rezipienten 1 arbetten die Diffusionspumpe 2 und die Vorpumpe 4p wobei das Ventil 7 geöffnet ist.

Ereignet sich im Resipienten ein Gasausbruch so erhöht sieh dort

der Drucke Das Vakuummeßgerät 9 schaltet dann bei überschreiten

einer an diesem Gerät eingestellten Druckgrenze auf den unempfind-=-

sicherenBereich um und gibt dabei über seine susätglichen

Kontakte einen'Impuls an die Schaltvorrichtung 100 Dadurch wird der Einschalter für die Hochvakuum-Rootspumpe 3 höherer Saug-

leistung betätigt. Mit diesem Einschalter sind die Schalteinrich-

tungen für die Betätigungseinrichtungen der Ventile 7 u. 8 und

der Zeitsehalter 11 in der Weise gekuppelte daß das Ventil 7 ge-

schlossen und das Ventil 8 geöffnet und zur Vermeidung der Bil-

dung von Öldampfen die Heizung der Diffusionspumpe 2 abgeschaltet wird

Der Zeitschalter 11 beginnt zu laufen N, a die an ihm eingestellte

Zeitspanne abgelaufen ist. Sodann rückt der Zeit8chalter 11 den

Einschalter für die Hochvakuumpumpe 3 höherer Saugleistung wieder

ausp gleichzeitig werden damit auch die Schalteinridhtungen für

die Betätigungseinrichtungen der Ventile 7 u. 8 wieder umgelegte

so daß das Ventil 7 wieder geöffnet und das Ventil 8 geschlossen

wird. Die am Zeitsehalter 11 eingestellte Zeitspanne ist so ge-

wählt daß nach ihrem Ablauf die im Rezipienten 1 entstandene zu-

sätzl. iche Gasmengep deren Größe zwar vonriall zu Fall variiert,

aber doch bis zu einem ziemlich bekannten Grad voraussehbar ist, praktisch völlig abgesaugt istp ào daß die Diffusionspumpe 2 wieder ihre volle Saugleistung entfalten kann. Als zweckmäßige Zeitspanne hat sich eine solche von etwa 3 Minuten herausgestellt. Es sind jedoch auch andere Ausfü@rungsformen der Erfindung als die

dargestellte möglich. Insbesondere können anstatt des einen Va-

kmmme. Bgerätea 9 in Resipienten 1 zwei Vakmmmeßgeräte benutzt

werden ? von welchen das eine das Einschalten der Hochvakuum-

Rootspumpe 3 mit höherer Saugleistung und das andere deren Aus-

schalten steuern kanne Man kann statt deseen auch eine Anord-

iimig benutwfeng bei der nip ein Vakuummeßgerät vorgesehen iatp

das jedoch swei Umaehaltatufen afweist wobei die bei höherem

Druck liegende Umsehaltstufe zu Einsehalten'der Hoehvakmam-Roots-

pumpe 3 höherer Saugleistung und die bei niederem Druck liegende

EmsQhaltstnfo sum Asehalten dieser HoehTaknumpumpe 3 dient.

Claims

Seh'atsasispruohe

1.)Pumpensatz fpx Vakuumanlagen, insbesondere solche, In welchen zeitweilig in Behandlumgsprozessen GaBe oder Dämpfe freige- setzt werden, mit zwei Hochvakuumpumpen verschiedenen Arbeit- prinzips von welchen die eine nach höheren Drücken zu eine höhereSaugleistungals die andere anfweistp dadurch gekenn- seiehnetsdaß die beiden Hoehvakpumpmpen (23) dauernd parallelMeinandoF geachaltet sind und mindest ein im Rosipienten (1) angebrachtes Druckmeßgerät (9) mit einer Schaltvorrichtung (10) für zumindest die Hochvakuumpumpd (3) höhererSaugleistung verbunden ist.

to) Pumpensatz nach Anspruch 19 dadurch gekennzeichnotg daß das mitderSshaltvorriehtung(10)Verbundene DruekmeBgerät (9) einVakuummeßgerät mit automatischer Bereiohsumschaltung ist, dessen BerBichsumschalter mittels eines zusätzlichen Kontaktesatzes mit der Schalteinrichtung (10) für die Hoch- vakuumpumpe (3)'höherer Saugleistung verbunden ist.

3<.) Pump es nach Anspruch 1 oder 2g dadurch gekennzeichnet ? daß die Schaltvorrichtung und einen Zeitschalter (11) engt- de oo umpmpe (3) hält}, der zum Einschalten der Hochvakuumpumpe (3) höherer Saugleistung mit dem Druckmaßgerät (9) verbunden ist und eine Einrichtung aufweist, die nach Ablauf der eingestellten Zeit den Schalter wieder öffnet.

40) Pumpenaatz nach Anspruch 1 oder 29 dadurch gekennzeichnet, daß im Rezipienten zwei Druckmeßgeräts mit automatischer Bereiühsumschaltung angebracht und mit der Schaltvorrichtung (10) derart verbunden sindp daß die Einschalteinrichtung für die Hochvakuumpumpe (3) höherer Saugleistung an dem einen und deren Auasehalteinriohtung an dem anderen Druck- meßgerät liegt.

50) Pumpensatz nach Anspruch 1 oder 2p dadurch gekennzeichnet, daß das im Rezipienten angebrachte Druckmeßgerät zwei Be=

reicheumschaltetufen aufweist ? von welchen jede sugäts- liebe Schalterkontakte aufweiatp wobei die Kontakte der höherenBuckbereiohaätnfe mit den Einschalteinrichtungen und die Kontakte der tieferen Druckbereichsstufe mit den Anssehalteinrichtungen der Sshaltvorrichtung (10) für die Hoehva-lmumpumpe (3) Mherer Saugleistung verbunden sind.

6.) Pumpt nach eihem der Ansprüche 1 bis 5s dadurch ge- kennzeichnete daß die Schaltvorrichtung (10-) Ein-und Aus- sohalteinrichtungen für beide Hochvakuumpumpen 2 und 3 engt- hält, wobei die JSinsohalteinricLt. ngen der einen Pumpe je- weil mit den Ausschalteinrichtungen der anderen Pumpe ge- kuppeltsind.'

7.) Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6p dadurch gekenn- zeichnet, daß zwischen der Hochvakuumpumpe (3) höherer Saug- leistung und der Vorvakuumpumpe (4) ein Ventil (8) angebracht istgdessenBetätigungs@inrichtung mit der Schaltvorriemg (10) für die Hochvakuumpumpe (3) höherer Saugleistung ver- bundenist.

Pumpensatz nach einem der Ans-Drüche 1 bis 7, dadurch gekenn- zeichnet daß auch zwischen der Hochvakuumpumpe (2) niederer Saugleistung und der Vorvakuumpumpe (4) ein Ventil (7) ange- bracht istp dessen Betätigungseinrichtung mit der Schalt- Vorrichtung (10) für die Hochvakuumpumpe (3) höherer Saug= l@istungerbund@n ist. + und der Heizung der Hochvakuum-Pumpe (2) 9.) Pumpensats nach einem der Ansprüche l ! bis 8g dadurch g@- kennzeichnet :, daB die Hochvakuumpumpe (2) niederer Saug° leistung eine Diffusionspumpe (2) und die Hochvakuumpumpe (3) \ höhererSaugleistung eine solche ist, die nach Art eihes Rooto-Gebläses arbeitet.