DE1616355C - Electromechanical converter - Google Patents
Electromechanical converterInfo
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- QFJAZXGJBIMYLJ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid;ethane-1,2-diamine Chemical compound NCCN.OC(=O)C(O)C(O)C(O)=O QFJAZXGJBIMYLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
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Ferner ist die Erfindung dadurch weitergebildet, hungen wesentlich oberhalb 20° nimmt der Kopp-Furthermore, the invention is further developed in that the coupling increases significantly above 20 °.
daß die Elektroden die parallelen Kristalloberflächen lungswirkungsgrad bemerkenswert ab, und diethat the electrodes the parallel crystal surfaces treatment efficiency is remarkable, and the
ganz oder zum überwiegenden Teil abdecken. Schwingungsform weicht von der reinen Schwingungcover completely or for the most part. The form of oscillation deviates from pure oscillation
Im folgenden wird die Erfindung an Hand eines in ab. Die angegebene Drehung ist auch ein weitgehender Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels 5 des Optimum dahingehend, daß der Frequenzabstand näher erläutert. In der Zeichnung zeigt zwischen Resonanz und Antiresonanz groß ist, wo-In the following the invention is based on an in from. The rotation indicated is also an extensive one Drawing illustrated embodiment 5 of the optimum to the effect that the frequency spacing explained in more detail. The drawing shows between resonance and anti-resonance, where-
Fi g. 1 ein Diagramm zur Erläuterung der erfin- durch ein größerer Betriebsfrequenzbereich ermög-Fi g. 1 is a diagram to explain the invention made possible by a larger operating frequency range
dungsgemäßen Orientierung, licht wird.proper orientation, light is.
Fig. 2 eine perspektivische Darstellung einer Aus- Die hier bevorzugte Orientierung ist im Zusam-Fig. 2 is a perspective view of an orientation The preferred orientation here is in combination
führungsform des Wandlers mit erfindungsgemäß io menhang mit einem plattenförmigen piezoelektri-management form of the transducer with according to the invention io menhang with a plate-shaped piezoelectric
orientierten Kristalloberflächen und hieran befestig- sehen Einkristall beschrieben worden, weil es sichoriented crystal surfaces and attached to them- see single crystal has been described because it is
ten Elektroden und , hierbei um eine Konfiguration handelt, die für dieth electrodes and, this is a configuration that is suitable for the
Fig. 3 eine Ansicht einer elastische Wellen über- meisten Wandlerformen in Frage kommt. Für diese3 shows a view of elastic waves over most transducer forms. For this
tragenden Vorrichtung mit einem Wandler nach Zwecke beträgt der Abstand der parallelen Kristall-,supporting device with a transducer according to the purpose is the distance between the parallel crystal,
F i g. 2. T 15 oberflächen bzw. die Dicke der Platte etwa eine halbeF i g. 2. T 15 surfaces or the thickness of the plate about half a
Fig. 1 zeigt die 15°±5°-Drehung der Kristall- Wellenlänge bei der Mittelfrequenz, d.h., die Dicke oberflächen um die x-Achse aus der xz-Ebene heraus liegt in der Größenordnung von Millimeter oder in die Lage, bei der der LiTaO3-Kristall die ange- darunter. Die anderen, großen Dimensionen bestimstrebten optimalen Wandlereigenschaften besitzt. Eine men sich allgemein aus konstruktiven Erwägungen, mit zwei parallelen Oberflächen versehene Kristall- 20 beispielsweise auf Grund des gewünschten und/oder platte, die entsprechend dieser Bedingung orientiert zulässigen Widerstandswertes, Kapazitätswertes usw. ist, wird im folgenden als 159±5°-;tz-Platte be- der Elektroden. Ein vernünftiges Maß für die Wandzeichnet, lerplatten ist, daß deren große Dimensionen, alsoFig. 1 shows the 15 ° ± 5 ° rotation of the crystal wavelength at the center frequency, that is, the thickness of the surfaces around the x-axis out of the xz-plane is on the order of millimeters or in the position in which the LiTaO 3 crystal the attached below. The other, large dimensions have certain optimal converter properties. A men is generally based on design considerations, crystal 20 provided with two parallel surfaces, for example on the basis of the desired and / or plate, which is based on this condition, permissible resistance value, capacitance value, etc., is hereinafter referred to as 15 9 ± 5 ° -; tz plate on the electrodes. A reasonable measure for the wall drawing, lerplatten is that its large dimensions, so
In Fig. 2 ist eine 15° + 5°-;tz-Platte 1 aus deren Breite und Länge zumindest das Fünffache der LiTaO3 zwischen Elektroden 2 und 3 angeordnet, 25 Plattendicke betragen. Allgemeiner gilt jedoch, daß die nach irgendeiner üblichen Methode aufgebracht, die Ausbreitung der elastischen Wellen, welche entz. B. niedergeschlagen oder aufplattiert sein können. stehen, wenn ein elektrisches Feld in der der Dicken-Solche Elektroden können die gesamten Hauptflächen dimension entsprechenden kristallografischen Richdes Kfislalls bedecken (dargestellter Fall) oder aber tung in der 15° + 5°-xz-Platte erzeugt wird, zu den auch nur ein kleines Gebiet derselben, um uner- 30 angegebenen Vorteilen unabhängig von der Kristallwünschte Kopplungen zu minimalisieren. Der elek- dicke führt. Demgemäß ergibt sich eine Schwingungstrische Anschluß zu den Elektroden erfolgt über Lei- formtrennung zusammen mit einem guten Wirkungster 4 und 5. Der dargestellte Wandler kann als grad und einem breiten Arbeitsfrequenzbereich in Resonator dienen, beispielsweise die Funktion eines einem entsprechend geschnittenen Körper beliebiger Filters oder eines Frequenznormals übernehmen, oder 35 Dicke, solange die Elektroden an den durch die er kann Bestandteil einer größeren Vorrichtung, bei- Orientierung der 15°±5°-xz-Platte bestimmten Fläspielsweise einer Verzögerungsleitung sein. chen angeordnet werden oder solange die entspre-In FIG. 2, a 15 ° + 5 ° -; tz plate 1 from the width and length of which is at least five times the LiTaO 3 between electrodes 2 and 3, 25 plate thickness. More generally, however, that applied by any conventional method, the propagation of the elastic waves, which entz. B. can be deposited or plated. when an electric field is generated in the thickness of such electrodes can cover the entire main surface dimension corresponding crystallographic direction of the wall (illustrated case) or generation in the 15 ° + 5 ° -xz plate, to which only a small one Area thereof in order to minimize undesired advantages regardless of the crystal coupling. The elec- trician leads. Accordingly, there is a vibrational connection to the electrodes via lead separation together with a good efficiency rating 4 and 5. The converter shown can serve as a degree and a wide operating frequency range in the resonator, for example the function of a suitably cut body of any filter or a frequency standard take over, or 35 thickness, as long as the electrodes on the through which it can be part of a larger device, with orientation of the 15 ° ± 5 ° -xz plate certain areas of a delay line. be ordered or as long as the corresponding
Die Vorrichtung nach Fig. 3 ist eine übliche Ver- chende Scherschwingungsform durch irgendwelcheThe device according to FIG. 3 is a common form of shear vibration caused by any
zögerungsleitung mit einem Wandler 10, der entspre- Mittel übertragen wird.delay line with a transducer 10 which is transmitted corresponding means.
chend der Wandlerausführung nach Fig. 2 aus 40 Bei den vorstehend beschriebenen Vorrichtungen einem plattenförmigen piezoelektrischen Einkristall sind Kristallabschnitte vorgesehen, die zwei ebene 11 aus LiTaO3 mit zwei im Uhrzeigersinn um 10 bis parallele Oberflächen jeweils unter einer der erfin-20° um die x-Achse aus der xz-Ebene herausgedreh- dungsgemäßen Kristallorientierung entsprechenden ten, parallelen Oberflächen und dieser zugeordneten Ausrichtung aufweisen; es sind aber auch andere Elektroden 12 und 13 aufgebaut ist. Die Elektroden. .45 Ausführungen möglich, bei denen die angegebene sind über Leiter 14 und 15 an eine nicht dargestellte Orientierung vorgesehen sein kann. Beispielsweise ist Signalquelle angeschlossen. Die durch das elektrische es für die Resonator-Anwendungsfälle üblich, eine Signal erzeugte elastische Welle wird dann in das oder beide der Hauptflächen so mit Konturen zu verakustische Medium 16 eingekoppelt, das aus Quarz, sehen, daß die Wellenbewegung auf einen gewünsch-Glas, Metall oder irgendeinem anderen geeigneten 50 ten Teil der Platte beschränkt wird. Dies kann erMaterial bestehen kann. Für bestimmte Anwendungs- reicht werden durch entsprechendes Abschrägen einer fälle ist es zweckmäßig, auch für das Teil 16 LiTaO3 oder beider Flächen an den den wirksamen Bereich zu verwenden, da gefunden wurde, daß dieses Mate- umgebenden Randzonen oder — im Extremfall — rial außergewöhnlich dämpfungsarm, insbesondere durch Verwendung einer oder zweier konvexer Fläfür Frequenzen oberhalb 1 MHz, ist. Nach Erreichen 55 chen. Eine weitere Ausführungsform, die gelegentdes anderen Endes des akustischen Mediums 16 wird lieh als Schwingungsformfalle bezeichnet wird, weist die elastische Welle mit Hilfe eines einen gedrehten verdickte Elektroden auf, die nur am gewünschten Einkristallkörpers 21 aufweisenden zweiten Wandlers Teil der Platte befestigt sind. Die Wirkung dieses wieder in ein elektrisches Signal umgesetzt, und die- Aufbaues ist die, die Wellenbewegung auf denjenigen ses Signal wird dann über die angekoppelten Elektro-. 60 Teil des Kristalls zu beschränken, der zwischen den den 22 und 23 nebst zugehörigen Anschlußleitungen Elektroden gelegen ist. Demgemäß ist es zur Anwen-24 und 25 angenommen. dung der vorliegenden Erfindung auf eine solcheAccording to the converter design according to FIG. 2 from 40. In the above-described devices, a plate-shaped piezoelectric single crystal, crystal sections are provided which have two planes 11 made of LiTaO 3 with two surfaces that are clockwise 10 to parallel each under one of the invented 20 ° around the x- Axis rotated out of the xz plane, have corresponding parallel surfaces and alignment associated with this; but there are also other electrodes 12 and 13 constructed. The electrodes. .45 versions are possible in which the specified are provided via conductors 14 and 15 at an orientation not shown. For example, the signal source is connected. The elastic wave generated by the electrical signal, which is common for resonator applications, is then coupled into one or both of the main surfaces so with contours to acoustic medium 16, which is made of quartz, that the wave movement hits a desired glass, metal or any other suitable 50 th part of the plate. This can consist of material. For certain applications it is advisable to use appropriate chamfering of a case to use LiTaO 3 or both surfaces on the effective area for the part 16, since it has been found that this material surrounding edge zones or - in extreme cases - material is unusual low attenuation, in particular by using one or two convex surfaces for frequencies above 1 MHz. After reaching 55 chen. Another embodiment, sometimes referred to as the waveform trap at the other end of the acoustic medium 16, has the elastic wave with the aid of a rotated thickened electrodes which are only attached to the desired single crystal body 21 having second transducer part of the plate. The effect of this is again converted into an electrical signal, and the structure is that the wave movement on that signal is then connected to the electrical. 60 to limit part of the crystal, which is located between the 22 and 23 together with the associated connecting leads electrodes. Accordingly, it is adopted for application 24 and 25. application of the present invention to such
Es sei betont, daß der angegebene Drehwinkel kri- Ausführungsform nur notwendig, daß jene Obertisch ist. Für Drehungen, die bezüglich der xz-Ebene flächenteile der Hauptflächen, die für die Übertragung wesentlich unterhalb von 10° liegen, erreicht die 65 der elastischen Wellen vorgesehen sind, die angege-Dehnungsschwingungsform meßbare Werte. Für Dre- bene Orientierung besitzen.It should be emphasized that the specified angle of rotation kri- embodiment only necessary that the upper table is. For rotations, which with respect to the xz-plane surface parts of the main surfaces, which are for the transmission are substantially below 10 °, the 65 of the elastic waves provided, the angege-strain waveform reached measurable values. Have orientation for Drebenes.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings
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