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DE1539694C - Thyristor mit vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps - Google Patents

Thyristor mit vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps

Info

Publication number
DE1539694C
DE1539694C DE1539694C DE 1539694 C DE1539694 C DE 1539694C DE 1539694 C DE1539694 C DE 1539694C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal layer
thyristor
zone
control electrode
emitter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Elmar Dipl.-Ing. 6508 Alzey; Weimann Klaus Dipl.-Ing. 6804 Lampertheim Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BBC Brown Boveri AG Germany
Original Assignee
BBC Brown Boveri AG Germany
Publication date

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Description

1 2
Die Erfindung betrifft einen Thyristor mit vier klein sein gegenüber dem Sperrschichtwiderstand Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps und min- der Flächendiode. Dabei ist bei Strömen in der destens einer Steuerelektrode, wobei die unter der Größenordnung des Zündstromes der Sperrschicht-Emitterzone liegende Zone die Emitterzone bis zu widerstand größer als der öhmsche Widerstand. Der deren Oberfläche punktförmig durchdringt und diese 5 Sperrschichtwiderstand und der Eigenwiderstand Oberfläche unter Aussparung eines Bereiches um die des Kurzschlußweges liegen fest. In Grenzen variabel Steuerelektrode mit einer ersten Metallschicht ver- ist also nur der Bahnwiderstand durch Veränderung sehen ist. des Abstandes zwischen Steuerelektrode und Emitter-
Es ist bereits ein Thyristor bekanntgeworden, bei zone.
dem die Metallschicht auf der einen äußeren Zone io Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zu-
sich nicht bis in den Nachbarbereich der Steuerelek- gründe, einen Thyristor mit Querfeldemitter und
trode erstreckt. Durch diese Maßnahme — auch kurzgeschlossenem Emitter-pn-Übergang so auszu-
Querfeldemitter-Ausbildung genannt — erzeugt der bilden, daß er für sehr hohe Spannungsanstiegs-
Hauptstrom in dem nicht kontaktierten Teil der geschwindigkeiten ohne Durchzünden brauchbar ist. äußeren Zone einen Spannungsabfall, der eine 15 Die Erfindung, die diese Aufgabe löst, "besteht
größere Zündausbreitungsgeschwindigkeit verursacht. darin, daß die innerhalb des ausgesparten Bereiches
Der Thyristor kann so höheren Stromanstiegs- liegenden punktförmigen Durchdringungen, durch
geschwindigkeiten ohne Zerstörung standhalten. Da- zungenförmige Metallstreifen oder eine in ihrer
mit der Spannungsabfall in der nicht kontaktierten Schichtdicke verminderte zweite Metallschicht mit
äußeren Zone — der Emitterzone — eine genügende 20 der ersten Metallschicht leitend verbunden sind. Größe erreicht, darf die Breite der nicht kon- Der Vorteil des Thyristors nach der Erfindung
taktierten Emitterfläche neben der Steuerelektrode liegt darin, daß sehr viel höhere Spannungsanstiegs- /
einen bestimmten Betrag nicht unterschreiten (»Zeit- geschwindigkeiten Anwendung finden können als
schrift für angewandte Physik«, Bd. 19 [1965], S. 396 bei einem Thyristor mit bekanntem Querfeldemitter,
bis 400). 25 Dabei sind die die Kurzschlußwege verbindenden,
Ferner sind Thyristoren bekannt, bei denen die schmalen zungenförmigen Metallstreifen nur ein
unter der Emitterzone liegende Schicht die Emitter- weniger breiter als der Durchmesser der einzelnen
zone bis zu deren mit einer Metallschicht versehenen kurzschließenden Durchdringungen selbst, so daß
Oberfläche punktförmig durchdringt. Ein solcher die nichtkontaktierte, ringförmige Fläche um die
Thyristor zeigt ein stabiles Temperaturverhalten, da 30 Steuerelektrode nur um die Fläche der schmalen
die mit steigender Temperatur zunehmenden Sperr- _. . , . , _. ■ ... dz/ v ,
ströme über die Metallschicht abfließen und nicht zu Ste8e vermindert wird. Eine schnelle ^-Änderung
vorzeitiger Zündung führen können. der Spannung in Durchlaßrichtung bringt den Thy-
Ebenso sind sie für größere Spannungsanstiegs- ristor nicht zum Zünden, da auch die der Steuerelek-
geschwindigkeiten geeignet, ohne daß es dabei zu 35 trode am nächsten liegenden Kurzschlußwege den
einem unerwünschten Durchzünden kommt (deutsche Flächenstrom abführen können. Andererseits fällt
Auslegeschrift 1154 872). die Fläche der schmalen, zungenförmigen Metall-
Wird an einen Thyristor eine in Durchlaßrichtung streifen, deren Widerstand ja geringer ist als der der
gepolte, sich sehr schnell ändernde Spannung gelegt, nichtkontaktierten Fläche, bei Anlegen eines Zünd-
so kann dieses durch Injizieren eines kapazitiven 40 impulses zum Aufbau des notwendigen Spannungs- -
Sperrstromes durchzünden: Diese Art der.Zündung ; abfalles nicht ins Gewicht. ' will man aber gerade unterdrücken und strebt des- Nach einer der beiden Ausführungsformen der
halb eine sehr hohe -J"-Festigkeit an. ' Erfindung sind die der Steuerelektrode am nächsten (
at. ° liegenden Perfonerungen der Emitterzone durch eine Vr
Zur Erklärung des Zündvorganges können die 45 gegenüber der ersten Metallschicht dünnere zweite
Emitterzone und die sich an diese anschließende Metallschicht mit der ersten Metallschicht auf der
p-Basiszone im Ersatzschaltbild als Flächendiode Emitterzone verbunden. Durch die Verbindung bei-
mit zwei unter sich in Reihe, aber parallel zur der Metallschichten ist also der Kurzschluß der nahe
Flächendiode liegenden Widerständen R1 und R2 auf- der Steuerelektrode befindlichen Durchdringungen
gefaßt werden. Der Widerstand R1 bedeutet dabei 50 gegeben.
den Eigenwiderstand des Kurzschlußweges, der Die Dicke der ersten Metallschicht beträgt nur
Widerstand R2 den Bahnwiderstand zwischen Steuer- wenige μ, ζ. B. bis zu 5 μ, damit der Bahnwiderstand
elektrode und Emitterzone. Dieser Widerstand ist nicht zu klein und der Zündspannungsabfall zu
also durch Variierung des Abstandes der Steuerelek- gering wird.
trode von der η-leitenden Emitterzone in Grenzen 55 Es wird nunmehr auf die Zeichnung Bezug geveränderbar. Eine Betrachtung dieses Ersatzschalt- nommen, in der Ausführungsbeispiele des Thyristors bildes zeigt sogleich die sich widersprechenden For- nach der Erfindung dargestellt sind. Gleiche Teile derungen. Die Stromverteilung auf die Parallelwege wurden mit gleichen Bezugszahlen versehen. Es zeigt ist durch die Reihenschaltung der beiden Wider- Fig. 1 einen Thyristor im Schnitt, bei dem die in j stände festgelegt. Beim Zünden nun soll möglichst 60 der Nähe der Steuerelektrode liegenden Perforie- ' ein großer Strom über die Flächendiode fließen, die rungen durch zungenförmige Metallstreifen mit der ; Summe von R1 und R2 also möglichst groß sein. Soll ersten Metallschicht auf der Emitterzone verbunden
dagegen eine große ,"-Festigkeit erzielt werden, so su~'. 1 . „. , .' , „, . , ,
& b ° at b . Fig. la eine Draufsicht des Thyristors nach der
muß möglichst viel des injizierten Stromes über den 65 Fig. 1,
Kurzschlußweg, also über die Reihenschaltung R1 Fig. 2 einen Thyristor im Schnitt, bei dem die in
und R2 abfließen, damit es nicht zur Zündung kommt. der Nähe der Steuerelektrode befindlichen Perforie-
Dje. Summe von R1 und R2 soll also in diesem Falle rungen durch eine zweite Metallschicht geringerer ;;'
Schichtdicke mit der ersten Metallschicht auf der Emitterzone verbunden sind,
F i g. 2 a eine Draufsicht des Thyristors nach der Fig. 2.
Der Thyristor nach der F i g. 1 hat vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps, die eine äußere Zone — die Emitterzone 1 — mit n-Leitfähigkeit, die benachbarte innere Zone — die Basiszone 2 — mit p-Leitfähigkeit, eine weitere Basiszone 3 mit η-Leitfähigkeit und die andere äußere Zone — die Kollektorzone 4 — mit p-Leitfähigkeit zur benachbarten Basiszone 3 hin und ρ+-Leitfähigkeit im Außenteil 4 a. Die erste Metallschicht 6 auf der Emitterzone 1 ist gegenüber der Steuerelektrode 5 zurückversetzt. Mit dieser Maßnahme ist der Querfeldemitter verwirklicht. Die sich in der Nähe der Steuerelektrode befindende Perforierung 2 α ist durch einen zungenförmigen Metallstreifen 6 a mit der ersten Metallschicht 6 auf der Emitterzone 1 verbunden. Dies wird insbesondere in der Draufsicht nach der F i g. 1 a deutlich.
"Die F i g. 2 zeigt einen Thyristor, der sich von dem der F i g. 1 im wesentlichen dadurch unterscheidet, daß die Perforierungen 2 α in der Nähe der Steuerelektrode 5 durch eine zweite Metallschicht 6 b bedeckt und durch diese mit der ersten Metallschicht 6 auf der Emitterzone 1 verbunden sind.
Die Dicke der ersten Metallschicht 6 ist unter Berücksichtigung des spezifischen Widerstandes des verwendeten Materials so bemessen, daß einerseits die von ihr bedeckten Durchdringungen 2 α der Basiszone mit den benachbarten Bereichen der Emitterzone 1 kurzgeschlossen sind und andererseits die Abbildung eines für eine hohe Zündausbreitungsgeschwindigkeit ausreichenden Spannungsabfalles in dem von ihr bedeckten Bereich der Emitterzone 1 nicht gestört ist.
In der Fig. 2a ist die zweite Metallschicht 6b durch eine andere Schraffur gegenüber der ersten Metallschicht 6 hervorgehoben.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Thyristor mit vier Zonen abwechselnden Leitfähigkeitstyps und mit mindestens einer Steuerelektrode, wobei die unter der Emitterzone liegende Zone die Emitterzone bis zu deren Oberfläche punktförmig durchdringt und diese Oberfläche unter Aussparung eines Bereiches um die Steuerelektrode mit einer ersten Metallschicht versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die innerhalb des ausgesparten Bereiches liegenden punktförmigen Durchdringungen (2 a) durch zungenförmige Metallstreifen (6 a) oder eine in ihrer Schichtdicke verminderte zweite Metallschicht (6 b) mit der ersten Metalischicht (6) leitend verbunden sind.
2. Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in ihrer Schichtdicke verminderte zweite Metallschicht (6 b) die Steuerelektrode (5) kreisförmig umgibt und den ausgesparten Bereich nicht bis zu der Steuerelektrode (5) hin völlig bedeckt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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