DE1514595C

DE1514595C - Korpuskularstrahlgerat, in particular electron microscope with axial movability of the object

Info

Publication number: DE1514595C
Authority: DE
Inventors: Karl Heinz Dipl Ing Loebe Wolfram Dipl Math 1000 Berlin Muller
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Publication date: 1972-01-05

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf ein Korpuskular- schleusbar ist, so daß auch beim Objektwechsel eineThe invention relates to a corpuscular lock, so that a

strahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit Aufhebung des Vakuums vermieden wird,beam device, especially electron microscope, is avoided when the vacuum is released,

einer Objektivlinse, einer Objektpatrone und An- Die Antriebsmittel können — in an sich bekannteran objective lens, an object cartridge and the drive means can - in per se known

triebsmitteln, durch die das Objekt relativ zu einem Weise — eine in Achsrichtung der Linse verlaufendepropulsion means through which the object is relative to one way - one running in the axial direction of the lens

die Objektpatrone haltenden Teil des Gerätes, ins- 5 Zahnreihe auf dem Außenmantel der Objektpatronethe part of the device holding the specimen cartridge, ins- 5 row of teeth on the outer surface of the specimen cartridge

besondere einem Objekttisch, in Richtung der Achse sowie ein mit der Zahnreihe zusammenwirkendesespecially an object table, in the direction of the axis and one that interacts with the row of teeth

der Objektivlinse bewegbar ist. Eine axiale Beweg- Zahnrad oder Ritzel enthalten, das in den die Ob-the objective lens is movable. An axial moving gear or pinion included in the the ob-

' barkeit der Objektpatrone hat man bisher zum jektpatrone haltenden Teilen des Gerätes, vorzugs-'' The object cartridge was previously available for parts of the device holding the object cartridge, preferably

Einschleusen des Objekts (deutsche Patentschrift weise einem Objekttisch, gelagert ist. Dabei wird manInfiltration of the object (German patent specification wise an object table, is stored

898 502) oder zum Scharfstellen des Bildes io die in dem Objekttisch od. dgl., das heißt außerhalb898 502) or to focus the image in the object table or the like, i.e. outside

(deutsche Patentschriften 756 934 und 888 894) vor- der Objektpatrone, angeordneten Teile des Antriebes(German patents 756 934 and 888 894) in front of the object cartridge, arranged parts of the drive

gesehen. '. so anordnen, daß sie das Schleusen der Objektpatroneseen. '. arrange so that they lock the specimen cartridge

Bei einem Gerät der genannten Art besteht die Er- nicht behindern.In the case of a device of the type mentioned, there is no obstacle.

findung in einer solchen Dimensionierung der An- Eine andere Lösungsvariante der Erfindungfinding in such a dimensioning of the connection Another solution variant of the invention

triebsmittel, daß der Bewegungsbereich des Objekts 15 zeichnet sich dadurch aus, daß die ObjektpatroneDriving means that the range of motion of the object 15 is characterized in that the object cartridge

die Strecke zwischen der vorderen und der hinteren zwei konzentrische, in die Bohrung der Objektivlinsethe distance between the front and the rear two concentric, in the bore of the objective lens

Brennebene der Objektivlinse einschließt. Die axiale in Achsrichtung hineinragende Hohlzylinder aufweist,Includes focal plane of the objective lens. The axial hollow cylinder protruding in the axial direction has,

Bewegung des Objekts kann dadurch bewirkt wer- die aus magnetisch unwirksamem Material bestehenThis can cause movement of the object, which consist of magnetically ineffective material

den, daß die Objektpatrone als Ganzes gegenüber und von denen der innere das Objekt hält, und daßthat the object cartridge as a whole opposite and of which the inner one holds the object, and that

einem Objekttisch verstellbar ist, oder dadurch, daß 20 der innere Hohlzylinder auf seinem Außenmantelan object table is adjustable, or in that 20 the inner hollow cylinder on its outer surface

Teile der Objektpatrone gegeneinander verstellbar eine in Achsrichtung verlaufende Zahnreihe trägt, dieParts of the specimen cartridge, adjustable in relation to one another, carry a row of teeth running in the axial direction, which

sind. mit einem in dem äußeren Hohlzylinder in Achsrich-are. with one in the outer hollow cylinder in the axial direction

An Hand der F i g. 1 bis 3 wird im folgenden zu- tung gelagerten Ritzel zusammenwirkt, das mit einemOn the basis of FIG. 1 to 3, in the following, a pinion that is supported by a bearing interacts with one another

nächst das der Erfindung zugrunde liegende Problem Getriebe in Verbindung steht, von dem zumindestnext the problem underlying the invention transmission is connected, of which at least

erläutert. 25 ein Teil in den die Objektpatrone haltenden Teilenexplained. 25 a part in the parts holding the specimen cartridge

In Korpuskularstrahlgeräten, beispielsweise Elek- des Gerätes, insbesondere einem Objekttisch, geleert tronenmikroskopen, mit einer Objektivlinse und einer ist. Während bei der erstgenannten Ausführungsfümi Objektpatrone läßt sich eine hoch auflösende Ver- der Erfindung also die gesamte Patrone innerhalb größerung von Objekten erzielen, die in der Nähe der Linsenbohrung bewegbar angeordnet ist, sich der vorderen Brennebene der Objektivlinse angeord- 30 also fahrstuhlartig innerhalb der Objektivliiise benet sind. F i g. 1 zeigt den an sich bekannten Strahlen- wegt, erfolgt die Objektbewegung im Falle der letztgang eines zweistufigen Elektronenmikroskops. Der genannten Ausführungsform der Erfindung innerhalb von einer Strahlquelle β emittierte Elektronenstrahl eines dabei feststehenden Teiles der Objektpatrone, fällt auf das in der vorderen Gegenstandsebene GI Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung befindliche Objekt O, von dem die Objektivlinse OL 35 ist darin zu sehen, daß sie die Durchführung einer deren objektseitige Brennebene mit FI und deren Objektraumkühlung, wie sie zur Verhinderung der bildseitige Brennebene mit FII bezeichnet ist, das Objektverschmutzung bei Vermeidung eines unererste Bild (Zwischenbild) BI erzeugt. Dieses Zwi- wünschten Objektabbaues immer mehr Anwendung schenbild wird mittels der Projektivlinse vergrößert findet, durchzuführen gestattet, und zwar bei den als Endbild E beispielsweise auf einem Aufsichts- 40 verschiedenen durch unterschiedliche Stellungen des leuchtschirm abgebildet. Objektes bezüglich der Brennpunkte der Linse er-In corpuscular beam devices, for example electronics, the device, in particular an object table, emptied electron microscopes, with an objective lens and one is. While in the first-mentioned embodiment of the object cartridge, a high-resolution version of the invention, i.e. the entire cartridge, can be achieved within the magnification of objects, which is arranged movably in the vicinity of the lens bore, which is arranged in the front focal plane of the objective lens, i.e. in an elevator-like manner within the objective line are. F i g. 1 shows the beam path known per se, the object movement takes place in the case of the last pass of a two-stage electron microscope. The said embodiment of the invention within a beam source β emitted electron beam of this fixed portion of the object cartridge is incident on the in the front object plane GI Another advantage of the solution according to the invention located object O by the objective lens OL is 35 to be seen in that they the implementation of its object-side focal plane with FI and its object space cooling, as it is denoted by FII to prevent the image-side focal plane, which generates object contamination while avoiding a lower image (intermediate image) BI. This intermediate image, which is more and more desired, is used, enlarged by means of the projective lens, allowed to be carried out, namely when the end image E is shown, for example, on a top view 40 different positions of the fluorescent screen. Object with respect to the focal points of the lens

Während bei diesem üblichen Strahlengang, wie er möglichten Untersuchungsverfahren. Zur Durch in Fig. 1 angegeben ist, das Objekt nahe der vor- führung dieser Objektraumkühlung ist es lediglich deren Brennebene FI der Objektivlinse OL liegt, ist erforderlich, daß in die Linsenbohrung ein mit einem es im Falle der F i g. 2 relativ weit von dieser Brenn- 45 Kühlmittel in wärmeleitender Verbindung stehender ebene entfernt. Die einzelnen Linsen und Ebenen Zylinder eingesetzt ist, der sich zumindest zwischen sind mit denselben Bezugszeichen wie in F i g. 1 ver- den beiden Brennebenen der Objektivlinse erstreckl. sehen. Mit einem solchen Strahlengang läßt sich die Diese einfache Konstruktion zur Durchführung der Wirkung der Objektivlinse OL gegenüber dem Strah- Objektraumkühlung läßt sich deshalb anwenden, weil lengang nach Fig. 1 umkehren, d. h., es lassen sich 50 die erfindungsgemäße Lösung praktisch keine VerVerkleinerungen des Objektes O erzielen. größerung des von der Objektpatrone eingenomme-While with this usual beam path, how he possible examination method. For the purpose of FIG. 1, it is indicated that the object is close to the demonstration of this object space cooling, it is only the focal plane FI of which the objective lens OL lies. 2 relatively far away from this fuel 45 coolant in a thermally conductive connection. The individual lenses and planes cylinder is inserted, which is at least between are with the same reference numerals as in F i g. 1 extending over the two focal planes of the objective lens. see. With such a beam path, the This simple design allows to carry out the action of the objective lens OL opposite the radiation object space cooling can therefore apply because beam path Reverse according to FIG. 1, ie, it can be 50, the inventive solution virtually no VerVerkleinerungen the object O achieve. increase of the space occupied by the object

Im Gegensatz zum Strahlengang nach Fig. 1 be- nen Raumes innerhalb der Linsenbohrung erfordert,In contrast to the beam path according to FIG. 1, a space within the lens bore requires

findet sich im Falle des Strahlenganges für Beugung In diese Linsenbohrung braucht also lediglich in denis found in the case of the beam path for diffraction

im konvergenten Bündel gemäß Fig. 3 das zu unter- Zwischenraum zwischen den Polschuhen bzw.in the convergent bundle according to FIG.

suchende Objekt in Strahlrichtung unterhalb der Ob- 55 Elektroden der Linse einerseits und dem Außen-searching object in the direction of the beam below the ob- 55 electrodes of the lens on the one hand and the outer

jektivlinse. mantel des in die Linsenbohrung hineinragendenlens. jacket of the protruding into the lens bore

Die Erfindung ermöglicht es, nacheinander Unter- Teiles der Objektpatrone andererseits ein gekühlterThe invention makes it possible to successively lower part of the object cartridge, on the other hand, a cooled one

suchungen eines Objekts mit den an Hand der Fig. 1 topf- oder rohrförmiger Einsatz eingebracht zuSearches for an object with the pot-shaped or tubular insert on the basis of FIG. 1 introduced

bis 3 erläuterten Methoden durchzuführen, ohne beim werden, der mit einem innerhalb oder außerhalb desto 3 methods explained without being involved with an inside or outside of the

Übergang von der einen zur anderen Methode das 60 Korpuskularstrahlgerätes in an sich bekannter WeiseTransition from one method to the other with the corpuscular beam device in a manner known per se

Vakuum des Korpuskularstrahlgerätes zu unterbre- angeordneten Tiefkühlmittel, beispielsweise flüssigerVacuum the corpuscular beam device to interrupt arranged deep-freeze, for example liquid

chen, und zwar durch eine entsprechend dimensio- Luft, in wärmeleitender Verbindung steht,chen, through an appropriately dimensioned air, in heat-conducting connection,

nierte Bewegungsmöglichkeit des Objektes innerhalb Es kann ferner erwünscht sein, nicht nur denned movement of the object within it may also be desirable, not just the

der Objektivlinsenbohrung. Mit Vorteil wird man fer- Objektraum, d. h. die Objektumgebung, zu kühlen,the objective lens hole. Advantageously, one becomes fer-object space, i. H. the object environment to cool,

ner die Konstruktion so treffen, daß die Objekt- 65 sondern auch eine definierte Kühlung des Objektesner design in such a way that the object 65 but also a defined cooling of the object

patrone ungeachtet ihrer im Hinblick auf Verschieb- vorzunehmen, beispielsweise um das Verhalten descartridge regardless of how it should be moved, for example to determine the behavior of the

barkeit des Objektes in Richtung der Achse des Gefüges desselben bei verschiedenen Temperaturenavailability of the object in the direction of the axis of the structure of the same at different temperatures

Korpuskularstrahlapparates getroffenen Konstruktion studieren oder einen Abbau von Schichten vornehmenStudy the construction made by the corpuscular beam apparatus or break down layers

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zu können. Auch diese Möglichkeit bietet die Erfin- über nicht dargestellte, in an sich bekannter Weise dung, und zwar ebenfalls für alle bei unterschiedlichen durch das Vakuumgehäuse des Korpuskularstrahl-Lagen des Objektes im Strahlengang durchgeführten gerätes hindurchgeführte Antriebsmittel bewirkt über Untersuchungen, ohne großen konstruktiven Auf- das weitere Zahnrad 13 eine Drehung der Schnecke wand. Es genügt nämlich, daß der gekühlte Zylinder 5 10 und damit über die Zähne 11 eine Verschiebung wärmeleitende, vorzugsweise federnde Kontakte in des auf dem Objektträger 8 befindlichen Objektes in solcher Anordnung trägt, daß sich diese bei Lage des Achsrichtung der Objektivlinse 5, In dem dargestellten Objektes in der hinteren Brennebene auf den inneren Ausführungsbeispiel ist die Dimensionierung dieses Zylinder der Objektpatrone oder eine Objektträger- Antriebes sowie der einzelnen Teile der Objektblende auflegen. Bei dieser Lösungsvariante dient io patrone 1 so getroffen, daß das Objekt alle Lagen also der gekühlte Zylinder nicht nur zur Bestimmung zwischen den beiden Brennebenen FI und FII der der Temperatur der Objektumgebung zum Zwecke Objektivlinse 5 einschließlich der Brennebenen selbst der Verringerung oder Verhinderung der Objektver- einnehmen kann. Besonders günstig ist es, wenn man schmutzung, sondern auch zur Kühlung des Objektes das Objekt etwas über die Brennebenen hinaus beselber. Dabei kann die wärmeleitende Verbindung 15 wegen kann. Damit gestattet die figürlich dargestellte zwischen diesem Zylinder einerseits und den das Konstruktion also alle in den F i g. 1 bis 3 darge-Objekt tragenden Teilen, beispielsweise einer Objekt- stellten Untersuchungsverfahren durchzuführen,
blende, andererseits über einen begrenzten Quer- Die aus F i g. 5 ersichtliche Formgebung der einschnitt aufweisende federnde Mittel insofern günstig zelnen Teile verhindert eine Objektdrehung bei der sein, als ein Temperaturgefälle zwischen dem ge- 20 Objektverschiebung.to be able to. The invention also offers this possibility, not shown, in a manner known per se, also for all drive means passed through the vacuum housing of the particle beam positions of the object in the beam path caused by examinations, without great structural changes Another gear 13 wall a rotation of the worm. It is sufficient that the cooled cylinder 5 10, and thus a displacement via the teeth 11, carries heat-conducting, preferably resilient contacts in the object located on the specimen slide 8 in such an arrangement that these are located in the axial direction of the objective lens 5, in the illustrated Object in the rear focal plane on the inner embodiment is the dimensioning of this cylinder of the specimen cartridge or a specimen slide drive and the individual parts of the specimen aperture. In this solution variant, io cartridge 1 is used in such a way that the object all layers so the cooled cylinder is not only used to determine the temperature of the object environment between the two focal planes F I and F II for the purpose of objective lens 5 including the focal planes themselves to reduce or prevent the Object association can. It is particularly beneficial if you dirt, but also to cool the object a little beyond the focal planes. Here, the thermally conductive connection 15 can because of. The figure shown between this cylinder on the one hand and the construction thus all in FIGS. 1 to 3 parts carrying the object, for example an object-based examination process,
aperture, on the other hand over a limited transverse die from FIG. The shape of the indented resilient means, which can be seen, prevents individual parts from rotating as a temperature gradient between the individual parts prevents the object from being displaced.

kühlten Zylinder und dem Objekt sich auch bei Die Linsenbohrung 4 der im wesentlichen aus den gekühltem Objekt hinsichtlich der Verringerung der beiden Polschuhen 14 und 15 einschließlich einer Verschmutzung desselben günstig auswirkt. Die ver- nicht dargestellten Wicklung und einem magnetischen schmutzungshemmende Wirkung der Objektraum- Rückschluß bestehenden Objektivlinse 5 nimmt in kühlung hat nämlich ihre Ursache darin, daß das 25 dem dargestellten Ausführungsbeispiel ferner den Objekt nicht den kältesten Teil der Anordnung dar- zylinderförmigen Einsatz 16 auf, der in an sich bestellt, so daß die Verweilzeit der Moleküle und Atome kannter und nicht dargestellter Weise in seinem der zur Verschmutzung beitragenden Gase und außerhalb der Linse 5 befindlichen Bereich beispiels-Dämpfe an dem gekühlten Zylinder größer ist als an weise über eine Kühlstange in wärmeleitender Verdem gekühlten Objekt. 30 bindung mit einem Tiefkühlmittel steht. Dieser ge-cooled cylinder and the object also with The lens bore 4 of the essentially from the cooled object in terms of reducing the two pole pieces 14 and 15 including one Soiling of the same has a favorable effect. The winding, not shown, and a magnetic one dirt-inhibiting effect of the object space conclusion existing objective lens 5 takes in That is because cooling is caused by the fact that the 25 the illustrated embodiment also has the Object does not have the coldest part of the arrangement of the cylindrical insert 16, which is ordered in itself, so that the residence time of the molecules and atoms is known and not shown in his the gases contributing to the pollution and the area outside the lens 5, for example vapors on the cooled cylinder is larger than on, via a cooling rod in thermally conductive Verdem cooled object. 30 bond with a freezer. This ge

Daß man im Rahmen der Objektkühlung noch kühlte Zylinder 16 ist wärmeisoliert mittels des ausThat cylinder 16, which is still cooled in the context of the object cooling, is thermally insulated by means of the

zusätzliche Maßnahmen, beispielsweise das Vorsehen wärmeisolierendem Material bestehenden Ringes 17additional measures, for example the provision of heat-insulating material existing ring 17

eines Thermoelementes zur Erfassung der Objekt- gehalten. Er dient zur Objektraumkühlung und ist soa thermocouple to record the object held. It serves to cool the object space and is like that

temperatur, treffen kann, ist dem Fachmann auf bemessen, daß er bei allen durch die Konstruktiontemperature, can meet is measured by the skilled person at all by the construction

diesem Gebiet bekannt und braucht im einzelnen 35 ermöglichten Stellungen der Objektträgerblende 8 eineKnown in this field and needs in detail 35 enabled positions of the slide diaphragm 8 a

nicht ausgeführt zu werden. zuverlässige Objektraumkühlung bewirkt.not to be executed. causes reliable object space cooling.

Die Konstruktion wird im folgenden an Hand des Für den Fall, daß auch eine Kühlung des ObjektesThe construction is described in the following on the basis of In the event that the object is also cooled

in den F i g. 4 und 5 dargestellten Ausf ührungs- selber erwünscht ist, sind mittels des Schraubeinsatzesin fig. 4 and 5 the execution itself is desired, are by means of the screw insert

beispiels beschrieben. Dabei stellt 18 wärmeleitende Federn 19 innerhalb des von demexample described. It provides 18 thermally conductive springs 19 within the of the

F i g. 4 einen Querschnitt, 4° gekühlten Zylinder 16 umschlossenen Raumes ange-F i g. 4 a cross-section, 4 ° cooled cylinder 16 enclosed space attached.

F i g. 5 einen Längschnitt durch diejenigen Teile ordnet. Diese Federn 19 legen sich bei einer durchF i g. 5 arranges a longitudinal section through those parts. These springs 19 lay through at one

eines Elektronenmikroskops einschließlich der die Stellung des Teiles 18 gegebenen Lage deran electron microscope including the position of the part 18 given the position of

Objektpatrone dar, die im Bereich der Objektivlinse Objektträgerblende 8 gegen diese oder gegen dasSpecimen cartridge, which in the area of the objective lens slide aperture 8 against this or against the

liegen und für die Erfindung von Bedeutung sind. Teil 9 und stellen damit eine wärmeleitende Verbin-are and are of importance for the invention. Part 9 and thus provide a thermally conductive connection

Die Objektpatrone ist allgemein mit 1 bezeichnet. 45 dung zwischen dem Objekt über die Teile 8, 9,19The object cartridge is generally designated 1. 45 connection between the object via parts 8, 9, 19

Sie besteht im wesentlichen aus dem Patronenkonus 2, und 16 sowie beispielsweise die Kühlstange zu demIt consists essentially of the cartridge cone 2, and 16 and, for example, the cooling rod to the

der das zum Einsetzen der Objektpatrone 1 in den Kühlmittel her.that is used to insert the specimen cartridge 1 into the coolant.

Objekttisch 3 dienende Teil der Patrone bildet, sowie Die Erfindung gestattet, das Objekt ohne Aufzwei in die Bohrung 4 der Objektivlinse 5 hinein- hebung des Vakuums des Korpuskularstrahlgerätes ragenden, einander konzentrisch umgebenden Hohl- 50 in durch die gewünschten Untersuchungsmethoden zylindern 6 und 7. Von diesen Hohlzylindern trägt gegebene Stellungen längs der Korpuskularstrahlachse der mit 6 bezeichnete innere an seinem unteren Ende zu bewegen. Dabei sind die durch die Erfindung erdie Objektblende 8 mit dem Objekt. Die Objekt- möglichten Untersuchungen nicht auf die an Hand blende 8 ist mittels des Teiles 9 an dem inneren Hohl- der Strahlengänge nach den F i g. 1 bis 3 erläuterten zylinder 6 durch Verschrauben gehalten. Dieses 55 beschränkt. Beispielsweise läßt sich auch ein Teil 9 kann dabei so ausgebildet sein, daß das Objekt schattenmikroskopisches Bild von Objekten hermöglichst frei in seiner Umgebung schwebt. Zu stellen. Weiterhin ist die Erfindung nicht auf das diesem Zweck kann das Teil 9 Streben zur Halterung bisher in den Vordergrund gestellte Anwendungsder Objektblende 8 aufweisen, wie dies bereits vor- beispiel einer elektronenmikroskopischen Untergeschlagen worden ist. Der innere Hohlzylinder 6 ist 60 suchung beschränkt, vielmehr kann die neue Koninnerhalb des äußeren Hohlzylinders 7 in Achs- struktion beispielsweise auch in Beugungsgeräten oder richtung durch die Spindel 10 gehalten, die innerhalb in Geräten zur Ladungsträgerstrahlbearbeitung eingeeiner Ausnehmung in dem äußeren Hohlzylinder 7 setzt werden. Dabei ist beispielsweise an die Verum eine parallel zur Korpuskularstrahlachse verlau- wendung der an Hand in F i g. 2 beschriebenen verf ende Achse drehbar gelagert ist und mit Zahnstangen- 65 kleinerten Abbildung eines Objektes, z. B. einer ähnlich angeordneten Zähnen 11 auf dem Außen- Blende, zur Herstellung einer kleineren Blende bemantel des inneren Hohlzylinders 6 im Eingriff steht. stimmten Durchlässigkeitsverhaltens, beispielsweise Eine Drehung des Zahnrades 12 in dem Objekttisch 3 einer sogenannten Hoppeschen Zonenplatte, gedacht.Object table 3 serving part of the cartridge forms, as well as the invention allows the object without opening two into the bore 4 of the objective lens 5 the vacuum of the corpuscular beam device is raised protruding, concentrically surrounding hollow 50 in by the desired examination methods cylinders 6 and 7. Of these hollow cylinders carries given positions along the corpuscular beam axis to move the designated 6 inner at its lower end. Here are the erdie by the invention Object diaphragm 8 with the object. The object-possible examinations are not on hand Aperture 8 is by means of part 9 on the inner hollow of the beam paths according to FIGS. 1 to 3 explained cylinder 6 held by screwing. This 55 limited. For example, a Part 9 can be designed so that the object is as close as possible to a shadow microscope image of objects floats freely in its surroundings. To deliver. Furthermore, the invention is not limited to that For this purpose, the part 9 struts for mounting can be used so far in the foreground Have object diaphragm 8, as has already been shown, for example, under an electron microscope has been. The inner hollow cylinder 6 is limited in search, but the new interior of the outer hollow cylinder 7 in axial construction, for example also in diffraction devices or direction held by the spindle 10, which in one in devices for charge carrier beam processing Recess in the outer hollow cylinder 7 is set. This is for example to the Verum a parallel to the corpuscular beam axis of the hand in FIG. 2 described av end axis is rotatably mounted and with rack and pinion 65 smaller image of an object, z. B. one similarly arranged teeth 11 on the outer cover, to produce a smaller cover of the inner hollow cylinder 6 is in engagement. correct permeability behavior, for example A rotation of the gear wheel 12 in the object table 3 of a so-called Hoppe zone plate, is thought.

Die herzustellende Blende befindet sich dann in der Ebene BII. Auch in Geräten zur Röntgenmikroanalyse durchstrahlbarer und massiver Präparate läßt sich die Erfindung mit Erfolg einsetzen. Sie läßt sich auch zur Scharfstellung des Endbildes verwenden, wenn man diese nicht mit Linsenstrom- oder Hochspannungsänderung erreichen kann.The diaphragm to be produced is then located in plane B II. The invention can also be used successfully in devices for X-ray microanalysis that can be radiographed and solid preparations. It can also be used to focus the final image if this cannot be achieved by changing the lens current or high voltage.

Des weiteren sind Abänderungen des figürlich dargestellten Ausführungsbeispieles möglich. Die Länge des gekühlten Zylinders wird man dem Abstand zwischen der jeweils höchsten und tiefsten Stellung des Objektes anpassen; wird das Objekt in dem betreffenden Gerät nicht bis in die untere Brennebene der Objektivlinse bewegt, so kann der gekühlte Zylinder auch kürzer sein. Die Zahnräder sowie die Schnecken lassen sich gegebenenfalls auch durch andere bewegungsübertragende Elemente ersetzen, beispielsweise durch Reibräder. Die als 'Wärmekontakte dienenden Federn können auch an einer anderen Stelle angeordnet sein, falls nur bei einer bestimmten Stellung des Objektes dessen Kühlung erwünscht ist.In addition, there are modifications to what is shown in the figures Embodiment possible. The length of the cooled cylinder becomes the distance adjust between the highest and lowest position of the object; the object will be in the relevant device is not moved into the lower focal plane of the objective lens, the cooled Cylinder can also be shorter. The gears and the worms can also be passed through if necessary replace other motion-transmitting elements, for example with friction wheels. The as' heat contacts Serving springs can also be arranged at a different location, if only at one certain position of the object whose cooling is desired.

Claims

Patent claims:

1. Corpuscular beam device, in particular an electron microscope, with an objective lens, a Specimen cartridge and drive means by which the specimen is held relative to one holding the specimen cartridge Part of the device, in particular an object table, in the direction of the axis of the objective lens is movable, characterized by such a dimensioning of the drive means that the range of motion of the object is the distance between the front and back focal planes the objective lens.

2. corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that the drive means a row of teeth running in the axial direction on the outer surface of the specimen cartridge and a Contain with the row of teeth cooperating gear or pinion, which in the parts of the device holding the specimen cartridge, preferably an object table, is stored.

3. corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that the object cartridge two concentric hollow cylinders protruding in the axial direction into the bore of the objective lens has, which consist of magnetically ineffective material and of which the inner the Object holds, and that the inner hollow cylinder on its outer surface a ver ^ in the axial direction carries running row of teeth, which is stored with a in the outer hollow cylinder in the axial direction Pinion or a spindle cooperates which is in connection with a gear, of the at least part in the parts of the device holding the specimen cartridge, in particular an object table, is stored.

4. corpuscular beam device according to claim 3, characterized in that in the lens bore a cylinder which is in heat-conducting connection with a coolant is used which extends at least between the two focal planes of the objective lens.

5. corpuscular beam device according to claim 4, characterized in that the cooled cylinder carries thermally conductive, preferably resilient contacts in such an arrangement that these when the object is in the rear focal plane on the inner cylinder of the object cartridge and / or put on a slide cover.

1 sheet of drawings