[go: up one dir, main page]

DE1473689A1 - Elektrischer Druck-Aufnehmer - Google Patents

Elektrischer Druck-Aufnehmer

Info

Publication number
DE1473689A1
DE1473689A1 DE19651473689 DE1473689A DE1473689A1 DE 1473689 A1 DE1473689 A1 DE 1473689A1 DE 19651473689 DE19651473689 DE 19651473689 DE 1473689 A DE1473689 A DE 1473689A DE 1473689 A1 DE1473689 A1 DE 1473689A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
center
circumference
pressure
electrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19651473689
Other languages
English (en)
Other versions
DE1473689B2 (de
DE1473689C3 (de
Inventor
Anthony Brackett
Erich Laimins
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BALTWIN LIMA HAMILTON CORP
Original Assignee
BALTWIN LIMA HAMILTON CORP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BALTWIN LIMA HAMILTON CORP filed Critical BALTWIN LIMA HAMILTON CORP
Publication of DE1473689A1 publication Critical patent/DE1473689A1/de
Publication of DE1473689B2 publication Critical patent/DE1473689B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1473689C3 publication Critical patent/DE1473689C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Elektrischer Druck-Aufnehmer Die Erfindung betrifft einenelektrischen Druck aufnehmer ######## mit einer an ihrem Umfang gelagerten Membran, derartiger, durch die Wölbung einer der beiden Membranflächen bestimmter Form, dass die Dicke der Membran von einer dUnnston Stelle am Membranmittelpunkt zum Membranumfang hin progressiv zunimmt.
  • Es ist in der Technik bekannt, elastische Dehnungen, die von Deformationen kreisförmiger Membranen, die an ihrem lueseren Umfang eingespannt sind, herrUhren, zu messen und solohe Messungen auszudrücken als Differenz der auf die Flächen der Membran wirkenden Drucke. Im allgemeinen werden solche Membranen aus Material in gleicher StKrke gemacht und sind im wesentlichen im unbelasteten Zustand flach. In der Technik ist es weiterhin bekannt, wellig oder in'anderer Weise geformte Membranen zu verwenden, bei welohen nicht das gesamte Membranmaterial im wesentlichen in einer Ebene liegt.
  • Elektrlsche WiderstandadehnungsmeDstreifen sind als besonders vorteilhaft zur exakten Aufnahme der Membrandehnungen gefunden worden.
  • Die modernen Anforderungen fUr hoohgenaue Messungen sind durch die existierenden Formen von Membran-Messvorrichtungen nicht voll erfüllt worden und es wurde gefunden, dass eine der Hauptschwierigkelten in dieser Beziehung auf don Nichtllneariiaten der Charakteristik dieser Vorrichtungen beruht. Beispielsweise verwendet eine bekannte Type soloher Meavorrichtungen elektrische weiderstandsdehnungsmeßstreifen zur Aufnahme der radiale Dehnungen, sowohl in positive, als auch in negativer Richtung, an Stellen innen und aussen entlang einer Fläche der dembran, wobei nachteiligerweise die gemessenen Dehnungen und Stauchungen nicht nur nichtlinear und voneinander versehieden sind, sondern auch nicht proportional variieren in Abhängligkeit von einem Weohool im aufgebrachten Druck.
  • Die maximale radiale Dehnung In der N§he des Kusseron Umfanges der Membran kann dan zweifache derjenigen In der Nähe des Mittelpunktes der Membran betragen, so dass fUr einen gegebenen elektrischen Ausgangswert der Sioherheitsfaktor der Einrichtung bestimmt wird durch dan Vorhandensein einer Spannung, die grösser, als fUr MeBzweoke benötigt, ist, und die Vorrichtung keinen optimale Wirkungsgrad Besitzt. Die Forderungen nach Linearltät und maximale Auegang verlangen jedoch fUr Dehnung und Stauohung gleiche Werte Uber don ganzen Arbeitsbereich. Dies inbesondere bei Vorriohtungen mit Hablbleiterdehnungsmeßstreifen.
  • Eine andere Schwierigkeit der bekannten vorrichtungen liegt In don aehr steilen Gradienten radiale Spannung in der Nnhe des Membranumfanges, so dans sehr geringe Abweichungen der Dehnungsmeßstreifen von den vorgeschriebenen Orten in der Nahe des Umfanges grosse @nderungen und Fohler des elektrischen MeBsignals hervorrufen. Dies macht die Anordnung von MoBstrelfen am Umfang sehr kritisch, insbes., wenn versucht wird, die Vorrichtung möglichst klein zu machen.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, die Nachtelle der bekannten Corrichtungen zu vermeiden und bol optimale MeC-effekt eine Vorrichtung mit linearer Charakteristik zu erzielen. Dies wird daduroh erreicht, dass gemäss der Erfindung der zu messende Druck in der Wölbung der einen MembranRlXcho entgegengenatzter Richtung auf die Membran geleitet wird und das %verhältnis von Radius der Wölbung g zur Membrandicke im Mittelpunkt so geweählt ist - vorzugsweise im Bereich loo : 1 bis 600 : 1 - dass die duroh den Druck im Membranmaterial hervorgerufenen Dehnungen in der Nähe des Umfanges gleich gross und entgegengerichtet denjenigen In der Nähe des Mittelpunktes sind und dass d r Gradient der radialen Dehnung am Umfang möglichst gering wird.
  • Es lot zwar berolta eine Vorrichtung bekannt, bei welcher die Membrandicke naoh der Formel h = ho e 4(x/D)2 gestaltet tat, wobei h die Membrandicke, h die Membrandicke im Mittelpunkt, D der Membrandurahmesser und x der radiale Abatand vom Membranmittelpunkt ist. Bel dieser bekannten Vorrichtung wird die zu messende Kraft bzw. der zu messende Druck in Wölbungsrdchtung d. h. in die Wölbung hinein auf die Membran geleitet.
  • Auf diese weise wird jedoch das gesteckte Ziel, d. h. die Linearisierung der Chsraktorlstlk der Yorrichtung nicht erreicht, Weitere Merkmale der Erfindung sind den Unteranspruüchen zu entnehmen. In der nachfolgenden Beschreibung lot die Erfindung anhand der Schematischen Zeichnetungen erläutert.
  • Fig. 1 zeigt einen Querschnitt durch eine gemäss der Erfindung ausgebildete Vorrichtung.
  • Fig. 2 zeigt eine schematische Schaltungsanordnung für die Meßstreifen der vorrichtung gemäss fig. 1 Fig. 3 zeigt in vergrösserter Darstellung die isolierte sphärisoh gebogene untere Floche der Membran der Vorrichtung gemäsds Fig. 1 Zusammen mit einem darauf angebrachten, nach Art einer gedruckten Schaltung ausgebildeten widerstandsdehnungsmeßstreifen-Element.
  • Fig. 4 zeigt eine bekannte Ausführung zusamen mit zwei Kennlinien der Dehnungen an der unteren Membranfläche bei verschiedenen Drücken.
  • Fig. 5 zeigt zur Gegenüberstellung mit Fig. 4 die erfindungsgemässe Vorrichtung mit den Kennlinien fUr zwei verschiedene Drücke.
  • Fig. 6 zeigt eine Variante der erfindungsgemässen Vorrichtung.
  • In Fig. 1 besteht die im wesentlichen zylindrische Druckmessvorrichtung 7 aus zwei Teilen 8 9, welche die den Druck aufnehmenden Teile und die elektrischen Teile der Vorrichtung einschliessen. Am einen Ende wird über eine druckdichte Kupplung lo das unter Druck stehende Medium über einen Verteiler 12 einer Druckkammer 11 zugeRUhrt. Der aufgebrachte Druck, symbolisiert durch den Pfeil 13, wirkt auf die flache obme Flache 14 einer elastischen Metallmembran 15, deren untere Fläche 16 konkav gebogen ist. Unter der Druckwirkung wird die Membran nach un',. gedrückt, während ihre Peripherie duroh das starre, hohlzylindrische Gehäuseteil 8, dessen integraler Bestandteil sie ist, festgehalten wird. An der unteren konkaven membranfläche 16 sind vier elektrische Widerstandsdehnungsmeßstreifen 17 bis 20 angebracht, von welchen die Elemente 17 und 19 radial in der Nähe des Zentrums der Membran und die Elenmente 18 und 2o radial in der Nähe des Umfanges angeordnet sind. Diese an sich bekannte Anordnung der MeBstreifen bewirkt, dass die inneren MeBstrelfe auf Dehnung und die äusseren auf stauchung der unteren Membranfläche unter dem Einfluss einer auslenkung nach unten an0 sprechen. Elektroische Anschluss-Stifte 21 verbinden die MeBatreifen mit aussen liegenden @lementen, wie dem Hilfswiderstand 22 und einem elektrisehen Vielfachansahluss 25 am auseteil 9. wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die inneren und äusseren MeHatreifen in den gegenüberliegenden Zweigen einer üblichen Brückenschaltung anbgeordnet. Von der Einrichtung 24, welche eine Batterie enthalten kann, wird die Meßbrücke gespeist. Das Instrument 25, welches ein Empfindliches strommeßgerrät sain kann, zeigt die Ausgangsgrösse entsprechend den gemessenen Dehnungen und demmach den aufgebrachter. Druck an. In bekannter weise können in der Schaltungsanordnung noch Abgleich- oder andere Schaltungselemente angeordnet sein.
  • Wie in Fig. 3 gezeigt, können die Widerstandsdehnungsmeßelemente, z. B. die Elemente 17 bis 2o, in Ublicher Weise anstatt als Dratitme3streifen als Folienme3screifen ausgebildet sein. Diese kdnnen installiert sein als eine Einheit und können eine grosse bogenförmige Ausdehnung besitzen, um so in optimaler Weise die Fläohendehuungen aufzunehmen. In diesem Falle ist die konkave Flache elektrisch von der Meßfolie durch eine donne Isolationsla. lsoliert. Die Effekte der Radialdehnunger, bewirken in den Elementen 18 und 2o eine etwa gleichgrosse Veränderung des elektrischen Widerstandes wie die Tangentialdehnungen in der Nähe des Mittelpunktes (wo Tangentialdehnunges und kadialdehnungen etwa gleich gross sind) in den Elementen 17 lementen 17 und 19. Diese Widerstandsänderungen führen zu maximaqler Srückenverstimmung und somit zu maximaler Maßempfindlichkeit. Obwohl jedoch diese Meßelemtnenpaare in-zen Widerstand in gleicher Welse entsprechend jedem Wechsel des Aufgebrachten Druckes ändern, verhält sich das Ausgangssignal der Brkcke nicht linear zu den Druckänderungen, Es wurde gefunden, dass eine gleichförmigen Stärke der Membran, wiE sie bisser allgemein verwendet wurde, die Ursache solcher. @ichtllnearitäten ist und zwar well sie grosse Auslenkungen der Membran beim Vorliegen grosser Druckdifferenzen zulassen. Verhältnismässig dünne Membranen, deren Stärke relativ gering im Vergleich zu ihrem Durohmesser ist, lassen @ grössere @iochtlinearitäten zu und sind deshalb nicht géisill. @t für schr genaue empf indliche Messungen über weite Beriche.
  • Bie Darst@llungen In Fig. 4 charakterisieren das vorer-Wähnte nie @@ineare Verhalten dünner, gleichnäßäg flacher Mejmeranen,wie die dargestellte kreisförmige membran 26, die eine gleichmässige Stärke T besitzt und an ihrer Peripherie von einem mit ihr vereinigten Mohlzylinder 27 gehalten wird.
  • Ein zur Wirkung kommender Druck P 1 bewirkt die dargestellte, abwärtsgerichtete Auslenkung der Membran und, soweit diese Auslenkung des Mittelpunktes nicht Uber ein Drittel von T hinausgeht, den in der Kennlinie 28 dargestellten Dehnungsverlauf. Die Dehnungen in der Nhe des Zentrums und der Peripherie sind von unterschiedlicher Grosse und einander entgegengerichtet.
  • Die Dehnungsgradienten in den Bereichen 28a und 28b, entsprechend den Orten in der NEhe der Peripherie der Membran, sind sehr steil, woraus hervorgeht, dass dieanbringung von MeBstreifen an diesen Stellen sehr kritisch fUr eine optimale Wirkungsweise der Vorrichtung ist. Wenn die Auslenkung der Membran mehr als die Hälfte von T beträgt, wird das VerhKltnis zwischen den Dehnungen in der Näh* des Zentrums und der Stauchung in der Nähe der Peripherie noch unterschiedlicher, wie in der Kennlinie 29 dargestellt. PUr die durch die Kennlinie 29 charakterisierten VerhEltnlsse werden bei einem Druck von 3P1 die maximalen Dehnungen an der Peripherie kleiner als das dreifache der Dehnungen bei einem Bruck von P1, während die maximalen Dehnungen im Zentrum ebenfalls weniger als das dreifache betragen. Dies führt zu einem Verlauf des MeBergebnisses in der Brücke, welches nicht linear zu dem aufgebrachten Druck ist. Wie zuvor festgestellt, sind die Dehnungsgradienten in der Nshe der Peripherie der Membran sehr steil, Darüber hinaus bewegen sich die Nulldur¢hgSnge der radiale Dehnungen mit wachsenden Membranauslenkungen radial nach aussen (z. B. ist R2 grosseur als Rl). In der Praxis wurden z. B.
  • NlchtllnearltSten über 3 % gefunden bei einem Maximal-Dehnungsniveau von 2, ooo mikro-meter pro Meter (µm/m) und einer Membranstärke von o, 38 mm.
  • Im Vergleich hierzu sind in Fig. 5 die Verhdltnisse bei einer gemäss der Erfindung ausgebildeten Membran 32 duroh die Kennlinien 3o und 31 für aufgebrachte Drucke P1 und 3P1 und für Auslenkungen des Membranmittelpunktes, die weniger als ein Drittel und mehr als die Hälfte der Stdrke T1 im Mittelpunkt sind, dargestellt. Die kreisfdrmige Membran 32 hat eine normalerweise ebene Fläche 33, wenn sie nicht duroh einen Druck P1 des Mechanismus außgelenkt ist. 91e hat weiter eine konkave untere Flache 35 in sphärisoher Form mit einem Radius S (in der Zeichnung nicht dargestellt) mit einem Mittelpunkt senkrecht unter der Membranmitte. Die Konturen der Membran 32 im unbelasteten Zustand sind mit gestrichelten Linien in Fig. 5 dargestellt. Die StKrke T1 im Mittelpunkt der Membran ist geringer ale die Membranstärke T2 am Umfang. Die Xnderung der MembranstKrke ist beßtimmt duroh den sphärischen Radius S. Das Verhältnis S/T1 ist insolfern wichtig, als es die Spannungsverteilung in der Membran und die LinearitNt der Relation zwischen Druck und Dehnung beatimmt. Ein optimaler Bereich fUr das erhältnis S/T1, welches vorteilhaft ist für Membranen von etwa 25 mm Durchmesser, liegt zwisohen etwa loo : 1 und 600 : 1. Sperzielle Beispiele von S und T1, die als zweckmässig für erfindungsgeßässe Vorrichtungen mit einem Membrandurchmesser von 24 mm gefunden wurden, sind folgende : zugehörige Brücken-Meßbereich kp/cm2 T1 - [mm] s - [mm] Ausgansspannung [mV/V Speisung] 35,1 0,5 184,1 3 70, 3 0, 8 152, 4 3 140, 6 1,2 133, 3 3 Es wurde gefunden, dass die Formgebung der Membran 32 und der gleichen Membran 15 (Fig. 1) eine maximale Stauchung in d er NWhe des Umfangs hervorbringt, welche etwa gleich ist der maximalen Dehnung in der NShe des Zentrums der Membran.
  • Die Kennlinien 30 und 31 zeigen dies für eine Auslenkung geringer als ein Drittel von T1 und mehr als die H§lRte von T1. Hierbei ist zu bemerken, dass sowohl die maximalen, als auoh die minimalen einander entgegengerichteten Spannungen unter den genannten extremen Bedingungen fUr beide Lagen die gleichen sind. Ein optimales Verhältais von S/T1 kann empirisch oder rechnerisch ermittelt werden. Ein zusEtzlicher wichtiger Effekt besteht darin, dass das Gefälle der radiale Dehnung in der Hähe des Umfanges der Membran, wie sie in Flg. 5 mit 3oa und 31b bezeichnet sind, wesentlich niedriger als bei der bekannten Membran gemäas Fig. 4 und in manchen Fällen annähernd konstant sind. Dies macht die Anordnung der meßstreifen weniger kritisch und ist besonders vorteilhaft bei der Herstellung sehr kleiner MeBvorrichtungen mit kleinen Membranen. Eine sorgfältige ilahl der Form der konkaven unteren Manbranfläohe sichert, dass die Nulldurchgänge der radialen Dehnungen über einenwelten Wirkungsbereich in etwader gleichen radiale Entfernung vom Mittelpunkt bleiben (beispielsweise ist R3 etwa gleich R4 in Fig. 5).
  • Zufolge der aleichheit der radiales Dehnungen am Um und im Zentrum der Membran ist die Linearität bedeutend verbessert. Die erreichte Verbesserung ergibt sich aus einem Vergleich, der gemksa der Erfidnung erreichten Linearltätsabweichungen von o, o5 bis o, 25 % gegenüber Abweichungen von o, 5 bis 1 % und mehr von der Lineartiät bei bekannten optimalen Vorrichtungen. Dieser unterschied ist von grosser Bedeutung und stellt einen beachtilichen Vorteil in der Verminderung von Fehlern dar.
  • Eine Für die hNerstellung besonders gecignete Ausführungsl'orin ist in Fig. 6 dargestellt., lei dieser hat die membran 36 elze e Konkave untere Fläche 37 von etwa der gleichen Ausdehnung wie die unteren Enden Des hohlzylindrishcen Gehäuses 38, so dass der sphärische Radius 8' in einfacher Weise maschinell herstellbar ist. Gleiche Teile wie in Fig. 1 sind in dieser Fig. 6 mit denselben Bezugsziffern versehen.
  • Obwohl die aphgrisohe Formgebung der konkaven Membranfläche vorzuziehen ist, well sie für eine maschinelle.
  • Herstellung besonders geeignet ist, kann die konkave Form etwasvon der sphärisohen abweichen, ohne am Wesen der Erfindung etwas zu verändern. Prinzipiell gilt, dass die Formgebung und die zu wghlende Dicke niedrige Gradienten radialer Dehnung in der Nghe des Umfangs und eine Gleichheit der radiale Dehnungen in der NKhe des Umfangs und derjenigen in der NKhe des Membranzentrums zum Ziele haben. Zu diesem Zwecke können auch beide FlSchen der Membran eine Wölbung besitzen. Diese Ausführung hat den Vorteil, dass Scherspannungen in der Nähe des Umfangs vermindert werden und ein relativ hoher Druck (beispielsweise 3500 kp/cm2) aufgenommen werden kann.
  • Wie in Fig. 6 dargestellt, kann die konkave Floche 57 einen Durchmesser besitzen, der grösser ist als der Druchmesser der gegenüberliegenden ebenen Membranfläche, um die gewUnachte Dehnungsform zu erhalten. Die MeBstreifen sind vorzugsweise an der konkaven Membranfläche angebracht und zwar derart, dass kcrosive Flüssigkeiten, deren Druck gemessen werden aoll, die MeBstreifen nicht erreichen. Jedoch können die Streifen auch auf der ebenen Flache angebracht werden, wenn und wo eine Korosionsbeeinflussing nicht zu erwarten ist oder geeignete Schutzmaßnahmen ergriffen sind. Da die erfindungsgeßässen Vorrichtungen Auslenkungen des Zentrums besitzen, welche auch linear zum aufgebrachten Druck sind, können diese Auslenkungen gegebenenfalls als direktes MaB des Druckes genommen werden. Unterschiedliche, auf die verschiedenen Seiten der Membran wirkende Drucke kdnnen ebenso wie einseitig auf die Membran wirkende Drucke gemessen werden.

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1.) Elektrischer Druckaufnehmer mit einer an iflrem Umfang gelagerten Membran, derartiger durch die Wölbung einer der beiden Membranflachen bestimmter Form, dass die Dicke der Membran von einer dünnsten Stelle am Hembranmittelpunkt zum Hembranumfang hin progressiv zunimmt, dadurch gekennzeichnet, dass der zu messende Druck (Pl) in der Wölbung der einen Hembranfläche (16,35,37) entgegengesetzter Richtung auf die Membran geleitet wird und das Verhältnis von Radius der Rölsung (8,3') zur Membreandicke im Mittelpunkt (T1) so gewählt ist, - vorzugsweiswe im BVereich loo : 1 bis 600 : 1 - dass die durch den Druck im Membranmaterial hervorgerufenen Dehnungen in der NBähe des Umfange gleich gross und entscgcngerichtet den-Jenigen in der Mähe des Mittelpunktes sind und dass der Gradient der radialen Dehnung am Umfang mbglichst gering wird.
  2. 2.)elektrischerFruckaufnehmernachAnspruchl,dadurch gekennzeichnete dass an einer der beiden membranflächen - vorzugsweise an der Gewölten - in an sich bekannter weise elektkrische Dehnungsmeßstreifen in der nähe des Mittelpunktes und in der Nähe des Umfanges angebracht sind.
  3. 3.) Elektrischer Druckaufnehmer nach Anspurch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran in an sich bekannter weise integraler Bestandteil eines die membran an ihrem Umfang haltenden Gehäuses ist.
  4. 4.) Hlektrischer Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennseichnet, dass bei dreisförniger Membran der Durchmesser 1 ache mindestens so gross-vorzugsweise grösser-als derjenige der anderen Membranfläche ist.
DE1473689A 1964-04-24 1965-04-21 Elektrischer Druckaufnehmer Expired DE1473689C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US362267A US3289134A (en) 1964-04-24 1964-04-24 Gaged diaphragm pressure transducer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1473689A1 true DE1473689A1 (de) 1969-07-10
DE1473689B2 DE1473689B2 (de) 1973-10-31
DE1473689C3 DE1473689C3 (de) 1974-05-30

Family

ID=23425413

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1473689A Expired DE1473689C3 (de) 1964-04-24 1965-04-21 Elektrischer Druckaufnehmer

Country Status (2)

Country Link
US (1) US3289134A (de)
DE (1) DE1473689C3 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010129591A3 (en) * 2009-05-04 2011-01-27 Kulite Semiconductor Products, Inc. Torque insensitive header assembly

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1184109A (en) * 1966-06-07 1970-03-11 Toyoda Machine Works Ltd Pressure Sensitive Device Incorporating Semi-Conductor Transducer
US3515002A (en) * 1968-02-14 1970-06-02 Lucas Industries Ltd Temperature sensing apparatus
US3956924A (en) * 1968-11-25 1976-05-18 Armour And Company System and method for measuring meat tenderness
US4157528A (en) * 1977-11-08 1979-06-05 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Wellbore pressure transducer
JPS54113379A (en) * 1978-02-23 1979-09-04 Nec Corp Pressure gauge
JPS5595373A (en) * 1979-01-11 1980-07-19 Nissan Motor Co Ltd Semiconductor pressure sensor
US4295116A (en) * 1979-12-05 1981-10-13 Bofors America, Inc. Pressure transducer
JPS597234A (ja) * 1982-07-05 1984-01-14 Aisin Seiki Co Ltd 圧力センサ
DE3236815C2 (de) * 1982-10-05 1985-09-19 Klaus Dipl.-Ing.(FH) 3200 Hildesheim Metzger Überwachungs- und Kontrolleinrichtung an Rohrleitungen zum Transport von Flüssigkeiten
FR2579092B1 (fr) * 1985-03-22 1989-06-16 Univ Toulouse Capteur implantable de pression intracranienne
JPH0812123B2 (ja) * 1987-11-27 1996-02-07 日本碍子株式会社 圧力センサ
DE3937573A1 (de) * 1989-11-11 1991-05-16 Gewerk Eisenhuette Westfalia Elektrischer druckaufnehmer zur messung hydraulischer druecke, insbesondere zur verwendung in der bergbauhydraulik
DE4024780A1 (de) * 1990-08-04 1991-10-17 Bosch Gmbh Robert Keramikmembran-drucksensor
NZ260019A (en) * 1994-03-03 1997-05-26 Tru Test Ltd Load bearing apparatus with strut bearing axially against abutment of load cell and movable laterally at housing aperture
WO2015062535A1 (en) * 2013-11-01 2015-05-07 Mettler Toledo (Changzhou) Precision Instrument Ltd. Analog sensor with digital compensation function
US9851272B2 (en) 2015-02-06 2017-12-26 Viatran Corporation Pressure sensor diaphragm

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2360886A (en) * 1942-05-29 1944-10-24 Johj O Osterberg Apparatus for determining hydrostatic pressure
DE1129317B (de) * 1960-10-14 1962-05-10 Schenck Gmbh Carl Kraftmessdose
GB921837A (en) * 1960-10-22 1963-03-27 Westland Aircraft Ltd Integral unit comprising a complete strain gauge bridge
DE1226806B (de) * 1960-11-29 1966-10-13 Siemens Ag Kraftmessdose
US3128628A (en) * 1961-06-09 1964-04-14 Lebow Associates Inc Pressure transducer
US3122717A (en) * 1961-06-14 1964-02-25 Garrett Corp Pressure transducer
US3130382A (en) * 1962-04-20 1964-04-21 Baldwin Lima Hamilton Corp Load cell
US3204463A (en) * 1962-09-18 1965-09-07 Taber Instr Corp Force operated instrument
US3168718A (en) * 1962-11-09 1965-02-02 American Radiator & Standard Electric pressure transducer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9316551B2 (en) 2007-07-03 2016-04-19 Kulite Semiconductor Products, Inc. Torque insensitive header assembly
WO2010129591A3 (en) * 2009-05-04 2011-01-27 Kulite Semiconductor Products, Inc. Torque insensitive header assembly
US8286495B2 (en) 2009-05-04 2012-10-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Torque insensitive header assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US3289134A (en) 1966-11-29
DE1473689B2 (de) 1973-10-31
DE1473689C3 (de) 1974-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1473689A1 (de) Elektrischer Druck-Aufnehmer
DE3232817C1 (de) Biegefeder
DE2758986C2 (de) Kapazitive Kraftmessvorrichtung
DE2718931A1 (de) Differenzdruckumformer
DE2611494A1 (de) Druck- oder kraftwandler
DE2855582A1 (de) Druckschalter
EP0465881A2 (de) Kraftaufnehmer mit Torsionsring
DE69003763T2 (de) Membran-Deformationsmessvorrichtung.
EP0167941A2 (de) Differenzdruck-Messzelle
DE69005370T2 (de) Membranmessfühler mit Konzentration von Deformationen.
DE3241939C2 (de) Ablaßventil für ein Blutdruckmeßgerät
DE1447995C3 (de) Elektromechanischer Wandler mit einem Piezo-Widerstandselement
EP0461459A1 (de) Druckmessumformer mit einem rotationssymmetrischen Drucksensor aus Keramik
DE2826581B1 (de) Druckkolbenbetaetigtes Druckmessgeraet
DE1650214B2 (de) Verfahren zur herstellung eines dickwandigen druckgefaesses aus einheitlichem metallischem material fuer hohe innen- oder aussendruecke
DE2263901B2 (de) Meßumformer
DE2357484C2 (de) Kraftmeßring
DE1648173C3 (de) VenturidurchfluOmesser
DE2434221C3 (de) Blockaufnehmer für Metallstrangpressen
DE9105851U1 (de) Drucksensor
DE2302158A1 (de) Verfahren zur herstellung einer sekundaeremissionskanalplatte mit gebogenen kanaelen
DE3310538A1 (de) Druckaufnehmer mit einer druckempfindlichen membran
DE102020208788A1 (de) Einschmelzglasgeometrien zur empfindlichkeitsverbesserung von piezoresistiven dickschichtdrucksensoren
DE4219178C2 (de) Einspanneinheit für einen Drucksensor
DE2244906C3 (de) Biegebalken-Kraftmeßwandler

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee