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DE1289784B - Vorrichtung zum Verteilen von gleichartigen Werkstuecken nach Gueteklassen, insbesondere von Halbleiterkristallen - Google Patents

Vorrichtung zum Verteilen von gleichartigen Werkstuecken nach Gueteklassen, insbesondere von Halbleiterkristallen

Info

Publication number
DE1289784B
DE1289784B DE1964S0089571 DES0089571A DE1289784B DE 1289784 B DE1289784 B DE 1289784B DE 1964S0089571 DE1964S0089571 DE 1964S0089571 DE S0089571 A DES0089571 A DE S0089571A DE 1289784 B DE1289784 B DE 1289784B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
switch
chain
switches
voltage
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE1964S0089571
Other languages
English (en)
Inventor
Jocher Leonhard
Hoepfer Walter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE1964S0089571 priority Critical patent/DE1289784B/de
Publication of DE1289784B publication Critical patent/DE1289784B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07CPOSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34Sorting according to other particular properties
    • B07C5/344Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

  • In der Halbleitertechnik tritt häufig die Aufgabe auf, bei der Serienfertigung und Serienmessung anfallende Werkstücke, z. B. Halbleiterkristalle, nach Güteklassen zu verteilen bzw. sortieren. Beispielsweise wird bei Messungen des spezifischen Widerstandes an Halbleiterkristallen, der Trägerlebensdauer oder anderer elektrischer Eigenschaften bei der Fertigung von Halbleiterkristallen die Notwendigkeit auftreten, diese Kristalle entsprechend dem erhaltenen Meßergebnis auf eine Reihe von Güteklassen aufzuteilen, beispielsweise um die einzelnen Güteklassen für sich allein weiterverarbeiten zu können. Eine diese Sortierung vornehmende automatische Vorrichtung, die vor allem auch der Empfindlichkeit von Halbleiterkristallen gegen mechanische Beschädigungen usw. Rechnung trägt, die außerdem den Meß- und Sortierungsvorgang in kurzen, d. h. Bruchteilen von Sekunden betragenden Zeitspannen erledigt, wird deshalb für eine solche Technik besonders wertvoll sein.
  • Solche Vorrichtungen sind an sich bekannt. Ein Beispiel bildet eine Sortiervorrichtung, bei der das Meßobjekt entsprechend dem Meßergebnis in jeweils eine von mehreren vorgesehenen, kippfähigen Rutschstrecken eingeworfen wird, bei der eine Rutschstrecke zugleich mehrere zur Aufnahme der Werkstücke der verschiedenen Güteklassen vorgesehenen Sammelbehälter bedient und außerdem mehrere Abwurfstellen je nach Güteklasse vorgesehen sind. Bei einer anderen bekannten Vorrichtung ist für jede der vorgesehenen Güteklassen eine besondere Rutschstrecke vorgesehen, wobei die Mündungen dieser Rutschstrecken längs einer Kreislinie um eine horizontale Platte angeordnet sind, auf welche das zu sortierende Werkstück gelegt wird. Nach dem jeweiligen Ergebnis der Messung neigt sich die horizontale Platte gegen die Mündung der jeweils zur Aufnahme des Werkstücks bestimmten Rutschstrecke, so daß das Werkstück von der betreffenden Rutschstrecke aufgenommen werden kann. Eine andere Vorrichtung besitzt nur eine einzige und damit ortsfeste Rutschstrecke, die zu sämtlichen Sammelbehältern führt. Zu diesem Zweck bilden die Deckel der einzelnen Sammelbehälter einen Teil der Rutschstrecke derart, daß bei geöffnetem Deckel eines Sammelbehälters die Rutschstrecke unterbrochen wird und das Werkstück in den offenen Sammelbehälter fällt.
  • Schließlich war eine Vorrichtung zur Serienprüfung von Gegenständen bekannt, bei der ein Stromkreis durch zwei Steuerorgane beeinflußt wird, wobei das eine durch die zu prüfende Größe und das zweite von einer motorisch angetriebenen Steuervorrichtung verstellt wird, derart, daß mindestens ein in dem Stromkreis liegendes Schaltorgan bei korrespondierenden Arbeitsstellungen der beiden Steuerorgane den Bewegungsantrieb der Steuervorrichtung unterbricht, wobei die Stillstandslage der Steuervorrichtung den Meßwert des Gegenstandes angibt. Bei dieser Vorrichtung ist ein schräges, um eine vertikale Achse drehbares Leitrohr vorgesehen, welches das Werkstück nach erfolgter Prüfung aufnimmt und in die einzelnen Sammelbehälter leitet. Um dies zu erreichen, geht die vertikale Drehachse durch das obere offene Ende des Leitrohres, so daß sein unteres Ende über die vorgesehenen, längs eines Halbleiterkristalls angeordneten Sammelbehälter geschwenkt werden kann. Nach erfolgter Prüfung wird das Leitrohr derart geschwenkt, daß sein unteres Ende über den betreffenden Sammelbehälter gelangt, während das Werkstück unmittelbar vom Meßplatz auf eine feste Rutsche gelangt, auf welcher es unmittelbar zu dem ortsfesten Aufnahmeende des Leitrohres gelangt. Nachteilig und zeitraubend bei einer solchen Anordnung ist es, daß das Leitrohr nach Maßgabe des jeweiligen Prüfungsergebnisses erst in die erforderliche Stellung gedreht werden muß.
  • Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß eine merkliche Verkürzung des Verteilvorgangs möglich ist, wenn eine einzige Abwurfstelle und außerdem je Güteklasse je ein Sammelbehälter und je eine Rutschstrecke vorgesehen ist.
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Verteilen von gleichartigen Werkstücken, insbesondere von Halbleiterkristallen im Anschluß an eine an einem Meßplatz stattfindende Prüfung in mindestens zwei Güteklassen, bei der das Werkstück nach erfolgter Prüfung an einer einzigen Abwurfstelle abgeworfen und über eine Rutschstrecke zu einem der betreffenden Güteklasse zugeordneten ruhenden Sammelbehälter geleitet wird, und ist dadurch gekennzeichnet, daß jeder Güteklasse eine zu dem entsprechenden Sammelbehälter führende Rutschstrecke zugeordnet ist, daß diese Rutschstrecken längs eines Kreisbogens um die Abwurfstelle angeordnet sind und daß schließlich Mittel vorgesehen sind, welche die Mündung der der betreffenden Güteklasse zugeordneten Rutschstrecke aus ihrer Ruhelage unter die Abwurfstelle sowie nach erfolgtem Transport des Werkstücks in der Rutschstrecke zum Sammelbehälter wieder in die Ruhelage zurückkippen.
  • Zur weiteren Erklärung der Erfindung sowie zur Beschreibung ihrer möglichen weiteren Ausgestaltungen dienen die F i g. 1 bis 5.
  • In F i g. 1, die zur Erläuterung des Grundprinzips einer Anordnung gemäß der Erfindung dient, bedeutet M den Meßplatz und A die Abwurfstelle.
  • Nach erfolgter Messung wird das Werkstück W, z. B. ein Halbleiterkristall, von einem mit einer Saugdüse versehenen Transportorgan T ergriffen und zur Abwurfstelle A gebracht. Unterhalb der Abwurfstelle ist - normalerweise in vertikaler Lage - eine Anzahl von rohrförmigen Führungen Rl, .2... Rn entsprechend den n beabsichtigten Güteklassen vorgesehen, die zweckmäßig auf einem Kreis, dessen Mittelpunkt sich vertikal unterhalb der Abwurfstelle befindet, angeordnet sind. Fällt nun das am Meßplatz M festgestellte Prüfungsergebnis an dem betreffenden Werkstück W in die x-te Güteklasse (wobei x eine der Zahlen 1,2 ... n ist, wenn insgesamt n Güteklassen vorgesehen sind), so wird - ausgelöst durch dieses Meßergebnis - die der x-ten Güteklasse zugeordnete rohrförmige Führung Rz aus ihrer vertikalen Lage in eine Schräglage derart umgekippt, daß der Eingang dieser rohrförmigen Führung direkt unterhalb der Abwurfstelle das nunmehr von dem Transportorgan T losgelassene Werkstück W auffängt und an seiner nun als Rutschstrecke dienenden Innenwand zu dem ihr zugeordneten Sammelbehälter Sx gleiten läßt.
  • Prinzipiell besteht dabei die Möglichkeit, statt der rohrförmigen Führung Ri, R2 usw. geschlossene Sammelröhrchen für die einzelnen Güteklassen zu verwenden, zu deren Boden die Werkstücke längs der Innenwand der Sammelröhrchen rutschen und sich dort sammeln. Für empfindliche Werkstücke empfiehlt sich jedoch die Verwendung eines von den als Führungen dienenden Rutschstrecken räumlich getrennten besonderen Sammelbehälters pro Güteklasse, wie in den Beispielen nach F i g. 1 und 2 vorgesehen ist.
  • Natürlich kann die Rutschstrecke auch von einer Führungsrinne gebildet sein; bei empfindlichen Werkstücken ist jedoch die rohrförmige Rutschstrecke günstiger.
  • In F i g. 2 ist die seitliche Ansicht einer rohrförmigen Führung Rx und des zugehörigen Sammelbehälters Sx in ihrer Lage in bezug auf die Abwurfstelle A dargestellt. Im Augenblick, wenn das Transportorgan T mit dem Werkstück W an der Abwurfstelle A angelangt ist, muß die Rutschstrecke Rx, falls diese zur Aufnahme des Werkstücks auf Grund des Meßergebnisses bestimmt ist, etwa die aus der F i g. 2 ersichtliche schräge Lage in bezug auf die Abwurfstelle A und den Sammelbehälter Sx einnehmen. Dann kann das losgelassene Werkstück von der rohrförmigen Führung Rx aufgefangen werden und, die Innenwand der Führung als Rutschstrecke benutzend, in den Sammelbehälter Sx gelangen. Nach Abschluß dieses Vorganges kehrt die rohrförmige Führung wieder aus der Schräglage in die (gestrichelt dargestellte) Ruhelage zurück. Um den Wechsel der beiden Lagen zu ermöglichen, ist die rohrförmige Rutschstrecke Rx in einer Vertikalebene (und nur in dieser) um den Bolzen Dx drehbar, wobei die Ruhelage durch Gewichte oder andere mechanische Maßnahmen, insbesondere durch Federkraft (wie in F i g. 2) nach dem Aufhören der kippenden, insbesondere durch einen Elektromagnet Mx erzeugten Kraft, wiederhergestellt wird.
  • Die rohrförmige Führung Rx fängt in ihrer Arbeitslage das Werkstück W, z. B. den gemessenen Halbleiterkristall, auf, sobald das zu sortierende Werkstück W in die Güteklasse x fällt, worauf das Werkstück der Innenwand der Führung Rx entlangrutschend schließlich in den unter der Rutschstrecke Rx angeordneten Sammelbehälter Sx gelangt. Der Abstand zwischen Rutschstrecke Rx und Abwurfstelle A bzw. zwischen Rutschstrecke Rx und Sammelbehälter Sx sowie die Länge der Rutschstrecke Rx werden so bemessen, daß das Werkstück W nach dem Verlassen der Abwurfstelle A keinen Schaden erleidet.
  • Je empfindlicher die Werkstücke sind, desto kleiner sollen die besagten Abstände und um so geringer die Neigung der Rutschstrecken Rx gegen die Horizontale sein. Dabei ist es zweckmäßig, daß die Rutschstrecken Rx in der Arbeitslage so lange bleiben, bis das Werkstück W in den Sammelbehälter Sx gelangt ist.
  • Wenn man hingegen die Behälter Sx so groß macht, daß sich das untere Ende der jeweiligen Rutschstrecke Rx sowohl in der Arbeitslage als auch in der Ruhelage, d. h. also ständig, über dem zugehörigen Sammelbehälter Sx befindet (so daß also das Werkstück W jederzeit aus der Rutschstrecke Rx in den zugehörigen Sammelbehälter Sx fallen kann), so kann diese Einschränkung fortfallen, wodurch eine weitere Kürzung der pro Sortierungsvorgang benötigten Zeit erreicht wird.
  • Die F i g. 3, 4 und 5 stellen den elektrischen Teil einer bevorzugten Ausführungsform einer Anordnung gemäß der Erfindung dar, die von einer durch das Meßergebnis bestimmten Spannung Vm gesteuert die dem Meßergebnis entsprechende Rutsche Rx zum Ansprechen bringt. Solange es sich um die Beurteilung nach einer einzigen Eigenschaft handelt, die mit einem einzigen Meßvorgang festgestellt wird, so wird dieses Meßergebnis (das natürlich zahlengemäß nicht fest- gestellt zu werden braucht, obwohl dies natürlich bei Bedarf, z. B. durch Vorsehen eines Meßgerätes mit Zeiger und Skala, ohne weiteres möglich ist), falls es nicht bereits in Form einer elektrischen Spannung Vm auftritt, sich durch Anwendung bekannter Mittel, wie z. B. photoelektrischer Einrichtungen, piezoelektrischer Elemente u. dgl., ohne Schwierigkeiten in Form einer elektrischen Gleichspannung Vm ausdrücken lassen, die dem Meßergebnis eindeutig zugeordnet ist und die außerdem sich mit der Güter des Meßergebnisses monoton, insbesondere im selben Sinne wie diese Güte verändert.
  • Soll die Sortierung auf Grund des Ergebnisses mehrerer voneinander unabhängig zu erzeugender Teilmeßergebnisse erfolgen, die sogar mit unterschiedlichem Gewicht bewertet werden können, so muß dementsprechend jede der Teilmessungen zur Erzeugung einer ihr entsprechenden Spannung herangezogen werden, die, gegebenenfalls nach Speicherung, zur Erzeugung einer der Güte g des Werkstückes entsprechenden Spannung Vm, z. B. durch Bildung der gemittelten Spannung, herangezogen werden. Im Beispielsfalle handelt es sich um die Sortierung gleichdimensionierter Halbleiterscheiben. Die hierzu üblich verwendete Vierschneidenmethode liefert die Spannungen z. B. Iängs zweier diametral zueinander liegenden Durchmesser der (runden) Halbleiterscheiben, die zu der gemittelten Meßspannung Vm zusammengesetzt werden.
  • Die den Sortierungsvorgang steuernde Spannung Vm steht im Beispielsfalle sofort zur Verfügung und liegt dann am Eingang des elektrischen Teiles des Sortierungsgerätes. Dessen prinzipieller Aufbau ist in F i g. 3 dargestellt, während die dieses Gerät schaltende Fortschaltkette in F i g. 4 und in F i g. 5 die Steuerung der die Rutschstrecken R betätigenden Elektromagnete M1, M2 ... Mn dargestellt ist.
  • Die in der F i g. 3 dargestellte Vorrichtung arbeitet nach folgendem Prinzip.
  • 1. In der Apparatur werden Vergleichsspannungen Ul, U2 ... Un hergestellt, die monoton gestaffelt sind und der Bedingung Ul < U2 < U3 < . ( < Un genügen. Die Anzahl n dieser Spannungen Ux entspricht der Anzahl n der Güteklassen. Die Spannung Um ist dabei der ersten, die Spannung U2 der zweiten Güteklasse zugeordnet usw., bis schließlich der Spannung Un die n-te Güteklasse entspricht.
  • 2. Die Sortierung wird nach dem Gesichtspunkt vorgenommen, daß zu einer Spannung Vm die Ul die erste Güteklasse zuzuordnen ist, während im Falle des Auftretens einer in das Intervall Ux - Ux-1 fallenden Spannung Vm die x-te Güteklasse für das betreffende Werkstück zuständig ist. Für den Fall der Gleichheit von Vorn und Ux wird das Werkstück noch in die x-te Güteklasse eingestuft.
  • 3. Deshalb werden sukzessive die Spannungen Ul, U2 ... in dieser Reihenfolge mit der festgehaltenen Spannung Vm verglichen und die Spannungsdifferenz zum Schalten je eines Speichers Spx verwendet, solange die Differenz Vin - Ux noch positiv ist.
  • 4. Nach Abschluß dieses Vergleichens wird entsprechend der Nummer x des zuletzt getätigten Speichers Spx die x-te Rutschstrecke Rx in Aktion gebracht.
  • Um diese Funktionen zu erfüllen, wird bei einer Anordnung nach F i g. 3 die dem Meßergebnis entsprechende, die Anordnung steuernde Gleichspannung Vm über den Eingang 1 der Anordnung an einen Differenzverstärker 2, der im wesentlichen aus einer Brückenschaltung mit Verstärker besteht, gelegt. Der andere Eingang des Differenzverstärkers 2 wird der Reihe nach mit den Vergleichsspannungen U1, U2... Un (mit der niedrigsten dieser Spannungen beginnend) beaufschlagt und die verstärkten Differenzspannungen (Diagonalspannungen der Brückenschaltung), die sich durch die Überlagerung der Spannungen U1, U2...Un mit der aufrechterhaltenen Steuerspannung Vm ergeben, der Reihe nach an einen bistabilen Schalter 5 gelegt.
  • Zur Erzeugung der Vergleichs spannungen U1, U2 ... Un ist eine Gleichspannungsquelle 3, deren Spannung mindestens der größten der zu erzeugenden Spannungen Ux, also der Spannung Un gleich ist, vorgesehen. Die Spannungen U1, U.... Un werden dann über eine Spannungsteilerschaltung 4 erzeugt.
  • Die Abgriffe des Spannungsteilers 4 sind über Schalter H1, H2, h3... Hn an den zweiten Eingang des Differenzverstärkers 2 anlegbar.
  • Diese Schalter H1...Hn werden von der in F i g. 4 dargestellten Fortschaltkette betätigt, die dafür sorgt, daß der Reihe nach die Schalter H1, H2... Hn geschlossen und vor dem Schließen des folgenden Schalters wieder geöffnet werden. Deshalb werden der Reihe nach die Spannungen Ul, U.... Un an den Differenzverstärker 2 gelegt und erzeugen zusammen mit der Steuerspannung Vm eine Reihe von Spannungsimpulsen Sl, 1, #2...#n # der Größe d(Vrn - U1), #2 = d(V,n d xln d(Vm -Un) (d = Proportionalitätsfaktor).
  • Angenommen, die Spannung Vm liegt zwischen den Spannungen Ug-1 und Ug, so daß das diese Spannung Vm erzeugende Werkstück W der g-ten Güteklasse einzureihen ist. Dann werden die Spannungsimpulse dl, A2 bis Jg positiv, die übrigen #g+1 ... An dagegen negativ. Dieses Kriterium dient zur Steuerung der weiteren Anlage, insbesondere durch den Spannungsimpuls #g. Die Impulse #1, #2...#n werden dem bereits erwähnten bistabilen Schalter 5 zugeführt, der zweckmäßig aus einem Transistor- und/oder Röhrenmultivibrator besteht, der seinerseits die sogenannten Auswertspeicher Spl, Sp2... Spn steuert, von denenje einer je einer der n Güteklassen zugeordnet ist. Der bistabile Schalter 5 verlangt zu seinem Ansprechen positive Impulse, so daß nur solche Impulse #x an die Speicherelemente Spx gelangen, die positiv gepolt sind. # Die Anzahl der Auswertspeicher entspricht der Anzahl n der vorgesehenen Güteklassen. Sie stellen im wesentlichen Schalter, insbesondere Relais oder elektronische Schalter, dar, die selbsthaltend sind, also mit anderen Worten nach dem Schalten im angezogenen Zustand verbleiben, solange nicht besondere »Löschmaßnahmen« zur Anwendung kommen. Über die bereits erwähnte Fortschaltkette werden nun die einzelnen Speicherelemente Sp1, Sp2... Spn in dieser Reihenfolge an den bistabilen Schalter 5 gelegt, so daß jeweils nur eines dieser Speicherelemente an dem bistabilen Schalter 5 liegt. Dies geschieht über die von der Fortschaltkette unmittelbar gesteuerten Schalter r1, r... rn, von denen je einer einem der Speicherelemente Sp1,Sp2...Spn in der natürlichen Reihenfolge der Indizes zugeordnet ist.
  • Wenn der Schalter rx durch die Fortschaltkette geschlossen ist, dann ist auch das zugehörige Speicherelement Sps an den bistabilen Schalter 5 gelegt, während die anderen Speicherelemente nicht an dem bistabilen Schalter 5 liegen. Da zu gleicher Zeit der Schalter Hx schließt und somit die Spannung Ux an den Differenzverstärker 2 gelegt ist, tritt am bistabilen Schalter 5 im richtigen Augenblick der Spannungsimpuls xlx auf. Der x-te Schalter Hz wird synchron mit dem x-ten Schalter rx von der Fortschaltkette betätigt.
  • Ist nun der Spannungsimpuls dz positiv, also für ihn der bistabile Schalter 5 offen, so wird das durch die Wirkung der Fortschaltkette eingeschaltete Speicherelement Sps (und nur dieses) aktiviert, indem es »anzieht« und »im angezogenen Zustand« verbleibt (Schalter Px geschlossen). Erst durch Betätigung der Löschung wird dieser Zustand des Speicherelementes Spx wieder rückgängig gemacht, so daß scih die Schalter Px wieder lösen.
  • Dementsprechend sind nur dieVergleichsspannungen U1, U2... Ug, weil sie zu positiven Spannungsimpulsen #x führen, in der Lage, je eines der Speicherelemente Sp1 bis Spg zu erregen. Die Vergleichsspannungen Ug+1, Ug+2... Un führen jedoch zu negativen #x, so daß sie durch den bistabilen Schalter 5 gesperrt werden. Die Speicher Spg+1,Spg+2...Spn werden, also nicht erregt.
  • Nach dem Abschluß des Einstellens der Speicherelemente Sp1,Sp2... Spg tritt erneut die Fortschaltkette in Aktion, indem sie zunächst dafür sorgt, daß gerade der Elektromagnet Mg, der der am Werkstück W festgestellten g-ten Güteklasse entspricht, in Tätigkeit tritt und die zugehörige Rutschstrecke Rg betätigt. Die Steuerung hierzu wird von dem zuletzt angesprochenen Speicher Spg bestimmt.
  • Die Fortschaltkette, für die in F i g. 4 eine Ausführungsform dargestellt ist, besteht aus einer Kette von schaltenden Kreisen K1, K2...Kn, deren Anzahl lt der Zahl der vorgesehenen Güteklassen entspricht. Jeder dieser Schaltkreise Kx ist für eine kurze Zeit aktiviert und sorgt dann dafür, daß bei seinem Ausschalten der folgende Schaltkreis Kz+l der Fortschaltkette eingeschaltet wird, so daß der Zustand des »Eingeschaltetseins« sukzessive die Schaltkette entlangläuft.
  • Die Anordnung wird von einer Gleichspannungsquelle 10 gespeist, die über einen Schalter 11 an die Fortschaltkette gelegt wird. Dies geschieht im einfachsten Falle automatisch, z. B. durch Betätigung der das Transportorgan T1 bewegende Mittel (Motor bzw. Getriebe). Die Betätigung des Schalters 11 bedingt zunächst das Ansprechen des Eingangskreises E und des Löschkreises L, wobei die vorgesehenen Kondensatoren C12 und C13 eine kurze Verzögerung des Ansprechens bewirken.
  • Der Eingangskreis E enthält außer dem Kondensator C12 noch ein Relais BE, das kurz nach dem Einschalten des Schalters 11 anzieht und hierdurch einen Schalter i betätigt, der auf diese Weise die Hintereinanderschaltung eines Kondensators CL und eines Relais BL im Löschkreis L aktiviert. Hierdurch wird der in Fig.3 vorgesehene Schalter 6 geöffnet, so daß sämtliche Speicherelemente Sp1,Sp2... Spm nicht mehr an Spannung liegen und deshalb in den aufnahmebereiten Zustand zurückkehren. Es ist auch möglich, statt dessen durch die Tätigkeit des Relais BL eine Vorrichtung einzuschalten, die über die Speicher Spl bis Spn einen die entgegengesetzte Polarität der Spannungsquelle 7 aufweisenden Löschimpuls gibt.
  • Nach Aufladung des Kondensators CL wird der Relaisstrom durch das Relais BL unterbrochen.
  • Das Relais BL hat noch eine weitere Funktion, da es gleichzeitig den Kontakt t1 im ersten Glied Kl der Fortschaltkette umlegt. Dies bewirkt, daß nunmehr der Kondensator C1 an Betriebsspannung liegt und sich auflädt. Da jedoch das Relais EL nur kurze Zeit anspricht, wird der Schalter t1 wieder in die gezeichnete Lage umgelegt. In dieser Stellung entlädt sich der Kondensator Cm über das Relais Bl, wodurch der Schalter je im zweiten Glied der Fortschaltkette umgelegt wird. Hierdurch wird der Kondensator C2 aufgeladen. Da jedoch die Entladungszeit des Kondensators Cl sehr kurz ist, bleibt der Schalter t2 ebenfalls nur kurze Zeit angezogen und kehrt in die in der F i g. 4 dargestellte Lage zurück. Der Entladungsstrom des Kondensators Cm über das Relais B2 betätigt den Schalter t3, was zur Aufladung des Kondensators C3 führt, usw.
  • Der letzte auf diese Weise betätigte Kreis Kn enthält jedoch keinen Kondensator Cn. Hingegen betätigt das zugehörige Relais Bn den Schalter L1 sowie den Schalter L2 der Anordnung von Fig. 5.
  • Die Relais BL, B1... Bn besitzen - wie angedeutet - mehrere Funktionen. Wie bereits bemerkt, betätigt das Relais BL den Schalter 6 zum Löschen der Speicherelemente Sp1,Sp2... Spn. Es betätigt außerdem den in Serie mit dem Schalter L1 liegenden Schalter b2, so daß das Relais Bn stromlos wird und der Schalter L1 - sowie der Schalter L2 in F i g. 5 -sich wieder öffnen. Dadurch wird der Auswertungskreis, der durch das Relais Bn und den Schalter L gegeben ist, sowie die Anordnung nach F i g. 5 wieder in Aufnahmebereitschaft gesetzt. Die einzelnen Relais Bs der Fortschaltkette betätigen - wie angedeutet - nicht nur den Schalter tx+l des folgenden Gliedes Ki+l der Fortschaltkette, sondern synchron hierzu auch den dem betreffenden Glied Kx der Fortschaltkette zugeordneten Schalter Hx und rx der Anordnung nach F i g. 3. Auf diese Weise wird beim Schalten des x-ten Gliedes Kx der Fortschaltkette sowohl die Vergleichsspannung Ux an den Differenzverstärker 2 als auch der Speicher Spx an den bistabilen Schalter 5 gelegt.
  • Die Steuerung der die Rutschstrecken kippenden Elektromagnete ........ Mn geschieht zweckmäßig nach der in Fig. 5 dargestellten Anordnung. Bei ihr sind die Elektromagnete Mx zueinander parallel angeordnet und durch entsprechende Stellungen der vorgesehenen Schalter L2,G1,G2...Gn einzeln an die zum Speisen dieses Teiles der Anordnung gemäß der Erfindung dienende Gleichspannungsquelle Q anlegbar, welche dann in dem betreffenden Elektromagnet Mg (und nur in diesem) den zum Kippen der Rutschstrecke Rg erforderlichen Strom liefert.
  • Es ist an dieser Stelle erforderlich, noch einmal zu den Speicherelementen Sps der Anordnung nach F i g. 3 zurückzukehren. Die Anordnung dieser Spei- cherelemente Spz in bezug auf die Kette der sie an den bistabilen Schalter 5 durch Umschaltung legen den Schalter rl, r2,r3... rn ist so getroffen, daß der das x-te Speicherelement Spx an den bistabilen Schalter 5 legende Schalter rx nach Zurückkehren in seine Ruhelage einen Teil des beim Anschalten aller folgenden Speicherelemente Spx+1, Sps + 2... Spn beteiligten Stromkreises bildet. Dies ist, wie man aus der F i g. 3 erkennt, deswegen möglich, weil die Schalter rl, r2... rn eine Kette bilden, in der sie in der natürlichen Reihenfolge ihrer Indizes angeordnet sind, so daß beim Anschließen des Speichers Spx die dem bistabilen Schalter 5 und der Stromquelle 7 näheren Schalter rl, r2... rX+l sich in Ruhelage, der Schalter rx in angezogenem Zustand und die restlichen Schalter rx+1...rn rn sich hingegen wieder in der Ruhelage befinden müssen. Dies läßt sich auf einfache Weise erreichen, indem man den Schalter rx mit dem sich durch das Ansprechen des Speichers Spx schließenden Schalter Px derart koppelt, daß rx sich in der Ruhelage befindet, solange Pz angezogen ist.
  • In ähnlicher Weise ist auch die Anordnung nach F i g. 5 aufgebaut. Die Elektromagnete M1,M2... Mn werden durch eine Schalterkette G1, G2... Gn,L2 an die Gleichspannungsquelle Q angelegt. Zum Unterschied zu den Schaltern r,, r2... rn erfolgt ihre Betätigung nicht durch die Schaltglieder Kx der Fortschaltkette, sondern durch die Schalter Px der Speicherelemente Spx. Außerdem beginnt die sukzessive Betätigung der Schalter rx bei dem am nächsten der Stromquelle 7 und dem bistabilen Schalter 5 angeordneten Schalter r1 und schreitet nach auswärts fort. Im Falle der Anordnung nach F i g. 5 hingegen ist der Fortschreitsinn gerade umgekehrt, indem der der Stromquelle Q entfernteste Schalter G1 zuerst betätigt wird und der Schaltvorgang von außen nach innen fortschreitet. Aber auch zwischen den Schaltern Gx der Anordnung gemäß F i g. 5 besteht eine Kopplung ähnlich wie bei den Schaltern rx in Fig.3 derart, daß das Ansprechen des x-ten dieser Schalter G dafür sorgt, daß der vorher angesprochene Schalter Gx-1 von der Stromquelle Q abgeschaltet wird. Die Speisung des x-ten Elektromagnetes Mx erfolgt daher über einen Strompfad, der - wie man aus der F i g. 5 erkennt - über den Schalter Gx (in Ansprechstellung) und die Schalter Gx+1, ....... Gn (in Ruhestellung) geschlossen wird.
  • Deshalb werden zwar, wenn g die Nummer der Güteklasse ist, in die das Werkstück W auf Grund des in der Anordnung an ihm festgestellten Meßergebnisses gehört, die Schalter G1, G2...Gg umschalten, da die diesen Schaltern zugeordneten Speicherelemente Sp1,Sp2... Spn ansprechen und die zugehörigen Schalter Pl, P2... Py anziehen. Da aber jeder angesprochene Schalter Gx den vorherigen Schalter Gx-i wieder von der Stromquelle Q abschaltet und außerdem die Schalter P9+l, P9+2... Pn der Speicherelemente Spg+1, Spg+2... Spn nicht angesprochen haben, wird letztlich nur der Schalter Gg den zugehörigen Elektromagnet Mg mit der Stromquelle Q verbinden. Die Rutschstrecken R bleiben also alle mit Ausnahme der Rutschstrecke R9 in Ruhe, sobald nach Durchlaufen des Schaltzustandes durch die Fortschaltkette der Auswertschalter L1 und damit - in der Anordnung nach F i g. 5 - der Schalter L2 geschlossen wird.
  • Die beschriebene Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung läßt mancherlei Abwandlungen zu, z. B. den Ersatz der Relais durch andere bistabile Schalter, insbesondere elektronische Schalter, hauptsächlich Transistormultivibratoren, eine andersartige mechanische Ausrüstung sowie auch Abwandlungen der elektrischen Ausführungsform, ohne daß hierdurch der Erfindungsgedanke eine wesentliche Veränderung erfährt.
  • Der Sortierungsvorgang, der mit einer Anordnung gemäß der Erfindung stattfindet (wie er soeben im Detail beschrieben wurde), besteht aus zwei Hauptvorgängen. Der erste Hauptvorgang umfaßt die mechanischen Teile der beschriebenen Vorgänge.
  • Darunter fallen die Bewegung des Transportorgans, die Steuerung der Saug- und Druckluftpumpe für die Saugdüse des Transportorgans, das Anlegen der Meßelektroden sowie das Anschalten der Fortschaltkette durch Betätigung des Schalters 11. Der andere Hauptvorgang bezieht sich auf die elektrische Steuerung durch die angesprochene Schaltkette - gemäß F i g. 4 - und die Steuerspannung Vm.
  • Die Erfahrung zeigt, daß auch bei einer größeren Anzahl n vorgesehener Güteklassen kurze Taktzeiten erreicht werden können. Bei Verwendung von Relais benötigt man pro Schritt etwa 30 bis 50 mSek., arbeitet man elektronisch, so benötigt man pro Schritt etwa 5 bis 20 mSek. oder weniger, so daß z. B. bei Verwendung von Relais und zehn Güteklassen eine Sortierzeit von 0,5 Sekunden insgesamt pro Werkstück ohne weiteres erreicht werden kann.
  • Für den mechanischen Teil der Anlage lassen sich Transportzeiten (je eine Hin- und Herbewegung des Transportorgans T einschließlich des Umschaltvorganges in der Saugdüse) in der gleichen Zeitspanne durchführen, so daß bei einer (noch nicht einmal mit elektronischen Mitteln ausgerüsteten) Anordnung gemäß der Erfindung Sortierzeiten von einer halben Sekunde ohne Schwierigkeiten erreichbar sind. Kürzere Sortierzeiten lassen sich durch Anwendung elektronischer Mittel erreichen. Die kurzen Taktzeiten pro Sortiervorgang sind im wesentlichen der mechanischen Ausgestaltung der Anordnung gemäß der Erfindung, insbesondere der Verwendung einer Kippbewegung der Rutschstrecken R an Stelle einer Translationsbewegung sowie der Eigentümlichkeit, das Werkstück abzuwerfen, zu verdanken.

Claims (22)

  1. Patentansprüche : 1. Vorrichtung zum Verteilen von gleichartigen Werkstücken; insbesondere für Halbleiterkristalle im Anschluß an eine an einem Meßplatz stattfindende Prüfung in mindestens zwei Güteklassen, bei der das Werkstück nach erfolgter Prüfung an einer einzigen Abwurfstelle abgeworfen und über eine Rutschstrecke zu einem der betreffenden Güteklasse zugeordneten ruhenden Sammelbehälter geleitetwird, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Güteklasse eine zu dem entsprechenden Sammelbehälter (S) führende Rutschstrecke (R) zugeordnet ist, daß diese Rutschstrecken ..... . Rn) längs eines Kreisbogens um die Abwurfstelle (A) angeordnet sind, und daß schließlich Mittel (M, :) vorgesehen sind, welche die Mündung der der betreffenden Güteklasse zugeordneten Rutschstrecke (Rx) aus ihrer Ruhelage unter die Abwurfstelle sowie nach erfolgtem Transport des Werk- stücks (W) in der Rutschstrecke zum Sammelbehälter wieder in die Ruhelage zurückkippen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sammelbehälter derart bemessen sind, daß sich das untere Ende der zugehörigen Rutschstrecken ständig über dem zugehörigen Sammelbehälter befindet.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Rutschstrecken (Rx) durch je einen ihr zugeordneten, durch das Meßergebnis gesteuerten Elektromagnet (Ms) aus ihrer Ruhelage in die gekippte Arbeitslage umschaltbar ist.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkehr der Rutschstrecken (Rs) in die Ruhelage nach dem Aufhören des den Elektromagnet (mix) betätigenden Stromes durch mechanische Mittel erfolgt.
  5. 5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektromagnete (M.... Mn) durch eine Schalterkette (G,...Gn, L2) eingeschaltet werden, wobei die Betätigung der Schalter auf Grund eines Vergleichs einer dem Meßergebnis eindeutig zugeordneten Meßspannung (Vrn) mit den Güteklassen zugeordneten monoton gestaffelten Vergleichsspannungen (Ul, U2... Un) erfolgt.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch einen Differenzverstärker (2), in welchem die an den Eingang (1) gelegte Meßspannung (V,n) sukzessive mit den Vergleichsspannungen (U,, U.... Un) in der natürlichen Reihenfolge der Indizes verglichen und den hierbei auftretenden Differenzen Vm - Ux proportionale Spannungsimpulse erzeugt werden.
  7. 7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Gleichspannungsquelle (3) sowie eine Spannungsteilerschaltung (4) vorgesehen ist, deren Abgriffe derart gewählt sind, daß sie die Vergleichsspannungen (U,, .... . Un) liefern, und die über Schalter ......... Hn) an den zweiten Eingang des Differenzverstärkers (2) anlegbar sind.
  8. 8. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 und 6, gekennzeichnet durch einen bistabilen Schalter (5), z. B. ein Transistor- und/oder Röhrenmultivibrator, dem einerseits die von dem Differenzverstärker (2) erzeugten Spannungsimpulse xlx zugeführt werden und der seinerseits eine der Anzahl n der Güteklassen entsprechende Anzahl von Auswertspeichern (Sp1,Sp2... Spn) steuert.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der bistabile Schalter (5) derart ausgebildet ist, daß er nur positive Spannungsimpulses, an dieAuswertspeicher (sps) weiterleitet.
  10. 10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertspeicher (Sp) aus je einem selbsthaltenden bistabilen Schalter, insbesondere einem selbsthaltenden Relais oder elektrischen Schalter, bestehen, die beim Anziehen je einen zugeordneten Schalter (Px) schließen und daß die Auswertspeicher (Spz) sowie die zugehörigen Schalter (Pz) eine besondere Löschmaßnahme für die Rückkehr in den Ausgangszustand erforderlich machen.
  11. 11. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertspeicher (Sp) durch je einen Schalter (rz), der ein Glied einer Kette von n hintereinanderliegenden Schaltern (rl, r2 . . . rn) ist, an den bistabilen Schalter (5) anschaltbar sind.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruchll, dadurch gekennzeichnet, daß die Schalter (r1,.2... rn) so ausgebildet sind, daß beim Ansprechen des x-ten dieser Schalter (rx) der vorangegangene Schalter (ra-,) der Kette selbsttätig in seine Ruhelage zurückgeht, und die Ausbildung der Schalter sowie deren Anordnung so getroffen ist, daß über die in Ruhestellung sich befindlichen Schalter (rl, r2... rX-l) und den sich im angesprochenen Zustand befindenden Schalter (rx) der x-te Auswertspeicher (und nur dieser) an dem bistabilen Schalter (5) und der mit diesem in Serie geschalteten Betriebsspannungsquelle (7) liegt.
  13. 13. Vorrichtung nach den vorhergehenden An-Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die auf Grund der positiven Impulse (Z1 x) an den jeweiligen Auswertspeicher (Spx) vom bistabilen Schalter (5) ausgehende Erregung den Auswertspeicher (Spx) und den selbsthaltenden Schalter (Px) zum Ansprechen bringt.
  14. 14. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigungderdie Vergleichsspannungen(U1, U2...Un) an den Differenzverstärker (2) anschaltenden sChalter (Hl, Hl. .. Hn) sowie der die Auswertspeicher (Sp1,Sp1... Spn) an den bistabilen Schalter (5) legenden Schalter (r1, r2...rn) die Schaltkreise (Kl, K2.... Kn) einer Fortschaltkette vorgesehen sind.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruchl4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fortschaltkette derart ausgebildet ist, daß ihre einzelnen Schaltkreise (K1,K2... Kn), deren Anzahl der Zahl (n) der vorgesehenen Güteklassen entspricht, nur für eine kurze Zeit aktiviert sind und in diesem Zustand selbsttätig dafür sorgen, daß beim Abschalten eines Schaltkreises (Kx) der folgende Schaltkreis (Kz+l) der Fortschaltkette eingeschaltet wird.
  16. 16. Vorrichtung nach den Ansprüchen 14 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die von einer Gleichspannung (10) betriebene, durch mechanische Mittel in Abhängigkeit von der Bewegung eines Werkstücks (W) vom Meßplatz (M) zur Abwurfstelle (A) aktivierte Fortschaltkette mit einem Eingangskreis (E) und einem die Rückkehr der Auswertspeicher (Spx) sowie der die Elektromagnete (Mx) in den Ausgangszustand bewirkenden Löschkreis (L) versehen ist.
  17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangskreis (E) aus der Parallelschaltung eines Kondensators (C12) und eines monostabilen Schalters (BE) - insbesondere eines Relais - der den den Löschkreis (L) einschaltenden Schalter (i) betätigt, besteht.
  18. 18. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß der Löschkreis (L) aus der Hintereinanderschaltung eines Kondensators (CL) und eines monostabilen Schalters (BL) - insbesondere Relais - besteht, der nur während des Aufladens des Kondensators (CL) anzieht und dabei den an dem ersten Schaltkreis der eigentlichen Fortschaltkette an Betriebsspannung legenden Schalter (tal) betätigt sowie die Auswertspeicher (Spx) und die Elektromagnete (Mx) von ihrer jeweiligen Betriebsspannung abschaltet und damit die Rückkehr der Anordnung in den aufnahmebereiten Zustand bewirkt.
  19. 19. Vorrichtung nach den Ansprüchen 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufbau der Schaltkreise (K1, K2... Kn-1) der Fortschaltkette jeweils aus einem monostabilen Schalter (Bx), einem parallel hierzu angeordneten Kondensator (Cx) und einem in der einen Stellung den Kondensator (Cx) an die Spannung der Betriebsspannungsquelle (10), in der anderen Stellung eine Entladung des Kondensators (Cx) über den monostabilen Schalter (btx) bewirkenden Schalter (tx) besteht.
  20. 20. Vorrichtung nach den Ansprüchen 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet; daß der letzte (n-te) der Schaltkreise der Fortschaltkette aus der Serienschaltung des durch den monostabilen Schalter (B~m) des vorgeschalteten Schaltkreises (Kn-l) zu betätigenden Schalter (tn) und einem monostabilen Schalter (Bn) - insbesondere einem Relais -, besteht und daß das Relais (Bn) seinerseits einen Schalter (Ll) und einen die Elektromagnete (Mx) aktivierenden Stromkreis anschaltenden Schalter (L2) steuert.
  21. 21. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß mit je einem der selbsthaltenden Schalter (Px) der Auswertspeicher (Spx) je ein weiterer Schalter (Gs) mechanisch gekoppelt ist, die in ähnlicher Weise wie die Schalter (rx) der Fortschaltkette eine Schalterkette bilden.
  22. 22. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die den einzelnen Rutschstrecken (Rz) zugeordneten Elektromagnete (Mx) an einen die Schalter (G1... Gn) der Auswertespeicher beinhaltenden Stromkreis derart zueinander parallel an eine Betriebsstromquelle (Q) angeschlossen sind, daß beim Schließen des zweiten und der folgenden Schalter (G2, G3... Gn) jeweils der Stromkreis des vorhergehenden Schalters (Gl,Gl... Gn-i) abgeschaltet wird, so daß bei Betätigung sämtlicher Schalter (Gl, G2... Gn) und durchgeschalteter Fortschaltkette nur der letzte der Elektromagnete (Mn) an der Stromquelle (Q) liegt.
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