DE1286656B - Vorrichtung zum Bewegen von im Vakuumraum eines Korpuskularstrahlgeraetes, insbesondere Elektronenmikroskops, befindlichen Teilen - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Be- ordnet werden können. Diese Vorteile werden ohne wegen von im Vakuumraum eines Korpuskular- Beeinträchtigung der günstigen Eigenschaften einer Strahlgerätes befindlichen Teilen quer zum Korpus- mit zwei zueinander senkrecht wirkenden Antrieben kularstrahl mit einer Verstellstange, die mit ihrem ausgestatteten Vorrichtung zum Bewegen von Blenvakuumdicht in den Vakuumraum eingeführten einen 5 den od. dgl. erzielt.

Ende die Teile trägt und deren außerhalb des Va- Aus der Zeitschrift für wissenschaftliche Mikro-

kuumraumes liegendes anderes Ende über Gewinde skopie und mikroskopische Technik, Bd. 60 (1952), mit einem ersten Antrieb zur Verschiebung der Ver- Heft 6/7, S. 329 bis 358, ist eine Objektkammer mit stellstange in Richtung ihrer Achse in Verbindung einem Objekttisch sowie einer zugeordneten Einsteht, sowie mit einem zweiten Antrieb zur Bewe- io richtung bekannt, die eine Querverschiebung, Axialgung der Teile in einer zum Korpuskularstrahl und bewegung und Stereokippung des Objekts durchzuzur Achse der Verstellstange senkrechten Richtung. führen gestattet. Hierzu ist ein als Balken bezeich-Insbesondere ist dabei an einen Blendentrieb zur netes Teil sich gegen eine Kugel im Vakuumraum Justierung von Blenden quer zum Elektronenstrahl des Mikroskops abstützend und durch die Wand in einem Elektronenmikroskop gedacht, jedoch ist 15 des Vakuumraumes hindurchgreifend gelagert und die Erfindung mit Vorteil auch bei anderen Kor- außerhalb des Vakuumraumes des Elektronenmikropuskularstrahlgeräten, wie Beugungsgeräten, Geräten skops eine verhältnismäßig kompliziert aufgebaute, zur Mikroanalyse und Ionenmikroskopen, die eben- mit mehreren Federn in verschiedenen Richtungen falls an einer Vakuumpumpe betrieben werden, an- schwenkbar gelagerte Hebelanordnung vorgesehen, wendbar. Sie kann ferner außer zur Justierung von ao Demgegenüber besitzt die Vorrichtung nach der ErBlenden dazu dienen, irgendwelche im allgemeinen findung im Prinzip nur die für die Umsetzung der leichten Teile quer zum Korpuskularstrahl zu ver- Drehbewegung des ersten Antriebs in eine Axialschieben, beispielsweise Objekte, einzelne Polschuhe verschiebung der Verstellstange erforderlichen Miteiner elektromagnetischen Polschuhlinse od. dgl. tel sowie einen zweiten, einen Stößel aufweisenden Es ist bereits aus der deutschen Patentschrift 25 Antrieb, wobei eine Anpassung der ohnehin für den 1018 563 eine Vorrichtung der genannten Gattung ersten Antrieb erforderlichen Verstellstange an die bekannt, die eine Verstellstange enthält, die mit Konstruktion des zweiten Antriebs durch Vorsehen ihrem vakuumdicht in den Vakuumraum eines Elek- eines elastisch quer verformbaren Bereichs vorgetronenmikroskops eingeführten einen Ende Blenden nommen ist.

trägt und deren außerhalb des Vakuumraumes liegen- 30 Der zweite Antrieb kann unmittelbar auf die Verdes anderes Ende über Gewinde mit einem ersten stellstange einwirken; bei der bevorzugten Ausfüh-Antrieb zur Verschiebung der Verstellstange in Rieh- rungsform der Erfindung liegt jedoch eine mittelbare tung ihrer Achse in Verbindung steht; ferner enthält Einwirkung über das hülsenartige Teil vor, indem der diese Vorrichtung einen zweiten Antrieb zur Bewe- Stößel des zweiten Antriebs sich auf das hülsenartige gung der Blenden in einer zum Elektronenstrahl und 35 Teil ein Drehmoment auf dieses um die Drehachse zur Achse der Verstellstange senkrechten Richtung. ausübend auflegt. Dieses hülsenartige Teil kann in Bei dieser bekannten Anordnung mit zwei an ver- Weiterbildung der Erfindung auch an einem dem schiedenen Stellen durch die Wand des Vakuum- Stößel abgekehrten Bereich seines Umfanges mit raumes des Elektronenmikroskops hindurchgeführten einer Rückstellfeder in Verbindung stehen. Verstellvorrichtungen müssen also zwei vakuum- 40 Um die Bewegung des Stößels des zweiten Andichte Durchführungen verwendet werden. Ferner ist triebs klein halten zu können und eine weitgehende es häufig aus Gründen der einfachen Bedienung eines Freiheit in der Wahl des Übersetzungsverhältnisses Korpuskularstrahlgerätes erwünscht, zur Bewegung für die Umsetzung der Stößelbewegung in die Bewedesselben Teiles dienende Antriebe an derselben gung der quer zum Korpuskularstrahl zu verschie-Stelle anzuordnen. 45 benden Teile zu haben, ist es zweckmäßig, dem

Diese Nachteile vermeidet die Erfindung, die sich, hülsenartigen Teil einen die Verstellstange mit Spiel wie bemerkt, auf eine Vorrichtung zum Bewegen umgebenden hülsenartigen Fortsatz zu geben, auf von Teilen schlechthin im Vakuumraum von Kor- dem der Stößel des zweiten Antriebs und gegebenenpuskularstrahlgeräten der eingangs genannten Art falls auch die Rückstellfeder aufliegen. Dieser hülsenbezieht. Die Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, 50 artige Fortsatz bildet dann den Hebelarm für die um daß erfindungsgemäß die Verstellstange mittels des die Drehachse erfolgende Schwenkbewegung des ersten Antriebs längsverschiebbar in einem hülsen- hülsenartigen Teiles, die auf die Verstellstange überartigen Teil gelagert ist, das seinerseits um eine die tragen wird.

Achse der Verstellstange senkrecht durchsetzende Für die Ausbildung der Verstellstange mit einem

Drehachse schwenkbar gehalten ist, daß die Verstell- 55 quer zu ihrer Achse elastisch verformbaren Bereich stange zwischen dem hülsenartigen Teil und dem ergeben sich mehrere Möglichkeiten. So kann die ersten Antrieb einen quer zu ihrer Achse elastisch geforderte Elastizität entweder durch geeignete Wahl verformbaren Bereich aufweist und daß der zweite des Materials für diesen Bereich der Verstellstange, Antrieb außerhalb des Vakuumraumes mit einem etwa ein Federmaterial, gewährleistet sein; einfacher Stößel senkrecht auf den quer verformbaren Bereich 60 wird häufig die Verwendung einer Rückstellfeder, der Verstellstange einwirkend angeordnet ist. die bereits angeführt wurde.

Dieses Prinzip der Verwendung einer »knick- Auch die Querverformbarkeit dieses Bereichs der

baren« und damit mit ihrem die zu bewegenden Teile Verstellstange kann durch geeignete Materialwahl tragenden Ende um eine Drehachse schwenkbaren gewährleistet werden. Verständlicherweise darf es Verstellstange bietet den Vorteil, daß lediglich eine 65 sich hierbei zumindest nicht in nennenswertem Maße einzige vakuumdichte Durchführung für die Ver- um eine bleibende Verformung handeln, stellstange vorgesehen zu werden braucht und daß Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfin-

weiterhin die beiden Antriebe an einer Stelle ange- dung ist der quer verformbare Bereich der Verstell-

stange durch Zusammensetzung der Verstellstange stellung der quer zum Korpuskularstrahl zu bewegenähnlich einer Kardanwelle aus drei Teilen in der den Teile. Eine besonders empfindliche Einstellung Weise gewonnen, daß die Achsen der Stangenteile kann man dadurch erreichen, daß man dem ersten

in einer gemeinsamen, die Wirkungsrichtung des Antrieb eine mit Innen- und Außengewinde unterStößels des zweiten Antriebs einschließenden Ebene 5 schiedlicher Steigung versehene Gewindehülse zu-

gegeneinander neigbar sind. ordnet, in die das mit einem Gewinde versehene

Bei dieser aus drei Stangenteilen, nämlich einem Ende der Verstellstange hineinragt und die mit ihrem mittleren zwischen zwei äußeren Stangenteilen, zu- Außengewinde in einem zum ersten Antrieb festsammengesetzten Verstellstange ist also das eine der stehenden Bauteil gehalten ist. Eine solche Differenbeiden äußeren Stangenteile in dem hülsenartigen io tialgewindeanordnung gestattet eine Feineinstellung Teil geführt, während sich das andere der beiden in Schritten von Mikrometern, wobei ferner entäußeren Stangenteile in den Bereich des ersten An- sprechend geeichte Rastvorrichtungen Verwendung triebs erstreckt und dort ein Gewinde trägt. Das finden können.

mittlere Stangenteil bildet zusammen mit den beiden Die entsprechenden Maßnahmen lassen sich auch

kardanähnlichen Gelenken den eigentlichen quer 15 beim zweiten Antrieb anwenden, wobei in die Ge-

verformbaren Bereich der Verstellstange, wobei die windehülse das mit einem Gewinde versehene Ende

Elastizität durch Rückstellfedern hervorgerufen wird. des Stößels hineinragt und die Gewindehülse mit

Diese Zusammensetzung der Verstellstange gestattet, ihrem Außengewinde in einem zum zweiten Antrieb

durch Bewegung des Stößels, der bei der bevorzugten feststehenden Bauteil gehalten ist.

Ausführungsform der Erfindung auf dem hülsen- 20 An seinem anderen Ende wird man den Stößel mit

artigen Teil oder seinem hülsenartigen Fortsatz auf- einer Kugel versehen, um stets eine proportionale

liegt, das die quer zum Korpuskularstrahl zu bewe- Übertragung der Stößelbewegung durch einen defi-

genden Teile tragende eine äußere Stangenteil um nierten Angriffspunkt desselben zu haben,

die genannte Drehachse zu schwenken, ohne daß Im Sinne der weiteren konstruktiven Vereinigung

eine Behinderung einer Bewegung durch die übrigen 25 der beiden Antriebe günstig verhält sich eine dadurch

Stangenteile erfolgt. gekennzeichnete Weiterbildung der Erfindung, daß

Das mittlere Stangenteil braucht keinen runden an dem Korpuskularstrahlgerät ein Tragrohr für

Querschnitt zu besitzen, sondern kann aus einem beide Antriebe befestigt ist, das die Verstellstange

flachen Profilmaterial hergestellt und mit seinen bei- mit den sie umgebenden Konstruktionsteilen, also

den Enden in schlitzförmigen Ausnehmungen in den 30 beispielsweise dem hülsenartigen Teil nebst Fortsatz,

ihm benachbarten Enden der äußeren Stangenteile umgibt und an seiner Stirnseite den ersten Antrieb

beispielsweise mittels Drehstiften drehbar gehalten trägt, während der zweite Antrieb mit einem den

sein. Die Dreh- oder Schwenkbewegungen der drei Umfang des Tragrohres umgreifenden Halteteil an

Stangenteile gegeneinander erfolgen dabei in der dem Tragrohr befestigt ist; ferner kann das Tragrohr

Ebene des Stößels oder, sofern die Stößelachse ober- 35 einander gegenüberliegende Ausnehmungen für den

oder unterhalb der Achse der Verstellstange verläuft, Stößel und für eine in dem Halteteil gelagerte Rück-

in einer zu der Stößelachse parallelen Ebene. stellfeder aufweisen. Durch Lösen des Tragrohres

Die kardanartigen Verbindungen der drei Stangen- vom Mikroskop kann dann die gesamte Vorrichtung

teile können ein Spiel besitzen, das sich insbesondere aus diesem entfernt werden.

bezüglich der Genauigkeit der Einstellung der Lage 40 Die beiden Antriebe liegen in einer sich quer zum der quer zum Korpuskularstrahl zu bewegenden Teile Korpuskularstrahl erstreckenden Ebene, also beidurch Betätigen des ersten Antriebs nachteilig be- spielsweise so, daß der erste Antrieb, vom Bedienenmerkbar macht. Dem kann man durch Vorsehen von den her gesehen, nach der Seite und der zweite AnFedern abhelfen oder vorbeugen, wobei diese vor- trieb nach vorn weisen.

zugsweise im Zwischenraum zwischen dem hülsen- 45 Die Figuren zeigen verschiedene Schnitte durch

artigen Fortsatz und der Verstellstange angeordnete ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung nach der

Druckfedern sind, die sich gegen Auflageflächen an Erfindung. Dabei gibt

dem hülsenartigen Fortsatz und dem von dem hülsen- F i g. 1 einen senkrechten Schnitt,

artigen Teil umgebenen Stangenteil abstützen. Durch F i g. 2 einen Horizontalschnitt und

diese Federn wird also die mehrteilige Verstellstange 50 F i g. 3 wiederum einen senkrechten Schnitt in der

dauernd »auseinandergezogen«. Diese Federn kön- Ebene des zweiten Antriebs wieder,

nen zugleich Rückstellfedern für die Bewegung mit- Die Wand des Vakuumraumes des Korpuskular-

tels des ersten Antriebs sein. Strahlgerätes, im Beispiel eines Elektronenmikro-

Zur Gewährleistung dieses gestreckten Zustandes skops, ist in Fig. 1 strichpunktiert angedeutet; sie der Verstellstange bei allen Bewegungen des ersten 55 weist eine durch die Dichtung 1 abgedichtete AusAntriebs kann es zweckmäßig sein, das von dem nehmung für die Durchführung der Verstellstange 2 hülsenartigen Teil umgebenen Stangenteil durch auf, die in diesem Ausführungsbeispiel dem Blenden-Rollen gegen eine Gleitfläche in dem hülsenartigen träger 3 zugeordnet ist. Es kann sich bei den auf dem Teil drücken zu lassen, damit hier die Reibung mög- Träger 3 in hier nicht näher interessierender Weise liehst klein gehalten ist. Man kann aber auch zwei 60 zu befestigenden Blenden beispielsweise um Apertur-Rollen auf entgegengesetzten Seiten dieses Stangen- Wenden für eine Objektivlinse handeln,
teiles vorsehen, von denen eine in dem hülsenartigen Wie F i g. 2 erkennen läßt, sind der Verstell-Teil liegt und die andere auf einer festen Gegen- stange 2 zwei Antriebe zugeordnet, von denen der fläche im Gerät aufliegt. In diesem Fall führt dieses erste allgemein mit 4 und der zweite allgemein mit 5 Stangenteil also keine Gleitbewegung aus. 65 bezeichnet ist.

Wie bereits bemerkt, geht die Zusammenfassung Zunächst werden der erste Antrieb 4 und seine

der beiden Antriebe bei der erfindungsgemäßen Vor- Wirkungsweise betrachtet, der zur Erzielung einer

richtung nicht auf Kosten der Genauigkeit der Ein- Einstellbewegung in Richtung der Achse 6 der Ver-

Claims (14)

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   stellstange 2 dient. An ihrem in den Bereich des trieb 5 eine Schwenkbewegung des Teiles 20, 21 um ersten Antriebs 4 ragenden Ende trägt die Verstell- die Drehachse 30 und zugleich eine Schwenkbewestange2 das Gewinde 7, das zusammenwirkt mit gung des linken Stangenteiles 25. Diese Bewegung einem Innengewinde der in diesem Ausführungsbei- bewirkt die gewünschte Bewegung des Blendenspiel aus den beiden Teilen 8 und 9 gebildeten Ge- 5 halters 3 auf einem Kreis um die Achse 30, wobei windehülse. Diese beiden Teile 8 und 9 sind fest mit- im Hinblick auf die hier erforderlichen kleinen Beeinander verbunden. Das äußere Teil 9 der Gewinde- wegungen des Blendenhalters 3 diese Bewegung als hülse trägt ebenfalls ein Gewinde, das eine von der senkrecht zu der durch den ersten Antrieb 4 bewirk-Steigung des Innengewindes des Teiles 8 abweichende ten Bewegung anzusprechen ist. Steigung besitzt, so daß bei einer Drehung der Teile 8 io Wie F i g. 1 besonders deutlich zeigt, besteht das und 9 die Verstellstange 2 eine Bewegung in Rieh- mittlere Stangenteil 26 aus einem Flachprofil; seine tung ihrer Achse ausführt, die durch die Differenz Enden sind in schlitzartigen Ausnehmungen der zuder Steigungen der beiden Gewinde auf den Teilen 8 gekehrten Enden der äußeren Stangenteile 25 und 27 und 9 gegeben ist. Das Gewinde auf dem Teil 9 ar- mittels der genannten Drehstifte 31 und 32 gehalten, beitet zusammen mit einem Gewinde in dem bei 15 Um ein Spiel in diesen beiden Lagerstellen unwirkdieser Bewegung feststehenden Teil 10. Der zugeord- sam zu machen, ist die Druckfeder 36 zwischen dem nete Handgriff ist mit 11 bezeichnet; er ist mittels fest mit dem hülsenartigen Fortsatz 21 verbundenen Schrauben 12 mit dem Teil 9 und das Teil 9 mittels Teil 37 und der Anschlagfläche 38 an dem in den Schrauben 13 mit dem Hülsenteil 14 fest verbunden. Fig. 1 und 2 linken Stangenteil 25 vorgesehen; diese Durch Lösen der Schrauben 12 ist es möglich, so Druckfeder hält also die Verstellstange 2 dauernd durch Verdrehen der Teile 8 und 9 gegeneinander »gestreckt« und wirkt zugleich als Rückstellfeder für unter Benutzung des Schlitzes 15 eine Eichung der die durch den Antrieb 4 erzeugten Bewegungen. Stellung der Verstellstange 2 relativ zu dem Dreh- Auf den Fortsatz 21 wirkt in diesem Ausführungswinkel des Handgriffs 11 und des Hülsenteiles 14 beispiel eine weitere Druckfeder in Gestalt der Rückvorzunehmen, um hierbei Übereinstimmung mit einer 25 stellfeder 39 ein, die dem Stößel 35 des zweiten AnSkala auf dem Teil 14 oder dem Teil 16 zu erhalten. triebs 5 entgegenwirkt. Wie F i g. 2 zeigt, ist die Der erste Antrieb 4 ist über zwischengefügte Teile Rückstellfeder 39 in dem den Umfang des Rohres 18 an der Stirnseite 17 des Rohres 18 gehalten, das sei- umgreifenden Halteteil 40 gelagert, an dem auch die nerseits über die Überwurfschraube 19 fest in die Einzelteile des zweiten Antriebs 5 befestigt sind. Der Wand des Vakuumraumes des Elektronenmikro- 30 zweite Antrieb 5 entspricht in seinem Aufbau dem skops eingesetzt ist. Zur Führung der Verstellstange 2 ersten Antrieb 4. Auch hier ist ein Handgriff 41 fest ist innerhalb des Rohres 18 das hülsenartige Teil 20 verbunden mit einer durch zwei Teile 42 und 43 gevorgesehen, das in den F i g. 1 und 2 nach rechts den bildeten Gewindehülse mit Innen- und Außengehülsenartigen Fortsatz 21 mit noch zu beschreibender winde, wobei wiederum die beiden Gewinde unter-Funktion aufweist. Die Verstellstange 2 erstreckt sich 35 schiedliche Steigungen haben. Mit dem Innengewinde durch eine Ausnehmung 22 in dem hülsenartigen Teil des Teiles 42 wirkt das Gewinde 44 am Ende des 20, und zwar ist zur Verringerung der Reibung an der Stößels 35 zusammen, und die Drehbewegung des Verstellstange 2 der Rollkörper 23 vorgesehen, der Handgriffs 41 wird durch die Drehsicherung 45 und mit der weiteren Rolle 52 zusammenwirkt, die sich die genannten Gewinde in eine Bewegung der Kugel federnd gegen die feste Auflagefläche 51 legt. 40 33 längs der Achse 46 des Stößels umgesetzt. Damit Die Drehung des Handgriffs 11 wird also durch die wird durch Stößel 35 und Rückstellfeder 39 die genannten Gewinde auf den Teilen 2, 8 und 9 unter Schwenkung des Blendenhalters 3 um die Achse 30 Verwendung der Drehsicherung 24 in eine Bewegung bestimmt.

   der Verstellstange 2 in Richtung ihrer Achse 6 um- Mit 48 und 49 sind Rastfedern bezeichnet, die

   gesetzt. Zur Durchführung der Bewegung der quer 45 einer in Mikrometer geeichten Rastvorrichtung ange-

   zum Strahl zu bewegenden Teile, also des Blenden- hören.

   halters 3, in der hierzu senkrechten Richtung dient Der weitere Handgriff 50 dient zur Auswahl der der zweite Antrieb 5 in Verbindung mit dem erwähn- jeweils in Betriebsstellung zu bringenden Blende soten hülsenartigen Fortsatz 21 und einer bestimmten wie zum Entfernen aller Blenden aus dem Strahlen-Ausbildung der Verstellstange 2. Die Verstellstange 50 gang. Er trägt hierzu die Kulisse 53. besteht nämlich in diesem Ausführungsbeispiel aus

   den drei Stangenteilen 25, 26 und 27, von denen das Patentansprüche: in den F i g. 1 und 2 linke äußere Teil 25 den Blendenhalter 3 trägt und das in den F i g. 1 und 2 rechte 1. Vorrichtung zum Bewegen von im Vakuumäußere Stangenteil 27 in den ersten Antrieb 4 hinein- 55 raum eines Korpuskularstrahlgerätes befindlichen ragt. Wie F i g.l erkennen läßt, ist das den linken Teilen quer zum Korpuskularstrahl mit einer Ver-Stangenteil 25 mit seiner Ausnehmung 22 aufneh- stellstange, die mit ihrem vakuumdicht in den mende hülsenartige Teil 20 mittels der beiden Dreh- Vakuumraum eingeführten einen Ende die Teile zapfen 28 und 29 um eine Achse 30 drehbar gelagert, trägt und deren außerhalb des Vakuumraumes die die Achse 6 der Verstellstange 2 senkrecht durch- 60 liegendes anderes Ende über Gewinde mit einem setzt. Diese Lagerung erfolgt in dem feststehenden ersten Antrieb zur Verschiebung der Verstell-Rohrl8. stange in Richtung ihrer Achse in Verbindung Da die beiden Verbindungen zwischen den drei steht, sowie mit einem zweiten Antrieb zur Bewe-Stangenteilen 25, 26 und 27 kardanartig unter Ver- gung der Teile in einer zum Korpuskularstrahl wendung von Drehstiften 31 und 32 ausgebildet sind, 65 und zur Achse der Verstellstange senkrechten bewirkt ein durch die Kugel33 auf die gehärtete Richtung, dadurchgekennzeichnet, daß Platte 34 an dem hülsenartigen Fortsatz 21 über- die Verstellstange (2) mittels des ersten Antriebs tragener Druck des Stößels 35 in dem zweiten An- (4) längsverschiebbar in einem hülsenartigen Teil

   (20) gelagert ist, das seinerseits um eine die Achse (6) der Verstellstange (2) senkrecht durchsetzende Drehachse (30) schwenkbar gehalten ist, daß die Verstellstange (2) zwischen dem hülsenartigen Teil (20) und dem ersten Antrieb (4) einen quer zu ihrer Achse (6) elastisch verformbaren Bereich aufweist und daß der zweite Antrieb (5) außerhalb des Vakuumraumes mit einem Stößel (35) senkrecht auf den quer verformbaren Bereich der Verstellstange (2) einwirkend angeordnet ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Antrieb (5) auf die Verstellstange (2) über das hülsenartige Teil (20) einwirkt, indem sein Stößel (35) sich auf das hülsenartige Teil (20) ein Drehmoment um die Drehachse (30) ausübend auflegt.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das hülsenartige Teil (20) an einem dem Stößel (35) abgekehrten Bereich seines Umfanges mit einer Rückstellfeder (39) in Verbindung steht.
4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das hülsenartige Teil (20) einen die Verstellstange (2) mit Spiel umgebenden hülsenartigen Fortsatz (21) aufweist, auf dem der Stößel (35) des zweiten Antriebs (5) aufliegt.
5. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der quer verformbare Bereich der Verstellstange (2) durch kardanwellenartige Zusammensetzung (31, 32) der Verstellstange (2) aus drei Teilen (25, 26, 27) in der Weise gewonnen ist, daß die Achsen der Stangenteile (25, 26, 27) in einer gemeinsamen, die Wirkungsrichtung des Stößels (35) des zweiten Antriebs (5) einschließenden Ebene gegeneinander neigbar sind.
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das mittlere Stangenteil (26) ein flaches Profil besitzt und mit seinen Enden in schlitzförmigen Ausnehmungen in den ihm benachbarten Enden der äußeren Stangenteile (25, 27) drehbar gehalten ist (31, 32).
7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß Federn (36) zur Verhinderung eines axialen Spiels zwischen den Stangenteilen (25, 26, 27) vorgesehen sind.
8. 8. Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Federn (36) im Zwischenraum zwischen dem hülsenartigen Fortsatz (21) und der Verstellstange (2) angeordnete Druckfedern sind, die sich gegen Auflageflächen (37, 38) an dem hülsenartigen Fortsatz (21) und dem von dem hülsenartigen Teil (20) umgebenen Stangenteil (25) abstützen.
9. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das von dem hülsenartigen Teil (20) umgebene Stangenteil (25) durch Rollen (23) gegen eine Gleitfläche in dem hülsenartigen Teil (20) oder gegen eine Rollfläche (51) gedrückt ist.
10. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Antrieb (4) eine mit Innen- und Außengewinde unterschiedlicher Steigung versehene Gewindehülse (8, 9) aufweist, in die das mit einem Gewinde (7) versehene Ende (27) der Verstellstange (2) hineinragt und die mit ihrem Außengewinde in einem zum ersten Antrieb (4) feststehenden Bauteil (10) gehalten ist.
11. 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Antrieb (5) eine mit Innen- und Außengewinde unterschiedlicher Steigung versehene Gewindehülse (42, 43) aufweist, in die das mit einem Gewinde (44) versehene Ende des Stößels (35) hineinragt und die mit ihrem Außengewinde in einem zum zweiten Antrieb (5) feststehenden Bauteil gehalten ist.
12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einem der Antriebe (4, 5) in Mikrometer geeichte Rastvorrichtungen (48, 49) zugeordnet sind.
13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Stößel (35) des zweiten Antriebs (5) an seinem der Verstellstange (2) zugekehrten Ende eine Kugel (33) trägt.
14. 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Korpuskularstrahlgerät ein Tragrohr (18) für beide Antriebe (4, 5) befestigt ist, das die Verstellstange (2) mit den sie umgebenden Konstruktionsteilen (20, 21, 36) umgibt und an seiner Stirnseite (17) den ersten Antrieb (4) trägt, während der zweite Antrieb (5) mit einem den Umfang des Tragrohres (18) umgreifenden Halteteil (40) an dem Tragrohr (18) befestigt ist, und daß das Tragrohr (18) einander gegenüberliegende Ausnehmungen für den Stößel (35) und eine in dem Halteteil (40) gelagerte Rückstellfeder (39) aufweist.

    Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 809702/954