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DE1131913B - Einrichtung zur Pruefung der Abbildungsguete optischer Systeme - Google Patents

Einrichtung zur Pruefung der Abbildungsguete optischer Systeme

Info

Publication number
DE1131913B
DE1131913B DEZ8053A DEZ0008053A DE1131913B DE 1131913 B DE1131913 B DE 1131913B DE Z8053 A DEZ8053 A DE Z8053A DE Z0008053 A DEZ0008053 A DE Z0008053A DE 1131913 B DE1131913 B DE 1131913B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signal
test
scanning
grid
transfer function
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ8053A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Erich Heynacher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ8053A priority Critical patent/DE1131913B/de
Publication of DE1131913B publication Critical patent/DE1131913B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0292Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

  • Einrichtung zur Prüfung der Abbildungsgüte optischer Systeme Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung der Abbildungsgüte von optischen Systemen durch Messung der Kontrastübertragungsfunktion, also der Funktion, die den Verlauf der Kontrastwiedergabe durch das zu prüfende optische System in Abhängigkeit von der Ortsfrequenz det sinusförmigen Helligkeitsschwankungen angibt, aus denen man sich jedes Bild aufgebaut denken kann (Fourier-Analyse).
  • Bei einer bekannten Einrichtung zur Durchführung dieser Aufgabe wird ein mit konstanter Dreh.. zahl rotierendes Radialgitter durch das zu prüfende optische System hindurch abgebildet, das Gitterbild lichtelektrisch abgetastet, die Wechselstromkomponente des Photostroms in einem Resonanzverstärker entsprechend verstärkt und nach erfolgter Gleichrichtung einem anzeigenden oder schreibenden Meßinstrument zugeführt. Mit einer derartigen Einrichtung kann zwar die Kontrastübertragung für verschiedene Ortsfrequenzen zeitlich nacheinander gemessen, angezeigt oder registriert werden, es ist aber nicht möglich, den Verlauf der gesamten Kontrastübertragungsfunktion unmittelbar zu beobachten.
  • Bei einer weiteren bekannten Einrichtung hat man sich die Aufgabe gestellt, auf einem Leuchtschirm eines Oszillographen direkt den Verlauf der Kontrastübertragungsfunktion anzuzeigen. Zu diesem Zweck wird auf einer Trommel, die mit konstanter Drehzahl rotiert, eine gitterförmige Testfigur angeordnet, deren Gitterstriche parallel zur Drehachse der Trommel verlaufen und deren Gitterkonstante stetig von einem Größter. zu einem Kleinstwert oder stufenweise in Form von Gittergruppen abnimmt. Die Abtastung erfolgt senkrecht zu den Gitterlinien. Zur Verstärkung des Photostroms ist in diesem Fall ein Breitbandverstärker erforderlich. Da bei konstanter Drehzahl der Trommel die Frequenz des Wechselstroms von der Gitterkonstanten und seine Amplitude außerdem von der relativen Phasenlage der darin enthaltenen Oberschwingungen abhängt, werden an den Verstärker sehr hohe Anforderungen bezüglich der amplituden- und phasengetreuen Verstärkung gestellt. Sofern bei einer solchen Einrichtung auf den Verstärker eine Gleichrichteranordnung folgt, sind auch an diese sehr hohe Anforderungen zu stellen, wenn das Gerät unabhängig von der Frequenz und der Kurvenform eine Anzeige des Spitzenwertes liefern soll. Bei Einrichtungen dieser Art bereitet schließlich das ungünstige Verhältnis von Signal zu Rauschen wegen der Breitbandverstärkung große Schwierigkeiten, wenn der lichtelektrischen Empfängereinrichtung nur geringe Lichtströme zugeführt werden können.
  • Um die Schwierigkeit bezüglich der elektrischen Breitbandverstärkung und Spitzengleirichtung zu vermeiden, ist vorgeschlagen worden, die Gittergruppen auf der Trommel so anzuordnen, daß die Abtastung parallel zu den Gitterstrichen erfolgt, und zwar so, daß die Abtastspur in der Mitte zwischen zwei Gitterstrichen verläuft. Dadurch wird für jede Gittergruppe ein konstanter Photostrom erhalten. Die auf diese Weise erzielte Vereinfachung wird aber durch hohe Anforderungen an die Justierempfindlichkeit der Einrichtung erkauft, da jede, auch die kleinste Abweichung der Abtastspur von der Symmetrielinie zwischen zwei Gitterstrichen zu einer Verfälschung der Kontrastanzeige führt. Insbesondere ist bei Auftreten von Komaeffekten in den Bildern der zu prüfenden optischen Systeme eine einwandfreie Justie rung für alle Ortsfrequenzen gleichzeitig nicht mehr möglich.
  • Durch die Maßnahmen der vorliegenden Erfindung werden die obengenannten Schwierigkeiten aus dem Wege geräumt. Die Erfindung betritt eine Einrichtung zur Messung der Abbildungsgüte von optischen Systemen durch Messung der Kontrastübertragungsfunktion mit Hilfe eines Gittertestes mit kontinuierlicher oder stufenweiser änderung der Gitterkonstanten (Ortsfrequenz). Der Gittertest ist auf einer mit konstanter Drehzahl rotierenden Trommel angebracht und wird entweder von dem zu prüfenden optischen System auf einem Abtastspalt abgebildet oder dient umgekehrt als Abtastorgan für das Bild eines vom Prüfling abgebildeten Spaltes. Die Einrichtung enthält weiterhin einen lichtelektrischen Empfänger, der das optische Signal in ein elektrisches Signal verwan- delt, welches in einem entsprechenden Anzeigegerät die Kontrastübertragungsfunktion abzulesen gestattet.
  • Die Erfindung besteht darin, daß die Gitterstriche des Testes schräg zur Abtastrichtung gelegt werden, wobei die Richtung der Gitterstriche so gewählt ist, daß auf der vorbestimmten Abtastspur unabhängig von der Ortsfrequenz des Gittertestes stets nach gleichen Abständen eine Gitterperiode abgetastet wird, so daß die zeitliche Grundfrequenz des auf den Empfänger auftreffenden Signals konstant ist. Durch diese Maßnahme wird erreicht, daß gegenüber dem bekannten Verfahren mit Abtastung senkrecht zu den Gitterstrichen, insbesondere bei Spitzengleichrichtung des Signals, geringere Anforderungen an den elektrischen Teil der Anordnung gestellt werden können, und daß sich das Verhälnis von Signal zu Rauschen wesentlich verbessern läßt. Gegenüber dem Verfahren mit Abtastung parallel zu den Gitterstrichen sind die Anforderungen an die Justierung wesentlich verringert, da eine Verlagerung der Abtastspur die angezeigten Amplituden nicht beeinflußt.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung wird in dem elektrischen Teil der Anordnung ein Filter eingeschaltet, durch das die im Signal enthaltenen Oberwellen eliminiert werden, so daß nur die den Sinusgitterkontrast repräsentierende Grundwelle zur Anzeige gelangt. Die Einrichtung erlaubt damit eine Bestimmung derKontrastübertragungsfunktion für ein Sinusgitter, ohne daß es notwendig ist, an Stelle des relativ leicht herstellbaren Strichgittertestes ein Test zu verwenden, das unmittelbar eine sinusförmige Helligkeitsverteilung liefert.
  • Zwecks Messung der Phasenfunktion der Kontrastübertragungsfunktion ist es von Vorteil, zusätzlich ein Vergleichssignal zu erzeugen, welches die gleiche Frequenz wie das Meßsignal bei Abtastung des Gittertestes auf der vorbestimmten Abtastspur besitzt, wodurch nach Vergleich der Phasenlage von Meßsignal und Vergleichssignal in an sich bekannter Weise eine Anzeige der Phasenfunktion gewonnen wird. Benutzt man einen Oszillographen als Anzeigegerät, so empfiehlt es sich, einen Zweistrahloszillographen zu verwenden und von dem einen Strahl die Kontrastübertragungsfunktion und dem anderen die Phasenfunktion aufzeichnen zu lassen. Das benötigte Vergleichssignal konstanter Frequenz kann auf verschiedene Weise hergestellt werden, z. B. mit mechanischen, elektrischen, magnetischen oder optischen Mitteln.
  • Nähere Erläuterungen seien an Hand der Zeichnungen gegeben. Von diesen zeigt Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau des optischen Teils der Prüfeinrichtung zur Messung der Ubertragungsfunktion optischer Systeme, Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für ein Gittertest, Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel für ein Test zur Erzeugung des Vergleichssignals, Fig. 4 eine beispielsweise Aufzeichnung der Kontrastübertragungsfunktion für ein optisches System und Fig. 5 und 6 zwei weitere Ausführungsformen von Gittertesten.
  • In Fig. 1 ist mit 1 ein zu prüfendes optisches System dargestellt, das von einem auf dem Umfang einer Testtrommel 2 befindlichen Gittertest ein Bild auf dem Abtastspalt 3 in der Bildebene4 des Prüflings entwirft. Ein Kollimator 5 dient dazu, dem Prüfling das Test im Unendlichen liegend darzubieten. Zur Beleuchtung des Testes wird eine Lichtquelle 6 mit vorgeschaltetem Kondensator7 verwendet. Mit Hilfe eines optischen Systems8 wird das durch den Abtastspalt hindurchtretende Licht auf einem lichtelektrischen Empfänger 9 gesammelt. Dem lichtelektrischen Empfänger ist eine nicht gezeichnete Verstärkereinrichtung nachgeschaltet, deren Ausgangssignal einer ebenfalls nicht dargestellten Anzeige-oder Registriervorrichtung zugeführt wird. Der Empfänger 9 und die Lichtquelle 6 können auch miteinander vertauscht werden, ohne an der prinzipiellen Wirkungsweise der Einrichtung etwas zu ändern. Mit 10 ist eine bilddrehende optische Einrichtung angedeutet, mit deren Hilfe ohne Verschwenkung der Drehachse der Testtrommel Messungen der Kontrastübertragung für die tangentiale und radiale Orientierung des Strichgitters durchgeführt werden können.
  • Fig. 2 zeigt die Abwicklung des Anfangsteils eines Gittertestes mit kontinuierlicher Änderung der Ortsfrequenz längs der Abtastspur 11, das auf dem Umfang der Testtrommel 2 angebracht ist. Zusätzlich ist ein Test 12 angeordnet, das eine sehr niedrige Ortsfrequenz repräsentiert und zur Normierung der Kontrastfunktion dient. Sämtliche schraffierten Teile sind lichtundurchlässig oder besitzen eine endliche, aber konstante Durchlässigkeit, während die hellen Teile im wesentlichen vollständig durchlässig sind oder eine konstante, aber hohe Durchlässigkeit aufweisen.
  • Wird dieses Gittertest längs der Abtastspur 11 mit konstanter Geschwindigkeit lichtelektrisch abgetastet, so ist die Grundfrequenz des erhaltenen lichtelektrischen Signals konstant. Eine geringe Abweichung von der Abtastspur 11 bewirkt lediglich eine Phasenverschiebung des Signals, aber keine Verfälschung der Maximalwerte, die ein Maß für die Kontrastübertragung selbst darstellen.
  • In Fig. 4 ist mit 13 das Signal für den Sinusgitterkontrast dargestellt, das man bei Verwendung eines elektrischen Filters im Verstärker zwecks Aussiebung der im lichtelektrischen Signal enthaltenen Oberwellen erhält. Die Einhüllende 14 repräsentiert die Sinusgitterkontrastfunktion und kann direkt erhalten werden durch Gleichrichtung des Signals 13. Zweckmäßig wird man das Signal 13 oder das Signal 14 auf einem Oszillographenschirm sichtbar machen. Unter Zuhilfenahme endes auf dem Leuchtschirm der Oszillographenröhre angebrachten Vergleichsmaßstabes, der durch die senkrechten Linien 16 angedeutet ist, kann man die Phasenabweichungen unmittelbar ablesen, wenn die Zeitablenkung des Oszillographen auf die Maßstäbsintervalle abgestimmt ist. Die Strecken 15 repräsentieren dann die Phasenabweichungen an den betreffenden Stellen im Ortsfrequenzspektrum.
  • Ein anderer Weg besteht darin, die Phasenfunktion durch Vergleich mit einem Signal, welches mit einem Test nach Fig. 3 erzeugt wird, zur Anzeige zu bringen. Diese Phasenfunktion wird durch die Liniel7 in Fig4 repräsentiert.
  • Entsprechendes wie für die Sinusgitterübertragungsfunktion erhält man für die Rechteckgitterübertragungsfunktion, wenn man ohne Verwendung eines Filters mit einem Breitbandverstärker arbeitet, der neben der Grundwelle eine hinreichend große Zahl von Oberwellen amplituden- und phasengetreu überträgt.

Claims (3)

  1. PATENTAN SPRÜCHE: 1. Einrichtung zur Messung der Abbildungsgüte von optischen Systemen durch Messung der Kontrastübertragungsfunktion mit Hilfe eines Gittertestes mit kontinuierlicher oder stufenweiser Anderung der Gitterkonstanten (Ortsfrequenz), der auf einer mit konstanter Drehzahl rotierenden Trommel angebracht ist und entweder von dem zu prüfenden optischen System auf einem Abtastspalt abgebildet wird oder umgekehrt als Abtastorgan für das Bild eines vom Prüfling abgebildeten Spaltes dient, die weiterhin einen lichtelektrischen Empfänger enthält, der das optische Signal in ein elektrisches Signal verwandelt, welches in einem entsprechenden Anzeigegerät die Kontrastübertragungsfunktion abzulesen gestattet, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitterstriche des Testes schräg zur Abtastrichtung gelegt sind, wobei die Richtung der Gitterstriche so gewählt ist, daß auf der vorbestimmten Abtastspur unabhän- gig von der Ortsfrequenz des Gittertestes stets nach gleichen Abständen eine Gitterperiode abgetastet wird, so daß die zeitliche Grundfrequenz des auf den Empfänger auftreffenden Signals konstant ist.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gegekennzeichnet, daß in dem elektrischen Teil der Anordnung ein Filter eingeschaltet ist, durch das die im Signal enthaltenen Oberwellen eliminiert werden, so daß nur die den Sinusgitterkontrast repräsentierende Grundwelle zur Anzeige gelangt.
  3. 3. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Messung der Phasenfunktion der Übertragungsfunktion ein Vergieichssignal erzeugt wird, welches die gleiche Frequenz wie das Meßsignal bei Abtastung des Gittertestes auf der vorbestimmten Abtastspur besitzt, wodurch nach Vergleich der Phasenlage von Meßsignal und Vergleichssignal in an sich bekannter Weise eine Anzeige der Phasenfunktion gewonnen wird.
DEZ8053A 1960-06-04 1960-06-04 Einrichtung zur Pruefung der Abbildungsguete optischer Systeme Pending DE1131913B (de)

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DE1131913B true DE1131913B (de) 1962-06-20

Family

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DE (1) DE1131913B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3438713A (en) * 1963-03-27 1969-04-15 Zeiss Stiftung Device for measuring or testing the image forming quality of lens systems

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US3438713A (en) * 1963-03-27 1969-04-15 Zeiss Stiftung Device for measuring or testing the image forming quality of lens systems

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