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DE1131760B - Breitband-Isoliertransformator - Google Patents

Breitband-Isoliertransformator

Info

Publication number
DE1131760B
DE1131760B DEZ6757A DEZ0006757A DE1131760B DE 1131760 B DE1131760 B DE 1131760B DE Z6757 A DEZ6757 A DE Z6757A DE Z0006757 A DEZ0006757 A DE Z0006757A DE 1131760 B DE1131760 B DE 1131760B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
isolation transformer
voltage
winding
cast resin
broadband isolation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ6757A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Wolfgang Opitz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ6757A priority Critical patent/DE1131760B/de
Priority to CH7570359A priority patent/CH372765A/de
Publication of DE1131760B publication Critical patent/DE1131760B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/241High voltage power supply or regulation circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/32Insulating of coils, windings, or parts thereof
    • H01F27/324Insulation between coil and core, between different winding sections, around the coil; Other insulation structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Breitband-Isoliertransformator Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Breitband-Isoliertransformator, welcher insbesondere zur Übertragung von Modulationsspannungen von Erd- auf Hochspannungspotential oder umgekehrt geeignet ist. Ein solcher Isoliertransformator wird mit Vorteil beispielsweise dort verwendet, wo zum Zwecke der Modulation eines Ladungsträgerstrahles hoher Beschleunigungsspannung Steuersignale an eine auf Hochspannung liegende Steuerelektrode gegeben werden sollen. Diese Aufgabe tritt beispielsweise auf bei technischen Elektronenstrahlgeräten, Elektronenmikroskopen, Hochspannungsoszillographen, Einschußsystemen von Linear- und Zirkularbeschleunigern, wassergekühlten Röntgenröhren, Röntgenblitzröhren, Senderöhren hoher Betriebsspannung mit wassergekühlten Anoden und bei impuls gesteuerten Feldemissionskathoden.
  • Zur Lösung der oben angegebenen Aufgabe ist es bekannt, die Modulationsspannung mit einem elektronischen Gerät zu erzeugen, das sich auf Hochspannungspotential befindet und, beispielsweise über einen Isoliertransformator, vom Netz aus gespeist wird. Diese Anordnung hat den Nachteil, daß ein großes und kompliziertes elektronisches Gerät an genügend geschützter Stelle angebracht werden muß.
  • Ein als Berührungsschutz ausgebildeter Erdmantel führt in diesem Fall zu großen Abmessungen des Gerätes. Ferner ist ein Schutz des Modulationsspannungserzeugers vor Stoßspannungen und Wanderwellen bei dieser bekannten Anordnung nur sehr schwer zu erreichen.
  • Weiterhin ist es bekannt, eine auf Erdpotential erzeugte Modulationsspannung über einen Hochspannungskondensator genügend großer Kapazität auf Hochspannungspotential zu übertragen. Auch bei dieser bekannten Anordnung läßt sich ein Schutz des Impulserzeugers vor Stoß spannungen nur sehr schwer erreichen.
  • Der Breitband-lsoliertransformator gemäß der Erfindung bringt nun den Vorteil mit sich, daß Modulationsspannungen großer Bandbreite mittels eines auf Erdpotential liegenden Gerätes erzeugt und so auf Hochspannungspotential übertragen werden können, daß dieses Gerät vor hochspannungsseitig auftretenden Stoß spannungen und Wanderwellen geschützt ist. Ein weiterer Vorteil des neuen Breitband-Isoliertransformators besteht darin, daß es mit seiner Hilfe gelingt, Rechteckimpulse sehr verschiedener Dauer mit genügender Formtreuheit zu übertragen.
  • Die Bandbreite eines Transformators wird nach hohen Frequenzen durch die Streuung und die Wicklungskapazitäten und nach tiefen Frequenzen durch die Induktivität begrenzt. Um also die Bandbreite möglichst groß zu machen, muß die Induktivität des Transformators möglichst groß, die Streuinduktivität und Wicklungskapazität dagegen möglichst klein sein.
  • Da sich diese Größen jedoch nicht unabhängig voneinander verändern lassen, läßt sich die Bandbreite eines Transformators nur sehr schwer erweitern. Dies gilt vor allem bei einem Isoliertransformator, bei welchem normalerweise die Streuung durch die notwendige Hochspannungsisolation zwischen den Wicklungen sehr groß wird.
  • Bei dem Breitband-Isoliertransformator nach der vorliegenden Erfindung ist es jedoch geglückt, die Forderungen nach hoher Isolierfestigkeit und großer Bandbreite zu vereinen. Dies wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß der Breitband-Isoliertransformator aus einem eine einlagige Wicklung tragenden und in ringförmig vergossenes Gießharz eingebetteten hochpermeablen Ringkern hoher Sättigungsinduktion sowie einer auf diesem Gießharzring vorgesehenen, ein Übertragerverhältnis von 1: + 1 festlegenden weiteren einlagigen Wicklung besteht.
  • Durch die Ringkernbauform läßt sich das Isolationsvolumen und damit die Kapazität und Streuung besonders klein halten. Die Gießharzisolation hat bekanntlich gegenüber der gebräuchlichen Papier-Öl-Isolation den Vorteil einer höheren Isolationsfestigkeit, insbesondere bei Dauerbeanspruchung durch Gleichspannung. Aus diesem Grunde kann die Isolationsschicht zwischen den beiden Wicklungen des Transformators bedeutend dünner gehalten werden, als dies unter Verwendung einer üblichen Isolation üblich wäre, so daß also die schädliche Streuinduktivität wesentlich herabgesetzt wird.
  • Durch die einlagige Ausbildung der Wicklungen und die Wahl des Obertragerverhältnisses von 1: 1 1 läßt sich der Einfluß der verbleibenden Streu- induktivität auf die übertragene Modulationsspannung weitgehend ausschalten. Der Isoliertransformator verhält sich in diesem Fall bei Spannungssprüngen, wie sie beispielsweise an Impulsflanken auftreten, ähnlich wie eine Verzögerungsleitung, so daß also die obere Grenze der übertragenen Bandbreite praktisch nur noch durch die Kapazität bestimmt ist. Bei dem durch die Isolation bedingten großen Abstand der Wicklungen ist jedoch die Kapazität verhältnismäßig klein.
  • Durch die Wahl eines hochpermeablen Ringkerns hoher Sättigungsinduktion läßt sich eine hohe Induktivität des Transformators erzielen, so daß also die untere Grenze der übertragenen Bandbreite relativ niedrig liegt.
  • Da die Steuerung einer Elektrode eines Strahlerzeugungssystems keine ohmsche Belastung des Isoliertransformators mit sich bringt, wird, wenn keine weiteren Maßnahmen ergriffen werden, bei einer Übertragung von Impulsen, die hintere Impulsflanke verschliffen. Zur Vermeidung dieses Effektes wird der Isoliertransformator sekundärseitig bedämpft.
  • Zum Schutz des an die Primärwicklung des Isoliertransformators angeschlossenen Gerätes zur Erzeugung der Modulationsspannung vor Stoß spannungen und Wanderwellen, wie sie bei Hochspannungsüberschlägen am Isoliertransformator auftreten und auf die Primärseite übertragen werden können, ist es vorteilhaft, die außenliegende Wicklung des Transformators mit einer leitenden Schicht eines Stoffes nicht zu hoher Leitfähigkeit zu überziehen.
  • Der Breitband-Isoliertransformator nach der Erfindung findet besonders vorteilhaft Verwendung zur Impulsmodulation eines mittels eines Strahlerzeugungssystemes mit geerdeter Anode erzeugten Ladungsträgerstrahles hoher Beschleunigungsspannung.
  • In diesem Fall ist die auf Hochspannungspotential liegende Steuerelektrode des Strahlerzeugungssystemes an die auf dem Potential dieser Elektrode liegende Sekundärwicklung des Isoliertransformators angeschlossen, und es steht die auf dem Gießharzring liegende Primärwicklung mit einem auf Erdpotential liegenden Impulsgenerator in Verbindung. Es ist dabei möglich, einen Impulsgenerator zu wählen, welcher Impulse von in weitem Bereich variierbarer Impulsdauer erzeugt. Alle diese Steuerimpulse werden mittels des neuen Breitband-Isoliertransformators formtreu auf die Steuerelektrode des Strahlerzeugungssystemes übertragen, so daß also die Form der Ladungsträgerstrahlimpulse weitgehend mit der Form der Steuerimpulse übereinstimmt.
  • Die Erfindung wird an Hand der Ausführungsbeispiele darstellenden Fig. 1 bis 5 näher erläutert.
  • Dabei zeigt Fig. 1 einen Breitband-Isoliertransformator nach der Erfindung, teilweise im Schnitt gezeichnet, Fig. 2 einen Schnitt entlang der EbeneII-II der Fig. 1, Fig. 3 die Verwendung des Breitband-Isoliertransformators in einer Schaltung zur Impulsmodulation eines Elektronenstrahles, Fig. 4 die praktische Ausbildung eines Teiles der in Fig. 3 dargestellten Schaltung, Fig. 5 den zeitlichen Spannungsverlauf an der Steuerelektrode des in Fig. 3 dargestellten Strahlerzeugungssystemes.
  • In Fig. 1 und 2 ist mit 1 der Ringkern des Breitband-Isoliertransformators bezeichnet. Dieser Kern ist als Ringbandkern dünner Lamination und hoher Sättigungsinduktion ausgebildet und ist in eine Schutzschicht 2 aus porösem, weichem Material, beispielsweise Schaumstoff, eingebettet. Durch Schrumpfen der Gießharzisolation beim Aushärten treten mechanische Spannungen auf, welche die magnetischen Eigenschaften des Kernes 1 wesentlich verändern können. Zur Verhinderung dieses Effektes ist der Kern in die erwähnte Schutzschicht eingebettet.
  • Über dieser Schutzschicht liegt die einlagig ausgebildete Wicklung 3. Diese Wicklung ist mit Gießharz vergossen, welches eine ringförmige Gestalt 4 hat.
  • Der Gießharzring 4 trägt die ebenfalls einlagig ausgebildete Sekundärwicklung 5, welche durch einen Überzug aus kalthärtendem Gießharz oder durch eine Lackschicht fixiert werden kann.
  • Um die Stromzuführung zur inneren Wicklung 3 des Isoliertransformators unter Einhaltung des notwendigen Isolationsweges zu ermöglichen, ist dieser mit einem Isolatoransatz 6 versehen, welcher mit dem Gießharzring 4 vergossen ist. Durch den Isolatoransatz 6 führen die Zuleitungen 7 und 8 zur inneren Wicklung 3.
  • Fig. 3 zeigt die Verwendung des in Fig. 1 und 2 dargestellten Breitband-Isoliertransformators in einer Schaltung zur Impulsmodulation eines Elektronenstrahles. Mit 10 ist ein Elektronenstrahlgerät bezeichnet, dessen Strahlerzeugungssystem aus einer Kathode 11, einer Wehneltelektrode 12 und einer geerdeten Anode 13 besteht. Der von diesem Strahlerzeugungssystem erzeugte Elektronenstrahl ist mit 14 bezeichnet. Über Klemmen 15 und 16 wird der Kathodell die Heizspannung zugeführt. Diese Heizspannung liegt auf Hochspannungspotential, wobei die Hochspannung mit negativer Polarität über eine Klemme 17 und gegebenenfalls einen Schutzwiderstand 18 zugeführt wird. Zur Vorspannung der Wehneltelektrode 12 dient ein Gleichspannungserzeuger 19, welcher über den Isoliertransformator 20 am Netz liegt.
  • Die Wehneltgleichspannung wird am Isoliertransformator 20 primärseitig geregelt.
  • In der Darstellung der Fig. 3 liegen alle oberhalb der Linie 21 gelegenen Elemente auf Hochspannung, während alle unterhalb dieser Linie gelegenen Elemente geerdet sind.
  • Zur Modulation des Elektronenstrahles 14 dient ein auf Erdpotential liegender Impulsgenerator21', welcher mit der Primärwicklung des Breitband-Isoliertransformators 22 verbunden ist. Der Kern und die Sekundärwicklung dieses Isoliertransformators liegen auf Hochspannung wobei die Sekundärspannung mit der Wehneltelektrode 12 verbunden ist. Der Isoliertransformator 22 ist mit dem Wehnelt-Gleichspannungserzeuger 19 in Reihe geschaltet.
  • In Fig. 4 ist der praktische Aufbau eines Teiles der in Fig. 3 dargestellten Schaltung dargestellt. Wie aus dieser Figur hervorgeht, ist der Isoliertransformator 22 so mit einem mit Öl gefüllten Gehäuse 23 verbunden, daß sein Isolatoransatz 6 in dieses Gehäuse hineinragt. Mit dem Gehäuse 23 ist weiterhin ein abgeschirmtes dreiadriges Hochspannungskabel 24 verbunden, über welches die auf Hochspannung liegende Heizspannung sowie die Wehneltgleichspannung zugeführt werden. Die Wehneltgleichspannung gelangt vom Hochspannungskabel 24 über die Sekundärwicklung des Isoliertransformators 22 durch einen Isolator 25 zur Wehneltelektrode 12. Die Heizspannung wird vom Kabel 24 direkt durch diesen Isolator der Kathode 11 zugeführt. Das Strahlerzeugungssystem ist in einem geerdeten, unter Hochvakuum stehenden Gehäuse 10 angeordnet.
  • In Fig. 5 bezeichnet die gestrichelte Linie 26 das Potential der Kathode 11. Die Sperrspannung des Strahlerzeugungssystemes ist mit 27 bezeichnet. Die Abszisse gibt die vem Wehneltgleichspannungserzeuger 19 erzeugte Gleichspannung wieder. Diese Spannung liegt unterhalb der Sperrspannung des Strahlerzeugungssystemes, so daß also normalerweise dieses System gesperrt ist. Wird nun über den Isoliertransformator 22 die vom Impulsgenerator 21 gelieferte Spannung 28 formtreu auf die Steuerelektrode 12 übertragen, so wird hier jeweils während der Impulsdauer die Spannung auf die Arbeitsspannung 29 angehoben. Diese Arbeitsspannung liegt oberhalb der Sperrspannung des Systemes, so daß also ein Elektronenstrahlimpuls entsteht. Bei gleichbleibender Impulsspannung 28 läßt sich durch entsprechende Regelung der Wehneltzylinderspannung die Impulsamplitude verändern.
  • An Stelle der hier beschriebenen Impulsmodulation des Elektronenstrahles kann mit der beschriebenen und dargestellten, unter Verwendung des neuen Breitband-Isoliertransformators aufgebauten Schaltung selbstverständlich auch jede andere Wechselspannungsmodulation des Elektronenstrahles durchgeführt werden.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Breitband-Isoliertransformator, insbesondere zur Übertragung von Modulationsspannungen von Erd- auf Hochspannungspotential, gekennzeichnet durch einen eine einlagige Wicklung tragenden und in ringförmig vergossenes Gießharz eingebetteten hochpermeablen Ringkern hoher Sättigungsinduktion sowie durch eine auf diesem Gießharzring vorgesehene, ein Übertragerverhältnis von 1: + 1 festlegende weitere einlagige Wicklung.
  2. 2. Breitband-Isoliertransformator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Gießharzring liegende Wicklung mit einer leitenden Schicht überzogen ist.
  3. 3. Breitband-Isoliertransformator nach Anspruch 1 und 2, gekennzeichnet durch eine sekundärseitige Bedämpfung.
  4. 4. Breitband-Isoliertransformator nach den Ansprüchen 1 bis 3, gekennzeichnet durch die Verwendung zur Impulsmodulation eines mittels eines Strahlerzeugungssystemes mit geerdeter Anode erzeugten Ladungsträgerstrahles hoher Beschleunigungsspannung, wobei die auf Hochspannungspotential liegende Steuerelektrode des Strahlerzeugungssystemes an die auf dem Potential dieser Elektrode liegende Sekundärwicklung des Isoliertransformators angeschlossen ist und die auf dem Gießharzring liegende Primärwicklung mit einem auf Erdpotential liegenden Impulsgenerator in Verbindung steht.
  5. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 933 694; deutsche Patentanmeldung S 3174 VIII a /21 a4 (bekanntgemacht am
  6. 6. März 1952); USA.-Patentschriften Nr. 2 434 704, 2760 161; schweizerische Patentschriften Nr. 312592, 318879,316936.
DEZ6757A 1958-07-14 1958-07-14 Breitband-Isoliertransformator Pending DE1131760B (de)

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DEZ6757A DE1131760B (de) 1958-07-14 1958-07-14 Breitband-Isoliertransformator
CH7570359A CH372765A (de) 1958-07-14 1959-07-14 Anordnung zur Impulsmodulation eines Ladungsträgerstrahles hoher Beschleunigungsspannung

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DE (1) DE1131760B (de)

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