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DE112008002533T5 - Verfahren zum Beschichten von Kraftstoffsystemkomponenten - Google Patents

Verfahren zum Beschichten von Kraftstoffsystemkomponenten Download PDF

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DE112008002533T5
DE112008002533T5 DE200811002533 DE112008002533T DE112008002533T5 DE 112008002533 T5 DE112008002533 T5 DE 112008002533T5 DE 200811002533 DE200811002533 DE 200811002533 DE 112008002533 T DE112008002533 T DE 112008002533T DE 112008002533 T5 DE112008002533 T5 DE 112008002533T5
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DE
Germany
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coating
substrate
steel
component
fuel
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Withdrawn
Application number
DE200811002533
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English (en)
Inventor
Steven C. Dunlap Taylor
Bao Dunlap Feng
Lucy V. Peoria Davies
Jeffrey P. Peoria Werner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Caterpillar Inc
Original Assignee
Caterpillar Inc
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
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Abstract

Verfahren zum Beschichten einer Kraftstoffsystemkomponente, umfassend:
Auswählen eines Substrats (34) und einer Beschichtung (36), wobei das Substrat Stahl umfasst und die Beschichtung ein Metallnitrid umfasst, und
Aufbringen der Beschichtung auf mindestens einen Teil des Substrats unter Verwendung eines Magnetron-Sputterabscheidungsprozesses, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Diese Offenbarung betrifft Verfahren zum Herstellen von Kraftstoffsystemkomponenten und insbesondere Verfahren zum Beschichten von Kraftstoffsystemkomponenten.
  • Hintergrund
  • Verbrennungsmotoren, ob Motoren mit Kompressionszündung oder Motoren mit Funkenzündung bzw. Ottomotoren, erfordern Kraftstoffinjektionssysteme, um den Brennkammern des Motors präzise und zuverlässig Kraftstoff zuzuführen. Eine solche Präzision und Zuverlässigkeit sind erforderlich, um die Kraftstoffeffizienz zu verbessern, die Leistungsabgabe zu maximieren und unerwünschte Emissionen zu vermindern.
  • Im Allgemeinen umfassen Kraftstoffinjektionssysteme eine Kraftstoffpumpe und einen oder mehrere Kraftstoffinjektor(en). Die Kraftstoffpumpe führt den Injektoren Kraftstoff zu, die anschließend die Zufuhr von Kraftstoff an Zylinder des Motors und deren zeitlichen Ablauf steuern. Eine gebräuchlich verwendete Injektorgestaltung nutzt einen sich hin- und herbewegenden Kolben, um die Kraftstoffzufuhr zu einer bestimmten Brennkammer zu steuern.
  • Um den Betrieb zu verbessern, werden Hartbeschichtungen auf Komponenten von Kraftstoffsystemen aufgebracht, um einen Verschleiß zu vermindern. Wenn beispielsweise einander zugewandte Oberflächen von zwei Komponenten in Kontakt kommen, kann eine verschleißfeste Beschichtung verwendet werden, um den Komponentenverschleiß zu vermindern.
  • Herkömmlich wurde es als erwünscht erachtet, eine Beschichtung nur auf eine Oberfläche von zwei einander zugewandten Komponenten aufzubringen. Die andere der einander zugewandten Oberflächen wurde häufig aus einem blanken Metall (z. B. einem Stahlsubstrat) oder einem anderen Material hergestellt, das weicher ist als die Hartbeschichtung, die auf die zugewandte Oberfläche aufgebracht worden ist. Auf diese Weise konnte die unbeschichtete, blanke Metalloberfläche poliert werden, so dass sie sich der beschichteten Oberfläche anpasste, wodurch die Gesamtverschleißrate vermindert wurde.
  • Im Stand der Technik sind verschiedene Beschichtungsverfahren bekannt und ein Beschichtungsverfahren ist im US-Patent Nr. 4,540,596 beschrieben, das für Nimmagadda am 10. September 1985 erteilt worden ist (nachstehend „das '596 -Patent”). Das '596 -Patent stellt ein Verfahren zum Beschichten von Lageroberflächen bereit. Das Verfahren ist ein modifiziertes physikalisches Dampfabscheidungsverfahren (PVD-Verfahren), durch das eine Beschichtung bei Temperaturen aufgebracht wird, die 400°Fahrenheit (204°C) nicht übersteigen. Ein solches Niedertemperatur-Beschichtungsverfahren kann vorteilhaft sein, da das Verfahren die Substratstruktur nicht signifikant verändert oder die Wärmebehandlungen, die vorher auf das Substrat angewandt worden sind, nicht signifikant beeinflusst.
  • Obwohl das Beschichtungsverfahren des '596 -Patents für einige Anwendungen geeignete Beschichtungen bereitstellen mag, kann das Verfahren des '596 -Patents schwerwiegende Nachteile aufweisen. Beispielsweise nutzt das Verfahren einen Lichtbogen-Elektrodenabscheidungsprozess zum Aufbringen der Beschichtung. Aufgrund der mit solchen Prozessen verbundenen hohen Abscheidungsgeschwindigkeiten kann es schwierig sein, mit dem Verfahren des '596 -Patents dünnere Beschichtungen zu erzeugen. Ferner kann die Lichtbogen-Elektrodenabscheidung ein ungenauer und fehlerhafter Prozess sein, der sie für Teile mit strikten Gestaltungstoleranzen ungeeignet macht. Insbesondere können Kraftstoffsystemkomponenten, die mit einem solchen Prozess beschichtet worden sind, aufgrund eines Kraftstoffaustritts oder eines Druckverlusts versagen, der dadurch verursacht wird, dass einander zugewandte Oberflächen inakzeptabel geringe Konstruktionstoleranzen aufweisen.
  • Zusammenfassung
  • Ein erster Aspekt der vorliegenden Offenbarung umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer Kraftstoffsystemkomponente. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen eines Substrats und einer Beschichtung, wobei das Substrat Stahl umfasst und die Beschichtung ein Metallnitrid umfasst. Das Verfahren umfasst auch das Aufbringen der Beschichtung auf mindestens einen Teil des Substrats unter Verwendung eines Magnetron-Sputterabscheidungsprozesses, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200 °C durchgeführt wird.
  • Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Offenbarung umfasst eine Kraftstoffsystemanordnung mit einer ersten Komponente, die ein erstes Stahlsubstrat und eine erste Beschichtung umfasst, die auf mindestens einem Teil des ersten Stahlsubstrats angeordnet ist, wobei die erste Beschichtung ein Metallnitrid umfasst. Die Anordnung umfasst auch eine zweite Komponente, die ein zweites Stahlsubstrat und eine zweite Beschichtung umfasst, die auf mindestens einem Teil des zweiten Stahlsubstrats angeordnet ist, wobei die zweite Komponente so aufgebaut sein kann, dass sie die erste Komponente durch mindestens einen von einem Stoßkontakt und einem Gleitkontakt kontaktiert, und die zweite Beschichtung ein Metallnitrid umfasst. Mindestens eine der ersten Beschichtung und der zweiten Beschichtung kann mindestens teilweise in einem Sputtersystem unter Verwendung eines Sputterabscheidungsprozesses ausgebildet werden, der bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Querschnittsansicht eines mechanisch betätigten Einheitsinjektors gemäß einer exemplarischen Ausführungsform.
  • 2 ist eine Seitenansicht eines beschichteten Kraftstoffinjektorkolbens gemäß einer exemplarischen Ausführungsform.
  • 3 veranschaulicht eine Kraftstoffpumpenanordnung, die ein Nadelventil umfasst, gemäß einer weiteren, exemplarisch offenbarten Ausführungsform.
  • 4 ist eine Querschnittsansicht von zwei Komponenten einer Kraftstoffpumpe, die Beschichtungen auf einander zugewandten Oberflächen der Kraftstoffpumpe umfassen, gemäß einer weiteren exemplarischen Ausführungsform.
  • 5 veranschaulicht ein Temperaturprofil während eines Beschichtungsvorgangs gemäß einer exemplarischen Ausführungsform.
  • 6 ist eine Draufsicht auf ein Sputtersystem gemäß einer exemplarischen Ausführungsform.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Nachstehend wird detailliert auf die vorliegenden exemplarischen Ausführungsformen Bezug genommen, wobei Beispiele dafür in den beigefügten Zeichnungen veranschaulicht sind. Wo immer dies möglich ist, werden in allen Zeichnungen die gleichen Bezugszeichen verwendet, um die gleichen oder entsprechende Teile zu bezeichnen.
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft Kraftstoffsystemkomponenten, die verbesserte Beschichtungen umfassen, sowie Verfahren zum Herstellen dieser beschichteten Komponenten. Die Beschichtungen sind so gestaltet, dass sie die Verschleißeigenschaften einer Komponente verbessern und das Versagen eines Kraftstoffsystems verringern. Gemäß eines exemplarischen Verfahrens der vorliegenden Offenbarung können Beschichtungen auf Komponenten bei Temperaturen aufgebracht werden, die im Allgemeinen niedriger sind als Anlasstemperaturen für die Komponentensubstratmaterialien. Da höhere Substrattemperaturen Materialeigenschaften verändern können oder eine unerwünschte Formveränderung durch eine Wärmeausdehnung verursachen können, können Niedertemperatur-Beschichtungsverfahren gewünschte Eigenschaften einer Komponente einfacher bewahren als Beschichtungsverfahren bei höherer Temperatur. Kraftstoffsystemkomponenten, die bei niedrigeren Temperaturen unter Verwendung der Verfahren der vorliegenden Offenbarung beschichtet werden, können mit höheren Konstruktionstoleranzen hergestellt werden, als sie gegenwärtig unter Verwendung anderer Beschichtungstechniken erreichbar sind.
  • Die Komponenten der vorliegenden Offenbarung können jedwede Kraftstoffsystemkomponenten oder andere Maschinenkomponenten umfassen, die so aufgebaut sind, dass sie andere Komponenten kontaktieren. Beispielsweise können geeignete Kraftstoffsystemkomponenten Komponenten von Kraftstoffinjektoren oder Kraftstoffpumpen umfassen, die sich in einem Stoß- oder Gleitkontakt befinden. In einer Ausführungsform können solche Beschichtungen auf einander zugewandte Oberflächen von Komponenten aufgebracht werden, die sich in einem Stoßkontakt befinden. In anderen Ausführungsformen können Komponenten eine Bohrung und einen Kolben eines Kraftstoffinjektors umfassen, die Hartbeschichtungen auf einander zugewandten Oberflächen umfassen, die sich in einem Gleitkontakt befinden, wie es nachstehend detailliert beschrieben ist.
  • Die 1 ist eine Querschnittsansicht eines mechanisch betätigten Einheitsinjektors gemäß einer exemplarischen Ausführungsform. Wie es gezeigt ist, umfasst ein Injektor 2 einen Kraftstoffinjektorkolben 14, der sich innerhalb einer zylindrischen Bohrung 16 hin und her bewegt, um während des Betriebs der Maschine Kraftstoff mit Druck zu beaufschlagen und einzuspritzen. Wie es nachstehend detailliert beschrieben ist, können einander zugewandte Oberflächen des Kolbens 14 und der Bohrung 16 Oberflächenbeschichtungen umfassen, die so aufgebaut sind, dass sie eine verbesserte Beständigkeit gegenüber einem Verschleiß und einer Korrosion bereitstellen. Solche Beschichtungen können auch so ausgewählt werden, dass sie mit einer Anzahl verschiedener Kraftstoffe und/oder anderer Fluide, einschließlich Biodiesel, Kraftstoffe mit ultraniedrigem Schwefelgehalt, Toyu-Kraftstoff, Kraftstoffe mit niedrigem Schmiervermögen und/oder verschiedene Schmiermittel, eingesetzt werden können.
  • Wie es gezeigt ist, ist ein Kraftstoffinjektor 2 auf einem Motorblock 6 mittels einer Montageanordnung 40 montiert, die ein Klemmstück 42, das an einem Injektor 2 angebracht ist, und eine Schraube 44 umfasst, die das Klemmstück 42 an dem Motorblock 6 fixiert. Dem Kraftstoffinjektor 2 wird Kraftstoff über einen Kraftstoffzuführungskanal 4, der in dem Motorblock 6 ausgebildet ist, zugeführt, und überschüssiger Kraftstoff läuft von dem Injektor 2 über einen Kraftstoffablaufkanal 8 ab. Der Kraftstoffzuführungskanal 4 und der Kraftstoffablaufkanal 8 stehen mittels eines ringförmigen Kraftstoffhohlraums 10, der den äußeren Umfang des Kraftstoffinjektors 2 umgibt, in Fluidverbindung.
  • Der von dem Kraftstoffzuführungskanal 4 zugeführte Kraftstoff strömt periodisch zwischen Einspritzzyklen zu einer im Wesentlichen zylindrischen Kraftstoffdruckbeaufschlagungskammer 12, die im Zentrum des Kraftstoffinjektors 2 ausgebildet ist. Der Kraftstoff in der Druckbeaufschlagungskammer 12 wird durch den Kraftstoffinjektorkolben 14 periodisch mit Druck beaufschlagt, der sich innerhalb der zylindrischen Bohrung 16, die in einer zylindrischen Verlängerung 18 eines Abschnitts des Kraftstoffinjektorkörpers 20 ausgebildet ist, hin und her bewegt. Wenn der Kolben 14 durch einen Kipphebel (nicht gezeigt), der an einer Scheibe 22 angebracht ist, nach unten gedrückt wird, nimmt der Druck in der Druckbeaufschlagungskammer 12 zu. Diese Druckzunahme erhöht auch den Druck in einem Düsenhohlraum 24, der mit der Kammer 12 in Fluidverbindung steht. Wenn der Druck in dem Düsenhohlraum 24 einen Schwellenwert erreicht, führt die Kraft, die durch das Fluid ausgeübt wird, dazu, dass sich eine Düsensperre 26 öffnet, wodurch Kraftstoff in eine Brennkammer (nicht gezeigt) eingespritzt wird.
  • Die 2 ist eine Seitenansicht eines beschichteten Kraftstoffinjektorkolbens 14 gemäß einer exemplarischen Ausführungsform. Wie es gezeigt ist umfasst der Kolben 14 einen Hauptkörperabschnitt 28, einen Kolbenendabschnitt 30 und einen Beschickungsendabschnitt 32. Die verschiedenen Abschnitte des Kraftstoffinjektorkolbens 14 können aus einem Substrat 34 geformt oder durch spanende Bearbeitung gebildet werden. Ferner kann der Kolben 14 eine Beschichtung 36 umfassen, die auf mindestens einen Teil des Substrats 34 aufgebracht werden kann, um mindestens einen Teil des Kolbens 14 zu beschichten. In einigen Ausführungsformen könnte eine andere Komponente (nicht gezeigt), so aufgebaut sein, dass sie mit dem Kolben 14 in Kontakt kommt, wie z. B. eine Bohrung 16, wie sie in der 1 gezeigt ist. Die andere Komponente könnte auch mindestens teilweise mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet sein, so dass die zwei einander zugewandten Oberflächen, die einander kontaktieren, beide beschichtet sind.
  • Die 3 veranschaulicht eine Kraftstoffpumpenanordnung 50, die eine Nadelventilanordnung 52 umfasst, gemäß einer weiteren exemplarisch offenbarten Ausführungsform. Wie es gezeigt ist, umfasst die Nadelventilanordnung 52 ein sich bewegendes Ventil 56 und einen Ventilkörper 54. Ferner kontaktiert, wie es gezeigt ist, das Ventil 56 den Ventilkörper 54, so dass eine Kraftstoffströmung durch die Pumpenanordnung 50 verhindert wird. Während des Betriebs kann das Ventil 56 wiederholt und erzwungen den Ventilkörper 54 kontaktieren, wodurch ein wiederholter Stoß zwischen den einander zugewandten Oberflächen des Ventils 56 und des Ventilkörpers 54 verursacht wird. Um einen Verschleiß der sich berührenden Oberflächen des Ventils 56 und des Ventilkörpers 54 zu verhindern, können diese Oberflächen aus einer Beschichtung hergestellt sein oder eine solche umfassen, die eine Beständigkeit gegen einen Stoß- und/oder Gleitverschleiß bereitstellt.
  • Die 4 ist eine Querschnittsansicht einer Nadelventilanordnung 52 einer Kraftstoffpumpenanordnung 50, wie sie in der 3 gezeigt ist. Wie es vorstehend beschrieben worden ist, umfasst die Ventilanordnung 52 Beschichtungen 60, 60' auf einander zugewandten Oberflächen der Kraftstoffpumpenanordnungskomponenten (Ventil 56 und Ventilkörper 54). Wie es gezeigt ist, können das Ventil 56 und der Ventilkörper 54 Beschichtungsschichten 60, 60' umfassen, die auf Substratmaterialien des Ventils 56 und des Ventilkörpers 54 angeordnet sind. In einigen Ausführungsformen können die Beschichtungen 60, 60' aus harten, verschleißfesten Materialien hergestellt werden. Ferner können in einigen Ausführungsformen die Beschichtungen 60, 60' gegebenenfalls eine Bindungsschicht (nicht gezeigt) zwischen den Beschichtungen 60, 60' und Substraten umfassen.
  • Wie es angegeben worden ist, können die Beschichtungen 60, 60' harte, verschleißfeste Materialien umfassen. Solche Materialien können so ausgewählt werden, dass sie einen Verschleiß von Maschinenkomponenten verhindern, die so aufgebaut sind, dass sie einander wiederholt kontaktieren, so dass zwischen den zwei Oberflächen ein Stoß erzeugt wird. Geeignete Beschichtungsmaterialien können auch für eine oder beide der einander zugewandten Oberflächen von Komponenten ausgewählt werden, die für einen Gleitkontakt aufgebaut sind, wie z. B. Materialien, die für die Beschichtung 36 geeignet sind.
  • Die Zusammensetzung der Beschichtungen 36, 60, 60' kann aus verschiedenen geeigneten Materialien ausgewählt werden. In einigen Ausführungsformen könnten die Beschichtungen 36, 60, 60' ein Metallnitrid umfassen. Insbesondere können die Beschichtungen 36, 60, 60' mindestens ein Metallnitrid umfassen, das aus Chromnitrid, Zirkoniumnitrid, Molybdännitrid, Titan-Kohlenstoff-Nitrid oder Zirkonium-Kohlenstoff-Nitrid ausgewählt ist.
  • Ferner kann die Beschichtung 60 auf dem sich bewegenden Ventil 56 das gleiche oder ein ähnliches Material umfassen, wie es zur Erzeugung der Beschichtung 60' auf der zugewandten Oberfläche des Ventilkörpers 54 verwendet worden ist. Beispielsweise können in einer Ausführungsform die Beschichtung 60 und die Beschichtung 60' beide Metallnitrid umfassen. Insbesondere können die Beschichtung 60 und die Beschichtung 60' beide Chromnitrid umfassen.
  • Verschiedene Substrate, die zum Beschichten konfiguriert sind, können aus einer Anzahl geeigneter Materialien hergestellt werden. Beispielsweise kann das Substrat 34, der Ventilkörper 54 oder das Ventil 56 jedweden geeigneten Stahl, wie z. B. einen niedriglegierten Stahl, einen Werkzeugstahl, 52100-Stahl, 1120-Stahl, H10-Stahl oder jedwedes andere Material, das entsprechende Eigenschaften aufweist, umfassen. Geeignete Materialien können auf der Basis gewünschter physikalischer Eigenschaften (z. B. einer Verformungsbeständigkeit) und/oder des Vermögens zur Bindung an darüber liegende Beschichtungen und zur Beständigkeit gegenüber erhöhten Temperaturen, wie sie während der Beschichtungsabscheidung oder des Gebrauchs der Vorrichtung vorliegen können, ausgewählt werden.
  • In einigen Ausführungsformen können verschiedene Substrate, einschließlich des Kolbens 14, der Bohrung 16, des Ventilkörpers 54 oder des Ventils 56, einen niedriglegierten Stahl umfassen. Der Begriff niedriglegiert, wie er hier verwendet wird, ist so zu verstehen, dass er sich auf Stahlqualitäten bezieht, bei denen Elemente, die eine Härtung bzw. Härtbarkeit bewirken, wie z. B. Mangan, Chrom, Molybdän und Nickel, zusammen weniger als etwa 3,5 Gew.-% der gesamten Stahlzusammensetzung ausmachen. Ferner kann niedriglegierter Stahl aufgrund der relativ niedrigen Kosten und der hohen Zuverlässigkeit eines solchen Stahls für Kraftstoffsystemkomponenten ausgewählt werden.
  • Darüber hinaus können Materialien, die zur Bildung eines Komponentensubstrats verwendet werden, auf der Basis einer oder mehrerer Eigenschaft(en) der Beschichtungsmaterialien ausgewählt werden. Beispielsweise kann ein Substratmaterial auf der Basis der Kompatibilität eines Substratmaterials mit einem Beschichtungsmaterial ausgewählt werden. Die Kompatibilität kann auf der Reaktion auf einen Energieeintrag, der Härte, der Verschleißfestigkeit, der Wärmeausdehnung, der Haftung oder anderen physikalischen Parameter der Beschichtung oder des Substrats beruhen. In einigen Ausführungsformen können diese Beschichtungen auf ein geeignetes Substrat unter Verwendung eines Beschichtungsverfahrens aufgebracht werden, das so aufgebaut ist, dass die Kompatibilitätseigenschaften der Beschichtung und des Substrats zumindest teilweise bewahrt werden. Beispielsweise können eine Beschichtung und ein Substrat so ausgewählt werden, dass eine oder mehrere physikalische Eigenschaft(en), wie z. B. die Härte oder eine physische Abmessung, im Wesentlichen beibehalten werden. Solche Komponenten können vor und nach einem Beschichtungsverfahren im Allgemeinen ähnliche physikalische Eigenschaften aufweisen.
  • Wie es beschrieben worden ist, kann abhängig von der vorgesehenen Anwendung und Umgebung des Kraftstoffinjektors oder der Kraftstoffpumpenkomponente 52 eine Bindungsschicht (nicht gezeigt) auf das Substrat aufgebracht werden, bevor die Beschichtungen 36, 60, 60' aufgebracht werden. Beispielsweise können geeignete Bindungsschichten eine Schicht aus Chrom oder eine andere geeignete Metallschicht umfassen, die auf das Substrat des Kolbens 14, der Bohrung 16, des Ventils 56 oder des Ventilkörpers 54 aufgebracht wird, um eine verbesserte Haftung der Beschichtungen 36, 60, 60' bereitzustellen. Wenn es verwendet wird, kann das optionale Bindungsschichtmaterial unter Verwendung eines Abscheidungsprozesses aufgebracht werden, so dass eine Schicht mit einer Dicke von im Allgemeinen zwischen etwa 0,05 Mikrometer und etwa 0,5 Mikrometer erhalten wird. Ferner sollte die Dicke der Beschichtungen 36, 60, 60' auf dem Kolben 14, der Bohrung 16, dem Ventil 56 oder dem Ventilkörper 54 ziemlich einheitlich sein, und zwar gemessen bei einer Probe der Kraftstoffsystemkomponenten mit dem Kugeleindrucktest an einer Mehrzahl von Stellen auf den Komponenten. Alternativ kann eine einheitliche Beschichtungsdicke unter Verwendung von Rasterelektronenmikroskopiemessungen mit einer Probe von ausgewählten Querschnitten der Kraftstoffpumpenkomponenten oder durch die Verwendung von Röntgenfluoreszenz gezeigt werden.
  • Die Beschichtungen 36, 60, 60' können einen Bereich geeigneter Dicken aufweisen. Beispielsweise können diese Beschichtungen im Allgemeinen eine Dicke von nicht mehr als etwa 5,0 Mikrometer aufweisen und allgemein zwischen etwa 0,5 Mikrometer und etwa 1,7 Mikrometer oder zwischen etwa 0,5 Mikrometer und etwa 1,0 Mikrometer dick sein.
  • Die Steuerung bzw. Einstellung einiger oder aller physikalischer Eigenschaften der Beschichtungen 36, 60, 60' und der beschichteten Komponentensubstrate, die von der Dicke verschieden sind, kann auch relevant sein, um eine sehr zuverlässige und wirtschaftliche Komponente herzustellen. Beispielsweise sind die Beschichtungshaftung, die Beschichtungshärte, die Substrathärte, die Oberflächentextur, die Wärmeausdehnung und die Reibungskoeffizienten einige der physikalischen Eigenschaften, die überwacht und gesteuert bzw. eingestellt werden können, um Komponenten mit gewünschten physikalischen Eigenschaften herzustellen. Komponenten, die spezifische Eigenschaften erfordern, können bestimmte Arten von Beschichtungsverfahren erfordern, da nicht alle Verfahren eine hochqualitative Beschichtung erzeugen können und gewünschte Substrateigenschaften bewahren.
  • Die 5 veranschaulicht ein Beschichtungserzeugungsverfahren 102 gemäß einer exemplarischen Ausführungsform. In einigen Ausführungsformen kann das Beschichtungserzeugungsverfahren 102 auf eine oder mehrere Kraftstoffsystemkomponente(n), wie z. B. ein Steuerventil, angewandt werden. Insbesondere kann das Beschichtungsverfahren 102 auf eine oder mehrere Oberfläche(n) des Kraftstoffinjektorkolbens 14, der Kraftstoffinjektorbohrung 16, des Ventilkörpers 54 oder des Nadelventils 56 angewandt werden.
  • Gemäß der 5 umfasst das Beschichtungserzeugungsverfahren 102 Temperaturen von im Allgemeinen weniger als 200°C. Wenn solche Temperaturen allgemein unterhalb der Anlasstemperatur eines Substrats gehalten werden können, können mechanische Eigenschaften, die durch eine Wärmebehandlung oder eine andere thermische Verarbeitung vor dem Beschichtungserzeugungsverfahren 102 erzeugt worden sind, bewahrt werden. Während hohe Beschichtungstemperaturen, die herkömmlich mit einigen Beschichtungsverfahren einhergehen, gewünschte physikalische Eigenschaften des Substratmaterials verschlechtern oder das Substrat verformen können, kann eine Niedertemperatur-Beschichtung bei der Bewahrung von gewünschten physikalischen Eigenschaften unterstützen, die vor dem Beschichten des Substrats erreicht worden sind, oder sie kann eine thermische Verformung des Substrats vermindern. In einigen Ausführungsformen kann das Beschichtungserzeugungsverfahren 102 Temperaturen von mehr als 200°C umfassen. Solche Temperaturen sind gegebenenfalls möglich, wenn sie für relativ kurze Zeiträume aufrechterhalten werden, oder wenn solche höheren Temperaturen Materialeigenschaften oder eine im Vorhinein angewandte Wärmebehandlung nicht signifikant beeinflussen.
  • Vor dem Beschichtungsverfahren 102 können ein Substrat und Beschichtungsmaterialien ausgewählt werden, die kompatibel sind, wie es vorstehend beschrieben worden ist. Das Substratmaterial kann dann in einer Form hergestellt werden, die so aufgebaut ist, dass sie mit einer anderen Komponente in Kontakt kommt, wobei die andere Komponente beschichtet oder unbeschichtet sein kann. Das Inkontaktkommen kann ein Gleiten oder einen Stoß von einander zugewandten Komponentenoberflächen umfassen. Ferner können verschiedene andere Herstellungsprozesse auf das Substratmaterial oder das geformte Substrat vor dem Beschichtungsverfahren 102 angewandt werden. Beispielsweise kann ein Reinigen des Substrats durch eine Anzahl herkömmlicher Verfahren erreicht werden, wie z. B. Entfetten, Sandstrahlen, Ätzen, chemisch unterstützte Vibrationstechniken, Ultraschallreinigen mit einer alkalischen Lösung und dergleichen. Das Reinigen könnte auch einen Überprüfungsschritt umfassen, um eine geeignete Reinigung zu bestätigen.
  • Das Beschichtungsverfahren 102 kann eine(n) oder mehrere Phasen oder Teilprozesse umfassen. Wie es in der 5 gezeigt ist, kann das Beschichtungsverfahren 102 einen Vorwärmprozess 104, einen Targetreinigungsprozess 106, einen Erwärmungsprozess 108, einen Plasmaätzprozess 110 und einen Beschichtungsprozess 112 umfassen. In anderen Ausführungsformen kann das Beschichtungsverfahren 102 weniger Prozesse, wiederholte Prozesse oder andere Prozesse umfassen, die vor, nach oder während des Beschichtungsprozesses 112 eingesetzt werden.
  • Der Vorwärmprozess 104 kann zu Beginn ein Erwärmen einer Komponente, wie z. B. eines Substrats 34, auf einen ausgewählten Temperaturbereich umfassen, um die Temperatur einer Komponente zur Vorbereitung des Beschichtungsprozesses 112 zu erhöhen, oder um bei der Entfernung von Oberflächenverschmutzungen zu unterstützen. Das Beschichtungsverfahren 102 kann auch einen oder mehrere Erwärmungsprozess(e) 108 oder Kühlprozesse (nicht gezeigt) umfassen, um die Komponententemperatur oder die Umgebungstemperatur zu steuern bzw. einzustellen, wie es nachstehend detailliert beschrieben ist. Eine solche gesteuerte Wärmebehandlung kann dabei unterstützen, unerwünschte Veränderungen der Substratabmessungen während des Beschichtungsverfahrens 102 zu vermindern.
  • Der Targetreinigungsprozess 106 kann jedweden Prozess umfassen, der so gestaltet ist, dass er ein Sputtertarget zumindest teilweise reinigt. Der Reinigungsprozess 106 kann jedwede Anzahl von Schritten umfassen und einige Schritte können mehrmals wiederholt werden, um ein geeignetes Reinigen zu erreichen.
  • Das Beschichtungsverfahren 102 kann auch einen oder mehrere Oberflächenbehandlungsprozess(e) bei verschiedenen Stufen des Komponentenbeschichtens umfassen. Oberflächenbehandlungen können durchgeführt werden, um die Beschichtungshaftung zu verstärken oder um die Beschichtungsstruktur zu beeinflussen. Beispielsweise kann eine sehr glatte Substratoberfläche durch einen Schleifprozess oder durch Ionenätzen der Oberfläche unter Verwendung von Argon erzeugt werden. In einigen Ausführungsformen kann ein Plasmaätzprozess 110 eingesetzt werden, bei dem eine Substratoberfläche mit einem Hochgeschwindigkeitsplasmastrahl beschossen wird (gepulst). Vor dem Beschichtungsprozess 112 können auch andere entsprechende Verfahren angewandt werden.
  • Der Beschichtungsprozess 112 kann jedweden geeigneten Sputterabscheidungsprozess umfassen, wie z. B. ein Magnetronsputtern. In einigen Ausführungsformen kann der Beschichtungsprozess 112 im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt werden. In anderen Ausführungsformen kann, wie es in der 5 gezeigt ist, der Beschichtungsprozess 112 im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 160°C durchgeführt werden. Ferner können Hybridverfahren eingesetzt werden, durch die mindestens ein Teil der Beschichtung unter Verwendung eines Sputterabscheidungsprozesses aufgebracht wird, der bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird.
  • Geeignete Sputterprozesse umfassen im Allgemeinen das Beschießen eines Targetmaterials mit energetischen Ionen üblicherweise eines Inertgases, wie z. B. Argon. Atome in dem Targetmaterial werden dann aufgrund des Beschießens in die Gasphase ausgestoßen. Diese Atome werden dann in Richtung eines Substrats beschleunigt und kleine Mengen des Targetmaterials werden auf einer Substratoberfläche abgeschieden.
  • Sputterquellen können Magnetrone umfassen, die starke elektrische und magnetische Felder nutzen, um Elektronen nahe an der Oberfläche des Magnetrontargets einzufangen. Magnetrone erfordern im Allgemeinen ein relativ hohes Niveau an Substrat-Ionenbeschießung, das durch Erhöhen der an das Target abgegebenen Leistung oder durch Vermindern des Abstands zu dem Target erreicht werden kann. In einigen Ausführungsformen kann der Beschichtungsprozess 112 auch ein unausgeglichenes („unbalanced”) Magnetronsputtern umfassen.
  • Die 6 ist eine Draufsicht auf ein Sputtersystem 150 gemäß einer exemplarischen Ausführungsform. In einigen Ausführungsformen kann das Sputtersystem 150 ein unausgeglichenes Magnetronsputtersystem (UBMS-System) 152 umfassen. Ein UBMS-System 152 kann eine Beschichtungskammer 154, einen Substrattisch 156, ein oder mehrere Sputtertarget(s) 158, eine Mehrzahl von unausgeglichenen Magnetronen 160, einen Magnetronmagnet 161, eine Plasmaquelle 162, ein oder mehrere Heizelement(e) 164, eine Gaszuführung 166 und eine Inertgaszuführung 168 umfassen.
  • Die Beschichtungskammer 154 kann jedwede geeignete Vakuumkammer umfassen, die so aufgebaut ist, dass sie mit einem UBMS-Beschichtungsprozess zusammenwirkt. Die Beschichtungskammer 154 kann ferner so aufgebaut sein, dass darin ein Substrattisch 156 untergebracht ist, der so aufgebaut ist, dass er eine oder mehrere zu beschichtende Komponente(n) (nicht gezeigt) hält. In einigen Ausführungsformen kann sich der Substrattisch 156 drehen oder sich relativ zu einem oder mehreren Sputtertarget(s) 158 bewegen.
  • Die Sputtertargets 158 können jedwedes geeignete Material umfassen, das mit dem Sputtersystem 150 eingesetzt werden kann, wie z. B. ein Material, das Chrom enthält. Verschiedene Materialien können auf der Basis der spezifischen Anforderungen des Sputterprozesses, des zu beschichtenden Substrats oder des Beschichtungsmaterials ausgewählt werden. Die Sputtertargets 158 werden üblicherweise angrenzend an die unausgeglichenen Magnetrone 160 angeordnet. Die unausgeglichenen Magnetfelder, die durch die Magnetrone 160 erzeugt werden, verursachen eine Ausdehnung des Plasmas weg von der Oberfläche des Targets 158 in Richtung des Substrattischs 156 und des zu beschichtenden Substrats (nicht gezeigt).
  • In einigen Ausführungsformen können Magnetronmagnete 161 mit benachbarten alternierenden Polen angeordnet werden, was zu verbundenen oder geschlossenen Feldlinien zwischen verschiedenen Magnetronen 160 führt. Diese Feldlinien können ein Austreten von Elektronen zu den Wänden der Kammer 154 verhindern, was zu höheren Ionenstromdichten und härteren, gut haftenden Beschichtungen führt. Geeignete UBMS-Systeme werden von TEER Coatings Ltd. (Worcester, Vereinigtes Königreich) hergestellt.
  • Das UBMS-System 152 kann auch eine Plasmaquelle 162 umfassen, die so konfiguriert ist, dass sie eine Quelle für ein Plasma bereitstellt. Das Heizelement 164 kann so aufgebaut sein, dass die Kammer 154 auf jedwede geeignete Temperatur erwärmt wird, wie z. B. auf das Temperaturprofil 100, wie es in der 5 gezeigt ist. Das UBMS-System 152 kann ferner eine oder mehrere Gaszuführung(en) umfassen. Wie es in der 6 gezeigt ist, stehen die Gaszuführung 166 und die Inertgaszuführung 168 mit der Kammer 154 in Fluidverbindung. Beispielsweise könnte die Gaszuführung 166 eine Argongaszuführung umfassen und die Inertgaszuführung 168 könnte eine Stickstoffgaszuführung umfassen. Die Gaszuführungen 166, 168 können jeweils Ventile (nicht gezeigt) oder andere Vorrichtungen (nicht gezeigt) umfassen, die so aufgebaut sind, dass sie den Gasstrom in die Kammer 154 unabhängig steuern.
  • Zum Bilden einer Beschichtung mit einer geeigneten Qualität können Parameter im Zusammenhang mit einem Sputterabscheidungsprozess auf der Basis der Art des Substratmaterials oder der Betriebsanforderungen der Kraftstoffsystemkomponente ausgewählt werden. Einige Substrate können durch erhöhte Temperaturen beeinflusst werden und der Beschichtungsprozess 112 kann so ausgewählt werden, dass negative Effekte des Prozesses auf ausgewählte Substrate minimiert werden, z. B. durch Beschränken der Prozesstemperatur oder der Beschichtungszeit. Sputterprozesse können so ausgewählt werden, dass Chromnitrid(CrN)-Beschichtungen erzeugt werden, und geeignete Prozesse können so ausgewählt werden, dass Temperaturen unter 160°C gehalten werden, um Abmessungsänderungen in darunter liegenden Substraten oder einen Verlust an gewünschten mechanischen Eigenschaften zu vermindern.
  • Im Allgemeinen können mehrere Parameter im Zusammenhang mit dem Betrieb des UBMS-Systems 152 den Beschichtungsprozess 112 beeinflussen. Insbesondere können spezielle „Vorgaben” von Parametereinstellungen verwendet werden, um beschichtete Komponenten mit bestimmten Eigenschaften herzustellen. In einigen Ausführungsformen kann die Beschichtungsqualität durch den Gasdruck, die Magnetronstärke und die Substratvorspannung beeinflusst werden. Verschiedene Vorgaben oder Parametereinstellungen in Verbindung mit dem UBMS-System 152 können abgestimmt werden, so dass Komponenteneigenschaften, wie z. B. die Härte, der Young'sche Modul, die Sprödigkeit, die Verschleißfestigkeit oder die Reibungskoeffizienten, optimiert werden. Die Steuerung des Gasdrucks, der Magnetronstärke oder der Substratvorspannung kann die Plasmaeigenschaften des Beschichtungsprozesses beeinflussen und folglich die Beschichtungsabscheidungsgeschwindigkeit, die chemische Abscheidung und die Materialmikrostruktur so beeinflussen, dass die mechanischen und tribologischen Eigenschaften des beschichteten Produkts variiert werden.
  • Geeignete Vorgaben zur Verwendung mit dem UBMS-System 152 können auch durch das Substratmaterial und die allgemeine Temperatur beeinflusst werden, die während des Beschichtungsprozesses 112 aufrechterhalten wird. Beispielsweise kann eine CrN-Beschichtung auf einem Stahlsubstrat gebildet werden, wenn der Beschichtungsprozess 112 im Allgemeinen bei einer Temperatur von weniger als etwa 160°C durchgeführt wird und wenn das System 152 einen Gasdruck von etwa 3 × 10–3 mbar, einen Stickstoffpartialdruck von etwa 3 × 10–5 mbar, eine Kathodenleistungsdichte von etwa 1 bis 3 W/cm2, eine Substratvorspannung von etwa 100 bis 150 Volt aufweist und der Beschichtungsprozess 112 für etwa 4 bis 8 Stunden aufrechterhalten wird. Eine solche Vorgabe kann zu einer harten CrN-Beschichtung mit einer Dicke von etwa 1 bis 2 μm und einer Nanohärte von etwa 20 GPa führen, während die Wärmeausdehnung des Substrats bis zu Konstruktionstoleranzen von weniger als etwa 1 μm aufrechterhalten wird.
  • Die Steuerung von mindestens einigen der physikalischen oder chemischen Eigenschaften der Beschichtung oder des Substrats, die von der Dicke verschieden sind, können zur Erzeugung einer sehr zuverlässigen und wirtschaftlichen Komponente ebenfalls relevant sein. Beispielsweise sind die Beschichtungshaftung, die Beschichtungshärte, die Substrathärte, die Oberflächentextur und die Reibungskoeffizienten einige der physikalischen Eigenschaften, die überwacht und gesteuert werden können, um gewünschte Kraftstoffinjektorkomponenten zu erzeugen. Ferner können verschiedene Anwendungen verschiedene physikalische oder chemische Eigenschaften erfordern.
  • Wie es vorstehend angegeben worden ist, sollte jedwede gebildete Beschichtung im Allgemeinen frei von Oberflächendefekten sein. Ferner kann die Beschichtung abhängig von der vorgesehenen Verwendung der Komponente spezifischen Oberflächentexturbewertungen oder Oberflächentexturmessungen unterzogen werden. Beispielsweise können Oberflächendefekte im Allgemeinen bei einer Probe von beschichteten Substraten durch die Untersuchung einer Mehrzahl von Punkten auf der Oberfläche der Proben bei einer etwa hundertfachen Vergrößerung festgestellt werden. Die Oberflächenuntersuchungen können mit verschiedenen Klassifizierungsstandards verglichen werden, um sicherzustellen, dass die Beschichtung im Wesentlichen frei von Oberflächendefekten ist. Darüber hinaus sollte die Beschichtung im Allgemeinen am ausgewählten Substratmaterial haften. Die Beschichtungshaftung kann für eine gegebene Anzahl von Kraftstoffsystemkomponenten z. B. unter Verwendung von Standard-Härtetests (z. B. Rockwell C-Härtemessungen) bewertet werden, bei denen Aufprallstellen auf Komponentenoberflächen untersucht und mit verschiedenen Haftungsklassifizierungsstandards verglichen werden.
  • Schließlich sollte beachtet werden, dass die offenbarten Beschichtungen mit jedweden Maschinenkomponenten verwendet werden können, die einem wiederholten Stoß- und/oder Gleitkontakt ausgesetzt sind, obwohl die offenbarten Beschichtungen zur Verwendung mit einem Kolben 14, einer Bohrung 16, einem Ventilkörper 54 und einem Nadelventil 56 beschrieben sind. Ferner können solche Beschichtungen mit jedweden Maschinenkomponenten verwendet werden, die diesen Formen von Verschleiß in der Gegenwart von verschiedenen Kohlenwasserstoffkraftstoffen oder Kraftstoffadditiven unterliegen. Beispielsweise können solche Komponenten jedwede Ventile oder andere Komponenten umfassen, die in Kraftstoffpumpen, Kraftstoffinjektoren oder anderen Motoren- bzw. Maschinenkomponenten eingesetzt werden, die einem Verschleiß unterliegen können.
  • Gewerbliche Anwendbarkeit
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft ein Niedertemperatur-Beschichtungsverfahren für Kraftstoffsystemkomponenten. Eine solche Niedertemperaturverarbeitung kann bei der Bewahrung von Materialeigenschaften unterstützen, die durch vorhergehende Wärmebehandlungen erzeugt wurden, die auf die Komponenten angewandt worden sind, wodurch die Verschleißfestigkeit verbessert und Ausfallraten vermindert werden. Die Komponente kann ein Substrat und eine auf dem Substrat abgeschiedene Beschichtung umfassen. Die Beschichtung kann eine Anzahl geeigneter harter Materialien umfassen, wie z. B. ein Metallnitridmaterial. In einigen Ausführungsformen kann eine Beschichtung aus Chromnitrid auf ein Stahlsubstrat aufgebracht werden.
  • Das Niedertemperatur-Beschichtungsverfahren kann jedwede geeignete Sputterabscheidungstechnik umfassen, wie z. B. ein Magnetronsputtern oder ein unausgeglichenes Magnetronsputtern. Vor dem Beschichten kann ein Substratmaterial je nach Erfordernis gereinigt, erwärmt und/oder oberflächenbehandelt werden. Während eines Beschichtungsprozesses kann das Substrat beschichtet werden, während die Temperatur unter etwa 200°C bleibt. In einigen Ausführungsformen kann die Beschichtungstemperatur etwa 160°C betragen. Ferner kann eine oder können beide der einander zugewandten Oberflächen von zwei Komponenten unter Verwendung eines solchen Beschichtungsprozesses beschichtet werden. Wie es vorstehend angegeben worden ist, können Komponenten, die sich in einem Gleitkontakt oder einem Stoßkontakt befinden und bei denen beide einander zugewandten Oberflächen beschichtet sind, verglichen mit dem Fall, bei dem nur eine Oberfläche beschichtet ist, einen signifikant verminderten Komponentenverschleiß zeigen.
  • Bestimmte Parameter des Abscheidungssystems können so modifiziert werden, dass die Bildung einer harten, dünnen Beschichtung auf mindestens einem Teil eines Komponentensubstrats ermöglicht wird, wie es vorstehend beschrieben worden ist. Bestimmte Vorgaben für den Betrieb von Sputtersystemen können Komponenten mit signifikant verbesserten physikalischen Eigenschaften erzeugen. Beispielsweise kann eine Kraftstoffsystemkomponente mit einer Beschichtung mit einer Dicke zwischen 0,05 μm und 2 μm teilweise beschichtet werden. Die Verwendung der Beschichtungen der vorliegenden Offenbarung auf einander zugewandten Oberflächen kann in der Gegenwart herkömmlicher Motorenkraftstoffe, jedoch auch in der Gegenwart alternativer Kraftstoffe, wie z. B. Kraftstoffen mit niedrigem Schmiervermögen, Caterpillar-Kraftstoffen, Biodiesel, Toyu-Kraftstoffen, JP8 und K1-Kraftstoff, niedrige Komponentenverschleißraten bereitstellen.
  • Für Fachleute ist offensichtlich, dass verschiedene Modifikationen und Variationen an den offenbarten Systemen und Verfahren vorgenommen werden können, ohne vom Schutzbereich der Offenbarung abzuweichen. Andere Ausführungsformen der offenbarten Systeme und Verfahren sind für Fachleute in Anbetracht der Beschreibung und bei Ausführung der hier offenbarten Ausführungsformen offensichtlich. Die Beschreibung und die Beispiele sollen lediglich als exemplarisch aufgefasst werden, wobei der tatsächliche Schutzbereich der Offenbarung durch die folgenden Ansprüche und deren Äquivalente festgelegt ist.
  • Zusammenfassung
  • VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON KRAFTSTOFFSYSTEMKOMPONENTEN
  • Die vorliegende Offenbarung umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer Kraftstoffsystemkomponente. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen eines Substrats (34) und einer Beschichtung (36), wobei das Substrat Stahl umfasst und die Beschichtung ein Metallnitrid umfasst. Das Verfahren umfasst auch das Aufbringen der Beschichtung auf mindestens einen Teil des Substrats unter Verwendung eines Magnetron-Sputterabscheidungsprozesses, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200 °C durchgeführt wird.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - US 4540596 [0006, 0006, 0006, 0007, 0007, 0007]

Claims (10)

  1. Verfahren zum Beschichten einer Kraftstoffsystemkomponente, umfassend: Auswählen eines Substrats (34) und einer Beschichtung (36), wobei das Substrat Stahl umfasst und die Beschichtung ein Metallnitrid umfasst, und Aufbringen der Beschichtung auf mindestens einen Teil des Substrats unter Verwendung eines Magnetron-Sputterabscheidungsprozesses, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Abscheidungsprozess im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 160°C durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Abscheidungsprozess das Bereitstellen eines Gasdrucks von etwa 3 × 10–3 mbar und eines Stickstoffpartialdrucks von etwa 3 × 10–5 mbar umfasst.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Abscheidungsprozess das Bereitstellen einer Kathodenleistungsdichte in einem Bereich zwischen etwa 1 W/cm2 und etwa 3 W/cm2 umfasst.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Abscheidungsprozess das Bereitstellen einer Substratvorspannung in einem Bereich zwischen etwa 100 Volt und etwa 150 Volt umfasst.
  6. Kraftstoffsystemanordnung, umfassend: eine erste Komponente, die ein erstes Stahlsubstrat (34) und eine erste Beschichtung (36) umfasst, die auf mindestens einem Teil des ersten Stahlsubstrats angeordnet ist, wobei die erste Beschichtung ein erstes Metallnitrid umfasst, eine zweite Komponente, die ein zweites Stahlsubstrat und eine zweite Beschichtung umfasst, die auf mindestens einem Teil des zweiten Stahlsubstrats angeordnet ist, wobei die zweite Komponente so aufgebaut ist, dass sie die erste Komponente in mindestens einem von einem Stoßkontakt und einem Gleitkontakt kontaktiert, und die zweite Beschichtung ein zweites Metallnitrid umfasst, und mindestens eine der ersten Beschichtung und der zweiten Beschichtung mindestens teilweise in einem Sputtersystem (152) unter Verwendung eines Sputterabscheidungsprozesses gebildet wird, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird.
  7. Kraftstoffsystemanordnung nach Anspruch 6, bei der mindestens eines des ersten und des zweiten Metallnitrids ein Material umfasst, das aus der Gruppe, bestehend aus Chromnitrid, Zirkoniumnitrid, Molybdännitrid, Titan-Kohlenstoff-Nitrid und Zirkonium-Kohlenstoff-Nitrid, ausgewählt ist.
  8. Kraftstoffsystemanordnung nach Anspruch 6, bei der mindestens eines des ersten Stahlsubstrats und des zweiten Stahlsubstrats ein Material umfasst, das aus der Gruppe, bestehend aus niedriglegiertem Stahl, Werkzeugstahl, 52100-Stahl, 1120-Stahl und H10-Stahl, ausgewählt ist.
  9. Kraftstoffsystemanordnung nach Anspruch 6, bei welcher der Abscheidungsprozess mindestens eines von Magnetronsputtern und unausgeglichenem Magnetronsputtern umfasst.
  10. Kraftstoffsystemanordnung nach Anspruch 6, bei der mindestens eines des ersten Stahlsubstrats und des zweiten Stahlsubstrats ferner mit einem Beschichtungsprozess behandelt wird, der im Wesentlichen bei einer Temperatur von weniger als etwa 200°C durchgeführt wird, wobei der Beschichtungsprozess aus der Gruppe, bestehend aus einem Vorwärmprozess, einem Erwärmungsprozess und einem Plasmaätzprozess, ausgewählt ist.
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