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[TECHNISCHES GEBIET]
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Testgerät.
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[STAND DER TECHNIK]
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Es
wird eine serielle Datenübertragung dazu verwendet, um
Daten zwischen Halbleiterschaltungen über vergleichsweise
wenige Datenübertragungsleitungen zu übertragen
und zu empfangen. Eine Takt- und Datenwiederherstellung (CDR) oder Quellen-Synchrontaktung
wird bei der seriellen Datenübertragung verwendet. Bei
der CDR wird eine 8B10B-Enkodierung oder 4B5B-Enkodierung dazu verwendet,
um serielle Daten derart zu enkodieren, so dass die Daten für
eine vorbestimmte Zeitperiode oder darüber hinaus kontinuierlich
den gleichen Wert beibehalten. In den seriellen Daten ist ein Takt
zur Synchronisierung eingebettet.
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Beim
Testen einer Halbleiterschaltung, welche dazu entworfen ist, als
eine unter Test stehende Vorrichtung (DUT) serielle Daten auszugeben,
ist eine CDR-Schaltung an der Eingangsstufe von einem Halbleiter-Testgerät
bereitgestellt (welches manchmal auch lediglich als ein Testgerät
bezeichnet wird). Die CDR-Schaltung extrahiert aus den se riellen
Daten ein Referenz-Taktsignal. Die Schaltung erzeugt ein Stroboskopsignal,
basierend auf dem somit extrahierten Taktsignal und rastet (engl.:
latches) die Bitdaten der seriellen Daten demgemäß ein.
Das Testgerät vergleicht die wiederhergestellten Daten mit
extrahierten Werten, welche die Daten annehmen sollten, um somit
zu bestimmen, ob die DUT fehlerhaft ist oder nicht. Patentdokumente
1 und 2 beschreiben eine zugehörige Technologie.
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Beispielsweise
beschreibt Patentdokument 2 eine CDR-Schaltung, bei welcher ein
Phasenregelkreis (PLL) verwendet wird. Bei dieser Schaltung wird die
Oszillationsfrequenz eines spannungsgesteuerten Oszillators derart
geregelt, so dass die Phase eines Taktsignals, welches die seriellen
Daten begleitet, mit der Phase des Stroboskopsignals, welches basierend
auf dem Taktsignal erzeugt wird, übereinstimmt. Daraus
folgend kann die Phase des Stroboskopsignals derart eingestellt
werden, so dass sie die Schwankung der seriellen Daten nachführt.
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Bei
einem der Verfahren zum Testen einer DUT wird ein Toleranztest durchgeführt,
bei welchem eine Zeitvorgabentoleranz oder eine Amplitudentoleranz
getestet wird. Mit anderen Worten wird die Phase des Stroboskopsignals,
welche durch die CDR wiederhergestellt ist, in vorbestimmten Stufen
graduell verschoben, wenn die seriellen Daten von der DUT eingerastet
(eingefangen) werden. Eine Bestimmung hinsichtlich eines Bestehens
oder eines Nicht-Bestehens wird für jede Phase vorgenommen. Alternativ
wird die Schwellwertspannung zur Bestimmung des Pegels (0 oder 1)
der seriellen Daten zwischen einer Mehrzahl von Pegeln geändert,
wenn die seriellen Daten von der DUT eingerastet (eingefangen) werden.
Eine Bestimmung hinsichtlich eines Bestehens oder eines Nicht-Bestehens
wird für jeden Pegel vorgenommen. Bei der Durchführung
von Toleranztests unter Verwendung einer Mehrzahl von Parametern
(beispielsweise Kombinationen von einer Zeitvorgabe und einer Amplitude)
kann ein Shmoo-Plot, bei welchem das Bestehen und Nicht-Bestehen
aufgezeichnet wird, für jede der Kombinationen von Parametern,
welche als eine Matrix organisiert sind, erzeugt werden.
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Wenn
die Zeitvorgabe der Ausgabe der seriellen Daten von der DUT temporär
schwankt, nimmt die Hunt-Funktion einen Vorteil daraus. Die Hunt-Funktion
identifiziert die Zeitvorgabe der Datenausgabe aus der DUT, indem
ein vorbestimmtes Muster zu Beginn der seriellen Daten eingebettet wird
und das vorbestimmte Muster im Testgerät erfasst wird.
Nach einem Identifizieren der Kopf-Position in den seriellen Daten
unter Verwendung der Hunt-Funktion beginnt das Testgerät
mit einem Vergleichen der seriellen Daten mit dem erwarteten Wertmuster
(siehe Patentdokument Nr. 3).
- [Patentdokument
Nr. 1] JP H2-62983
- [Patentdokument Nr. 2] JP
2007-17257
- [Patentdokument Nr. 3] JP
2006-3216
- [Patentdokument Nr. 4] JP
2008-28628
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[BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG]
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[Das durch die Erfindung zu lösende
Problem]
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Es
wird angenommen, dass der zuvor genannte Toleranztest in einem Testgerät
durchgeführt wird, welches mit der Hunt-Funktion bereitgestellt
ist. In diesem Fall kann die Hunt-Funktion aufgrund des Versagens
zum korrekten Einfangen des Kopf-Musters, wenn sich die Zeitvorgabe
zum Einfangen von Daten oder die Schwellwertspannung zur Pegelbestimmung
in einem Toleranztest ändert, nicht korrekt arbeiten. Ein
Versagen zur korrekten Identifizierung der Position des Kopfmusters
führt zu einem Versatz zwischen dem Zyklus von seriellen
Daten von der DUT und dessen des erwarteten Wertmusters, welches
es unmöglich gestaltet, eine korrekte Bestimmung hinsichtlich
eines Bestehens oder eines Nicht-Bestehens abzugeben. Ein solches
Problem kann ebenfalls beim Durchführen eines Tests, welcher
sich von einem Toleranztest unterscheidet, verursacht werden.
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Die
vorliegende Erfindung ist auf das Problem gerichtet und dient dazu,
ein Testgerät bereitzustellen, welches dazu in der Lage
ist, verschiedene Tests durchzuführen, während
es ebenfalls einen Hunt-Prozess durchführt.
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[MITTEL ZUM LÖSEN DES PROBLEMS]
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Eine
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht sich
auf ein Testgerät zum Testen von Daten in einer Mehrzahl
von Kanälen, welche eine Ausgabe von einer zu testenden
Vorrichtung sind. Die Kanäle des Testgerätes sind
paarweise organisiert, wobei jedes zwei angrenzende Kanäle
enthält. Jedes Paar enthält den ersten Kanal und
den zweiten Kanal. Der erste Kanal enthält: einen ersten
Zeitvorgabe-Komparator, welcher dazu ausgelegt ist, den Pegel von
ersten Ausgabedaten zu bestimmen, welche aus der zu testenden Vorrichtung
an den ersten Kanal zugeführt sind, welche gemäß eines
ersten Stroboskopsignals getaktet sind; einen ersten Takt-Einhüllende-Extraktor,
welcher dazu ausgelegt ist, eine Einhüllende eines Taktes
aus den ersten Ausgabedaten zu extrahieren; eine erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, das erste Stroboskopsignal mit Bezug
auf die Einhüllende des Taktes, welche durch den ersten Takt-Einhüllende-Extraktor
extrahiert ist, wiederherzustellen; eine erste Haupt-Einrast-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, eine Ausgabe von dem ersten Zeitvorgabe-Komparator,
welcher gemäß dem ersten Stroboskopsignal getaktet
ist, einzurasten; eine erste Neben-Einrast-Schaltung, welche dazu
ausgelegt ist, die Einhüllende des Taktes, welche durch
den ersten Takt-Einhüllende-Extraktor extrahiert ist, welcher
gemäß dem ersten Stroboskopsignal getaktet ist,
einzurasten; eine erste Hunt-Schaltung, welche dazu ausgelegt ist,
eine Ausgabe von der ersten Haupt-Einrast-Schaltung mit einem vorbestimmten
Kopfmuster zu vergleichen; und eine erste Erwartungswert-Vergleichseinheit,
welche dazu ausgelegt ist, die Ausgabe von der ersten Haupt-Einrast-Schaltung
mit einem vorbestimmten Erwartungswertmuster in Ansprechen auf die
Erfassung durch die erste Hunt-Schaltung zu vergleichen, dass die
Ausgabe von der ersten Haupt-Einrast-Schaltung mit dem Kopfmuster übereinstimmt.
Der zweite Kanal enthält: einen zweiten Zeitvorgabe-Komparator,
welcher dazu ausgelegt ist, den Pegel von zweiten Ausgabedaten,
welche von der zu testenden Vorrichtung dem zweiten Kanal zugeführt
werden, welche gemäß eines zweiten Stroboskopsignals
getaktet sind, zu bestimmen; einen zweiten Takt-Einhüllende-Extraktor,
welcher dazu ausgelegt ist, eine Einhüllende von einem
Takt von den zweiten Ausgabedaten zu extrahieren; eine zweite Takt-Wiederherstellungs-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, das zweite Stroboskopsignal mit Bezug
auf die Einhüllende des Taktes, welche durch den zweiten
Takt-Einhüllende-Extraktor extrahiert ist, wiederherzustellen;
eine erste Verzögerungsschaltung, welche dazu ausgelegt
ist, auf das erste Stroboskopsignal eine variable Phasenverschiebung
anzulegen; eine erste Auswahlvorrichtung, welche dazu ausgelegt
ist, eine Ausgabe von dem zweiten Zeitvorgabe-Komparator und eine
Ausgabe von der Neben-Einrast-Schaltung zu empfangen und eine der Ausgaben
auszuwählen und auszugeben; eine zweite Auswahlvorrichtung,
welche dazu ausgelegt ist, eine Ausgabe von der ersten Verzögerungsschaltung und
das zweite Stroboskopsignal zu empfangen und die Ausgabe oder das
Signal auszuwählen und auszugeben; eine zweite Haupt-Einrast-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, eine Ausgabe von der ersten Auswahlvorrichtung
einzurasten, welche gemäß einem Ausgabesignal
von der zweiten Auswahlvorrichtung getaktet ist; eine zweite Hunt-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, eine Ausgabe von der zweiten Haupt-Einrast-Schaltung
mit einem vorbestimmten Kopfmuster zu vergleichen; und eine zweite
Erwartungswert-Vergleichseinheit, welche dazu ausgelegt ist, die
Ausgabe von der zweiten Haupt-Einrast-Schaltung mit einem vorbestimmten
Erwartungswertmuster in Ansprechen auf die Erfassung durch die zweite
Hunt-Schaltung zu vergleichen, dass die Ausgabe von der zweiten
Haupt-Einrast-Schaltung mit dem Kopfmuster übereinstimmt.
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Gemäß dieser
Ausführungsform gibt es einen ersten Modus, bei welchem
die erste Auswahlvorrichtung dazu bewirkt wird, die Ausgabe von
dem zweiten Zeitvorgabe-Komparator auszuwählen, und die
zweite Auswahlvorrichtung dazu bewirkt wird, das zweite Stroboskopsignal
auszuwählen, und einen zweiten Modus, bei welchem die erste
Auswahlvorrichtung dazu bewirkt wird, die Ausgabe von der ersten
Neben-Einrast-Schaltung auszuwählen und die zweite Auswahlvorrichtung
dazu bewirkt wird, die Ausgabe von der ersten Verzögerungsschaltung
auszuwählen. Bei dem ersten Modus können Tests
in dem ersten Kanal und in dem zweiten Kanal unabhängig
durchgeführt werden. In dem zweiten Modus kann ein Zeitvorgabe-Toleranztest
durchgeführt werden, indem die Größe
der Phasenverschiebung in der ersten Verzögerungsschaltung
geändert wird, ohne die Hunt-Funktion zu beeinflussen.
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Der
zweite Kanal kann ferner enthalten: eine zweite Neben-Einrast-Schaltung,
welche dazu ausgelegt ist, die Einhüllende des Taktes,
welche durch den zweiten Takt-Einhüllende-Extraktor extrahiert
ist, welcher gemäß dem zweiten Stroboskopsignal
getaktet ist, einzurasten. Der erste Kanal kann ferner enthalten:
eine zweite Verzögerungsschaltung, welche dazu ausgelegt
ist, auf das zweite Stroboskopsignal eine variable Phasenverschiebung
anzulegen; eine dritte Auswahlvorrichtung, welche dazu ausgelegt
ist, die Ausgabe von dem ersten Zeitvorgabe-Komparator und eine
Ausgabe von der zweiten Neben-Einrast-Schaltung zu empfangen und
eine der Ausgaben auszuwählen und auszugeben; und eine
vierte Auswahlvorrichtung, welche dazu ausge legt ist, eine Ausgabe
von der zweiten Verzögerungsschaltung und das erste Stroboskopsignal
zu empfangen und die Ausgabe oder das Signal auszuwählen
und auszugeben. Die erste Haupt-Einrast-Schaltung kann dazu ausgelegt
sein, eine Ausgabe von der dritten Auswahlvorrichtung, welche gemäß einem Ausgabesignal
von der vierten Auswahlvorrichtung getaktet ist, einzurasten. Der
erste und zweite Kanal können symmetrisch konfiguriert
sein.
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Optionale
Kombinationen der zuvor genannten Ausbildungselemente und Implementierungen der
Erfindung in der Form von Verfahren, Vorrichtungen und Systemen,
können ebenfalls als zusätzliche Modi der vorliegenden
Erfindung in die Praxis umgesetzt werden.
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[VORTEIL DER VORLIEGENDEN ERFINDUNG]
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Gemäß der
Erfindung kann ein Zeitvorgabetest ohne Beeinflussung der Hunt-Funktion
durchgeführt werden.
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[KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG]
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1 ist
ein Blockdiagramm, welches den Gesamtaufbau von einem Testgerät
gemäß der Ausführungsform anzeigt;
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2 ist
ein Blockdiagramm, welches den Aufbau des Testgerätes von 1 detailliert
anzeigt;
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3 ist
ein Blockdiagramm, welches den Aufbau von einem Testgerät
gemäß dem Stand der Technik anzeigt;
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4 ist
ein Zeitdiagramm, welches den Betrieb des Testgerätes von 3 gemäß dem
Stand der Technik anzeigt; und
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5 ist
ein Zeitdiagramm, welches den Betrieb von dem Testgerät
von 2 anzeigt.
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[BESCHREIBUNG DER BEZUGSZEICHEN]
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- TCP1 ... erster Zeitvorgabe-Komparator, TCP2 ... zweiter
Zeitvorgabe-Komparator, CEin1 ... erster Takt-Einhüllende-Extraktor,
CEin2 ... zweiter Takt-Einhüllende-Extraktor, DLY1 ...
erste Verzögerungsschaltung, DLY2 ... zweite Verzögerungsschaltung,
DLY3 ... dritte Verzögerungsschaltung, DLY4 ... vierte
Verzögerungsschaltung, SEL1 ... erste Auswahlvorrichtung,
SEL2 ... zweite Auswahlvorrichtung, SEL3 ... dritte Auswahlvorrichtung,
SEL4 ... vierte Auswahlvorrichtung, ML1 ... erste Haupt-Einrastvorrichtung,
ML2 ... zweite Haupt-Einrastvorrichtung, SL1 ... erste Neben-Einrastvorrichtung,
SL2 ... zweite Neben-Einrastvorrichtung, CR1 ... erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung,
CR2 ... zweite Takt-Wiederherstellungs-Schaltung, INV1 ... erster
Inverter, INV2 ... zweiter Inverter, PC1 ... erster Phasen-Komparator,
PC2 ... zweiter Phasen-Komparator, 12 ... erste PLL, 14 ...
zweite PLL, STRB1 ... erstes Stroboskopsignal, STRB2 ... zweites
Stroboskopsignal, CE1 ... Takt-Einhüllende-Signal, CE2
... Takt-Einhüllende-Signal, DC1 ... erste digitale Vergleichsdaten,
DC2 ... zweite digitale Vergleichsdaten, 100 ... Testgerät, 102 ...
Zeitvorgabe-Generator, 104 ... Mustergenerator, 106 ...
Format-Steuerung, 108 ... Schreibtreiber, 110 ...
Eingabe-Verarbeitungseinheit, 112 ... Logik-Vergleichseinheit, 114 ...
Fehlerspeicher, 116 ... Qualitäts-Bestimmungseinheit, 118 ...
Hunt-Schaltung, 120 ... Steuerung, 122 ... Auswahlvorrichtung, 200 ... DUT
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[BESTER MODUS ZUR DURCHFÜHRUNG
DER ERFINDUNG]
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Es
wird eine Beschreibung von einer geeigneten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnung gegeben.
In den Figuren stellen gleiche Bezugszeichen gleiche Ausbildungselemente,
Bauteile und Abläufe dar, wobei die Beschreibung derer,
dort wo angemessen, ausgelassen wird. Eine Referenz hierbei auf
Details der dargestellten Ausführungsformen dient nicht
dazu, den Umfang der Ansprüche einzugrenzen. Es sollte
verständlich sein, dass nicht alle der Merkmale und die Kombination
davon, wie beschrieben, hinsichtlich der Erfindung wesentlich sind.
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1 ist
ein Blockdiagramm, welches den Aufbau von einem Testgerät 100 gemäß der
Ausführungsform anzeigt. Das Testgerät 100 schreibt
Daten in eine DUT 200 und liest nachfolgend die selber
geschriebenen Daten oder die Daten, welche daraus her rühren,
dass die Daten einer Signalverarbeitung durch die DUT 200 unterworfen
sind, aus. Das Gerät 100 bestimmt dann, ob die
ausgelesenen Daten mit einem erwarteten Wert übereinstimmen.
Zum leichteren Verständnis nimmt die folgende Beschreibung an,
dass die DUT 200 ein Speicher ist. Jedoch ist der Typ der
DUT nicht beschränkend.
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Das
Testgerät 100 ist mit mehreren Kanälen CH
bereitgestellt. Jeder Kanal ist mit einem Zeitvorgabe-Generator 102,
einem Mustergenerator 104, einer Format-Steuerung 106,
einem Schreibtreiber 108, einer Eingabe-Verarbeitungseinheit 110,
einer Erwartungswert-Vergleichseinheit 112, einem Fehlerspeicher 114,
einer Qualitäts-Bestimmungseinheit 116 und einer
Hunt-Schaltung 118 bereitgestellt. Die mehreren Kanäle
CH sind als Paare organisiert, wobei jedes zwei angrenzende Kanäle
enthält. 1 zeigt einen ersten Kanal CH1
und einen zweiten Kanal CH2 als Beispiel. Die Kanäle haben
einen identischen Aufbau, so dass die folgende Beschreibung mittels
Beispiel den ersten Kanal CH1 hervorhebt.
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Der
Mustergenerator 104 erzeugt ein Zeitvorgabe-Einstellsignal
(im Folgenden als ein „TS-Signal” bezeichnet)
und führt das Signal dem Zeitvorgabe-Generator 102 zu.
Der Zeitvorgabe-Generator 102 erzeugt einen periodischen
Takt CKp und einen verzögerten Takt CKd, welche durch die
Zeitvorgabedaten, welche durch das TS-Signal bestimmt sind, getaktet
sind, führt den periodischen Takt CKp dem Mustergenerator 104 zu
und führt den verzögerten Takt CKd der Format-Steuerung 106 zu.
Der Mustergenerator 104 erzeugt eine Adresse ADRS, welche jeden
von einer Mehrzahl von Speicherbereichen (als Blöcke bezeichnet),
welche in der DUT 200 bereitgestellt sind, und jedes von
einer Mehrzahl von Testmusterdaten-Elementen Dt, welche in die Mehrzahl von
Blöcken geschrieben werden sollten, anzeigt. Der Generator 104 führt
die Adresse und die Daten der Format-Steuerung 106 zu.
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Gemäß dem
verzögerten Takt CKd, welcher von dem Zeitvorgabe-Generator 102 zugeführt
ist, erzeugt die Format-Steuerung 106 ein Testmustersignal
St, welches durch die Testmusterdaten Dt bestimmt ist, welche durch
den Mustergenerator 104 erzeugt sind. Der Schreibtreiber 108 empfängt
die Adresse ADRS, welche von der Format-Steuerung 106 ausgegeben
ist, und das Testmustersignal St, und führt die Adresse
und das Signal der DUT 200 zu.
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Der
Mustergenerator 104 erzeugt Erwartungswertdaten EXP, bei
welchen erwartet wird, dass sie die DUT 200 in Ansprechen
auf die Adresse ADRS und das Testmustersignal St ausgibt, und führt die
Daten der Erwartungswert-Vergleichseinheit 112 zu.
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Eine
Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 empfängt Ausgabedaten
Do in Ansprechen auf die Adresse ADRS von der DUT 200.
Die Einheit 110_1 bestimmt den Pegel der Daten und gibt
den Pegel an eine Erwartungswert-Vergleichseinheit 112_1 aus. Die
Ausgabedaten Do_1, welche dem Testgerät 100 zugeführt
sind, werden dem Einfluss von der DUT 200 oder einer Übertragungsleitung
unterworfen, und enthalten somit Schwankungen. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 hat
die Funktion zum Erzeugen eines Stroboskopsignals, welches die Schwankungen
nachführt. Wie später detaillierter beschrieben,
extrahiert die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 eine Flanke
(Einhüllende des Taktes), welche in den Ausgabedaten Do
des seriellen Formats eingebettet ist, unter Verwendung des Taktdaten-Wiederherstellungs-(CDR)-Verfahrens,
um somit das Stroboskopsignal basierend auf der Einhüllende
des Taktes (im Folgenden als ein Takt-Einhüllende-Signal bezeichnet)
wiederherzustellen. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 rastet
Ausgabedaten Do1 ein, welche gemäß dem somit wiederhergestellten
Stroboskopsignal getaktet sind, und gibt die Einrastdaten als digitale
Vergleichsdaten DC1 aus.
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Die
Erwartungswert-Vergleichseinheit 112_1 vergleicht die digitalen
Vergleichsdaten DC1 mit den Erwartungswertdaten EXP, welche von
dem Mustergenerator 104 zugeführt sind, und gibt
Fehlerdaten Df aus, wenn die digitalen Vergleichsdaten DC1 und die
Erwartungswertdaten EXP nicht übereinstimmen.
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Der
Fehlerspeicher 114 speichert nachfolgend die Fehlerdaten
Df, welche von der Erwartungswert-Vergleichseinheit 112 ausgegeben
sind, in Zusammenhang mit den Daten mit der Adresse ADRS, welche
durch den Mustergenerator 104 erzeugt sind. Die Qualitäts-Bestimmungseinheit 116 bestimmt,
ob die DUT 200 fehlerhaft ist oder nicht, oder identifiziert einen
Fehlerbereich, basierend auf einer Information, welche im Fehlerspeicher 114 gespeichert
ist, und gibt ein Bestehen oder ein Nicht-Bestehen auf einer Bit-zu-Bit-Basis
an.
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Ein
vorbestimmtes Kopfmuster ist in den Ausgabedaten Do1 von der DUT 200 eingebettet,
so dass das Kopfmuster jenen Daten, welche mit dem Erwartungswert
zu vergleichen sind, mit einer vorbestimmten Anzahl von Zyklen vorangeht.
Eine Hunt-Schaltung 118_1 vergleicht die digitalen Vergleichsdaten
DC1 mit dem vorbestimmten Kopfmuster und erzeugt ein Hunt-Signal
H1, welches die Zeit anzeigt, bei welcher die digitalen Vergleichsdaten DC1
mit dem Kopfmuster übereinstimmen.
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Das
Hunt-Signal H1 wird einer Logik-Vergleichseinheit 112_1 über
eine Auswahlvorrichtung 122_1 zugeführt. Die Logik-Vergleichseinheit 112_1 beginnt
mit einem Vergleich des Erwartungswertmusters EXP mit den ersten
digitalen Vergleichsdaten DC1, welche gemäß dem
Hunt-Signal H1 getaktet sind. Diese Funktion wird als Hunt-Funktion
bezeichnet. Wenn notwendig, verschiebt die Logik-Vergleichseinheit 112_1 den
Zyklus des Erwartungswertes EXP derart, so dass er dem entsprechenden
Zyklus der ersten digitalen Vergleichsdaten DC1 entspricht.
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Die
Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 ist dazu ausgelegt, die
Phase des Stroboskopsignals gemäß einem Steuersignal
CNT1 von einer Steuerung 120_1 zu steuern. Normalerweise
ist das Stroboskopsignal derart erstellt, dass es mit der Nähe von
einer Mitte zwischen Flanken von seriellen Daten, welche durch das
Stroboskopsignal eingerastet sind, im Hinblick auf die Einstellzeit
und die Haltezeit übereinstimmt.
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Das
Testgerät 100 verschiebt das Stroboskopsignal
derart, so dass es der Nähe von der Mitte vorangeht oder
folgt, und erzeugt die digitalen Vergleichsdaten DC1 für
die jeweiligen Positionen des Stroboskopsignals, um somit zu bestimmen,
ob die DUT 200 fehlerhaft ist oder nicht. Diese Funktion
erlaubt die Durchführung eines Zeitvorgabe-Toleranztests.
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Im
Vorhergehenden ist eine kurze Beschreibung des Gesamtaufbaus und
des Betriebes von dem Testgerät 100 angegeben.
Wenn beispielsweise der erste Kanal CH1 herangezogen wird, wird
der Wert der digitalen Vergleichsdaten DC1 beeinflusst, wenn der
Zeitvorgabe-Toleranztest durchgeführt wird, und wird die
Zeitvorgabe des Stroboskopsignals demgemäß geändert.
Dies wird zu dem Versagen der Hunt-Schaltung 118_1 zum
Nachführen des Kopfmusters führen, wodurch unkorrekte
Vergleichsergebnisse durch die Logik-Vergleichseinheit 112_1 erzeugt
werden.
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Um
das Problem anzugehen, ist das Testgerät 100 gemäß der
Ausführungsform derart ausgelegt, einen Hunt-Prozess in
einem der zwei angrenzenden Kanäle durchzuführen
und in dem anderen einen Zeitvorgabe-Toleranztest durchzuführen.
Wie oben erwähnt, sind der erste und zweite Kanal CH1 und
CH2 ähnlich konfiguriert. Eine Hunt-Schaltung 118_2 des
zweiten Kanals CH2 erzeugt ein zweites Hunt-Signal H2. Das zweite
Hunt-Signal wird einer Logik-Vergleichseinheit 112_1 über
eine Auswahlvorrichtung 122_1 zugeführt. Die Logik-Vergleichseinheit 112_1 beginnt
einen Vergleichsprozess, welcher gemäß dem ersten
Hunt-Signal H1 oder dem zweiten Hunt-Signal H2, welche gemäß einem
Modus-Auswahlsignal MODE2 ausgewählt sind, getaktet ist.
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Im
Gegensatz dazu gibt die Hunt-Schaltung 118_1 des ersten
Kanals CH1 das Hunt-Signal H1 an den zweiten Kanal CH2 aus. Symmetrisch
zum ersten Kanal CH1 ist der zweite Kanal CH2 ebenfalls mit einer
Logik-Vergleichseinheit 112_2 und einer Auswahlvorrichtung 122_2 bereitgestellt.
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2 ist
ein Blockdiagramm, welches den Aufbau der Eingabeverarbeitungseinheit 110 des Testgerätes
von 1 detailliert anzeigt. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110 für
die Kanäle von 1 enthält ein Paar
in Adaption zu zwei angrenzenden Kanälen.
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Die
Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 für
die zwei angrenzenden Kanäle enthalten einen ersten Komparator-Chip 10_1,
einen zweiten Komparator-Chip 10_2, und einen Frontend-Chip 20.
Bei dieser Ausführungsform wird angenommen, dass diese
Bauteile als einzelne Halbleiter-Chips implementiert sind. In einer
alternativen Ausführungsform können einige der
Bauteile integriert sein.
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Es
wird zunächst eine Beschreibung des Aufbaus der Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 des ersten
Kanals gegeben. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 des
ersten Kanals enthält einen ersten Zeitvorgabe-Komparator
TCP1, einen ersten Takt-Einhüllende-Extraktor CEin1, eine
erste Haupt-Einrastvorrichtung ML1, eine erste Neben-Einrastvorrichtung
SL1, eine erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1, eine dritte
Auswahlvorrichtung SEL3, eine vierte Auswahlvorrichtung SEL4 und
eine zweite Verzögerungsschaltung DLY2. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des
zweiten Ka nals enthält einen zweiten Zeitvorgabe-Komparator TCP2,
einen zweiten Takt-Einhüllende-Extraktor CEin2, eine zweite
Haupt-Einrastvorrichtung ML2, eine zweite Neben-Einrastvorrichtung
SL2, eine zweite Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR2, eine erste
Auswahlvorrichtung SEL1, eine zweite Auswahlvorrichtung SEL2 und
eine erste Verzögerungsschaltung DLY1. Mit anderen Worten,
sind die Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 der
zwei angrenzenden Kanäle symmetrisch aufgebaut.
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Die
folgende Beschreibung hebt die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 mittels
eines Beispiels hervor. Der erste Zeitvorgabe-Komparator TCP1 bestimmt
den Pegel der ersten Ausgabedaten Do1, welche von der DUT 200 des
ersten Kanals zugeführt sind, welche gemäß eines
ersten Stroboskopsignals STRB1 getaktet sind.
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Die
ersten Ausgabedaten Do1 von der DUT 200 sind im 8B10B-Format
oder im 4B5B-Format enkodiert, so dass die Daten innerhalb einer
vorbestimmten Zeitperiode oder darüber hinaus nicht den gleichen
Wert kontinuierlich beibehalten. Mit anderen Worten, sind die Daten
derart enkodiert, so dass die Daten bei bestimmten Zeitintervallen
eine Flanke darstellen.
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Ein
erster Takt-Einhüllende-Extraktor (ebenfalls als eine Übergangs-Erfassungsschaltung
bezeichnet) CEin1 extrahiert eine Flanke, welche in den ersten Ausgabedaten
Do1 eingebettet ist, als ein Takt-Einhüllende-Signal CE1.
Beispielsweise, unter der Annahme, dass die seriellen Daten im 8B10B-Format
enkodiert sind, extrahiert der erste Takt-Einhüllende-Extraktor
CEin1 das eingebettete Takt-Einhüllende-Signal, basierend
auf einer Flanke, welche in den ersten Ausgabedaten Do1 auftritt.
Da der erste Takt-Einhüllende-Extraktor CEin1 die im Stand
der Technik bekannte Technologie verwenden kann, wird eine detaillierte
Beschreibung darauf ausgelassen.
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Die
erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 stellt das erste Stroboskopsignal
STRB1 mit Bezug auf das Takt-Einhüllende-Signal CE1, welches durch
den ersten Takt-Einhüllende-Extraktor CEin1 extrahiert
ist, wieder her.
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Die
erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 enthält eine
erste PLL 12, einen ersten Phasen-Komparator PC1 und eine
dritte Verzögerungsschaltung DLY3. Die dritte Verzögerungsschaltung DLY3
legt auf das erste Stroboskopsignal STRB1 eine Verzögerung
an. Der erste Phasen-Komparator PC1 vergleicht die Phase (Zeitvorgabe)
der Flanke des verzögerten ersten Stroboskopsignals STRB1 mit
jener von dem Takt-Einhüllende-Signal CE1. Die erste PLL 12 stellt
die Zeitvorgabe der Flanke des ersten Stroboskopsignals STRB1 gemäß dem
Ergebnis des Phasenvergleichs durch den ersten Phasen-Komparator
PC1 ein. Die erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 erzeugt
das Stroboskopsignal STRB1, welches die Schwankung nachführt,
und führt es dem ersten Zeitvorgabe-Komparator TCP1 zu.
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Die
erste Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 braucht nicht durch
eine PLL implementiert zu sein und kann auf andere Arten implementiert
sein, wie beispielsweise eine verzögerte Taktschleife (DLL).
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Zur
Vereinfachung der Beschreibung wird der Aufbau, welcher die dritte
Auswahlvorrichtung SEL3, die vierte Auswahlvorrichtung SEL4 und
die zweite Verzögerungsschaltung DLY2 verwendet, beschrieben.
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Die
erste Haupt-Einrastvorrichtung ML rastet eine Ausgabe S1 von dem
ersten Zeitvorgabe-Komparator TCP1, welche gemäß dem
ersten Stroboskopsignal STRB1 getaktet ist, ein. Die eingerasteten Daten
werden im nachfolgenden Schritt als digitale Vergleichsdaten DC1
an die Logik-Vergleichseinheit 112 und die Hunt-Schaltung 118 ausgegeben.
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Eine
Ausgabe von dem ersten Takt-Einhüllende-Extraktor CEin1
wird dem Daten-Eingabeanschluss der ersten Neben-Einrastvorrichtung
SL1 zugeführt. Ein erstes Stroboskopsignal STRB1', welches
durch die Verzögerung des Stroboskopsignals durch die dritte
Verzögerungsschaltung DLY3 hergeleitet ist und durch einen
ersten Inverter INV1 invertiert ist, wird dem Taktanschluss der
ersten Neben-Einrastvorrichtung SL1 zugeführt. Mit anderen Worten,
rastet die erste Neben-Einrastvorrichtung SL1 das Takt-Einhüllende-Signal
CE1, welches gemäß dem ersten Stroboskopsignal
STRB1 getaktet ist, ein. Die eingerasteten Daten S3 werden zusammen
mit dem ersten Stroboskopsignal STRB1' an die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des
zweiten Kanals ausgegeben.
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Im
Obigen ist der Aufbau des ersten Kanals beschrieben. Es wird nun
eine Beschreibung des zweiten Kanals gegeben. Die Bauelemente des
zweiten Kanals haben die gleiche Funktion und den gleichen Aufbau
wie die entsprechenden Bauelemente des ersten Kanals, so dass die
gleiche Beschreibung nicht wiederholt wird. Das Stroboskopsignal
STRB1' und die Daten S3, welche in der Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 des
ersten Kanals erzeugt sind, werden der Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des zweiten
Kanals zugeführt.
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Der
zweite Zeitvorgabe-Komparator TCP2 bestimmt den Pegel der zweiten
Ausgabedaten Do2, welche von der DUT 200 dem zweiten Kanal
zugeführt sind, welche gemäß einem zweiten
Stroboskopsignal STRB2 getaktet sind.
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Ein
zweiter Takt-Einhüllende-Extraktor CEin2 extrahiert ein
Takt-Einhüllende-Signal CE2 aus den zweiten Ausgabedaten
Do2. Die zweiten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR2 stellt das zweite
Stroboskopsignal STRB2 mit Bezug auf das Takt-Einhüllende-Signal
CE2, welches durch den zweiten Takt-Einhüllende-Extraktor
CEin2 extrahiert ist, wieder her.
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Die
erste Verzögerungsschaltung DLY1 empfängt das
erste Stroboskopsignal STRB1', welches im ersten Kanal erzeugt ist,
und legt auf das Signal gemäß dem Steuersignal
SNT, welches von der Steuerung 120 von 1 ausgegeben
ist, eine variable Verzögerung (Phasenverschiebung) an.
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Die
erste Auswahlvorrichtung SEL1 empfängt eine Ausgabe S2
von dem zweiten Zeitvorgabe-Komparator TCP2 und die Ausgabe S3 von
der ersten Neben-Einrastvorrichtung-Schaltung SL1 und wählt
eine der Ausgaben gemäß dem Modus-Auswahlsignal
MODE2 aus, welches von der Steuerung 120 von 1 ausgegeben
ist, und gibt diese aus. Genauer gesagt, wählt die erste
Auswahlvorrichtung SEL1 das Signal S2 aus, wenn das Modus-Auswahlsignal
MODE2 gleich 0 ist, und wählt das Signal S3 aus, wenn MODE2
gleich 1 ist.
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Die
zweite Auswahlvorrichtung SEL2 empfängt eine Ausgabe von
der ersten Verzögerungsschaltung DLY1 und das zweite Stroboskopsignal STRB2
und wählt die Ausgabe oder das Signal gemäß dem
Modus-Auswahlsignal MODE2 aus und gibt dieses aus.
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Genauer
gesagt, wählt die zweite Auswahlvorrichtung SEL2 das zweite
Stroboskopsignal STRB2 aus, wenn das Modus-Auswahlsignal MODE2 gleich
0 ist, und wählt das erste Stroboskopsignal STRB1', welches
durch die erste Verzögerungsschaltung DLY1 verzögert
ist, aus, wenn MODE2 gleich 1 ist.
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Die
zweite Haupt-Einrastvorrichtung ML2 rastet eine Ausgabe von der
ersten Auswahlvorrichtung SEL1 ein, welche gemäß einem
Ausgabesignal von der zweiten Auswahlvorrichtung SEL2 getaktet ist.
Die eingerasteten Daten werden im nachfolgenden Schritt als digitale
Vergleichsdaten DC2 der Logik-Vergleichseinheit 112 und
der Hunt-Schaltung 118 ausgegeben.
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Im
Obigen ist der grundlegende Aufbau der Eingabeverarbeitungseinheit 110 beschrieben.
Es wird nun eine Beschreibung hinsichtlich des Betriebes der Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 gegeben.
Weiterhin wird eine Beschreibung der dritten Auswahlvorrichtung
SEL3 und der vierten Auswahlvorrichtung SEL4 des ersten Kanals ausgelassen.
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Unabhängig
der Betriebsbedingung des zweiten Kanals, erzeugt die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 des
ersten Kanals das Stroboskopsignal STRB1, welches mit den ersten
Ausgabedaten Do1 synchronisiert ist, und erzeugt die ersten digitalen
Vergleichsdaten DC1. Die Hunt-Schaltung 118_1 des ersten
Kanals vergleicht die ersten digitalen Kanaldaten DC1 mit dem Kopfmuster,
um somit das Hunt-Signal H1 zu erzeugen. Die Logik-Vergleichseinheit 112_1 des
ersten Kanals vergleicht die ersten digitalen Vergleichsdaten DC1
mit dem Erwartungswertmuster EXP, welches gemäß dem
Hunt-Signal H1 getaktet ist, um somit basierend auf den Ausgabedaten
Do1 des ersten Kanals zu bestimmen, ob die DUT fehlerhaft ist oder
nicht.
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Die
folgende Beschreibung wird den zweiten Kanal hervorheben. Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des
zweiten Kanals arbeitet im Unabhängigkeits-Modus oder in
einem Toleranztest-Modus, und zwar gemäß dem Wert
des Modus-Auswahlsignals MODE2.
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Wenn
das Modus-Auswahlsignal MODE2 gleich 0 ist, wird die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des
zweiten Kanals auf den Unabhängigkeits-Modus eingestellt.
Im Unabhängigkeits-Modus ist die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 des
zweiten Kanals unabhängig vom ersten Kanal und erzeugt
die zweiten Ausgabedaten Do1 ähnlich der Eingabeverarbeitungseinheit 110_1.
Genauer gesagt, wählt die Auswahlvorrichtung 122_2 das Hunt-Signal
H2, welches durch die zweite Hunt-Schaltung 118_2 erzeugt
ist, aus, und gibt das Signal der Logik-Vergleichseinheit 112_2 aus.
Die Logik-Vergleichseinheit 112_2 vergleicht die zweiten digitalen
Vergleichsdaten DC2 mit dem Erwartungswertmuster EXP.
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Wenn
das Modus-Auswahlsignal MODE2 gleich 1 ist, ist die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 auf
den Toleranztest-Modus eingestellt. Im Toleranztest-Modus rastet
die zweite Haupt-Einrastvorrichtung ML2 das Ausgabesignal S3 von
der ersten Neben-Einrastvorrichtung-Schaltung SL1 ein, welches gemäß dem
ersten Stroboskopsignal STRB1' getaktet ist, welches als eine variable
Verzögerung durch die erste Verzögerungsschaltung
DLY1 angelegt ist. Die derart eingerasteten zweiten digitalen Vergleichsdaten
DC2 werden im nachfolgenden Schritt der Logik-Vergleichseinheit 112_2 zugeführt. Im
Toleranztest-Modus wählt die Auswahlvorrichtung 122_2 das
Hunt-Signal H1 anstelle des Hunt-Signals H2 aus und führt
das ausgewählte Signal der Logik-Vergleichseinheit 112_2 zu.
In Ansprechen auf das Hunt-Signal H1 beginnt die Logik-Vergleichseinheit 112_2 mit
einem Vergleich der zweiten digitalen Vergleichsdaten DC2 mit den
Erwartungswertdaten EXP.
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Indem
das Testgerät 100 gemäß der
Ausführungsform auf den Toleranztest-Modus eingestellt
ist, können die Ausgabedaten Do1 des ersten Kanals CH1
durch die Hunt-Schaltung 118_1 des ersten Kanals CH1 nachgeführt
werden. Gleichzeitig kann die Zeitvorgabe des Stroboskopsignals,
welches aus den Ausgabedaten Do1 hergeleitet ist, geändert
werden, indem die Verzögerungsgröße geändert
wird, welche durch die erste Verzögerungsschaltung DLY1 des
zweiten Kanals CH2 angelegt ist, so dass eine Bestimmung hinsichtlich
eines Bestehens oder eines Nicht-Bestehens vorgenommen werden kann,
indem die Logik-Vergleichseinheit 112_2 des zweiten Kanals
verwendet wird.
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Der
Vorteil des Testgerätes 100 gemäß der Ausführungsform
wird durch einen Vergleich dessen mit dem Stand der Technik, wie
im Folgenden beschrieben, zu erkennen sein. 3 ist ein
Blockdiagramm, welches den Aufbau von einem Testgerät 300 gemäß dem
Stand der Technik anzeigt. In dem Testgerät 300 von 3 werden
die ersten Ausgabedaten Do1 des ersten Kanals CH1 dem zweiten Kanal
CH2 zugeführt.
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Der
erste Zeitvorgabe-Komparator TCP1, der erste Takt-Einhüllende-Extraktor
CEin1, der zweite Zeitvorgabe-Komparator TCP2 und der zweite Takt-Einhüllende-Extraktor
CEin2 von 3 entsprechen den mit identischen
Bezugszeichen versehenen Bauteilen von 2. Unter
Bezugnahme auf 3, sind die Auswahlvorrichtungen 34 und 36 an Stufen
bereitgestellt, welche jeweils dem zweiten Zeitvorgabe-Komparator
TCP2 und dem Takt-Einhüllende-Extraktor CEin2 vorangehen.
Die Auswahlvorrichtungen 34 und 36 wählen
im Unabhängigkeitsmodus die zweiten Ausgabedaten Do2 aus
und wählen im Toleranztest-Modus die ersten Ausgabedaten
Do1 aus.
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Wenn
das Testgerät 300 von 3 im Toleranztest-Modus
eingestellt ist, werden die ersten Ausgabedaten Do1 sowohl dem ersten
als auch dem zweiten Kanal zugeführt. Die Stroboskopsignale STRB1
und STRB2, und die ersten digitalen Vergleichsdaten DC1 und die
zweiten digitalen Vergleichsdaten DC2 werden basierend auf den ersten Ausgabedaten
Do1 erzeugt.
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Es
wird angenommen, dass ein Hunt-Prozess im ersten Kanal CH1 durchgeführt
wird und ein Zeitvorgabe-Toleranztest im zweiten Kanal CH2 durchgeführt
wird. In diesem Fall kann die Zeitvorgabe des zweiten Stroboskopsignals
STRB2 unabhängig vom ersten Stroboskopsignal STRB1 geändert werden,
indem die Verzögerungsgröße, welche durch
die dritte Verzögerungsschaltung DLY3 angelegt wird, in
der ersten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 festgelegt wird
(beispielsweise wird die Größe auf 0 festgelegt),
und indem die Verzögerungsgröße, welche
durch die vierte Verzögerungsschaltung DLY4 angelegt wird,
in der zweiten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR2 geändert wird,
wobei die Größe auf ungefähr 1/2 der
Datenzyklusdauer konzentriert wird. Der Zeitvorgabe-Toleranztest
kann durchgeführt werden, indem das erste Hunt-Signal H1
durch die Hunt-Schaltung 118_1 des ersten Kanals CH1 erzeugt
wird, und das Hunt-Signal H1 der Logik-Vergleichseinheit 112_2 des
zweiten Kanals CH2 zugeführt wird.
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Der
Betrieb der ersten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 und der
zweiten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR2 wird hervorgehoben. Die
PLL-Schaltung der ersten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1 erzeugt
das Stroboskopsignal STRB1 derart, so dass die Flanke des Stroboskopsignals
STRB1 mit der Flanke des Takt-Einhüllende-Signals CE1 übereinstimmt. Ähnlich
erzeugt die zweite Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR2 das Stroboskopsignal
STRB2 derart, so dass die Flanke des Stroboskopsignals STRB2 mit
der Flanke des Takt-Einhüllende-Signals CE2 übereinstimmt.
Da die Takt-Einhüllende-Signale CE1 und CE2 identisch sind,
wird die Zeitvorgabe der Stroboskopsignale STRB1 und STRB2 idealerweise
mit Referenz auf die gleiche Flanke von jeweils den Takt-Einhüllende-Signalen
CE1 und CE2 eingestellt.
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Wenn
sich jedoch bei bestimmten Schaltungen die Flanke des Stroboskopsignals
bei einem Anfangszustand in der Nähe der Mitte (Totband)
von zwei angrenzenden Flanken des Takt-Einhüllende-Signals
befindet, wird es bekannt sein, wie sich die Flanken in Ausrichtung
hin annähern, das heißt, ob die Ausrichtung an
der vorangehenden Flanke oder an der folgenden Flanke auftritt.
Demgemäß wird das folgende Problem unter bestimmten
Bedingungen auftreten.
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4 ist
ein Zeitdiagramm, welches den Betrieb des Testgerätes 300 von 3 gemäß dem Stand
der Technik anzeigt. Es wird angenommen, dass die Stroboskopsignale
STRB1a und STRB2a von jeweils den Kanälen CH1 und CH2 im
Anfangszustand an der Mitte der Flanken von jeweils den Takt-Einhüllende-Signalen
CE1 und CE2 positioniert sind. Es wird ebenfalls angenommen, dass
die Phase von einer vorgegebenen Flanke E1 des Stroboskopsignals
STRB1a durch eine Rückführsteuerung mit Bezug
auf die Flanke des Takt-Einhüllende-Signals CE1, welches
der Flanke E1 folgt, eingestellt ist, so dass eine Annäherung
auftritt, wie durch STRB1b angezeigt. Mit anderen Worten, wird die
eingestellte Flanke E1 den Daten B im zweiten Zyklus entsprechen.
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Im
Gegensatz dazu wird angenommen, dass die Phase der Flanke E2 des
Stroboskopsignals STRB2a entsprechend der Flanke E1 durch eine Rückführsteuerung
mit Bezug auf die Flanke des Takt-Einhüllende-Signals CE2,
welches der Flanke E2 vorangeht, eingestellt ist, so dass eine Annäherung,
wie durch STRB2b angezeigt, auftritt. Wenn eine variable Verzögerungsgröße τ auf
das Stroboskopsignal STRB2b im Toleranztest angelegt wird, wird
das Stroboskopsignal derart sein, wie durch STRB2c angezeigt.
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Das
Stroboskopsignal STRB2c wird dazu verwendet, um die Daten Do2 einzurasten.
Daher wird die eingestellte Flanke E2 den Daten A im ersten Zyklus
entsprechen.
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Somit
können die entsprechenden Flanken E1 und E2 von jeweils
dem ersten und zweiten Kanal unterschiedlichen Zyklen in der Schaltung
von 3 zugeordnet werden. Daraus folgend werden die
erste Haupt-Einrastvorrichtung ML1 und die zweite Haupt-Einrastvorrichtung
ML2 das Einrasten der Daten, welche zueinander um einen Zyklus versetzt sind,
beenden. Somit werden die ersten digitalen Vergleichsdaten DC1 und
die zweiten digitalen Vergleichsdaten DC2 Daten von unterschiedlichen
Zyklen darstellen. Dies wird zu einer Zeitabweichung zwischen dem
Hunt-Prozess und dem Vergleichs-Prozess gegen den Erwartungswert
führen.
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Es
wird mit der Beschreibung des Betriebes von der Schaltung von 2 fortgefahren. 5 ist ein
Zeitablauf, welcher den Betrieb des Testgerätes von 2 anzeigt.
Wenn die Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 von 2 im
Toleranztest-Modus verwendet werden, wird das Stroboskopsignal STRB1
unter Verwendung der ersten Takt-Wiederherstellungs-Schaltung CR1
erzeugt und wird eine Verzögerungsgröße τ durch
die erste Verzögerungsschaltung DLY1 an das somit erzeugte Stroboskopsignal
STRB1 angelegt und der zweiten Haupt-Einrastvorrichtung ML2 des
zweiten Kanals zugeführt. Daher werden die Stroboskopsignale,
welche dem Taktanschluss von der ersten Haupt-Einrastvorrichtung
ML1 und jenem von der zweiten Haupt-Einrastvorrichtung ML2 zugeführt
werden, Signale entsprechend des gleichen Zyklus ohne Fehlverhalten
darstellen. Daher wird das Problem des Zyklus-Versatzes, welches
im Stand der Technik bei 3 auftritt, beseitigt.
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Ferner
erfordert die Schaltung von 3 Anschlüsse
zum Übertragen und Empfangen von Signalen zwischen dem
ersten Komparator-Chip 10_1 und dem zweiten Komparator-Chip 10_2.
Im Gegensatz dazu, erfordert die Schaltung von 2 keine Anschlüsse
oder Drähte, welche die Anschlüsse verbinden,
so dass der Schaltungsbereich reduziert werden kann. Die Schaltung
von 2 erfordert zusätzlich die Bereitstellung
der ersten Neben-Einrastvorrichtung SL1, der zweiten Neben-Einrastvorrichtung SL2
und von einigen Auswahlvorrichtungen. Diese Bauteile belegen lediglich
einen Schaltungsbereich, welcher ausreichend kleiner als der Bereich
ist, welcher durch die Anschlüsse (Felder) erforderlich
ist. Demgemäß wird der Schaltungsbereich insgesamt reduziert.
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Es
werden zusätzliche Merkmale der Schaltung von 2 beschrieben.
Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 von 2 ist
mit der dritten Auswahlvorrichtung SEL3, der vierten Auswahlvorrichtung
SEL4 und der zweiten Verzögerungsschaltung DLY2 bereitgestellt.
Die Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 ist mit der zweiten
Neben-Einrastvorrichtung SL2 bereitgestellt. Somit sind die Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 symmetrisch
aufgebaut.
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Mit
anderen Worten, rastet die zweite Neben-Einrastvorrichtung SL2 das
Takt-Einhüllende-Signal CE2, welches durch den zweiten
Takt-Einhüllende-Extraktor CEin2 extrahiert ist, ein, getaktet
gemäß dem zweiten Stroboskopsignal STRB2'. Die
zweite Verzögerungsschaltung DLY2 legt eine variable Phasenverschiebung
auf das zweite Stroboskopsignal STRB2' an. Die dritte Auswahlvorrichtung
SEL3 empfängt die Ausgabe S1 von dem ersten Zeitvorgabe-Komparator
TCP1 und die Ausgabe S4 von der zweiten Neben-Einrastvorrichtung-Schaltung
SL2 und wählt eine von den Ausgaben aus und gibt diese aus.
Die vierte Auswahlvorrichtung SEL4 empfängt die Ausgabe
von der zweiten Verzögerungsschaltung DLY2 und das erste
Stroboskopsignal STRB1 und wählt die Ausgabe oder das Signal
aus.
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Durch
den symmetrischen Aufbau der Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 ist
die Logik-Vergleichseinheit 112_1 dazu in der Lage, einen
Zeitvorgabe-Toleranztest durchzuführen, währen die
Hunt-Schaltung 118_2 des zweiten Kanals einen Hunt-Prozess
auf die zweiten Ausgabedaten Do2 durchführt.
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Jedoch
brauchen die Eingabeverarbeitungseinheiten 110_1 und 110_2 nicht
notwendigerweise symmetrisch aufgebaut zu sein. Nicht-symmetrische Aufbauten
sind ebenfalls im Umfang der vorliegenden Erfindung eingeschlossen.
Beispielsweise können die dritte Auswahlvorrichtung SEL3,
die vierte Auswahlvorrichtung SEL4 und die zweite Verzögerungsschaltung
DLY2 von der Eingabeverarbeitungseinheit 110_1 ausgelassen
sein. Die zweite Neben-Einrastvorrichtung-Schaltung SEL2 kann von der
Eingabeverarbeitungseinheit 110_2 ausgelassen sein. Dies
wird vorteilhafterweise den Schaltungsbereich reduzieren.
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Im
Obigen ist eine darstellhafte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung beschrieben. Die Ausführungsform stellt lediglich
das Prinzip und die Anwendungen der vorliegenden Erfindung dar, und
es können verschiedene Variationen und alternative Neuanordnungen
in die Praxis umgesetzt werden, ohne vom Umfang der vorliegenden
Erfindung, wie durch die Ansprüche bestimmt, abzuweichen.
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[INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT]
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Die
vorliegende Erfindung ist auf Halbleitertests anwendbar.
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Zusammenfassung
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Ein
Testgerät ist derart aufgebaut, so dass zwei angrenzende
Kanäle CH1 und CH2 ein Paar ausbilden. Zeitvorgabe-Komparatoren
TCP1 und TCP2 bestimmen jeweils den Pegel von ersten Ausgabedaten
DC1 und DC2, welche von einer DUT zugeführt sind, jeweils
getaktet gemäß Stroboskopsignalen STRB1 und STRB2.
Takt-Einhüllende-Extraktoren CEin1 und CEin2 extrahieren
jeweils Einhüllende CE1 und CE2 eines Taktes. Eine Takt-Wiederherstellungs-Schaltung
CR1 stellt ein Stroboskopsignal STRB1 wieder her. Eine erste Haupt-Einrastvorrichtung
ML1 rastet eine Ausgabe S1 von dem ersten Zeitvorgabe-Komparator
ein, getaktet durch das erste Stroboskopsignal STRB1. Eine erste
Neben-Einrastvorrichtung SL1 rastet die Einhüllende CE1
des Taktes ein, getaktet durch das erste Stroboskopsignal STRB1.
Eine Ausgabe von der Neben-Einrastvorrichtung SL1 wird einer zweiten
Haupt-Einrastvorrichtung ML2 des zweiten Kanals CH2 zugeführt.
Ein Signal, welches von dem Stroboskopsignal STRB1 abhängt,
wird als eine einstellbare Verzögerung durch eine erste
Verzögerungsschaltung DLY1 zugewiesen und wird einem Taktanschluss
der zweiten Haupt-Einrastvorrichtung ML2 zugeführt.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2-62983 [0006]
- - JP 2007-17257 [0006]
- - JP 2006-3216 [0006]
- - JP 2008-28628 [0006]