-
TECHNISCHES GEBIET
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung
zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung wie einer
Halbleiterschaltung. Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin
auf eine Stiftelektronikkarte, eine elektrische Vorrichtung und
einen Schalter zur Verwendung bei einer derartigen Prüfvorrichtung.
Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung
oder dergleichen, die eine interne Schaltung vor einer Stoßspannung
usw. schützt. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auch
auf die folgende Anmeldung, deren Inhalt hier einbezogen wird, sofern
dies anwendbar ist.
-
Japanische Patentanmeldung Nr. 2005-297823 ,
die am 12. Oktober 2005 eingereicht wurde.
-
STAND DER TECHNIK
-
Eine
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung ist eine Vorrichtung,
die mit einer Stiftelektronikkarte versehen ist, die Signale mit
einer geprüften Vorrichtung austauscht. Die Stiftelektronikkarte
enthält eine interne Schaltung (z. B. einen Treiberkomparator), und
einen Schalter (d. h. Relais), der Schaltet, ob die interne Schaltung
mit dem Eingangs-/Ausgangsstift der geprüften Vorrichtung
verbunden ist.
-
Die Übertragungscharakteristik
des Schalters wird bedeutsam, wenn ein Prüfsignal mit einer hohen
Frequenz in eine geprüfte Vorrichtung eingegeben wird.
Angesichts dessen ist der Schalter vorzugsweise klein, um die Länge
der Übertragungsleitung zu verkürzen. Ein Beispiel
für den Schalter ist ein MEMS(elektromechanisches Mikrosystem)-Schalter,
der die MEMS-Technologie verwendet.
-
Der
MEMS-Schalter ist mit einem Ausleger versehen, der durch Anbringen
von zwei Arten von Metallplatten mit einander unterschiedlichen
thermischen Ausdehnungskoeffizienten gebildet ist und als ein Schalter
wirkt durch Schalten, ob der Ausleger mittels einer Heizvorrichtung
oder dergleichen erwärmt wird. Ein Beispiel für
den MEMS-Schalter ist ein Bimetallschalter vom "normal aus"-Typ,
der AUS geschaltet ist, während er nicht erwärmt
wird, und EIN geschaltet, wenn er erwärmt wird.
-
Die
Heizvorrichtung zum Erwärmen des Auslegers wird mit einer
Quellenleistung von der Leistungsquelle der Stiftelektronikkarte
beliefert. Während eine Quellen leistung nicht zu der Stiftelektronikkarte
geliefert wird (z. B. beim Transport der Stiftelektronikkarte) ist
der Schalter im AUS-Zustand, und demgemäß ist
die interne Schaltung gegenüber der Außenseite
abgeschnitten. Aus diesem Grund wird, selbst wenn eine Stoßspannung
an dem externen Anschluss der Stiftelektronikkarte bewirkt wird,
die statische Elektrizität oder dergleichen zuschreibbar ist,
die Stoßspannung nicht zu der internen Schaltung übertragen,
so dass die interne Schaltung geschützt ist. Es wurde keine
relevantes Patentdokument oder dergleichen erkennt, und daher wird
die Beschreibung hiervon hier weggelassen.
-
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
-
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE
PROBLEME
-
Wenn
jedoch ein Bimetallschalter vom normalerweise ausgeschalteten Typ
während einer langen Zeit im AUS-Zustand gelassen wird
oder wiederholt im EIN- und AUS-Zustand ist, verschlechtert sich die
Größe der Krümmung im AUS-Zustand des
Auslegers. Wenn die Größe der Krümmung
im AUS-Zustand des Auslegers sich verschlechtert tritt das Problem
auf, dass der Ausleger fehlerhaft in Kontakt mit dem festen Kontakt
ist.
-
Darüber
hinaus schwankt der Grad der Krümmung im AUS-Zustand des
Auslegers gemäß der Änderung der Umgebungstemperatur.
Demgemäß schwankt auch der Kontaktdruck zwischen
dem Ausleger und dem festen Kontakt, wenn er in den EIN-Zustand
gesteuert ist, ebenfalls gemäß der Umgebungstemperatur.
Da die Lebensdauer des Kontakts von dem Kontaktdruck abhängt,
ist es bevorzugt, den Kontakt innerhalb eines vorbestimmten Kontaktdruckbereichs
zu betreiben. Wenn jedoch der Kon taktdruckbereich bestimmt wird,
wird die Umgebungstemperatur, in der der Kontakt verwendbar ist, entsprechend
begrenzt.
-
Darüber
hinaus enthält ein Bimetallschalter ein Verpackungsteil,
das einen Ausleger und einen festen Kontakt luftdicht enthält.
Das Verpackungsteil ist gebildet durch anodisches Ronden der Siliziumsubstrate
an den Seitenflächen an die Glassubstrate an der Vorder-
und der Rückfläche. Das anodische Ronden wird
durchgeführt durch Anlegen einer hohen Spannung bei einer
hohen Temperatur von etwa 200 bis 400°C. Bei der Herstellung
eines Bimetallschalters vom normalerweise ausgeschalteten Typ wird
die hohe Spannung angelegt, wenn der Ausleger in Kontakt mit dem
festen Kontakt ist, wobei die hohe Temperatur bei dem anodischen
Ronden zugeführt wird. Wenn eine hohe Spannung angelegt
ist, wenn der Ausleger und der feste Kontakt einander berühren,
ergibt sich das Problem eines "weichen Haftens", bei dem der Ausleger
und der feste Kontakt miteinander verbunden werden. Dies führt
zu einer Verschlechterung der Ausbeute bei der Herstellung von Stiftelektronikkarten,
die einen Bimetallschalter vom normalerweise ausgeschalteten Typ
verwenden. Angesichts dessen ist es eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, eine Prüfvorrichtung, eine Stiftelektronikkarte,
eine elektrische Vorrichtung und einen Schalter vorzusehen, die
in der Lage sind, die vorgenannten, den Stand der Technik begleitenden Nachteile
zu überwinden. Die vorgenannte Aufgabe kann durch in den
unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen
gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche
definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen
der vorliegenden Erfindung.
-
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
-
Um
die vorgenannten Nachteile zu überwinden, ist gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung
zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen,
welche Prüfvorrichtung enthält: eine Stiftelektronikschaltung,
die Signale mit der geprüften Vorrichtung austauscht; eine Mustererzeugungsschaltung,
die ein Prüfmuster über die Stiftelektronikschaltung
in die geprüfte Vorrichtung eingibt; und eine Beurteilungsschaltung,
die ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung über
die Stiftelektronikschaltung empfängt und eine Beurteilung
betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der
Grundlage des Ausgangssignals durchführt, wobei die Stiftelektronikschaltung
enthält: eine interne Schaltung, die Signale mit der geprüften
Vorrichtung austauscht; eine erste Übertragungsleitung, die
die interne Schaltung mit der geprüften Vorrichtung verbindet;
und einen ersten Schalter, der die erste Übertragungsleitung
mit Erdpotential verbindet, wenn die geprüfte Vorrichtung
nicht geprüften wird, und die erste Übertragungsleitung
von Erdpotential trennt, wenn die geprüfte Vorrichtung
geprüft wird.
-
Es
ist möglich, die Anordnung so auszubilden, dass der erste
Schalter in den AUS-Zustand gebracht ist, wenn der Stiftelektronikschaltung
eine Quellenleistung zugeführt wird, und in den EIN-Zustand
gebracht ist, wenn der Stiftelektronikschaltung die Quellenleistung
nicht zugeführt wird. Zusätzlich ist es möglich,
die Anordnung so auszubilden, dass die Stiftelektronikschaltung
weiterhin eine Schaltersteuerschalturig enthält, die den
ersten Schalter in den EIN-Zustand zu einer Zeit der Entfernung
der geprüften Vorrichtung von der Stiftelektronikschaltung in
einem Zustand, in welchem der Stiftelektronikschal tung die Quellenleistung
zugeführt wird, steuert.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
der erste Schalter enthält: einen ersten festen Kontakt,
der mit der ersten Übertragungsleitung verbunden ist; einen
zweiten festen Kontakt, der mit Erdpotential verbunden ist; einen Ausleger,
der schaltet, ob der erste feste Kontakt mit dem zweiten festen
Kontakt verbunden ist; und eine Erdschaltung, die in einem peripheren
Bereich des ersten festen Kontakts und des zweiten festen Kontakts
vorgesehen ist, um im Wesentlichen parallel zu dem ersten festen
Kontakt und dem zweiten festen Kontakt zu sein, wobei der Erdschaltung
das Erdpotential zugeführt wird und die Erdschaltung einen
Vorsprungbereich enthält, der so vorgesehen ist, dass er von
seiner Endseite im Wesentlichen parallel zu dem ersten festen Kontakt
und dem zweiten festen Kontakt vorsteht, um dem ersten festen Kontakt
zugewandt zu sein.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
der erste Schalter weiterhin ein Verpackungsteil enthält,
das luftdicht den ersten festen Kontakt, den zweiten festen Kontakt,
den Ausleger und die Erdschaltung enthält und in dem ein Entladungsgas
versiegelt ist. Es ist möglich, die Anordnung so auszubilden,
dass die Stiftelektronikschaltung weiterhin einen zweiten Schalter
enthält, der zwischen dem ersten Schalter und der internen Schaltung
in der Übertragungsleitung vorgesehen ist und der schaltet,
ob die geprüfte Vorrichtung mit der internen Schaltung
verbunden ist.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
der zweite Schalter in den AUS-Zustand gebracht ist, wenn die Stiftelektronikschaltung
mit einer Quellenleistung beliefert wird, und in den EIN-Zustand
gebracht ist, wenn die Stiftelektronikschaltung nicht mit der Quellenleistung
beliefert wird. Es ist auch möglich, die Anordnung so auszubilden,
dass die Stiftsteuerschaltung den zweiten Schalter in den EIN-Zustand
bei der Prüfung der geprüften Vorrichtung steuert,
und den zweiten Schalter in den AUS-Zustand steuert, wenn die geprüfte
Vorrichtung nicht geprüft wird.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung weiterhin eine zweite Übertragungsleitung
zum Verbinden der ersten Übertragungsleitung mit einer Gleichstromquelle
enthält, und der zweite Schalter ist in der ersten Übertragungsleitung
zwischen einem Verbindungspunkt zwischen der ersten Übertragungsleitung
und der zweiten Übertragungsleitung und der internen Schaltung
vorgesehen.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung weiterhin einen dritten Schalter enthält,
der in der zweiten Übertragungsleitung vorgesehen ist,
wobei der dritte Schalter schaltet, ob die erste Übertragungsleitung
mit der Gleichstromquelle verbunden ist. Es ist auch möglich,
die Anordnung so auszubilden, dass der dritte Schalter in den AUS-Zustand
gebracht ist, wenn der Stiftelektronikschaltung eine Quellenleistung
zugeführt wird, und in den EIN-Zustand gebracht ist, wenn
der Stiftelektronikschaltung die Quellenleistung nicht zugeführt
wird.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Schaltersteuerschaltung den zwei ten Schalter in den EIN-Zustand
und den dritten Schalter in den AUS-Zustand steuert, wenn die geprüfte
Vorrichtung einer Funktionsprüfung unterzogen wird; den
zweiten Schalter in den AUS-Zustand und den dritten Schalter in
den EIN-Zustand steuert, wenn die geprüfte Vorrichtung
einer Gleichstromprüfung unterzogen wird; und den zweiten
Schalter und den dritten Schalter in den EIN-Zustand steuert, wenn
die interne Schaltung kalibriert wird.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung weiterhin enthält: einen Bezugstreiber,
der ein vorbestimmtes Signal ausgibt einen Bezugskomparator, dessen
Signaleingangsende mit einem Signalausgangsende des Bezugstreibers
verbunden ist; und einen vierten Schalter, der schaltet, ob der
erste Schalter entweder mit Erdpotential oder dem Signalausgangsende
des Bezugstreibers verbunden ist.
-
#Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Prüfvorrichtung weiterhin enthält: einen Kabelabschnitt,
der die erste Übertragungsleitung und die geprüfte
Vorrichtung verbindet; und eine Kalibrierungsschaltung, die eine Kalibrierung
durchführt, wenn die geprüfte Vorrichtung nicht
geprüft wird, wobei die Kalibrierungsschaltung enthält:
eine Schaltersteuerschaltung, die den vierten Schalter so steuert,
dass er den ersten Schalter mit dem Bezugskomparator verbindet;
eine Treibersteuerschaltung, die den Bezugstreiber so steuert, dass
er ein vorbestimmtes Bezugssignal ausgibt; eine Messschaltung, die
einen Signalverzögerungsbetrag in dem Kabelabschnitt auf
der Grundlage einer von dem Bezugskomparator erfassten zusammengesetzten
Wellenform misst, wobei die zusammengesetzte Wellenform eine Kombinati an
zwischen dem von dem Bezugstreiber ausgegebenen Bezugssignal und
dem an dem vorrichtungsseitigen Ende des Kabelabschnitts reflektierten
Signal ist; und eine Einstellschaltung, die die interne Schaltung
auf der Grundlage des Signalverzögerungsbetrags kalibriert.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung weiterhin enthält: ein Verbindungstor,
das mit einer externen Messvorrichtung verbunden ist; und einen
vierten Schalter, der schaltet, ob entweder das Erdpotential oder
das Verbindungstor mit dem ersten Schalter verbunden ist.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung mehrere Eingangs-/Ausgangsschaltungen
enthält, wobei jede Eingangs-/Ausgangsschaltung enthält:
die interne Schaltung, die erste Übertragungsleitung, den
ersten Schalter, den Bezugstreiber, den Bezugskomparator und den
vierten Schalter, wobei die Messschaltung den Signalverzögerungsbetrag des
Kabelabschnitts für jede der Eingangs-/Ausgangsschaltungen
misst und die Einstellschaltung jede der internen Schaltungen auf
der Grundlage der Differenz in jedem Signalverzögerungsbetrag
kalibriert.
-
Darüber
hinaus ist es möglich, die Anordnung so auszubilden, dass
die Stiftelektronikschaltung mehrere Eingangs-/Ausgangsschaltungen
enthält, wobei jede Eingangs-/Ausgangsschaltung die interne
Schaltung, die erste Übertragungsleitung und den ersten
Schalter enthält, und die Kalibrierungsschaltung weiterhin
eine Schalteranordnung enthält, die zwischen Verbindungsbestimmungsorten
des Signalausgangsendes des Be zugstreibers schaltet, wobei die Verbindungsbestimmungsorte
jeweils die ersten Schalter der Eingangs-/Ausgangsschaltungen sind.
-
Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Stiftelektronikkarte
zum Austauschen von Signalen mit einer geprüften Vorrichtung
in einer Prüfvorrichtung zum Prüfen der geprüften
Vorrichtung vorgesehen, welche Stiftelektronikkarte enthält:
eine interne Schaltung, die Signale mit der geprüften Vorrichtung
austauscht; eine erste Übertragungsleitung, die die interne
Schaltung mit der geprüften Vorrichtung verbindet; und
einen ersten Schalter, der die erste Übertragungsleitung
mit Erdpotential bei der Prüfung der geprüften
Vorrichtung verbindet und der die erste Übertragungsleitung von
Erdpotential trennt, wenn die geprüfte Vorrichtung nicht
geprüft wird.
-
Gemäß einem
dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine elektrische Vorrichtung
vorgesehen, welche enthält: eine interne Schaltung; einen elektrisch
mit der Außenseite verbundenen Anschluss; eine Übertragungsleitung,
die die interne Schaltung mit dem Anschluss verbindet; und einen Schalter
zum Verbinden der Übertragungsleitung mit Erdpotential,
wenn der internen Schaltung keine Quellenleistung zugeführt
wird, und zum Trennen der Übertragungsleitung von dem Erdpotential,
wenn der internen Schaltung eine Quellenleistung zugeführt wird.
-
Gemäß einem
vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Schalter vorgesehen
zum Schalten, ob zwei Leiter elektrisch verbunden sind, welcher
Schalter enthält: einen ersten festen Kontakt, der mit
einem der Leiter verbunden ist; einen zweiten festen Kon takt, der
getrennt von dem ersten festen Kontakt vorgesehen und mit dem anderen
der Leiter verbunden ist; einen Ausleger, der schaltet, ob der erste
feste Kontakt mit dem zweiten festen Kontakt verbunden ist; und
eine Erdschaltung, die in einem peripheren Bereich des ersten festen
Kontakts und des zweiten festen Kontakts vorgesehen ist, um im Wesentlichen
parallel zu dem ersten festen Kontakt und dem zweiten festen Kontakt
zu sein, wobei der Erdschaltung ein Erdpotential zugeführt
wird und die Erdschaltung ein Vorsprungteil enthält, das
so vorgesehen ist, dass es von seiner Endseite im Wesentlichen parallel
zu dem ersten festen Kontakt und dem zweiten festen Kontakt vorsteht,
um dem ersten festen Kontakt zugewandt zu sein.
-
Es
ist möglich, die Anordnung so auszubilden, dass der Schalter
weiterhin ein Verpackungsteil enthält, das luftdicht den
ersten festen Kontakt, den zweiten festen Kontakt, den Ausleger
und die Erdschaltung enthält und in dem ein Entladungsgas
versiegelt ist.
-
Die
Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise
alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende
Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale
sein.
-
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
-
2 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration einer Stiftelektronikschaltung 20.
-
3A, 3B und 3C zeigen
eine beispielhafte Arbeitsweise einer Eingangs-/Ausgangsschaltung 30. 3A zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise, wer der Stiftelektronikschaltung 20 keine
Quellenleistung zugeführt wird. 3B zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30,
wenn eine geprüfte Vorrichtung 200 einer Funktionsprüfung
unterzogen wird, und 3C zeigt eine beispielhafte
Arbeitsweise der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30, wenn die
geprüfte Vorrichtung 200 einer Gleichstromprüfung
unterzogen wird.
-
4 zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
-
5 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration eines ersten Schalters 40.
-
6 ist
eine Draufsicht auf einen ersten festen Kontakt 56 und
einen zweiten festen Kontakt 58, die für den ersten
Schalter 40 vorgesehen sind.
-
7 zeigt
eine andere beispielhafte Konfiguration jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
-
8 zeigt
ein Beispiel für eine zusammengesetzte Wellenform, die
von einem Bezugskomparator 68 erfasst wird.
-
9 zeigt
eine andere beispielhafte Konfigu ration der Stiftelektronikschaltung 20.
-
10 zeigt
eine andere beispielhafte Konfiguration jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
-
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
-
Die
Erfindung wird nun auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele
beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken,
sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und
deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben
sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
-
1 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 prüft
eine geprüfte Vorrichtung 200 wie eine Halbleiterschaltung
und enthält eine Mustererzeugungsschaltung 10,
eine Beurteilungsschaltung 12, eine Funktionsplatte 14,
einen Kabelabschnitt 16 und eine Stiftelektronikschaltung 20.
-
Die
Mustererzeugungsschaltung 10 erzeugt ein in eine geprüfte
Vorrichtung 200 einzugebendes Prüfmuster zur Durchführung
einer Funktionsprüfung der geprüften Vorrichtung 200.
Hier ist die Funktionsprüfung beispielsweise die Eingabe
eines Prüfmusters in eine geprüfte Vorrichtung,
um zu bewirken, dass die geprüfte Vorrichtung 200 eine
bestimmte Operation durchführt, wodurch geprüft
wird, ob ein von der geprüften Vorrichtung 200 ausgegebenes Ausgangssignal
mit einem vorbestimmten erwarteten Wert übereinstimmt oder
nicht.
-
Die
Mustererzeugungsschaltung 10 gibt ein Prüfmuster
in die geprüfte Vorrichtung 200 über
die Stiftelektronikschaltung 20 ein. Die Beurteilungsschaltung 12 empfängt
das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 200 über
die Stiftelektronikschaltung 20 und führt eine
Beurteilung betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 auf
der Grundlage des Ausgangssignals durch. Beispielsweise erzeugt
die Mustererzeugungsschaltung 10 ein Muster für
einen erwarteten Wert, das dem Prüfmuster entspricht, und
die Beurteilungsschaltung 12 führt eine Beurteilung
betreffend gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 durch,
indem sie das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 200 und
das Muster für den erwarteten Wert vergleicht.
-
Die
Stiftelektronikschaltung 20 tauscht Signale mit der geprüften
Vorrichtung 200 aus. Wie vorstehend beschrieben ist, gibt
die Stiftelektronikschaltung 20 das von der Mustererzeugungsschaltung 10 empfangene
Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung 200 ein.
Die Stiftelektronikschaltung 20 empfängt auch
das Ausgangssignal von der geprüften Vorrichtung 200 und
gibt das empfangene Ausgangssignal in die Beurteilungsschaltung 12 ein.
Die Stiftelektronikschaltung 20 kann mehrere Eingangs-/Ausgangsschaltungen
enthalten, die mehreren Eingangs-/Ausgangsstiften der geprüften
Vorrichtung 200 entsprechen, um jeweils Signal mit den
Eingangs-/Ausgangsstiften auszutauschen. Die Stiftelektronikschaltung 20 kann
in einer entfernbaren Weise mit Bezug auf die Prüfvorrichtung 100 in
Form einer Stiftelektronikkarte vorgesehen sein.
-
Der
Kabelabschnitt 16 überträgt Signale zwischen
der Stiftelektronikschaltung 20 und der geprüften
Vor richtung 200. Der Kabelabschnitt 16 kann die Eingangs-/Ausgangsschaltungen
der Stiftelektronikschaltung 20 jeweils mit den entsprechenden
Stiften der geprüften Vorrichtung 200 verbinden.
Die Funktionsplatte 14 überträgt Signale
zwischen dem Kabelabschnitt 16 und der geprüften
Vorrichtung 200, die auf der Funktionsplatte 14 befestigt
ist.
-
2 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration der Stiftelektronikschaltung 20.
Wie bereits vorstehend beschrieben ist, enthält die Stiftelektronikschaltung 20 mehrere
Eingangs-/Ausgangsschaltungen (r–30-n,
nachfolgend gelegentlich insgesamt als "30" bezeichnet)
und mehrere Anschlüsse (22-1–22-n, nachfolgend
gelegentlich insgesamt als "22" bezeichnet) zum Verbinden
der Eingangs-/Ausgangsschaltungen 30 mit der Außenseite.
Jeder Anschluss 22 ist mit einem entsprechenden Stift der
geprüften Vorrichtung 200 über den Kabelabschnitt 16 und
die Funktionsplatte 14 verbunden.
-
Jede
Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 enthält eine interne
Schaltung 32, eine erste Übertragungsleitung 38 und
einen ersten Schalter 40. Die interne Schaltung 32 tauscht
Signale mit der geprüften Vorrichtung 200 aus
und enthält beispielsweise einen Treiber 34 und
einen Komparator 36. Die erste Übertragungsleitung 38 überträgt
ein Signal zwischen der internen Schaltung 32 und dem Anschluss 22-1.
Bei dem vorliegenden Beispiel verbindet die erste Übertragungsleitung 38 einen
Ausgangsanschluss des Treibers 34 und einen Eingangsanschluss
des Komparators 36 mit dem Anschluss 22-1.
-
Der
erste Schalter 40 schaltet, ob die erste Übertragungsleitung 38 mit
Erdpotential verbunden ist oder nicht. Das Erdpotential kann ein
Potential sein, das gemeinsam einem Erdpotential mit Bezug auf die
interne Schaltung 32 ist. Bei dem vorliegenden Beispiel
verbindet der erste Schalter 40 die erste Übertragungsleitung 38 mit
dem Erdpotential, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 nicht
geprüft wird, und trennt die erste Übertragungsleitung 38 von
dem Erdpotential, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 geprüft wird.
Gemäß einer derartigen Konfiguration ist es möglich,
wenn die geprüfte Vorrichtung 200 nicht geprüft
wird, selbst wenn eine Stoßspannung aufgrund von statischer
Elektrizität oder dergleichen an dem Anschluss 22 bewirkt
wird, die Stoßspannung zu dem Erdpotential abzuleiten,
wodurch die interne Schaltung 32 gegenüber der
Stoßspannung geschützt wird.
-
Wenn
beispielsweise die Stiftelektronikschaltung 22 transportiert
wird durch Entfernen derselben von der Prüfvorrichtung 100 kann
eine Stoßspannung auftreten, die der statischen Elektrizität oder
dergleichen zuschreibbar ist. In diesem Fall ist die Stiftelektronikschaltung 20 nach
dem vorliegenden Beispiel in der Lage, den ersten Schalter 40 in den
EIN-Zustand zu bringen, um die erste Übertragungsleitung 38 mit
dem Erdpotential zu verbinden, und ist so in der Lage, die interne
Schaltung 32 vor der Stoßspannung, die zu der
Zeit des Transports auftritt, zu schützen.
-
Der
erste Schalter 40 kann beispielsweise ein Bimetallschalter
vom normalerweise ausgeschalteten Typ sein, der in den AUS-Zustand
gebracht ist, wenn eine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, und in den EIN-Zustand gebracht ist, wenn die Quellenleistung
nicht zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert wird.
Wenn der erste Schalter 40 in den AUS-Zustand gebracht
ist, ist die erste Übertragungsleitung 38 von
dem Erdpotential getrennt, und wenn der erste Schalter 40 in den
EIN-Zustand gebracht ist, ist die erste Übertragungsleitung 38 mit
dem Erdpotential verbunden.
-
Die
Heizvorrichtung zum Erwärmen des Bimetallschalters in dem
ersten Schalter 40 kann den Bimetallschalter gemäß der
zu der Stiftelektronikschaltung 20 gelieferten Quellenleistung
erwärmen. Bei einer derartigen Konfiguration ist, wenn
keine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, der erste Schalter 40 immer in dem EIN-Zustand, und
wenn eine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, wird der erste Schalter 40 automatisch in den AUS-Zustand gebracht.
-
Zusätzlich
kann zu der Zeit der Entfernung der geprüften Vorrichtung 200 von
der Stiftelektronikschaltung 20, während eine
Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, die Schaltersteuerschaltung 52 den ersten Schalter 40 in
den EIN-Zustand steuern. Beispielsweise kann in dem Fall des Ersetzens
der geprüften Vorrichtung 200 nach dem Ende der
Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 die
Schaltersteuerschaltung 52 den ersten Schalter 40 vor
der Entfernung der geprüften Vorrichtung 200 von
der Funktionsplatte 14 in den EIN-Zustand steuern. Gemäß dieser
Steuerung ist es möglich, die interne Schaltung 32 vor
der Stoßspannung zu schützen, die bei dem Ersetzen
der geprüften Vorrichtung 200 auftritt. Zusätzlich
kann die Schaltersteuerschaltung 52 den ersten Schalter 40 nach
dem Ende einer Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 in den
EIN-Zustand steuern, und sie kann den ersten Schalter 40 vor
dem Beginn der Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 in
den AUS-Zustand steuern. Eine Steuervorrichtung zum Steuern der
Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 kann der
Schaltersteuerschaltung 52 die Zeitpunkte des Beendens
und des Beginns der Prüfung mitteilen auf der Grundlage
des Prüfprogramms zum Betätigen der Prüfvorrichtung 100.
-
Die
Stiftelektronikschaltung 20 ist zwischen dem ersten Schalter 40 und
der internen Schaltung 32 in der ersten Übertragungsleitung 38 vorgesehen und
enthält weiterhin einen zweiten Schalter 42 zum Schalten,
ob die geprüfte Vorrichtung 200 mit der internen
Schaltung 32 verbunden ist. beispielsweise kann der zweite
Schalter 42 ein Bimetallschalter sein, der in den AUS-Zustand
geschaltet ist, wenn die Stiftelektronikschaltung 20 mit
einer Quellenleistung beliefert wird, und in den EIN-Zustand geschaltet
ist, wenn die Stiftelektronikschaltung 20 nicht mit einer Quellenleistung
beliefert wird. Wenn der zweite Schalter 42 in den AUS-Zustand
gebracht ist, ist die interne Schaltung 32 von dem Anschluss 22 getrennt, und
wenn der zweite Schalter 42 in den EIN-Zustand gebracht
ist, ist die interne Schaltung 32 mit dem Anschluss 22 verbunden.
-
Die
Schaltersteuerschaltung 52 steuert den zweiten Schalter 42 in
den EIN-Zustand, wenn bewirkt wird, dass die interne Schaltung 32 Signale überträgt
und empfängt in dem Zustand, in welchem die Quellenleistung
zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert wird. Wenn
beispielsweise eine Funktionsprüfung der geprüften
Vorrichtung 200 durchgeführt wird, steuert die
Schaltersteuerschaltung 52 den zweiten Schalter 42 in
den EIN-Zustand, um zu bewirken, dass die interne Schaltung 32 und
die geprüfte Vorrichtung 200 den Empfang/die Übertragung von
Signalen durchführen. Eine Steuervorrichtung zum Steuern
der Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 kann
der Schaltersteuerschaltung 52 die Zeit der Durchführung
der Funktionsprüfung auf der Grundlage des Prüfprogramms
zum Betätigen der Prüfvorrichtung 100 mitteilen.
-
Bei
dem vorliegenden Beispiel empfängt der Treiber 34 ein
Prüfmuster von der Mustererzeugungsschaltung 10,
formt das Prüfmuster und gibt das Ergebnis aus. Der Komparator 36 empfängt
das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 200 und gibt
ein Signal, das sich aus dem Vergleich des Ausgangssignals mit einer
vorbestimmten Schwellenspannung ergibt, zu der Beurteilungsschaltung 12 aus.
Beispielsweise gibt der Komparator 36 ein Signal aus, das
den logischen Wert H anzeigt, wenn der Spannungswert des Ausgangssignals
größer als die Schwellenspannung ist, und gibt
ein Signal aus, das den logischen Wert L anzeigt, wenn der Spannungswert
des Ausgangssignals kleiner als die Schwellenspannung ist. Mit einer
derartigen Konfiguration ist es möglich, eine Funktionsprüfung
der geprüften Vorrichtung 200 durchzuführen,
indem der zweite Schalter 42 in den EIN-Zustand gesteuert
wird. Da der Stiftelektronikschaltung 20 eine Quellenleistung
zugeführt wird, wenn eine Funktionsprüfung der
geprüften Vorrichtung 200 durchgeführt
wird, wird der erste Schalter 40 in den AUS-Zustand gesteuert.
-
Da
die Stiftelektronikschaltung 20 bei dem vorliegenden Beispiel
einen Bimetallschalter vom normalerweise eingeschalteten Typ als
den zweiten Schalter 42 verwendet, kann die Verschlechterung des
Krümmungsgrads des Auslegers verringert werden, selbst
wenn während einer langen Zeit keine Quellenleistung zu
der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert wird. Weiterhin
kann das Problem des weichen Anhaftens bei der Herstellung des zweiten Schalters 42 gelöst
werden. Gewöhnlich wird, wenn ein normalerweise eingeschalteter
Schalter als der zweite Schalter 42 verwendet wird, die
Stoßspannung an der internen Schaltung 32 beim
Transport der Stiftelektronikschaltung 20 oder dergleichen
ein Problem. Bei der Stiftelektronikschaltung 20 nach dem
vorliegenden Beispiel jedoch ist die erste Übertragungsleitung 38 über
den ersten Schalter 40 vom normalerweise eingeschalteten
Typ geerdet, und somit kann die interne Schaltung 32 gegenüber
der Stoßspannung geschützt werden.
-
Zusätzlich
enthält die Stiftelektronikschaltung 20 weiterhin
eine zweite Übertragungsleitung 48, eine Gleichstromquelle 46 und
einen dritten Schalter 44. Die Gleichstromquelle 46 erzeugt
eine Quellenleistung für die geprüfte Vorrichtung 200.
Die Gleichstromquelle 46 kann in einer Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 vorgesehen
sein, die einem Leistungsquellenstift der geprüften Vorrichtung 200 entspricht.
Mit anderen Worten, eine Eingangs-/Ausgangsschaltung 30,
die nicht mit dem Leistungsquellenstift der geprüften Vorrichtung 200 verbunden
ist, braucht eine Gleichstromquelle 46 nicht aufzuweisen.
Eine Gleichstromquelle 46 der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30,
die mit dem Leistungsquellenstift der geprüften Vorrichtung 200 verbunden
ist, gibt eine Quellenleistung zum Betreiben der geprüften Vorrichtung 200 aus.
-
Die
zweite Übertragungsleitung 48 verbindet die erste Übertragungsleitung 38 mit
der Gleichstromquelle 46. Zusätzlich ist der zweite
Schalter 42 zwischen dem Verbindungspunkt zwischen der
ersten Übertragungsleitung 38 und der zweiten Übertragungsleitung 48 und
der internen Schaltung 32 vorgesehen. Der erste Schalter 40 ist
zwischen dem Verbindungspunkt zwischen der ersten Übertragungsleitung 38 und
der zwei ten Übertragungsleitung 48 und dem Anschluss 22 vorgesehen,
wobei der erste Schalter 40 von der Übertragungsleitung 38 abgezweigt
ist. Der dritte Schalter 44 ist in der zweiten Übertragungsleitung 48 vorgesehen
und schaltet, ob die erste Übertragungsleitung 38 mit
der Gleichstromquelle 46 verbunden ist.
-
Der
dritte Schalter 44 kann beispielsweise ein Bimetallschalter
sein, der in den AUS-Zustand gebracht ist, wenn die Stiftelektronikschaltung 20 mit einer
Quellenleistung beliefert wird, und in den EIN-Zustand gebracht
ist, wenn die Stiftelektronikschaltung 20 nicht mit einer
Quellenleistung beliefert wird. Wenn der dritte Schalter 44 in
den AUS-Zustand gebracht ist, ist die Gleichstromquelle 46 von der
ersten Übertragungsleitung 38 getrennt. Wenn der
dritte Schalter 44 in den EIN-Zustand gebracht ist, ist
die Gleichstromquelle 46 mit der ersten Übertragungsleitung 38 verbunden.
-
Zusätzlich
steuert, wenn die geprüfte Vorrichtung 200 einer
Gleichstromprüfung in dem Zustand, in welchem die Stiftelektronikschaltung 20 mit einer
Quellenleistung beliefert wird, unterzogen wird, den dritten Schalter 44 in
den EIN-Zustand. Beispielsweise wird bei der Gleichstromprüfung
die Schwankung des Quellenstroms oder der Quellenspannung, der/die
zu der geprüften Vorrichtung 200 geliefert wird,
wenn die geprüfte Vorrichtung 200 in Betrieb ist,
erfasst, und gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 200 wird
beurteilt auf der Grundlage dessen, ob die Quellenschwankung in
einen vorbestimmten Bereich fällt. Eine Steuervorrichtung
zum Steuern der Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 kann
der Schaltersteuerschaltung 52 die Zeit der Durchführung
der Gleichstromprüfung auf der Grundlage des Prüfprogramms
zum Betätigen der Prüfvorrichtung 100 mitteilen.
-
Da
die Stiftelektronikschaltung 20 bei dem vorliegenden Beispiel
einen Bimetallschalter vom normalerweise eingeschalteten Typ als
den dritten Schalter 44 verwendet, kann die Verschlechterung des
Krümmungsgrads des Auslegers verringert werden, selbst
wenn während einer langen Zeit keine Quellenleistung zu
der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert wird. Zusätzlich
kann das Problem des weichen Anhaftens beim Herstellen des dritten
Schalters 44 gelöst werden. Gewöhnlich
wird, wenn ein normalerweise eingeschalteter Schalter als der dritte
Schalter 44 verwendet wird, die Stoßspannung zu
der Gleichstromquelle 46 beim Transport oder dergleichen
der Stiftelektronikschaltung 20 ein Problem. Bei der Stiftelektronikschaltung 20 nach
dem vorliegenden Beispiel jedoch ist die erste Übertragungsleitung 38 über
den ersten Schalter 40 vom normalerweise eingeschalteten
Typ geerdet, und daher kann die Gleichstromquelle 46 vor
der Stoßspannung geschützt werden.
-
Wie
vorstehend beschrieben ist, sind in der Stiftelektronikschaltung 20 nach
dem vorliegenden Beispiel sowohl der zweite Schalter 42 als
auch der dritte Schalter 44 ein Schalter, der eine verringerte Verschlechterung
einer Auslegerkrümmung hat und das Problem des weichen
Anhaftens während der Herstellung überwunden hat,
und daher können die interne Schaltung 32 und
die Gleichstromquelle 46 vor der Stoßspannung
geschützt werden.
-
Die 3A, 3B und 3C zeigen
eine beispielhafte Arbeitsweise einer Eingangs-/Ausgangsschaltung 30. 3A zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise, wenn keine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird. Da wie vorstehend beschrieben der erste Schalter 40,
der zweite Schalter 42 und der dritte Schalter 44 ein
Schalter vom normalerweise eingeschalteten Typ sind, werden sie
in diesem Beispiel in den EIN-Zustand gesteuert. Durch eine derartige
Konfiguration können, selbst wenn eine Stoßspannung
beispielsweise während des Transport der Stiftelektronikschaltung 20 von
außerhalb zugeführt wird, die interne Schaltung 32 und
die Gleichstromquelle 46 geschützt werden. Zusätzlich
ist es möglich, selbst wenn während einer langen
Zeit keine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, die Verschlechterung des Krümmungsgrads des Auslegers
des ersten Schalters 40, des zweiten Schalters 42 und
des dritten Schalters 44 zu verringern.
-
3B zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30,
wenn eine geprüfte Vorrichtung 200 einer Funktionsprüfung
unterzogen wird. In diesem Fall wird der Stiftelektronikschaltung 20 eine
Quellenleistung zugeführt, und daher werden der erste Schalter 40,
der zweite Schalter 42 und der dritte Schalter 44 in
den AUS-Zustand gebracht. Dann steuert die Schaltersteuerschaltung 52 den
zweiten Schalter 42 in den EIN-Zustand. Beispielsweise
kann die Schaltersteuerschaltung 52 die zu der Heizvorrichtung
des zweiten Schalters 42 zu liefernde Quellenleistung abschalten,
wenn die geprüfte Vorrichtung 200 einer Funktionsprüfung
unterzogen wird. Gemäß dieser Steuerung ist es
möglich, die Funktionsprüfung der geprüften
Vorrichtung 200 durchzuführen.
-
3C zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise der Eingabe-/Ausgabeschaltung 30,
wenn die geprüfte Vorrichtung 200 einer Gleichstromprüfung
unterzogen wird. In diesem Fall wird der Stiftelektronikschaltung 20 eine
Quellenleistung zugeführt, und daher werden der erste Schalter 40,
der zweite Schalter 42 und der dritte Schalter 44 in
den AUS-Zustand gebracht. Dann steuert die Schaltersteuerschaltung 52 den
dritten Schalter 44 in den EIN-Zustand. Beispielsweise
kann die Schaltersteuerschaltung 52 die Quellenleistung
von der Heizvorrichtung des dritten Schalters 44 abschalten,
wenn die geprüfte Vorrichtung 200 einer Gleichstromprüfung
unterzogen wird. Gemäß dieser Steuerung ist es
möglich, die Gleichstromprüfung der geprüften
Vorrichtung 200 durchzuführen.
-
4 zeigt
eine beispielhafte Arbeitsweise der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
Das vorliegende Beispiel zeigt eine Arbeitsweise in einem Fall, in
welchem eine Kalibrierung der internen Schaltung 32 durchgeführt
wird. In diesem Fall wird der Stiftelektronikschaltung 20 eine
Quellenleistung zugeführt, und daher werden der erste Schalter 40,
der zweite Schalter 42 und der dritte Schalter 44 in
den AUS-Zustand gebracht. Dann steuert die Schaltersteuerschaltung 52 den
zweiten Schalter 42 und den dritten Schalter 44 in
den EIN-Zustand. Beispielsweise kann die Schaltersteuerschaltung 52 die
Quellenleistung von der Heizvorrichtung des zweiten Schalters 42 und
der Heizvorrichtung des dritten Schalters 44 abschalten,
wenn eine Kalibrierung der internen Schaltung 32 unter
Verwendung der Gleichstromquelle 46 durchgeführt
wird.
-
Wenn
die Kalibrierung der internen Schaltung 32 durchgeführt
wird, erzeugt die Gleichstromquelle 46 beispielsweise eine
vorbestimmte Spannung. Der Komparator 36 vergleicht die
Spannung mit einer gegebenen Schwellenspannung und gibt das Vergleichsergebnis
aus. Eine Steuervorrichtung zum Steuern der Prüfvorrichtung 100 stellt
die zu dem Komparator 36 zu gebende Schwellenspannung auf
der Grundlage des Vergleichsergebnisses ein. Durch eine derartige
Steuerung ist es möglich, die Variation der Arbeitsweise
des Komparators 36 in jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 zu
verringern.
-
Zusätzlich
wird nach der Einstellung der Schwellenspannung des Komparators 36 der
Treiber 34 so gesteuert, dass er eine vorbestimmte Spannung
ausgibt. Dann vergleicht der Komparator 36 die Ausgangsspannung
des Treibers 34 mit der Schwellenspannung. Die Steuervorrichtung
stellt die von dem Treiber 34 ausgegebene Spannung auf
der Grundlage des Vergleichsergebnisses ein. Durch eine derartige
Steuerung ist es möglich, die Variation der Arbeitsweise
des Treibers 34 in jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 zu
verringern.
-
5 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration eines ersten Schalters 40. 5 zeigt
eine Schnittansicht des ersten Schalters 40. Bei dem vorliegenden
Beispiel ist der erste Schalter 40 ein MEMS-Schalter vom
Bimetalltyp und enthält ein Verpackungsteil 54,
einen Ausleger 50, einen variablen Kontakt 53,
einen ersten festen Kontakt 56, einen zweiten festen Kontakt 58 und
eine Heizelektrode 61.
-
Das
Verpackungsteil 54 enthält luftdicht den Ausleger 50,
den variablen Kontakt 53, den ersten festen Kontakt 56,
den zweiten festen Kontakt 58 und die Heizelektrode 61.
Das Verpackungsteil 54 hat Glassubstrate an seiner Vorder-
und Rückfläche sowie Siliziumsubstrate an den
Seitenflächen. Die Glassubstrate und die Siliziumsubstrate
sind durch anodisches Bonden verbunden.
-
Der
erste feste Kontakt 56 ist elektrisch mit der ersten Übertragungsleitung
verbunden. Der zweite feste Kontakt 58 ist getrennt von
dem ersten festen Kontakt 56 vorgesehen und elektrisch
mit dem Erdpotential verbunden. Der variable Kontakt 53 ist
an der Spitze des Auslegers 50 vorgesehen, um dem ersten
festen Kontakt 56 und dem zweiten festen Kontakt 58 zugewandt
zu sein.
-
Der
Ausleger 50 schaltet, um den variablen Kontakt 53 in
Berührung mit dem ersten festen Kontakt 56 und
dem zweiten festen Kontakt 58 gemäß der
von der Heizelektrode 61 gegebenen Leistung zu bringen.
Beispielsweise kann der Ausleger 50 eine Bimetallstruktur
aufweisen, die durch Aneinanderbefestigen von Metallplatten mit
unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten gebildet
ist und die durch die von der zu der Heizelektrode 61 gelieferten
Leistung bewirkte Wärme angetrieben wird. Bei einem unterschiedlichen
Beispiel kann der Ausleger 50 eine Bimetall(bimorphe)-Struktur
haben, die durch Anbringen piezoelektrischen Elements an einer Metallplatte
gebildet ist und die durch die von der Heizelektrode 61 gelieferte
Spannung angetrieben wird.
-
6 ist
eine Draufsicht auf einen ersten festen Kontakt 56 und
einen zweiten festen Kontakt 58, die für den ersten
Schalter 40 vorgesehen sind. Wie in 6 gezeigt
ist, sind der erste feste Kontakt 56 und der zweite feste
Kontakt 58 entlang derselben geraden Linie angeordnet.
Zusätzlich sind Erdschaltungen 60, denen ein Erdpotential
zugeführt wird, in peripheren Bereichen des ersten festen
Kontakts 56 und des zweiten festen Kontakts 58 vorgesehen,
um im We sentlichen parallel zu dem ersten festen Kontakt 56 und
dem zweiten festen Kontakt 58 zu sein. Beispielsweise kann
die Erdschaltung 60 auf beiden Seiten der geraden Linie,
entlang der der erste feste Kontakt 56 und der zweite feste
Kontakt 58 ausgerichtet sind, vorgesehen sein, um parallel
zu der geraden Linie zu sein.
-
Zusätzlich
enthält eine Erdschaltung 60 ein Vorsprungteil 62,
das vorgesehen ist, um von seiner Endseite im Wesentlichen parallel
zu dem ersten festen Kontakt 56 und dem zweiten festen
Kontakt 58 vorzustehen, um dem ersten festen Kontakt 56 zugewandt
zu sein. Das Vorsprungteil 62 ist mit einer sich allmählich
verringernden Breite von der Position der Erdschaltung 60,
die dem ersten festen Kontakt 56 zugewandt ist, zu dem
ersten festen Kontakt 56 hin versehen. Das Vorsprungteil 62 kann
eine Spitze mit einem spitzen Winkel haben. Zusätzlich
kann das Vorsprungteil 62 für jede der Erdschaltungen 60 vorgesehen
sein, die für beide Seiten der ersten festen Kontakte 56 vorgesehen
sind.
-
Durch
eine derartige Ausbildung kann, selbst wenn eine Stoßspannung
bewirkt wird, während der erste Schalter 40 während
einer Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 oder
dergleichen in den AUS-Zustand gesteuert ist, die Stoßspannung
zwischen dem Vorsprungteil 62 und dem ersten festen Kontakt 56 entladen
werden. Zusätzlich kann das Verpackungsteil 54 ein
Entladungsgas versiegelt enthalten. Hier kann das Entladungsgas
ein Gas wie Neon, Argon, Xenon und Helium sein, oder es kann eine
Mischung aus diesen Gasen sein. Durch Versiegeln dieser Typen von
Entladungsgasen ist es möglich, die Entladung der Stoßspannung
zu erleichtern.
-
Zusätzlich
kann die Erdschaltung 60 weiterhin ein Vorsprungteil 62 enthalten,
das dem zweiten festen Kontakt 58 zugewandt ist, zusätzlich
zu dem Vorsprungteil 62, das dem ersten festen Kontakt 56 zugewandt
ist. Obgleich das vorliegende Beispiel die Konfiguration des ersten
Schalters 40 erläutert hat, können der
zweite Schalter 42 und der dritte Schalter 44 auch
dieselbe Konfiguration wie der erste Schalter 40 haben.
Beispielsweise hat der zweite Schalter 42 eine Konfiguration
derart, dass der erste feste Kontakt 56 elektrisch mit
dem Anschluss 22 verbunden ist und der zweite feste Kontakt 58 elektrisch
mit der internen Schaltung 32 verbunden ist. Zusätzlich
hat der dritte Schalter 44 eine derartige Konfiguration, dass
beispielsweise der erste feste Kontakt 56 elektrisch mit
der ersten Übertragungsleitung 38 verbunden ist
und der zweite feste Kontakt 58 elektrisch mit der Gleichstromquelle 46 verbunden
ist.
-
Zusätzlich
ist es wünschenswert, dass das Vorsprungteil 62 vorgesehen
ist, um eine Stoßspannung zu entladen, ohne Entladung eines
Signals oder einer Leistung, die beim Prüfen der geprüften
Vorrichtung 200 übertragen werden sollen. Die
Stoßspannung ist viel höher als die Spannungen
eines Signals und einer Leistung, die bei der Prüfung verwendet
werden, und daher wird es möglich, die Stoßspannung
selektiv zu entladen, indem der Abstand zwischen der Spitze des
Vorsprungteils 62 und dem festen Kontakt eingestellt wird.
Zusätzlich kann die selektive Entladung der Stoßspannung
durchgeführt werden durch Einstellen des Drucks, des Gaszusammensetzungsverhältnisses
oder dergleichen des in dem Verpackungsteil 54 zu versiegelnden
Entladungsgases. Durch Verwendung eines Schalters mit der vorgenannten
Konfiguration ist es möglich, die interne Schaltung 32 oder
dergleichen auch gegenüber der Stoßspannung, die
während der Prüfung der geprüften Vorrichtung 200 oder
dergleichen erzeugt wird, zu schützen.
-
7 zeigt
eine andere beispielhafte Konfiguration jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
Die Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 bei dem vorliegenden
Beispiel ist weiterhin mit einer Kalibrierungsschaltung 80 und
einem vierten Schalter 64 zusätzlich zu der mit
Bezug auf 2 erläuterten Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 ausgestattet.
Die Kalibrierungsschaltung 80 stellt die Zeit ein, zu der
jede der Eingangs-/Ausgangsschaltungen 30 ein Signal ausgibt,
und die Zeit, zu der die Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 ein
Signal erfasst, auf der Grundlage einer Übertragungsverzögerungszeit
zwischen der Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 und der geprüften
Vorrichtung 200.
-
Der
vierte Schalter 64 schaltet, ob das Erdpotential oder die
Kalibrierungsschaltung 80 mit dem ersten Schalter 40 verbunden
sind. Die Schaltersteuerschaltung 52 steuert den vierten
Schalter, wenn die Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 mittels
der Kalibrierungsschaltung 80 kalibriert wird, und bewirkt, dass
der erste Schalter 40 mit der Kalibrierungsschaltung 80 verbunden
ist. Bei der Durchführung der Kalibrierung steuert die
Schaltersteuerschaltung 52 auch den ersten Schalter 40 in
den EIN-Zustand und steuert den zweiten Schalter 42 und
den dritten Schalter 44 in den AUS-Zustand.
-
Die
Kalibrierungsschaltung 80 enthält einen Bezugstreiber 66,
einen Bezugskomparator 68, eine Treibersteuerschaltung 70,
eine Messschaltung 72 und eine Einstellschaltung 74.
Der Bezugstreiber 66 gibt ein Signal mit einer vorbestimmten
Wellenform aus. Beispielsweise steuert die Treibersteuerschaltung 70 den
Bezugstreiber 66, um ein Bezugssignal mit einer vorbestimmten
Impulsbreite auszugeben.
-
Das
Bezugssignal wir über den Anschluss 22 und den
Kabelabschnitt 16 zu der Funktionsplatte 14 übertragen.
Bei der Durchführung der Kalibrierung kann eine Funktionsplatte
für die Kalibrierung, die mit einem Endabschnitt zum Reflektieren
eines Bezugssignals versehen ist, als die Funktionsplatte 14 verwendet
werden. Es ist wünschenswert, dass der Endabschnitt das
Bezugssignal ohne Umkehrung der Polarität des Bezugssignals
reflektiert. Das Bezugssignal wird an der Funktionsplatte 14 reflektiert
und über den Kabelabschnitt 16 und den Anschluss 22 in den
Bezugskomparator 68 eingegeben.
-
Das
Signaleingangsende des Bezugskomparators 68 ist mit dem
Signalausgangsende des Bezugstreibers 6 verbunden. D. h.,
eine zusammengesetzte Wellenform, die eine Kombination zwischen dem
von dem Bezugstreiber 66 ausgegebenen Bezugssignal und
dem reflektierten Signal, das sich aus der Reflexion des Bezugssignals
an dem vorrichtungsseitigen Ende des Kabelabschnitts 16 ergibt, ist,
wird in den Bezugskomparator 68 eingegeben.
-
Die
Messschaltung 72 misst einen Signalverzögerungsbetrag
an dem Kabelabschnitt 16 auf der Grundlage der von dem
Bezugskomparator 68 erfassten zusammengesetzten Wellenform.
Beispielsweise misst die Messschaltung 72 den Signalverzögerungsbetrag
auf der Grundlage der Impulsbreite der von dem Bezugskomparator 68 erfassten
zusammengesetzten Wellenform.
-
Die
Einstellschaltung 74 kalibriert die interne Schaltung 32 auf
der Grundlage des von der Messschaltung 72 gemessenen Signalverzögerungsbetrags.
Beispielsweise kann die Einstellschaltung 74 den Zeitpunkt,
zu welchem jede interne Schaltung 32 ein Signal ausgibt,
und den Zeitpunkt, zu welchem jede interne Schaltung 32 ein
Signal erfasst, auf der Grundlage der Differenz des in jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 gemessenen
Signalverzögerungsbetrags einstellen. Der Zeitpunkt, zu
welchem die interne Schaltung 32 ein Signal ausgibt, kann
beispielsweise durch Steuern der Phase des zu dem Treiber 34 gelieferten
Zeittakts eingestellt werden. Der Zeitpunkt, zu welchem die interne
Schaltung 32 ein Signal erfasst, kann beispielsweise durch
Steuern der Phase eines zu dem Komparator 36 gelieferten
Abtastsignals eingestellt werden. Zusätzlich ist es auch
möglich, eine variable Verzögerungsschaltung an
dem Eingangs-/Ausgangsende der internen Schaltung 32 vorzusehen,
so dass die Einstellschaltung 74 den Verzögerungsbetrag
der variablen Verzögerungsschaltung steuert.
-
Gemäß dieser
Konfiguration wird es möglich, die Zeitkalibrierung jeder
Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 durchzuführen.
Zusätzlich kann der vierte Schalter 64 ein Bimetallschalter
sein, der den ersten Schalter 40 mit Erdpotential verbindet,
wenn eine Quellenleistung nicht zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird, und der den ersten Schalter 40 mit der Kalibrierungsschaltung 80 verbindet,
wenn eine Quellenleistung zu der Stiftelektronikschaltung 20 geliefert
wird.
-
In
diesem Fall ist zu der Zeit des Transports der Stiftelektronikschaltung 20 oder
dergleichen die erste Übertragungsleitung 30 über
den ersten Schalter 40 und den vierten Schalter 64 mit
Erdpotential verbunden, und daher ist es möglich, die interne Schaltung 32 gegenüber
einer Stoßspannung zu schützen. Zusätzlich
kann die Kalibrierungsschaltung 80 auch gegenüber
einer Stoßspannung geschützt werden, da die Kalibrierungsschaltung 80 ebenfalls von
der ersten Übertragungsleitung 30 getrennt ist.
-
Zusätzlich
wird beim Prüfen der geprüften Vorrichtung 200 der
erste Schalter 40 in den AUS-Zustand gebracht, und daher
beeinträchtigt die Kalibrierungsschaltung 80 nicht
die Prüfung der geprüften Vorrichtung 200.
Wenn die Kalibrierung der internen Schaltung 32 unter Verwendung
der Kalibrierungsschaltung 80 durchgeführt wird,
wird der Stiftelektronikschaltung 20 eine Quellenleistung
zugeführt, und somit steuert die Schaltersteuerschaltung 52 den ersten
Schalter 40 in den EIN-Zustand.
-
8 zeigt
ein Beispiel für eine zusammengesetzte Wellenform, die
von einem Bezugskomparator 68 erfasst wird. In 8 ist
die Wellenform des von dem Bezugstreiber 66 ausgegebenen
Bezugssignals durch eine ausgezogene Linie gezeigt, und die reflektierte
Wellenform ist durch eine gestrichelte Linie gezeigt. Auch ist in 8 die
Impulsbreite eines Bezugssignals als "W" dargestellt, und der Signalverzögerungsbetrag
in dem Kabelabschnitt 16 ist als "T" dargestellt.
-
Da
der Signalverzögerungsbetrag in dem Kabelabschnitt 16 gleich
"T" ist, wird die Phase der reflektierten Wellenform, die in den
Bezugskomparator 68 eingegeben wird, um den Betrag "2T"
gegenüber der Phase des Bezugssignals verzögert.
Als eine Folge ist die Impulsbreite des von dem Bezugskomparator 68 erfassten
Sig nals gleich "W + 2T". Die Messschaltung 72 ist in der
Lage, den Signalverzögerungsbetrag "T" durch Subtrahieren
der Impulsbreite des Bezugssignals von der Impulsbreite des von
dem Bezugskomparator 68 erfassten Signals und durch Teilen
des Subtraktionsergebnisses durch 2 zu berechnen.
-
9 zeigt
eine andere beispielhafte Konfiguration der Stiftelektronikschaltung 20. 7 behandelte
den Fall, in welchem jede der Eingangs-/Ausgangsschaltungen 30 eine
Kalibrierungsschaltung 80 enthält, während
das vorliegende Beispiel den Fall behandelt, in welchem die Stiftelektronikschaltung 20 eine
Kalibrierungsschaltung 80 und eine Schalteranordnung 82 insgesamt
mit Bezug auf die mehreren Eingangs-/Ausgangsschaltungen 30 enthält.
-
Die
Schalteranordnung 82 schaltet zwischen Verbindungsbestimmungsorten
des Signalausgangsendes des Bezugstreibers 66, der in der
Kalibrierungsschaltung 80 enthalten ist, wobei die Verbindungsbestimmungsorte
jeweils die ersten Schalter 40 der Eingangs-/Ausgangsschaltungen 30 sind.
Bei dem vorliegenden Beispiel verbindet die Schalteranordnung 82 die
Kalibrierungsschaltung 80 über den vierten Schalter 64 mit
dem ersten Schalter 40.
-
Die
Schalteranordnung 82 verbindet aufeinander folgend die
Kalibrierungsschaltung 80 mit jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
Die Kalibrierungsschaltung 80 misst aufeinander folgend
den Signalverzögerungsbetrag des Kabelabschnitts 16 entsprechend
jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30, um aufeinander folgend
jede interne Schaltung 32 zu kalibrieren. Beispielsweise
kalibriert die Kalibrierungsschaltung 80 jede interne Schaltung 32 derart,
dass die Zeitpunkte der Eingabe und der Ausgabe des Signals für
jede interne Schaltung 32 vorbestimmte Zeitpunkte sind.
-
10 zeigt
eine andere beispielhafte Konfiguration jeder Eingangs-/Ausgangsschaltung 30.
Die Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 bei dem vorliegenden
Beispiel enthält weiterhin ein Verbindungstor 84 und
einen vierten Schalter 64 zusätzlich zu der Konfiguration
der vorstehend mit Bezug auf 2 erläuterten
Eingangs-/Ausgangsschaltung 30. Das Verbindungstor 84 ist
mit einer externen Messvorrichtung 210 wie einem Oszilloskop
verbunden.
-
Die
Messvorrichtung 210 misst die Wellenform eines Ausgangssignals
der geprüften Vorrichtung 200 und gibt das Messergebnis über
das Verbindungstor 84 in die Eingangs-/Ausgangsschaltung 30 ein.
Die Konfiguration und die Funktion des vierten Schalters 64 sind
im Wesentlichen dieselben wie diejenigen des in 7 gezeigten
vierten Schalters 64.
-
Gemäß dieser
Konfiguration wird es leicht, die Prüfvorrichtung 100 mit
der externen Messvorrichtung 210 zu verbinden. Zusätzlich
ist die Messvorrichtung 210 wie ein Oszilloskop in der
Lage, die Wellenform eines Ausgangssignals genauer zu messen, wodurch
es möglich wird, die geprüfte Vorrichtung 200 genauer
zu prüfen.
-
Obgleich
die vorliegende Erfindung im Wege beispielhafter Ausführungsbeispiele
beschrieben wurde, ist festzustellen, dass der Fachmann viele Änderungen
und Ergänzungen vornehmen kann, ohne den Geist und den
Bereich der vorliegenden Erfindung, die nur durch die angefügten
Ansprüche definiert ist, zu verlassen.
-
Beispielsweise
wurde das Ausführungsbeispiel be schrieben, indem die Stiftelektronikschaltung 20,
die die interne Schaltung 32 enthält, als ein
Beispiel genommen wurde. Jedoch ist das Ausführungsbeispiel
des Schützens einer internen Schaltung gegenüber
einer Stoßspannung nicht auf das Beispiel der Stiftelektronikschaltung 20 beschränkt.
Tatsächlich enthält das Ausführungsbeispiel
auch ein Beispiel einer elektrischen Vorrichtung, die eine interne Schaltung,
einen elektrisch nach außen verbundenen Anschluss und eine Übertragungsleitung,
die elektrisch die interne Schaltung mit dem Anschluss verbindet,
enthält. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist es
möglich, die interne Schaltung gegenüber einer Stoßspannung
oder dergleichen zu schützen, indem ein Schalter vorgesehen
wird, der die Übertragungsleitung mit dem Erdpotential
verbindet, wenn der internen Schaltung keine Quellenleistung zugeführt wird,
und die die Übertragungsleitung von dem Erdpotential trennt,
wenn der internen Schaltung eine Quellenleistung zugeführt
wird.
-
Wie
aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ist die Prüfvorrichtung 100 in
der Lage, die interne Schaltung gegenüber einer Stoßspannung
oder dergleichen zu schützen. Zusätzlich ist es bei
der Prüfvorrichtung 100 möglich, die
Verschlechterung des Krümmungsgrads des Auslegers und das Problem
der weichen Anhaftung zu verringern, die der Verwendung eines Bimetallschalters
in der Stiftelektronik oder dergleichen der Prüfvorrichtung
zuschreibbar sind.
-
Zusammenfassung:
-
Es
ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung (200) vorgesehen, welche Prüfvorrichtung
enthält: eine Stiftelektronikschaltung (20), die
Signale mit der geprüften Vorrichtung austauscht; eine
Mustererzeugungsschaltung, die ein Prüfmuster über
die Stiftelektronikschaltung in die geprüfte Vorrichtung
eingibt; und eine Beurteilungsschaltung, die ein Ausgangssignal
von der geprüften Vorrichtung über die Stiftelektronikschaltung
empfängt und eine Beurteilung betreffend gut/schlecht der
geprüften Vorrichtung auf der Grundlage des Ausgangssignals
vornimmt, wobei die Stiftelektronikschaltung enthält: eine
interne Schaltung (32), die Signale mit der geprüften
Vorrichtung austauscht; eine erste Übertragungsleitung
(38), die die interne Schaltung mit der geprüften
Vorrichtung verbindet; und einen ersten Schalter (40),
der die erste Übertragungsleitung mit einem Erdpotential
verbindet, wenn die geprüfte Vorrichtung nicht geprüft
wird, und die erste Übertragungsleitung von dem Erdpotential
trennt, wenn die geprüfte Vorrichtung geprüft
wird.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste
der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert
erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information
des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen
Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt
keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-