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DE1110338B - Photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einerEbene bewegenden Lichtpunktes - Google Patents

Photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einerEbene bewegenden Lichtpunktes

Info

Publication number
DE1110338B
DE1110338B DEG28591A DEG0028591A DE1110338B DE 1110338 B DE1110338 B DE 1110338B DE G28591 A DEG28591 A DE G28591A DE G0028591 A DEG0028591 A DE G0028591A DE 1110338 B DE1110338 B DE 1110338B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
point
mirror
light
semiconductor
grain boundary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEG28591A
Other languages
English (en)
Inventor
Rolf K Mueller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Mills Inc
Original Assignee
General Mills Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Mills Inc filed Critical General Mills Inc
Publication of DE1110338B publication Critical patent/DE1110338B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/95Circuit arrangements
    • H10F77/953Circuit arrangements for devices having potential barriers
    • H10F77/957Circuit arrangements for devices having potential barriers for position-sensitive photodetectors, e.g. lateral-effect photodiodes or quadrant photodiodes

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einer Ebene bewegenden Lichtpunktes Die Erfindung betrifft eine photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einer Ebene bewegenden Lichtpunktes.
  • Es ist bekannt, für eine eindimensionale Feststellung der Lage eines Lichtpunktes einen eine Korngrenze aufweisenden Halbleiterkörper zu verwenden, da sich bekanntlich die transversale photoelektrische Spannung ändert, wenn ein Lichtpunkt die Korngrenze überquert (vgl. hierzu z. B. den Aufsatz von G. L. P e a r s o n in Physical Review, Vol. 76, S. 459, 1949, sowie die amerikanische Patentschrift Nr. 2740901). Der Anwendungsbereich solcher eindimensionaler Feststellungssysteme ist indessen naturgemäß beschränkt.
  • Mit der Erfindung soll daher eine zweidimensional arbeitende photoelektrische Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einer Ebene bewegenden Lichtpunktes geschaffen werden; der Gegenstand der Erfindung ist eine aus einem Bikristall bestehende dünne Halbleiterplatte, die nur eine einzige geradlinig ausgebildete, die Oberfläche der Halbleiterplatte teilende Korngrenze aufweist, die ferner mit zwei Kontaktpaaren ausgestattet ist, von denen die Kontakte des ersten Paares sperrschichtfrei an den der Korngrenze parallelen Kanten und die Kontakte des zweiten Paares an den zu der Korngrenze senkrechten Kanten der Halbleiterplatte angeordnet und so ausgebildet sind, daß an beiden Kontaktierungsflächen dieses zweiten Paares Sperrschichten gleichen Charakters und entgegengesetzter Sperrichtung entstehen, wobei jedes Kontaktpaar mit einem elektrischen Stromkreis verbunden ist, welcher mit Anzeigemitteln für die in ihm auftretende lichtelektrische Spannung bzw. Stromstärke ausgestattet ist, und deren Oberfläche schließlich von dem Licht des Lichtpunktes durch übliche optische Mittel praktisch punktförmig beleuchtet wird.
  • Vorzugsweise besteht der Halbleiterkörper aus Germanium und sind die Sperrschichten des zweiten Kontaktpaares durch anlegierte Indiumkontakte gebildet.
  • Als Anzeigemittel für die beiden photoelektrischen Spannungen bzw. Ströme lassen sich die beiden Ablenksysteme eines in einem rechtwinkligen Koordinatensystem anzeigenden Kathodenstrahloszillographen verwenden. Auch Voltmeter u. dgl. sind anwendbar.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind als optische Mittel zur Abbildung des Lichtpunktes auf die Halbleiteroberfläche eine Abbildungslinse und ein Planspiegel oder statt beider ein Abbildungsspiegel verwendet, wobei der Spiegel in -beiden Fällen kardanisch gelagert ist. . Die beiden Drehachsen des Spiegels können durch auf Stromrichtung in entgegengesetztem Sinne ansprechende Servomotoren verstellt werden.
  • In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung dienen als Anzeigemittel für die beiden Ausgangsspannungen bzw. -ströme der Halbleiterplatte die beiden Servomotoren der kardanischen Lagerung des Spiegels, von denen der eine in den ersten Kontaktkreis, der andere in den zweiten Kontaktkreis geschaltet ist. Hierbei sind zweckmäßigerweise Verstärker vorgesehen, welche dann die beiden Ausgangsspannungen der Halbleiterplatte den Servomotoren verstärkt zuführen.
  • Die Laufrichtungen der Servomotoren sind vorzugsweise so gewählt, daß die durch sie bewirkte Drehung des Spiegels um beide Drehachsen derart mit einer Verringerung der Ausgangsspannungen bzw. -ströme beider Kontaktpaare verbunden ist, daß durch die Spiegeldrehung der Lichtpunkt auf der Halbleiterfläche dem als Nullpunkt eines Koordinatensystems wirkenden Mittelpunkt der Oberfläche nähergeführt wird.
  • Der Halbleiterplatte kann ein Koordinatensystem zugeordnet werden, dessen eine Achse durch die Korngrenzengeradeund dessen andere, darauf senkrecht stehende Koordinate durch die auf der Korngrenzengeraden senkrechte Mittelgerade der Halbleiterplatte definiert ist. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können Registriermittel vorgesehen sein, welche die Winkelstellungen des Spiegels in beiden Drehrichtungen in Abhängigkeit von der Zeit aufzeichnen.
  • Die Erfindung wird an Hand eines Ausführungs- -beispieles in Verbindung mit den Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt Fig. 1 eine schematische, perspektivische Darstellung einer Ausführungsform der Einrichtung nach der Erfindung, Fig. 2 eine graphische Darstellung der transversalen photoelektrischen Spannung als Funktion der Lichtpunktanlage für eine gegebene Lichtintensität und einen bestimmten Lichtpunktdurchmesser und Fig.3 eine graphische Darstellung der seitlichen photoelektrischen Spannung für zwei verschiedene Lichtpunktlagen, aber bei gleicher Lichtintensität und gleichem Lichtpunktdurchmesser.
  • In Fig. 1 ist der Halbleiterkörper allgemein mit 10 bezeichnet. Obwohl sich andere halbleitende Materialien wie Silizium und die 111-V-Stoffe verwenden lassen, sei für die folgenden Erörterungen angenommen, daß der Körper 10 eine kleine Platte rechtwinkligen Querschnittes aus Germanium mit n-Leitfähigkeit ist. Die Platte 10 ist in Fig. 1 mit Bezug auf die übrige Vorrichtung stark vergrößert dargestellt; sie kann beispielsweise 6 mm lang, 2 mm breit und 0,5 mm dick sein. Die Platte 10 hat bei 12 eine Korngrenze, die sich rechtwinklig zu ihrer Hauptachse erstreckt. Kontakte 14, 16 eines ersten Kontaktpaares sind sperrschichtfrei an den Seitenkanten der Platte angeordnet. Zwei Indiumkontakte 18, 20 sind an entgegengesetzten Seiten der Korngrenze 12 anlegiert.
  • Um eine praktische Awendung der Erfindung bei der Verfolgung eines Lichtpunktes zu veranschaulichen, sei angenommen, daß das bewegliche Ziel die Form einer kleinen Lichtquelle 22 hat. Wie mit den Pfeilen 24, 26 angedeutet, kann sich die Zielquelle oder der Zielpunkt 22 in beiden Dimensionen einer Ebene in entgegengesetzten Richtungen bewegen.
  • Der Zielpunkt 22 kann verschiedenartigsten Ursprung haben. Beispielsweise kann er ein Stern, ein an einem Luftfahrzeug angebrachtes Licht, eine von einem beweglichen Maschinenwerkzeug getragene, z. B. der Beleuchtung dienende, Lichtquelle und anderes mehr sein.
  • Licht vom Zielpunkt 22 wird durch eine ortsfest angeordnete Sammellinse 28 auf einen Planspiegel 30 gerichtet. Von diesem wird das Licht in Form eines kleinen praktisch punktförmig begrenzten Flecks 32 auf die Halbleiterplatte 10 reflektiert.
  • Um der Bewegung der Quelle 22 folgen zu können, ist der Spiegel 30 kardanisch gelagert, und zwar derart, daß er um eine von einem aufrecht stehenden Bügel 34 gebildete horizontale Achse geschwenkt werden kann, während der Bügel seinerseits um eine vertikale Achse drehbar ist. Die Schwenk- oder Drehbewegung des Spiegels 30 um die horizontale Achse ist mittels des Pfeiles 36, diejenige um die vertikale Achse mittels des Pfeiles 38 angedeutet.
  • Die Drehung des Spiegels 30 um die vertikale Achse wird mittels eines Servomotors 40 am Sockel des Bügels 34 bewirkt, während die Vertikaldrehung mittels eines Servomotors 42 erfolgt, der an dem Bügel so gelagert ist, daß er zusammen mit diesem drehbar ist. Die Servomotoren 40, 42 sind in übliche: Weise ausgeführt und werden daher nicht im einzelnen beschrieben. Sie sprechen beide auf Spannungspolarität und außerdem vorzugsweise auf Spannungsamplitude an. Da verhältnismäßig kleine Spannungssignale verarbeitet werden müssen, ist ein Verstärker 44 in den Kreis des Servomotors 40 eingeschleift. Ebenso liegt ein Verstärker 46 im Kreis des Servomotors 42. Eine Seite des Verstärkers 44 ist an den Kontakt 16 angeschlossen, während der Kontakt 14' geerdet ist, so daß dem Servomotor 40 über den Verstärker 44 jedes zwischen den Kontakten 14, 16 auftretende photoelektrische Signal aufgedrückt wird. In ähnlicher Weise ist eine Seite des Verstärkers 46 an den Kontakt 20 angeschlossen und wird durch Verbinden des Kontaktes 18 mit dem Servomotor 42 jedes zwischen den Kontakten 18, 20 entwickelte photoelektrische Signal über den Verstärker 46 an den Servomotor 42 gelegt.
  • Die Kurve 50 der Fig. 2 gibt die transversale photoelektrische Spannung als Funktion der Lage des Lichtpunktes 32 wieder. Interessant ist dabei, daß die spezielle Halbleiterplatte 10, von der die Kurve gemäß Fig.2 stammt, eine um 25° schrägliegende Grenze enthält. Die photoelektrische Spannung ist in Fig. 2 in Minivolt gegen die Lichtpunktlage in Millimeter aufgetragen. Es ist deutlich erkennbar, daß dort, wo der Lichtpunkt 32 die Korngrenze 12 kreuzt, eine plötzliche Polaritätsumkehr stattfindet. Die Extremwerte der Kurve 50 treten auf, wenn sich der Umkreis des Lichtpunktes 32 an der Korngrenze befindet.
  • In jedem Falle wird von der Polaritätsumkehr der transversalen photoelektrischen Spannung Gebrauch gemacht, um die Laufrichtung des Servomotors 40 zu steuern.. Entsteht keine Spannung, befindet sich de: Punkt 32 an der Korngrenze 12, und eine Richtigstellung des Spiegels 30 ist nicht nötig. Wenn andererseits der Punkt 32 z. B. nach rechts verschoben wird. entsteht ein positives Signal, das eine Drehung des Bügels 34 im Uhrzeigersinn entsprechend dem betreffenden Pfeil 38 hervorruft. Eine solche Drehung stellt den Spiegel 30 derart ein, daß der Punkt 32 in eine Nullstellung zurückgeführt wird, die sieh mit der Korngrenze 12 deckt. Wird statt dessen der Punkt 32 von der Korngrenze aus nach links (Fig.1) verschoben, findet, da ein negatives Signal entsteht, eine Nachführung in entgegengesetzter Richtung statt.
  • In Fig. 3 ist in zwei gesonderten Kurven 54 und 5F die seitliche photoelektrische Spannung als Funktion der Lichtpunktlage dargestellt. Die Kurve 54 stammt von einem Lichtpunkt 32, der sich längs der Korngrenze 12 bewegt, ganz so, wie er es in Fig. 1 zu tun scheint. Mit anderen Worten würde der mit 32 bezeichnete Lichtpunkt die Korngrenze 12 decken und sich z. B. vom Indiumkontakt 18 zum gegenüberliegenden Indiumkontakt 20 bewegen. Die Kurve 56 hingegen stammt von einem Lichtpunkt, der sich parallel zur Korngrenze 12, im vorliegenden Ausführungsbeispiel in einem Abstand von 0,2 mm rechts von der Korngrenze, bewegt. Das Auftreten der seitlichen photoelektrischen Spannung hängt im Gegensatz zu dem durch die Kurve 50 dargestellten Transversaleffekt vom Abstand der Indiumkontakte 18 und 20 ab und nimmt mit abnehmendem Abstand zu. Der seitliche Photoeffekt steht mit der p-leitfähigen Inversionsschicht an der Korngrenze 12 in Zusammenhang.
  • Demgemäß wird, während ein transversaler photoelektrischer Effekt auftritt, wenn sich der Lichtpunkt 32 zwischen den sperrschichtfreien Kontakten 14 und 16 bewegt, ein seitlicher photoelektrischer Effekt beobachtet, wenn sich der Punkt zwischen den Indiumkontakten 18 und 20 bewegt. In beiden Fällen ergibt sich eine Polaritätsumkehr, wenn der Lichtpunkt über die Koordinatenachsen eines Koordinatensystems bewegt wird, dessen eine, dem transversalen photoelektrischen Effekt zugeordnete Koordinate durch die Korngrenze 12 und dessen andere, dem seitlichen photoelektrischen Effekt zugeordnete Koordinate durch die auf der Korngrenze senkrechte Mittelgerade zwischen den Kontakten 18, 20 bestimmt ist. Wie ersichtlich, ist die entwickelte seitliche photoelektrische Spannung für irgendeine gegebene Abweichung von der Mittelgeraden am größten, wenn der Lichtpunkt auf der Korngrenze liegt (Kurve 54). Die maximale Spannung für einen gegebenen Abstand von der Korngrenze 12 tritt auf, wenn sich der Lichtpunkt 32 nahe einem der Indiumkontakte 18, 20 befindet.
  • Infolgedessen entsteht, wenn der Punkt 32 zu einer Stelle, z. B. oberhalb der Mittelgeraden verschoben worden ist, ein positives Spannungssignal, das es erfordert, daß der Spiegel 30 entsprechend dem Pfeil 36 im Uhrzeigersinn geschwenkt wird. Diese Bewegung erfolgt mittels des Servomotors 42, wenn letzterer das verstärkte Signal empfängt. Das Umgekehrte tritt selbstverständlich ein, wenn der Punkt 32 unter die Mittelgerade gelangt, da sich dann, wie aus den Kurven 54, 56 hervorgeht, die Polarität umkehrt und der Servomotor 42 in entgegengesetzter Richtung läuft, um den Punkt 32 anzuheben.

Claims (10)

  1. PATENTANSPROCHE: 1. Photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einer Ebene bewegenden Lichtpunktes, gekennzeichnet durch eine aus einem Bikristall bestehende dünne Halbleiterplatte, die nur eine einzige geradlinig ausgebildete, die Oberfläche der Halbleiterplatte teilende Korngrenze aufweist, die ferner mit zwei Kontaktpaaren ausgestattet ist, von denen die Kontakte des ersten Paares sperrschichtfrei an den der Korngrenze parallelen Kanten und die Kontakte des zweiten Paares an den zu der Korngrenze senkrechten Kanten der Halbleiterplatte angeordnet und so ausgebildet sind, daß an beiden Kontaktierungsflächen dieses zweiten Paares Sperrschichten gleichen Charakters und entgegengesetzter Sperrichtung entstehen, wobei jedes Kontaktpaar mit einem elektrischen Stromkreis verbunden ist, welcher mit Anzeigemitteln für die in ihm auftretende lichtelektrische Spannung bzw. Stromstärke ausgestattet ist, und deren Oberfläche schließlich von dem Licht des Lichtpunktes durch übliche optische Mittel praktisch punktförmig beleuchtet wird.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper aus Germanium besteht und daß die Sperrschichten des zweiten Kontaktpaares durch anlegierte Indiumkontakte gebildet sind.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Anzeigemittel für die beiden photoelektrischen Spannungen bzw. Ströme die beiden Ablenksysteme eines in einem rechtwinkligen Koordinatensystem anzeigenden Kathodenstrahloszillographen verwendet sind.
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als optische Mittel zur Abbildung des Lichtpunktes auf die Halbleiteroberfläche eine Abbildungslinse und ein Planspiegel oder statt beider ein Abbildungsspiegel verwendet sind, wobei der Spiegel in beiden Fällen kardanisch gelagert ist.
  5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Drehachsen des Spiegels durch auf Stromrichtung in entgegengesetztem Sinne ansprechende Servomotoren verstellt werden.
  6. 6. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Anzeigemittel für die beiden Ausgangsspannungen bzw. -ströme der Halbleiterplatte die beiden Servomotoren der kardanischen Lagerung des Spiegels dienen, von denen der eine in den ersten Kontaktkreis, der andere in den zweiten Kontaktkreis geschaltet ist.
  7. 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Verstärker vorgesehen sind, welche die beiden Ausgangsspannungen der Halbleiterplatte den Servomotoren verstärkt zuführen. B.
  8. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Laufrichtungen der Servomotoren so gewählt sind, daß die durch sie bewirkte Drehung des Spiegels um beide Drehachsen derart mit einer Verringerung der Ausgangsspannungen bzw. -ströme beider Kontaktpaare verbunden ist, daß durch die Spiegeldrehung der Lichtpunkt auf der Halbleiterfläche dem als Nullpunkt eines Koordinatensystems wirkenden Mittelpunkt der Oberfläche nähergeführt wird.
  9. 9. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterplatte ein Koordinatensystem zugeordnet wird, dessen eine Achse durch die Korngrenzengerade und dessen andere, darauf senkrecht stehende Koordinate durch die auf der Korngrenzengeraden senkrechte Mittelgerade der Halbleiterplatte definiert ist.
  10. 10. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 9, gekennzeichnet durch Registriermittel, welche die Winkelstellungen des Spiegels in beiden Drehrichtungen in Abhängigkeit von der Zeit aufzeichnen.
DEG28591A 1959-01-13 1959-12-15 Photoelektrisch arbeitende Einrichtung zur Feststellung der Lage eines sich in einerEbene bewegenden Lichtpunktes Pending DE1110338B (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1280434B (de) * 1962-08-06 1968-10-17 Bendix Corp Photoelement zur lichtelektrischen Lageanzeige

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1280434B (de) * 1962-08-06 1968-10-17 Bendix Corp Photoelement zur lichtelektrischen Lageanzeige

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