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DE1181331B - Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbuendels metallischer Ionen - Google Patents

Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbuendels metallischer Ionen

Info

Publication number
DE1181331B
DE1181331B DEC24526A DEC0024526A DE1181331B DE 1181331 B DE1181331 B DE 1181331B DE C24526 A DEC24526 A DE C24526A DE C0024526 A DEC0024526 A DE C0024526A DE 1181331 B DE1181331 B DE 1181331B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cathode
arc
arc discharge
anode
plasma
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEC24526A
Other languages
English (en)
Inventor
Marcel Matricon
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Original Assignee
Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Compagnie Francaise Thomson Houston SA filed Critical Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Publication of DE1181331B publication Critical patent/DE1181331B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/12Ion sources; Ion guns using an arc discharge, e.g. of the duoplasmatron type
    • H01J49/126Other arc discharge ion sources using an applied magnetic field

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbündels metallischer Ionen Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbündels metallischer Ionen, bei der die Ionisation des Metalldampfes durch eine zwischen einer Anode und einer aus dem betreffenden flüssigen Metall gebildeten Kathode parallel zu einem Austrittsschlitz sich einstellende Bogenentladung erfolgt.
  • Um eine derartige Einrichtung unter optimalen Bedingungen betreiben zu können und um die Potentialdifferenz zwischen dem Mittelbereich des Lichtbogenplasmas und der metallischen Hülle der Ionenquelle so klein wie möglich zu machen, sind erfindungsgemäß an den Enden und in der Mitte des Plasmabereichs der Bogenentladung die dort herrschende Potentiale abnehmende Sonden vorgesehen, an die ein Rechenwerk angeschaltet ist, daß entsprechend den von den Sonden empfangenen Meßwerten die Spannungsquellen für die Bogenentladung und die Kathodenheizung derart steuert, daß das Potential im Mittelbereich des Plasmas gegenüber dem oder denjenigen der Bündelungselektroden konstant bleibt. Auf Grund der hier vorgeschlagenen Maßnahmen wird in jedem Augenblick innerhalb der Bogenentladung eine gewünschte Potentialverteilung erzielt und so eine Metallionenquelle erhalten, die sich mit besonderem Vorteil auf dem Gebiet der Massenspektroskopie verwenden läßt. Das den die an den verschiedenen Stellen der Bogenentladung herrschenden Potentiale messenden Sonden zugeordnete Rechenwerk kann auf Grund der Information über die Werte dieser verschiedenen Potentiale die Änderungen der Spannung zur Speisung dieses Lichtbogens und der Kathodenheizspannung steuern, um eine entsprechende Verteilung des Anoden- und Kathodenspannungsabfalls zu erzielen und dabei zu erreichen, daß das Potential im Mittelbereich der Bogenentladung gegenüber dem oder denjenigen der Bündelungselektroden konstant bleibt. Der wesentliche Vorteil der hier vorgeschlagenen Einrichtung liegt darin, daß eine beachtliche Ionendichte in dem Lichtbogen erzielt wird, ohne daß es notwendig ist, daß Metall auf eine solche Temperatur zu erhitzen, daß in der gesamten Ionenquelle eine ausreichende Dampfspannung vorhanden ist. Hieraus ergibt sich gegenüber den bisher üblichen Verfahren ein wesentlich geringerer Verlust an durch den Austrittsspalt der Ionenquelle entweichenden ungeladenen Atomen.
  • An Hand der Zeichnungen wird ein Ausführungsbeispiel der Einrichtung beschrieben.
  • F i g. 1 veranschaulicht im Schnitt eine Ionenquelle, die insbesondere für die Benutzung in einem Gerät zur elektromagnetischen Isotopentrennung geeignet ist; F i g. 2 zeigt ebenfalls im Schnitt eine Teilansicht der Ionenquelle, und zwar deren Anode und eine Trennwagü,° die in der Nähe dieser Anode angeordnet und mit dem Austrittsspalt versehen ist; F i g. 3 gibt in. einer graphischen Darstellung die Änderungen des Potentials längs des Lichtbogens wieder; F i g. 4 stellt ein Betriebsschaltbild des Steuersystems der Ionenquelle dar; F i g. 5 verdeutlicht schließlich die Anordnung der Sammelablaufeinrichtung, die die Kathodenflüssigkeit in die Kathode ohne Hervorrufen von Kurzschluß zurückfließen läßt.
  • Die in F i g. 1 dargestellte und für ein Gerät zur elektromagnetischen Isotopentrennung vorgesehene Ionenquelle besteht im wesentlichen aus einer flüssigen Kathode 12 und einer Anode 13, die in einem Metallbehälter 14 enthalten sind, der einen schlitzförmigen Austrittsspalt 15 zum Herausziehen der durch die Ionenquelle gebildeten Ionen aufweist. Die flüssige Kathode 12 besteht aus demjenigen Metall, dessen Isotopen man zu trennen wünscht. Im Betrieb der Ionenquelle stellt sich zwischen der Anode und der Kathode eine Bogenentladung 11 ein, die senkrecht verlaufen muß, da sie von einer flüssigen Kathode aus erfolgt, die zwangsweise im unteren Teil der Ionenquelle angeordnet sein muß. Dieser zu der Anode 13 führende Lichtbogen verläuft in seiner Gesamtheit in dem Behältex1,14; der den Schlitz 15 besitzt, durch den die aus dem Bogen unter Einwirkung des durch eine auf geeigneter Spannung gehaltene Trennelektrode 16 erzeugten elektrischen Feldes herausgelösten Ionen austreten. Sämtliche vorbeschriebenen Teile sind in einem vakuumdichten Behälter 17 angeordnet, und ein entsprechendes Magnetsystem, dessen Polmassen bei 18 dargestellt sind, erzeugt das den Bogen stabilisierende Magnetfeld H. Um zu verhindern, daß der Bogen sich aus seiner zum Magnetfeld parallelen Lage verschiebt und demzufolge gegenüber dem Trennschlitz 15 veränderliche Lagen einnimmt, was den Betrieb des die Isotopen elektromagnetisch trennenden Geräts stören würde, ist die Anode 13 durch einen Deckel 19 abgedeckt, in dem eine der Lage des Bogens entsprechende Öffnung 20 vorgesehen ist. Zum Zünden der Bogenentladung ist eine Zündelektrode 21 vorgesehen, die aus entsprechendem Werkstoff besteht und in der Lage ist, in die Oberfläche der flüssigen Kathode 12 entweder ständig oder intermittierend einzutauchen. Da die geringe Abmessung der Öffnung 20 den Aufbau des Lichtbogens an derAnode 13 im Augenblick der Zündung behindern kann, kann es zweckmäßig sein, in Nähe der Öffnung 20 eine Zündhilfselektrode anzuordnen. In F i g. 2 ist die Anordnung einer solchen Zündhilfselektrode 22 dargestellt, die über ein Isolierzwischenstück 23 an dem Behälter 14 der Ionenquelle befestigt ist. Eine Verbindungsleitung 25 bringt diese Zündhilfselektrode22 im Augenblick der Zündung des Lichtbogens auf ein gegenüber der Kathode positives Potential. Wenn der Bogen gezündet hat und bis zu der Hilfselektrode 22 gelangt ist, kann er leicht zu der Anode 13 übertreten, vorausgesetzt, daß diese gegenüber der Kathode auf einem höheren positiven Potential als die Hilfselektrode 22 liegt. Wenn die Bogenentladung zwischen der Kathode und der Anode 13 hergestellt ist, kann man vorzugsweise die Zündhilfselektrode 22 auf das Kathodenpotential legen.
  • Für einen stabilen und wirksamen Betrieb des elektromagnetischen Isotopentrenngeräts muß die Potentialverteilung in der Ionenquelle entsprechend angepaßt und stabil sein. In F i g. 3 ist die Potentialverteilung in einem Metalldampfbogen graphisch dargestellt, in dem längs der CA-Achse die verschiedenen Bereiche des Bogens und auf der CV-Achse die Spannungen an den verschiedenen Punkten des Bogens aufgetragen sind. Im Bereich CPl liegt der Kathodenspannungsabfall, im BereichP@P2 der Spannungsabfall im Plasma und im Bereich PQA der Anodenspannungsabfall. Im Punkt C befindet sich die Kathode, im Punkt A die Anode der Bogenentladung. Man sieht, daß die an den verschiedenen Punkten des Plasmas herausgezogenen Ionen infolge des Spannungsabfalls im Bereich P,P2 nicht auf gleichem Potential liegen. Die Bahnen dieser verschiedenen Ionen in dem Trennmagnetfeld hängen insbesondere von diesen ursprünglichen Spannungsdifferenzen ab, und man wird dies berücksichtigen, indem man den Sammelschlitzen entsprechende Form gibt. Damit das Gerät für die elektromagnetische Isotopentrennung entsprechend arbeitet, ist es ferner notwendig, daß der Plasmabereich PA ständig vor dem Austrittsschlitz der Ionenquelle liegt und daß die Potentiale an den verschiedenen Punkten des Plasmas gegenüber den verschiedenen Elektroden des Geräts nicht schwanken. Zu . diesem Zweck läßt es sich einrichten, daß das Potential des Mittelpunkts M der Nutzlänge des Plasmas gleich dem Potential des Behälters ist, der den schlitzförmigen Austrittsspalt der Ionenquelle enthält.
  • In den gesamten vorstehenden Ausführungen ist angenommen, daß der die öffnung 20 aufweisende Deckel 19 (F i g. 1) in Nähe der Anode angeordnet ist; es ist jedoch auch möglich, diesen Deckel in Nähe der Kathode vorzusehen. In diesem Fall muß die Anordnung der F i g. 2 so verstanden werden, daß die Teile 22, 23 und 25 in Nähe der Kathode angeordnet sind.
  • In F i g. 4 ist ein Steuersystem dargestellt, daß dieseAufgabe zu lösen gestattet. Die Bogenentladung 11 wird zwischen der Kathode 12 und der Anode 13 hergestellt. Die gesamte Entladungsstrecke ist in dem Behälter 14 eingeschlossen, jedoch ist bei 15 ein Schlitz vorgesehen, durch den der Strom 32 positiver Ionen austreten kann. Zur Vereinfachung der Darstellungsweise ist jedoch in dieser Figur das Magnetfeld nicht dargestellt, das einmal zur Stabilisierung des Bogens 11 und zum anderen der Abtrennung der positiven Ionen unterschiedlicher Massen dient, die das Strahlenbündel 32 positiver Ionen bilden. Das Strahlenbündel 32 wird aus der Ionenquelle durch das elektrische Feld herausgezogen, das durch den Trennschlitz 33 und Bündelungsschlitz 34 geschaffen ist, die an entsprechenden Potentialen der Hochspannungsquellen 35 und 36 liegen. Dieses Bündel positiver Ionen wird nach Trennung in dem Magnetfeld in Sammlern aufgefangen, von denen einer bei 37 dargestellt ist. Der Bogen 11 wird von der Spannungsquelle 38 gespeist. Die Spannungen der Elektroden 12 und 13 und der verschiedenen Bereiche des Bogens 11 sind gegenüber den anderen Elektroden des Trenngeräts mittels der Spannungsquelle 39 festgelegt. Damit diese Spannungsquelle 39 wirksam sein kann, ist es notwendig, daß die Kathode 12 von dem Behälter 14 isoliert ist; es wird daher vorgesehen, daß die aus flüssigem Metall bestehende Kathode 12 in einem Isolierbehälter 40 enthalten ist. Eine durch die Spannungsquelle 42 gespeiste Heizeinrichtung 41 hält die Kathode auf einer geeigneten Temperatur, damit sich der Bogen 11 ausreichend ausbilden kann. Das Potential am Mittelpunkt des Plasmas des Bogens 11 wird durch die Sonde 43 erfaßt. Diese Spannung wird mit der Spannung des Behälters 14 in der Steuereinrichtung 44 verglichen. Diese Steuereinrichtung 44 wirkt auf die Spannungsquelle 39 derart, daß die Differenz zwischen der Spannung des Mittelpunkts des Plasmas des Bogens 11 und der Spannung des Behälters 14 auf Null eingeregelt wird. Zur Sicherstellung einer genauen Betriebsweise des Bogens und insbesondere einer passenden Verteilung der Kathoden-Anoden- und Plasma-Spannungsabfälle sowie der Konstanz des Spannungsabfalls P,PQ zwischen den beidseitigen Enden des Plasmas nehmen Sonden 45 und 46 die Spannung an den Enden des Plasmas ab. Die Anzeigen der Sonden 43, 45 und 46 und die Werte der Spannungen der Elektroden 12 und 13 sowie des von der Stromquelle 38 abgegebenen Stroms werden in eine Rechen- und Steuereinrichtung 47 eingegeben, die auf die für die Speisung des Bogens vorgesehene Stromquelle 38 und auf die für die Heizung der Kathode bestimmte Stromquelle 42 einwirkt, um das gewünschte Ergebnis zu erreichen. Sofern notwendig, kann man in den Rechner 47 Informationen über die Temperatur der Kathode und die von der Stromquelle 42 abgegebene Leistung mittels Leiter 48 und 49 eingeben.
  • Um zu vermeiden, daß die Sonden 43, 45 und 46 sich mit einer Schicht des die Kathode bildenden Metalls bedecken, ist ferner vorgesehen, sie zu heizen, um diesen Nachteil auszuschließen. Sie können daher durch von einem entsprechenden Strom durchflossene Metallschleifen, durch innen geheizte gekapselte Elemente oder durch einfache, einem entsprechend angeordneten, durch Strahlung oder Wärmeleitung wirkenden Heizsystem ausgesetzte Elektroden gebildet sein, die jedoch von diesem Heizsystem elektrisch isoliert sind. Die Notwendigkeiten der Steuerung des Potentials des Bogens zwingen zur elektrischen Isolierung der Kathode 12 vom Behälter 14. Im übrigen ist es wünschenswert, daß das die Kathode bildende Metall, das sich an den Innenwandungen der Ionenquelle niederschlägt, von selbst durch Schwerkraft in die Kathode zurückgelangen kann. Hierfür ist es notwendig, daß die Kathode, obwohl sie von der Ionenquelle elektrisch isoliert ist, in dem unteren Bereich des Behälters der Ionenquelle angeordnet ist und der Gesamtaufbau auf einer leicht über der Schmelztemperatur des die Kathode bildenden Metalls liegenden Temperatur gehalten wird. Ferner müssen die auf die Innenwandungen der Ionenquelle rieselnden Metalltropfen zur Kathode zurückkehren, ohne zwischen dem Behälter und der Kathode Kurzschluß hervorzurufen. Zu diesem Ergebnis gelangt man, indem man die Sammelabläufe entsprechend anordnet. In F i g. 5 ist ein Ausführungsbeispiel einer solchen Anordnung dargestellt. Die Kathode 12 befindet sich in einem Isolierstück 40, das seinerseits in dem Behälter 14 der Ionenquelle angeordnet ist. Der obere Teil des Isolierstücks 40 ist derart ausgebildet, daß zwischen ihm und dem Behälter 14 ein Ablauf 53 gebildet ist. Das von diesem Ablauf 53 aufgenommene Metall kehrt über den Überlauf 54 zur Kathode zurück. Dieser Überlauf 54 ist derart angeordnet, daß das abfließende Metall keinen ununterbrochenen Strahl, sondern vielmehr voneinander getrennte Tropfen 55 bildet. Dieses Ergebnis erzielt man durch entsprechende Bemessung des Volumens des Ablaufs 53 und der Form des Überlaufs 54 unter Berücksichtigung der Viskosität und der Oberflächenspannung des Metalls. Notfalls kann man noch in den Strom der Tropfen 55 isolierende Zwischenstücke hinzusetzen.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbündels metallischer Ionen, insbesondere für Massenspektrometer, bei der die Ionisation des Metalldampfes durch eine zwischen einer Anode und einer aus dem betreffenden flüssigen Metall gebildeten Kathode parallel zu einem Austrittsschlitz sich einstellende Bogenentladung erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß an den Enden und in der Mitte des Plasmabereichs der Bogenentladung (11) die dort herrschende Potentiale abnehmende Sonden (45, 46; 43) vorgesehen sind, an die ein Rechenwerk (47) geschaltet ist, das entsprechend den von den Sonden empfangenen Meßwerten die Spannungsquellen (38, 42) für die Bogenentladung und die Kathodenheizung derart steuert, daß das Potential im Mittelbereich des Plasmas gegenüber dem oder denjenigen der Bündelungselektroden (34) konstant bleibt. In Betracht gezogene Druckschriften: »Zeitschr. f. Metallkunde«, Bd. 47, 1956, H. 3, S. 149 bis 159; »Brit. I. of Appl. Phys.«, Vol. 9, 1958, Nr. 12, S. 488 bis 491; W. E. Kuhn, »Ares in Inert Atmospheres and Vacuum«, 1956, New York, S. 30 bis 38.
DEC24526A 1960-07-06 1961-07-04 Einrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbuendels metallischer Ionen Pending DE1181331B (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
FR832220A FR1269744A (fr) 1960-07-06 1960-07-06 Perfectionnement aux sources d'ions des séparateurs électromagnétiques d'isotopes
FR1181331X 1960-07-06

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DE1181331B true DE1181331B (de) 1964-11-12

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Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR1269744A (fr) 1961-08-18

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