DE1180069B

DE1180069B - Device for the production of semiconductor components, in particular alloy device

Info

Publication number: DE1180069B
Application number: DES83275A
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Karl Gerhardt Klima; Dipl-Ing Cornelius Noss
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1963-01-16
Filing date: 1963-01-16
Publication date: 1964-10-22
Also published as: US3290738A; CH420068A; NL302915A; GB988921A

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Internat. KL: HOIlBoarding school KL: HOIl

Deutsche Kl.: 21 g -11/02 German class: 21 g -11/02

Nummer: 1180 069Number: 1180 069

Aktenzeichen: S 83275 VIH c / 21 gFile number: S 83275 VIH c / 21 g

Anmeldetag: 16. Januar 1963 Filing date: January 16, 1963

Auslegetag: 22. Oktober 1964Opening day: October 22, 1964

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, insbe-* sondere eine Legierungsvorrichtung, bei der mindestens drei zylindrische oder prismatische, mit ihren Stirnflächen säulenartig aufeinandergestellte querschnittsgleiche Körper, von denen mindestens einer als Behälter für zu bearbeitende Halbkiterkristalle oder Halbleiterlegierungssysteme verwendet ist, durch einen gegen Luft abzuschließenden Behandlungsraum, z. B. durch ein evakuiertes oder mit Schutzgas gefülltes, insbesondere beheiztes Behandlungsgefäß, unmittelbar hintereinander in einer Führung transportiert werden. Nach der Erfindung sind bei einer solchen Vorrichtung sowohl an der Eintritts- als auch an der Austrittsstelle für die in Riehtung ihrer Achse zu verschiebenden Körper mindestens drei in der nämlichen Richtung gegeneinander versetzt angeordnete, aus elastischem- Stoff bestehende und als Flachringe geformte Dichtungslippen vorgesehen, die mit ihrem Außenrand mit der Wand des Behandlungsgefäßes gasdicht verbunden sind und an der Mantelfläche der hindairchwandemden Körper dicht anliegen sowie mit einem auf die Höhe der hindurchzuschiebenden Körper derart abgestimmten Abstand hintereinander angeordnet sind, daß während des Betriebes der Vorrichtung stets einer der die Vorrichtung durchwandernden Körper zusammen mit mindestens einer der Dichtungslippen sowohl an der Eintritts- als auch an der Austrittsstelle der Körper einen gasdichten Abschluß ergibt. The invention relates to an apparatus for producing semiconductor components, especially * special an alloy device in which at least three cylindrical or prismatic, with their End faces of bodies of the same cross-section placed one on top of the other in the manner of a column, of which at least one is used as a container for semi-citer crystals or semiconductor alloy systems to be processed, by a treatment room to be sealed against air, e.g. B. by an evacuated or with Protective gas-filled, in particular heated treatment vessel, directly behind one another in a guide be transported. According to the invention, in such a device both at the entrance as well as at the exit point for the body to be displaced in the direction of its axis at least three in the same direction offset from one another and made of elastic material and provided as flat rings shaped sealing lips, which with their outer edge with the Wall of the treatment vessel are connected gas-tight and on the outer surface of the hindairchwandemden Body fit tightly and with one matched to the height of the body to be pushed through Are arranged spaced one behind the other that always during the operation of the device one of the bodies passing through the device together with at least one of the sealing lips both at the entry and at the exit point of the body results in a gas-tight seal.

Zunächst soll das Wesentliche der Erfindung an Hand eines Durchlauflegierungsofens, der in F i g. 1 schematisch dargestellt ist, beschrieben werden. Die F i g. 2, 3 und 4 beziehen sich auf Einzelheiten des in F i g. 1 dargestellten Legierungsofens.First of all, the essentials of the invention will be explained with reference to a continuous alloy furnace, which is shown in FIG. 1 is shown schematically, to be described. The F i g. 2, 3 and 4 refer to details of the in Fig. 1 alloy furnace shown.

Bei der Serienfertigung ist man bestrebt, den Legierungsvorgang möglichst unter Verwendung von Durchlauföfen vorzunehmen. Die zu legierenden, aus dem Halbleiterkristall und-dem Legierungsmetall bestehenden Systeme sind dabei zweckmäßig in kapselartigen Legierungsformen untergebracht, die vor allem den mechanischen Schutz der empfindlichen Halbleiterkristalle gewährleisten. Einzelheiten derartiger Legierungsformen sind allgemein bekannt. Hier genügt es, festzustellen, daß es sich um in den meisten Fällen zylindrische, manchmal auch prismatische Körper handelt, wie sie beim Betrieb der erfindungsgemäßen Vorrichtung durch diese hindurchgeschoben werden sollen. Sie bestehen aus einem temperaturbeständigen Stoff, insbesondere einem Metall, Metalloxyd oder aus Graphit. In vielen Fällen sind diese Formen nicht vollständig abgeschlossen, Vorrichtung zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, iäjsfeiesendere Legierungsvorrichtung In series production, efforts are made to use the alloying process as much as possible Make continuous ovens. Those to be alloyed, consisting of the semiconductor crystal and the alloy metal Systems are expediently housed in capsule-like alloy forms, which before Above all, ensure the mechanical protection of the sensitive semiconductor crystals. Details of such Alloy forms are well known. Suffice it to say here that it is in the In most cases, it is cylindrical, sometimes also prismatic, bodies, as they are when the invention is operated Device to be pushed through this. They consist of a temperature-resistant material, especially one Metal, metal oxide or graphite. In many cases these forms are not fully completed, Apparatus for manufacturing semiconductor components, more reliable alloy apparatus

Anmelder:Applicant:

Siemens & Halske Aktiengesellschaft,Siemens & Halske Aktiengesellschaft,

Berlin und München,Berlin and Munich,

München 2, Wittelsbacherplatz 2Munich 2, Wittelsbacherplatz 2

Als Erfinder benannt:
Dipl.-Phys. Karl Gerhardt Klima,
Dipl.-Ing. Cornelius Noss, MünchenNamed as inventor:
Dipl.-Phys. Karl Gerhardt Climate,
Dipl.-Ing. Cornelius Noss, Munich

um Behandlungsgasen den Zutritt zu dem legierenden System oder eine vollständige Entfernung von Gasresten von der Halbleiteroberfläche zu ermöglichen. to allow access to the alloying system or a complete removal of treatment gases Allow gas residues from the semiconductor surface.

Beim Betrieb einer Vorrichtung gemäß der Erfindung ist es gewöhnlich so, daß die Säule der durch diese hindurchzuschiebenden Körper aus einer Vielzahl gleichartiger und gleichdimensionierter, insbesondere auch mit gleichem Inhalt versehener Legierungsformen besteht. Lediglich am Anfang und am Schluß des Verfahrens kann die Anwendung blinder, d. h. nicht mit den zu fertigenden Halbleitersystemen bestückter Legierungsformen oder anderer mit diesen formgleicher Hilfskörper zweckmäßig sein. Die Verschiebung der hindurchzuschiebenden Körper kann durch besondere an der Vorrichtung vorgesehene Antriebsmittel bewerkstelligt werden. Es empfiehlt sich jedoch, vor allem dann, wenn die Körper durch Temperaturen mit von der Raumtemperatur erheblich abweichenden Werten laufen sollen, statt dessen die erforderliche Bewegung der Körper einfach dadurch vorzunehmen, daß man immer neue Körper nachschiebt. Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn das Behandlungsgefäß, insbesondere der Legierungsofen, von der Eingangs- bis zur Austrittsstelle der Körper ein gerades, an den Mantelflächen der zu verschiebenden Körper angreifendes System von Gleitführungen besitzt. Auch kann vorteilhaft die Eintrittsstelle der Körper sich vertikal unterhalb der Austrittsstelle befinden, so daß die zu behandelnden Körper von unten nach oben durch die Vorrichtung geschoben werden.When operating a device according to the invention, it is usually so that the column of by these bodies to be pushed through from a large number of similar and equally dimensioned, in particular Alloy forms with the same content also exist. Only at the beginning and at the The conclusion of the procedure can be blinded, i. H. not with the semiconductor systems to be manufactured tipped alloy forms or other auxiliary bodies with the same shape may be expedient. The postponement the body to be pushed through can be provided by special ones on the device Drive means are accomplished. It is recommended, however, especially when the body is through Temperatures should run with values that differ significantly from room temperature, instead to make the necessary movement of the body simply by getting new bodies pushes. It is also useful if the treatment vessel, in particular the alloy furnace, from the point of entry to the point of exit of the body a straight system of sliding guides engaging the outer surfaces of the body to be moved owns. The entry point of the body can also advantageously be vertically below the exit point are located so that the body to be treated from bottom to top through the device be pushed.

Der in Fig. 1 dargestellte Legierungsofen besteht aus drei vertikal übereinander angeordneten rohr-The alloy furnace shown in Fig. 1 consists of three vertically stacked tubular

409 708/297409 708/297

förmigen Behältern 1, 2 und 3, wobei der mittlere, der eigentliche Behandlungsbehälter 2, beheizbar ist. Die beiden äußeren Behälter 1 und 3 dienen zum Einschleusen der 'Legierungsformen und können noch weitere Funktionen ausüben. In ihnen sind die noch zu beschreibenden Dichtungslippen untergebracht. Der Behälter 2 kann evakuiert bzw. von einem Schutzgasstrom durchspült werden. Die hierzu erforderlichen Einrichtungen sind in den Figuren nicht dargestellt. Es empfiehlt sich jedoch, die Zufuhr der Schutzgasströme bzw. die Evakuierung über direkt am Behälter 2 vorgesehene Zuführungen und nicht über die als Schleusen dienenden Behälter 1 und 3 vorzunehmen.shaped containers 1, 2 and 3, the middle, the actual treatment container 2, being heatable. The two outer containers 1 and 3 are used to transfer the 'alloy forms and can perform other functions. The sealing lips to be described are housed in them. The container 2 can be evacuated or flushed through by a flow of protective gas. The for this required facilities are not shown in the figures. However, it is recommended that the feed the protective gas flows or the evacuation via feeds provided directly on the container 2 and do not use containers 1 and 3, which are used as locks.

Die Führung im mittleren Behälter 2 besteht (mindestens) aus zwei Führungsschienen 4, die — um gleichzeitig die Beheizung des Behälters 2 vornehmen zu können — aus leitendem hitzebeständigem Material, z. B. aus Molybdän oder einem Heizleitermaterial, bestehen und so an eine elektrische Spannungsquelle angeschlossen werden können, so daß sie von dem den Ofen (Behälter 2) beheizenden elektrischen Strom, insbesondere in ifrrer ganzen Länge, durchflossen werden. Durch Stromverzweigungen oder Variation des elektrisch wirksamen Querschnittes der Schienen 4 kann die Temperaturverteilung im Inneren des Ofens jeden gewünschten Verlauf erreichen.The guide in the middle container 2 consists (at least) of two guide rails 4, which - around to be able to carry out the heating of the container 2 at the same time - made of conductive, heat-resistant material, z. B. of molybdenum or a heating conductor material, and so to an electrical voltage source can be connected so that they can be connected to the electric heating system for the furnace (container 2) Current, especially ifrrr its entire length, are flowed through. Through current branches or variation of the electrically effective cross section of the rails 4 can change the temperature distribution achieve any desired course inside the oven.

Einzelheiten über die Ausgestaltung der Schienen 4 im Behälter 2, dem eigentlichen Ofen, sind in F i g. 2 dargestellt, die einen Querschnitt durch das System der beiden Gleitschienen 4 zeigt. Die beiden im Beispielsfalle gleich langen und querschnittsgleichen Schienen 4 können entweder bezüglich der Heizstromquelle 25 hintereinander oder parallel geschaltet sein. Bei der in den Figuren dargestellten Vorrichtung ist die parallele Schaltung gewählt, wobei die Schienen 4 mittels der Schrauben 8 und der Distanzierstücke 7 so mechanisch und elektrisch miteinander in Verbindung gehalten sind, daß sie gleichmäßig mit Strom versorgt werden. Der durch die Distanzierstücke 7 und die Schrauben 8 einstellbare Abstand der beiden (parallel zueinander angeordneten) Schienen 4 ist so gewählt, daß die Legierungsformen S stabil (d. h. ohne daß ein Kippen oder Verklemmen möglich ist) zwischen ihnen gerraltert sind, daß aber andererseits die gleitende Bewegung in Achsenrichtung der Legierungsformen 5 in den Schienen nicht behindert wird. Außerdem ist es zweckmäßig, wie in Fig. 2 dargestellt, die Querschnittsform der Schienen so zu wählen, daß sie den Mantel der Legierungsform teilweise umfassen.Details of the design of the rails 4 in the container 2, the actual furnace, are shown in FIG F i g. 2, which shows a cross section through the system of the two slide rails 4. The two in the example case of the same length and cross-section rails 4 can either with respect to the Heating current source 25 can be connected in series or in parallel. In the case of the one shown in the figures Device is selected to be connected in parallel, the rails 4 by means of the screws 8 and of the spacers 7 are held mechanically and electrically connected to one another that they be supplied with power evenly. The adjustable by the spacers 7 and the screws 8 The distance between the two rails 4 (arranged parallel to one another) is chosen so that the alloy shapes S stably (i.e. without the possibility of tipping or jamming) between them are, but that on the other hand the sliding movement in the axial direction of the alloy molds 5 in the Rails is not hindered. In addition, as shown in FIG. 2, the cross-sectional shape is expedient to choose the rails so that they partially enclose the shell of the alloy form.

Es empfiehlt sich ferner, zwischen den beiden Schienen 4 genügend Raum (z. B. die zwischen den Schienen vorgesehenen Spalte 9) offen zu lassen, damit die Evakuierung bzw. der Zutritt der Behandlungsgase zu den Legterungsformen nicht behindert wird. Zum gleichen Zweck können die Legierungsformen mit Kanälen oder Öffnungen versehen sein, die zu den zu legierenden Systemen im Inneren dieser Legierungsformen führen.It is also advisable to leave enough space between the two rails 4 (e.g. that between the Rails provided column 9) to leave open, so that the evacuation or the access of the treatment gases to the laying forms is not hindered. For the same purpose, the alloy molds can be provided with channels or openings, which lead to the systems to be alloyed inside these alloy forms.

Die beiden Behälter 1 und 3 dienen zum Ein- bzw. Ausschleusen der Legierungsformen 5. Sie sind im Beispielsfalle in gleicher Weise aufgebaut, wobei die aufbauenden Elemente, vom mittleren Behälter aus gesehen, spiegelbildlich angeordnet sind. Es genügt deshalb, Einzelheiten an Hand des Behälters 1 zu erläutern, der in F i g. 3 näher dargestellt ist.The two containers 1 and 3 are used to transfer the alloy forms 5 in and out. They are in Example trap constructed in the same way, with the constituent elements starting from the middle container seen, are arranged in mirror image. It is therefore sufficient to explain details on the basis of the container 1, the in F i g. 3 is shown in more detail.

Die Behälter 1 und 3 dienen vor allem der Aufgabe, das Eindringen von atmosphärischer Luft in den mittleren Behälter 2 möglichst zu unterbinden, so daß die Schutzgasversorgung bzw. die Evakuierung des mittleren Behälters genügt, um die während des Betriebes im Inneren des Behälters 2 erforderlichen atmosphärischen bzw. Vakuumbedingungen zu erzeugen.The main purpose of containers 1 and 3 is to prevent atmospheric air from entering to prevent the middle container 2 as possible, so that the protective gas supply or the evacuation of the middle container is sufficient to cover the required inside the container 2 during operation to generate atmospheric or vacuum conditions.

Genau gesehen sind die beiden Behälter 1 und 3,Looked at exactly, the two containers 1 and 3,

ίο wie aus F i g. 3 ersichtlich, durch mehrere ringförmige, dicht aneinandergepreßte Körper gebildet, zwischen denen die Dichtungslippen mit ihrem Außenrand gasdicht eingespannt sind. Die Innenwände dieser ringförmigen Körper dienen gleichzeitig als Führung. Sie können ebenfalls aus leitendem Material bestehen, wenn eine Vorheizung gewünscht ist. Im Interesse der aus elastischem Material bestehenden Dichtungslippen empfiehlt sich eine solche Vorheizung jedoch nicht, wenn diese, was aus Gründen der Abdichtung besonders günstig ist, aus organischem elastischem Material, z. B. Gummi, Kautschuk, Silikongummi od. dgl., bestehen. Im Beispiel der Figur ist eine derartige Beheizung der beiden als Schleusen dienenden Behälter 1 und 3 nicht vorgesehen. ίο as from Fig. 3 can be seen through several ring-shaped, tightly pressed body formed, between which the sealing lips with their The outer edge are clamped in a gastight manner. The inner walls of these annular bodies serve at the same time as a guide. They can also be made of conductive material if preheating is desired. In the interest of the sealing lips made of elastic material, such preheating is recommended but not if this, which is particularly favorable for reasons of sealing, is made of organic elastic material, e.g. B. rubber, rubber, silicone rubber od. Like., Are. For example In the figure, such a heating of the two containers 1 and 3 serving as locks is not provided.

Die flachringförmigen Dichtungslippen können z. B. aus federndem, hitzebeständigem Material oder aus elastischem, gut leitendem Kunststoff, z. B. Teflon oder Gummi, bestehen. Die Durchtrittsöffnungen der Dichtungslippen müssen immer etwas kleiner als der Querschnitt der Legierungsformen 5 sein und diesem in der Gestalt entsprechen. Auf diese Weise wird erreicht, daß sie der Mantelfläche der axial hindurchtretenden Legierungsformen 5 dicht anliegen.The flat ring-shaped sealing lips can, for. B. made of resilient, heat-resistant material or made of elastic, highly conductive plastic, e.g. B. Teflon or rubber. The passage openings the sealing lips must always be slightly smaller than the cross-section of the alloy molds 5 be and correspond to this in form. In this way it is achieved that they are the lateral surface of the axially penetrating alloy forms 5 lie tightly.

Beim Einschleusen gelangen die in der Eintrittsstelle 10 des unteren Behälters 1 eingeschobenen Legierungsformen 5 zunächst in eine oder mehrere von Schutzgas durchströmte Vorkammern 11, die zusammen mit den ihnen zugeordneten Dichtungslippen 13 eine Spülschleuse bilden. Da die Temperaturbehandlung im Inneren des Ofens 2 unter Schutzgas erfolgen kann, genügt es, mehrere, d. h. mindestens drei Spülkammern im Behälter 1 und gegebenenfalls auch im Behälter 3 vorzusehen. Die Spülung in den Spülkammern 11 erfolgt mittels eines Stromes aus Wasserstoff oder einem inerten Gas. Die Spülkammern 11 in einer Spülschleuse sind ferner bezüglich der Gasströmung mittels eines Rohrsystems 12 so hintereinandergeschaltet, daß das Schutzgas zunächst in die innerste der Kammern 11 und nach dem Durchfließen der Kammern in der Reihenfolge von innen nach außen zuletzt in die äußerste Vorkammer 11 gelangt. Nachdem der Luftsauerstoff weitgehend durch das Schutzgas verdrängt ist, können die Legierungsformen, falls die Wärmebehandlung unter dem gleichen Gas vorgenommen wird, über ein wiederum mindestens aus einer, vorzugsweise aus mehreren Dichtungslippen gebildeten Dichtschleuse in den eigentlichen Ofen 2 eingeführt werden. Der Behälter 3 kann in der gleichen Weise wie der Behälter 1 aufgebaut sein, wobei die Reihenfolge der einzelnen Elemente sowie der Strömung des Schutzgases in der Spülschleuse umgekehrt angeordnet ist.The alloy forms inserted in the entry point 10 of the lower container 1 arrive during the introduction 5 initially in one or more antechambers 11 through which protective gas flows, which together form a flushing sluice with the sealing lips 13 assigned to them. As the temperature treatment can take place inside the furnace 2 under protective gas, it is sufficient to have several, d. H. at least three rinsing chambers to be provided in container 1 and possibly also in container 3. The rinsing in the rinsing chambers 11 takes place by means of a stream of hydrogen or an inert gas. The rinsing chambers 11 in a flushing lock are furthermore with regard to the gas flow by means of a pipe system 12 so connected in series that the protective gas initially in the innermost of the chambers 11 and after the flow through the chambers in the order from inside to outside last into the outermost antechamber 11 arrives. After the atmospheric oxygen has largely been displaced by the protective gas, you can the alloy forms if the heat treatment is carried out under the same gas, via a sealing lip formed in turn from at least one, preferably from several sealing lips Sealing sluice are introduced into the actual furnace 2. The container 3 can be used in the same way be constructed like the container 1, the order of the individual elements and the flow of the protective gas is arranged reversed in the flushing lock.

Soll die Wärmebehandlung der Halbleiterkristalle in den Legierungsformen unter Vakuum stattfinden, so muß das Schutzgas, das in der Spülschleuse durchIf the heat treatment of the semiconductor crystals in the alloy molds is to take place under vacuum, so must the protective gas that in the flushing lock

in die Legierungsformen eingetreten ist, wieder abgepumpt werden. Dementsprechend ist dann mindestens eine Evakuierungsschleuse im Anschluß an
die Spülschleuse im Behälter 1 und vor der Spülschleuse im Behälter 3 vorzusehen. Es empfiehlt sich,
die Evakuierung der Legierungsformen in mindestens zwei Stufen vorzunehmen, falls im eigentlichen
Ofen ein niedriger Gasdruck (<10-²Torr) vorgesehen ist.has entered the alloy forms, can be pumped out again. Accordingly, at least one evacuation lock is then connected to it
the flushing lock in container 1 and in front of the flushing lock in container 3. It is advisable,
to evacuate the alloy molds in at least two stages, if in actual
Oven, a low gas pressure (<10 ^-2 Torr) is provided.

rotierenden Exzenters 23 und einer Feder 24 zeitweise zurückgezogen, so daß je Umdrehung jeweils eine Legierungsform vor die Stirnfläche des Stößels rutscht. Eine Sperre 25 verhindert das Zurückfallen 5 der Legierungsform 5 bei zurückgezogenem Stößel 22. Zum Betrieb der beschriebenen Vorrichtung werden zunächst in die Führung der Vorrichtung eine Säule der zu verwendenden Legierungsformen (zweckmäßig verwendet man zunächst Legierungs-Dementsprechend ist im Falle des in der in F i g. 3 io formen, die nicht mit den Halbleiterkiistallen bedargestellten, als Eintritts- bzw. (in umgekehrter stückt sind) oder ein oder mehrere mit den Legie-Reihenfolge) als Austrittsschleuse vorgesehenen Be- rungsformen querschnittsgleiche Hilfskörper eingehälters 2 bzw. 3 eine Vorevakuierungsstufe 15 und schoben, so daß die Führung von der Eintrittsstelle eine Feinevakuierungsstufe 17 vorgesehen. Nach dem 10 bis zur Austrittsstelle des Behälters 3 vollständig Verlassen der letzten der Spülkammern 11 gelangen 15 von der Säule ausgefüllt ist. Anschließend wird der die Legierungsformen 5 über ein durch eine weitere mittlere Behälter 2 entweder auf das vorgesehene Anzahl hintereinander angeordneter Dichtungs- Vakuum gebracht oder mit der gewünschten Schutzlippen 14 gebildete Dichtschleuse in die Vorevaku- gasatmosphäre gefüllt. Da die vorgesehenen Dichierungskammer 15, in der durch eine laufende tungslippen zusammen mit den Legierungsformen 5 Vakuumpumpe ein Druck von etwa 10"¹ Torr er- 20 das Eindringen atmosphärischer Gase in den Bezeugt wird. Über eine weitere Dichtschleuse mit den halter 2 weitgehend unterbinden, so ist dennoch bei Dichtungslippen 16 werden dann die Legjerungs- Durchlaufvorrichtungen eine Änderung der im formen in die zur Feinevakuierung der Legierungs- eigentlichen Behandlungsgefäß 2 eingestellten atmoformen dienende Kammer 17, in der ein Druck von sphärischen Bedingungen bzw. Evakuierung prinetwa 10~³Torr durch laufendes Abpumpen einge- 25 zipiell unvermeidlich. Es ist deshalb zweckmäßig, stellt ist, eingeschoben. Der Druck in der Fein- entweder stets für Nachfuhr frischen Schutzgases evakuierungsstufe entspricht zweckmäßig etwa dem oder für laufende Evakuierung des Behälters 2 zu Druck im mittleren Behälter 2, der ebenfalls durch sorgen.rotating eccentric 23 and a spring 24 are temporarily withdrawn, so that one alloy form slips in front of the end face of the plunger per revolution. A lock 25 prevents the alloy mold 5 from falling back when the plunger 22 is retracted g. 3 io forms, which are not shown with the semiconductor crystals, as entry or (in reverse pieces) or one or more with the alloy sequence) provided as exit sluice with the same cross-sectional auxiliary body container 2 or 3 contains a pre-evacuation stage 15 and pushed so that the guide from the entry point a fine evacuation stage 17 is provided. After 10 completely leaving the last of the rinsing chambers 11 to the exit point of the container 3, 15 is filled by the column. Subsequently, the alloy molds 5 are either brought to the intended number of sealing vacuum arranged one behind the other through a further middle container 2 or the sealing lock formed with the desired protective lips 14 is filled into the pre-vacuum gas atmosphere. Since the provided sealing chamber 15, in which a pressure of about 10 " ¹ Torr is generated by a running sealing lip together with the alloy molds 5, the penetration of atmospheric gases into the test is largely prevented is at the seal lips 16, the Legjerungs- are then still run devices, a change of the set in the mold in the actual fine-evacuation of the alloying treatment vessel 2 atmoformen serving chamber 17, in which a pressure of spherical conditions or evacuation prinetwa 10 ^-3 Torr by running pumping It is therefore expedient to put it in. The pressure in the fine evacuation stage, either always for replenishment of protective gas, expediently corresponds approximately to or for ongoing evacuation of the container 2 to the pressure in the middle container 2, which is also through care for.

laufende Evakuierung eingestellt wird. Vor dem Ein- Nach oder während der Einstellung der atmo-ongoing evacuation is discontinued. Before switching on or during the setting of the atmo-

tritt in den Behälter 2 ist zweckmäßig noch eine 30 sphärischen Bedingungen wird die Heizung im Be-Kühlstufel9 vorgesehen, welche bei empfindlichem hälter 2 eingeschaltet. Durch die vorherige Anbrin-Material der Dichtungsringe diese vor der im mitt- gung entsprechender die Führungen elektrisch kurzleren Behälter erzeugten Wärme schützt. Zwischen schließender Verbindungen6, die in Fig. 1 und 2 dem Ofen 2 und der Feinevakuierungskammer 17 dargestellt sind, wird die gewünschte Temperaturkann außerdem ein (vor die Kühlstufe geschaltetes) 35 verteilung eingestellt, was am einfachsten durch gePaket 18 weiterer Dichtungslippen sein. Nach dem eignete an dem Schienensystem 4 verteilte Thermo-Durchlaufen des im Behälter 1 vorgesehenen kontakte überwacht wird. Beim Einfahren der (zu-Schleusensystems gelangen die Legierungsformen 5 nächst noch blinden) Legierungsformen werden mit den in ihnen untergebrachten Halbleiterkristallen zunächst die Gas- bzw. Vakuumbedingungen in den in den durch den mittleren Behälter 2 dargestellten 40 Behältern 1 und 3 und erst dann im Inneren des Ofen. Die Geschwindigkeit beim Hindurchschieben Behälters 2 eingestellt. Gleichzeitig mit dem Einwird so eingestellt, daß die Legierungsformen wäh- stellen der Gas- bzw. Vakuumbedingungen im Berend der für dieses Legieren notwendigen Zeit halter 2 können die Schienen beheizt werden. Nach innerhalb des Ofens verbleiben. Einstellung der Betriebsbedingungen der Vorrich-If the container 2 is expedient, a spherical condition is also used, the heating is in the loading cooling stage9 provided, which switched on with sensitive container 2. Through the previous attachment material the sealing rings protect them from the heat generated in the medium corresponding to the electrically shorter containers. Between closing connections6 shown in Figs the furnace 2 and the fine evacuation chamber 17 are shown, the desired temperature can be achieved In addition, a distribution (connected upstream of the cooling stage) is set, which is easiest by means of a gePackage 18 additional sealing lips. After that, thermo passes distributed on the rail system 4 are suitable of the contacts provided in the container 1 is monitored. When entering the (zu-lock system the alloy forms 5 next are still blind) Alloy forms with the semiconductor crystals housed in them are first of all the gas or vacuum conditions in the in the 40 containers 1 and 3 represented by the middle container 2 and only then inside the Oven. The speed when pushing through container 2 is set. Simultaneously with the unity adjusted so that the alloy shapes match the gas or vacuum conditions in the Berend the time holder 2 required for this alloying, the rails can be heated. To remain inside the oven. Setting the operating conditions of the device

Das Ausschleusen der Legierungsformen erfolgt 45 tung werden in den Behälter 1 sukzessive neue, nunüber den Behälter 3, der zweckmäßig in seinem Auf- mehr mit den zu behandelnden Halbleiterwerkbau dem Behälter 1 entspricht. Die einzelnen EIe- stücken bestückte Legierungsformen in entsprechenmente sind jedoch dann in umgekehrter Reihenfolge den Zeitabständen eingeschoben, da die Zahl der als im Behälter 1 angeordnet, so daß die aus dem pro Zeiteinheit eingeschobenen Legierungsformen Ofen in den Behälter 3 eintretenden Legierungs- So gleichzeitig die Verweilzeit der einzelnen Legierungsformen die einzelnen Kammern in umgekehrter formen im Ofen 2 und damit die Behandlungsdauer Reihenfolge durchlaufen, bis sie an die Austrittsstelle bestimmt.The alloy forms are discharged into the container 1 successively new, now over the container 3, which is expedient in its structure more with the semiconductor plant to be treated corresponds to container 1. The individual pieces of iron are fitted with alloy forms in corresponding are then inserted in the reverse order of the time intervals, since the number of than arranged in the container 1, so that the alloy forms inserted per unit of time Furnace entering the container 3 alloy So at the same time the residence time of the individual alloy forms the individual chambers in reverse shape in furnace 2 and thus the duration of treatment Run through the sequence until it is determined to the exit point.

aus dem Behälter 3 gelangen. Die Spülschleuse kann Die im vorstehenden beschriebene Anordnung hatget out of the container 3. The flushing lock can have the arrangement described above

beim Austritt gegebenenfalls fortgelassen werden. drei verschiedene Ausführungen von Schleusen.may be omitted upon exit. three different types of locks.

In der F i g. 4 ist eine zur mechanischen Beschik- 55 Dies sind zunächst die sogenannten »Vakuum«- oder kung der Eintrittsschleuse 1 geeignete Vorrichtung »Evakuierungsschleusen«, von denen die Schleusen dargestellt, die unmittelbar unterhalb der Eintritts- 15 und 17 in Fig. 3 ein typisches Beispiel sind, schleuse 1 angeschlossen wird. Die Legierungs- Weitere Ausführungsformen sind die »Spülformen 5 werden in eine Rutsche 20 oder einen schleusen«, die »Flutschleusen« und die »Dicht-Rundtisch gebracht und gelangen in ein Rohr 21, 60 schleusen«. .In FIG. 4 is a mechanical loading 55 These are first of all the so-called "vacuum" - or kung of the entry lock 1 suitable device "evacuation locks", of which the locks shown, which are a typical example immediately below the entry 15 and 17 in Fig. 3, lock 1 is connected. The alloy further embodiments are the »rinsing forms 5 are in a slide 20 or a sluice ", the" flood sluices "and the" sealing rotary table brought and arrive in a pipe 21, 60 lock ". .

welches unmittelbar an der Eintrittsstelle 10 des Be- Eine »Spülschleuse« ist durch die Spülkammernwhich is directly at the entry point 10 of the loading A »rinsing sluice« is through the rinsing chambers

hälters 1 mündet. Ein Stößel 22, der in gleichen Ab- am Eintritt der Legierungsformen bei der in Fi g. 3 ständen zurückgezogen wird, läßt aus der Rutsche dargestellten Anordnung gegeben, während die jedesmal eine neue Legierungsform 5 in das Rohr 21 Schleusen 16_i und 18 sogenannte »Dichtschleusen« gelangen und schiebt diese und damit die übrige be- 65 sind. Im folgenden soll das Wesentliche dieser reits eingeführte Säule von Legierungsformen 5 je- Schleusenarten dargestellt werden,., weils um die Höhe einer Legierungsform nach oben. Allen diesen Schleusen ist gemeinsam, daß sieholder 1 opens. A plunger 22, which in the same manner as the entry of the alloy forms in the case of the in Fi g. 3 stands is withdrawn, the arrangement shown is given out of the slide, while each time a new alloy form 5 gets into the tube 21 locks 16 _i and 18 so-called "sealing locks" and pushes these and thus the rest of them. In the following, the essentials of this already introduced column of alloy forms 5 per lock types will be presented, because the height of an alloy form upwards. All these locks have in common that they

Zu diesem Zweck wird der Stößel 22 mittels eines Dichtungslippen besitzen,, die, gewisse auf, die, HöheFor this purpose, the plunger 22 will have, by means of a sealing lip, the, certain, the, height

der Legierungsformen abgestimmte Abstände auf- Dann wird der Austausch bei entsprechendem hohem weisen. Unter dem Begriff »auf die Höhe der Legie- Strömungswiderstand des die Spülkammern verbinrungsformen abgestimmt« ist zu verstehen, daß min- denden, im Beispielsfall durch die Rohre 12 gegebedestens eine Dichturtgslippe durch eine der Legie- nen Kanalsystems über die Legierungsformen erfolrungsformen verschlossen sein soll. Falls dann die 5 gen. Es empfiehlt sich, bei Spülschleusen den Ab-Legierungsformen selbst gasdicht ausgebildet sind, stand der beteiligten Dichtlippen halb so groß wie ist der Gasaustausch zwischen den beiden Seiten der die Höhe der Legierungsformen oder ein Vielfaches betreffenden Dichtungslippen unterbunden. Ist da- dieses Betrages zu wählen. Durch die Wirkung des gegen die Legierungsform nicht gasdicht (was bei Gasstromes in der Spülschleuse werden atmosphäden Spülschleusen ausgenutzt wird), so strömt das io rische Gase mitgerissen oder verdrängt. Das zu den Gas durch die Legierungsform hindurch und gelangt Spülkammern gehörende Kanalsystem kann auch auf diese Weise von der einen zur anderen Seite der Überdruckventile enthalten, die es gestatten, bei dem Dichtungslippe. kurzzeitigen Schließen der (in der LegierungsformThe spacing of the alloy forms is matched point. Under the term »on the level of the alloy flow resistance of the rinsing chambers coordinated "is to be understood that at least one, in the case of the example through the tubes 12, is connected a sealing lip through one of the alloys channel system via the alloy forms should be closed. If then the 5 gen. It is advisable to use the Ab alloy forms for flushing locks are themselves designed to be gas-tight, the sealing lips involved stood half as large as is the gas exchange between the two sides of the height of the alloy forms or a multiple relevant sealing lips prevented. This amount is to be chosen. Through the action of the not gas-tight against the alloy form (which can damage the atmosphere with gas flow in the flushing sluice Rinsing locks is used), the ionic gases flow with it or displaced. That to the Gas passes through the alloy form and can also pass the channel system belonging to the flushing chambers in this way included from one side to the other of the pressure relief valves that allow the Sealing lip. brief closing of the (in the alloy form

Die einzelnen Dichtungslippen sind, wie bereits vorgesehenen) Spülöffnungen durch die Dichtungsbemerkt, ringförmige Flachkörper und können z. B. 15 lippen das Gas über das Kanalsystem zur nächsten aus federndem, hitzebeständigem Material (z. B. aus Spülkammer zu transportieren, einem hitzebeständigen Metall) oder aus elastischem, In der F i g. 3 ist ferner eine Vakuumschleuse darmechanisch widerstandsfähigem Kunststoff, z. B. gestellt. Diese dient dazu, um die Legierungsformen Teflon- oder Silikongummi, oder auch aus Natur- über eine oder mehrere Druckstufen in ein auf andekautschuk bzw. Naturgummi bestehen. Die Durch- ao ren Gasdruck eingestelltes, insbesondere evakuiertes trittsöffnungen der Dichtungslippen für die Legie- Behandlungsgefäß einzuführen bzw. um die Legierungsformen 5 müssen etwas kleiner als der Quer- rungsformen aus einem solchen Behandlung&gefäß schnitt der Legierungsformen sein und diesen in der herauszuschleusen. Deshalb muß mindestens eine Gestalt entsprechen, so daß sie den axial hindurch- Dichtschleuse mit der Evakuierungsschleuse verbuntretenden Legierungsformen 5 dicht anliegen. 35 den sein, wobei immer mindestens eine DichtlippeThe individual sealing lips are, as already provided, flushing openings noted through the sealing, annular flat body and can, for. B. 15 lip the gas through the duct system to the next made of resilient, heat-resistant material (e.g. to be transported out of the washing chamber, a heat-resistant metal) or of elastic, In the F i g. 3 is also a vacuum lock darmechanisch resistant plastic, e.g. B. posed. This is used to change the alloy shapes Teflon or silicone rubber, or from natural over one or more pressure levels in one on ande rubber or natural rubber. The passage ao ren gas pressure adjusted, in particular evacuated Introduce openings in the sealing lips for the alloy treatment vessel or around the alloy molds 5 must be somewhat smaller than the transverse shapes from such a treatment & vessel be cut of the alloy shapes and channel this out in the. Therefore at least one Shape correspond so that they verbuntretenden the axially through sealing lock with the evacuation lock Alloy molds 5 fit tightly. 35 to be, always at least one sealing lip

Es empfiehlt sich außerdem, daß — sowohl im pro Druckstufe an der Wand einer der in der beBehälter 1 als auch im Behälter 3 — mindestens treffenden Druckstufe anwesenden Legierungsformen zwei der Dichtungslippen einen kleineren Abstand, gut anliegen muß. Aus diesem Grunde empfiehlt es als es der Höhe der einzelnen Legierungsformen ent- sich, mehrere Dichtungslippen unmittelbar hintereinspricht, besitzen. Dann erreicht man, daß stets eine 30 ander anzuordnen, um auf diese Weise den Ströder beiden Dichtungslippen von einer Legierungs- mungswiderstand beiderseits der durch eine solche form abgeschlossen wird. Es sind allerdings noch kombinierte Dichtlippe getrennten Räume zu erzahlreiche andere Möglichkeiten der Abstimmung höhen.It is also recommended that - both in the per pressure stage on the wall one of the in the container 1 as well as in the container 3 - at least appropriate pressure level present alloy forms two of the sealing lips a smaller distance, must fit snugly. For this reason it recommends as it corresponds to the height of the individual alloy forms, several sealing lips speak directly behind, own. Then one achieves that always a 30 to be arranged differently, in this way the Ströder both sealing lips from an alloy resistance on both sides of the through one form is completed. However, there are still combined sealing lips to create numerous separate rooms other ways of voting heighten.

des Abstandes der einzelnen Dichtungslippen von- Die bereits genannten »Flutschleusen« sind einethe distance between the individual sealing lips from the “flood sluices” already mentioned are one

einander auf die Höhe der einzelnen Legierungs- 35 Kombination von Vakuum- und Spülschleusen, deren formen denkbar, um zu erreichen, daß mindestens Vorteil darin liegt, daß durch ihre Anwendung es in eine der Dichtungslippen durch je eine Legierungs- weitaus wirksamerem Maße, als es bei den gewöhnform gasdicht verschlossen ist. liehen Spülschleusen gelingt, den Behandlungsraum Die »Dichtschleusen« machen lediglich von der von unerwünscht eindringendem atmosphärischem Dichteigenschaft der Dichtlippen Gebrauch. Dem- 40 Gas frei zu halten. Aus diesem Grunde werden entsprechend sind bei den Dichtungsschleusen, wie solche Flutschleusen vorzugsweise bei Halterungen sie z. B. in F i g. 3 unter Ziffer 14 dargestellt sind, zur Aufnahme der zu behandelnden Materialien anmehrere (im Beispielsfalle fünf) Dichtlippen 14 vor- gewandt, bei denen die Passungen so genau send, gesehen, welche durch eine entsprechende Anzahl daß nur sehr kleine Spalte entstehen und nur durch dicht miteinander verbundener Ringkörper gespannt 45 kleine Kanäle die gewünschte Atmosphäre an das zu und in ihrer Stellung gehalten werden. Dadurch wird behandelnde Material herangebracht werden kann, entweder bei entsprechender Ausbildung der Legie- bei denen also durch einen normalen Spülvorgang rungsformen der Gasaustausch beiderseits der be- die gewünschte Reinheit der Atmosphäre nicht ertreffenden Dichtungslippen vollständig unterbunden zeugt werden kann. Nach einem Evakuierungsoder gezwungen, über das Innere der Legierungs- 50 Vorgang wird bei den Spülschleusen mit Frischgas formen zu erfolgen. geflutet und dies ein oder mehrere Male vor Ein-Eine weitere Ausbildung sind die »Spülschleusen«. bringen der Legierungsformen in das Behandlungs- »Spülschleusen« bestehen, wie aus Fig. 3 ersieht- gefäß 2 wiederholt. Dies ist ein dem Dekantieren lieh, aus von einer Anzahl Dichtungslippen 13 mit analoges Verfahren.each other at the level of the individual alloy 35 combination of vacuum and flushing locks, their forms conceivable in order to achieve that at least an advantage lies in the fact that through their application it is in one of the sealing lips by an alloy - far more effective than with the usual form is sealed gas-tight. borrowed rinsing locks manage the treatment room The »sealing sluices« only deal with that of undesirably penetrating atmospheres Sealing property of the sealing lips use. Keep the gas free. Because of this will be in the case of the sealing locks, such as flood locks, are accordingly preferably in the case of brackets she z. B. in Fig. 3 under number 14 are shown to accommodate the materials to be treated (in the example five) sealing lips 14 are used, in which the fits so precisely send, seen which through a corresponding number that only very small gaps arise and only through tightly connected ring body stretched 45 small channels to create the desired atmosphere and held in place. This means that the material to be treated can be brought in, either with a suitable design of the alloy, ie by a normal flushing process Forms of gas exchange on both sides that do not achieve the desired purity of the atmosphere Sealing lips can be completely tied off. After an evacuation or forced over the inside of the alloy 50 process is carried out at the flushing locks with fresh gas shapes to be done. flooded and this one or more times before A further training are the "flushing locks". bring the alloy forms into the treatment As shown in FIG. 3, there are “rinsing locks” - vessel 2 is repeated. This is a decanting borrowed from a number of sealing lips 13 with an analogous process.

den zugehörigen sie haltenden Teilen gebildeten 55 Die Erfindung wurde im wesentlichen unter Bezug-Spülkammern. Zwischen den einzelnen Kammern ist nähme auf einen Durchlauflegierungsofen beschrieein eine Gasströmung ermöglichendes, je zwei be- ben. Natürlich können in den Legierungsformen 5 nachbaue Spülkammern verbindendes Kanalsystem auch andere Vorgänge zum Behandeln von Halbvorgesehen. Dieses Kanalsystem wird im Betrieb von leitermaterialien bzw. von zur Fertigung von HaIbeinem Schutzgas derart durchspült, daß das betref- 60 leiterbauelementen benötigten Werkstücken vorgefende Gas nicht in Richtung auf das Behandlungs- nommen werden. Auch in diesem Falle läßt sich die gefäß, sondern in Richtung auf den Außenraum Vorrichtung gemäß der Erfindung mit Vorteil anströmt. Besonders wirksam kommen die Spül- wenden, wobei im Aufbau der als Eintritts- und schleusen zur Geltung, wenn, wie dies bei Legie- Austrittsschleuse dienenden Behälter 1 und 3 keine rungsformen vielfach der Fall ist, Kanäle in diesen 65 Änderungen erforderlich sind, während im Inneren vorgesehen sind, welche auch bei anliegender Dich- des eigentlichen Behandlungsgefäßes 2 gegebeoentungslippe den Gasaustausch zwischen den beiden falls noch andere Mittel vorgesehen werden müssen, Räumen beiderseits der Dichtungslippe ermöglichen. mit deren Hilfe die für den jeweiligen Behandlung^·The invention was essentially based on reference washing chambers. A continuous alloy furnace is described between the individual chambers which enables a gas flow, two quake each time. Of course, in the alloy forms 5 replica canal system connecting rinsing chambers also other processes for the treatment of half-planned. This channel system is used in the operation of conductor materials or for the production of HaIbeinem Protective gas flushed through in such a way that the workpieces required are in front of the relevant ladder components Gas cannot be taken towards the treatment. In this case, too, the vessel, but flows towards the outside device according to the invention with advantage. The rinsing turns are particularly effective, with the in the structure as the inlet and locks come into their own if, as in the case of the alloy outlet lock, containers 1 and 3 are not used is often the case, ducts in these 65 changes are required while inside are provided which, even when the sealing of the actual treatment vessel 2 is attached, the lip is open the gas exchange between the two if other means have to be provided, Allow clearing on both sides of the sealing lip. with the help of which the respective treatment ^ ·

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Vorgang notwendigen Temperatur- und atmosphärischen Verhältnisse eingestellt werden können. So kann die beschriebene Apparatur z.B. unmittelbar angewendet werden für die sogenannten Kontaktierungsverfahren, bei denen ein Verbindungsdraht oder '5 eine Elektrode, ohne mit dem Halbleitermaterial eine Legierung zu bilden, verlötet wird. : Auch bei dem sogenannten Gasdifrusiousverfahren zur Herstellung von pn-Übergängen in Halbleiterkrjistallen läßt sich eine Vorrichtung gemäß der Erfindung anwenden. Hierbei muß lediglich die für den genannten Zweck erforderliche besondere Natur des Behandlungsgases im Inneren des Behälters 2 berücksichtigt werden, während man eine Spülung zweckmäßigerweise mit reinem Schutzgas vornimmt,,Process necessary temperature and atmospheric conditions can be set. So the described apparatus can e.g. be used directly for the so-called contacting process, in which a connecting wire or '5 an electrode without interfering with the semiconductor material to form an alloy is soldered. : Even with the so-called gas diffusion process for the production of pn junctions in semiconductor crystals a device according to the invention can be used. Here only the for the The special nature of the treatment gas required inside the container 2 is taken into account while flushing is expediently carried out with pure protective gas,

Eine weitere zweckmäßige Anwendung einer Vor^ richtung gemäß der Erfindung ist bei der sogenannten Dichtigkeitsprüfung von bereits in abgeschlossenen Gehäusen untergebrachten Transistoren bzw. anderen Halbleiterbauelementen möglich. Die in ao zweckmäßig den Legierungsformen 5 entsprechenden Behandlungskapseln untergebrachten, abgeschlossenen Transistorgehäuse werden mittels der bereits beschriebenen Schleusen 2 und 3 in den hochevakuierten (10~⁴ Torr) Behälter 2 ein- bzw. ausgeschleust. Der Behälter 2 ist mit einer Einrichtung, z. B. einem Massenspektrographen, gekoppelt, die es gestattet, über Undichtigkeiten der Transistorgehäuse in den Raum des Behälters 2 austretendes, im Inneren der Transistorgehäuse vor dem endgültigen Verschluß eingefülltes Gas nachzuweisen.A further useful application of a device according to the invention is possible in the so-called leak test of transistors or other semiconductor components that are already housed in closed housings. The closed transistor housings which are suitably accommodated in ao corresponding to the alloy forms 5 are transferred into and out of the highly evacuated (10 ~ ⁴ Torr) container 2 by means of the locks 2 and 3 already described. The container 2 is provided with a device, e.g. B. a mass spectrograph, coupled, which makes it possible to detect leaks in the transistor housing in the space of the container 2 exiting, inside the transistor housing before the final closure gas.

Claims

Patent claims:

1. Device for manufacturing semiconductor components, in particular alloy device, at least three cylindrical or prismatic, with their end faces columnar bodies of the same cross-section placed one on top of the other, in particular alloy forms, of which at least one as a container for semiconductor crystals or semiconductor alloy systems to be processed is used directly by a treatment room to be sealed off from air are transported one after the other in a guide, characterized in that both at the entry point and at the exit point for those to be displaced in the direction of their axis Body at least three offset against each other in the same direction, sealing lips made of elastic material and shaped as a flat ring are provided, which are connected gas-tight with their outer edge to the wall of the treatment vessel and on the lateral surface of the body moving through tightly and with one on the The height of the body to be pushed through is arranged one behind the other at such a coordinated distance are that during the operation of the device always one of the device wandering Body together with at least one of the sealing lips both at the inlet as well as at the exit point of the body results in a gas-tight seal.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that it consists of three vertically arranged one above the other, in particular tubular containers (1, 2, 3) and that the middle container 2 '^;mit'dübrqHei2nih: gST.rund / or Sctoutzgasversorgung and / or evacuation device is provided and "rrfie ^f both ¹ outer containers (1, 3) are provided with the TichtimgsMppen.

3. Vörrichtüttg according to claim 1 or 2, characterized characterized in that at least the container serving as a treatment vessel is removed from the At the entrance to the point where the body meets a straight line, System of sliding guides acting on the outer surfaces of the body to be moved owns / * ■: -. ■■■ ". ■

4. Apparatus according to claim 3, characterized gekennzeiehnestpdäß the leadership at least? from two guide rails (4) from electrically conducting-.dem heat-resistant material, which is connected to an electrical voltage source are that they are powered by an electrical current that heats the device, in particular in their entire length, flowed through.

5. Apparatus according to claim 4, characterized in that that the - especially replaceable - slide rails with locally different Cross-section or similar, a different current density and thus different Local heating of the rails causing means to achieve a desired course the temperature along the Gledtschienen are provided.

6. Apparatus according to claim 4 or 5, characterized in that the cross-section shape of the rails is chosen so that they are parallel to the longitudinal direction of the rails in the jacket include the axial direction to be displaced body partially.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the treatment container upstream or downstream containers (1 and 3) provided for introducing and discharging the bodies through several tightly pressed rings are formed, between which the sealing lips with their The outer edge are clamped in a gastight manner.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that at least two of the sealing lips both in the inlet container (1) and in the outlet container (3) a smaller distance than it corresponds to the height of the individual alloy forms.

9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that at the entry point the body between some adjacent ones of the chambers formed by the sealing lips and the bodies passing through them a gas flow enabling channel system is provided, which in the operation of Protective gas is flushed through.

10. Apparatus according to claim 9, characterized in that the protective gas in the direction flows onto the outside space.

11. Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that at least one of the sealing lips and the passing Bodies formed chambers can be evacuated.

12. Apparatus according to claim 9 and 11, characterized in that at the entry point the body, possibly also at its exit point, at least one evacuable and one

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A chamber that can be flushed with protective gas is provided

13. Apparatus according to claim 11 and 12, characterized in that the body both before entering as well as after leaving the treatment tank one between two Sealing lips go through the chamber, its gas pressure or evacuation state corresponds to the condition in the treatment tank.

14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that for transportation by the treatment device

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transporting body, in particular alloy forms, in the guide system of the device a moved by means of an eccentric plunger or stamp is provided which the individually by means of a slide fed body into the entry point (10) of the device

15. A method for operating a device according to claim 3, characterized in that the body to be treated is pushed through the device from bottom to top.

Considered publications:
German interpretative document No. 1104 073.

1 sheet of drawings

409 708/297 10.64 9 Bundesdruckerei Berlin409 708/297 10.64 9 Bundesdruckerei Berlin