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DE1161701B - Einrichtung zum Messen der Farbtemperatur von strahlenden Koerpern - Google Patents

Einrichtung zum Messen der Farbtemperatur von strahlenden Koerpern

Info

Publication number
DE1161701B
DE1161701B DES49708A DES0049708A DE1161701B DE 1161701 B DE1161701 B DE 1161701B DE S49708 A DES49708 A DE S49708A DE S0049708 A DES0049708 A DE S0049708A DE 1161701 B DE1161701 B DE 1161701B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
semiconductor
reflected
wavelength
filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DES49708A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Fritz Lieneweg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DES49708A priority Critical patent/DE1161701B/de
Publication of DE1161701B publication Critical patent/DE1161701B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

  • Einrichtung zum Messen der Farbtemperatur von strahlenden Körpern Für die Messung der Farbtemperatur muß die Strahlung des zu messenden Körpers in zwei spektrale Bereiche mit unterschiedlichen Wellenlängen aufgeteilt werden. Gebräuchliche Farbfilter lassen einen eng begrenzten spektralen Bereich der Strahlung hindurchtreten und absorbieren die übrige Strahlung. Sie können sich infolgedessen stark erwärmen. Außerdem treten vielfach im Gebiet längerer Wellen wieder störende Durchlässigkeitsbereiche auf. Auch Interferenzfilter besitzen neben dem für die Messung ausgenutzten Durchlässigkeitsbereich Nebenbereiche der Durchlässigkeit, vor allem im ultraroten Strahlungsgebiet.
  • Als Strahlungsempfänger für Farbpyrometer sind Fotoelemente, Fotozellen und Thermoelemente gebräuchlich. Die insbesondere bei Thermoelementen erforderliche größere Strahlungsintensität würde in den vorgeschalteten Farbfiltern eine Meßfehler verursachende Erwärmung hervorrufen.
  • Zur Strahlentrennung bei Farbpyrometern sind außerdem sogenerrGoldfilter, d. h. mit einer Gbldschicht bedampfte Glasfolien verwendet worden, die das rote Licht reflektieren und das grüne Licht durchtreten lassen, wenn sie unter einem Winkel von 450 von der Strahlung getroffen werden.
  • Außerdem wurden zur Farbentrennung bei Farbfernsehgeräten mit Salzschichten bedeckte Gläser verwendet, die das blaue Licht reflektieren und rotes Licht durchtreten lassen. Bei diesen Filtern tritt praktisch keine Erwärmung durch Absorption auf.
  • Jedoch ist die Lage der Grenzwellenlänge, bei der die Spektralbereiche getrennt werden, hier von der Dicke der aufgebrachten Goldschicht bzw. Salzschicht abhängig und kann erst nach der Herstellung der Filter festgestellt werden, wenn eine entsprechende Messung durchgefiihrt wird. Weiter ist die Lage der Grenzwellenlänge davon abhängig, unter welchem Winkel die Strahlung auf das Filter trifft. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für die Strahlentrennung bei Farbpyrometern eine Gruppe von Filtern anzugeben, deren Grenzwellenlänge allein durch das Filtermaterial bestimmt ist.
  • Gemäß der Erfindung ist das Trennfilter ein Halbleiter, dessen untere Grenzwellenlänge im sichtbaren Gebiet oder im benachbarten Ultrarot zur Strahlentrennung ausgenutzt ist. Als Halbleiter für diesen Zweck besonders geeignet sind Elemente der IV. Gruppe des Periodischen Systems oder Mischverbindungen aus Elementen der III. und V. Gruppe.
  • Als besonders vorteilhaft sind aus der IV. Gruppe des Periodischen Systems Silizium und Germanium zu nennen und aus der Gruppe der Mischverbindun- gen Galliumphosphid (GaP), Galliumarsenid (GaAs), Indiumphosphid (InP), Indiumarsenid OnAs), Indium-Arsenidantimonid [In (AsSb)j. Die jeweils erwünschten Grenzwellenbereiche, z. B. um bestimmte störende Absorptionsbanden auszuschalten, werden erhalten, wenn die genannten Halbleiter in bekannter Weise in passenden Verhältnissen gemischt sind.
  • Aus Germanium sind bereits optische Linsen hergestellt worden, bei denen die Durchlässigkeit für ultrarote Strahlung bei diesem Material ausgenutzt wurde. Außerdem ist es bekannt, einen Germaniumkristall als Modulator für ultrarote Strahlung zu verwenden. An den Kristall wird senkrecht zur Durchtrittsrichtung der ultraroten Stahlung eine Spannung angelegt, mit der die Zahl der Ladungsträger in dem Kristall verändert werden kann. Die Durchlässigkeit des Kristalls für ultrarote Strahlung ist dann von der angelegten Spannung abhängig, und die durchtretende Strahlung läßt sich mit dieser Spannung modulieren.
  • Die Halbleitermaterialien sind zur Strahlentrennung bei Farbpyrometern besonders geeignet, da sie für kurzwellige Strahlung unter einer bestimmten Grenzwellenlänge völlig undurchlässig, dagegen für langwellige Strahlung von größerer Wellenlänge als der Grenzwellenlänge entspricht, praktisch vollkommen durchlässig sind. Dieses Verhalten ist nicht wie bei den Farbgläsern auf Absorption zurückzuführen, sondern die Halbleiter lassen die langwellige Strahlung bei vernachlässigbarer kleiner Absorption und nur geringer Reflexion hindurchtreten, während die Strahlung kürzerer Wellenlänge praktisch vollkommen reflektiert wird. Bei einigen Halbleitern oder Mischverbindungen von Halbleitern tritt bei längeren Wellenlängen im langwelligen ultraroten Strahlungsgebiet eine weitere Trennstelle auf, bei der noch langwelligere Strahlung reflektiert wird. Diese Trennstelle liegt aber im Wellenlängengebiet oberhalb von 6 bis 8'1 und stört die Messung nicht, da im Strahlengang üblicherweise bei Farbpyrometern Glaslinsen oder Glasscheiben angeordnet sind, die ohnehin alle Strahlung absorbieren, deren Wellenlänge größer ist als etwa 4 bis 5 u.
  • Bei den Halbleitermaterialien ist die Grenzwellenlänge unabhängig von dem Winkel, unter dem die Strahlung einfällt und unabhängig von der Dicke des Filtermaterials. Die Trennstelle läßt sich daher reproduzierbar auf einen bestimmten Wellenlängenwert einstellen, indem die entsprechende Halbleiterlegierung passend gewählt wird. Diese Eigenschaft unterscheidet die genannten Filter vorteilhaft von den früher erwähnten Goldfiltern.
  • Ein besonders einfaches Farbfilter wird erhalten, wenn der Halbleiter als Scheibe oder Platte ausgebildet und in bei Farbpyrometern bekannter Weise zur Aufteilung der Strahlung in einen reflektierten und einen durchgelassenen Anteil zur Achse der Strahlung schräg gestellt ist. Der durchgelassene Anteil enthält die langwellige Strahlung, während die reflektierte Komponente sich aus kurzwelliger Strahlung unterhalb der Grezwellenlänge und einem geringen Anteil restlicher reflektierter langwelliger Strahlung zusammensetzt. Die Strahlung beider Strahlungswege trifft auf je einen Strahlungsempfänger beliebiger Art, vornehmlich auf je ein Vielfachthermoelement. Als Halbleiterfilter eignen sich besonders GaAs, InP, Si, Ge und Jn (As, Sb), deren Grenzwellenlängen in der Reihenfolge der Aufzählung bei 0,92; 1,0; 1,2; 1,7 und 2,5 Z liegen.
  • Als Strahlungsempfänger können in bekannter Weise auch Fotoelemente oder Fotozellen beliebiger Art verwendet werden. In diesem Fall muß ein Halbleitermaterial benutzt werden, dessen Grenzwellenlänge innerhalb des Empfindlichkeitsbereiches der verwendeten Fotoelemente oder Fotozellen liegt. In Verbindung mit lichtelektrischen Empfängern, die auf das sichtbare Strahlungsgebiet ansprechen, eignet sich besonders Galliumphosphid (GaP), dessen Grenzwellenlänge bei 0,55 liegt.
  • Man kann auch bestimmte Wellenlängenbereiche aussondern, wenn man geeignete Zusatzfilter vor oder hinter dem Hauptfilter aus Halbleitermaterial anordnet. Durch Filter vor dem Hauptfllter kann man z. B. den gesamten Strahlungsbereich nach längeren Wellenlängen hin zusätzlich begrenzen oder eine Wellenlängenbegrenzung im kurzwelligen Teil durch Filter vor dem Strahlungsempfänger für das kurzwelligere Licht bewirken. Beide Maßnahmen können auch gemeinsam angewendet werden. Zur Begrenzung im kurzwelligen Teil wird zweckmäßig wiederum ein Filter aus Halbleiterwerkstoff benutzt, dessen Grenzwellenlängen bei kürzerer Wellenlänge liegen als das Hauptfilter. Es kann dann entweder der vom Zusatzfilter durchgelassene oder auch der reflektierte Anteil der Strahlung auf den Empfänger für den kurzwelligeren Lichtanteil treffen.
  • Für die Anzeige der Farbtemperatur können an sich beliebige bekannte Kompensationsverfahren benutzt werden, durch die das Verhältnis der beiden Strahlungsenergien bestimmt wird. Auch die sonstigen bekannten Schaltungen zur Darstellung des Quotienten der von den beiden Strahlungsempfängern abgegebenen elektrischen Leistung sind verwendbar, z. B. Quotientenmeßgeräte, Differenzmeßschaltungen unter Benutzung von logarithmierenden Schalt- elementen od. dgl. Ferner kann auch das bekannte Wechsellichtverfahren eingesetzt werden, das nur eine lichtelektrische Zelle erfordert und Ungleichmäßigkeiten der sonst üblichen zwei Empfänger ausschaltet.
  • Die Zeichnung zeigt in schematischer Darstellung drei der Erläuterung dienende Ausführungsbeispiele von erfindungsgemäß ausgebildeten Farbtemperatur-Meßeinrichtungen. In F i g. 1 ist der Strahlengang einer mit zwei Thermoelementen als Strahlungsempfänger ausgerüsteten Meßeinrichtung mit einem Trennfilter dargestellt; Fig. 2 zeigt ein Beispiel für eine an sich bekannte selbsttätige Kompensationsmeßeinrichtung, die an die Thermoelemente des Farbpyrometers nach Fig. 1 angeschlossen werden kann; Fig.3 gibt eine Anordnung wieder. bei der durch mehrere Filter eine zusätzliche Strahlenbegrenzung vorgenommen wird.
  • Nach Fig. 1 trifft die Strahlung des Körpers 1, dessen Temperatur gemessen werden soll, auf das Objektiv L1 des erfindungsgemäß ausgebildeten Farbpyrometers 2. Das von der Linse L1 entworfene Bild des Körpers 1 wird über die Linsen auf die Vielfachthermoelemente Tlz, und Th2. abgebildet. In gleicher Entfernung von beiden Thermoelementen befindet sich eine Scheibe aus Halbleitermaterial. die unter einem Winkel von 450 schräg zur Achse der Strahlung steht. Durch diese Scheibe F wird die einfallende Strahlung in zwei Bereiche unterschiedlicher Wellenlänge aufgeteilt. Die hindurchtretende und auf das Thermoelement Th1 treffende Strahlung besteht aus langwelligem Licht und enthält nur Wellenlängen, die größer sind als die Grenzwellenlängen des Halbleiters. Das an der Halbleiterscheibe reflektierte Licht enthält den kurzrvellig n Anteil oberhalb der Grenzwellenlänge und nur emen geringen Teil von noch reflektierter langwelliger Strahlung. Die beiden Thermoelemente sind, wie Fig.2 zeigt, gegeneinandergeschaltet, und die Spannungsdifferenz wird dem Eingang eines Kompensationsverstärkers K zugeführt. Im Kreis des einen Thermoelementes ist ein Widerstand 3 mit einem verstellbaren Abgriff 4 angeordnet. Dieser Abgriff wird in bekannter Weise von einem im Ausgang des Kompensationsverstärkers K angeordneten Stellmotor 5 so lange verstellt, bis die Spannungsdifferenz im Eingang des Verstärkers praktisch verschwindet. Die Stellung des Schleifers 4 ist dann ein Maß für die Farbtemperatur des Körpers 1. Derartige Kompensationsschaltungen sind bekannt.
  • Nach Fig.3 wird die Schaltung zunächst in gleicher Weise wie in Fig. 1 über eine LinsenanordnungLt und L2 geleitet und tritt dann durch ein Olasfilter 6, das Wellenlängen über etwa 2 CL nicht mehr durchläßt. Das Licht trifft weiter auf ein halbdurchlässiges Trennfilter 7, z. B. aus Germanium mit einer Grenzwellenlänge bei 1,7 p und wird hierdurch in einen durchgelassenen Anteil 8 und einen reflektierten Anteil 9 aufgespalten. Der durchgelassene Anteil 8 enthält Licht der Wellenlängen zwischen 1,7 und 211 und trifft auf den Strahlungsempfänger 10. Das reflektierte Licht 9, das die Wellenlängen unterhalb 1,7 u enthält, trifft auf ein Halbleiterfilter 11, z. B. aus Silizium (Grenzwellenlänge 1,2 p), und dieses läßt nun Strahlen oberhalb 1,2 , d. h. zwischen 1,2 und 1,7 Z durch, reflektiert dagegen Strahlen unterhalb 1,2y. Der Strahlungsempfänger 12 ist im Zeichnungsbeispiel hinter dem Filter 11 angeordnet. Er könnte auch in den Strahlengang des reflektierten Lichtes gesetzt werden, wenn man das Licht der Wellenlängen unter 1,2 pt zur Messung heranziehen wollte.
  • Die Lichtführung kann in beliebiger anderer Weise vorgenommen werden. So kann beispielsweise lediglich eine Fotozelle benutzt werden und die Strahlung der beiden Strahlungswege nach dem bekannten Wechsellichtverfahren abwechselnd auf die Fotozelle treffen.

Claims (5)

  1. Patentansprüche: 1. Einrichtung zum Messen der Farbtemperatur von strahlenden Körpern mit die zu vergleichenden Spektralgebiete trennenden Filtern, bei welchen der nicht durchgelassene Spektralteil in der Hauptsache reflektiert wird, d a d u r c h gekennzeichnet, daß das Trennfilter ein Halbleiter ist, dessen untere Grenzwellenlänge im sichtbaren Gebiet oder im benachbarten Ultrarot zur Strahlentrennung ausgenutzt ist.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Halbleiterelemente der IV. Gruppe des Periodischen Systems oder Mischverbindungen aus Elementen der III. und V. Gruppe des Periodischen Systems verwendet werden.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Halbleiter GaP, InP, Si, Ge, In (As, Sb) verwendet werden.
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 1 oder folgende, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiter als Scheibe oder Platte ausgebildet und in bei Farbpyrometern bekannter Weise, zur Aufteilung der Strahlung in einen reflektierten und einen durchgelassenen Anteil, zur Achse der Strahlung schräg gestellt ist.
  5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlenweg des reflektierten, kurzwelligeren Teiles ein zweites Halbleiterfilter angeordnet ist, dessen Grenzwellenlänge kürzer ist als die des Trennfilters.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 880 504; schweizerische Patentschrift Nr. 262 325; USA.-Patentschrift Nr. 2237713; Hemsing, »Temperaturmessung«, 1955, S. 202, 2. Auflage; »Physica«, 20 (1954), S. 905; »Electronics«, Oktober 1954, S. 155 bis 157; »Physical Review«, 1949, S. 1705 bis 1710; 1950, S. 287; »Physikalisches Taschenbuch«, 1951, S. 235, 236; »Journal of the Optical Society«, 1957, S. 244 bis 246.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4924478A (en) * 1983-06-16 1990-05-08 Deutsche Forschungs- Und Versuchsanstalt Fur Luft- Und Raumfahrt E.V. Method of and device for contactless temperature measurement of an object independently of radiation emissivity

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2237713A (en) * 1938-09-20 1941-04-08 Battelle Memorial Institute Optical pyrometer
CH262325A (de) * 1948-02-19 1949-06-30 E Herzer Alfred Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Intensität einer Strahlungsquelle sowie deren Farbtemperatur.
DE880504C (de) * 1951-05-05 1953-06-22 Metrawatt Ag Zur Farbtemperaturmessung dienendes Zusatzgeraet fuer photoelektrische Belichtungsmesser

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