DE10356765A1

DE10356765A1 - Optische Messvorrichtung und optisches Messverfahren

Info

Publication number: DE10356765A1
Application number: DE10356765A
Authority: DE
Inventors: Gerd Siekmeyer
Original assignee: Admedes Schuessler GmbH
Current assignee: Admedes Schuessler GmbH
Priority date: 2003-12-04
Filing date: 2003-12-04
Publication date: 2005-07-07
Also published as: US20050151979A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine optische Messvorrichtung mit einem Beleuchtungssystem, einer CCD-Kamera 6 und einer Bildverarbeitungsvorrichtung, um die Abmessungen von hohlen oder röhrchenförmigen Miniaturbauteilen, insbesondere Stents, zu bestimmen. Hierzu wird der Stent auf einen Messobjektträger 1 aufgeschoben und gedreht, um ihn von allen Seiten mittels der Kamera 6 aufzunehmen. Der Messobjektträger 1 weist eine derartige Struktur auf, die einfallendes Licht vor dem Austritt mehrfach bricht, so dass der Messobjektträger 1 ein im Wesentlichen homogenes Licht abgibt, d. h., dass jedes Flächenelement der Lichtaustrittsfläche eine im Wesentlichen gleich hohe Abstrahlungsintensität aufweist.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine optische Meßvorrichtung zum optischen Vermessen von Minaturbauteilen und ein entsprechendes Verfahren.
Durch Lichtkontrast ist eine optische Dimensionsvermessung von Miniaturbauteilen, wie beispielsweise medizinischer Ampullen, Stents und dergleichen möglich. Der optische Kontrast wird dabei entweder im Auflicht- oder Durchlichtverfahren erzeugt.
Beim Auflichtverfahren wird das Meßobjekt von oben mit einer geeigneten Lichtquelle bestrahlt und das reflektierte Licht wird von einer Kamera aufgenommen, um das Meßobjekt mit Hilfe des aufgenommenen Bildes zu vermessen. Beim sogenannten Durchlichtverfahren wird das Meßobjekt von einer Seite mit einer Lichtquelle beleuchtet und das durch das Meßobjekt hindurchtretende Licht wird auf der anderen Seite von einer Kamera aufgenommen und ausgewertet.

Ein Beispiel für das Auflichtverfahren ist in dem Dokument DE-A-40 33 588 offenbart. Hier werden Werkstückoberflächen, insbesondere von Profilquerschnitten, mittels einer Kamera und einer Beleuchtungseinheit optisch vermessen. Die von der Objektachse versetzt angeordnete Beleuchtungseinheit bestrahlt das Meßobjekt und das Licht wird von dem Meßobjekt reflektiert. Eine Kamera ist gegenüber der Objektachse um einen gewissen Winkel verdreht angeordnet und nimmt das von dem Meßobjekt reflektierte Licht auf. Die Abmessungen des Objekts können durch das von der Kamera aufgenommene kontrastreiche Bild ermittelt werden.

Dieses Meßverfahren führt jedoch nicht bei allen Materialien zu einem befriedigendem Ergebnis, da Bildschärfe und Kontrast stark von der Reflexion des Materials abhängen.

Das Dokument DE-A-41 11 145 beschreibt ein Verfahren zum Überprüfen der Maßhaltigkeit medizinischer Ampullen, bei dem das Durchlichtverfahren angewandt wird. Dabei wird eine zu prüfende Ampulle senkrecht zu ihrer Längsachse mittels einer diffus strahlenden Lichtquelle beleuchtet und um ihre Längsachse gedreht. Das durch die Ampulle hindurchtretende Licht wird von einem Kamerasystem aufgenommen und in elektrische Bildsignale umgewandelt. Mit diesen Bildsignalen wird dann ein Soll-/Ist-Vergleich durchgeführt, um die Maßhaltigkeit des Prüflings zu beurteilen.

Bei Hohlkörpern wie Hohlprofilen, Röhrchen, Stents und dergleichen hat das Durchlichtverfahren jedoch den Nachteil der Schattenbildung durch die der vermessenen Wandung gegenüberliegende Wandung und Stegflanken der Wandungen, die eine breitere Stegdimension erzeugen.

Um diese Schattenbildung zu minimieren, wird bisher ein hohles Meßobjekt auf einen Meßobjektträger aus Glas (Saphir- oder Borosilikatglas) aufgeschoben. Dieser Meßobjektträger wird durch entsprechende Oberflächenbearbeitung (Ätzen, Schleifen und/oder Sandstrahlen) mattiert, um Schattenbilder zu minimieren und die Richtungscharakteristik des Lichtes zu verbessern.

Die dabei erforderliche erhöhte Lichtintensität zum Ausgleich der Absorption führt jedoch zu Kantenüberstrahlungen und zu kleinen bzw. falschen Dimensions-Meßwerten. Die oben angeführte Oberflächenbearbeitung des Meßobjektträgers erzeugt außerdem ungleichmäßige Beleuchtungseffekte und Ausbrüche, die zu weiteren Meßfehlern führen. Ein gezieltes und kontrolliertes Anstrahlen und damit Ausblenden der durch die mögliche Wanddickengeometrie ins Bild geratenen Seitenflanken eines zu vermessenen Stegs ist zudem nicht möglich.

3 zeigt die Anwendung des Durchlichtverfahrens mit einem Meßobjektträger 1 nach dem Stand der Technik. Ein von der Lichtquelle 2 in den Meßobjektträger 1 einfallender Lichtstrahl wird durch den Meßobjektträger 1 hindurch übertragen und fällt auf die (in 3 nicht gezeigte) Kamera. An den Stegen 7 wird das Licht reflektiert bzw. absorbiert, so dass diese Stellen kein Licht zu der Kamera übertragen.

5 zeigt das durch die Kamera aufgenommene Bild bei einem Durchlichtverfahren nach dem Stand der Technik. Die direkt von der Lichtquelle 2 bestrahlten Stege 7 sind auf diesem Bild als schwarze Schatten zu erkennen und stören eine genaue Dimensions-Auswertung des Meßobjekts.

Des weiteren beschreibt das US Patent 5 825 666 eine Koordinaten-Meßvorrichtung mit einer Videokamera, die gegenüber dem Meßobjekt bewegt werden kann, und einer Berührungssonde, die an der Videokamera montiert werden kann. Dabei ist die Berührugssonde gegenüber der Videokamera beweglich und ein an einer Kontaktspitze der Berührungssonde angebrachtes Zielelement (target) wird in einer Fokalebene der Videokamera aufgenommen.

Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, eine verbesserte optische Vermessung von Miniaturbauteilen zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Meßobjektträger mit den Merkmalen nach Anspruch 1, eine optische Meßvorrichtung nach Anspruch 11 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen nach Anspruch 12 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Messobjektträger aus einem lichtdurchlässigen Material für die Aufnahme eines im wesentlichen hohlen zu vermessenden Messobjekts gelöst, der eine Struktur aufweist, die einfallendes Licht vor dem Austritt so mehrfach bricht und/oder streut, dass der Messobjektträger ein im wesentlichen homogenes Licht abgibt.

Durch die Vielfachbrechung bzw. -streuung des Lichtes im Meßobjektträger und die sich daraus ergebende homogene Lichtabstrahlung des Meßobjektträgers können störende Schatten vermieden werden und der Kontrast der aufgenommenen Elemente des Meßobjekts kann verbessert werden, da eine Schattenbildung im wesentlichen vermieden wird.

Homogene Abstrahlung bedeutet hier, dass jedes Flächenelement der Lichtaustrittsfläche eine im wesentlichen gleich hohe Abstrahlungsintensität aufweist.

Vorzugsweise ist der Meßobjektträger zumindest teilweise aus einem Opalglas gebildet.

Der Trübungswert des Meßobjektträgers sollte größer als 10 FTU (Formazine Turbidity Units) sein, und/oder es werden zur Trübung Partikel beigemengt, die eine Korngröße von kleiner als 100 μm haben. Damit wird das eintretende Licht vielfach gestreut und/oder gebrochen, so dass die Struktur des Meßobjekts auch dann auf der Meßseite im wesentlichen homogen beleuchtet wird, wenn die Struktur des Meßobjekts auf der der Meßseite abgewandten Seite Schatten wirft.

Die kristallartigen Strukturen reflektieren das einfallende Licht diffus und führen somit Mehrfachbrechungen herbei, so dass der Meßobjektträger aus sich heraus homogen strahlt und störende Schatten von der der Lichtquelle zugewandten Seite des Meßobjekts vermieden werden.

Die beigemengten Partikel können Flussspat und/oder Zirkoniumoxid, aber auch Partikel aus Kryolith (NA₃AlF₆) enthalten. Damit bilden sich tröpfchenartige, mikrokristalline Strukturen im Glas.

Elemente wie Bleikristall, Phosphoroxid, Eisen oder Al₂O₃ können in die Glasschmelze eingebracht werden, um eine geeignete Trübung des Messobjektträgers zu erzielen.

Ferner können Partikel aus Kryolith (Na₃AlF₆) in Tröpfchenform und/oder Elemente wie Bleikristall, Phosphoroxid, Eisen oder Al₂O₃ in die Glasschmelze eingebracht werden, um eine geeignete Trübung des Meßobjektträgers zu erzielen.

Vorzugsweise sollte der Energieverlust eines in das getrübte Glas einfallenden Lichtstrahls mindestens 15% betragen und der Brechungsindex radial und axial zur Rotationsachse des Meßobjektträgers sollte sich nicht um mehr als 15% voneinander unterscheiden.

Vorzugsweise ist die Lichtquelle zum Beleuchten des Meßobjekts und des Meßobjektträgers eine programmierbare Spotlichtquelle, deren Leuchtintensität mittels Frequenz- oder Pulsweitenmodulation steuerbar bzw. regelbar ist.

Die Wellenlänge des Lichts sollte dabei in einem Bereich von etwa 300 nm bis 1200 nm liegen. Die Farbe des Lichts kann durch eine Kombination mehrerer Spektralfarben erzeugt werden.

Für die Aufnahme eines Bildes von dem beleuchteten Messobjekt wird vorzugsweise eine CCD-Kamera verwendet. Eine programmgesteuerte Bildverarbeitungsvorrichtung wird für die Bildverarbeitung des von der CCD-Kamera aufgenommenen Bildes für die Auswertung zur Dimensionsbestimmung verwendet.

Erfindungsgemäß wird auch ein optisches Meßverfahren mit folgenden Schritten geschaffen: Bereitstellen eines Meßobjektträgers aus einem lichtdurchlässigen Material für die Aufnahme eines im wesentlichen hohlen Meßobjekts; Beleuchten des Meßobjekts und des Meßobjektträgers mittels einer Lichtquelle; Aufnehmen eines Bildes von dem beleuchteten Meßobjekt mittels einer Kamera; Verarbeiten des aufgenommenen Bildes für die Auswertung zur Dimensionsbestimmung; wobei der Meßobjektträgers eine Struktur aufweist, die einfallendes Licht vor dem Austritt mehrfach bricht, so dass der Meßobjektträger ein im wesentlichen homogenes Licht abgibt.

Diese und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden besser verständlich beim Lesen der folgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen:
1 zeigt die erfindungsgemäße Anordnung der Komponenten zum Vermessen der Miniaturbauteile;
2 zeigt schematisch die Struktur eines Stents als ein Beispiel eines zu vermessenden Miniaturbauteils;
3 zeigt die Anwendung des Durchlichtverfahrens zur Vermessung eines in 2 gezeigten Stents mit einem an der Oberfläche mattierten Glasträger nach dem Stand der Technik als Meßobjektträger zum Halten des Stents;
4 zeigt die Anwendung des Durchlichtverfahrens zur Vermessung eines in 2 gezeigten Stents mittels eines erfindungsgemäßen Opalglasträgers als Meßobjektträger zum Halten des Stents;
5 zeigt ein Bild, das bei der Anwendung der in 3 gezeigten Anordnung aufgenommen wird; und
6 zeigt ein Bild, das bei der Anwendung der in 4 gezeigten Anordnung aufgenommen wird.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ausführlich erläutert.
Die Erfindung wird beispielsweise anhand der Vermessung von sogenannten Stents, das sind röhrchenförmige Hohlkörper zum Einbringen in die Blutbahn beispielsweise bei Herzoperationen, genauer erläutert.
Wie in 1 gezeigt ist, wird ein im wesentlichen zylindrischer oder stabförmiger Meßobjektträger 1 aus Glas, vorzugsweise aus Opalglas, in ein Spannfutter einer Drehvorrichtung 3 eingespannt. Eine Lichtquelle 2 sowie eine Sammellinse mit einem Graufilter 4 und eine Glasplatte 5 befinden sich in der genannten Reihenfolge in einer radial bzw. seitlich versetzten Anordnung zu dem Meßobjektträger 1. Auf der der Lichtquelle 2 gegenüberliegenden Seite ist eine Kamera 6 (beispielsweise eine CCD-Kamera) angebracht.
Das Meßobjekt, das in 1 nicht gezeigt ist, wird auf den Meßobjektträger 1 mit geringem Spiel aufgeschoben und von der Seite durch die Lichtquelle 2 beleuchtet. Das Meßobjekt kann beispielsweise ein hohles röhrchenförmiges Miniaturbauteil sein, wie es in 2 gezeigt ist, das in seiner zylindrischen Außenwand Stege 7 aufweist.
Das von der einen Seite durch die Lichtquelle 2 beleuchtete Meßobjekt wird von der im wesentlichen gegenüberliegenden Seite mittels der Kamera 6 aufgenommen (beim Durchlichtverfahren).
Als Meßobjektträger 1 wird vorzugsweise ein Glasträger aus Opalglas verwendet. Die spezielle Trübung bzw. milchige Ausgestaltung dieses Opalglases wird vorzugsweise durch Zugabe von Partikel aus Flussspat oder Zirkoniumoxid erzeugt. Diese Zugaben erzeugen, wie in 4 gezeigt ist, kristallartige Strukturen, die einfallendes Licht in alle Richtungen diffus reflektieren bzw. vielfach streuen und/oder brechen.
Es kann jedoch auch ein Kryolith Na₃AlF₆ in der Gestalt von Tröpfchen mit einer Größe von etwa 100 nm zugegeben werden. Des weiteren können Verunreinigungen als Zugabe zur Anwendung kommen, wie beispielsweise Bleikristall, Phosphoroxid, Eisen, Al₂O₃ und dergleichen.
Die Zugabe muss bevorzugt so bemessen sein, dass der Energieverlust eines transmittierten Lichtstrahls mindestens etwa 15% beträgt. Darüber hinaus soll sich der Brechungsindex horizontal und vertikal zur Rotationsachse (axial und radial) des Meßobjektträgers 1 um nicht mehr als etwa 15% voneinander unterscheiden.
Durch die Trübung des Opalglases wird eine gleichmässige und verstärkte Leuchtkraft im Meßobjektträger 1 erzeugt. Darüber hinaus ist eine kostspielige Materialnachbearbeitung, beispielsweise durch Ätzen oder Sandstrahlen, nicht erforderlich.
Das Opalglas erzeugt im Gegenlicht einen unscharfen und leicht grünen, grauen oder weißen Farbton, je nach Art der eingebundenen Sedimente. Der Trübungswert sollte vorzugsweise bei mehr als 10 FTU (Formazine Turbidity Units) liegen, so dass Mehrfachbrechungen des einfallenden Lichtstrahls auftreten, und/oder die Korngröße der verwendeten Sedimente sollte vorzugsweise bei weniger als 100 μm liegen. Somit wird in dem Material des Meßobjektträgers 1 eine Vielzahl an Streuund/oder Brechzentren verteilt, die zu einer im wesentlichen homogenen Abstrahlung führen.
Somit wird der Meßobjektträger 1 durch Mehrfachbrechung bzw. -streuung des einfallenden Lichts zu einer homogenen Lichtabstrahlung gebracht, d.h. die Lichtquelle für die Bildaufnahme wird in den Meßobjektträger 1 hinein verlagert. Schatten durch Oberflächenfehler können alleine durch Steuerung der Lichtintensität ausgeglichen werden, so dass eine nachträgliche Materialbearbeitung eingespart werden kann.
Der Meßobjektträger 1 kann auch so gestaltet sein, dass lediglich der Bereich, auf den das Meßobjekt aufgeschoben wird, die Trübung aufweist, während der Bereich, der in das Spannfutter der Drehvorrichtung 3 eingespannt wird, jede beliebige andere Konfiguration haben kann.
Der Meßobjektträger 1 muss auch nicht einstückig sein, sondern kann einen ersten Abschnitt mit einem Opalglas und einen zweiten Abschnitt aus einem beliebigen anderen Material wie beispielsweise Kunststoff, Metall etc. aufweisen. Der erste Abschnitt kann dabei als Aufnahme für das Meßobjekt und der zweite Abschnitt dem Einführen in das Spannfutter der Drehvorrichtung 3 dienen. Die beiden Abschnitte können durch ein beliebiges Verbindungsverfahren wie Kleben, Stecken, Schrauben, Anformen etc. miteinander verbunden werden.
Die Lichtquelle 2 befindet sich bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel im Vergleich zum Stand der Technik näher an dem Meßobjekt. Die Kantendetektion wird durch Vermeiden von Überstrahlungen bzw. bessere Kantenausleuchtung genauer, da der Meßobjektträger 1 homogen sein Licht abstrahlt. Darüber hinaus lässt sich die Lichtintensität auf die zu vermessende Objektstruktur homogen abgleichen und kalibrieren.
Die Lichtquelle 2 weist eine starke Spotlichquelle, vorzugsweise mit einer Leuchtintensität von mindestens 1 Lumen pro Watt, sowie ein milchig trübes, aber leicht transparentes Opalglas auf. Die Leuchtintensität der Lichtquelle 2 sollte sich dabei vorzugsweise stufenlos im Frequenz- oder Pulsweitenmodulationsverfahren steuern bzw. regeln lassen. Außerdem sollte die Größe der Ausleuchtung bzw. der Ausleuchtungsbereich vorzugsweise über eine Irisblende oder eine Wechseloptik einstellbar sein.
Das verwendete Licht kann je nach der Art des zu vermessenden Meßobjekts verschiedene Wellenlängen aufweisen, liegt vorzugsweise jedoch in dem Bereich von etwa 300 nm bis 1200 nm. Dabei kann die Farbe des Lichts auch durch Kombination mehrerer Spektralfarben erzeugt werden.
Die Anordnung der Lichtquelle 2 ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren nicht auf die in 1 gezeigte Anordnung von der Seite beschränkt, die bei dem Durchlichtverfahren üblich ist. Da der Meßobjektträger 1 durch Mehrfachbrechung und/oder -streuung ein im wesentlichen homogenes Licht abstrahlt, kann das Licht auch von allen anderen Seiten in den Meßobjektträger 1 eingebracht werden, sogar eine axial angebrachte Lichtquelle ist möglich.
Bei der axialen Anordnung der Lichtquelle 2 kann diese gegenüber der Drehvorrichtung 3 positioniert werden. Die Lichtquelle 2 kann jedoch auch in die Drehvorrichtung 3 integriert sein, um die Handhabung der gesamten Vorrichtung zu verbessern.
Es ist jedoch auch jede andere Anordnung der Lichtquelle 2, beispielsweise schräg von oben oder unten und dergleichen möglich so lange wie die Anordnung der Lichtquelle 2 so ausgewählt wird, dass das Licht von dem strahlenden Meßobjektträger 1 homogen abgestrahlt wird.
Das hier beschriebene Verfahren eignet sich insbesondere zur optischen Vermessung eines sogenannten Stents, wie in 2 gezeigt ist. Dieser Stent ist aus einem Drahtgeflecht mit Stegen 7 gebildet und weist eine im wesentlichen zylindrische Form auf.
Die Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die 3 bis 7 erläutert.
Im Gegensatz zu der in 3 gezeigten Vorrichtung nach dem Stand der Technik zeigt 4 die erfindungsgemäße Vorrichtung. Das von der Lichtquelle 2 in den Meßobjektträger 1 einfallende Licht wird durch diesen mehrfach gebrochen und in alle Richtungen homogen abgestrahlt. Wie weiter oben bereits erwähnt ist, muss die Lichtquelle 2 hierzu nicht wie bei dem Durchlichtverfahren nach dem Stand der Technik (wie hier gezeigt) radial zu dem Meßobjekt und diametral entgegengesetzt zu der Kamera 6 angeordnet sein, sondern kann beispielsweise auch axial zu diesem angeordnet sein. Da der erfindungsgemäße Meßobjektträger 1 das Licht durch Mehrfachbrechungen streut und das Licht im wesentlichen homogen abstrahlt, kann die Anordnung der Lichtquelle 2 variiert werden.
Darüber hinaus bildet ein auf der Seite der Lichtquelle 2 liegender Steg 7 keinen störenden Schatten, da das auf beiden Seiten eines solchen Steges 7 einfallende Licht in dem Meßobjektträger 1 gleichmäßig gestreut bzw. gebrochen wird. Vielmehr sind die auf der Seite der Kamera 6 liegenden Stege 7 auf dem aufgenommenen Bild deutlich erkennbar, wie in 6 gezeigt ist, während die direkt bestrahlten Stege 7 im wesentlichen keine Schatten bilden.
Insbesondere ein Vergleich von 4 mit 6 verdeutlicht den Vorteil bei der Bildaufnahme mit dem erfindungsgemäßen Verfahren.
Diese Bilder werden mittels elektronischer Bildverarbeitung zur Dimensionsbestimmung ausgewertet. Hierzu wird die Lage der Drehachse des Meßobjektträgers 1 in einem Koordinatensystem bestimmt und die Lage der Schattenelemente auf den erzeugten Bildern zur Dimensions- und Lagebestimmung der einzelnen Elemente des Meßobjekts, wie beispielsweise der Stege 7, verwendet.
Somit kann das Meßobjekt selbst im Sub-Mikrometerbereich genau vermessen werden.
Die Erfindung ist jedoch nicht auf zylindrische Hohlkörper wie den hier gezeigten Stent beschränkt, sondern kann auch bei anderen Hohlkörpern angewandt werden, wie beispielsweise bei rechteckigen Hohlkörpern, Strangpressprofilen, U-Profilen. Der Meßobjektträger kann eine an die Form des jeweiligen Meßobjekts angepasste Form haben. Es muss sich bei dem Messobjekt darüber hinaus auch nicht um einen Hohlkörper handeln. Es kann vielmehr jedes beliebige Bauteil oder Produkt mit einem Lichteintrittsbereich und einem Llchtaustrittsbereich mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung vermessen werden.
Der Meßobjektträger 1 kann außerdem auch eine Struktur aufweisen, die beispielsweise durch eine Kristallstruktur Mehrfachbrechungen des einfallenden Lichts erzeugt, um den hier beschriebenen Effekt der homogenen Lichtabstrahlung des Meßobjektträgers 1 zu erzielen.

1: Meßobjektträger
2: Lichtquelle
3: Drehvorrichtung
4: Sammellinse mit Graufilter
5: Glasplatte
6: Kamera
7: Steg

Claims

Messobjektträger (1) aus einem lichtdurchlässigen Material für die Aufnahme eines im wesentlichen hohlen zu vermessenden Messobjekts, wobei der Messobjektträger (1) eine Struktur aufweist, die einfallendes Licht vor dem Austritt mehrfach bricht und/oder streut, so dass der Messobjektträger (1) ein im wesentlichen homogenes Licht abgibt.
Meßobjektträger (1) nach Anspruch 1, wobei der Meßobjektträger (1) zumindest teilweise aus einem Opalglas gebildet ist.
Meßobjektträger (1) nach Anspruch 1 der 2, der einen Trübungswert größer als 10 FTU aufweist, und/oder wobei zur Trübung beigemengte Partikel eine Korngröße von kleiner als 100 μm haben.
Meßobjektträger (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei beigemengte Partikel zumindest Flussspat und/oder Zirkoniumoxid umfassen.
Meßobjektträger (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei beigemengte Partikel Kryolith (Na₃AlF₆) umfassen, das eine tröpfchenartige, mikrokristalline Struktur im Glas erzeugt.
Meßobjektträger (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei beigemengte Partikel zumindest ein Element aus Bleikristall, Phosphoroxid, Eisen oder Al₂O₃ umfassen.
Meßobjektträger (1) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Ener gieverlust eines transmittierten Lichtstrahls mindestens 15% beträgt und/oder der Brechungsindex radial und axial zur Rotationsachse des Meßobjektträgers (1) sich nicht um mehr als 15% voneinander unterscheidet.
Beleuchtungssystem für eine optische Meßvorrichtung mit: einem Meßobjektträger (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7; und einer Lichtquelle (2) zum Beleuchten des Meßobjekts und des Meßobjektträgers.
Beleuchtungssystem nach Anspruch 8, wobei die Lichtquelle (2) eine programmierbare Spotlichtquelle aufweist, deren Leuchtintensität mittels Frequenz- oder Pulsweitenmodulation steuerbar bzw. regelbar ist.
Beleuchtungssystem nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Wellenlänge des Lichts in einem Bereich von 300 nm bis 1200 nm liegt und die Farbe des Lichts durch eine Kombination mehrerer Spektralfarben erzeugbar ist.
Optische Meßvorrichtung mit: einem Beleuchtungssystem nach einem der Ansprüche 8 bis 10; einer CCD-Kamera (6) für die Aufnahme eines Bilds von dem beleuchteten Messobjekt; und einer Bildverarbeitungsvorrichtung für die Bildverarbeitung des von der CCD-Kamara (6) aufgenommenen Bildes für die Auswertung zur Dimensionsbestimmung.
Optisches Meßverfahren mit den Schritten: Bereitstellen eines Meßobjektträgers (1) aus einem lichtdurchlässigen Material für die Aufnahme eines im wesentlichen hohlen Meßobjekts; Beleuchten des Meßobjekts und des Meßobjektträgers (1) mittels einer Lichtquelle (2); Aufnehmen eines Bildes von dem beleuchteten Meßobjekt mittels einer Kamera (6); Verarbeiten des aufgenommenen Bildes für die Auswertung zur Dimensionsbestimmung; wobei der Messobjektträger (1) eine Struktur aufweist, die einfallendes Licht vor dem Austritt mehrfach bricht, so dass der Messobjektträger (1) ein im wesentlichen homogenes Licht abgibt.