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DE10347416A1 - Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung Download PDF

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DE10347416A1
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Germany
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gas
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deckoxidschicht
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Withdrawn
Application number
DE10347416A
Other languages
English (en)
Inventor
Heribert Weber
Odd-Axel Pruetz
Detlef Gruen
Christian Krummel
Christoph Schelling
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Paragon AG
Original Assignee
Paragon AG
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Publication date
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Priority to EP04762493A priority patent/EP1649270A1/de
Priority to JP2006520668A priority patent/JP2006528766A/ja
Priority to PCT/DE2004/001645 priority patent/WO2005012892A1/de
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/128—Microapparatus

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer auf einem Halbleitersubstrat 2 ausgebildeten Membranschicht 3, auf der eine Auswertestruktur 7 in einem Auswertebereich 8 und eine Heizstruktur 9 außerhalb des Auswertebereichs 8 angeordnet sind, und mit einer über der Auswertestruktur 7 und der Heizstruktur 9 angeordneten gassensitiven Schicht 10, wobei die gassensitive Schicht 10 von der Heizstruktur 9 beheizbar und der elektrische Widerstand der gassensitiven Schicht 10 von der Auswertestruktur 7 auswertbar ist und wobei die Heizstruktur 9 auf einer haftvermittelnden Oxidschicht 6 auf der Oberseite der Membranschicht 3 angeordnet und durch eine Deckoxidschicht 11 von der gassensitiven Schicht getrennt ist. Um eine zuverlässige Funktionsweise zu ermöglichen, ist bei dem Gassensor vorgesehen, dass in dem Auswertebereich 8 eine gegenüber einer Oxidätzung unempfindliche Haftvermittlerschicht 13 zwischen der Membranschicht 3 und der Auswertestruktur 7 angeordnet ist oder dass die Auswertestruktur 7 in dem Auswertebereich 8 entsprechend der Heizstruktur 9 durch die Deckoxidschicht 11 von der gassensitiven Schicht 10 getrennt ist, wobei die Deckoxidschicht 11 Kontaktlöcher 12 aufweist, welche jeweils einen mittleren Bereich der Oberfläche der Auswertestruktur 7 freilegen, um einen direkten Kontakt zwischen der Auswertestruktur 7 und der gassensitiven Schicht 10 herzustellen.
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DE102017210585B3 (de) 2017-06-23 2018-09-27 Robert Bosch Gmbh Bondpadschichtsystem, Gassensor und Verfahren zur Herstellung eines Gassensors

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DE102017210585B3 (de) 2017-06-23 2018-09-27 Robert Bosch Gmbh Bondpadschichtsystem, Gassensor und Verfahren zur Herstellung eines Gassensors
US11407635B2 (en) 2017-06-23 2022-08-09 Robert Bosch Gmbh Bonding pad layer system, gas sensor and method for manufacturing a gas sensor

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