[go: up one dir, main page]

DE10345299B3 - Druck/Temperatur-Sensor - Google Patents

Druck/Temperatur-Sensor Download PDF

Info

Publication number
DE10345299B3
DE10345299B3 DE10345299A DE10345299A DE10345299B3 DE 10345299 B3 DE10345299 B3 DE 10345299B3 DE 10345299 A DE10345299 A DE 10345299A DE 10345299 A DE10345299 A DE 10345299A DE 10345299 B3 DE10345299 B3 DE 10345299B3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
tube
pressure
window
temperature sensor
infra red
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE10345299A
Other languages
English (en)
Inventor
Erhard Giese
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE10345299A priority Critical patent/DE10345299B3/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10345299B3 publication Critical patent/DE10345299B3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/04Casings
    • G01J5/041Mountings in enclosures or in a particular environment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0818Waveguides
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0875Windows; Arrangements for fastening thereof
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/08Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Druck/Temperatur-Sensor, mit einem Gehäuse, einem Infrarotsensorteil und einem Quarzdrucksensorteil, bei dem der Infrarotsensorteil ein für IR-Strahlung durchgängiges Fenster (10), ein in eine Bohrung des Gehäuses (15) eingebrachtes, sich mit seinem einen Ende an das Fenster (10) anschließendes, die IR-Strahlung an seiner Innenfläche (12) reflektierend leitendes Rohr (11) und ein an dem anderen Ende des Rohres (11) angeordnetes IR-Messelement (13) aufweist, und das Druckmessteil durch um das Rohr (11) angeordnet in die Wandung der Bohrung in dem Gehäuse (15) eingespannte, den auf das Gehäuse (15) ausgeübten axialen Druck erfassende piezoelektrische Quarzelemente (19) gebildet wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Druck/Temperatur-Sensor, also einen Sensor, der dazu in der Lage ist, sowohl den Druck, als auch die Temperatur in einem bestimmten Bereich zu messen.
  • Solche Sensoren werden beispielsweise in einer Kunststoff-Spritzgießform verwendet.
  • Es ist bekannt, zum einen Druck-Sensoren und zum anderen Temperatur-Sensoren als einzelne Messaufnehmer auszubilden. Es ist jedoch für die Prozesssteuerung von erheblicher Bedeutung, dass beide Messgrößen an genau derselben Stelle gemessen werden.
  • Aus der DE 40 18 998 A1 ist ein faseroptischer Drucksensor bekannt, der mit einem Infrarot-Temperaturmesssystem versehen ist. Aus der DE 195 24 146 ist eine Drucksensor bekannt, die mit einem piezoelektrischen System versehen ist. Die JP 01 267 426 A auf Wärmestrahlung ansprechendes Temperaturmesselement, das mit einem dieses abdichtenden Fenster versehen ist. Aus der DE 197 55 500 A1 und der EP 1 057 586 sind weiter bereits Drucksensoren bekannt, in deren unmittelbarer Nähe sich ein konventionelles Oberflächenthermometer befindet. Diese Oberflächenthermometer sind aber zur Messung der tatsächlichen Temperatur des Spritzlings praktisch nicht geeignet, da sie zu langsam reagieren, die Messung vom jeweiligen Anpressdruck abhängig und durch thermische Kopplung zwischen der Werkzeugwandung und der Messstelle ein unvermeidlicher, erheblicher Messfehler entsteht.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druck/Temperatur-Sensor zu schaffen, der eine Messung beider Größen an genau derselben Stelle ermöglicht.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass der Infrarotsensorteil ein für IR-Strahlung durchgängiges Fenster, ein sich mit seinem einen Ende an das Fenster anschließenden, die IR-Strahlung an seiner Innenfläche reflektierend leitendes Rohr und ein an dem anderen Ende des Rohres angeordnetes IR-Messelement aufweist und das Druckmessteil durch um das Rohr angeordnete, in dem Gehäuse eingespannte, den auf das Gehäuse ausgeübten axialen Druck erfassende piezoelektrische Quarzelemente gebildet wird.
  • Erfindungsgemäß bilden also das Gehäuse und die Quarzelemente eine Funktionseinheit, indem axial auf die Stirnfläche des Gehäuses einwirkende Kraft oder ein auf die Stirnfläche einwirkender Druck die Quarzelemente staucht und piezoelektrische Ladungen freisetzt.
  • Die Unteransprüche geben vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung an.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand einer Zeichnung erläutert. Dabei zeigt:
  • 1 eine Längsschnittansicht auf einen derartigen Sensor, und
  • 2 eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A von 1.
  • Der Sensor besteht aus einem Gehäuse 15, das ein Rohr 11 aufnimmt, bei dem es sich vorzugsweise um Metallrohr, ganz besonders bevorzugt um ein aus Gold bestehendes Rohr oder aber jedenfalls um ein an seiner Innenfläche 12 mit Gold beschichtetem Rohr 11 handelt. Die Innenfläche 12 des Rohres 11 soll dabei spiegelnd poliert sein.
  • Auf seiner dem zu messenden Bereich zugewandten Stirnseite wird das Gehäuse 15 von einem für IR-Strahlung durchlässigen Fenster 10, vorzugsweise einem Saphirfenster 10, nach außen abgedichtet. Das Saphirfenster 10 stößt flächig gegen einen Absatz des Gehäuses 15 derart an, dass ein auf die Außenfläche 14 des Saphirfensters 10 ausgeübter Druck auf das Gehäuse 15 übertragen wird.
  • Das Rohr 11 besteht aus einem auf seiner Innenseite 12 spiegelnd poliertem Metallrohr, in dem die Wärmestrahlung durch Vielfachreflektion geleitet wird. Die Innenseite 12 des Rohres 11 kann spiegelnd vergoldet sein, das Rohr 11 kann aber auch selbst aus Gold bestehen.
  • Am rückseitigen Ende des Rohres 11 befindet sich ein Messelement 13 für die IR-Strahlung. Dabei handelt es sich vorzugsweise um ein sogenanntes Thermopile-Messelement, dass die Wärme-Strahlungsenergie absorbiert und in eine dazu proportionale Thermospannung wandelt.
  • Vor dem IR-Messelement 13 befindet sich ein weiteres ein Rohr 11 abschließendes zweites Saphirfenster 16, das als spektrales Filter dient und mindestens einen Teil der störenden Wärmestrahlung von dem IR-Messelement 13 fernhält, die von der Innenseite des Rohres 11 abgestrahlt wird, wenn der ganze Sensor bei erhöhter Umwelttemperatur betrieben wird. Das rückseitige Ende des Rohrs 11 ist so ausgebildet, dass es als Aufnahme für das IR-Messelement 13 und dessen elektrischen Anschlüssen 17 dient.
  • Konzentrisch um das Rohr 11 sind in Vertiefungen in der Innenwandung der Bohrung des Gehäuses 15 eingespannte piezoelektrische Quarzelemente 19 angeordnet, die ringförmig oder stabförmig ausgebildet sein können. Wenn auf diese Anordnung in axialer Richtung ein Druck ausgeübt wird, so geben die Quarzelemente 19 eine zu dem Druck proportionale La dung ab, die über eine geeignete Elektrodenanordnung an den Quarzen abgegriffen werden kann.
  • Bei der dargestellten Ausbildung des Sensors sind drei stabförmige Piezo-Quarze 19 mit, wie sich aus 2 ergibt, einem kreisabschnittförmigen Querschnitt, wobei die kreisbogenförmige Außenseite an der Innenwandung des Gehäuses 15 anliegt und der kreissehnenförmige Abschnitt an der Außenseite des Rohrs 11 anliegt.
  • Die Quarze sind dabei so aus dem Kristallmaterial geschnitten, dass der piezoelektrische Effekt transversal auftritt, die elektrische Ladung also senkrecht zur Krafteinleitung, nämlich an die Innenseite 20 und die Außenseite 21 der Quarze und damit an das Rohr 11 bzw. an das gegenüber dem Rohr 11 elektrisch isolierten Gehäuse 15 abgegeben und über an diesen Elemente angeordneten Anschlussleitungen 23, 24 abgegriffen werden können.

Claims (10)

  1. Druck/Temperatur-Sensor, mit einem Gehäuse, einem Infrarotsensorteil und einem Quarzdrucksensorteil, dadurch gekennzeichnet, dass der Infrarotsensorteil ein für IR-Strahlung durchgängiges Fenster (10), ein in eine Bohrung des Gehäuses (15) eingebrachtes, sich mit seinem einen Ende an das Fenster (10) anschließendes, die IR-Strahlung an seiner Innenfläche (12) reflektierend leitendes Rohr (11) und ein an dem anderen Ende des Rohres (11) angeordnetes IR-Messelement (13) aufweist, und das Druckmessteil durch um das Rohr (11) angeordnet in die Wandung der Bohrung in dem Gehäuse (15) eingespannte, den in die den auf das Gehäuse (15) ausgeübten axialen Druck erfassende piezoelektrische Quarzelemente (19) gebildet wird.
  2. Druck/Temperatur-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Fenster (10) ein Saphierfenster ist.
  3. Druck/Temperatur-Fenster nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (11) ein auf seiner Innenseite spiegelnd poliertes Metallrohr ist.
  4. Druck/Temperatur-Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass jedenfalls die Innenfläche (12) des Rohres (11) aus Gold besteht.
  5. Druck/Temperatur-Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (11) an seinem dem ersten Fenster (10) abgewandten Ende mit einem zweiten Fenster (16) versehen ist.
  6. Druck/Temperatur-Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, das dass zweite Fenster (16) ein Saphirfenster ist.
  7. Druck/Temperatur-Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (12) radial federelastisch auf die Quarzelemente (19) wirkt.
  8. Druck/Temperatur-Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Quarzelemente (19) kreisabschnittförmig ausgebildet und mit ihrem Kreisbogenabschnitt an der Wandung der Bohrung des Gehäuses (15) und mit ihrem Sehnenabschnitt an der Außenseite des Rohres (11) anliegen.
  9. Druck/Temperatur-Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dass das Rohr (11) und das zu diesem hoch isolierte Gehäuse (15) die Elektroden der Quarzelemente (19) bilden.
  10. Druck/Temperatur-Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die das Rohr (11) aufnehmende Bohrung in dem Gehäuse (15) axial mittig in dem Gehäuse (15) angeordnet ist.
DE10345299A 2003-09-30 2003-09-30 Druck/Temperatur-Sensor Expired - Lifetime DE10345299B3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10345299A DE10345299B3 (de) 2003-09-30 2003-09-30 Druck/Temperatur-Sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10345299A DE10345299B3 (de) 2003-09-30 2003-09-30 Druck/Temperatur-Sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10345299B3 true DE10345299B3 (de) 2005-07-21

Family

ID=34683259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10345299A Expired - Lifetime DE10345299B3 (de) 2003-09-30 2003-09-30 Druck/Temperatur-Sensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10345299B3 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2228635A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-15 Millipore Corporation Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Grösse einer in einer Leitung strömenden Flüssigkeit
WO2011063537A1 (de) * 2009-11-25 2011-06-03 Kistler Holding Ag Drucksensor für niederviskose medien
DE102009057765A1 (de) * 2009-12-10 2011-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Signalführungsvorrichtung und Sensor mit einer solchen
US8640560B2 (en) 2008-03-26 2014-02-04 Emd Millipore Corporation System and method for interfacing sensors to a sterile flow stream
EP2784461A1 (de) * 2013-03-27 2014-10-01 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums
WO2017003648A1 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 Rosemount Inc. Thermowell with infrared sensor
US9885610B2 (en) 2014-12-22 2018-02-06 Rosemount Inc. Thermowell system with vibration detection

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01267426A (ja) * 1988-04-19 1989-10-25 Sumitomo Metal Ind Ltd 溶融金属の測温装置
DE4018958A1 (de) * 1989-06-15 1990-12-20 Nuovo Pignone Spa Spindelfuss fuer eine hochgeschwindigkeits-ringspinnmaschine
DE19524146A1 (de) * 1995-07-03 1997-01-09 Bosch Gmbh Robert Druckhülse
DE19755500A1 (de) * 1997-12-13 1999-06-17 Univ Halle Wittenberg Verfahren zum Erfassen des axialen Temperaturprofils der geförderten Formmasse in Schneckenkolbenpumpen
EP1057586A2 (de) * 1999-06-02 2000-12-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Werkzeug für die Umform-, Stanz- oder Spritzgusstechnik

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01267426A (ja) * 1988-04-19 1989-10-25 Sumitomo Metal Ind Ltd 溶融金属の測温装置
DE4018958A1 (de) * 1989-06-15 1990-12-20 Nuovo Pignone Spa Spindelfuss fuer eine hochgeschwindigkeits-ringspinnmaschine
DE19524146A1 (de) * 1995-07-03 1997-01-09 Bosch Gmbh Robert Druckhülse
DE19755500A1 (de) * 1997-12-13 1999-06-17 Univ Halle Wittenberg Verfahren zum Erfassen des axialen Temperaturprofils der geförderten Formmasse in Schneckenkolbenpumpen
EP1057586A2 (de) * 1999-06-02 2000-12-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Werkzeug für die Umform-, Stanz- oder Spritzgusstechnik

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8844388B2 (en) 2008-03-26 2014-09-30 Emd Millipore Corporation System and method for interfacing sensors to a sterile flow stream
US8640560B2 (en) 2008-03-26 2014-02-04 Emd Millipore Corporation System and method for interfacing sensors to a sterile flow stream
WO2010103470A1 (en) * 2009-03-13 2010-09-16 Millipore Corporation Device for determinating a physical value of a liquid flowing in a pipe
FR2943134A1 (fr) * 2009-03-13 2010-09-17 Millipore Corp Dispositif pour determiner une grandeur physique d'un liquide circulant dans une conduite
CN101839776A (zh) * 2009-03-13 2010-09-22 米利波尔公司 用于测定管件中液流物理数值的装置
EP2228635A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-15 Millipore Corporation Vorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Grösse einer in einer Leitung strömenden Flüssigkeit
EP3869170A1 (de) * 2009-03-13 2021-08-25 EMD Millipore Corporation Vorrichtung zur bestimmung des physikalischen wertes einer in einem rohr fliessenden flüssigkeit
US8297128B2 (en) 2009-03-13 2012-10-30 Emd Millipore Corporation Device for determining a physical value of a liquid flowing in a pipe
US8485044B2 (en) 2009-03-13 2013-07-16 Emd Millipore Corporation Device for determining a physical value of a liquid flowing in a pipe
WO2011063537A1 (de) * 2009-11-25 2011-06-03 Kistler Holding Ag Drucksensor für niederviskose medien
US9074952B2 (en) 2009-11-25 2015-07-07 Kistler Holding Ag Pressure sensor for low-viscosity media
DE102009057765A1 (de) * 2009-12-10 2011-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Signalführungsvorrichtung und Sensor mit einer solchen
EP2784461A1 (de) * 2013-03-27 2014-10-01 VEGA Grieshaber KG Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums
WO2014154696A1 (de) * 2013-03-27 2014-10-02 Vega Grieshaber Kg Druckmesszelle zur erfassung des druckes eines an die messzelle angrenzenden mediums
US9885610B2 (en) 2014-12-22 2018-02-06 Rosemount Inc. Thermowell system with vibration detection
WO2017003648A1 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 Rosemount Inc. Thermowell with infrared sensor
US9891111B2 (en) 2015-06-30 2018-02-13 Rosemount Inc. Thermowell with infrared sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69728750T2 (de) Strahlungs thermometer
DE69015984T2 (de) Piezoelektrischer Druckwandler.
DE3341860C2 (de) Meßkupplung für fluidische Systeme
EP2810095B1 (de) Radiometrisches Messgerät
DE10345299B3 (de) Druck/Temperatur-Sensor
EP0702782B1 (de) Nuggi-thermometer
CH639217A5 (de) Fuehler fuer eine ueberwachungseinrichtung.
DE3236435C2 (de) Faseroptischer Sensor
AT391369B (de) Piezoelektrischer kraftaufnehmer
DE19939757A1 (de) Verfahren und Temperaturfühler zur Medientemperaturerfassung
WO1986003835A1 (fr) Capteur de pression electrique muni d'un dispositif indicateur de fuite
DE102006033467B4 (de) Druckerfassungsvorrichtung
DE19610885A1 (de) Wärmeübergangsmeßgerät
DE3020785A1 (de) Messwandler
DE102005003657A1 (de) Infrarotstrahlungsdetektor mit Infrarotstrahlunssensor und Gehäuse
DE10035538A1 (de) Sensor
DE4026855C2 (de) Drucksensor
DE102015204976A1 (de) Messvorrichtung sowie Verwendung einer Messvorrichtung
EP1048935A2 (de) Strömungssensor
DE4438524C2 (de) pH-Doppelmeßkette
DE19927841A1 (de) Temperaturmeßgerät
DE3400717A1 (de) Vorrichtung zur messung des brechungsindex von fluessigkeiten
DE4223440A1 (de) Temperaturfühler für Oberflächenmessungen
DE2649048A1 (de) Elektronisches fieberthermometer
DE19537431C2 (de) Widerstandsthermometer

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
8364 No opposition during term of opposition
R082 Change of representative

Representative=s name: LOBEMEIER, MARTIN LANDOLF, DR., DE

R071 Expiry of right