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DE10342800A1 - Vorrichtung zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Fluiden - Google Patents

Vorrichtung zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Fluiden Download PDF

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DE10342800A1
DE10342800A1 DE2003142800 DE10342800A DE10342800A1 DE 10342800 A1 DE10342800 A1 DE 10342800A1 DE 2003142800 DE2003142800 DE 2003142800 DE 10342800 A DE10342800 A DE 10342800A DE 10342800 A1 DE10342800 A1 DE 10342800A1
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DE
Germany
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absorption
radiation
absorbing
producing
substrate
Prior art date
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Ceased
Application number
DE2003142800
Other languages
English (en)
Inventor
Joachim Nurnus
Christa Kuenzel
Armin Lambrecht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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Publication date
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Priority to PCT/EP2004/005789 priority patent/WO2005036140A1/de
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils zur Absorption und/oder Emission von Strahlung mit den Schritten des Abdünnens eines Substrats und dem Herstellen eines Absorptions- und/oder Emissionselements im Bereich der Abdünnung, wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) durch Herausarbeiten aus einem Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) hergestellt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (1) zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, mit einem in einem abgedünnten Bereich (2) eines Substrats (4, 7, 8, 9) angeordneten Absorptions- und/oder Emissionselement (3), wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) das gleiche Material (4, 9) wie ein Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) umfasst. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Analyse von Fluiden durch Emission von Strahlung durch ein Emissionselement, Durchtritt der Strahlung durch einen Bereich, der mit einem Fluid füllbar ist, und Absorption der Strahlung, wobei die Emission und/oder die Absorption der Strahlung mit einer obigen Vorrichtung (1) oder einer nach dem obigen Verfahren hergestellten Vorrichtung erfolgt.
DE2003142800 2003-09-16 2003-09-16 Vorrichtung zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Fluiden Ceased DE10342800A1 (de)

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