[go: up one dir, main page]

DE10342401A1 - Vacuum deposition process for enhancement of hardness of plastic substrate with involves application of layer to change the structure of functional layers applied onto substrate - Google Patents

Vacuum deposition process for enhancement of hardness of plastic substrate with involves application of layer to change the structure of functional layers applied onto substrate Download PDF

Info

Publication number
DE10342401A1
DE10342401A1 DE2003142401 DE10342401A DE10342401A1 DE 10342401 A1 DE10342401 A1 DE 10342401A1 DE 2003142401 DE2003142401 DE 2003142401 DE 10342401 A DE10342401 A DE 10342401A DE 10342401 A1 DE10342401 A1 DE 10342401A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
composite material
morphology
substrate
influencing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2003142401
Other languages
German (de)
Other versions
DE10342401B4 (en
Inventor
Stefan Dr. Bauer
Manfred Lohmeyer
Uwe Dr. Rothhaar
Markus Dr. Kuhr
Detlef Dr. Wolff
Markus Fiedler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
Priority to DE2003142401 priority Critical patent/DE10342401B4/en
Publication of DE10342401A1 publication Critical patent/DE10342401A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10342401B4 publication Critical patent/DE10342401B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0272Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/401Oxides containing silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

A substrate(20) is covered with a structure influencing layer(40) and a further, preferably functional, layer(52,53) is applied onto the latter. Adhesion between the substrate and the structure altering layer(40) is enhanced by initial application of a coupling layer(30) onto the substrate(20). The vacuum deposition process can be either a physical vapor deposition(PVD) and/or a chemical vapor deposition(CVD) process, in particular a plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) and more particularly a plasma impulse chemical vapor deposition(PIVCD). Substrates are pre-treated in an oxygen containing plasma. Precursor concentration in the process gas is 1-20, preferably 2-10 and more preferably 4-8vol%. Thickness of the structure influencing layer is not less than5nm, preferably 5-200nm and more preferably 20-70nm. Functional layers(52,53) can incorporate a scratch resistant layer and/or an anti-reflective layer and/or an easy clean layer. Independent claims are included for: a) a composite material produced by the claimed process and incorporating a structure influencing layer; b) a composite material comprising a plastic substrate, an adhesion coupling layer and a functional layer(52,53) with a structure influencing layer on the substrate facing side; c) a housing for telecommunication equipment and/or instruments and/or headlamps comprising the composite material, d) a component, particularly a high quality optical component comprising the composite material; e) a spectacle lens comprising the composite material.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren, insbesondere Vakuumdepositionsverfahren, zum Beschichten eines Substrates, insbesondere eines Kunststoffsubstrates, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verbundmaterial nach dem Oberbegriff der Ansprüche 14 und 15.The Invention relates to a method, in particular vacuum deposition method, for coating a substrate, in particular a plastic substrate, according to the preamble of claim 1 and a composite material according to the preamble of the claims 14 and 15.

Neben Glas werden zunehmend transparente Kunststoffe als Material für unterschiedlichste Bauteile wie zum Beispiel optische Komponenten, Abdeckungen für Mobiltelefone, Instrumente oder Scheinwerfer sowie Brillengläser verwendet. Des Weiteren ist der Einsatz insbesondere transparenter Kunststoffe als Verpackungsmaterialien für Lebensmittel, Kosmetika und Pharmazeutika interessant.Next Glass is becoming increasingly transparent as a material for a wide variety of materials Components such as optical components, covers for mobile phones, Instruments or headlamps and lenses used. Furthermore is the use in particular of transparent plastics as packaging materials for food, Cosmetics and pharmaceuticals interesting.

Nachteilig an Kunststoffen an sich ist unter anderem ihre relativ niedrige Härte, so dass sie anfällig sind für mechanische Beschädigungen wie beispielsweise Kratzer an der Oberfläche oder flächige Abrasion.adversely of plastics in itself is, among other things, their relatively low Hardness, making them vulnerable are for mechanical damage such as scratches on the surface or surface abrasion.

Daher können derartige Kunststoffmaterialien mit einer insbesondere glasartigen Schicht überzogen werden, um beispielsweise ihre Kratzbeständigkeit zu erhöhen.Therefore can Such plastic materials with a particular glassy Coated layer For example, to increase their scratch resistance.

Zum Aufbringen einer glasartigen Schicht auf ein Kunststoffsubstrat können unterschiedlichste Verfahren wie beispielsweise Lackieren oder Vakuumverfahren wie Sputtern, Elektronenstrahlverdampfung, photochemische Dampfabscheidung sowie PECVD-Verfahren (plasma enhanced chemical vapour deposition) angewendet werden.To the Applying a glassy layer to a plastic substrate can various processes such as painting or vacuum process such as sputtering, electron beam evaporation, photochemical vapor deposition as well as PECVD processes (plasma enhanced chemical vapor deposition) be applied.

Dabei ist im Zusammenhang mit der thermischen Belastung infolge des Beschichtungsverfahrens bei Kunststoffen zu beachten, dass die Temperatur während des Beschichtens nicht zu hoch werden und insbesondere unterhalb der Glasübergangstemperatur, Tg, des Kunststoffes bleiben sollte, um sicherzustellen, dass das Kunststoffsubstrat nicht erweicht und so insbesondere seine Form ändert.It should be noted in connection with the thermal stress as a result of the coating process in plastics, that the temperature during coating should not be too high and in particular below the glass transition temperature, T g , of the plastic should remain to ensure that the plastic substrate does not soften and so especially its shape changes.

Daher wird zum Beispiel in US 6,126,792 beschrieben, zum Aufbringen eines Schichtsystems aus Kratzschutzschicht und Anti-Reflex-Beschichtung die thermische Belastung des Kunststoffes dadurch zu senken, dass zunächst ein PECVD-Verfahren zum Aufbringen einer Kratzschutzschicht eingesetzt wird, und anschließend durch Sputtern die Anti-Reflex-Beschichtung aufgebracht wird. Diese Lösung ist jedoch unter anderem infolge der Kombination zweier unterschiedlicher Beschichtungsmethoden verfahrenstechnisch aufwändig.Therefore, for example, in US 6,126,792 described, for applying a layer system of scratch-resistant and anti-reflective coating to reduce the thermal stress of the plastic by first a PECVD method for applying a scratch-resistant coating is used, and then by sputtering the anti-reflection coating is applied. However, this solution is technically complex, inter alia due to the combination of two different coating methods.

Zudem kann insbesondere die Haftung der glasartigen Schicht auf dem Kunststoffsubstrat äußerst mangelhaft sein. Im allgemeinen liegt eine Ursache für eine unzureichende Haftung der Beschichtung auf einem Kunststoffsubstrat wie beispielsweise PMMA in dessen niedriger Oberflächenenergie sowie möglicherweise auch der thermischen Belastung während des Beschichtungsvorganges. Zum anderen kann die Haftung während der Lebensdauer des beschichteten Materials aufgrund der Unterschiede in den Eigenschaften des Kunststoffes und einer aufzubringenden glasartigen Schicht, insbesondere in den jeweiligen Wärmeausdehnungskoeffizienten, deutlich herabgesetzt werden.moreover In particular, the adhesion of the vitreous layer to the plastic substrate can be extremely poor be. In general, there is a cause for insufficient adhesion the coating on a plastic substrate such as PMMA in its low surface energy as well as possibly also the thermal load during of the coating process. On the other hand, the liability may be during the Life of the coated material due to differences in the properties of the plastic and a glass-like applied Layer, especially in the respective coefficients of thermal expansion, significantly be lowered.

Zum Erhöhen der freien Oberflächenenergie eines Kunststoffsubstrates und damit zum Verbessern der Haftung von Beschichtungen auf dem Kunststoffsubstrat beschreiben U. Schulz, P. Munzert und N. Kaiser in ihrer Publikation "Surface modification of PMMA by DC glow discharge and microwave plasma treatment for the improvement of coating adhesion", Surface and Coatings Technology (2001) S. 507–511, die Vorbehandlung eines Kunststoffsubstrates in einem Plasma. In der europäischen Schrift EP 1 156 131 A1 wird beschrieben, ein Kunststoffsubstrat derart vorzubehandeln, dass nachfolgend beispielsweise durch Sputtern aufgebrachte Schichten besser haften.To increase the surface free energy of a plastic substrate and thus to improve the adhesion of coatings to the plastic substrate, U. Schulz, P. Munzert and N. Kaiser describe in their publication "Surface modification of PMMA by DC glow discharge and microwave plasma treatment for the improvement of coating adhesion ", Surface and Coatings Technology (2001) p. 507-511, the pretreatment of a plastic substrate in a plasma. In the European writing EP 1 156 131 A1 It is described to pretreat a plastic substrate in such a way that subsequently, for example, layers applied by sputtering adhere better.

In US 6,284,324 B1 wird beschrieben, zum Verbessern der Haftung von Beschichtungen auf Kunststoffsubstraten eine Haftvermittlerschicht auf dem Kunststoffsubstrat aufzubringen, auf der die folgende Beschichtung aufgebracht wird.In US 6,284,324 B1 For improving the adhesion of coatings to plastic substrates, it is described to apply a primer layer to the plastic substrate on which the following coating is applied.

Es hat sich jedoch gezeigt, dass gerade derartige Schichtsysteme, welche eine Haftvermittlerschicht auf insbesondere einem Kunststoffsubstrat umfassen, eine mangelnde mechanische Festigkeit aufweisen. Zudem können derartige Schichtsysteme neben Anfälligkeit für mechanische Belastung auch gegenüber Lichteinstrahlung, insbesondere UV-Einstrahlung, hohen Temperaturen und Feuchte eine zu geringe Beständigkeit aufweisen.It However, it has been found that such layer systems, which a bonding agent layer on in particular a plastic substrate, have a lack of mechanical strength. In addition, such Layered systems in addition to susceptibility for mechanical Burden also opposite Light radiation, in particular UV radiation, high temperatures and Moisture too low resistance exhibit.

Selbst wenn man jedoch durch Vorbehandlung des Kunststoffsubstrates oder durch den Einbau zusätzlicher Stoffe in eine Beschichtung deren Beständigkeit erhöhen kann, haben bekannte Schichten Nachteile im Zusammenhang mit ihren optischen Eigenschaften.Even if, however, by pretreatment of the plastic substrate or by installing additional Substances in a coating can increase their durability known layers disadvantages in connection with their optical Properties.

So hat es sich gezeigt, dass es zwar möglich ist, beispielsweise durch das Verwenden einer Haftvermittlerschicht auf dem Substrat eine haftende Beschichtung aufzubringen. Diese Beschichtung ist jedoch häufig gerade dann, wenn die Haftung zufriedenstellend ist, nicht ausreichend transparent. Insbesondere weisen derartige Schichten Haze-Werte (Trübungen) von mehreren Prozent auf. Mit dem Haze-Wert beziehungsweise der Trübung wird nach ASTM D 1003 der Anteil des durchgelassenen Lichtes angegeben, der vom eingestrahlten Lichtbündel im Mittel um mehr als 2,5° abweicht. Der Haze-Wert sollte beispielsweise für optische Anwendungen deutlich unter 1 % liegen.Thus, it has been found that while it is possible to apply an adhesive coating to the substrate, for example, by using a primer layer. However, this coating is often insufficiently transparent, even when the adhesion is satisfactory. In particular, such layers have Haze values (Turbidity) of several percent. With the Haze value or the turbidity according to ASTM D 1003 the proportion of transmitted light is given, which differs from the incident light beam on average by more than 2.5 °. For example, the Haze value should be well below 1% for optical applications.

Mit herkömmlichen Verfahren wachsen aufgrund der notwendig niedrigen Abscheidetemperaturen auf Kunststoffsubstraten Schichtsysteme mit säulenförmigen Strukturen auf. Diese Strukturen haben die Tendenz, auch in einer Richtung parallel zur Substratoberfläche anzuwachsen und so zur Trübung des Schichtsystems beizutragen. Derartige Strukturen werden beispielsweise von K. Teshima, Y. Inoue, H. Sugimura und O. Takai in ihrer Publikation "Growth and structure of silica films deposited on a polymeric material by plasma-enhanced chemical vapor deposition", Thin Solid Films (2002), S. 324–329, beschrieben. Sie bilden sich direkt an der zu beschichtenden Oberfläche und können die Trübung des Verbundmaterials hervorrufen.With usual Processes grow due to the necessarily low deposition temperatures on plastic substrates layer systems with columnar structures on. These Structures also tend to be parallel in one direction substrate surface to grow and so to cloud the Contribute layer system. Such structures become, for example K. Teshima, Y. Inoue, H. Sugimura and O. Takai in their publication "Growth and structure of silica films deposited on a polymeric material by plasma-enhanced chemical vapor deposition ", Thin Solid Films (2002), pp. 324-329, described. They form directly on the surface to be coated and can the cloudiness of the composite material.

Es ergibt sich damit eine Aufgabe der Erfindung, eine Beschichtung eines Substrates zur Verfügung zu stellen, welche zum einen ausreichend auf dem Substrat haftet, und zum anderen eine hohe optische Qualität, insbesondere eine geringe Trübung, aufweist.It thus results in an object of the invention, a coating a substrate available which, on the one hand, adheres sufficiently to the substrate, and secondly a high optical quality, in particular a low one Haze, has.

Diese Aufgaben werden durch die Erfindung mit einem Verfahren nach Anspruch 1 sowie einem Verbundmaterial nach den Ansprüchen 14 oder 15 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen finden sich in den jeweils zugeordneten Unteransprüchen.These Tasks are achieved by the invention with a method according to claim 1 and a composite material according to claims 14 or 15 solved. advantageous Further developments can be found in the respectively associated subclaims.

Die Erfindung stellt erstmals ein Verfahren, insbesondere Vakuumdepositionsverfahren, zum Beschichten eines Substrates, insbesondere eines Kunststoffsubstrates, zur Verfügung, bei welchem im Laufe des Verfahrens eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufgebracht wird, auf welche mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Funktionsschicht, aufgebracht wird.The Invention presents for the first time a method, in particular vacuum deposition method, for coating a substrate, in particular a plastic substrate, to disposal, in which during the process a morphology-influencing layer is applied, to which at least one further layer, in particular a functional layer is applied.

Die Morphologie-beeinflussende Schicht verbindet gemäß dem Verfahren zwei Schichten, nämlich die Funktionsschicht mit der darunter liegenden Schicht. Dabei kann es sich insbesondere um Schichten handeln, die sich beispielsweise in ihrer Zusammensetzung und/oder ihrer Struktur sowie möglicherweise weiteren Eigenschaften wie Wärmeausdehnungskoeffizienten, Brechungsindizes und so weiter, voneinander unterscheiden.The Morphology-influencing layer connects according to the method two layers, namely the Functional layer with the underlying layer. It can in particular, they are layers, for example in their composition and / or structure and possibly other properties such as thermal expansion coefficients, Refractive indices and so on, differ from each other.

Als Funktionsschichten können insbesondere sogenannte optische Schichten, das heißt Schichten mit besonderen optischen Eigenschaften, wie Transparenz, Brechungsindex, Farbigkeit und so weiter, aufgebracht werden. Zum Beispiel kann es sich auch um Anti-Reflex-Schichten oder ein aus mehreren Einzelschichten bestehendes Anti-Reflex-Schichtsystem handeln.When Functional layers can in particular so-called optical layers, that is to say layers with special optical properties, such as transparency, refractive index, Colourfulness and so on, be applied. For example, can these are also anti-reflex layers or one of several individual layers existing anti-reflex layer system act.

Ferner können Funktionsschichten Schichten mit besonderen mechanischen Eigenschaften sein, wie beispielsweise Anti-Kratz-Schichten. Zudem können Funktionsschichten insbesondere hyrophobe Deckschichten umfassen. Diese werden auch als Reinigungsschicht oder easy-to-clean-Schicht bezeichnet. Weiter können Funktionsschichten die Barriereeigenschaften des Materials verbessen. Außerdem können Funktionsschichten dem Material eine erhöhte Beständigkeit insbesondere gegen chemische Angriffe oder Verschleiß infolge einer Belastung mit UV-Strahlen oder für das Material schädlichen klimatischen Bedingungen verleihen.Further can Functional layers be layers with special mechanical properties such as anti-scratch layers. In addition, you can Functional layers in particular comprise hyrophobic cover layers. These are also referred to as a cleaning layer or easy-to-clean layer. Next you can Functional layers improved the barrier properties of the material. Furthermore can Functional layers the material an increased resistance especially against chemical attack or wear as a result of exposure to UV rays or for damaging the material confer climatic conditions.

Durch das erfindungsgemäße Aufbringen der Schicht, welche aufgrund ihrer Funktion mit dem Begriff "Morphologie-beeinflussende Schicht" bezeichnet wird, kann auf überraschend einfache Weise Einfluß auf die Struktur der weiteren Schicht oder Schichten genommen werden.By the inventive application of the Layer, which by its function is termed "morphology-influencing layer", can be surprising easy way to influence the structure of the further layer or layers are taken.

Mit herkömmlichen Verfahren wachsen auf Kunststoffsubstraten Schichtsysteme auf, bei denen sich Strukturen bilden, bei welchen die strukturbildenden Einheiten die Tendenz haben, auch in einer Richtung parallel zur Substratoberfläche anzuwachsen und so zur Trübung des Schichtsystems beizutragen.With usual Processes grow on plastic substrates on coating systems, at which form structures in which the structure-forming Units tend to be parallel in one direction substrate surface grow and so to cloudiness contribute to the shift system.

Durch das erfindungsgemäße Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht kann insbesondere die Struktur der der Morphologie-beeinflussende Schicht folgenden Funktionsschicht derart eingestellt werden, dass das Ausbilden derartiger, in einer Richtung parallel zur Substratoberfläche anwachsender Säulenstrukturen nahezu vollständig verhindert werden kann.By the inventive application of the Morphology influencing Layer may in particular be the structure of the morphology-influencing Layer following functional layer can be adjusted such that forming such, growing in a direction parallel to the substrate surface pillar structures almost complete can be prevented.

Die Morphologie-beeinflussende Schicht kann dabei unter anderem die Wirkung eines sogenannten "seed layers" haben. Das bedeutet, die Morphologie-beeinflussende Schicht kann das Bekeimungsverhalten beim Aufwachsen einer nachfolgenden Schicht verändern. Die Morphologie-beeinflussende Schicht kann insbesondere zu einer erhöhten Anzahl an solchen Stellen auf der zu beschichtenden Schicht führen, an denen die folgende Schicht aufwachsen kann. Dadurch entsteht eine Struktur der folgenden Schicht mit deutlich geringeren Abmessungen der strukturbildenden Einheiten, also beispielsweise der oben angesprochenen Säulen, in einer Ebene parallel zur Substratoberfläche als ohne Morphologie-beeinflussende Schicht.The Morphology-influencing layer can include the Effect of a so-called "seed layers. " means the morphology-influencing layer can the germination behavior when growing a subsequent layer change. The morphology-influencing In particular, layer may result in an increased number of such sites on the layer to be coated, where the following Layer can grow up. This creates a structure of the following Layer with significantly smaller dimensions of the structure-forming Units, so for example, the above-mentioned columns, in a plane parallel to the substrate surface as without morphology-influencing layer.

Daher können Schichtsysteme mit deutlich verminderter Trübung gegenüber Schichtsystemen ohne Morphologie-beeinflussende Schicht hergestellt werden.Therefore can Layer systems with significantly reduced turbidity compared to layer systems without morphology-influencing Layer can be produced.

Des Weiteren ist durch die im Vergleich zu einem Schichtsystem ohne Morphologie-beeinflussende Schicht geringeren Abmessungen der Zwischenräume zwischen den strukturbildenden Einheiten eine deutlich verbesserter Barrierewirkung mit Hilfe der Erfindung zu erzielen. Da die Zwischenräume als Diffusionswege durch das Schichtsystem dienen, wird durch eine Verminderung insbesondere ihrer Breite die Diffusion durch die Schichten deutlich verringert.Of Another is by compared to a layer system without Morphology-influencing layer of smaller dimensions of the spaces between the structure-forming units a significantly improved barrier effect to achieve with the help of the invention. Because the interstices as diffusion paths serve through the layer system, is characterized by a reduction in particular their width significantly reduces the diffusion through the layers.

Morphologie-beeinflussende Schicht.Morphology influencing Layer.

Zudem ist die Haftung der Schichten auf den darunterliegenden Schichten sehr hoch. Insbesondere das Ablösen der Schichten vom Substrat kann weitgehend vollständig vermieden werden.moreover is the adhesion of the layers on the underlying layers very high. In particular, the detachment The layers of the substrate can be largely completely avoided become.

Die Erfindung sieht des Weiteren vor, dass in dem Verfahren eine Haftvermittlerschicht auf das Substrat, insbesondere auf das Kunststoffsubstrat, aufgebracht wird.The The invention further provides that in the process a primer layer on the substrate, in particular on the plastic substrate applied becomes.

Über den Verbund mit der Haftvermittlerschicht ist dabei eine Haftung auch dann gewährleistet, wenn sich insbesondere die Funktionsschicht und das Substrat in ihren Eigenschaften, beispielsweise dem Wärmeausdehnungskoeffizienten, deutlich unterscheiden und so ein Aufbringen der Funktionsschicht auf das Substrat selbst nicht ohne weiteres möglich ist. Mit der Erfindung wird es daher möglich, auch für derartige Anforderungen Schichten mit geringer Trübung und hoher mechanischer Festigkeit bei guter Haftung herzustellen.On the Bonding with the primer layer is also a liability then ensured in particular when the functional layer and the substrate are in their properties, for example the thermal expansion coefficient, clearly distinguish and so applying the functional layer on the substrate itself is not readily possible. With the invention it is therefore possible also for Such requirements layers with low turbidity and produce high mechanical strength with good adhesion.

Vorteilhafterweise wird die Morphologie-beeinflussende Schicht auf die Haftvermittlerschicht aufgebracht. Dann verbindet die Morphologie-beeinflussende Schicht die beiden unterschiedlichen Schichten, Haftvermittlerschicht und Funktionsschicht. Dabei werden vorteilhafterweise keine besonderen Anforderungen insbesondere an Struktur der Haftvermittlerschicht oder die des Substrates gestellt. Die Erfindung erweitert daher die Möglichkeiten bei der Wahl der Haftvermittlerschicht und des Substrates.advantageously, the morphology-influencing layer is applied to the primer layer. Then the morphology-influencing layer connects the two different layers, adhesion promoter layer and functional layer. In this case, advantageously no special requirements in particular to the structure of the adhesive layer or that of the substrate. The invention therefore extends the possibilities in the choice of Adhesive layer and the substrate.

Erfindungsgemäß kann als Vakuumdepositionsverfahren ein PVD- und/oder ein CVD-Verfahren, insbesondere ein PECVD-Verfahren, insbesondere ein PICVD-Verfahren eingesetzt werden.According to the invention can as Vakuumdepositionsverfahren a PVD and / or a CVD method, in particular a PECVD method, in particular a PICVD method can be used.

Grundsätzlich besteht im Rahmen der Erfindung der Vorteil der Freiheit in der Wahl der Methode zum Aufbringen der Schichten, insbesondere der Morphologie-beeinflussende Schicht. Die Erfindung ist nicht auf ein bestimmtes Verfahren zum Beschichten von Substraten beschränkt.Basically exists in the context of the invention the advantage of freedom in the choice of Method for applying the layers, in particular the morphology-influencing Layer. The invention is not limited to a particular method for Limited coating of substrates.

Zum Aufbringen der Haftvermittlerschicht, der Morphologie-beeinflussende Schicht und der Funktionsschicht können prinzipiell auch jeweils unterschiedliche Verfahren verwendet werden.To the Applying the primer layer, the morphology-influencing layer and the functional layer can In principle, different methods are used in each case.

Bei Verwendung eines CVD-Verfahrens (chemical vapour deposition), insbesondere bei einem PECVD-Verfahren (plasma enhanced chemical vapour deposition), vor allem bei einem PICVD-Verfahren (plasma impulse chemical vapour deposition) ist jedoch die Abscheidung der Schichten bei niedrigen Temperaturen, insbesondere bei Temperaturen unterhalb der Glasübergangstemperatur von Kunststoffen möglich. Über schnelle Wechsel des Prozeßgases wird darüberhinaus vorteilhafterweise das Aufbringen auch sehr dünner Schichten ermöglicht.at Use of a CVD process (chemical vapor deposition), in particular in a PECVD process (plasma enhanced chemical vapor deposition), especially in a PICVD process (plasma impulse chemical vapor Deposition), however, is the deposition of the layers at low Temperatures, especially at temperatures below the glass transition temperature of plastics possible. About fast Change of the process gas gets beyond that advantageously allows the application of very thin layers.

Ferner kann das Substrat in einem Vorbehandlungsschritt in einem Sauerstoff-enthaltenden Plasma funktionalisiert werden. So kann das Aufbringen der ersten Schicht, insbesondere der Haftvermittlerschicht, auf das Substrat weiter verbessert werden.Further For example, the substrate may be in a pretreatment step in an oxygen-containing plasma be functionalized. Thus, the application of the first layer, in particular the primer layer, on the substrate on be improved.

Beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht kann gemäß der Erfindung eine siliziumorganische Verbindung, insbesondere HMDSO, als zumindest ein Precursor eingesetzt werden.At the Applying the morphology-influencing layer can according to the invention an organosilicon compound, in particular HMDSO, as at least a precursor can be used.

Nach Erkenntnissen der Erfinder ermöglicht der Einsatz siliziumorganischer Verbindungen als Precursor überraschenderweise das Ausbilden einer geeigneten Morphologie-beeinflussende Schicht. So kann vorteilhafterweise auf Precursor zurückgegriffen werden, mit deren Handhabung man vertraut ist. Die Erfindung erfordert insbesondere keine speziellen Materialien für das Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht.To Insights of the inventors allows the Use of organosilicon compounds as precursor surprisingly forming a suitable morphology-influencing layer. Thus, it is advantageously possible to resort to precursors with which Handling one is familiar. The invention requires in particular no special materials for the application of the morphology-influencing layer.

Als Precursor-Materialien kommen beispielsweise Silane, Siloxane und Silazane in Frage. Insbesondere können die folgenden Verbindungen eingesetzt werden: Methylsilan, Dimethylsilan, Trimethylsilan, Diethylsilan, Propylsilan, Phenylsilan, Hexamethyldisilan, 1,1,2,2-Tetramethyldisilan, Bis(trimethylsilyl)methan, Bis(dimethylsilyl)methan, Hexamethyldisilan, Vinyltrimethoxysilan, Vinyltriethoxysilan, Ethylmethoxysilan, Ethyltrimethoxysilan, Divenyltetramethyldisiloxan, Divinylhexamethyltrisiloxan und Trivinylpentamethyltrisiloxan, 1,1,2,2,-Tetramethyldisiloxan, Hexamethyldisiloxan, Vinyltrimethylsilan, Methyltrimethoxysilan, Vinyltrimethoxysilan und Hexamethyldisilazan. Bevorzugte Siliziumverbindungen sind Tetramethyldisiloxan, Hexamethyldisiloxan (HMDSO), Hexamethyldisilazan, Tetramethylsilazan, Dimethoxydimethylsilan, Methyltrimethoxysilan, Tetramethoxysilan, Methyltriethoxysilan, Diethoxydimethylsilan, Methyltriethoxysilan, Triethoxyvinylsilan, Tetraethoxysilan, Dimethoxymethylphenylsilan, Phenyltrimethoxysilan, 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilan, Diethoxymethylphenylsilan, Tris(2-methoxyethoxy)vinylsilan, Phenlytriethoxysilan und Dimethoxydiphenylsilan.Suitable precursor materials are, for example, silanes, siloxanes and silazanes. In particular, the following compounds can be used: methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, hexamethyldisilane, 1,1,2,2-tetramethyldisilane, bis (trimethylsilyl) methane, bis (dimethylsilyl) methane, hexamethyldisilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, Ethylmethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, divinyltetramethyldisiloxane, divinylhexamethyltrisiloxane and trivinylpentamethyltrisiloxane, 1,1,2,2-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, vinyltrimethylsilane, methyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane and hexamethyldisilazane. Preferred silicon compounds are tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane (HMDSO), hexamethyldisilazane, tetramethylsilazane, dimethoxydimethylsilane, methyltrimethoxysilane, Te triethoxysilane, methyltriethoxysilane, diethoxydimethylsilane, methyltriethoxysilane, triethoxyvinylsilane, tetraethoxysilane, dimethoxymethylphenylsilane, phenyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, diethoxymethylphenylsilane, tris (2-methoxyethoxy) vinylsilane, phenlytriethoxysilane and dimethoxydiphenylsilane.

Das Prozeßgas kann neben dem zumindest einen Precursor weitere Gase umfassen, insbesondere Reaktivgase wie Sauerstoff und gegebenenfalls Trägergase, das heißt Inertgase wie Stickstoff oder Edelgase.The process gas may comprise, in addition to the at least one precursor, further gases, in particular reactive gases such as oxygen and optionally carrier gases, this means Inert gases such as nitrogen or noble gases.

Die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas hat insbesondere beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht vorteilhafterweise einen Wert im Bereich von 1 Vol.-% = cP = 20 Vol.-%.The concentration of the precursor c P in the process gas has, in particular when applying the morphology-influencing layer advantageously a value in the range of 1 vol .-% = c P = 20 vol .-%.

Eine Precursorkonzentration in diesem Bereich ist auch beim Aufbringen der übrigen Schichten möglich. Die Precursorkonzentration beim Aufbringen der übrigen Schichten ist jedoch nicht auf diesen Wertebereich festgelegt, sondern kann je nach gewünschter Schichtfunktion frei gewählt werden.A Precursor concentration in this area is also during application the rest Layers possible. However, the precursor concentration during application of the remaining layers is not set to this range, but may vary depending on the desired Layer function freely selected become.

Dies gilt auch für die jeweilige Zusammensetzung des Prozeßgases beim Aufbringen der Schichten. Auch beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht kann die übrige Zusammensetzung des Prozeßgases frei gewählt werden. Dabei wird die Zusammensetzung vorteilhafterweise je nach den gegebenen Eigenschaften der Schichten, welche mit der Morphologie-beeinflussende Schicht in Kontakt stehen, sowie nach den Anforderungen an den Schichtverbund und die Morphologie-beeinflussende Schicht festgelegt.This applies to the particular composition of the process gas during the application of the layers. Also when applying the morphology-influencing layer can the rest Composition of the process gas freely selected become. The composition is advantageously depending on the given properties of the layers, which with the morphology-influencing layer in contact, as well as the requirements of the layer composite and the morphology-influencing layer.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas insbesondere beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht einen Wert im Bereich von 2 Vol.-% = cP = 10 Vol.-% hat. In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas insbesondere beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht einen Wert im Bereich von 4 Vol.-% = cP = 8 Vol.-% hat.In an advantageous development, it is provided that the concentration of the precursor c P in the process gas, in particular when applying the morphology-influencing layer, has a value in the range of 2% by volume = c P = 10% by volume. In a further advantageous development, it is provided that the concentration of the precursor c P in the process gas, in particular when applying the morphology-influencing layer, has a value in the range of 4% by volume = c P = 8% by volume.

Gemäß der Erfindung kann eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufgebracht werden, deren Dicke einen Wert von zumindest 5 nm aufweist.According to the invention a morphology-influencing layer can be applied, the thickness of which has a value of at least 5 nm.

Mit dem Begriff Dicke wird die mittlere Länge einer Strecke bezeichnet, welche im wesentlichen senkrecht zur Substratoberfläche verläuft und die Ausdehnung der Morphologie-beeinflussende Schicht in dieser Richtung erfaßt.With the term thickness is the average length of a route, which is substantially perpendicular to the substrate surface and the extent of the morphology-influencing layer in this Direction detected.

Damit sich die Wirkung der Morphologie-beeinflussende Schicht entfalten kann, ist eine gewisse Mindestdicke erforderlich. Insbesondere bei optischen Vergütung von Kunststoffen bestehen jedoch in der Regel keine großen Unterschiede in den Brechungsindizes zwischen Substrat und aufgebrachten Schichten. Daher wird die Morphologie-beeinflussende Schicht in der Regel nicht optisch wirksam sein, so dass eine Begrenzung der maximalen Schichtdicke grundsätzlich nicht zwingend ist. Das erfindungsgemäße Verfahren ist daher vorteilhafterweise prinzipiell unproblematisch in seinen Anforderungen an genaue Einhaltung von Beschichtungszeiten, insbesondere für das Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht.In order to the effect of the morphology-influencing layer unfolds can, a certain minimum thickness is required. Especially at optical remuneration However, there are generally no major differences between plastics in refractive indices between substrate and deposited layers. Therefore, the morphology-affecting layer usually does not become optically effective, so that a limitation of the maximum layer thickness basically not is mandatory. The inventive method is therefore advantageously not problematic in principle Requirements for exact adherence to coating times, in particular for the Applying the morphology-influencing Layer.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist vorgesehen, dass eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufgebracht wird, deren Dicke dM einen Wert im Bereich von 5 nm = dM = 200 nm hat. Nach einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung kann eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufgebracht wird, deren Dicke dM einen Wert im Bereich von 20 nm = dM = 70 nm hat.In an advantageous development it is provided that a morphology-influencing layer is applied whose thickness d M has a value in the range of 5 nm = d M = 200 nm. According to a further advantageous development, a morphology-influencing layer can be applied whose thickness d M has a value in the range of 20 nm = d M = 70 nm.

Als Substrat kann in dem erfindungsgemäßen Verfahren Polymethylmethacrylat (PMMA, beispielsweise Plexiglas®) und/oder Polycarbonat (PC, beispielsweise Makrolon®) und/oder PC-Derivate und/oder Cycloolephincopolymere (COC, beispielsweise Topas® oder Zeonex®) eingesetzt werden. Ferner können als Substrat insbesondere Polyethylenterephtalat (PET) und/oder Polyetherimid (beispielsweise Ultem®) und/oder Cycloolephinpolymere (COP) und/oder Polyethersylfon (beispielsweise Ultrason®) und/oder Gemische und/oder Blends der genannten Materialien eingesetzt werden.As the substrate (for example, Makrolon ® PC) and / or PC-derivatives and / or Cycloolephincopolymere, in the process of this invention polymethyl methacrylate (PMMA, for example Perspex ®) and / or polycarbonate (COC, e.g. Topas ® or Zeonex ®) are used. Further, as the substrate, in particular polyethylene terephthalate (PET) and / or polyetherimide (e.g., Ultem ®) and / or Cycloolephinpolymere (COP) and / or Polyethersylfon be used of said materials (e.g., Ultrason ®) and / or mixtures and / or blends.

Vorteilhafterweise bietet die Erfindung damit die prinzipielle Freiheit in der Wahl des Substrats je nach Anwendungsfall. Gerade mit einem PICVD-Verfahren können im wesentlichen alle Kunststoffe problemlos und einfach beschichtet werden.advantageously, offers the invention thus the principal freedom in the election of the substrate depending on the application. Especially with a PICVD method can essentially all plastics easily and simply coated become.

Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verbundmaterial, welches eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufweist. Of Furthermore, the invention relates to a composite material, which is a Having morphology-influencing layer.

Insbesondere kann dieses Verbundmaterial mit dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbar sein.Especially can this composite material with the method according to the invention be produced.

Die Erfindung betrifft zudem ein Verbundmaterial, welches ein Substrat, insbesondere ein Kunststoffsubstrat, eine Haftvermittlerschicht und zumindest eine Funktionsschicht umfasst, wobei das Verbundmaterial an der dem Substrat zugewandten Seite der zumindest einen Funktionsschicht eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufweist.The Invention also relates to a composite material comprising a substrate, in particular a plastic substrate, a primer layer and at least one functional layer, wherein the composite material on the side facing the substrate, the at least one functional layer has a morphology-influencing layer.

Wie oben dargestellt wurde, kann durch das erfindungsgemäße Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht insbesondere die Struktur der der Morphologie-beeinflussende Schicht folgenden Funktionsschicht derart eingestellt werden, dass die Ausdehnung der Säulenstrukturen parallel zur Substratoberfläche stark reduziert wird. Daher können Schichtsysteme mit deutlich verminderter Trübung gegenüber Schichtsystemen ohne Morphologie-beeinflussende Schicht hergestellt werden.As has been shown above, can by the According to the invention, application of the morphology-influencing layer, in particular the structure of the functional layer following the morphology-influencing layer, can be set such that the expansion of the columnar structures parallel to the substrate surface is greatly reduced. Therefore, layer systems with significantly reduced turbidity can be produced in comparison with layer systems without a morphology-influencing layer.

Im erfindungsgemäßen Verbundmaterial Morphologie-beeinflussende Schicht ist zudem die Haftung der Schichten auf den darunterliegenden Schichten sehr hoch. Insbesondere das Ablösen der Schichten vom Substrat kann weitgehend vollständig vermieden werden.in the composite material according to the invention morphology-influencing layer is also the adhesion of the layers on the underlying layers very high. In particular, the detachment The layers of the substrate can be largely completely avoided become.

Das erfindungsgemäße Verbundmaterial weist vorteilhafterweise im wesentlichen keine strukturbildenen Einheiten mit Abmessungen im Bereich der sichtbaren Lichwellenlänge auf.The has composite material according to the invention advantageously substantially no structure-forming units with dimensions in the range of the visible Lichwellenlänge on.

Dadurch weist das erfindungsgemäße Verbundmaterial eine verminderte Trübung verglichen mit Verbundmaterialien ohne Morphologie-beeinflussende Schicht auf. Die Erfindung ist dabei grundsätzlich nicht auf die Wirkung unter Strahlung im Bereich sichtbarer Wellenlängen beschränkt. Vielmehr kann je nach Anwendungsfall das Verfahren und das Verbundmaterial in seinen Eigenschaften auch auf eine geringere Lichtstreuung bei anderen Wellenlängen ausgelegt werden.Thereby has the composite material according to the invention a reduced turbidity compared with composite materials without morphology-influencing Shift up. The invention is basically not on the effect limited to radiation in the range of visible wavelengths. Rather, depending on Application of the method and the composite material in its properties also designed for lower light scattering at other wavelengths become.

Die Dicke der Morphologie-beeinflussende Schicht in dem erfindungsgemäßen Verbundmaterial beträgt bevorzugt zumindest 5 nm.The Thickness of the morphology-influencing layer in the composite material of the present invention is preferable at least 5 nm.

Mit dem Begriff Dicke wird, wie oben erläutert, eine mittlere Abmessung im wesentlichen senkrecht zur Substratoberfläche bezeichnet. Dabei ist selbstverständlich zu berücksichtigen, dass bei den genannten geringen Abmessungen auch einzelne Bereiche-Morphologie-beeinflussende Schichtvorliegen können, welche beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht nicht beschichtet werden.With The term thickness, as explained above, an average dimension essentially perpendicular to the substrate surface. It goes without saying consider, that in the mentioned small dimensions also individual areas-morphology-influencing Layer can exist, which when applying the morphology-influencing layer not be coated.

Selbst wenn derartige Bereiche in der Morphologie-beeinflussende Schicht vorhanden sind, ist die generelle, Wirkung der erfindungsgemäßen Morphologie-beeinflussende Schicht noch gegeben. Insbesondere weist das Schichtsystem deutlich verbesserte optische und mechanische Eigenschaften im Vergleich zu Schichtsystemen ohne Morphologie-beeinflussende Schicht auf.Even if such regions are present in the morphology-influencing layer, is the general, effect of the morphology-influencing according to the invention Layer still given. In particular, the layer system has clear improved optical and mechanical properties in comparison to layer systems without morphology-influencing layer.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Verbundmaterials liegt die Dicke dM der Morphologie-beeinflussende Schicht bei einem Wert im Bereich von 5 nm = dM = 200 nm, besonders bevorzugt bei einem Wert im Bereich von 20 nm = dM = 70 nm.In a preferred embodiment of the composite material, the thickness d M of the morphology-influencing layer is at a value in the range of 5 nm = d M = 200 nm, particularly preferably at a value in the range of 20 nm = d M = 70 nm.

Die Erfindung sieht des Weiteren vor, dass die Morphologie-beeinflussende Schicht im Verbundmaterial im wesentlichen amorph ist.The The invention further provides that the morphology-influencing layer in the composite material is substantially amorphous.

Grundsätzlich können jedoch die Morphologie-beeinflussende Schicht sowie alle anderen Schichten amorph, teilkristallin oder kristallin sein. Die Erfindung ist in dieser Hinsicht in keiner Weise beschränkt.In principle, however, can the morphology-influencing layer as well as all other layers amorphous, semi-crystalline or crystalline. The invention is in limited in any way.

Insbesondere kann die Funktionsschicht des erfindungsgemäßen Verbundmaterials eine Antikratz-Schicht umfassen. Genauso ist es vorgesehen, dass die Funktionsschicht eine Antireflex-Schicht beziehungsweise ein Antireflex-Schichtsystem umfasst. Des Weiteren kann die Funktionsschicht nach der Erfindung eine Easy-to-clean-Schicht umfassen.Especially For example, the functional layer of the composite material according to the invention may have an anti-scratch layer include. Likewise, it is provided that the functional layer a Antireflective layer or an antireflection layer system. Furthermore For example, the functional layer according to the invention can be an easy-to-clean layer include.

Im Verbundmaterial kann eine Funktionsschicht, insbesondere eine der oben genannten Funktionsschichten, vorhanden sein. Des Weiteren umfasst die Erfindung Verbundmaterialien, welche mehrere gleiche und/oder mehrere verschiedene Funktionsschichten aufweisen. Zumindest eine der Funktionsschichten steht erfindungsgemäß in Verbindung zu einer Morphologie-beeinflussende Schicht.in the Composite material may be a functional layer, in particular one of above functional layers, be present. Furthermore includes the invention composite materials which have several same and / or have several different functional layers. At least one According to the invention, the functional layers are connected to a morphology-influencing layer.

Das Verbundmaterial kann als Substrat Polymethylmethacrylat (PMMA, beispielsweise Plexiglas®) und/oder Polycarbonat (PC, beispielsweise Makrolon®) und/oder PC-Derivate und/oder Cycloolephincopolymere (COC, beispielsweise Topas® oder Zeonex®) umfassen. Ferner können als Substrat insbesondere Polyethylenterephtalat (PET) und/oder Polyetherimid (beispielsweise Ultem®) und/oder Cycloolephinpolymere (COP) und/oder Polyethersylfon (beispielsweise Ultrason®) und/oder Gemische und/oder Blends der genannten Materialien eingesetzt werden.The composite material can as a substrate of polymethyl methacrylate (PMMA, for example Perspex ®) and / or polycarbonate (PC, for instance Makrolon ®) and / or PC-derivatives and / or Cycloolephincopolymere (COC, for example, Topas ® or Zeonex ®) include. Further, as the substrate, in particular polyethylene terephthalate (PET) and / or polyetherimide (e.g., Ultem ®) and / or Cycloolephinpolymere (COP) and / or Polyethersylfon be used of said materials (e.g., Ultrason ®) and / or mixtures and / or blends.

Durch den Vorteil der Freiheit in der Wahl des Substrats je nach Anwendungsfall ermöglicht die Erfindung auch den Einsatz von Substraten, welche selbst bereits eine Beschichtung, insbesondere ein Schichtsystem aufweisen. Mit weiteren Schichten, wie insbesondere zumindest einer Morphologie-beeinflussende Schicht mit nachfolgender Funktionsschicht, kann für bestimmte Anwendungen die Kratzbeständigkeit und die optische Qualität gezielt an das Anforderungsprofil angepasst werden.By the advantage of freedom in the choice of substrate depending on the application allows the invention also the use of substrates which themselves already have a coating, in particular a layer system. With other layers, such as in particular at least one morphology-influencing layer with subsequent functional layer, can for certain applications the scratch resistance and the optical quality be tailored to the requirements profile.

So können beispielsweise mehrere, insbesondere erfindungsgemäße, Schichtsysteme miteinander verbunden werden. Zum Beispiel ist es möglich, ein Substrat mit einer Haftvermittlerschicht und einer Morphologie-beeinflussende Schicht zu versehen und darauf als Funktionsschicht eine Antikratzschicht aufzubringen. Auf dieses Verbundmaterial kann dann erneut eine Morphologie-beeinflussende Schicht und darauf als Funktionschicht eine Antireflexschicht aufgebracht sein. Die Struktur der Antireflexschicht kann auf diese Weise ebenfalls weiter verbessert werden.Thus, for example, several, in particular inventive, layer systems can be interconnected. For example, it is possible to provide a substrate with a primer layer and a morphology-influencing layer and to apply thereto as a functional layer an anti-scratching layer. On this composite material can then again a morphology-influencing Layer and applied to it as a functional layer an antireflection layer. The structure of the antireflection layer can also be further improved in this way.

Analoges gilt für andere Funktionsschichten und einen beliebigen Mehrschichtaufbau; die Erfindung ist nicht in der Zahl der Schichten beschränkt.analog applies to other functional layers and any multilayer construction; the invention is not limited in the number of layers.

Die Erfindung kann auf unterschiedlichste Weise eingesetzt werden. Nur beispielhaft ist ein Gehäuse denkbar, welches ein erfindungsgemäßes Verbundmaterial umfasst. Das Gehäuse kann insbesondere eine Abdeckung für ein Telekommunikationsendgerät und/oder eine Instrumentenabdeckung und/oder eine Scheinwerferabdeckung umfassen.The Invention can be used in many different ways. Just an example is a housing conceivable, which comprises a composite material according to the invention. The housing In particular, a cover for a telecommunication terminal and / or an instrument cover and / or a headlight cover.

Beispielsweise kann die Erfindung für Mobilfunktelefone eingesetzt werden, deren Teile mit einer Antikratzbeschichtung überzogen sein können. Ebenso kann die Erfindung für Antireflexbeschichtungen von beispielsweise Displays, Bildschirmen und Scheinwerferabdeckungen angewendet werden. Auch die äußeren Teile von Messinstrumenten können je nach Anwendungszweck mit einer Funktionsschicht versehen werden.For example can the invention for Mobile phones are used whose parts are coated with an anti-scratch coating could be. As well can the invention for Anti-reflective coatings of, for example, displays, screens and headlight covers. Also the outer parts of measuring instruments can be provided with a functional layer depending on the application.

Des Weiteren kann die Erfindung in einem Bauteil, insbesondere einem optischen Bauteil, insbesondere einem feinoptischen Bauteil eingesetzt werden, welches ein erfindungsgemäßes Verbundmaterial umfasst.Of Furthermore, the invention in a component, in particular a optical component, in particular a fine-optical component are used, which is a composite material according to the invention includes.

Beispielsweise betrifft die Erfindung trübungsfreie Reflektoren, insbesondere in Scheinwerfern, außerdem Linsen, insbesondere für digitale Projektion.For example the invention relates to turbidity-free Reflectors, especially in headlamps, also lenses, in particular for digital projection.

Des Weiteren kann die Erfindung in Brillengläsern, insbesondere auf Brillengläsern auf Kunststoffbasis, eingesetzt werden. Dadurch lassen sich beispielsweise kratzfeste, leichte Brillengläser mit hervorragenden optischen Eigenschaften und hoher Kratzbeständigkeit zur Verfügung stellen.Of Furthermore, the invention in spectacle lenses, in particular on spectacle lenses Plastic base, are used. This can be, for example Scratch-resistant, lightweight lenses with excellent optical properties and high scratch resistance to disposal put.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dieselben Bauteile werden dabei mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.The The invention will be explained in more detail with reference to embodiments. The same components are denoted by the same reference numerals.

Es zeigen:It demonstrate:

1 Eine nicht maßstabsgetreue, schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein Schichtsystem gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, 1 A not to scale, schematic representation of a cross section through a layer system according to an embodiment of the invention,

2 eine Aufnahme eines Verbundmaterials gemäß einer Ausführungsform der Erfindung im Vergleich zu einer Aufnahme eines Verbundmaterials, welches keine Morphologie-beeinflussende Schicht umfasst, 2 FIG. 2 a view of a composite material according to an embodiment of the invention compared to a composite material including a morphology-influencing layer; FIG.

3 ein Diagramm, in welchem Messungen zum Gehalt an Si, O und C der Schichten eines erfindungsgemäßen Verbundmaterials aufgetragen sind. 3 a diagram in which measurements are plotted on the content of Si, O and C of the layers of a composite material according to the invention.

In 1 ist ein Querschnitt durch ein Verbundmaterial 10 mit einem Schichtsystem gemäß einer Ausführungsform der Erfindung schematisch dargestellt. Die Darstellung ist nicht maßstabsgetreu; die Dicke der Schichten und die Relation der Schichtdicken zueinander ist grundsätzlich für den jeweiligen Anwendungsfall frei wählbar.In 1 is a cross section through a composite material 10 with a layer system according to an embodiment of the invention shown schematically. The representation is not to scale; the thickness of the layers and the relation of the layer thicknesses to each other is basically freely selectable for the particular application.

Im gezeigten Beispiel ist auf einem Substrat 20 eine Haftvermittlerschicht 30 aufgebracht. An die Haftvermittlerschicht 30 schließt sich eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 an.In the example shown is on a substrate 20 a primer layer 30 applied. To the primer layer 30 closes a morphology-influencing layer 40 at.

Auf die Morphologie-beeinflussende Schicht 40 kann dann beispielsweise ein Schichtsystem aus Funktionsschichten 50 aufgebracht sein. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist auf die Morphologie-beeinflussende Schicht 40 eine Antikratz-Schicht 52 aufgebracht, welche ihrerseits mit weiteren optischen Funktionsschichten, die ein Anti-Reflex-Schichtsytem 53 aufbauen, beschichtet ist.On the morphology-influencing layer 40 can then, for example, a layer system of functional layers 50 be upset. In the embodiment shown is on the morphology-influencing layer 40 an anti-scratch coating 52 applied, which in turn with other optical functional layers, which is an anti-reflex Schichtsytem 53 build up, is coated.

Durch die Morphologie-beeinflussende Schicht kann eine Beschichtung eines Kunststoffsubstrates erreicht werden, welche die für optische Anwendungen geforderten niedrigen Haze-Werte des Verbundmaterials erfüllt.By the morphology-influencing layer may be a coating of a Plastic substrates can be achieved, which for optical Applications required low Haze values of the composite material Fulfills.

Auf der rechten Seite der Abbildung in 2 ist eine Aufnahme eines Verbundmaterials 100 gemäß einer Ausführungsform der Erfindung im Vergleich zu einer Aufnahme eines Verbundmaterials 200, welches keine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 umfasst, dargestellt.On the right side of the picture in 2 is a photograph of a composite material 100 according to an embodiment of the invention in comparison to a recording of a composite material 200 , which has no morphology-influencing layer 40 includes shown.

Für die gezeigten Aufnahmen zur Visualisierung der Trübung im sichtbaren Spektralbereich wurden die plattenförmigen Verbundmaterialien 100, 200 vor einem schwarzen Hintergrund seitlich mit weißem Licht beleuchtet.For the shown images to visualize the turbidity in the visible spectral range, the plate-shaped composite materials 100 . 200 Illuminated laterally with white light against a black background.

Man erkennt deutlich die starke Trübung des Verbundmaterials 200, welches keine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 aufweist. Der Haze-Wert dieses Verbundmaterials 200 liegt bei etwa 3 %. Dagegen weist das Verbundmaterial 100 mit der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 eine erkennbar geringere Trübung auf: Der Haze-Wert dieses Verbundmaterials 100 liegt deutlich unterhalb von 1 %.One can clearly see the strong haze of the composite material 200 , which has no morphology-influencing layer 40 having. The haze value of this composite 200 is about 3%. In contrast, the composite material 100 with the morphology-influencing layer 40 a noticeably lower turbidity: the haze value of this composite material 100 is well below 1%.

Eine Möglichkeit, das Vorhandensein der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 nachzuweisen, bieten Messungen der ionisierten Zerstäubungsfragmente nach einem Ionenbeschuß mittels Massenspektrometrie (SIMS). Mit diesen Messungen wird die Zusammensetzung eines Verbundmaterials als Funktion einer Tiefe senkrecht zur Oberfläche des Verbundmaterials bestimmt. Ein Beispiel für ein Ergebnis einer derartigen SIMS-Messung ist im Diagramm in 3 gezeigt.One possibility, the presence of the morphology-influencing layer 40 provide measurements of ionized sputtering fragments after ion bombardment by mass spectrometry (SIMS). These measurements determine the composition of a composite as a function of a depth perpendicular to the surface of the composite. An example of a result of such a SIMS measurement is shown in the diagram in FIG 3 shown.

Aufgetragen ist die Intensität der registrierten Ionen in willkürlichen Einheiten (arbitrary units). Die arbitrary units geben die gezählten Treffer als ein Maß für die Intensität der jeweils betrachteten Spezies an. Im gezeigten Beispiel wurden die Moleküle SiC (quadratische Symbole), SiO3 (kreisförmige Symbole), O2 (nach oben zeigende dreieckige Symbole) sowie C3 (nach unten zeigende dreieckige Symbole) betrachtet. Aus den Angaben für die Intensität lässt sich im Prinzip für jede betrachtete Substanz ihre Konzentration errechnen.Plotted is the intensity of the registered ions in arbitrary units. The arbitrary units indicate the counted hits as a measure of the intensity of each considered species. In the example shown, the molecules were considered to be SiC (square symbols), SiO 3 (circular symbols), O 2 (triangular symbols pointing upwards) and C 3 (triangular symbols pointing downwards). From the data for the intensity can be calculated in principle for each substance considered their concentration.

Die Intensität ist in Abhängigkeit von der Messzeit aufgetragen. Mit zunehmender Messzeit wird das zu untersuchende Material immer weiter abgetragen, so dass die zuletzt aufgebrachte Schicht zuerst, das heißt bei geringen Messzeiten, erfaßt wird. Die entsprechend vorher aufgebrachten Schichten werden bei entsprechend höheren Meßzeiten erfaßt.The intensity is dependent applied by the measuring time. As the measuring time increases, so does the material to be examined more and more worn away, so the last applied layer first, ie at low measurement times, is detected. The correspondingly previously applied layers are correspondingly higher measurement times detected.

Im gezeigten Beispiel können für alle betrachteten Substanzen vier Bereiche deutlich unterschieden werden. Diese vier Bereiche entsprechen einer Funktionsschicht, im gezeigten Beispiel einer Antikratz-Schicht, der Morphologie-beeinflussende Schicht, einer Haftvermittlerschicht sowie dem Substrat.in the example shown can for all substances are clearly distinguished four areas. These four areas correspond to a functional layer, shown in FIG Example of an anti-scratch layer, the morphology-influencing layer, a primer layer and the substrate.

Die Morphologie-beeinflussende Schicht zeichnet sich insbesondere im gezeigten Beispiel dadurch aus, dass der Gehalt an Si und O in der Morphologie-beeinflussende Schicht deutlich gegenüber dem Gehalt an den genannten Substanzen in der Haftvermittlerschicht, in der Funktionsschicht und im Susbtrat erhöht ist. Des Weiteren ist der Gehalt an C in der Morphologie-beeinflussende Schicht deutlich gegenüber dem Gehalt an C in der Haftvermittlerschicht und in der Funktionsschicht vermindert. Morphologie-beeinflussende Schicht.The Morphology-influencing layer is particularly evident in the shown example in that the content of Si and O in the Morphology-influencing layer clearly opposite to the Content of said substances in the primer layer, is increased in the functional layer and in the susbtrate. Furthermore, the Content of C in the morphology-influencing layer significantly over that Content of C in the primer layer and in the functional layer reduced. Morphology-influencing layer.

Über die unterschiedlichen Intensitäten an beispielsweise den betrachteten Spezies lassen sich Rückschlüsse auf den Anteil von insbesondere Si-O-Verbindungen in den jeweiligen Schichten ziehen. Damit werden Rückschlüsse auf die Funktion der Schichten möglich, so dass beispielsweise Substrat, Haftvermittlerschicht und Funktionsschichten für den Fachmann leicht detektierbar sind. Von diesen Schichten hebt sich die Morphologie-beeinflussende Schicht deutlich ab.About the different intensities For example, conclusions can be drawn on, for example, the species considered the proportion of particular Si-O compounds in the respective Lay layers. This will lead to conclusions the function of the layers is possible, so that, for example, substrate, adhesion promoter layer and functional layers for the expert are easily detectable. From these layers the morphology-influencing one stands out Layer clearly off.

Claims (28)

Verfahren, insbesondere Vakuumdepositionsverfahren, zum Beschichten eines Substrates 20, insbesondere eines Kunststoffsubstrates, dadurch gekennzeichnet, dass im Laufe des Verfahrens eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 aufgebracht wird, auf welche eine weitere Schicht, insbesondere eine Funktionsschicht 50, aufgebracht wird.Method, in particular vacuum deposition method, for coating a substrate 20 , in particular a plastic substrate, characterized in that in the course of the process, a morphology-influencing layer 40 is applied, to which a further layer, in particular a functional layer 50 , is applied. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Haftvermittlerschicht 30 auf das Substrat 20 aufgebracht wird.A method according to claim 1, characterized in that an adhesive layer 30 on the substrate 20 is applied. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 auf die Haftvermittlerschicht 30 aufgebracht wird.A method according to claim 1 or 2, characterized in that a morphology-influencing layer 40 on the primer layer 30 is applied. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Vakuumdepositionsverfahren ein PVD- und/oder ein CVD-Verfahren, insbesondere ein PECVD- Verfahren, insbesondere ein PICVD-Verfahren eingesetzt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that as a vacuum deposition method, a PVD and / or a CVD process, in particular a PECVD method, in particular a PICVD method is used. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat 20 in einem Vorbehandlungsschritt in einem Sauerstoff-enthaltenden Plasma funktionalisiert wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the substrate 20 is functionalized in a pretreatment step in an oxygen-containing plasma. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 eine siliziumorganische Verbindung, insbesondere HMDSO, als Precursor eingesetzt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that during application of the morphology-influencing layer 40 an organosilicon compound, in particular HMDSO, is used as precursor. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 einen Wert im Bereich von 1 Vol.-% = cP = 20 Vol.-% hat.A method according to claim 6, characterized in that the concentration of the precursor c P in the process gas during application of the morphology-influencing layer 40 has a value in the range of 1% by volume = c P = 20% by volume. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 einen Wert im Bereich von 2 Vol.-% = cP = 10 Vol.-% hat.A method according to claim 7, characterized in that the concentration of the precursor c P in the process gas during application of the morphology-influencing layer 40 has a value in the range of 2% by volume = c P = 10% by volume. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet; dass die Konzentration des Precursors cP im Prozeßgas beim Aufbringen der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 einen Wert im Bereich von 4 Vol.-% = cP = 8 Vol.-% hat.Method according to claim 8, characterized in that; that the concentration of the precursor c P in the process gas when applying the morphology-influencing layer 40 has a value in the range of 4% by volume = c P = 8% by volume. Verfahren insbesondere nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schicht, insbesondere eine Morphologie- beeinflussende Schicht, 40 aufgebracht wird, deren Dicke einen Wert von zumindest 5 nm aufweist.Method in particular according to one of the preceding claims, characterized that a layer, in particular a morphology-influencing layer, 40 is applied, whose thickness has a value of at least 5 nm. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Morphologie-beeinflussende Schicht aufgebracht wird, deren Dicke dM einen Wert im Bereich von 5 nm = dM = 200 nm hat.A method according to claim 10, characterized in that a morphology-influencing layer is applied whose thickness d M has a value in the range of 5 nm = d M = 200 nm. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 aufgebracht wird, deren Dicke dM einen Wert im Bereich von 20 nm = dM = 70 nm hat.A method according to claim 10, characterized in that a morphology-influencing layer 40 is applied whose thickness d M has a value in the range of 20 nm = d M = 70 nm. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Substrat 20 PMMA oder PC oder PC-Derivate oder COC oder PET oder Polyetherimid oder COP oder Polyethersylfon oder ein Gemisch oder ein Blend aus zumindest zwei der genannten Materialien eingesetzt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that as a substrate 20 PMMA or PC or PC derivatives or COC or PET or polyetherimide or COP or Polyethersylfon or a mixture or blend of at least two of said materials is used. Verbundmaterial 10, insbesondere herstellbar nach einem Verfahren gemäß der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 oder eine Schicht gemäß Anspruch 10.composite material 10 , in particular preparable by a method according to claims 1 to 13, characterized by a morphology-influencing layer 40 or a layer according to claim 10. Verbundmaterial 10, welches ein Substrat 20, insbesondere ein Kunststoffsubstrat, eine Haftvermittlerschicht 30 und zumindest eine Funktionsschicht 50 umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbundmaterial 10 an der dem Substrat 20 zugewandten Seite der zumindest einen Funktionsschicht 50 eine Morphologie-beeinflussende Schicht 40 aufweist.composite material 10 which is a substrate 20 , in particular a plastic substrate, an adhesion promoter layer 30 and at least one functional layer 50 comprises, characterized in that the composite material 10 at the substrate 20 facing side of the at least one functional layer 50 a morphology-influencing layer 40 having. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbundmaterial 10 im wesentlichen keine strukturbildenen Einheiten mit Abmessungen im Bereich der sichtbaren Lichwellenlänge aufweist.composite material 10 according to one of claims 14 or 15, characterized in that the composite material 10 has substantially no structure-forming units with dimensions in the range of the visible Lichwellenlänge. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht, insbesondere der Morphologie-beeinflussenden Schicht 40, zumindest 5 nm beträgt.composite material 10 according to one of claims 14 to 16, characterized in that the thickness of the layer, in particular the morphology-influencing layer 40 , at least 5 nm. Verbundmaterial 10 nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke dM der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 einen Wert im Bereich von 5 nm = dM = 200 nm hat.composite material 10 according to claim 17, characterized in that the thickness d M of the morphology-influencing layer 40 has a value in the range of 5 nm = d M = 200 nm. Verbundmaterial 10 nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke dM der Morphologie-beeinflussende Schicht 40 einen Wert im Bereich von 20 nm = dM = 70 nm hat.composite material 10 according to claim 18, characterized in that the thickness d M of the morphology-influencing layer 40 has a value in the range of 20 nm = d M = 70 nm. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Morphologie-beeinflussende Schicht 40 im wesentlichen amorph ist.composite material 10 according to one of claims 14 to 19, characterized in that the morphology-influencing layer 40 is substantially amorphous. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht 50 eine Antikratz-Schicht 52 umfasst.composite material 10 according to one of claims 14 to 20, characterized in that the functional layer 50 an anti-scratch coating 52 includes. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht 50 eine Antireflex-Schicht 53 umfasst.composite material 10 according to one of claims 14 to 21, characterized in that the functional layer 50 an antireflective layer 53 includes. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht 50 eine Easy-to-clean-Schicht umfasst.composite material 10 according to one of claims 14 to 22, characterized in that the functional layer 50 includes an easy-to-clean layer. Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat 20 PMMA oder PC oder PC-Derivate oder COC oder PET oder Polyetherimid oder COP oder Polyethersylfon oder ein Gemisch oder ein Blend aus zumindest zwei der genannten Materialien eingesetzt umfasst.composite material 10 according to one of claims 14 to 23, characterized in that the substrate 20 PMMA or PC or PC derivatives or COC or PET or polyetherimide or COP or Polyethersylfon or a mixture or blend of at least two of said materials used. Gehäuse, welches ein Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 24 umfasst.Housing, which is a composite material 10 according to any one of claims 14 to 24. Gehäuse nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse eine Abdeckung für ein Telekommunikationsendgerät und/oder eine Instrumentenabdeckung und/oder eine Scheinwerferabdeckung umfasst.casing according to claim 25, characterized in that the housing has a Cover for a telecommunications terminal and / or an instrument cover and / or a headlight cover includes. Bauteil, insbesondere optisches Bauteil, insbesondere feinoptisches Bauteil, welches ein Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 24 umfasst.Component, in particular optical component, in particular fine-optical component, which is a composite material 10 according to any one of claims 14 to 24. Brillenglas, welches ein Verbundmaterial 10 nach einem der Ansprüche 14 bis 24 umfasst.Spectacle lens, which is a composite material 10 according to any one of claims 14 to 24.
DE2003142401 2003-09-13 2003-09-13 Composite materials having a morphology-influencing layer, process for their preparation and use of the composite material Expired - Lifetime DE10342401B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003142401 DE10342401B4 (en) 2003-09-13 2003-09-13 Composite materials having a morphology-influencing layer, process for their preparation and use of the composite material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003142401 DE10342401B4 (en) 2003-09-13 2003-09-13 Composite materials having a morphology-influencing layer, process for their preparation and use of the composite material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10342401A1 true DE10342401A1 (en) 2005-04-07
DE10342401B4 DE10342401B4 (en) 2014-10-30

Family

ID=34258662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2003142401 Expired - Lifetime DE10342401B4 (en) 2003-09-13 2003-09-13 Composite materials having a morphology-influencing layer, process for their preparation and use of the composite material

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10342401B4 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006124437A1 (en) * 2005-05-12 2006-11-23 Dow Corning Ireland Limited Bonding an adherent to a substrate via a primer
WO2006131229A3 (en) * 2005-06-09 2007-03-29 Bayer Materialscience Ag Flame-resistant coated molded polycarbonate articles
EP1810758A1 (en) * 2006-01-11 2007-07-25 Schott AG A method of preparing a macromolecule deterrent surface on a pharmaceutical package
WO2010119004A1 (en) 2009-04-15 2010-10-21 Wacker Chemie Ag Composition based on siloxane copolymers
US20110008576A1 (en) * 2007-03-01 2011-01-13 Plasmatrix Materials Ab Method, Material and Apparatus for Enhancing Dynamic Stiffness
US8076002B2 (en) 2006-10-11 2011-12-13 Wacker Chemie Ag Laminates comprising thermoplastic polysiloxane-urea copolymers
DE102012110131A1 (en) * 2012-10-24 2014-04-24 Schott Ag Composite material for a pharmaceutical packaging, process for its preparation and use of the composite material

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19808180A1 (en) * 1998-02-26 1999-09-09 Bosch Gmbh Robert Combined wear protection layer, method for producing the same, the objects coated with it and their use
DE19901834A1 (en) * 1999-01-19 2000-07-20 Leybold Systems Gmbh Process for coating plastic substrates
WO2002094458A2 (en) * 2001-03-29 2002-11-28 Schott Glas Method for producing a coated synthetic body
DE10258681A1 (en) * 2002-08-07 2004-02-26 Schott Glas Process for applying alternating layers e.g. barrier layers onto a plastic bottle by chemical gas phase deposition comprises depositing an organic adhesion promoting layer on a substrate and applying an inorganic barrier layer
DE10258678A1 (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Schott Glas Process for applying alternating layers e.g. barrier layers onto a plastic bottle by chemical gas phase deposition comprises depositing an organic adhesion promoting layer on a substrate and applying an inorganic barrier layer

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2779448B1 (en) * 1998-06-04 2000-12-15 Snecma CERAMIC COATING WITH LOW THERMAL CONDUCTIVITY AND THERMAL BARRIER TYPE, METHOD FOR DEPOSITING SUCH A CERAMIC COATING, AND METAL PART PROTECTED BY THIS CERAMIC COATING
DE19833123A1 (en) * 1998-07-23 2000-01-27 Guenter Reise Adherent cubic boron nitride layer production, especially for iron alloy machining tools or optical components, comprises initially depositing an adhesion promoting boron nitride layer by pulsed laser deposition
DE19834314A1 (en) * 1998-07-30 2000-02-03 Leybold Systems Gmbh Application of a scratch resistant coating and an antireflective system onto a plastic substrate, in particular spectacle lenses by consecutive plasma and sputtering methods
US6284324B1 (en) * 2000-04-21 2001-09-04 Eastman Chemical Company Coal gasification burner shield coating

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19808180A1 (en) * 1998-02-26 1999-09-09 Bosch Gmbh Robert Combined wear protection layer, method for producing the same, the objects coated with it and their use
DE19901834A1 (en) * 1999-01-19 2000-07-20 Leybold Systems Gmbh Process for coating plastic substrates
WO2002094458A2 (en) * 2001-03-29 2002-11-28 Schott Glas Method for producing a coated synthetic body
DE10258681A1 (en) * 2002-08-07 2004-02-26 Schott Glas Process for applying alternating layers e.g. barrier layers onto a plastic bottle by chemical gas phase deposition comprises depositing an organic adhesion promoting layer on a substrate and applying an inorganic barrier layer
DE10258678A1 (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Schott Glas Process for applying alternating layers e.g. barrier layers onto a plastic bottle by chemical gas phase deposition comprises depositing an organic adhesion promoting layer on a substrate and applying an inorganic barrier layer

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA013879B1 (en) * 2005-05-12 2010-08-30 Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед Bonding an adherent to a substrate via a primer
WO2006124437A1 (en) * 2005-05-12 2006-11-23 Dow Corning Ireland Limited Bonding an adherent to a substrate via a primer
RU2422284C2 (en) * 2005-06-09 2011-06-27 Байер Матириальсайенс Аг Fire resistant polycarbonate extruded articles with coat
WO2006131229A3 (en) * 2005-06-09 2007-03-29 Bayer Materialscience Ag Flame-resistant coated molded polycarbonate articles
RU2422284C9 (en) * 2005-06-09 2012-05-27 Байер Матириальсайенс Аг Fire resistant polycarbonate extruded articles with coat
EP1810758A1 (en) * 2006-01-11 2007-07-25 Schott AG A method of preparing a macromolecule deterrent surface on a pharmaceutical package
US8025915B2 (en) 2006-01-11 2011-09-27 Schott Ag Method of preparing a macromolecule deterrent surface on a pharmaceutical package
US8076002B2 (en) 2006-10-11 2011-12-13 Wacker Chemie Ag Laminates comprising thermoplastic polysiloxane-urea copolymers
US20110008576A1 (en) * 2007-03-01 2011-01-13 Plasmatrix Materials Ab Method, Material and Apparatus for Enhancing Dynamic Stiffness
US8460763B2 (en) * 2007-03-01 2013-06-11 Plasmatrix Materials Ab Method for enhancing dynamic stiffness
DE102009002408A1 (en) 2009-04-15 2010-10-21 Wacker Chemie Ag Composition based on siloxane copolymers
WO2010119004A1 (en) 2009-04-15 2010-10-21 Wacker Chemie Ag Composition based on siloxane copolymers
DE102012110131A1 (en) * 2012-10-24 2014-04-24 Schott Ag Composite material for a pharmaceutical packaging, process for its preparation and use of the composite material
US10525655B2 (en) 2012-10-24 2020-01-07 Schott Ag Composite material for a pharmaceutical packaging, method for the production thereof, and use of the composite material

Also Published As

Publication number Publication date
DE10342401B4 (en) 2014-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0177517B1 (en) Process for depositing a thin transparent layer on the surface of optical elements
DE102014104799B4 (en) Substrate with a coating to increase scratch resistance, process for its production and its use
EP2118691B1 (en) Method for producing an optical element having a reflection-reducing anti-fog layer
EP1987378B1 (en) Scratch resistant, reflection reducing surface having anti-fog properties
DE102019006762A1 (en) Glass laminate, front panel for displays and display device
DE102014104798A1 (en) Hard anti-reflective coatings and their preparation and use
DE3883165T2 (en) Coated article and process for its manufacture.
EP3262446B1 (en) Reflector element and process of manufacture thereof
DE10351748A1 (en) Anti-reflective spectacle lens and process for its production
WO2003002269A2 (en) Article having a plasmapolymer coating and method for producing the same
DE102015116644A1 (en) Scratch-resistant coatings with improved cleanability, substrates with scratch-resistant coatings with improved cleanability and process for their preparation
DE10342401B4 (en) Composite materials having a morphology-influencing layer, process for their preparation and use of the composite material
EP1417042B1 (en) Method for producing a coated synthetic body
EP1307767B1 (en) Reflection-reducing coating
DE102004056965A1 (en) Improvement of the adhesion of hydrophobic coatings on spectacle lenses
DE10250564A1 (en) Coating products, optics and automobile windows involves preparing substrate, coating with anti-reflective system, then coating with working layer to, e.g., resist scratches
EP2270392A1 (en) Coating for an optical reflector
DE4238279A1 (en) Plastic prods with transparent, scratch resistant surface layer - have surface layer contg silicon, carbon and oxygen, with at least 3 zones of different compsn and specific photoelectron binding energies
DE102005000911A1 (en) Environmentally resistant mirror coating system has dielectric coupling and diffusion barrier layer on substrate, and dielectric diffusion barrier and protection layer on functional metallic layer
DE10201492B4 (en) Optical layer system
DE102004044441B3 (en) Improvement of the grinding and stamping behavior of spectacle lenses with hydrophobic coating
DE102004043871A1 (en) Process for the preparation of a radiation-absorbing optical element and radiation-absorbing optical element
DE69203165T2 (en) Method for producing an optical structure and optical structure produced therewith.
DE102022113597B4 (en) ARTICLE WITH A DECORATIVE COATING AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
DE102005035673A1 (en) Photocatalytic layer system with high switching stroke

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R071 Expiry of right