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DE10339458A1 - Gasmessfühler und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Gasmessfühler und Verfahren zu dessen Herstellung Download PDF

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DE10339458A1
DE10339458A1 DE10339458A DE10339458A DE10339458A1 DE 10339458 A1 DE10339458 A1 DE 10339458A1 DE 10339458 A DE10339458 A DE 10339458A DE 10339458 A DE10339458 A DE 10339458A DE 10339458 A1 DE10339458 A1 DE 10339458A1
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DE
Germany
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layer
solid electrolyte
gas
gas sensor
conductive layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE10339458A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunori Kariya Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Priority claimed from JP2002249367A external-priority patent/JP2004085474A/ja
Priority claimed from JP2002251435A external-priority patent/JP2004093207A/ja
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Publication of DE10339458A1 publication Critical patent/DE10339458A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/416Systems
    • G01N27/417Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
    • G01N27/419Measuring voltages or currents with a combination of oxygen pumping cells and oxygen concentration cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making

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Abstract

Ein Gasmessfühler (1) enthält eine mit einem Paar Elektroden (31, 32) versehene und eine elektrochemische Zelle (3) bildende Festelektrolytlage (14), mindestens eine andere, der Festelektrolytlage (14) gegenüberliegende Lage (132), einen zwischen diesen Lagen gelegenen Abstandshalter (133), der zwischen eine Gaskammer (122) definiert, in der Gas mit einer der Elektroden (31) in Kontakt kommt, und ein in der Gaskammer (122) gelegenes Stützbauteil (51), das während der Herstellung des Gasmessfühlers eine in Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlage (14) und der anderen Lage (132) aufgebrachte Presskraft abstützt.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Gassensor oder Gasmessfühler (nachstehend als „Gasmessfühler" bezeichnet) zur Erfassung der Konzentration eines in einem zu messenden Gas enthaltenen Gases wie NOx sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gasmessfühlers.
  • Ein Gasmessfühler ist eine Art Erfassungsbauteil, das mit Hilfe mehrerer elektrochemischer Zellen, die jeweils durch Aufbringen eines Paars Elektroden auf einer Festelektrolytlage gebildet werden, in einem zu messenden Gas, etwa einem Abgas, eine Gaskonzentration erfasst, etwa die von NOx. Genauer gesagt befindet sich zwischen der Festelektrolytlage und einer weiteren, dieser Lage gegenüberliegenden Lage ein Abstandshalter, durch den eine Gasmesskammer, in die das zu messende Gas (Messgas) eingeleitet wird, oder eine Bezugsgaskammer gebildet wird, in die Umgebungsluft als ein Bezugsgas für die Messung eingelassen wird. Nachdem die Sauerstoffkonzentration des in die Gasmesskammer eingeleiteten Messgases angepasst oder reguliert worden ist, wird die darin enthaltene Konzentration an NOx oder dergleichen ermittelt.
  • Ein für die obigen Zwecke geeigneter Gasmessfühler ist beispielsweise in 30 dargestellt. Wie sich aus 30 ergibt, umfasst dieser Gasmessfühler 9 herkömmlichen Aufbaus eine poröse Lage 931, eine Abschirmlage 932, ein Abstandshalter 933, eine eine Überwachungszelle 3 und eine Sensorzelle 4 bildende Festelektrolytlage 94, einen Abstandshalter 95, eine eine Pumpzelle 2 bildende Festelektrolytlage 96, einen Abstandshalter 97, eine Heizkörperabdecklage bzw. -überzugslage 996 und eine Heizkörperlage 995 (beide Heizkörperlagen können auch einfach als „Heizkörperlage 99" bezeichnet werden). Diese Lagen werden wie in 30 gezeigt in einer vorbestimmten Abfolge übereinander geschichtet, wobei dieser Schichtaufbau dann in der Aufschichtungsrichtung zusammengepresst und so zusammengesintert wird, dass die jeweiligen Lagen 931, 932, 94, 96 und 99 (995, 996) und die jeweiligen Abstandshalter 933, 95 und 97 in dieser Abfolge zusammengebracht werden.
  • In dem Gasmessfühler mit dem obigen Aufbau sind zwischen den benachbarten Lagen und innerhalb der jeweiligen mit einem hohlen Aufbau versehenen Abstandshalter 933, 95 und 97 Gaskammern 91, 92, 921 und 922 ausgebildet, weswegen sich die Abschirmschicht 932 des Gasmessfühlers 9, die am weitesten außen gelegen ist, beim Aufbringen eines Drucks auf den Schichtaufbau zur Gaskammer 921 hin wölben kann. In diesem Fall kann sich, wie in den 31 und 32 gezeigt ist, in Längsrichtung des Gasmessfühlers 9 an einem in Breitenrichtung der Abschirmlage 932 im Großen und Ganzen mittleren Abschnitt ein Riss 901 bilden. Dieses Problem der Rissbildung kann im übereinander geschichteten Zustand auch bei den anderen Lagen 931, 94, 96 und 99 auftreten.
  • Davon abgesehen werden auf einer Oberfläche der Festelektrolytlage 94 durch Siebdruck einer Metallpaste die Elektroden 31 und 32 der Überwachungszelle 3 und die Elektroden 41 und 42 der Sensorzelle 4 ausgebildet sowie auf einer Oberfläche der Festelektrolytlage 96 durch Siebdruck einer Metallpaste die Elektroden 21 und 22 der Pumpzelle 2. Ebenso wird auf der Oberfläche der Heizkörperlage 995 durch einen Siebdruckvorgang das Heizelement 991 der Heizkörperlage 99 ausgebildet.
  • Wie in den 33 und 34 gezeigt ist, hat das Heiz element 991 in dem Gasmessfühler 9, das durch Siebdruck aufgebracht wird, eine vorstehende Oberfläche, d.h. eine wie in 34 gezeigte kreisförmige Oberfläche mit einem vorderen Endabschnitt 992. Wenn der Schichtaufbau des Gasmessfühlers 9 erstellt wird, stößt das vorstehende vordere Ende 992 daher in Längsrichtung L des Gasmessfühlers 9 linear gegen die Heizkörperabdecklage 996.
  • Wenn die jeweiligen Lagen 931, 932, 94, 96, 996, 995 und die jeweiligen Abstandshalter 933, 95, 97 übereinander geschichtet und in diesem übereinander geschichteten Zustand zusammengepresst werden, kann daher an einem Abschnitt, der dem das vorstehende vordere Ende bildenden Abschnitt 992 entspricht, ein Riss 901 entstehen.
  • Die Erfindung soll im Wesentlichen die aus dem Stand der Technik bekannten, oben erwähnten Fehler oder Nachteile beseitigen, weswegen es Hauptaufgabe der Erfindung ist, einen Gasmessfühler mit verbessertem Aufbau zur Verfügung zu stellen, wobei sich während der Herstellung des Gasmessfühlers wirksam die Entstehung von Rissen in den den Messfühler bildenden Lagen verhindern lässt. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers zur Verfügung zu stellen, mit dem sich während dessen Herstellung wirksam die Entstehung von Rissen verhindern lässt.
  • Die obigen und weiteren Aufgaben werden gemäß einer ersten Ausgestaltung der Erfindung durch einen Gasmessfühler gelöst, mit:
    einer mit einem Paar Elektroden versehenen und eine elektrochemische Zelle bildenden Festelektrolytlage;
    einer anderen, der Festelektrolytlage gegenüberliegenden Lage;
    einem zwischen diesen Lagen gelegenen Abstands halter, der eine Gaskammer definiert, in der Gas mit einer der Elektroden in Kontakt kommt; und
    einem in der Gaskammer gelegenen Stützbauteil, das eine in Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlage und der anderen Lage aufgebrachte Presskraft abstützt.
  • Bei dieser Ausgestaltung ist es vorzuziehen, wenn die Gaskammer in ihrer Längsrichtung eine große Abmessung hat und wenn sich das Stützbauteil an einer Stelle befindet, an der es einen in ihrer zu ihrer Längsrichtung senkrechten Breitenrichtung im Großen und Ganzen mittleren Abschnitt der Gaskammer abstützt.
  • Das Stützbauteil hat entlang einer zur Längsrichtung der Gaskammer senkrechten Linie eine Querschnittsfläche, die 5 bis 95% der Querschnittsfläche der Gaskammer einnimmt.
  • In einem spezielleren Ausführungsbeispiel ist ein Gasmessfühler vorgesehen, mit:
  • einer Abschirmlage;
    einer eine Überwachungszelle und eine Sensorzelle bildenden ersten Festelektrolytlage;
    einem zwischen der Abschirmlage und der ersten Festelektrolytlage gelegenen und zwischen diesen eine erste Bezugsgaskammer bildenden ersten Abstandshalter;
    einer eine Pumpzelle bildenden zweiten Festelektrolytlage;
    einem zwischen der ersten und zweiten Festelektrolytlage gelegenen und zwischen diesen eine Gasmesskammer bildenden zweiten Abstandshalter;
    einer mit einem Heizelement versehenen Heizkörperlage;
    einem zwischen der zweiten Festelektrolytlage und der Heizkörperlage gelegenen und eine zweite Bezugsgaskammer bildenden Abstandshalter, wobei die Abschirmlage, die erste und zweite Festelektrolytlage und die Heizkörperlage in einer vorbestimmten Abfolge übereinander geschichtet sind; und
    jeweils in der ersten und zweiten Bezugsgaskammer und der Gasmesskammer gelegenen Stützbauteilen.
  • Es kann auch ein Gasmessfühler vorgesehen sein, mit
    einer eine erste Pumpzelle bildenden ersten Festelektrolytlage;
    einer eine zweite Pumpzelle, eine Überwachungszelle und eine Sensorzelle bildenden zweiten Festelektrolytlage;
    einem zwischen der ersten und der zweiten Festelektrolytlage gelegenen und zwischen diesen eine Gasmesskammer bildenden ersten Abstandshalter;
    einer mit einem Heizelement versehenen Heizkörperlage;
    einem zwischen der zweiten Festelektrolytlage und der Heizkörperlage gelegenen und zwischen diesen eine Bezugsgaskammer bildenden zweiten Abstandshalter, wobei die erste und zweite Festelektrolytlage und die Heizkörperlage in einer vorbestimmten Abfolge übereinander geschichtet sind; und
    jeweils in der Bezugsgaskammer und der Gasmesskammer gelegenen Stützbauteilen.
  • Wenn bei dem Gasmessfühler mit dem oben genannten Aufbau und den oben genannten Eigenschaften auf die Festelektrolytlage und die der Festelektrolytlage gegenüberliegende andere Lage in Aufschichtungsrichtung eine Presskraft aufgebracht wird, kann diese Presskraft von dem in der zwischen diesen Lagen ausgebildeten Gasmesskammer gelegenen Stützbauteil abgestützt (gehalten) werden, was dem Gasmessfühler Festigkeit verleiht.
  • Genauer gesagt werden die Festelektrolytlage, die gegenüberliegende Lage und der dazwischen gelegene Abstandshalter bei der Herstellung des Gasmessfühlers in ihrem übereinander geschichteten Zustand unter Druck gesetzt. Dabei kann die entsprechende Presskraft von dem in der zwischen diesen beiden Lagen definierten Gasmesskammer gelegenen Stützbauteil abgestützt werden, was ein sich Biegen oder Wölben der Festelektrolytlage und/oder der gegenüberliegenden Lage zur Gasmesskammer verhindert wie auch die Entstehung von Rissen in der Festelektrolytlage und der gegenüberliegenden Lage verhindert.
  • Nach der Druckbeaufschlagung wird eine Sinterbehandlung durchgeführt. Wenn die gegenüberliegende Lage und/oder der Abstandshalter aus anderen Materialien als das Material der Festelektrolytlage bestehen, besteht dabei die Gefahr, dass sich die Festelektrolytlage oder die gegenüberliegende Lage aufgrund des unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen der gegenüberliegenden Lage oder dem Abstandshalter und der Festelektrolytlage zur Gasmesskammer hin wölbt. In diesem Fall kann die Erfindung das sich Biegen oder Wölben der Festelektrolytlage und/oder der gegenüberliegenden Lage zur Gasmesskammer und auch die Entstehung von Rissen in der Festelektrolytlage und der gegenüberliegenden Lage verhindern.
  • Darüber hinaus können sich in den Ausführungsbeispielen, in denen mehrere Lagen wie die Abschirmlage, die erste und zweite Festelektrolytlage und die Heizkörperlage übereinander geschichtet sind und sich zwischen den jeweiligen Lagen die Abstandshalter befinden und dazwischen die Gasmesskammer und die Bezugsgaskammer definieren, in jeder Gaskammer Stützbauteile befinden, um so zu verhindern, dass sich die Lagen wölben oder biegen und in ihnen Risse entstehen.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers vorgesehen, das folgende Schritte umfasst:
    Anfertigen eines ungesinterten Substrats;
    Ausbilden einer leitfähigen Schicht auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats und, während die leitfähige Schicht ausgebildet wird, Ausbilden eines flachen Abschnitts auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht, so dass der flache Abschnitt eine Breite von mehr als 3% der Breite der leitfähigen Schicht hat;
    Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht auf dem ungesinterten Substrat, so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und
    Sintern des auf diese Weise übereinander geschichteten Zwischenprodukts.
  • Bei diesem Verfahren wird der flache Abschnitt an dem vorstehenden vorderen Endabschnitt der leitfähigen Schicht ausgebildet und stößt dieser flache Abschnitt während der Herstellung des Zwischenprodukts gegen die ungesinterte Schichtungslage. Dadurch wird verhindert, dass eine zu große lokale Belastung auf das ungesinterte Substrat und die ungesinterte Schichtungslage aufgebracht wird, so dass die Entstehung von Rissen in dem ungesinterten Substrat und der ungesinterten Schichtungslage verhindert wird.
  • Wenn das Breitenverhältnis des flachen Abschnitts zur leitfähiger Schicht weniger als 3% beträgt, ist die Breite des flachen Abschnitts so gering, so dass die Rissverhinderungswirkung geringer ist.
  • Es mag günstig sein, dieses Breitenverhältnis so groß wie möglich auszuführen, doch lässt es sich in Anbetracht dessen, dass die leitfähige Schicht wie später beschrieben durch ein Druckverfahren ausgebildet wird, nur schwer auf 100% bringen.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens ist ein Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers vorgesehen, das folgende Schritte umfasst:
    Anfertigen eines ungesinterten Substrats;
    Aufdrucken einer Metallpaste auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats, um darauf eine leitfähige Schicht zu bilden, wobei die Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C eine Viskosität von 200 ± 50 [Pa·s] hat;
    Ausbilden eines flachen Abschnitts auf einer Oberfläche der aus der Metallpaste gebildeten leitfähigen Schicht;
    Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht auf dem ungesinterten Substrat, so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und
    Sintern des auf diese Weise aufgeschichteten Zwischenprodukts.
  • Bei diesem Verfahren wird der flache Abschnitt durch das Aufbringen der Metallpaste auch an dem vorstehenden vorderen Endabschnitt der leitfähigen Schicht ausgebildet und stößt dieser flache Abschnitt während der Herstellung des Zwischenprodukts gegen die ungesinterte Schichtungslage. Dadurch kann verhindert werden, dass auf das ungesinterte Substrat und die ungesinterte Schichtungslage eine zu große lokale Belastung aufgebracht wird, so dass verhindert wird, dass in dem ungesinterten Substrat und der ungesinterten Schichtungslage Risse auftreten.
  • Falls die Viskosität der Metallpaste bei 20°C geringer als 200 ± 50 [Pa·s] ist, besteht die Gefahr, dass sich aufgrund zu geringer Viskosität nicht die beabsichtigte leitfähige Schicht bildet, während dann, wenn die Viskosität der Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C mehr als 200 ± 50 [Pa·s] beträgt, die Gefahr besteht, dass der ausgebildete flache Abschnitt eine zu geringe Breite hat und sich daher nicht die gewünschte Rissverhinderungswirkung erzielen lässt.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers vorgesehen, das die Schritte umfasst:
    Anfertigen eines ungesinterten Substrats;
    Aufdrucken einer Metallpaste auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats für eine leitfähige Schicht;
    Trocknen der Metallpaste, um die leitfähige Schicht auszubilden;
    Ausbilden eines flachen Abschnitts durch Druckbeaufschlagung der leitfähigen Schicht, so dass der flache Abschnitt eine Breite von mehr als 3% der Breite der leitfähigen Schicht hat;
    Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht auf dem ungesinterten Substrat, so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und
    Sintern des auf diese Weise aufgeschichteten Zwischenprodukts.
  • Bei diesem Verfahren wird durch das Aufbringen der Metallpaste der ein vorbestimmtes Breitenverhältnis aufweisende flache Abschnitt auch an dem vorspringenden vorderen Endabschnitt der leitfähigen Schicht ausgebildet und stößt dieser flache Abschnitt während der Herstellung des Zwischenprodukts gegen die ungesinterte Schichtungslage. Dadurch wird verhindert, dass auf das ungesinterte Substrat und die ungesinterte Schichtungslage eine zu große lokale Belastung aufgebracht wird, so dass verhindert wird, dass in dem ungesinterten Substrat und der ungesinterten Schichtungslage Risse auftreten.
  • Bei diesem Herstellungsverfahren kann die leitfähige Schicht einen Wärmeerzeugungsabschnitt und einen Leitungsabschnitt umfassen, der zur Verbindung des Wärmeerzeugungsabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dient, während das Substrat eine mit einer leitfähigen Schicht versehene Heizkörperlage umfassen kann.
  • Die leitfähige Schicht kann eine Elektrode und einen Leitungsabschnitt umfassen, der zur Verbindung der Elektrode mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dient, während das Substrat eine mit einem Paar leitfähiger Schichten versehene und eine elektrochemische Zelle bildende Festelektrolytlage umfassen kann.
  • In den obigen Ausführungsbeispielen für das Herstellungsverfahren des Gasmessfühlers entsprechen das ungesinterte Substrat und die ungesinterte Schichtungslage dem Substrat und der Lage vor dem Sintern und wird die Breite des flachen Abschnitts in der zur Längsrichtung des Substrats, in der die leitfähige Schicht verläuft, senkrechten Richtung ausgebildet. Davon abgesehen ist die leitfähige Schicht eine mit einer Metallschicht ausgebildete Schicht, die elektrisch leiten kann. Die Metallpaste kann aus einem oder mehreren Edelmetallen wie Au, Pt, Pd oder Rh, einem Harz und einem Lösungsmittel gebildet werden, die miteinander vermischt werden. Die leitfähige Schicht kann durch Trocknen des Lösungsmittels in der Metallpaste ausgebildet werden.
  • Die Erfindung wird nun genauer anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen des Gasmessfühlers und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
  • 1 in Schnittansicht einen Gasmessfühler gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 2 eine auseinander gezogene Perspektivansicht des Gasmessfühlers von 1;
  • 3 eine Schnittansicht entlang der Linie III-III in 1, in der ein Stützbauteil Elektroden bedeckt;
  • 4 eine mit 3 vergleichbare Ansicht, in der das Stützbauteil jedoch die Elektroden nicht bedeckt;
  • 5 eine mit 3 vergleichbare Ansicht mit mehreren rechteckigen Stützbauteilen;
  • 6 eine mit 3 vergleichbare Ansicht mit mehreren elliptischen Stützbauteilen;
  • 7 eine mit 3 vergleichbare Ansicht mit mehreren kreisförmigen Stützbauteilen;
  • 8 eine mit 3 vergleichbare Ansicht mit mehreren zickzackförmig angeordneten Stützbauteilen;
  • 9 einen Teilschnitt entlang der Linie I-I in 1, die das Verhältnis der Querschnittsflächen des Stützbauteile und einer Gasmesskammer zeigt;
  • 10 eine grafische Darstellung mit einem Zusammenhang zwischen Zeitdauer und NOx-Konzentration;
  • 11 in einer 1 entsprechenden Schnittansicht ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Gasmessfühlers;
  • 12 eine Schnittansicht entlang der Linie XII-XII in 11, die den Ausbildungszustand eines Stützbauteils gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel darstellt;
  • 13 in einer 1 entsprechenden Schnittansicht ein erfindungsgemäßes drittes Ausführungsbeispiel eines Gasmessfühlers;
  • 14 eine Schnittansicht entlang der Linie XIV-XIV in 13, die den Ausbildungszustand eines Stützbauteils gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel veranschaulicht;
  • 15 in einer Schnittansicht einen gemäß einem erfindungsgemäßen (ersten) Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens hergestellten Gasmessfühler;
  • 16 eine auseinander gezogene Perspektivansicht des Gasmessfühlers von 15 vor einer Sinterbehandlung;
  • 17 in Draufsicht einen Zustand, in dem auf einer Oberfläche einer ungesinterten Heizkörperlage des Gasmessfühlers von 15 (16) eine leitfähige Schicht ausgebildet ist;
  • 18 eine Schnittansicht entlang der Linie XVIII-XVIII in 17, die in Vergrößerung die leitfähige Schicht als Erwärmungsabschnitt zeigt;
  • 19 eine Schnittansicht, die in Vergrößerung die leitfähige Schicht von 15 (16) als Leitungsabschnitt zeigt;
  • 20 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem auf der Oberfläche einer leitfähigen Schicht, die auf einer ungesinterten Heizkörperlage des in 15 (16) gezeigten Ausführungsbeispiels ausgebildet ist, ein Bindemittel aufgebracht ist;
  • 21 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem auf der Oberfläche einer leitfähigen Schicht, die auf einer ungesinterten Festelektrolytlage des in 15 (16) gezeigten Ausführungsbeispiels ausgebildet ist, ein Bindemittel aufgebracht ist;
  • 22 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem auf der Oberfläche einer leitfähigen Schicht, die auf einer ungesinterten Heizkörperlage des in 15 (16) gezeigten Ausführungsbeispiels ausgebildet ist, eine ungesinterte Abdecklage aufgeschichtet ist;
  • 23 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem auf beiden Oberflächen einer leitfähigen Schicht, die auf einer ungesinterten Festelektrolytlage des in 15 (16) gezeigten Ausführungsbeispiels ausgebildet ist, ungesinterte Abstandshalter aufgebracht ist;
  • 24 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens eine Metallpaste durch Siebdruck auf einer Oberfläche einer ungesinterten Heizkörperlage aufgebracht wurde und dann getrocknet wird, um eine leitfähige Schicht mit kreisförmigem Querschnitt zu bilden;
  • 25 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens eine Metallpaste durch Siebdruck auf eine Oberfläche einer ungesinterten Festelektrolytlage aufgebracht wurde und dann getrocknet wird, um eine leitfähige Schicht mit kreisförmigem Querschnitt zu bilden;
  • 26 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens eine Metallpaste durch Siebdruck auf eine Oberfläche einer ungesinterten Festelektrolytlage aufgebracht wurde und dann getrocknet wird, um eine leitfähige Schicht mit kreisförmigem Querschnitt zu bilden;
  • 27 eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens eine leitfähige Schicht der ungesinterten Festelektrolytlage durch Pressen mit Druck beaufschlagt wird;
  • 28 in Schnittansicht einen Gasmessfühler, der gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen (zweiten) Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens hergestellt wurde;
  • 29 in Schnittansicht einen Gasmessfühler, der gemäß einem weiteren erfindungsgemäßen (dritten) Ausführungs beispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens hergestellt wurde;
  • 30 in einer mit 1 vergleichbaren Schnittansicht einen herkömmlichen Gasmessfühler;
  • 31 eine Draufsicht auf den Gasmessfühler von 30;
  • 32 eine Schnittansicht des Gasmessfühlers von 30 entlang der Linie XXX-XXX;
  • 33 eine Draufsicht auf einen Heizkörperabschnitt des Gasmessfühlers von 30, in dem Risse entstanden sind; und
  • 34 eine Schnittansicht entlang der Linie XXXIV-XXXIV in 33.
  • Erstes Ausführungsbeispiel
  • Unter Bezugnahme auf die 1 bis 10 wird nun ein erstes Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlers beschrieben.
  • In diesem Ausführungsbeispiel stellt der Gasmessfühler (oder einfach nur Messfühler) 1 einen Sensor zur Erfassung der NOx-Konzentration im Abgas eines Kraftfahrzeugmotors als dem zu messenden Gas dar.
  • Wie in den 1 und 2 gezeigt ist, ist der Gasmessfühler 1 mit Gasmesskammern 11 und 12, mit einer Pumpzelle 2, mit einer Überwachungszelle 3, mit einer Sensorzelle 4 und mit einem Heizkörper 19 versehen. Die Gasmesskammern 11 und 12 haben jeweils einen Aufbau, in dem das zu messende Gas (das zur Erleichterung des Verständnisses auch einfach nur Messgas genannt werden kann) unter einem vorbestimmten Diffusionswiderstand eingeleitet werden kann.
  • Die Pumpzelle 2 umfasst eine Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 16 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 16 ausgebildeter Elektroden 21 und 22. Die eine Elektrode 21 befindet sich in der Gasmesskammer 11 und die andere Elektrode 22 in einer Bezugsgaskammer 121.
  • In die Gasmesskammer 11 wird über eine poröse Lage 131 und einen Gaseinlass 101 ein Abgas von einem Motor eingeleitet. Die Pumpzelle 2 dient dazu, die Sauerstoffkonzentration in dem in die Gasmesskammer 11 eingeleiteten Abgas durch Aufbringen einer Spannung auf die beiden Elektroden 21 und 22 zu regulieren bzw. zu steuern. Das Abgas, das der Sauerstoffkonzentrationssteuerung unterzogen wurde, wird danach von der Gasmesskammer 11 über einen Diffusionswiderstandsdurchlass 102 in die andere Gasmesskammer 112 eingeleitet.
  • Ferner umfasst die Überwachungszelle 3 eine Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 14 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 14 ausgebildeter Elektroden 31 und 32. Die eine Elektrode 31 befindet sich innerhalb einer Bezugsgaskammer 122, in die Außenluft eingeleitet wird, und die andere Elektrode 32 innerhalb der Gasmesskammer 12.
  • Die Überwachungszelle 3 dient dazu, einen durch die beiden Elektroden 31 und 32 hindurchgehenden Sauerstoffionenstrom zu messen, der aufgrund der unterschiedlichen Sauerstoffkonzentration in der Gasmesskammer 12 und der Bezugsgaskammer 122 hervorgerufen wird, um dadurch die Sauerstoffkonzentration in der Gasmesskammer 12 zu erfassen. Dann wird entsprechend dem erfassten Sauerstoffionenstrom die auf die Pumpzelle 2 aufzubringende Spannung reguliert.
  • Die Sensorzelle 4 umfasst die Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 14 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 14 ausgebildeter Elektroden 41 und 42. Die eine Elektrode 41 befindet sich innerhalb der Bezugsgaskammer 122, in die Außenluft eingeleitet wird, und die andere Elektrode 42 innerhalb der Gasmesskammer 12.
  • Die Sensorzelle 4 dient dazu, mit Hilfe der Elektrode 42 das NOx in dem Abgas zu zerlegen und dann die Änderung der Sauerstoffkonzentration, die sich entsprechend der zerlegten NOx-Menge ergibt, als den durch die beiden Elektroden 41 und 42 hindurchgehenden Sauerstoffionenstrom zu messen, um so die NOx-Konzentration zu ermitteln.
  • Darüber hinaus dient der Heizkörper 19 dazu, die Pumpzelle 2, die Überwachungszelle 3 und die Sensorzelle 4 auf ihre vorbestimmten Aktivierungstemperaturen zu erwärmen, weswegen er eine isolierende Heizkörperlage 195, eine isolierende Heizkörperüberzugslage 196 und ein zwischen diesen Heizkörperlagen befindliches Heizelement 191 umfasst. Das Heizelement 191 erzeugt durch Stromleitung zwischen den Heizkörperlagen 195 und 196 Wärme.
  • Der Gasmessfühler 1 dieses Ausführungsbeispiels enthält eine poröse Lage 131, eine Abschirmlage 132, einen die Bezugsgaskammer 122 bildenden Abstandshalter 133, die die Überwachungszelle und die Sensorzelle 4 bildende Festelektrolytlage 14, einen die Gasmesskammern 11 und 12 bildenden Abstandshalter 15, die die Pumpzelle 2 bildende Festelektrolytlage 16, einen die andere Bezugsgaskammer 121 bildenden Abstandshalter 17 und die Heizkörperlage 195, auf der sich die Heizkörperüberzugslage 196 und das Heizelement 191 befinden. Der Gasmessfühler 1 wird durch Übereinanderschichten dieser Lagen und Bauteile in der dargestellten bzw. vorbestimmten Abfolge ausgebildet.
  • Wie in den 1 und 2 gezeigt ist, ist der Abstandshalter 133 so zwischen der die Überwachungszelle 3 und die Sensorzelle 4 bildenden Festelektrolytlage 14 und der der Festelektrolytlage 14 gegenüberliegenden Abschirmlage 132 ausgebildet, dass er die Bezugsgaskammer 122 bildet, in der die Außenluft mit den Elektroden 41 und 42 in Kontakt kommt. Die Abschirmlage 132 und der Abstandshalter 133 sind auf der Seite ausgebildet, auf der die Elektroden 31 und 32 der Festelektrolytlage 14 ausgebildet sind.
  • Wie sich aus 3 ergibt, befindet sich in der Bezugsgaskammer 122 außerdem ein Stützbauteil 51, um in Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlage 14 und der Abschirmlage 132 eine Presskraft abzustützen bzw. zu tragen.
  • Das Stützbauteil 51 stützt einen Abschnitt zwischen der Festelektrolytlage 14 und der Abschirmlage 132 und zwischen den Elektroden 31, 41 und der Abschirmlage 132, um zu verhindern, dass sich diese Abschnitte bzw. Zwischenräume verkleinern. Die Bezugsgaskammer 122 hat in ihrer in 3 gezeigten Längsrichtung L eine lange Abmessung, wobei die Bezugsgaskammer 122 von dem Stützbauteil 51 an ihrem in ihrer zu ihrer Längsrichtung L senkrechten Breitenrichtung W mittleren Abschnitt abgestützt wird. Dementsprechend kann das Stützbauteil 51 den Abschnitt der Abschirmlage 132 abstützen, der sich am ehesten wölbt, d.h. den in Breitenrichtung mittleren Abschnitt.
  • Der Gasmessfühler 1 selbst ist so ausgebildet, dass er eine lange Abmessung hat, wobei die Längsrichtung der Bezugsgaskammer 122 mit der Längsrichtung des Gasmessfühlers 1 übereinstimmt.
  • Wie sich darüber hinaus aus 9 ergibt, beträgt in diesem Ausführungsbeispiel die Querschnittsfläche A des Stützbauteils (Bereich der fetten Strichellinie) in einem zu der Längsrichtung L senkrechten Schnitt etwa 35% der Querschnittsfläche B der Bezugsgaskammer 122 (Bereich der fetten durchgezogenen Linie) in dem zur Längsrichtung L senkrechten Schnitt. Durch diesen Aufbau lässt sich verhindern, dass die Querschnittsfläche des Außenlufteinlasses der Bezugsgaskammer 122 kleiner wird und dass es bei der Messung durch den Gasmessfühler 1 zu einer Verschlechterung der Ansprechzeit für die Erfassung der NOx-Konzentration kommt.
  • Eine solche Verschlechterung des Ansprechverhaltens würde sich als eine Verzögerung bei der Erfassung und als ein Fehler der erfassten Konzentration äußeren. 10 zeigt eine grafische Darstellung mit dem Zusammenhang zwischen der tatsächlichen NOx-Konzentration und der erfassten NOx-Konzentration, in der die Abszissenachse der Zeitdauer und die Ordinatenachse der NOx-Konzentration entspricht.
  • Bei einer Verzögerung der Erfassung zeigt sich die Änderung der erfassten Konzentration, wie in 10 gezeigt ist, bezogen auf die Änderung der tatsächlichen NOx-Konzentration verzögert, wodurch sich das Ansprechverhalten verschlechtert. Andererseits zeigt sich ein Fehler bei der erfassten Konzentration in Form eines Darüberhinausschießens X1 oder Darunterhinausschießens X2, wobei sich das Darüberhinausschießen X1 zu dem Zeitpunkt, an dem sich die tatsächliche NOx-Konzentration ändert, als ein Fall darstellt, bei dem die erfasste NOx-Konzentration einen höheren Wert als die tatsächliche NOx-Konzentration hat, und sich das Darunterhinausschießen X2 als ein Fall darstellt, bei dem die erfasste NOx-Konzentration einen geringeren Wert als die tatsächliche NOx-Konzentration hat. Dadurch wird das Ansprechverhalten schlechter.
  • Wie darüber hinaus in 3 gezeigt ist, befindet sich das Stützbauteil 51 in dem beschriebenen Ausführungsbeispiel auch zwischen den Elektroden 31, 41 und der Abschirmlage 132, und zwar so, dass es die Elektroden 31, 41 bedeckt. Das Stützbauteil 51 kann sich andererseits aber auch zwischen der Festelektrolytlage 14 und der Abschirmlage 132 befinden.
  • Darüber hinaus kann das Stützbauteil 51 in mehrere Abschnitte gegliedert werden, so dass es verschiedene Querschnittsformen hat, etwa eine Rechteckform, eine Ellipsenform oder eine Kreisform, wie jeweils in den 5 bis 7 gezeigt ist. Darüber hinaus sollten die sich auf diese Weise gliedernden Stützabschnitte 51 die Abstützung an den in der Breitenrichtung W mittleren Abschnitten vornehmen.
  • Wie in 8 gezeigt ist, können die Stützabschnitte auch in Zickzackform angeordnet sein. In diesem Beispiel sollten sie, wie in 8 gezeigt ist, die Abstützung an den in der Breitenrichtung W mittleren Abschnitten vornehmen.
  • Wie wiederum 1 zeigt, ist der Abstandshalter 15, der die Gasmesskammer 12 bildet, in der das Abgas nach der Regulierung der Sauerstoffkonzentration mit den Elektroden 32 und 42 in Kontakt kommt, zwischen der die Überwachungszelle 3 und die Sensorzelle 4 bildenden Festelektrolytlage 14 und der Festelektrolytlage 16 ausgebildet, die bezogen auf die Lage 14 an einer zur Abschirmlage 132 entgegengesetzten Stelle gelegen ist. In dieser Gasmesskammer 12 befindet sich ein weiteres Stützbauteil 52, das zum Abstützen (Tragen) der Presskraft in der Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlagen 14 und 16 dient. Dieses Stützbauteil 52 stützt einen Abschnitt zwischen den Festelektrolytlagen 14 und 16 und einen Abschnitt zwischen den Elektroden 32, 42 und der Festelektrolytlage 16, um dadurch zu verhindern, dass sich die Größe bzw. der Abstand zwischen den Festelektrolytlagen 14 und 16 verringert.
  • Wie in 1 gezeigt ist, wird durch den Abstandshalter 15 zwischen den Festelektrolytlagen 14 und 16 auch die Gasmesskammer 11 gebildet, in der das Abgas mit den Elektroden 21 in Kontakt kommt, und befindet sich in dieser Gasmesskammer 11 ein weiteres Stützbauteil 53, um einen Abschnitt zwischen den Festelektrolytlagen 14 und 16 und einen Abschnitt zwischen der Elektrode 21 und der Festelektrolytlage 14 abzustützen. Bei dem auf diese Weise aufgebauten Ausführungsbeispiel wird also auch durch dieses Stützbauteil 53 verhindert, dass sich die Größe zwischen den Festelektrolytlagen 14 und 16 verringert.
  • Darüber hinaus befindet sich zwischen der die Pumpzelle 2 bildenden Festelektrolytlage 16 und der Heizkörperüberzugslage 196, die sich bezogen auf die Lage 16 an einer zur Festelektrolytlage 14 entgegengesetzten Stelle befindet, der Abstandshalter 17, der die Bezugsgaskammer 121 bildet, in der die Außenluft mit den Elektroden 22 in Kontakt kommt. In dieser Bezugsgaskammer 121 befindet sich ein weiteres Stützbauteil 54, um eine Presskraft in der Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlage 16 und der Heizkörperüberzugslage 196 abzustützen. Dieses Stützbauteil 54 stützt einen Abschnitt zwischen der Festelektrolytlage 16 und der Heizkörperüberzugslage 196 und einen Abschnitt zwischen der Elektrode 22 und der Heizkörperüberzugslage 196.
  • Es sollte außerdem erwähnt werden, dass die angesprochenen Stützbauteile 52, 53 und 54 im Wesentlichen die gleiche oder die identische Größe, Form, Querschnittsfläche, Anordnung usw, wie das Stützbauteil 51 haben und dass die Stützbauteile 51 bis 54 dieses Ausführungsbeispiels vorzugsweise aus einem Isoliermaterial wie Aluminiumoxid bestehen.
  • Im Übrigen zeigen die beiden Elektroden 21, 22 der Pumpzelle 2, die beiden Elektroden 31, 32 der Überwachungszelle 3 und die Elektrode 41 der Sensorzelle 4 im Wesentlichen keine Zerlegungsaktivität in Bezug auf NOx. Genauer gesagt bestehen diese Elektroden 21, 22, 31, 32 und 41 aus porösen Cermetelektroden, die als Hauptbestandteile Pt und Au enthalten.
  • Die Elektrode 42 der Sensorzelle 4 hat dagegen in Bezug auf NOx Zerlegungsaktivität. Genauer gesagt besteht diese Elektrode 42 aus einer porösen Cermetelektrode, die als Hauptbestandteile Pt und Rh enthält.
  • Die Festelektrolytlagen 14 und 16 bestehen jeweils aus einer Festelektrolytsubstanz wie Zirconiumoxid oder Ceroxid, die Sauerstoffionenleitfähigkeit besitzt.
  • Darüber hinaus sind die Abschirmlage 132 und die jeweiligen Abstandshalter 133, 15, 17, die Heizkörperlage 195 und die Heizkörperüberzugslage 196 aus einem Isoliermaterial wie Aluminiumoxid gebildet.
  • Bei dem Gasmessfühler 1 des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels befinden sich die Stützbauteile 51 bis 54 in den jeweiligen Gaskammern 122, 12, 11, 121, um die Presskraft in Aufschichtungsrichtung der jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195, 196 und der Abstandshalter 133, 15, 17 abzustützen bzw. zu tragen. Aufgrund dieser Anordnung der Stützbauteile 51 bis 54 können die jeweiligen Lagen 132, 14, 16, 196 bei Aufbringung einer Presskraft in der Aufschichtungsrichtung des Gasmessfühlers 1 daran gehindert werden, sich zu den jeweiligen Gaskammern 122, 12, 11, 121 hin zu wölben oder zu biegen, was eine bessere Festigkeit des Gasmessfühlers ergibt.
  • Während der Herstellung des Gasmessfühlers 1 mit dem oben beschriebenen Aufbau werden die jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195, 196 und die Abstandshalter 133, 15, 17 im aufgeschichteten Zustand mit Druck beaufschlagt und wird gleichzeitig die Presskraft zwischen den jeweiligen Lagen 132, 14, 16, 196 aufgebracht. Dabei kann die Presskraft von den in den jeweiligen Gaskammern 122, 12, 11, 121 gelegenen Stützbauteilen 51 bis 54 abgestützt und die Wölbung der jeweiligen Lagen 132, 14, 16, 196 zu den Gaskammern 122, 12, 11, 121 hin wirksam unterdrückt werden, wodurch das Auftreten von Rissen in diesen Lagen verhindert wird.
  • Darüber hinaus wird nach der oben erwähnten Druckbeaufschlagung die Sinterung durchgeführt, um dadurch den Gasmessfühler 1 herzustellen. Da die jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195, 196 und die jeweiligen Abstands halter 133, 15, 17 in diesem Ausführungsbeispiel aus verschiedenen Materialien oder Substanzen gebildet sind, besteht die Gefahr, dass sich die jeweiligen Lagen 132, 14, 16, 196 während des Sinterns aufgrund einer prozentual unterschiedlichen Wärmeschrumpfung (Kontraktionskoeffizient) zu den Gaskammern 122, 12, 11, 121 hin wölben. Doch auch in diesem Fall kann entsprechend dem Aufbau dieses Ausführungsbeispiels die Wölbung der Lagen durch die Stützbauteile 51 bis 54 unterdrückt werden, was wirksam verhindert, dass sich in den jeweiligen Lagen 132, 14, 16, 196 Risse bilden.
  • Wahlweise können die Abstandshalter 133, 15, 17 auch durch Aufbringen eines Bindemittels oder dergleichen ausgebildet werden, um die Abstandshalter auf den Oberflächen der jeweiligen Lagen 196, 16, 14 auszubilden. Des Weiteren können auch die jeweiligen Stützbauteile 51 bis 54 durch Aufbringen des Bindemittels oder dergleichen ausgebildet werden, um die Stützbauteile auf den Oberflächen der jeweiligen Lagen 196, 16, 14 auszubilden. Bei dieser Abwandlung wird für die zur Ausbildung der Abstandshalter und zur Ausbildung der Stützbauteile dienenden Bindemittel eine Aluminiumoxidpaste verwendet, die durch Verkneten feinen Aluminiumoxidpulvers und eines Lösungsmittels, in der ein Binder gelöst ist, erzielt wird. Als Binder kann beispielsweise Polyvinylalkohol und als Lösungsmittel Terpineol verwendet werden. Das Bindemittel kann auch ein Haftvermittler sein.
  • Als eine Abwandlung können darüber hinaus auch mit den Gaskammern 122, 12, 11, 121 ausgebildete Abstandshalter 133, 15, 17 verwendet werden, die zuvor in die Form der jeweiligen Gaskammern geschnitten wurden. Es können auch Stützbauteile 51 bis 54 verwendet werden, die zuvor in ihre jeweilige Form gebracht wurden. In diesem Fall würden die jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195, 196 und die Abstandshalter 133, 15, 17 mittels eines Haftvermittlers oder dergleichen miteinander verbunden werden.
  • Bei dieser Abwandlung wird für die zur Ausbildung der Abstandshalter und zur Ausbildung der Stützbauteile dienenden Haftvermittler ebenfalls eine Aluminiumoxidpaste verwendet, die durch Verkneten feinen Aluminiumoxidpulvers und eines Lösungsmittels, in dem ein Binder gelöst ist, erzielt wird. Als Binder kann beispielsweise Polyvinylalkohol und als Lösungsmittel Terpineol verwendet werden.
  • In dem obigen Fall können die jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195, 196 und die Abstandshalter 133, 15, 17 miteinander auch ohne Verwendung eines Bindemittels, also durch das Sintern selbst verbunden werden.
  • Zweites Ausführungsbeispiel
  • Unter Bezugnahme auf die 11 und 12 wird nun ein erfindungsgemäßes zweites Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlers beschrieben.
  • Dieses zweite Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel in erster Linie im Hinblick auf die Anordnung der Stützbauteile 71 bis 74.
  • Der Gasmessfühler 10 dieses zweiten Ausführungsbeispiels ist, wie in den 11 und 12 gezeigt ist, mit Gasmesskammern 61, 610 und 62, einer ersten Pumpzelle 2 und einer zweiten Pumpzelle 200, einer Überwachungszelle 3, einer Sensorzelle 4 und einem Heizkörper 19 versehen.
  • Der Gasmessfühler 10 dieses Ausführungsbeispiels ergibt sich durch Aufeinanderschichten einer die erste Pumpzelle 2 bildenden Festelektrolytlage 64, eines die Gasmesskammern 61, 610, 62 bildenden Abstandshalters 65, einer die zweite Pumpzelle 200, die Überwachungszelle 3 und die Sensorzelle 4 bildenden Festelektrolytlage 66, eines eine Bezugsgaskammer 63 bildenden Abstandshalters 67 und eines eine Heizkörperabdecklage 196 und eine Heizkörperlage 195 enthaltenden Heizkörperabschnitts 19.
  • Die erste Pumpzelle 2 umfasst eine Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 64 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 64 ausgebildeter Elektroden 21 und 22. Die eine Elektrode 21 ist der Außenluft ausgesetzt, während sich die andere Elektrode 22 innerhalb einer Bezugsgaskammer 61 befindet.
  • In die Gasmesskammer 61 wird über einen Gaseinlass 611 ein Abgas von einem Motor eingeleitet. Die erste Pumpzelle 2 dient dazu, die Sauerstoffkonzentration in dem in die Gasmesskammer 61 eingeleiteten Abgas durch Aufbringen einer Spannung auf die beiden Elektroden 21 und 22 zu regulieren bzw, zu steuern. Das der Sauerstoffkonzentrationssteuerung unterzogene Abgas wird danach über einen Diffusionswiderstandsdurchlass 612 von der Gasmesskammer 61 in die andere Gasmesskammer 610 eingeleitet.
  • Ferner umfasst die Überwachungszelle 3 dieses zweiten Ausführungsbeispiels eine Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 66 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 66 ausgebildeter Elektroden 31 und 32. Die eine Elektrode 31 befindet sich in der Gasmesskammer 61 und die andere Elektrode 32 in der Bezugsgaskammer 63, in die die Außenluft eingeleitet wird.
  • Die Überwachungszelle 3 dient dazu, eine elektromotorische Kraft zu messen, die zwischen den beiden Elektroden 31 und 32 aufgrund der unterschiedlichen Sauerstoffkonzentration in der Gasmesskammer 61 und der Bezugsgaskammer 63 hervorgerufen wird, um dadurch die Sauerstoffkonzentration in der Gasmesskammer 61 zu erfassen. Dann wird entsprechend der erfassten elektromotorischen Kraft die auf die Pumpzelle 2 aufgebrachte Spannung reguliert.
  • Die zweite Pumpzelle 200 setzt sich aus einer Sauerstoffionen leitenden Festelektrolytschicht 66 und einem Paar auf der Oberfläche der Lage 66 ausgebildeter Elektroden 251 und 252 zusammen. Die eine Elektrode 251 befindet sich in einer Gasmesskammer 610 und die andere Elektrode 252 in einer Bezugsgaskammer 63.
  • Die zweite Pumpzelle 200 dieses Ausführungsbeispiels dient dazu, die Sauerstoffkonzentration in dem in die Gasmesskammer 610 eingeleiteten Abgas durch Aufbringen einer Spannung auf die beiden Elektroden 251 und 252 zu regulieren bzw. zu steuern. Das der Sauerstoffkonzentrationssteuerung unterzogene Abgas wird dann über einen Diffusionswiderstandsdurchlass 613 von der Gasmesskammer 610 in die andere Gasmesskammer 62 eingeleitet.
  • Die Überwachungszelle 3 dieses Ausführungsbeispiels umfasst die Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 66 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 66 ausgebildeter Elektroden 41 und 42. Die eine Elektrode 41 befindet sich in der Gasmesskammer 62 und die andere Elektrode in der Bezugsgaskammer 63, in die die Außenluft eingeleitet wird.
  • Die Sensorzelle 4 dient dazu, mit Hilfe der Elektrode 41 das NOx in dem Abgas zu zerlegen und dann die Änderung der Sauerstoffkonzentration, die sich entsprechend der zerlegten NOx-Menge ergibt, als einen durch die beiden Elektroden 41 und 42 hindurchgehenden Sauerstoffionenstrom zu messen, um so die NOx-Konzentration zu ermitteln.
  • Der Heizkörper 19 stimmt mit dem des ersten Ausführungsbeispiels überein.
  • In den Gasmesskammern 61, 610, 62 befinden sich Stützbauteile 71 bis 73, die Abschnitte zwischen den jeweiligen Festelektrolytlagen 64 und 66 abstützen. Entsprechend der Stellung dieser Stützbauteile 71 bis 73 können die jeweiligen Festelektrolytlagen 64 und 66 daran gehindert werden, sich zu den Gasmesskammern 61, 610 bzw. 62 hin zu wölben, wodurch die Entstehung von Rissen in den jeweiligen Lagen 64 und 66 wirksam verhindert werden kann.
  • Darüber hinaus kann in der Bezugsgaskammer 63 ein weiteres Stützbauteil 74 angeordnet sein, um einen Abschnitt zwischen der Festelektrolytlage 66 und der Heizkörperabdecklage 196 abzustützen. Entsprechend der Anordnung dieses Stützbauteils 74 können die jeweiligen Festelektrolytlagen 66 und 196 daran gehindert werden, sich zu der Bezugsgaskammer 63 hin zu wölben, weswegen die Entstehung von Rissen in den jeweiligen Lagen 66 und 196 wirksam verhindert werden kann.
  • Der Aufbau oder die Anordnung dieses zweiten Ausführungsbeispiels und die dadurch erzielten Vorteile sind ansonsten im Wesentlichen die gleichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel oder sind mit ihnen identisch.
  • Drittes Ausführungsbeispiel
  • Unter Bezugnahme auf die 13 und 14 wird nun ein erfindungsgemäßes drittes Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlers beschrieben.
  • Dieses dritte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel hauptsächlich im Hinblick auf die Anordnung der Stützbauteile 75 bis 77.
  • Der Gasmessfühler 100 dieses dritten Ausführungsbeispiels ist, wie in den 13 und 14 gezeigt ist, mit Gasmesskammern 81 und 82, einer ersten Pumpzelle 2 und einer zweiten Pumpzelle 200, einer Überwachungszelle 3, einer Sensorzelle 4 und einem Heizkörper 19 versehen.
  • Der Gasmessfühler 100 dieses Ausführungsbeispiels ergibt sich durch Aufeinanderschichten einer die erste Pumpzelle 2 bildenden Festelektrolytlage 84, eines die Gasmesskammern 81, 82 bildenden Abstandshalters 85, einer die zweite Pumpzelle 200, die Überwachungszelle 3 und die Sensorzelle 4 bildenden Festelektrolytlage 86, eines eine Bezugsgaskammer 83 bildenden Abstandshalters 87 und eines eine Heizkörperabdecklage 196 und eine Heizkörperlage 195 enthaltenden Heizkörperabschnitts 19.
  • Die erste Pumpzelle 2 dieses Ausführungsbeispiels umfasst die Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 84 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 84 ausgebildeter Elektroden 21 und 22. Die eine Elektrode 21 ist der Außenluft ausgesetzt und die andere Elektrode 22 befindet sich in der Gasmesskammer 81.
  • In die Gasmesskammer 81 wird über einen Gaseinlass 811 ein Abgas von einem Motor eingeleitet. Die erste Pumpzelle 2 dient dazu, die Sauerstoffkonzentration in dem in die Gasmesskammer 81 eingeleiteten Abgas durch Anlegen einer Spannung auf die beiden Elektroden 21 und 22 zu regulieren bzw. zu steuern. Das der Sauerstoffkonzentrationssteuerung unterzogene Abgas wird dann über einen Diffusionswiderstandsdurchlass 812 von der Gasmesskammer 81 in die andere Gasmesskammer 82 eingeleitet.
  • Ferner umfasst die Überwachungszelle 3 dieses dritten Ausführungsbeispiels eine Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 86 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 86 ausgebildeter Elektroden 31 und 32. Die eine Elektrode 31 befindet sich in der Gasmesskammer 81 und die andere Elektrode 32 in der Bezugsgaskammer 83, in die die Außenluft eingeleitet wird. Die Elektrode 32 wird wie nachstehend erwähnt als Elektrode für die zweite Pumpzelle 200 und die Sensorzelle 4 genutzt.
  • Die Überwachungszelle 3 dieses Ausführungsbeispiels dient dazu, eine elektromotorische Kraft zu messen, die zwischen den beiden Elektroden 31 und 32 aufgrund der unterschiedlichen Sauerstoffkonzentrationen in der Gasmesskammer 81 und der Bezugsgaskammer 83 hervorgerufen wird, um dadurch die Sauerstoffkonzentration in der Gasmesskammer 81 zu erfassen. Dann wird entsprechend der erfassten elektromotorischen Kraft die auf die Pumpzelle 2 aufgebrachte Spannung reguliert.
  • Die zweite Pumpzelle 200 setzt sich aus einer Elektrode 251, die sich auf der Oberfläche der Sauerstoffionen leitenden Festelektrolytlage 84 befindet, einem Sauerstoffionen leitenden Abstandshalter 85, der Festelektrolytlage 86, einer sich auf der Oberfläche der Lage 86 befindenden Elektrode 253 und der Elektrode 32 zusammen. Die Elektroden 251 und 253 befinden sich innerhalb der Gasmesskammer 81.
  • Die zweite Pumpzelle 200 reguliert die Sauerstoffkonzentration in dem in die Gasmesskammer 82 eingeleiteten Abgas, indem sie auf die beiden Elektroden 251 und 32 eine Spannung aufbringt.
  • Die Sensorzelle 4 dieses Ausführungsbeispiels umfasst die Sauerstoffionen leitende Festelektrolytlage 86 und ein Paar auf der Oberfläche der Lage 86 ausgebildeter Elektroden 41 und 32. Die eine Elektrode 41 befindet sich in der Gasmesskammer 82.
  • Die Sensorzelle 4 dieses Ausführungsbeispiels dient dazu, mit Hilfe der Elektrode 41 das NOx in dem Abgas zu zerlegen und dann die Änderung der Sauerstoffkonzentration, die sich entsprechend der zerlegten NOx-Menge ergibt, als einen durch die beiden Elektroden 41 und 42 hindurchgehenden Sauerstoffionenstrom zu messen, um so die NOx-Konzentration zu ermitteln.
  • Der Heizkörper 19 stimmt mit dem des ersten Ausführungsbeispiels überein.
  • In den Gasmesskammern 81, 82 befinden sich Stützbauteile 75 und 76, die Abschnitte zwischen den jeweiligen Festelektrolytlagen 84 und 86 abstützen. Entsprechend der Anordnung dieser Stützbauteile 75 und 76 können die jeweiligen Festelektrolytlagen 84 und 86 daran gehindert werden, sich zu der Gasmesskammer 81 bzw. 82 hin zu wölben, wodurch die Entstehung von Rissen in den jeweiligen Lagen 84 und 86 wirksam verhindert werden kann.
  • Darüber hinaus kann ein weiteres Stützbauteil 77 in der Bezugsgaskammer 83 angeordnet ein, um einen Abschnitt zwischen der Festelektrolytlage 86 und der Heizkörperabdecklage 196 abzustützen. Entsprechend der Anordnung dieses Stützbauteils können die jeweiligen Festelektrolytlagen 86 und 196 daran gehindert werden, sich zu der Bezugsgaskammer 83 hin zu wölben, wodurch die Entstehung von Rissen in den jeweiligen Lagen 86 und 196 wirksam verhindert werden kann.
  • Der Aufbau und die Anordnung dieses dritten Ausführungsbeispiels und die dadurch erzielten Vorteile sind im Wesentlichen die gleichen wie bei dem ersten oder zweiten Ausführungsbeispiel oder sind mit diesen identisch.
  • Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf den Gasmessfühler 1A in den 15 und 16 ein Verfahren zur Herstellung eines (Gas-)Messfühlers mit dem oben genannten Aufbau beschrieben, der mit dem in den 1 und 2 vergleichbar ist. Dementsprechend tragen die gleichen oder entsprechende Bauteile oder Abschnitte in den 15 und 16 die gleichen Bezugszahlen wie in den 1 und 2 und wurde der sich wiederholende Teil der Erläuterungen weggelassen.
  • Wie sich aus den 15 und 16 ergibt, wird die Pumpzelle 2 gebildet, indem auf beide Oberflächen der Festelektrolytlage 16 leitfähige Schichten 20 aufgedruckt werden. Die leitfähigen Schichten 20 setzen sich aus einem Paar Elektroden 21, 22 als Elektrodenabschnitt, einem Paar Anschlüsse 212, 222 als ein zur Verbindung der Elektroden 21 und 22 mit externen Bauteilen des Gasmessfühlers 1A dienender Anschlussabschnitt und einem Paar Leitungen 211, 221 als ein zur Verbindung des Elektrodenabschnitts und des Anschlussabschnitts dienender Leitungsabschnitt zusammen.
  • Die Überwachungszelle 3 wird ausgebildet, indem auf beide Oberflächen der Festelektrolytlage 14 leitfähige Schichten 30 aufgedruckt werden. Die leitfähigen Schichten 30 setzen sich aus einem Paar Elektroden 31, 32 als Elektrodenabschnitt und einem Paar Leitungen 311, 321 als ein zur Verbindung des Elektrodenabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers 1A dienender Leitungsabschnitt zusammen.
  • Die Sensorzelle 4 wird gebildet, indem auf beide Oberflächen der Festelektrolytlage 14 leitfähige Schichten 40 aufgedruckt werden. Die leitfähige Schicht 40 setzt sich aus einem Paar Elektroden 41, 32 als Elektrodenabschnitt und einem Paar Leitungen 411, 421 als ein zur Verbindung des Elektrodenabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers 1A dienender Leitungsabschnitt zusammen.
  • Auf einer Oberfläche der Heizkörperlage 195 wird durch Aufdrucken eine leitfähige Schicht 190 ausgebildet, die sich aus einem dem Heizelement 191 entsprechenden Heizabschnitt 192 und einem zur Verbindung des Heizabschnitts 192 mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers 1A dienenden Leitungsabschnitt 193 zusammensetzt. Der Heizabschnitt 192 (Heizelement 191) erzeugt Wärme, da seine Querschnittsfläche kleiner als die Querschnittsfläche des Leitungsabschnitts 193 ausgeführt ist.
  • Die leitfähige Schicht kann dabei einen Anschlussabschnitt als einen Verbindungspunkt in der Verbindung des Leitungsabschnitts mit dem externen Bauteil des Gasmessfühlers 1A enthalten. Genauer gesagt enthalten die leitfähigen Schichten 30 in der ungesinterten Festelektrolytlage 140 in 16 Anschlüsse 310 und 410, um die Leitungen 321 und 421 mit den externen Bauteilen des Gasmessfühlers 1A zu verbinden.
  • Darüber hinaus haben die beiden Elektroden 21, 22 der Pumpzelle 2, die beiden Elektroden 31, 32 der Überwachungszelle 3 und die Elektrode 41 der Sensorzelle 4 im Wesentlichen keine Zerlegungsaktivität in Bezug auf NOx. Und zwar bestehen diese Elektroden 21, 22, 31, 32 und 41 aus porösen Cermetelektroden, die als Hauptbestandteile Pt und Au enthalten.
  • Im Gegensatz dazu zeigt die Elektrode 42 der Sensorzelle 4 in Bezug auf NOx Zerlegungsaktivität. Und zwar besteht diese Elektrode 42 aus einer porösen Cermetelektrode, die als Hauptbestandteile Pt und Rh enthält.
  • Die Festelektrolytlagen 14 und 16 bestehen jeweils aus einer Festelektrolytsubstanz wie Zirconiumoxid oder Ceroxid, die Sauerstoffionenleitfähigkeit besitzt. Darüber hinaus sind die Abschirmlage 132, die jeweiligen Abstandshalter 133, 15, 17, die Heizkörperlage 195 und die Heizkörperabdecklage (Überzugslage 196) aus einem isolierenden Material wie Aluminiumoxid gebildet.
  • Das erfindungsgemäße Gasmessfühlerherstellungsverfahren wird nun genauer anhand der folgenden bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben.
  • Ausführungsbeispiel 1
  • Bei diesem anhand von Versuchen ermittelten Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens wird eine leitfähige Schicht durch die Schritte Drucken und Ausbilden eines flachen Abschnitts gebildet.
  • Und zwar wird, wie in 17 gezeigt ist, in den Schritten Drucken und Ausbilden des flachen Abschnitts die leitfähige Schicht 190 vor dem Sintern durch Siebdruck auf einer Oberfläche der Heizkörperlage 195 ausgebildet, die hier als ungesinterte Heizkörperlage 1950 bezeichnet ist. Beim Siebdruck wird eine Metallpaste benutzt, um die leitfähige Schicht 190 auszubilden, wobei für diese Metallpaste eine Paste verwendet werden sollte, die bei einer Temperatur von 20°C eine Viskosität von 200 ± 50 [Pa·s] hat.
  • Als Beispiele für eine solche Metallpaste lassen sich Pt, organisches Bindemittel, eine durch Verkneten von Aluminiumoxidpulver und Terpineol als Lösungsmittel erzielte Paste nennen. Das Aluminiumoxidpulver kann durch Zirconiumoxidpulver ersetzt werden, während das Pt durch eine Pt und Rh enthaltende oder eine Pt und Au enthaltende Paste ersetzt werden kann.
  • Wenn unter Verwendung einer der oben genannten Pasten der Siebdruck durchgeführt wird, breitet sich die Metallpaste aufgrund ihrer geringen Viskosität flach auf der Oberfläche der ungesinterten Heizkörperlage 1950 aus. Die Metallpaste wird danach getrocknet, um dadurch die leitfähige Schicht 190 zu bilden. Bei diesem Vorgang wird auf der leitfähigen Lage 190, wie in 18 gezeigt ist, ein flacher Abschnitt 199 ausgebildet.
  • 18, die einer vergrößerten Schnittansicht entlang der Linie XVIII-XVIII in 17 entspricht, zeigt einen Abschnitt mit fertig ausgebildeter leitfähiger Schicht in der zur Längsrichtung L der ungesinterten Heizkörperlage 1950 senkrechten Breitenrichtung. Bei diesem Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlerherstellungsverfahrens findet eine Metallpaste Anwendung, die bei einer Temperatur von 20°C eine Viskosität von 190 [Pa·s] hat und beträgt die Breite des flachen Abschnitts 199 der leitfähigen Schicht 190 dadurch bedingt etwa 65% der Breite B der leitfähigen Schicht 190 (A/B × 100 = 65(%)). Dabei steht die Breite B für die Breite der leitfähigen Schicht 190 in der zu der Richtung, in der leitfähige Schicht auf der ungesinterten Heizkörperlage 1950 verläuft, senkrechten Richtung. In diesem Ausführungsbeispiel ist die leitfähige Schicht 190 so ausgebildet, dass sie in Längsrichtung L der ungesinterten Heizkörperlage 1950 verläuft.
  • Darüber hinaus werden bei dem unter Bezug auf die leitfähige Schicht 190 erwähnten Schritt Siebdruck und Ausbilden des flachen Abschnitt leitfähige Schichten 30 und 40 auf beiden Oberflächen einer ungesinterten Festelektrolytlage 140 ausgebildet, die der Festelektrolytlage vor der Sinterung zu der Festelektrolytlage 14 entspricht. Danach werden auf diesen leitfähigen Schichten 30 und 40 flache Abschnitte 301 und 401 ausgebildet.
  • Auf im Wesentlichen die gleiche Weise werden auf beiden Oberflächen einer ungesinterten Festelektrolytlage 160, die der Festelektrolytlage vor der Sinterung zu der Festelektrolytlage 16 entspricht, die leitfähigen Schichten 20 ausgebildet. Danach werden auf den leitfähigen Lagen 20 flache Abschnitte 201 ausgebildet.
  • Die obigen Schritte werden näher anhand von 19 erläutert, die in einem vergrößerten Schnitt einen Abschnitt mit ausgebildeter leitfähiger Schicht in der zur Längsrichtung L der ungesinterten Festelektrolytlagen 140 und 160 senkrechten Breitenrichtung zeigt. In diesem Ausführungsbeispiel beträgt die Breite A der flachen Abschnitte 201, 301 und 401 der leitfähigen Schichten 20, 30 und 40 jeweils etwa 50% der Breite B der leitfähigen Schichten (A/B × 100 = 50(%)).
  • Durch den Siebdruckschritt werden also auf der ungesinterten Heizkörperlage 1950 die leitfähige Schicht 190 und auf den ungesinterten Festelektrolytlagen 140 und 160 die leitfähigen Schichten 30, 40, 20 ausgebildet.
  • Danach wird, wie in 16 gezeigt ist, in einem Aufschichtungsschritt auf die leitfähige Schicht 190 der ungesinterten Heizkörperlage 1960 eine ungesinterte Heizkörperabdecklage (Überzugslage) 1960 aufgebracht. Dann wird auf die Oberfläche der ungesinterten Heizkörperlage 1960 ein ungesinterter Abstandshalter 170 aufgebracht, der dem Abstandshalter vor dem Sintern zu dem Abstandshalter 17 entspricht, während dann auf den ungesinterten Abstandshalter 170 als ungesintertes Substrat eine ungesinterte Festelektrolytlage 160 aufgebracht wird.
  • Darüber hinaus wird, wie in 16 gezeigt ist, auf die Oberfläche der ungesinterten Festelektrolytlage 160 ein ungesinterter Abstandshalter 150 als ungesinterte Schichtungslage aufgebracht und wird dann auf der Oberfläche dieses ungesinterten Abstandshalters 150 die ungesinterte Festelektrolytlage 140 als ungesintertes Substrat zum Überlappen gebracht. Des Weiteren werden auf die Oberfläche der ungesinterten Festelektrolytlage 140 eine ungesinterte poröse Lage 1310 und ein ungesinterter Abstandshalter 1330 als ungesinterte Schichtungslagen aufgebracht und wird auf der Oberfläche des ungesinterten Abstandshalters 1330 eine ungesinterte Abschirmlage 1320 zum Überlappen gebracht.
  • Wie aus dem Vorstehenden hervorgeht, entsprechen die ungesinterten Abstandshalter 1310, 150 und 170 den Abstandshaltern vor der Sinterung zu den Abstandshaltern 131, 15 und 17, während die ungesinterte poröse Lage 1310 und die ungesinterte Abschirmlage 1320 den Lagen vor der Sinterung zu der porösen Lage 131 und der Abschirmlage 132 entsprechen.
  • Wie in den 20 und 21 gezeigt ist, wird bei dem oben angesprochenen Vorgang, bei dem die jeweiligen ungesinterten Lagen 310, 1320, 140, 160, 1950 und 1960 und die ungesinterten Abstandshalter 1330, 150 und 170 in Überlappung gebracht werden, jeweils ein Haftvermittler 5 aufgebracht. Dieser Haftvermittler 5 wird durch Verkneten von Aluminiumoxid mit vorzugsweise feiner Teilchengröße, organischem Binder und Lösungsmittel erzielt. Als Haftvermittler 5 kann auch ein Haftvermittler verwendet werden, der durch Verkneten von Zirconiumoxid, organischem Binder und Lösungsmittel erzielt wird. In den Bindern kann als Lösungsmittel Terpineol verwendet werden.
  • Wie in 20 gezeigt ist, wird bei diesem Ausführungsbeispiel der Haftvermittler 5 auf die Oberfläche der ungesinterten Heizkörperlage 1950 seitlich von der leitfähigen Schicht 190 aufgebracht, so dass er mit dem flachen Abschnitt 199 der leitfähigen Schicht 190 im Großen und Ganzen bündig ist. Wie in 21 gezeigt ist, wird der Haftvermittler 5 außerdem auf die Oberflächen der ungesinterten Festelektrolytlagen 140 und 160 auf beiden Seiten der leitfähigen Schichten 30 und 40 aufgebracht, so dass er mit den flachen Abschnitten 301, 401 und 201 der leitfähigen Schichten 30, 40 und 20 im Großen und Ganzen bündig ist.
  • Wie in den 22 und 23 gezeigt ist, werden die jeweiligen ungesinterten Lagen 1310, 1320, 140, 160, 1950 und 1960 und die jeweiligen ungesinterten Abstandshalter 1330, 150, 170 danach als Stapel mit Druck beaufschlagt, so dass sich ein Schichtaufbau und somit ein Zwischenprodukt für den Gasmessfühler 1A ergibt. Wie in 20 gezeigt ist, stößt bei diesem Vorgang die ungesinterte Heizkörperabdecklage 1960 gegen den flachen Oberflächenabschnitt 199 der leitfähigen Schicht 20 und den Haftvermittler 5, die flach auf der Oberfläche der ungesinterten Heizkörperlage 1950 ausgebildet sind.
  • Wie in 23 gezeigt ist, stoßen auch die ungesinterten Abstandshalter 1330 und 150 gegen die flachen Oberflächenabschnitte 301 und 401 der Leitungsabschnitte 311, 321, 411 und 421 und den Haftvermittler 5, die flach auf beiden Seitenflächen der ungesinterten Festelektrolytlage 140 ausgebildet sind, während die Elektroden 31, 32, 41 und 42 der ungesinterten Festelektrolytlage 140 nicht gegen die ungesinterten Abstandshalter 1330 stoßen, da sie innerhalb der Gasmesskammern 11 und 12 angeordnet sind.
  • Die ungesinterten Abstandshalter 150 und 170 stoßen wiederum gegen den flachen Oberflächenabschnitt 201 der Leitungsabschnitte 211 und 221, die wie der Haftvermittler 5 flach auf beiden Seitenflächen der ungesinterten Festelektrolytlage 160 ausgebildet sind, während die Elektroden 21 und 22 der ungesinterten Festelektrolytlage 160 nicht gegen die ungesinterten Abstandshalter 150 und 170 stoßen, da sie innerhalb der Bezugsgaskammer 121 angeordnet sind.
  • Aus den oben genannten Gründen lässt sich zwischen den jeweiligen ungesinterten Lagen 140, 160, 1950 und 1960 und den jeweiligen ungesinterten Abstandshaltern 1330, 150 und 170 eine lokale Belastung vermeiden, so dass die Entstehung von Rissen in diesen ungesinterten Lagen 140, 160, 1950 und 1960 und den ungesinterten Abstandshaltern 1330, 150 und 170 verhindern lässt.
  • Um den Gasmessfühler 1A fertig zu stellen, wird beim Sintervorgang dann als der Schichtaufbau, in dem die oben genannten jeweiligen Lagen und Abstandshalter in der vorgeschriebenen Abfolge übereinander geschichtet sind, das Zwischenprodukt gesintert.
  • Gemäß einer Abwandlung kann der ungesinterte Abstandshalter 1330 im Übrigen auch dadurch gebildet werden, dass auf der Oberfläche der ungesinterten Abschirmlage 1320 oder der ungesinterten Festelektrolytlage 140 ein den Abstandshalter bildender Haftvermittler aufgebracht wird. Auch der ungesinterte Abstandshalter 150 kann gebildet werden, indem auf der Oberfläche der ungesinterten Festelektrolytlage 140 oder 160 ein den Abstandshalter bildender Haftvermittler aufgebracht wird. Darüber hinaus kann auch der ungesinterte Abstandshalter 170 gebildet werden, indem auf der Oberfläche der ungesinterten Festelektrolytlage 160 oder der ungesinterten Heizkörperabdecklage 1160 ein den Abstandshalter bildender Haftvermittler aufgebracht wird. Bei dieser Abwandlung kann als Haftvermittler für den Abstandshalter ein Haftvermittler eingesetzt werden, der die gleiche Zusammensetzung oder die gleichen Bestandteile wie der Haftvermittler 5 hat, oder er kann bei dem zuvor unter Bezugnahme auf das Ausführungsbeispiel des Gasmessfühlers angesprochenen Stützbauteil Anwendung finden.
  • Ausführungsbeispiel 2
  • Im Folgenden wird nun ein anhand von Versuchen ermitteltes erfindungsgemäßes zweites Ausführungsbeispiel des Herstellungsverfahren für den Gasmessfühler 1A beschrieben. Bei diesem Ausführungsbeispiel wurde eine Messung bezüglich des Zusammenhangs zwischen der Viskosität [Pa·s] der in dem obigen Ausführungsbeispiel 1 besprochenen Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C und dem Verhältnis A/B × 100 (%) (Verhältnis der Breite A des flachen Abschnitts 199, 201, 301, 401 zur Breite B der leitfähigen Schicht 190, 20, 30, 40) vorgenommen.
  • Während die Viskosität der Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C zwischen 120 und 280 [Pa·s] geändert wurde, wurde auf den Oberflächen der ungesinterten Heizkörperlage 1950 bzw. der ungesinterten Festelektrolytlagen 140, 160 der Siebdruck durchgeführt und dann das Verhältnis A/B (%)gemessen. Aus dieser Messung ergab sich, dass dann, wenn die Viskosität der Metallpaste bei der Temperatur von 20°C 150 bis 250 [Pa·s] betrug, das Verhältnis A/B × 100 (%) mehr als 3% betrug, wodurch die Entstehung von Rissen verhindert wurde. Als die Viskosität der Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C weniger als 150 [Pa·s] betrug, stellte sich dagegen heraus, dass es wegen der zu geringen Viskosität unmöglich war, die leitfähigen Schichten 190, 20, 30, 40 in die gewünschte Form zu bringen. Als die Viskosität der Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C mehr als 250 [Pa·s] betrug, ließ sich zudem aufgrund der zu geringen Breite der auf den leitfähigen Schichten ausgebildeten flachen Abschnitte 199, 201, 301, 401 kein wirksamer Rissverhinderungseffekt erzielen.
  • Ausführungsbeispiel 3
  • Dieses durch Versuche ermittelte Ausführungsbeispiel entspricht einem Verfahren, bei dem die flachen Abschnitte 199, 201, 301 und 401 nicht mit Hilfe einer Metallpaste geringer Viskosität ausgebildet werden, sondern bei dem die mit Hilfe der Metallpaste durch den Druckvorgang ausgebildeten leitfähigen Schichten 190, 20, 30 und 40 mit Druck beaufschlagt werden. Dabei umfasst der Vorgang zur Ausbildung der leitfähigen Schicht in diesem Ausführungsbeispiel die Schritte Drucken, Trocknen und Ausbilden eines flachen Abschnitts. In dem Druckschritt wird auf der Oberfläche der ungesinterten Heizkörperlage 1950 die Metallpaste aufgedruckt, um die leitfähige Schicht 190 auszubilden. Entsprechend werden auf die Oberflächen der ungesinterten Festelektrolytlagen 140, 160 die Metallpasten zum Ausbilden der leitfähigen Schichten 20, 30, 40 aufgedruckt.
  • In dem Trocknungsschritt werden die oben genannten jeweiligen Metallpasten getrocknet, um dadurch die leitfähigen Schichten 190, 20, 30 und 40 auszubilden. Wie in den 24 und 25 gezeigt ist, haben die ausgebildeten leitfähigen Schichten 190, 20, 30 und 40 in ihrer Breitenrichtung jeweils eine kreisförmige oder kreisbogenförmige Querschnittsform.
  • In dem Schritt Ausbilden des flachen Abschnitts wird dann, wie in 26 gezeigt ist, die leitfähige Schicht 190 mit Druck beaufschlagt, indem die ungesinterte Heizkörperlage 1950 zwischen ein Paar Pressbauteile P1 und P2 einer Presse eingespannt wird. In diesem Schritt wird der vorragende vordere Endabschnitt 198 der kreisbogenförmigen leitfähigen Schicht 190 mit Druck beaufschlagt und dann gequetscht, damit sich der flache Endabschnitt 199 ergibt. Dieser flache Endabschnitt 199 hat eine Breite A, die bezogen auf die Breite B der leitfähigen Schicht 190 mehr als 3% beträgt (A/B × 100 = 3 (%)). In diesem Ausführungsbeispiel wurde der Druck solange aufgebracht, bis das Verhältnis A/B etwa 70 (%) betrug.
  • Wie in 27 gezeigt ist, wurden in dem Schritt Ausbilden des flachen Abschnitts außerdem die leitfähigen Schichten 30, 40 und 20 mit Druck beaufschlagt, indem die ungesinterten Festelektrolytlagen 140 und 160 zwischen einem Paar Pressbauteile P1 und P2 einer Presse eingespannt wurden. In diesem Schritt wurden die vorstehenden vorderen Endabschnitte 202, 302 und 402 der kreisbogenförmigen leitfähigen Schichten 20, 30 und 40 mit Druck beaufschlagt und dann gequetscht, damit sich der flache Endabschnitt 201, 301 bzw. 401 ergab. Bei diesem Ausführungsbeispiel wurde der Druck so lange aufgebracht, bis das Verhältnis A/B etwa 80 (%) betrug.
  • Danach wurden wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel des Verfahrens die Schritte Aufschichten und Sintern durchgeführt, um den Gasmessfühler 1A herzustellen, in dem die jeweiligen Lagen 131, 132, 14, 16, 195 und 196 (nach dem Sinterschritt) und die Abstandshalter 133, 15 und 17 (nach dem Sinterschritt) übereinander geschichtet sind.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel waren die anderen Schritte im Wesentlichen die gleichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel oder identisch mit diesen und konnten im Wesentlichen die gleichen Vorteile erzielt werden.
  • Darüber hinaus sollte angemerkt werden, dass die obigen Ausführungsbeispiele für das Herstellungsverfahren zur Herstellung des Gasmessfühlers 1A zwar im Einzelnen unter Bezugnahme auf die 15 und 16 beschrieben wurden, dieses Verfahren aber auch bei den Gasmessfühlern 10A und 100A der 28 und 29 Anwendung finden kann, die im Großen und Ganzen den Gasmessfühlern 10 und 100 der
  • 11 und 13 entsprechen.
  • Der Gasmessfühler 10A gemäß 28 enthält eine auf der Festelektrolytlage 14 ausgebildete Pumpzelle 2 und eine auf der Festelektrolytlage 16 ausgebildete Überwachungszelle 3 und Sensorzelle 4. Außerdem gibt es eine Hilfspumpzelle 7 mit einem Paar Elektroden 171, 172, die die Sauerstoffkonzentration reguliert.
  • Der Gasmessfühler 100A gemäß 29 enthält eine auf der Festelektrolytlage 14 ausgebildete Pumpzelle 2 und eine auf der Festelektrolytlage 16 ausgebildete Überwachungszelle 3 und Sensorzelle 4. Außerdem gibt es Hilfspumpzellen 7 mit jeweils einem Paar Elektroden 171 und 172, die die Sauerstoffkonzentration regulieren.
  • Im Übrigen ist die Erfindung nicht auf die einzelnen oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt und können weitere Änderungen und Abwandlungen vorgenommen werden, ohne vom Schutzumfang abzuweichen.

Claims (16)

  1. Gasmessfühler (1), mit: einer mit einem Paar Elektroden (31, 32) versehenen und eine elektrochemische Zelle (3) bildenden Festelektrolytlage (14); einer anderen, der Festelektrolytlage (14) gegenüberliegenden Lage (132); einem zwischen diesen Lagen (14, 132) gelegenen Abstandshalter (133), der eine Gaskammer (122) definiert, in der Gas mit einer der Elektroden (31) in Kontakt kommt; und einem in der Gaskammer (122) gelegenen Stützbauteil (51), das eine in Aufschichtungsrichtung der Festelektrolytlage (14) und der anderen Lage (132) aufgebrachte Presskraft abstützt.
  2. Gasmessfühler nach Anspruch 1, bei der die Gaskammer (122) entlang ihrer Längsrichtung (L) eine lange Abmessung hat und das Stützbauteil (51) an einer Stelle angeordnet ist, an der es einen in ihrer zu ihrer Längsrichtung (L) senkrechten Breitenrichtung (B) im Großen und Ganzen mittleren Abschnitt der Gaskammer (122) abstützt.
  3. Gasmessfühler nach Anspruch 1, bei dem das Stützbauteil (51) entlang einer zur Längsrichtung (L) der Gaskammer (122) senkrechten Linie eine Querschnittsfläche hat, die 5 bis 95% der Querschnittsfläche der Gaskammer einnimmt.
  4. Gasmessfühler (1), mit: einer Abschirmlage (132); einer eine Überwachungszelle (3) und eine Sensorzelle (4) bildenden ersten Festelektrolytlage (14); einem zwischen der Abschirmlage (132) und der ersten Festelektrolytlage (14) gelegenen ersten Abstandshalter (133), der eine erste Bezugsgaskammer (122) bildet; einer eine Pumpzelle (2) bildenden zweiten Festelektrolytlage (16); einem zwischen der ersten und zweiten Festelektrolytlage (14, 16) gelegenen zweiten Abstandshalter (15), der eine Gasmesskammer (11, 12) bildet; einer mit einem Heizelement (191) versehenen Heizkörperlage (19); einem zwischen der zweiten Festelektrolytlage (16) und der Heizkörperlage (19) gelegenen dritten Abstandshalter (17), der eine zweite Bezugsgaskammer (121) bildet, wobei die Abschirmlage (132), die erste und zweite Festelektrolytlage (14, 16) und die Heizkörperlage (19) in einer vorbestimmten Abfolge übereinander geschichtet sind; und jeweils in der ersten und zweiten Bezugsgaskammer (122, 121) und der Gasmesskammer (11, 12) gelegenen Stützbauteilen (51 bis 54).
  5. Gasmessfühler (10), mit: einer eine erste Pumpzelle (2) bildenden ersten Festelektrolytlage (64); einer eine zweite Pumpzelle (200), eine Überwachungszelle (3) und eine Sensorzelle (4) bildenden zweiten Festelektrolytlage (66); einem zwischen der ersten und zweiten Festelektrolytlage (64, 66) gelegenen ersten Abstandshalter (65) , der eine Gasmesskammer (61, 610, 62) bildet; einer mit einem Heizelement versehenen Heizkörperlage (19); einem zwischen der zweiten Festelektrolytlage (66) und der Heizkörperlage (19) gelegenen zweiten Abstandshalter (67), der eine Bezugsgaskammer (63) bildet, wobei die erste und zweite Festelektrolytlage (64, 66) und die Heizkörperlage (19) in einer vorbestimmten Abfolge übereinander geschichtet sind; und jeweils in der Bezugsgaskammer (63) und der Gasmesskammer (61, 610, 62) gelegenen Stützbauteilen (71 bis 74).
  6. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers (1A), mit den Schritten: Anfertigen eines ungesinterten Substrats (1950; 140); Ausbilden einer leitfähigen Schicht (190; 30) auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats (1950; 140) und, während die leitfähige Schicht ausgebildet wird, Ausbilden eines flachen Abschnitts (199; 301) auf einer Oberfläche der leitfähigen Schicht, so dass das der flache Abschnitt eine Breite (A) von mehr als 3% der Breite (B) der leitfähigen Schicht hat; Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage (1960; 1330) auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht (190; 30) auf dem ungesinterten Substrat (1950; 140), so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und Sintern des auf diese Weise aufgeschichteten Zwischenprodukts.
  7. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 6, bei dem die leitfähige Schicht (190) einen Wärmeerzeugungsabschnitt (192) und einen zur Verbindung des Wärmeerzeugungsabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (193) umfasst und das Substrat (1950) eine mit einer leitfähigen Schicht versehene Heizkörperlage (19) umfasst.
  8. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 6, bei dem die leitfähige Schicht (30) eine Elektrode (31) und einen zur Verbindung der Elektrode mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (311) umfasst und das Substrat (140) eine mit einem Paar leitfähiger Schichten versehene und eine elektrochemische Zelle (3) bildende Festelektrolytlage (14) umfasst.
  9. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers (1A), mit den Schritten: Anfertigen eines ungesinterten Substrats (1950; 140); Aufdrucken einer Metallpaste auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats (1950; 140), um darauf eine leitfähige Schicht (190; 30) zu bilden, wobei die Metallpaste bei einer Temperatur von 20°C eine Viskosität von 200 ± 50 [Pa·s] hat; Ausbilden eines flachen Abschnitts (199; 301) auf einer Oberfläche der aus der Metallpaste gebildeten leitfähigen Schicht (190; 30); Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage (1960; 1330) auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht (190; 30) auf dem ungesinterten Substrat (1950; 140), so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und Sintern des auf diese Weise aufgeschichteten Zwischenprodukts.
  10. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 9, bei dem die leitfähige Schicht (190) einen Wärmeerzeugungsabschnitt (192) und einen zur Verbindung des Wärmeerzeugungsabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (193) umfasst und das Substrat (1950) eine mit einer leitfähigen Schicht versehene Heizkörperlage (19) umfasst.
  11. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 9, bei dem die leitfähige Schicht (30) eine Elektrode (31) und einen zur Verbindung der Elektrode mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (311) umfasst und das Substrat (140) eine mit einem Paar leitfähiger Schichten versehene und eine elektrochemische Zelle (3) bildende Festelektrolytlage (14) umfasst.
  12. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 9, bei dem die Metallpaste aus mindestens einem der Edelmetalle Au, Pt, Pd und Rh, einem Harz und einem Lösungsmittel besteht.
  13. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers, mit den Schritten: Anfertigen eines ungesinterten Substrats (1950; 140); Aufdrucken einer Metallpaste auf einer Oberfläche des ungesinterten Substrats (1950; 140) für eine leitfähige Schicht (190; 30); Trocknen der Metallpaste, um die leitfähige Schicht (190; 30) auszubilden; Ausbilden eines flachen Abschnitts (199; 301) durch Druckbeaufschlagung der leitfähigen Schicht (190; 30), so dass der flache Abschnitt eine Breite (A) von mehr als 3% der Breite (B) der leitfähigen Schicht hat; Aufschichten einer ungesinterten Schichtungslage (1960; 1330) auf der Oberfläche der leitfähigen Schicht (190; 30) auf dem ungesinterten Substrat (1950; 140), so dass sich ein Zwischenprodukt ergibt; und Sintern des auf diese Weise aufgeschichteten Zwischenprodukts.
  14. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 13, bei dem die leitfähige Schicht (190) einen Wärmeerzeugungsabschnitt (192) und einen zur Verbindung des Wärmeerzeugungsabschnitts mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (193) umfasst und das Substrat (1950) eine mit einer leitfähigen Schicht versehene Heizkörperlage (19) umfasst.
  15. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 13, bei dem die leitfähige Schicht (30) eine Elektrode (31) und einen zur Verbindung der Elektrode mit einem externen Bauteil des Gasmessfühlers dienenden Leitungsabschnitt (311) umfasst und das Substrat (140) eine mit einem Paar leitfähiger Schichten versehene und eine elektrochemische Zelle (3) bildende Festelektrolytlage (14) umfasst.
  16. Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers nach Anspruch 13, bei dem die Metallpaste aus mindestens einem der Edelmetalle Au, Pt, Pd und Rh, einem Harz und einem Lösungsmittel besteht.
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