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Die Erfindung betrifft eine Düsenanordnung, insbesondere
zur Einspritzung eines Fluidstrahls in eine Vakuumkammer, gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
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Es sind Röntgenstrahlungsquellen bekannt, bei
denen ein flüssiges
Targetmaterial mit einer Düsenanordnung
in eine Vakuumkammer eingespritzt und dort durch Laser-Bestrahlung
in einen Plasmazustand versetzt wird, in dem materialspezifische Röntgenfluoreszenzstrahlung
emittiert wird. Hierbei ist es wichtig, dass der eingespritzte Flüssigkeitsstrahl
in der Vakuumkammer möglichst
stabil bleibt, was jedoch bei den bekannten Düsenanordnungen bisher unbefriedigend
war.
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Beispielsweise ist aus
US 4 131 236 eine Düsenanordnung
zur Materialverarbeitung bekannt, wobei diese Düsenanordnung einen Düsenkanal
aufweist, der sich zu der Austrittsöffnung hin verjüngt und
eine konvexe Innenkontur aufweist. Die Verwendung derartiger Düsenanordnungen
zur Einspritzung eines Fluidstrahls in eine Vakuumkammer führt jedoch
zu einem instabilen Fluidstrahl innerhalb der Vakuumkammer.
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Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe
zugrunde, eine Düsenanordnung
zu schaffen, die bei der Einspritzung in eine Vakuumkammer einen
möglichst
stabilen Fluidstrahl erzeugt.
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Diese Aufgabe wird, ausgehend von
der vorstehend beschriebenen bekannten Düsenanordnung gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1, durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs
1 gelöst.
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Die Erfindung geht von der Erkenntnis
aus, dass die Stabilität
des in die Vakuumkammer eingespritzten Flüssigkeitsstrahls durch eine
möglichst
laminare Strömung
innerhalb des Flüssigkeitsstrahls begünstigt wird.
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Die Erfindung umfasst deshalb die
allgemeine technische Lehre, die Düsenanordnung so zu gestalten,
dass die Strömung
an der Austrittsöffnung der
Düsenanordnung
möglichst
laminar ist.
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Die erfindungsgemäße Düsenanordnung weist deshalb
einen Düsenkanal
mit einer mindestens teilweise konkav geformten Innenkontur auf.
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Der im Rahmen der Erfindung verwendete Begriff
einer konkaven Innenkontur ist allgemein zu verstehen und nicht
auf die engere mathematische Bedeutung dieses Begriffs beschränkt. Beispielsweise
kann die Innenkontur des Düsenkanals
bei der erfindungsgemäßen Düsenanordnung
auch einfach nach außen
ausgewölbt
sein.
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In einer bevorzugten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Düsenanordnung
weist der Düsenkanal
jedoch eine parabolische Innenkontur auf, was sich als besonders
vorteilhaft erwiesen hat.
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Vorzugsweise erstreckt sich die konkave bzw.
parabolische Innenkontur des Düsenkanals hierbei
von der Austrittsöffnung
ausgehend entgegen der Strahlrichtung über einen vorgegebenen Bereich. Es
ist also im Rahmen der Erfindung nicht erforderlich, dass sich die
konkave bzw. parabolische Innenkontur des Düsenkanals über die gesamte Länge der Düsenanordnung
erstreckt.
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In einer bevorzugten Ausführungsform
verläuft
der Düsenkanal
in einem Düsenkörper, wobei der
Düsenkörper mindestens
teilweise eine konvexe Außenkontur
aufweist. Auch der im Rahmen der Erfindung verwendete Begriff einer
konvexen Außenkontur
ist allgemein zu verstehen und nicht auf die enge mathematische
Bedeutung dieses Begriffs beschränkt.
Beispielsweise kann der Düsenkörper auch lediglich
eine ballige oder nach außen
gewölbte
Außenkontur aufweisen,
wobei sich die Außenkontur vorzugsweise
in Richtung der Austrittsöffnung
verjüngt.
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Vorzugsweise weist der Düsenkörper jedoch eine
parabolische Außenkontur
auf, was sich bei der Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls in eine Vakuumkammer
als besonders vorteilhaft erwiesen hat.
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Die konvexe bzw. parabolische Außenkontur des
Düsenkörpers erstreckt
sich hierbei vorzugsweise von der Austrittsöffnung ausgehend entgegen der Strahlrichtung über einen
vorgegebenen Bereich. Es ist also im Rahmen der Erfindung nicht
erforderlich, dass sich die konvexe bzw. parabolische Außenkontur
des Düsenkörpers über dessen
Gesamtlänge
erstreckt.
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Vorzugsweise besteht der Düsenkörper aus Quarz,
Saphir, Glas oder einem anderen Dielektrikum. Eine derartige Materialauswahl
für den
Düsenkörper führt vorteilhaft
zu einer langen Lebensdauer, da diese Materialien als Dielektrika
keiner elektrochemischen Korrosion ausgesetzt sind, was insbesondere
bei den eingangs erwähnten
Röntgenstrahlquellen
wichtig ist, die viele Ionen erzeugen. Ein weiterer Vorteil von
Glas als Material für
den Düsenkörper besteht
in der guten Verarbeitungsfähigkeit,
da sich Austrittsöffnungen
mit einem Innendurchmesser von 1 μm
bis 1 mm realisieren lassen.
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Die Erfindung ist jedoch hinsichtlich
des Materials des Düsenkörpers nicht
auf die vorstehend erwähnten
Materialien beschränkt,
sondern lässt
sich beispielsweise auch mit einem Düsenkörper aus Kunststoff realisieren,
sofern der verwendete Kunststoff ausreichend erosionsbeständig und
glatt ist.
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In einer weiteren Variante der Erfindung
besteht der Düsenkörper aus
einem durchsichtigen Material wie beispielsweise Glas. Die Durchsichtigkeit des
Düsenkörpers bietet
hierbei den Vorteil, dass Bläschen
oder Verschmutzungen in dem Düsenkanal durch
eine einfache Sichtkontrolle erkannt werden können, wodurch die Fehlersuche
wesentlich vereinfacht wird.
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Hinsichtlich des Durchmessers der
Austrittsöffnung
der Düsenanordnung
bestehen vielfältige Möglichkeiten,
jedoch liegt der Innendurchmesser der Austrittsöffnung vorzugsweise im Bereich
von 1 μm
bis 0,5 mm, wobei beliebig viele Zwischenwerte möglich sind. Bei der Einspritzung
eines Flüssigkeitsstrahls
in eine Vakuumkammer hat sich ein Innendurchmesser der Austrittsöffnung im
Bereich von 5 μm
bis 0,25 mm als besonders vorteilhaft erwiesen.
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Ferner besteht der Düsenkörper vorzugsweise
aus einem wärmeleitfähigen Material,
um eine Unterkühlung
oder gar ein Einfrieren der Flüssigkeit
in dem Düsenkanal
zu verhindern. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die
erfindungsgemäße Düsenanordnung
zur Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls
in eine Vakuumkammer eingesetzt wird, da dabei aufgrund des Vakuums
Flüssigkeit
verdampft, was aufgrund der damit verbundenen Verdunstungskälte zu einer
Abkühlung
der Flüssigkeit
führt.
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In der bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist der Düsenkörper mit
einer Zuleitung verbunden, wobei zwischen dem Düsenkörper und der Zuleitung eine
Dichtung angeordnet ist. Die Dichtung hat hierbei zum einen die
Funktion, den Übergang zwischen
der Zuleitung und dem Düsenkörper abzudichten.
Zum anderen soll die Dichtung verhindern, dass die relativ harte
Zuleitung direkt auf den ebenfalls relativ harten Düsenkörper stößt, da dies
mit einem erheblichen Verschleiß verbunden
wäre. Die Dichtung
besteht deshalb vorzugsweise aus einem wesentlich weicheren Material
als der Düsenkörper und/oder
die Zuleitung. Beispielsweise kann die Dichtung aus einem Kunststoff
wie Nylon bestehen, jedoch sind auch andere Materialien möglich.
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In der Zuleitung und der Dichtung
verlaufen hierbei ebenfalls Innenkanäle zur Zuführung des einzuspritzenden
Fluids. Die Zuleitung weist hierbei vorzugsweise einen Innenkanal
mit einem Innendurchmesser von 0,1 mm bis 5 mm auf, während der
in der Dichtung angeordnete Innenkanal vorzugsweise einen Innendurchmesser
im Bereich von 0,01 mm bis 5 mm aufweist.
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Zur Erreichung eines möglichst
stabilen Flüssigkeitsstrahls
hat es sich ferner als vorteilhaft erwiesen, wenn sich die Innendurchmesser
der Innenkanäle
in der Zuleitung, der Dichtung und in dem Düsenkanal um weniger als den
Faktor 2 unterscheiden.
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In der bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist ferner eine Schraubverbindung vorgesehen, um die
Zuleitung, die Dichtung und/oder den Düsenkörper miteinander zu verbinden.
Eine derartige Schraubverbindung ermöglicht vorteilhaft eine einfache
Zerlegung der Düsenanordnung
beispielsweise zu Reinigungszwecken.
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Vorzugsweise besteht diese Schraubverbindung
aus einer mit der Zuleitung verschraubbaren Schraubhülse und
einer mit der Schraubhülse
verschraubbaren Schraubkappe. Hierbei weist die Schraubkappe vorzugsweise
einen Ansatz für
ein Werkzeug auf, um die Schraubkappe festzuschrauben.
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Ferner ist zu erwähnen, dass die erfindungsgemäße Düsenanordnung
vorzugsweise eine Druckfestigkeit von mindestens 100 bar aufweist,
da vorzugsweise alle Komponenten einstückig ausgeführt sind und beispielsweise
keine Schweißnähte aufweisen.
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Weiterhin umfasst die Erfindung eine
Vorrichtung mit einer Vakuumkammer und einer Düsenanordnung nach einem der
vorhergehenden Ansprüche
zur Einspritzung eines Fluidstrahls in die Vakuumkammer. Beispielsweise
eignet sich die erfindungsgemäße Düsenanordnung
vorteilhaft zur Einspritzung von Targetmaterial in eine Vakuumkammer einer
Röntgenstrahlquelle,
wie eingangs kurz be schrieben wurde, eines Photoelektronenspektrometers
oder eines Massenspektrometers.
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Zur Erreichung eines stabilen Flüssigkeitsstrahls
in der Vakuumkammer hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die
Vakuumkammer erst dann evakuiert wird, wenn der Flüssigkeitsstrahl
gestartet wurde.
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Darüber hinaus kann es sinnvoll
sein, wenn die erfindungsgemäße Düsenanordnung
thermostatisch beheizt wird, um die bei der Einspritzung eines Fluids
in eine Vakuumkammer entstehende Verdunstungskälte zu kompensieren, ohne den
Flüssigkeitsdampfdruck übermäßig zu erhöhen.
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Andere vorteilhafte Weiterbildungen
der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet und werden
nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der
Erfindung anhand der Figuren näher
erläutert.
Es zeigen:
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1a eine
erfindungsgemäße Düsenanordnung
in einer Querschnittsansicht,
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1b die
Zuleitung der Düsenanordnung aus 1a in einer Querschnittsansicht,
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1c die
Schraubhülse
der Düsenanordnung
aus 1a in einer Querschnittsansicht,
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1d eine
Querschnittsansicht der Dichtung der Düsenanordnung aus 1a,
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1e eine
Querschnittsansicht der Schraubkappe der Düsenanordnung aus 1a,
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1f den
Düsenkörper der
Düsenanordnung
aus 1a,
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1g eine
detaillierte Querschnittsansicht des Düsenkörpers im Bereich der Austrittsöffnung,
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2a ein
alternatives Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäßen Düsenanordnung
in einer Querschnittsdarstellung,
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2b die
Zuleitung der Düsenanordnung aus 2a in einer Querschnittsansicht,
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2c die
Dichtung der Düsenanordnung aus 2a in einer Querschnittsansicht,
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2d die
Schraubkappe der Düsenanordnung
aus 2a in einer Querschnittsansicht,
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2e eine
detaillierte Querschnittsansicht des Düsenkörpers der Düsenanordnung aus 2a sowie
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3 eine
Röntgenstrahlquelle
mit einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung.
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Die in 1a dargestellte
erfindungsgemäße Düsenanordnung 1 besteht
im wesentlichen aus einer Zuleitung 2, einer Dichtung 3,
einer auf die Zuleitung 2 aufgeschraubten Schraubhülse 4,
einer auf die Schraubhülse 4 aufgeschraubten
Schraubkappe 5 sowie einem in die Dichtung 3 eingesetzten
Düsenkörper 6,
der zur Vereinfachung in 1a nicht
dargestellt ist und in den 1f und 1g detailliert gezeigt ist.
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Besonders vorteilhaft eignet sich
die druckdichte Düsenanordnung 1 zur
Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls
in eine Vakuumkammer, da sich mit der Düsenanordnung 1 ein
stabiler Flüssigkeitsstrahl
erzeugen läßt.
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Die Zuleitung 2 ist detailliert
in 1b dargestellt und
weist einen durchgehenden Innenkanal 7 zur Zuführung der
einzuspritzenden Flüssigkeit
auf.
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An ihrem freien Ende weist die Zuleitung 2 einen
Kopf 8 mit einem Außendurchmesser
von 4 mm auf, wobei der Kopf 8 ein Außengewinde trägt, das
im montierten Zustand in ein entsprechend angepasstes Innengewinde 9 in
der Schraubhülse 4 eingreift,
wobei die Schraubhülse 4 detailliert
in 1c dargestellt ist.
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Weiterhin weist der Kopf 8 der
Zuleitung 2 an seiner freien Stirnfläche eine konische Erweiterung des
Innenkanals 7 auf, wobei der Konuswinkel der Erweiterung
90° beträgt.
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Die in 1d detailliert
dargestellte Dichtung 3 weist an ihrer der Zuleitung 2 zugewandten
Seite eine entsprechende konische Verjüngung 10 auf, wobei
der Konuswinkel dieser Verjüngung 10 ebenfalls 90° beträgt. In dem
in 1a dargestellten
montierten Zustand ruht die Verjüngung 10 der
Dichtung 3 in der konischen Erweiterung des Innenkanals 7 der
Zuleitung 2.
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Die Dichtung 3 besteht hierbei
aus Nylon und ist somit wesentlich weicher als die aus Metall bestehende
Zuleitung 2. Zum einen bewirkt diese Materialauswahl für die Dichtung 3 eine
gute Dichtwirkung. Zum anderen wird so ein relativ verschleißanfälliger Metall-Glas-Übergang
vermieden.
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Die Dichtung 3 weist ebenfalls
einen durchgehenden Innenkanal 11 auf, durch den die einzuspritzende
Flüssigkeit
weiter geleitet wird.
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Innerhalb der Dichtung 3 geht
der Innenkanal 11 in eine Aufnahmekammer 12 über, in
der im montierten Zustand der in den Figuren 1f und 1g dargestellte
Düsenkörper 6 angeordnet
ist, wobei der Düsenkörper 6 noch
detailliert beschrieben wird.
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Auf der der Zuleitung 2 abgewandten
Seite weist die Dichtung 3 ebenfalls eine konische Verjüngung 13 auf,
wobei der Konuswinkel der Verjüngung 13 lediglich
15° beträgt.
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Zur Fixierung der Dichtung 3 in
der Schraubhülse 4 dient
die Schraubkappe 5, die in 1e detailliert
dargestellt ist.
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So weist die Schraubkappe 5 an
Ihrer Innenseite ein Innengewinde 14 auf, das im montierten
Zustand in ein entsprechendes Au ßengewinde 15 eingreift,
das in der äußeren Mantelfläche der
Schraubhülse 4 angebracht
ist. Bei einer Verschraubung drückt
also die Schraubkappe 5 die Dichtung 3 axial gegen
die Zuleitung 2, wobei die Schraubhülse 4 die aus der
Schraubkappe 5 und der Schraubhülse 4 bestehende Verschraubung
an der Zuleitung 2 fixiert.
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In der Schraubkappe 5 ist
hierbei eine radial durchgehende Bohrung 16 angebracht,
die als Ansatz für
ein Schraubwerkzeug dient, um die Schraubkappe 5 auf der
Schraubhülse 4 festschrauben
zu können.
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Im folgenden wird nun der in den 1f und 1g dargestellte Düsenkörper 6 näher beschrieben.
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So besteht der Düsenkörper 6 im Wesentlichen
aus einem hohlzylindrischen Glasrohr, das durchsichtig ist und somit
durch eine einfache Sichtkontrolle die Erkennung von Bläschen oder
Verschmutzungen innerhalb des Düsenkörpers 6 erlaubt.
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Ein weiterer Vorteil der Verwendung
von Glas als Material für
den Düsenkörper 6 besteht
in der guten Verarbeitbarkeit, so dass sich eine Austrittsöffnung 17 mit
einem Innendurchmesser von dD = 20 μm realisieren
läßt.
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Die Verwendung der aus Kunststoff
bestehenden Dichtung 3 verhindert hierbei vorteilhaft einen
Glas-Metall-Übergang
zu der Zuleitung 2, da ein derartiger Glas-Metall-Übergang
sehr verschleißanfällig wäre.
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Der Düsenkörper 6 weist weiterhin
einen durchgehenden Düsenkanal 18 auf,
wobei der Düsenkanal 18 in
einem an die Austrittsöffnung 17 angrenzenden
Bereich eine konkave Innenkontur 19 aufweist. Die konkave
Innenkontur 19 des Düsenkanals 18 trägt zu einer
laminaren Strömung
an der Austrittsöffnung 17 bei und
begünstigt
somit die Stabilität
des eingespritzten Flüssigkeitsstrahls.
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Darüber hinaus weist der Düsenkörper 6 in einem
an die Austrittsöffnung 17 angrenzenden
Bereich eine konvexe Außenkontur 20 auf,
wodurch ebenfalls ein stabiler Flüssigkeitsstrahl begünstigt wird.
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Das in den 2a–2e dargestellte Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung 1' stimmt weitgehend
mit dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel überein,
so dass zur Vermeidung von Wiederholungen weitgehend auf die vorstehende
Beschreibung verwiesen wird und im folgenden für entsprechende Bauteile dieselben Bezugszeichen
verwendet werden, die zur Unterscheidung lediglich durch ein Apostroph
gekennzeichnet sind.
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Eine Besonderheit der Düsenanordnung 1' besteht darin,
dass der Düsenkörper 6' keine konvexe
Außenkontur
aufweist, sondern als zylindrische Glasscheibe ausgebildet ist.
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Der in dem Düsenkörper 6' angeordneten Düsenkanal 18' weist hierbei
jedoch ebenfalls eine konkave Innenkontur 19' auf, um eine möglichst laminare Strömung zu
erreichen.
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In 3 ist
ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Röntgenquelle
schematisch illustriert.
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Die Röntgenquelle umfasst eine Targetquelle 21,
die mit einer temperierbaren Vakuumkammer 22 verbunden
ist, eine Bestrahlungseinrichtung 23 und eine Sammeleinrichtung 24.
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Die Targetquelle 21 umfasst
ein Reservoir 25 für
ein Targetmaterial 26, eine Zufuhrleitung 27 und eine
Düsenanordnung 28,
die entsprechend den 1a–1g oder 2a–2e ausgebildet ist. Mit einer (nicht
dargestellten) Betätigungseinrichtung,
die bspw. eine Pumpe oder eine piezoelektrische Fördereinrichtung
umfasst, wird das Targetmaterial 26 zu der Düsenanordnung 28 geführt und
von dieser in Form eines Flüssigkeitsstrahls
abgegeben und in die Vakuumkammer 22 injiziert.
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Die Bestrahlungseinrichtung 23 umfasst
eine Strahlungsquelle 29 und eine Bestrahlungsoptik 30, mit
der Strahlung von der Strahlungsquelle 29 auf das Targetmaterial 26 fokussierbar
sind. Die Strahlungsquelle 29 ist bspw. ein Laser, dessen
Licht ggf. mit Hilfe von Umlenkspiegeln (nicht dargestellt) hin zu
dem Targetmaterial 26 gelenkt wird. Alternativ kann als
Bestrahlungseinrichtung 23 eine Ionenquelle oder eine Elektronenquelle
vorgesehen sein, die mit in der Vakuumkammer 22 angeordnet
ist.
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Die Sammeleinrichtung 24 umfasst
einen Aufnehmer 31 z.B. in Form eines Trichters oder einer Kapillare,
der das Targetmaterial 26, das nicht unter Einwirkung der
Bestrahlung verdampft ist, aus der Vakuumkammer 22 entfernt
und in einen Sammelbehälter 32 leitet.
Bei einer Verwendung eines flüssigen Targetmaterials 26 mit
niedrigem Dampfdruck kann die gesammelte Flüssigkeit vorteilhafterweise
ohne weitere Maßnahmen
in dem Sammelbehälter 32 aufgefangen
werden. Um ggf. die Gefahr eines Rückstroms von gesammeltem Targetmaterial 26 in
die Vakuumkammer 22 zu vermeiden, kann eine Kühlung des
Sammelbehälters 32 mit
einer Kühleinrichtung
(nicht dargestellt) und/oder eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt)
vorgesehen sein.
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Die Vakuumkammer 22 umfasst
ein Gehäuse
mit mindestens einem ersten Fenster 33, durch das das Targetmaterial 26 bestrahlbar
ist, und mindestens einem zweiten Fenster 33, durch das
die generierte Röntgenstrahlung
austritt. Das zweite Fenster 33 ist optional vorgesehen,
um die generierte Röntgenstrahlung
aus der Vakuumkammer 22 für eine bestimmte Anwendung
auszukoppeln. Falls dies nicht erforderlich ist, kann auf das zweite
Fenster 33 ver zichtet werden. Die Vakuumkammer 22 ist
ferner mit einer Vakuumeinrichtung 34 verbunden, mit der
in der Vakuumkammer 22 ein Unterdruck erzeugt wird. Dieser
Unterdruck liegt vorzugsweise unterhalb von 10–5 mbar.
Die Bestrahlungsoptik 30 ist ebenfalls in der Vakuumkammer 22 angeordnet.
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Die Vakuumkammer 22 ist
mit einer Heizeinrichtung ausgestattet, die einen oder mehrere Thermostaten 35–37 umfasst.
Mit den Thermostaten 35–37 sind
das Gehäuse
der Vakuumkammer 22, der Aufnehmer 32 und/oder
die Bestrahlungsoptik 30 temperierbar. Ggf. kann auch die
Targetquelle 21 temperiert werden. Ein Thermostat umfasst
beispielsweise eine an sich bekannte Widerstandsheizung.
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Die mit der Heizeinrichtung eingestellte
Temperatur wird so gewählt,
dass der Dampfdruck des Targetmaterials 26 den Gasdruck übersteigt,
der durch Bestrahlung des Targetmaterials 26 mit der Bestrahlungseinrichtung 23 gebildet
wird. Dadurch wird erfindungsgemäß eine Übersättigung
der Gasphase in der Vakuumkammer 22 vermieden. Das freigesetzte
Polymer bleibt gasförmig
und kann nahezu quantitativ mit der Vakuumeinrichtung 34 abgepumpt
werden.
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Das zweite Fenster 33 besteht
aus einem für weiche
Röntgenstrahlung
transparenten Fenstermaterial, z. B. aus Beryllium. Wenn das zweite
Fenster 33 vorgesehen ist, kann sich eine evakuierbare
Bearbeitungskammer 38 anschließen, die mit einer weiteren
Vakuumeinrichtung 39 verbunden ist. In der Bearbeitungskammer 38 kann
die Röntgenstrahlung
zur Materialbearbeitung auf ein Objekt abgebildet werden. Es ist
bspw. eine Röntgenlithographieeinrichtung 40 vorgesehen,
mit der die Oberfläche
eines Halbleitersubstrats bestrahlt wird. Die räumliche Trennung der Röntgenquelle
in der Vakuumkammer 22 und der Röntgenlithographieeinrichtung 40 in
der Bearbeitungskammer 38 besitzt den Vorteil, dass das zu
bearbeitende Material nicht Ablagerungen von verdampftem Targetmaterial 26 ausgesetzt
wird.
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Die Röntgenlithographieeinrichtung 40 umfasst
bspw. einen Filter 41 zur Selektion der gewünschten
Röntgen-Wellenlänge, eine
Maske 42 und das zu bestrahlende Substrat 43.
Zusätzlich
können
Abbildungsoptiken (bspw. Spiegel) vorgesehen sein, um die Röntgenstrahlung
auf die Röntgenlithographieeinrichtung 40 zu
lenken.
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Die Erfindung ist nicht auf die vorstehend
beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele
beschränkt.
Vielmehr ist eine Vielzahl von Varianten und Abwandlungen möglich, die
ebenfalls von dem Erfindungsgedanken Gebrauch machen und deshalb in
den Schutzbereich fallen.