DE10301102B3 - Verfahren zum Reinigen von Prozessgas eines Lötofens, sowie Lötofen und Reinigungssystem zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
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Abstract
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zur Reinigung des Prozessgases eines Lötofens dieses auf dem Weg von Entnahmestellen (31) im Lötofen (11) hin zu einer Kondensatfalle (28) im Bezug auf seine Temperatur und seinen Volumenstrom derart beeinflusst, dass eine Funktion der Kondensatfalle gewährleistet, insbesondere im Bezug auf die durch die Kondensatfalle dem Prozessgas entzogene Wärmemenge optimiert ist. Hierzu kann die Temperatur bzw. der Volumenstrom durch eine Drossel (26), einen Wärmetauscher (32) im Inneren der Lötanlage bzw. einen Mischer (22) gezielt beeinflusst werden. Durch eine Minimierung der durch die Kondensatfalle entzogenen Wärmemenge kann die Energiebilanz des Löt- und Reinigungsprozesses optimiert werden, so dass vorteilhaft Energie eingespart werden kann. Außerdem kann die Kondensatfalle mit optimalem Wirkungsgrad betrieben werden, so dass eine Auslegung der Kondensatfalle mit vergleichsweise geringer Kapazität möglich ist. Weiterhin sind ein Lötofen (11) mit einem im Inneren angeordneten Wärmetauscher (32) für zu reinigendes Prozessgas und einem Reinigungssystem (21) mit einem Steuerorgan zur Einstellung von Temperatur und/oder Volumenstrom des zu reinigenden Gases unter Schutz gestellt.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen von Prozessgas eines Lötofens, bei dem das zu reinigende Prozessgas dem Lötofen entnommen wird und danach das Prozessgas durch eine Kondensatfalle geleitet wird und wo das Prozessgas unter Kondensation und Rückbehalt von Verunreinigungen abgekühlt wird. Ein solches Verfahren ist beispielsweise in dem US-Patent mit der Nummer 5,611,476 beschrieben. Danach wird eine mit einem Wärmetauscher ausgestattete Kondensatfalle mit ihrem Eingang an eine Heizzone eines Lötofens und mit ihrem Ausgang an eine Kühlzone des Lötofens angeschlossen. Somit wird der Heizzone das zu reinigende Prozessgas entnommen und durch den Wärmetauscher geleitet, so dass das zu reinigende Prozessgas Wärme an den Wärmetauscher abgibt und dabei Verunreinigungen im Prozessgas kondensieren. Anschließend wird das gereinigte und abgekühlte Prozessgas der Kühlzone des Lötofens zugeführt.
- Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Reinigen von Prozessgas eines Lötofens anzugeben, mit dem sich eine Kondensatfalle unterschiedlichen Betriebszuständen im Lötofen anpassen lässt.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das zu reinigende Prozessgas auf dem Weg vom Lötofen zur Kondensatfalle hinsichtlich seiner Temperatur und seines Volumenstromes derart eingestellt wird, dass eine Kondensation der rückzubehaltenden Verunreinigungen in der Kondensatfalle gewährleistet ist. Dies bedeutet, dass die Temperatur und der Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases so eingestellt wird, dass die Kondensationstemperatur für die Verunreinigungen durch die Abkühlung des zu reinigenden Prozessgases in der Kondensatfalle erreicht wird. Besitzt nämlich das zu reinigende Prozessgas eine zu hohe Temperatur, so genügt die Kühlleistung der Kondensatfalle nicht, um die Kondensationstemperatur für die Verunreinigungen zu erreichen. Ebenso lässt sich der Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases nicht beliebig steigern, da die einzelnen Teilchen des Prozessgases dann eine kürzere Verweildauer in der Kondensatfalle haben, womit eine geringere Abkühlung des zu reinigenden Prozessgases verbunden ist. Bei der Einstellung von Temperatur und Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases muss beachtet werden, dass diese sich bei vorgegebener maximal möglicher Kühlleistung der Kondensatfalle bezüglich ihrer zulässigen Höchstwerte antiproportional verhalten, d. h. je höher der Volumenstrom eingestellt wird, desto geringer ist die maximal zulässige Temperatur des zu reinigenden Prozessgases und umgekehrt.
- Die Einstellung von Temperatur und Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases auf dem Weg vom Lötofen zur Kondensatfalle hat den großen Vorteil, dass die Kondensatfalle unabhängig von den Prozessbedingungen des Lötprozesses mit optimalen Abscheidebedingungen betrieben werden kann. Daher kann die Kondensatfalle vorteilhaft mit einer vergleichsweise geringen Kühlkapazität ausgelegt werden, womit bei dem Betrieb der Kondensatfalle auch eine vergleichsweise geringe Abkühlung des zu reinigenden Prozessgases verbunden ist.
- Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung soll das zu reinigende Prozessgas hinsichtlich seiner Temperatur und seines Volumenstromes derart eingestellt werden, dass die dem Prozessgas in der Kondensatfalle entzogene Wärmemenge möglichst gering ist. Hierdurch lässt sich vorteilhaft der Betrieb der Kondensatfalle daraufhin optimieren, dass dem zu reinigenden Prozessgas möglichst wenig Energie entzogen wird. von den möglichen, die Funktion der Kondensatfalle gewährleistenden Parameterwerten für die Temperatur und den Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases werden dabei diejenigen Parameterpaare gezielt eingestellt, bei denen die durch die Kondensatfalle entzogene Wärmemenge aus dem Prozessgas optimal gering ist.
- Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das gereinigte Prozessgas dem Lötofen wieder zugeführt wird. Hierdurch wird vorteilhafterweise für die Reinigung des Prozessgases ein Kreislauf erzeugt, so dass das gereinigte Prozessgas für den Lötprozess wieder verwendet werden kann. Insbesondere bei einer energieoptimierten Reinigung des Prozessgases in der Kondensatfalle kann das Gesamtsystem, bestehend aus Reinigungssystem und Lötofen vorteilhaft mit einem geringen Energieverbrauch betrieben werden.
- Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das zu reinigende Prozessgas einer Heizzone des Lötofens entnommen und nach Durchlaufen der Kondensatfalle als gereinigtes Prozessgas einer Kühlzone des Lötofens wieder zugeführt wird. Hierdurch wird vorteilhafterweise erreicht, dass der aufgrund der Funktionsweise der Kondensatfalle zwar minimierbare aber nicht vermeidbare Wärmeentzug gezielt dazu genutzt wird, dem Lötofen das gereinigte Prozessgas in einem Bereich zuzuführen, in dem ohnehin geringere Temperaturen für das Prozessgas gefordert sind. Damit kann vorteilhafterweise eine anschließende Aufheizung des gereinigten Prozessgases entfallen, wo durch sich der damit verbundene Energieaufwand vorteilhafterweise einsparen lässt.
- Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass dem zu reinigenden Prozessgas auf dem Weg vom Lötofen zur Kondensatfalle Gas zugemischt wird. Eine Zuführung von Prozessgas zum Lötprozess ist ohnehin notwendig, da der Lötofen aufgrund der Zu- bzw. Abführung von zu lötenden Bauteilen nicht absolut gasdicht ausgeführt werden kann und die deswegen entstehenden Leckverluste an Prozessgas ausgeglichen werden müssen. Die Zuführung von Prozessgas kann erfindungsgemäß also vorteilhaft für die Zumischung von Gas zum zu reinigenden Prozessgas genutzt werden, wodurch sich Temperatur und Volumenstrom vorteilhaft im Sinne der Erfindung beeinflussen lassen. Das zugeführte Gas kann dabei je nach geforderter Temperatur des Gemisches mit dem Prozessgas geheizt werden. Im Allgemeinen ist eine Zuführung von Gas mit Raumtemperatur besonders vorteilhaft, um das zu reinigende Prozessgas vor dem Eintritt in die Kondensatfalle abzukühlen.
- Besonders vorteilhaft ist es weiterhin, wenn das zuzumischende Gas dem Lötofen an einer Stelle entnommen wird, an der eine andere Temperatur herrscht, als an der Stelle, an der das zu reinigende Prozessgas entnommen wird. Aufgrund der anderen Temperatur des zuzumischenden Gases kann damit vorteilhaft insbesondere die Temperatur des zu reinigenden Prozessgases gezielt beeinflusst werden. Dabei wird vorteilhafterweise – in der Betrachtung des Lötofens mit dem Reinigungssystem als Gesamtsystem – diesem keine Wärmeenergie entnommen oder zugeführt, da sich das zugemischte Gas ja bereits im Prozess befindet.
- Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das zu reinigende Prozessgas vor der Entnahme aus dem Lötofen durch einen Wärmetauscher geleitet wird, welcher in einem im Vergleich zur Temperatur des durchgeleiteten Prozessgase kühleren Bereich des Lötofens angeordnet ist. Hierdurch kann vorteilhaft das zu reinigende Prozessgas abgekühlt werden, ohne dass die aus dem zu reinigenden Prozessgas abgeführte Energie dem als Gesamtsystem betrachteten Lötprozess entzogen wird, denn die Wärme aus dem zu reinigenden Prozessgas wird über den Wärmetauscher dem bereits im Lötofen befindlichen Prozessgas zugeführt.
- Ein weiterer Aspekt der Erfindung sieht vor, dass das gereinigte Prozessgas vor der Rückführung in den Lötofen auf eine vorgegebene Temperatur gebracht wird. Hierdurch wird vorteilhafterweise eine Störung des Prozesses im Lötofen an der Rückführstelle des gereinigten Prozessgases vermieden. Das gereinigte Prozessgas kann nach Bedarf geheizt oder gekühlt werden. Im Falle einer Beheizung geht die zugeführte Energie aufgrund der anschließenden Rückführung des gereinigten Prozessgases dem Lötprozess vorteilhafterweise nicht verloren.
- Soweit erforderlich, ist es besonders vorteilhaft, wenn das gereinigte Prozessgas derart auf eine vorgegebene kühlere Temperatur gebracht wird, das die Kühlkapazität der Kondensatfalle gezielt über die zur Reinigung des Prozessgases erforderliche Kühlkapazität hinaus erhöht wird. Diese Maßnahme ist dann als besonders vorteilhaft zu erachten, wenn an der Zuführstelle des gereinigten Prozessgases im Lötofen eine geringere Temperatur gefordert ist, als diejenige, die beim Betrieb der Kondensatfalle aufgrund ihrer Funktion der Abscheidung von Verunreinigungen gefordert ist. In diesen Fällen kann die Kondensatfalle bewusst überdimensioniert werden, wo durch vorteilhaft ein als gesonderte Baueinheit ausgeführter Kühler eingespart werden kann. Anstelle einer Überdimensionierung können auch Arbeitspunkte der Kondensatfalle eingestellt werden, die eine Abkühlung des Prozessgases auf die an der Zuführstelle geforderte Temperatur gewährleisten.
- Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Reinigungssystem für das Prozessgas eines Lötofes mit einer an den Lötofen anschließbaren Entnahmeleitung für zu reinigendes Prozessgas, die in eine Kondensatfalle für Verunreinigungen des Prozessgases mündet. Ein solches Reinigungssystem ist in dem eingangs genannten US-Patent mit der Nummer 5,611,476 beschrieben.
- Aufgabe der Erfindung ist es, ein Reinigungssystem für das Prozessgas eines Lötofens mit einer Kondensatfalle anzugeben, bei dem die durch die Kondensatfalle dem Prozessgas entzogene Wärmemenge vergleichsweise gering ist.
- Diese weitere Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass in der Entnahmeleitung ein Steuerorgan zur Einstellung von Temperatur und/oder Volumenstrom des zu reinigenden Prozessgases vorgesehen ist. Der Volumenstrom kann im einfachsten Fall beispielsweise durch eine Drossel in der Entnahmeleitung gesteuert werden. Das Steuerorgan erlaubt damit die Einstellung der Temperatur und/oder des Volumenstromes des zu reinigenden Prozessgases, wodurch die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren bereits erläuterten Vorteile erreicht werden.
- Gemäß einer Ausgestaltung des Reinigungssystems ist vorgesehen, dass dieses mit einer an der Kondensatfalle angeschlossenen Rückführleitung für gereinigtes Prozessgas, welche an den Lötofen anschließbar ist, ausgestattet ist. Durch eine solche Rückführleitung kann gewährleistet werden, dass das Reinigungssystem vorteilhaft auch im Kreislauf mit dem Lötofen betrieben werden kann, so dass das gereinigte Prozessgas im Lötofen wieder verwendet werden kann.
- Eine Ausgestaltung des Reinigungssystems sieht vor, dass das Steuerorgan ein Mischer ist, der mindestens einen Anschluss für die Zumischung von Gas in die Entnahmeleitung aufweist. Hierdurch kann dem zu reinigenden Prozessgas ein Gas zugemischt werden, wodurch die bereits im Zusammenhang mit dem Verfahren erläuterten Vorteile erreicht werden. Dabei ist besonders vorteilhaft, wenn der Anschluss mit einer Bypassleitung zur direkten Entnahme von Prozessgas aus dem Lötofen verbunden ist.
- Eine andere Ausgestaltung des Reinigungssystems sieht vor, dass in der Entnahmeleitung ein Wärmetauscher vorgesehen ist, der so im Lötofen anordenbar ist, dass das durch den Wärmetauscher geleitete Prozessgas Wärme an das im Lötofen befindliche Prozessgas abgibt. Damit bleibt die dem zu reinigenden Prozessgas entzogene Wärme für den Lötprozess verfügbar, wodurch die bereits im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren beschriebenen Vorteile erreicht werden.
- Außerdem bezieht sich die Erfindung auf einen Lötofen mit einem Entnahmeanschluss und einem Rückführanschluss zum Anschluss eines Reinigungssystems für das Prozessgas des Lötofens. Ein solcher Lötofen ist ebenfalls in der eingangs genannten US-Patentschrift mit der Nummer 5,611,476 beschrieben.
- Die Aufgabe der Erfindung besteht weiterhin darin, einen Lötofen mit einem Entnahmeanschluss zur Entnahme von zu reinigendem Prozessgas anzugeben, der eine Reinigung des Prozessgases mit einem vergleichsweise geringen Wärmeverlust ermöglicht.
- Diese weitere Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Lötofen gelöst, bei dem dem Entnahmeanschluss ein Wärmetauscher vorgeschaltet ist, der so im Lötofen angeordnet ist, dass das durch den Wärmetauscher geleitete Prozessgas Wärme an das im Lötofen befindliche Prozessgas abgibt. Hierdurch wird vorteilhafterweise erreicht, dass die durch den Wärmetauscher abgeführte Wärmemenge aus dem zu reinigenden Prozessgas im Lötofen verbleibt und das zu reinigende Prozessgas außerhalb des Lötofens eine verringerte Temperatur aufweist. Dadurch können auch Wärmeverluste, die sich aufgrund des Wärmeunterschiedes des zu reinigenden Prozessgases und der Umgebung des zum Einsatz kommenden Reinigungssystems ergeben, verringert werden. Wird als Reinigungsvorrichtung eine Kondensatfalle verwendet, lässt sich vorteilhafterweise zudem auch eine Einstellung der Temperatur des der Kondensatfalle zugeleiteten, zu reinigenden Prozessgases erreichen. Die hiermit verbundenen Vorteile sind bereits im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren erläutert worden.
- Gemäß einer Ausgestaltung des Lötofens ist vorgesehen, dass eine Entnahmestelle für das Prozessgas und der Wärmetauscher in verschiedenen Heizstufen einer mehrstufigen Heizzone des Lötofens angeordnet sind, wobei die Heizstufe mit der Entnahmestelle wärmer ist als die Heizstufe mit dem Wärmetauscher. Durch diese konstruktive Maßnahme wird vorteilhaft dem gebräuchlichen Aufbau von Lötöfen Rechnung getragen, die mehrere Heizstufen in der Heizzone aufweisen. Mit Hilfe dieser Heizstufen wird die Temperatur des zu lötenden Bauteils stufenweise erhöht, so dass es möglich ist, insbesondere das stark verunreinigte Prozessgas aus der heißesten Heizstufe (auch als Peakzone bezeichnet) zu entnehmen und durch die kälteren Heizstufen zu führen, wodurch das zu reinigenden Prozessgas das kühlere Prozessgas in den vorgelagerten Heizstufen aufwärmt.
- Weitere Einzelheiten der Erfindung werden anhand der Zeichnung beschrieben. Die einzige Figur zeigt den stark schematisierten Aufbau eines Lötofens mit an diesem angeschlossenen Reinigungssystem.
- Ein als Reflowlötofen ausgeführter Lötofen
11 weist eine Heizzone12 und eine Kühlzone13 auf, wobei die Heizzone aus einzelnen Heizstufen14a ,14b ,14c und14d und die Kühlzone aus Kühlstufen15a ,15b besteht. Die Heizstufen bzw. Kühlstufen sind als einfache Kästen stark schematisiert dargestellt. Durch diese Stufen läuft ein nicht dargestelltes Förderband, auf dem die zu lötenden Bauteile platziert werden und so den jeweiligen Temperaturen in den einzelnen Stufen ausgesetzt werden. Die zu lötenden Baugruppen treten durch Schleusen16 in den Lötofen ein bzw. aus. - Der Lötofen weist einen Entnahmeanschluss
17 und zwei Rückführanschlüsse18 auf, an die jeweils eine Entnahmeleitung19 und Rückführleitungen20 eines Reinigungssystems21 angeschlossen werden können. Über den Entnahmeanschluss17 und die Entnahmeleitung19 wird das zu reinigende Prozessgas dem Lötofen11 entnommen und einem Mischer22 zugeführt. Der Mischer weist Anschlüsse23 auf, an die Speiseleitungen24 für die Zuführung von zusätzlichen Prozessgas in den Mischer und eine Bypassleitung25 angeschlossen sind. Über die Anschlüsse23 kann somit das zu reinigende Prozessgas aus der Entnahmeleitung19 mit weiterem Prozessgas gemischt werden, wodurch sich der Volumenstrom und die Temperatur des zu reinigenden Prozessgases beeinflussen lassen. Eine Beeinflussung des Volumenstroms kann zusätzlich über eine einstellbare Drossel26 in der Entnahmeleitung19 erreicht werden. - Über die Speiseleitungen
24 kann beispielsweise Prozessgas mit Raumtemperatur zur Abkühlung des aus dem Lötofen entnommenen Prozessgases oder auch vorgeheiztes Prozessgas, welches lediglich den Volumenstrom beeinflusst, zugeleitet werden. Die Bypassleitung25 stellt letztendlich einen Kurzschluss des durch den Lötofen11 und das Reinigungssystem21 gebildeten Kreislaufes für das Prozessgas dar. Mit Hilfe der Bypassleitung25 kann der Kühlstufe15a Prozessgas mit im Vergleich zur Temperatur des zu reinigenden Prozessgases geringerer Temperatur zugeführt werden, so dass die Mischung der beiden Gasströme zu einer Kühlung des zu reinigenden Prozessgases führt. Alternativ können auch die durch die gepunkteten Pfeile27 angedeuteten Bypassleitungen vorgesehen werden. - Nach Durchlaufen des Mischers
22 mündet die Entnahmeleitung19 in eine Kondensatfalle28 , in der die Verunreinigungen im zu reinigenden Prozessgas durch eine Kühlschlange29 kondensiert werden. Die Kühlschlage ist mit einem Kühlmittelkreislauf30 verbunden. - In den einzelnen Heizstufen
14a ,14b ,14c ,14d sind verschiedene Entnahmestellen31 für das zu reinigende Prozessgas angeordnet. Diese sind mit einem Wärmetauscher32 verbunden, der die Durchleitung des zu reinigenden Prozessgases durch jeweils kältere Heizstufen des Lötofens erlaubt. Im einfachsten Fall ist der Wärmtauscher als Leitung mit guter Wärme leitfähigkeit ausgebildet. Der Wärmetauscher, der beispielsweise an die Entnahmestelle31 in der Heizstufe14d angeschlossen ist, durchläuft in Flussrichtung des zu reinigenden Prozessgases gesehen zunächst die etwas kühlere Heizstufe14c und anschließend die jeweils wieder etwas kühleren Heizstufen14b und14a , wobei das jeweils in den Heizstufen zirkulierende Prozessgas insofern als Kühlmedium fungiert, das das zu reinigende Prozessgas seine Wärme an das jeweils in der Heizstufe befindliche Prozessgas abgibt. Damit ist ein Wärmetauscher nach dem Gleichstromprinzip verwirklicht.
Claims (16)
- Verfahren zum Reinigen von Prozessgas eines Lötofens (
11 ), bei dem – das zu reinigende Prozessgas dem Lötofen (11 ) entnommen wird und – danach das Prozessgas durch eine Kondensatfalle (28 ) geleitet wird, wo das Prozessgas unter Kondensation und Rückbehalt von Verunreinigungen abgekühlt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Prozessgas auf dem Weg vom Lötofen zur Kondensatfalle (28 ) hinsichtlich seiner Temperatur und seines Volumenstromes derart eingestellt wird, dass eine Kondensation der rückzubehaltenden Verunreinigungen in der Kondensatfalle gewährleistet ist. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Prozessgas hinsichtlich seiner Temperatur und seines Volumenstromes derart eingestellt wird, dass die dem Prozessgas in der Kondensatfalle (
28 ) entzogene Wärmemenge möglichst gering ist. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das gereinigte Prozessgas dem Lötofen (
11 ) wieder zugeführt wird. - Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Prozessgas einer Heizzone (
12 ) des Lötofens (11 ) entnommen und nach Durchlaufen der Kondensat falle (28 ) als gereinigtes Prozessgas einer Kühlzone (13 ) des Lötofens (11 ) wieder zugeführt wird. - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem zu reinigenden Prozessgas auf dem Weg vom Lötofen (
11 ) zur Kondensatfalle (28 ) Gas zugemischt wird. - Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das zuzumischende Gas dem Lötofen (
11 ) an einer Stelle entnommen wird, an der eine andere Temperatur herrscht als an der Stelle, an der das zu reinigende Prozessgas entnommen wird. - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Prozessgas vor der Entnahme aus dem Lötofen (
11 ) durch einen Wärmetauscher (32 ) geleitet wird, welcher in einem im Vergleich zur Temperatur des durchgeleiteten Prozessgases kühleren Bereich des Lötofens angeordnet ist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das gereinigte Prozessgas vor der Rückführung in den Lötofen (
11 ) auf eine vorgegebene Temperatur gebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das gereinigte Prozessgas derart auf eine vorgegebene, kühlere Temperatur gebracht wird, dass die Kühlkapazität der Kondensatfalle (
28 ) gezielt über die zur Reinigung des Prozessgases erforderliche Kühlkapazität hinaus erhöht wird. - Reinigungssystem für das Prozessgas eines Lötofens (
11 ) mit einer an den Lötofen (11 ) anschließbaren Entnahmeleitung (19 ) für zu reinigendes Prozessgas, die in eine Kondensatfalle (28 ) für Verunreinigungen des Prozessgases mündet, dadurch gekennzeichnet, dass in der Entnahmeleitung (19 ) ein Steuerorgan (22 ,26 ) zur Einstellung von Temperatur und/oder Volumenstrom des zu reinigenden Gases vorgesehen ist. - Reinigungssystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass dieses mit einer an die Kondensatfalle (
28 ) angeschlossenen Rückführleitung (20 ) für gereinigtes Prozessgas, welche an den Lötofen anschließbar ist, ausgestattet ist. - Reinigungssystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Steuerorgan ein Mischer (
22 ) ist, der mindestens einen Anschluss (23 ) für die Zumischung von Gas in die Entnahmeleitung (19 ) aufweist. - Reinigungssystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschluss (
23 ) mit einer Bypassleitung (25 ) zur direkten Entnahme von Prozessgas aus dem Lötofen (11 ) verbunden ist. - Reinigungssystem nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass in der Entnahmeleitung ein Wärmetauscher (
32 ) vorgesehen ist, der so im Lötofen (11 ) anordenbar ist, dass das durch den Wärmetauscher (32 ) geleitete Prozessgas Wärme an das im Lötofen befindliche Prozessgas abgibt. - Lötofen mit einem Entnahmeanschluss (
17 ) und einem Rückführanschluss (18 ) zum Anschluss eines Reinigungssystems für das Prozessgas des Lötofens, dadurch gekennzeichnet, dass dem Entnahmeanschluss (17 ) ein Wärmetauscher (32 ) vorgeschaltet ist, der so im Lötofen angeordnet ist, dass das durch den Wärmetauscher (32 ) geleitete Prozessgas Wärme an das im Lötofen befindliche Prozessgas abgibt. - Lötofen nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine Entnahmestelle (
31 ) für das Prozessgas und der Wärmetauscher (32 ) in verschiedenen Heizstufen (14a ,14b ,14c ,14d ) einer mehrstufigen Heizzone (12 ) des Lötofens angeordnet sind, wobei die Heizstufe mit der Entnahmestelle (31 ) wärmer ist als die Heizstufe mit dem Wärmetauscher.
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