DE10258712A1

DE10258712A1 - Structural element for active matrix organic light emitting diode display used for e.g. mobile phones, comprises substrate, anodes, organic emitter material, cathodes and components for active control

Info

Publication number: DE10258712A1
Application number: DE10258712A
Authority: DE
Inventors: Jörg Fischer; Joosang Park; Werner Dr. Gerlach; Albrecht Dr. Uhlig; Werner Dr. Humbs; Michael Dr. Redecker; Kerstin Dr. Nolte
Original assignee: Samsung SDI Co Ltd
Current assignee: Samsung Display Co Ltd
Priority date: 2002-12-12
Filing date: 2002-12-12
Publication date: 2004-07-22
Anticipated expiration: 2022-12-13
Also published as: DE10258712B4

Abstract

A structural element for an active matrix OLED (organic light emitting diode) display comprises a substrate (1), anodes (8), organic emitter material (11), cathodes (12, 13), and components (7, 17, 18) for active control, with at least one solar cell (2, 14, 15, 16) integrated into the structural element. Independent claims are also included for the following: (1) an active-matrix OLED-display; and (2) the production of an active-matrix OLED-display by deposition of an OLED-display and solar cells onto a substrate (1).

Description

Die Erfindung betrifft ein Bauelement für ein Aktiv-Matrix-OLED-Display mit integrierter Energieerzeugung.The invention relates to a component for an active matrix OLED display with integrated power generation.

Displays auf Basis organischer lichtemittierender Elemente (OLED's) zeichnen sich durch hohe Brillianz und einen weiten Betrachtungswinkel aus. Als selbstemissive Technologie benötigen OLED-Displays keine Hintergrundbeleuchtung und können damit unter Bedingungen mit niedrigem bis mittlerem Umgebungslichtanteil energetisch vorteilhaft eingesetzt werden.Displays based on organic light-emitting Elements (OLED's) are characterized by high brilliance and a wide viewing angle out. As a self-emissive technology, OLED displays do not require backlighting and can thus under conditions with low to medium ambient light be used energetically advantageous.

Unter Bedingungen mit einem hohen Umgebungslichtanteil, z.B. in direktem Sonnenlicht, muss jedoch überproportional viel Leistung aufgewendet werden, um die benötigte Helligkeit zu erreichen. Die Senkung des Energieverbrauchs bei einem hohen Umgebungslichtanteil ist daher eines der Hauptkriterien für eine erfolgreiche Einführung von organischen OLED-Displays für mobile Anwendungen wie zum Beispiel in Mobiltelefonen oder PersonalDigitalAssistance-Anwendungen. Bei einem hohen Umgebungslichtanteil ist die Leistungsaufnahme von OLED-Displays nach dem Stand der Technik allerdings höher als bei vergleichbaren transreflektiven LC – Displays.Under conditions with a high Ambient light component, e.g. in direct sunlight, but must be disproportionate a lot of power is used to achieve the required brightness. The reduction of energy consumption with a high proportion of ambient light is therefore one of the main criteria for a successful introduction of organic OLED displays for mobile applications such as in mobile phones or PersonalDigitalAssistance applications. at A high proportion of ambient light is the power consumption of OLED displays according to the state of the art, however, higher than with comparable ones transreflective LC displays.

Zur Verringerung der Energieaufnahme eines Displays sind unterschiedlichste Kombinationen eines Displays mit Solarzellen bekannt.To reduce energy consumption of a display are different combinations of a display known with solar cells.

JP 200206511 A beschreibt die Kombination eines polymer dispersed LC – Displays mit einer Solarzelle derart, dass das LC – Display über einer Solarzelle aufgebracht ist. Die Solarzelle liefert zumindest teilweise den Energiebedarf des LC – Displays. JP 200206511 A describes the combination of a polymer dispersed LC display with a solar cell in such a way that the LC display is applied over a solar cell. The solar cell at least partially supplies the energy required by the LC display.

US 5,963,282 beschreibt ebenfalls eine lichtabsorbierende Struktur, welche unter einer LCD-Rnzeige angeordnet ist und zumindest teilweise diese LCD-Anzeige mit Strom versorgt. Weiterhin wird die Kombination einer LED-Anzeige und einer Solarzelle auf einer Geldkarte (Chipkarte) in WO 01/09954 beschrieben. Die Solarzelle dient hierbei als Energiequelle für die OLED. WO 01/83076 beschreibt eine ähnliche Anordnung für ein Spielzeug. EP 1 187 213 beschreibt ein OLED-Display, welches über einer Solarzelle angeordnet ist. WO 90/10938 beschreibt eine optische Verknüpfung einer OLED mit einer Solarzelle. Die Lichtemission des OLED-Displays erzeugt eine Photospannung in der Solarzelle. Durch die Positionierung beider Bauelemente direkt gegenüber sowie eine Abstimmung des Absorbtionsspektrums der Solarzelle auf das Emissionsspektrum des OLED-Displays verfügt diese Anordnung über einen besonders hohen Wirkungsgrad. Eine weitere Vielschichtanordnung ist in US 6,297,495 beschrieben. US 5,963,282 also describes a light-absorbing structure which is arranged under an LCD display and at least partially supplies this LCD display with power. Furthermore, the combination of an LED display and a solar cell on a money card (chip card) is described in WO 01/09954. The solar cell serves as an energy source for the OLED. WO 01/83076 describes a similar arrangement for a toy. EP 1 187 213 describes an OLED display which is arranged above a solar cell. WO 90/10938 describes an optical link between an OLED and a solar cell. The light emission of the OLED display creates a photo voltage in the solar cell. By positioning the two components directly opposite each other and coordinating the absorption spectrum of the solar cell with the emission spectrum of the OLED display, this arrangement has a particularly high degree of efficiency. Another multilayer arrangement is in US 6,297,495 described.

Weiterhin beschreibt WO 94/05045 die Nutzung einer Solarzelle, wobei dem OLED-Material Fullerene beigemischt werden. Den gleichen Aufbau einer Solarzelle mit Fullerenen beschreibt EP 1 063 197 , wobei die OLED-Materialien und die Fullerene als getrennte Schichten vorliegen und miteinander in Verbindung gebracht werden.WO 94/05045 also describes the use of a solar cell, fullerenes being admixed with the OLED material. Describes the same structure of a solar cell with fullerenes EP 1 063 197 , the OLED materials and the fullerenes being present as separate layers and being brought together.

Nachteilig an den im Stand der Technik beschriebenen Vorrichtungen ist jedoch, dass stets funktional voneinander unabhängige Solarzellen bzw. Displays derart angeordnet werden, dass diese zusammenwirken können. Dabei ist es insbesondere nachteilhaft, dass die jeweils separaten Bauelemente, also das Display und die Solarzelle, in verschiedenen Fertigungsprozessen gefertigt werden müssen. Durch diese Fertigung zweier, separater Komponenten, welche dann miteinander kombiniert werden, entsteht ein Kostennachteil.A disadvantage of those in the prior art The devices described, however, is always functional from one another independent Solar cells or displays are arranged so that they interact can. It is particularly disadvantageous that the separate Components, i.e. the display and the solar cell, in different Manufacturing processes must be manufactured. Through this manufacturing two separate components, which are then combined there is a cost disadvantage.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Bauelement für ein Aktiv-Matrix-OLED-Display sowie ein Display mit besonders niedrigem Energieverbrauch anzugeben, welches kostengünstig hergestellt werden kann und die vorgenannten Nachteile des Standes der Technik eliminiert. Weiterhin soll ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Bauelements für ein Aktiv-Matrix-OLED-Display angegeben werden.It is therefore the task of the present Invention, a component for an active matrix OLED display and a display with a particularly low one To specify energy consumption, which can be produced inexpensively and eliminates the aforementioned drawbacks of the prior art. A method for producing a component according to the invention is also intended for a Active matrix OLED display can be specified.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 und des Anspruchs 10 (Vorrichtungsanspruch) sowie des Anspruchs 11 (Verfahrensanspruch) im Zusammenwirken mit den Merkmalen im Oberbegriff. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.According to the invention, this object is achieved by the features in the characterizing part of claim 1 and claim 10 (device claim) and claim 11 (process claim) in cooperation with the features in the generic term. Appropriate configurations the invention are contained in the subclaims.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass ein Aktiv-Matrix-OLED-Display bzw. ein Bauelement für ein Aktiv-Matrix-OLED-Display und eine Solarzelle dasselbe Substrat teilen und nicht als getrennte Bauelemente vorliegen. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass eine Solarzelle in ein Bauelement für ein Aktiv-Matrix-OLED-Display, bestehend aus einem Substrat, einer Anode, organischem Emittermaterial, einer Kathode und Komponenten zur aktiven Ansteuerung, integriert ist.A particular advantage of the invention consists of an active matrix OLED display or a component for a Active matrix OLED display and a solar cell the same substrate share and do not exist as separate components. According to the invention achieved in that a solar cell in a component for an active matrix OLED display, consisting from a substrate, an anode, organic emitter material, one Cathode and components for active control, is integrated.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass gleiche Technologien zur Erzeugung der OLED-Solarzellen-Kombination verwendet werden können und somit eine Integration kostengünstig erfolgen kann.Another advantage of the invention is that the same technologies are used to create the OLED-solar cell combination can be and thus integration can be carried out inexpensively.

In einer bevorzugten Ausführungsvariante werden die Anode, das Emittermaterial, die Kathode, die Komponenten zur aktiven Ansteuerung und die Solarzelle auf demselben Substrat angeordnet.In a preferred embodiment variant the anode, the emitter material, the cathode, the components for active control and the solar cell arranged on the same substrate.

In einer weiteren Ausführungsvariante wird die Solarzelle zwischen den Komponenten zur aktiven Ansteuerung und der Verkapselung dieser Komponenten, welche aus einer Photolackschicht bestehen kann, angeordnet. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, die Solarzelle größtenteils in den Bereichen des Bauelements anzuordnen, welche nicht zur Lichtauskopplung genutzt werden. Dies sind insbesondere die Bereiche neben dem organischen Emittermaterial.In a further embodiment variant, the solar cell is arranged between the components for active control and the encapsulation of these components, which can consist of a photoresist layer. According to the invention, the solar cell is largely arranged in the areas of the component which are not intended for Light extraction can be used. These are in particular the areas in addition to the organic emitter material.

Die Solarzelle ist vorzugsweise eine Dünnschichtsolarzelle. Die Komponenten zur aktiven Ansteuerung weisen vorzugsweise mindestens einen Dünnfilmtransistor auf und können zusätzlich eine Pufferschicht, eine amorphe-Si-Schicht oder eine Poly-Si-Schicht und/oder eine SiOx-Schicht aufweisen. In einer besonders bevorzugten Ausführungsvariante ist die Solarzelle innerhalb der Pufferschicht angeordnet.The solar cell is preferably one Thin-film solar cell. The components for active control preferably have at least one a thin film transistor on and can additionally a buffer layer, an amorphous Si layer or a poly Si layer and / or have a SiOx layer. In a particularly preferred Execution variant is the solar cell is arranged within the buffer layer.

Ein Aktiv-Matrix-OLED-Display ist erfindungsgemäß durch Bauelemente der vorgenannten Art gekennzeichnet. Dadurch können Aktiv-Matrix-OLED-Displays einerseits kostengünstig hergestellt werden und weisen andererseits eine geringe Leistungsaufnahme, insbesondere bei einem hohen Umgebungslichtanteil, auf.An active matrix OLED display is according to the invention Components of the aforementioned type marked. This enables active matrix OLED displays on the one hand, inexpensive are produced and on the other hand have a low power consumption, especially with a high proportion of ambient light.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Bauelements für ein Rktiv-Matrix-OLED-Display wird sowohl ein OLED-Display als auch eine Solarzelle auf ein Substrat abgeschieden.In the method according to the invention for the production of a component for a reactive matrix OLED display both an OLED display and a solar cell on a substrate deposited.

Dabei wird die Solarzelle vorzugsweise in den Bereichen neben dem organischen Emittermaterial des OLED-Displays abgeschieden. Eine solche Abscheidung kann mittels einer Schattenmaske realisiert werden.The solar cell is preferred in the areas next to the organic emitter material of the OLED display deposited. Such a deposition can be done using a shadow mask will be realized.

Dabei ist es möglich, sowohl zuerst das OLED-Display und danach die Solarzelle als auch zuerst die Solarzelle und danach das OLED-Display auf das Substrat abzuscheiden. Alternativ können dass OLED-Display und Solarzelle gleichzeitig auf das Substrat abgeschieden werden.It is possible to first use the OLED display and then the solar cell and first the solar cell and then to deposit the OLED display on the substrate. Alternatively, that OLED display and solar cell deposited on the substrate at the same time become.

Die Erfindung soll nachstehend anhand von zumindest teilweise in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Es zeigen:The invention is based on the following of at least partially illustrated embodiments are explained in more detail. Show it:

1: eine schematische Draufsicht auf ein Aktiv-Matrix-OLED-Display, bestehend aus erfindungsgemäßen Bauelementen mit integrierten Solarzellen, 1 : a schematic top view of an active matrix OLED display, consisting of components according to the invention with integrated solar cells,

2: eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Aktiv-Matrix-OLED-Bauelementes mit integrierter Solarzelle, 2 1 shows a schematic sectional illustration of an active matrix OLED component according to the invention with an integrated solar cell,

3: eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen „front emitting" Aktiv-Matrix-OLED-Bauelementes mit integrierter Solarzelle, 3 1 shows a schematic sectional illustration of a “front emitting” active matrix OLED component according to the invention with an integrated solar cell,

4: eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen „front emitting" Aktiv-Matrix-OLED-Bauelementes mit integrierter Solarzelle. 4 : A schematic sectional view of a "front emitting" active matrix OLED component according to the invention with an integrated solar cell.

1 zeigt eine Draufsicht auf ein Aktiv-Matrix-OLED-Display. Dabei sind die Solarzellen 2 derart in die OLED-Bauelemente integriert, dass lediglich die lichtemittierenden OLED-Pixel 3 nicht von den Solarzellen 2 bzw. lediglich die Solarzellen 2 nicht von lichtemittierenden OLED-Pixeln 3 überdeckt werden. Durch eine solche Anordnung können sowohl eine Informationsdarstellung durch das OLED-Display als auch eine Energiegewinnung über die Solarzelle 2 mit ein und derselben Vorrichtung realisiert werden. Der Leistungsbedarf des Displays kann somit zumindest teilweise durch die Solarzellenenergie gedeckt werden. Daher verringert sich die durch andere Energiequellen, wie zum Beispiel einer Batterie, für den Displaybetrieb zur Verfügung zustellende Energiemenge. Dies ist insbesondere für den Displaybetrieb bei einem hohen Umgebungslichtanteil vorteilhaft. Weiterhin ist es vorgesehen, für den Fall, dass keine Displayfunktion benötigt wird, die Energie der Solarzelle 2 zum Aufladen zum Beispiel eines Geräteakkumulators zu nutzen. Erfindungsgemäß wird dazu eine Solarzelle 2 derart in ein OLED-Display integriert, dass die Solarzelle 2 und die einzelnen Aktiv-Matrix-OLED-Bauelemente auf dem gleichen Substrat 1 angeordnet sind. Dadurch, dass die Aktiv-Matrix-OLED-Bauelemente und die Dünnschichtsolarzellen 2 über die gleichen Technologien auf das Substrat 1 aufgebracht werden können, ist es möglich, eine kostengünstige Herstellung zu realisieren. 1 shows a top view of an active matrix OLED display. Here are the solar cells 2 integrated into the OLED components in such a way that only the light-emitting OLED pixels 3 not from the solar cells 2 or only the solar cells 2 not from light emitting OLED pixels 3 be covered. With such an arrangement, information can be displayed on the OLED display and energy can be obtained from the solar cell 2 can be realized with one and the same device. The power requirement of the display can thus be at least partially covered by the solar cell energy. Therefore, the amount of energy available for display operation by other energy sources, such as a battery, is reduced. This is particularly advantageous for display operation with a high proportion of ambient light. Furthermore, it is provided, in the event that no display function is required, the energy of the solar cell 2 for charging, for example, to use a device accumulator. According to the invention, a solar cell is used for this 2 integrated into an OLED display in such a way that the solar cell 2 and the individual active matrix OLED components on the same substrate 1 are arranged. The fact that the active matrix OLED components and the thin-film solar cells 2 about the same technologies on the substrate 1 can be applied, it is possible to realize an inexpensive production.

In 2 ist der schematische Aufbau eines erfindungsgemäßen Aktiv-Matrix-OLED-Bauelementes dargestellt. Auf einem Substrat 1 ist ein Dünnschichttransistor (TFT), bestehend aus einer isolierenden, nicht leitenden Pufferschicht 4, einer Poly-Si-Schicht 5 und einer SiOx-Schicht 6, einem Metallkontakt 7 sowie einem Gate 17, einer Source 18 und einem Drain 18, aufgebracht. Die Solarzelle 2, bestehend aus TCO 14, Rückkontakt 15 und p-i-n 16 (a-Si:H) ist innerhalb der Pufferschicht 4 zwischen dem Glassubstrat 1 und dem organischen Emittermaterial 11 angeordnet. Dabei handelt es sich bei TCO 14 (Transparent Conducting Oxide) um die Anode, welche z.B. aus ITO (Indium-Zinnoxid) bestehen kann. Der Rückkontakt 15 bildet die Kathode aus und besteht aus einem Metall wie z.B. Kupfer oder Aluminium. P-i-n 16 (a-Si:H) ist eine amorphe, mit Wasserstoff abgebundene Si-Schicht.In 2 the schematic structure of an active matrix OLED component according to the invention is shown. On a substrate 1 is a thin film transistor (TFT), consisting of an insulating, non-conductive buffer layer 4 , a poly-Si layer 5 and a SiOx layer 6 , a metal contact 7 as well as a gate 17 , a source 18 and a drain 18 , applied. The solar cell 2 consisting of TCO 14 , Back contact 15 and pin 16 (a-Si: H) is inside the buffer layer 4 between the glass substrate 1 and the organic emitter material 11 arranged. This is TCO 14 (Transparent Conducting Oxide) around the anode, which can consist of ITO (indium tin oxide), for example. The back contact 15 forms the cathode and consists of a metal such as copper or aluminum. Pin code 16 (a-Si: H) is an amorphous, hydrogen-bonded Si layer.

3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Bauelementes, wobei es sich um ein „front emitting" OLED-Bauelement handelt, bei dem das Elektrolumineszenzlicht 20 durch eine transparente Kathode 13 ausgekoppelt wird. In diesem Fall ist die Solarzelle 2 (bestehend aus 14, 15 und 16) zwischen den Dünnschichttransistoren (TFT), bestehend aus 4, 5, 6, 7, 17, 18 und der transparenten Dünnschichtverkapselung aus Photolack 8, angeordnet. 3 shows a schematic sectional view of a component according to the invention, which is a “front emitting” OLED component in which the electroluminescent light 20 through a transparent cathode 13 is decoupled. In this case, the solar cell 2 (consisting of 14 . 15 and 16 ) between the thin film transistors (TFT), consisting of 4 . 5 . 6 . 7 . 17 . 18 and the transparent thin-film encapsulation made of photoresist 8th , arranged.

4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer schematischen Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen Aktiv-Matrix-OLED-Bauelementes für ein „front emitting" OLED-Display. Im Unterschied zu 3 wird die Solarzelle 2 auch teilweise unter der lichtemittierende Fläche des organischen Emittermaterials 11 angeordnet. So kann Elektrolumineszenzlicht 20, welches vom organischen Emittermaterial 11 in das Substrat 1 durch eine transparente Anode 9 abgestrahlt wird, durch die Solarzelle 2 eingefangen und in elektrische Energie umgewandelt werden. 4 shows a further exemplary embodiment of a schematic sectional illustration of an active matrix OLED component according to the invention for a “front emitting” OLED display. In contrast to 3 becomes the solar cell 2 also partially under the light emitting surface of the organic emitter material 11 arranged. So can electroluminescent light 20 which is from the organic emitter mate rial 11 into the substrate 1 through a transparent anode 9 is emitted by the solar cell 2 captured and converted into electrical energy.

Die Erfindung ist nicht beschränkt auf die hier dargestellten Ausführungsbeispiele, vielmehr ist es möglich, durch Kombination und Modifikation der genannten Merkmale weitere Ausführungsvarianten zu realisieren, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.The invention is not limited to the exemplary embodiments shown here, rather it is possible by combining and modifying the features mentioned variants to realize without leaving the scope of the invention.

11: Substratsubstratum
22: Solarzellesolar cell
33: OLED-PixelOLED pixels
44: Pufferschicht (isolierend, nicht leitend)buffer layer (insulating, non-conductive)
55: Poly-Si-Schicht / amorphe-Si-SchichtPoly-Si layer / amorphous Si layer
66: SiOx-SchichtSiOx layer
77: Metallkontaktmetal contact
88th: Photolack/VerkapselungPhotoresist / encapsulation
99: Transparente Anodetransparent anode
1010: Anodeanode
1111: Organisches Emittermaterialorganic emitter material
1212: Kathodecathode
1313: Transparente Kathodetransparent cathode
1414: TCO (Transparent Conducting Oxide)TCO (Transparent Conducting Oxide)
1515: Rückkontaktback contact
1616: p-i-n (a-Si:H)pin code (A-Si: H)
1717: Gategate
1818: Source und Drainsource and drain
1919: Umgebungslichtambient light
2020: Elektrolumineszenzlichtelectroluminescent

Claims

Component for an active matrix OLED display consisting of a substrate ( 1 ), an anode ( 9 . 10 ), organic emitter material ( 11 ), a cathode ( 12 . 13 ) and components ( 7 . 17 . 18 ) for active control, characterized in that at least one solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) is integrated in the component.

Component according to claim 1, characterized in that the anode ( 9 . 10 ), the issuing material ( 11 }, the cathode ( 12 . 13 ), the components ( 7 . 17 . 18 ) for active control and the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) on the same substrate ( 1 ) are arranged.

Component according to claim 1 or 2, characterized in that the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) between the components ( 7 . 17 . 18 ) for active control and encapsulation ( 8th ) of the component is arranged.

Component according to claim 1 to 3, characterized in that the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) only in the areas next to the organic emitter material ( 11 ) is arranged.

Component according to Claims 1 to 4, characterized in that the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) is a thin-film solar cell.

Component according to claim 1 to 5, characterized in that the components ( 7 . 17 . 18 ) Form at least one thin film transistor for active control.

Component according to claim 6, characterized in that the components ( 7 . 17 . 18 ) an additional buffer layer for active control ( 4 ), a poly-Si layer ( 5 ) and / or a SiOx layer ( 6 ) exhibit.

Component according to claim 6, characterized in that the components ( 7 . 17 . 18 ) an additional buffer layer for active control ( 4 ), an amorphous Si layer ( 5 ) and / or a SiOx layer ( 6 ) exhibit.

Component according to claim 7 or 8, characterized in that the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) within the buffer layer ( 4 ) is arranged.

Active matrix OLED display characterized by at least a component according to one of claims 1 to 9.

Method for producing a component for an active matrix OLED display according to one of Claims 1 to 9, characterized in that on a substrate ( 1 ) both an OLED display ( 7 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 17 . 18 ) as well as a solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) are deposited.

A method according to claim 11, characterized in that the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) in the areas next to the organic emitter material ( 11 ) is deposited.

A method according to claim 11 or 12, characterized in that the deposition is implemented using a shadow mask.

Method according to Claims 11 to 13, characterized in that first the OLED display ( 7 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 17 . 18 ) and then the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) on the substrate ( 1 ) are deposited.

Method according to claim 11 to 13, characterized in that first the solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) and then the OLED display ( 7 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 17 . 18 ) on the substrate ( 1 ) are deposited.

A method according to claim 11 to 13, characterized characterized that OLED display ( 7 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 17 . 18 ) and solar cell ( 2 . 14 . 15 . 16 ) simultaneously on the substrate ( 1 ) are deposited.