-
Die Erfindung betrifft ein Mikroskopsystem
zur Detektion und Kompensation von Veränderungen eines aufgenommenen
Bildinhalts. Im Besonderen betrifft die Erfindung ein Mikroskopsystem
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Detektion und Kompensation
von Veränderungen
eines aufgenommenen Bildinhalts.
-
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde
ein Mikroskopsystem zu schaffen, mit dem auf schnelle und zuverlässige Weise Änderungen
eines Bildinhalts überwachbar
und bestimmbar sind und anhand deren das Mikroskopsystem nachregelt
wird.
-
Die objektive Aufgabe wird durch
ein Mikroskopsystem gelöst,
das die Merkmale des Patentanspruchs 1 aufweist.
-
Ferner liegt der Erfindung die Aufgabe
zugrunde ein Verfahren zu schaffen, mit dem mit dem auf schnelle
und zuverlässige
Weise Änderungen
eines Bildinhalts überwacht
und bestimmt werden und anhand deren Bestimmung das Mikroskopsystem
nachregelt wird.
-
Die obige objektive Aufgabe wird
durch ein Verfahren gelöst,
das die Merkmale des Patentanspruchs 7 aufweist.
-
Die Erfindung hat den Vorteil, dass
ein Rechnersystem vorgesehen ist, das die Berechnung von statistischen
Signaturen eines aufgenommenen mehrdimensionalen Bildes bestimmt.
Diese Signaturen ergeben sich durch die Projektion der Grauwerte
anhand der inhärenten
Achsen des Bildes (x,y,z,Lambda). Hinzu kommt, dass ein Mittel zum
Berechnen statistischer Signaturkenngrößen vorgesehen ist. Es ist
von besonderen Vorteil, dass mehrere Stellmotore und/oder Aktuatoren
am oder im Mikroskopsystem vorgesehen sind, und dass mindestes ein
Softwaremodul realisiert ist, das Steuersignale an die Stellmotore
bzw. Aktatoren liefert, die aus den Signaturkenngrößen ermittelbar
sind. Dadurch kann gewährleistet
werden, dass z.B. ein zu beobachtendes Element eine Objekts immer
unabhängig
von dessen Bewegung immer in optimalen Bildfenster ist. Hierzu erfolgt
dann eine entsprechende Verstellung des XYZ-Tisches, wobei die Stellsignale
aus den statistischen Signaturen und den statistischen Kenngrößen abgeleitet
sind. Ebenso ist es denkbar, dass sich die Wellenlänge des
von einem Element des Objekts ausgehenden Fluoreszenzlicht ändert. Hierzu
wäre eine
geeignete Verstellung am SP Modul des Mikroskopsystems erforderlich.
-
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen
der Erfindung können
den Unteransprüchen
entnommen werden.
-
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand
schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend
beschrieben. Dabei zeigen:
-
1 eine
schematische Darstellung eines Scanmikroskops, wobei den Detektoren
ein SP Modul vorgeschaltet ist;
-
2 eine
schematische Darstellung zum Abscannen eines Bereichs einer Probe;
-
3 eine
graphische Darstellung einer Projektion der Intensitätswerte
mit jeweils gleichen Koeffizienten einer Koordinate;
-
4 eine
graphische Darstellung von zeitlich unterschiedlichen Projektionen
der Intensitätswerte
mit jeweils gleichen Koeffizienten einer Koordinate;
-
5 erläutert das
Prinzip der Inferenz; und
-
6 eine
schematische Darstellung der Verbindungen des Rechnersystems mit
Stellelementen des Scanmikroskops.
-
In 1 ist
das Ausführungsbeispiel
eines konfokalen Scanmikroskops 100 schematisch gezeigt. Dies
soll jedoch nicht als Beschränkung
der Erfindung aufgefasst werden. Der von mindestens einem Beleuchtungssystem 1 kommende
Beleuchtungslichtstrahl 3 wird von einem Strahlteiler oder
einem geeigneten Umlenkmittel 5 zu einem Scanmodul 7 geleitet.
Bevor der Beleuchtungslichtstrahl 3 auf das Umlenkmittel 5 trifft, passiert
dieser ein Beleuchtungspinhole 6. Das Scanmodul 7 umfasst
einen kardanisch aufgehängten
Scanspiegel 9, der den Beleuchtungslichtstrahl 3 durch
eine Scanoptik 12 und eine Mikroskopoptik 13 hindurch über bzw.
durch ein Objekt 15 führt.
Das Beleuchtungssystem 1 kann derart ausgestaltet sein,
dass es aus dem Licht eines Lasers 10, Weisslicht erzeugt.
Hierzu ist ein mikrostrukturiertes Element 8 oder eine
tapered Glasfaser vorgesehen. Bei biologischen Objekten 15 (Präparaten)
oder transparenten Objekten kann der Beleuchtungslichtstrahl 3 auch
durch das Objekt 15 geführt
werden. Zu diesen Zwecken werden nichtleuchtende Präparate ggf.
mit einem geeigneten Farbstoff und oftmals auch mit mehreren Farbstoffen
präpariert
(nicht dargestellt, da etablierter Stand der Technik). Die in dem
Objekt 15 vorhandenen Farbstoffe werden durch den Beleuchtungslichtstrahl 3 angeregt
und senden Licht in einem ihnen eigenen charakteristischen Bereich
des Spektrums aus. Dieses vom Objekt 15 ausgehende Licht
definiert einen Detektionslichtstrahl 17. Der Detektionslichtstrahl 17 gelangt
zu einem Detektormodul 22. Der Detektionslichtstrahl 17 gelangt
durch die Mikroskopoptik 13, die Scanoptik 12 und über das
Scanmodul 7 zum Umlenkmittel 5, passiert dieses und gelangt
zum Detektormodul 22. Über
ein Detektionspinhole 18 trifft dieser auf mindestens einen
Detektor 36, 37, der jeweils als Photomultiplier
ausgeführt
ist. Es ist dem Fachmann klar, dass auch andere Detektionskomponenten,
wie z.B. Dioden, Diodenarrays, Photomultiplierarrays, CCD Chips
oder CMOS Bildsensoren eingesetzt werden können. Der vom Objekt 15 ausgehende
bzw. definierte Detektionslichtstrahl 17 ist in 1 als gestrichelte Linie
dargestellt. In den Detektoren 36, 37 werden elektrische,
zur Leistung des vom Objekt 15 ausgehenden Lichtes, proportionale
Detektionssignale erzeugt. Da, wie bereits oben erwähnt, vom
Objekt 15 Licht nicht nur einer Wellenlänge ausgesandt wird, ist es
sinnvoll vor dem mindestens einen Detektor 36, 37 ein
SP-Modul 20 vorzusehen. Die von dem mindestens einen Detektor 36, 37 erzeugten
Daten werden an ein Rechnersystem 23 weitergegeben. Dem
Rechnersystem 23 ist mindestens ein Peripheriegerät 27 zugeordnet.
Das Peripheriegerät 27 kann
z.B. ein Display sein, auf dem der Benutzer Hinweise zur Einstellung
des Scanmikroskops 100 erhält oder den aktuellen Setup
und auch die Bilddaten in graphischer Form entnehmen kann. Ferner
ist mit dem Rechnersystem 23 ein Eingabemittel 28 zugeordnet,
das z.B. aus einer Tastatur, einer Einstellvorrichtung für die Komponenten
des Mikroskopsystems und/oder einer Maus 30 besteht. Ebenso
ist dem Rechnersystem 23 ein Speicher 24 zugeordnet
in dem die Signaturen als Datensätze
abgelegt werden. Ferner ist im Rechnersystem 23 eine Software 25 implementiert,
mit der die geeigneten Berechnungen für das erfinderische Verfahren
durchgeführt
werden. Hinzu kommt, dass zusätzlich
auf dem Display 27 auch Einstellelemente 40, 41 für die Bildaufnahme
dargestellt werden. In der hier gezeigten Ausführungsform sind die Einstellelemente 40, 41 als
Schieber dargestellt. Ebenso können
die Einstellelemente 40, 41 als Checkboxen ausgebildet
sein, über
die ein Ja/Nein Aktivierung für
bestimmte Parameter möglich
ist. Jede andere Ausgestaltung liegt im handwerklichen Können eines
Fachmanns.
-
Der Detektionslichtstrahl 17 wird
mit einem Prisma 31 räumlich
spektral aufgespalten. Eine weitere Möglichkeit der spektralen Aufspaltung
ist die Verwendung eines Reflexions-, oder Transmissionsgitters.
Der spektral aufgespaltene Lichtfächer 32 wird mit der
Fokussieroptik 33 fokussiert und trifft anschließend auf
eine Spiegelblendenanordnung 34, 35. Die Spiegelblendenanordnung 34, 35,
die Mittel zur spektralen, räumlichen Aufspaltung,
die Fokussieroptik 33 und die Detektoren 36 und 37 werden
zusammen als SP-Modul 20 (oder Mutibanddetektor) bezeichnet.
-
Mit dem in 1 beschriebenen Mikroskopsystem können Bilder
50 von Objekten 15 aufgenommen werden. Die Bilder 50 sind
in der Regel aus einer 2-dimensionalen Matrix von an einander gereihten
Bildpunkten 54 aufgebaut. Auch höherdimensionale Bilder können durch
eine vom Kontrollrechner entsprechend koordinierten Aktion erfasst
werden. 2 zeigt eine
schematische Darstellung der Bildaufnahme. Die Bildaufnahme bei
dem Mikroskopsystem ist in der Regel so, dass eine Ebene in Objekt 15 mit
einem Laserstrahl 51 punkt- bzw. pixelweise beleuchtet
wird. Ebenso punkt- bzw. pixelweise erfolgt die Detektion des vom
Objekt 15 ausgehenden Detektionslichts 52. Der
Bereich des Objekts 15, der als Bild aufgenommen werden
soll, bzw. dessen Daten registriert werden sollen, kann von dem
Benutzer in geeigneter Weise verändert
werden. So kann der Benutzer z.B. die Größe auf bestimmte interessierende
Bereiche des Objekts 15 beschränken. Die Probe bzw. das Objekt
wird durch den Laserstrahl 51 in der Regel meanderförmig abgescannt.
Der Laserstrahl 51wird dabei entlang der in 2 angedeuteten Pfeile 53 abgescannt.
Der in 2 eingezeichnete
und grau gefüllte Kreis
stellt den flächigen
Bildpunkt 54 dar, mit dem die gesamte Probe abgescannt
wird. In dem in 2 gezeigten
Ausführungsbeispiel
ist eine Non-Descan Anordnung dargestellt, so dass das vom Objekt
transmittierte und vom Objekt ausgehende Licht detektiert wird.
Dabei kann je nach der Einstellung des Mikroskopsystems oder nach
Benutzervorgaben die Wellenlänge,
Intensität
usw. für
jeden abgescannten Bildpunkt bestimmt werden. Somit ergibt sich
je nach der Anzahl der bestimmten Werte die Dimensionalität des von
der Probe aufgezeichneten Bildes. Für eine bestimmte vom Benutzer
wählbare
Auswertung werden die aufgenommenen Daten an das Rechnersystem 23 übertragen.
-
Wie bereits vorstehend erwähnt, kann
das aufgenommene Bild je nach dem eingestellten Messverfahren 2-dimensional,
3-dimensional, 4-dinemsional usw. sein. Ein 3-dimensionales Bild
besteht z.B. aus der X-Koordiante xM, der
Y-Koordinate yN und einer Intensität IMN für
die bei dem jeweiligen Pixel gemessenen Intensität. Es ist selbstverständlich,
dass sich das Bild des Objekts 15 aus mehreren Freiheitsgeraden
des Systems zusammengesetzt werden kann (z.B. x, y, z, Wellenlänge, Intensität,...).
Die Freiheitsgrade werden als Achsen des Bildes bezeichnet. In 3 ist ein 3-dimensionales
Bild dargestellt, das die X-Achse x, Y-Achse y und die Intensität 1 am jedem
Pixel xM, yN wiedergibt.
Für die
schematische Darstellung des Bildes aus 3 lässt
sich eine Projektion berechnen, d.h. z.B. für alle diskreten Koordinaten
der x-Achse werden alle Pixel des Bildes zusammengezählt, die
den gleichen Koeffizienten für
dieses Koordinate haben. Es wird somit die Summe aller Intensitäten gebildet.
Heraus kommt eine Verteilungsfunktion 60, die etwas über die
Kompaktheit der Bildszene aussagt. Diesen Berechnungsschritt kann
man zum Beispiel mittels FPGAs oder DSPs effizient realisieren.
Diese Verteilungsfunktion 60 lässt sich relativ einfach durch
beschreibende statistische Kennwerte beschreiben, wie z.B. Mittelwert,
Varianz, höheren
statistischen Momenten, Minimum und Maximum, Median, oder statistische
Quartiele. Alle Parameter zur Beschreibung statistischer Verteilungen
und Verteilungsdichtefunktionen kann in diesem Sinne zur Quantifizierung
von Veränderungen
nutzen kann. Verändert
sich auf der X-Achse x die Varianz zwischen Bildern so bedeutet
dies bei kleiner werdender Varianz eine Konzentration von Pixeln,
was ein Anzeichen dafür
ist das Bildformat zu verkleinern, wächst sie ist dies ein Anzeichen
das Bildformat zu vergrößern. Verändert sich
der Mittelwert oder eines der Randquartile, so ist dies ein Anzeichen
dafür,
dass ein bewegliches Objekt vorliegt. Bei gleich bleibender Varianz
(in gewissen Grenzen) liegt oft ein bewegliches Objekt vor. Das
selbe Verfahren bzw. Klassifikation kann ebenfalls für die Y-Achse
und die Z-Achse angewendet werden. Dabei ist zu bemerken, dass man
aus unterschiedlichen statistischen Kennwerten sehr viele unterschiedliche
Argumentationen und Steuervorschriften aufstellen kann. Diesen Punkt
werden wir weiter unten unter dem Punkt Inferenz wieder aufnehmen.
-
Im spektralen Fall ist die Interpretation
eine etwas andere, da sich spektrale Veränderungen auf der Basis chemischer
und physikalischer Parameter ergibt, die sich etwas schwieriger
mental erfassen lassen. Im Prinzip ist die Erhöhung und Reduktion des Bildformats
(spektrale Abtastpunkte) aber identisch.
-
4 zeigt
eine graphische Darstellung von zeitlich unterschiedlichen Projektionen
der Intensitätswerte
mit jeweils gleichen Koeffizienten einer Koordinate. Zu einer Zeit
T, wird das Bild 50, Objekts 15 aufgenommen und die Verteilungsfunktion 60,
bezüglich
der x-Achse x und eine Verteilungsfunktion 61, bezüglich der y-Achse
ermittelt. Im Objekt 15 ist z. B. ein erstes und ein zweites
Element 58, 59 vorhanden. in der Verteilungsfunktion 60,
bezüglich
der x-Achse werden die Lagen 74, 75 des ersten
und des zweiten Elements 58, 59 ermittelt. In
der Verteilungsfunktion 61, bezüglich der y-Achse werden ebenfalls
die Lagen 77, 78 des ersten und des zweiten Elements 58, 59 ermittelt.
Zu einer Zeit T2 wird das Bild 502 Objekts 15 aufgenommen und die Verteilungsfunktion 602 bezüglich der x- Achse x und eine Verteilungsfunktion 612 bezüglich der y-Achse ermittelt.
Für das
im Objekt 15 vorhandene erste und zweite Element 58, 59 werden
aus der Verteilungsfunktion 602 werden
die Lagen 74, 75 des ersten und des zweiten Elements 58, 59 bezüglich der
x-Achse ermittelt. Ebenso werden das erste und zweite Element 58, 59 werden
aus der Verteilungsfunktion 612 werden
die Lagen 78, 79 des ersten und des zweiten Elements 58, 59 bezüglich der
y-Achse ermittelt. Aus dem Vergleich der Lagen 74, 75, 78 und 79 können Rückschlüsse auf
die Veränderungen
des ersten und zweiten Elements 58, 59 bestimmt werden.
In dem in 4 dargestellten
Beispiel handelt es sich bei dem ersten Element 58 um eine Größenzunahme
bei unverändertem
Ort. Bei dem zweiten Element 59 wird eine Ortsveränderung
bestimmt. Das Scanmikroskop 100 kann nun für das zweite
Element 59 entsprechend verstellt werden, damit das Element 59 immer
in zentrum eines Bildfensters (nicht dargestellt) ist.
-
In
5 ist
das Prinzip der Inferenz illustriert. Die Inferenz ist ein Mechanismus
um systematisch aus einem Satz Regeln Schlussfolgerungen abzuleiten.
Das Prinzip der Inferenz über
Faktenwissen ist seit langem Standard in der KI (Künstlichen
Intelligenz), in der eine Folge von Fakten und Regeln der Form
-
Verarbeitet werden. In diesen Regeln
sind Variablen und Fakten (hier A,B,C,D, F) logische Aussagen die
sich überprüfen lassen.
Alle Regeln sind in einer Datenbank im Speicher des Rechners angeordnet
und werden über
Backtracking Algorithmen bearbeitet. Die Fakten werden in einer
Liste geführt
(z.B. A ist wahr) und alle Regeln durchgeprüft, neue Fakten über die
Regelmenge generiert, bis bei einem neueren Durchlauf keine weiteren Fakten
mehr erzeugt werden. Als Beispiel: Die Regel (Wenn XX DANN YY) ist
wahr wenn die Prämisse
XX eintritt und wird somit zu einem neuen Fakt. Dieses Konzept lässt sich
direkt anwenden, wenn die geeignete Menge an Merkmalen geeignet
kodiert vorliegt. Zu diesem Zweck werden die erfassten Signaturkenngrößen in eine
Fakten und Regelbasis eingebettet, was ungefähr so aussehen kann:
-
Durch eine Handvoll regeln lassen
sich den Daten so schon eine relativ einfache Interpretation wie „Bewegung", „Kontraktion" oder „Expansion" geben. Die Regelbasis
muss hierfür
natürlich
für den
Mehrdimensionalen Fall aufgebaut werden, was den Rahmen dieser Präsentation
sprengen würde.
Die Inferenzmaschine kann dann durch iterative Konstruktion einer
Erklärung
immer detailiertere Auswertungen vornehmen, wobei die Art der Auswertung
explizit durch das hinterlegte Regelwerk hinterlegt werden, das
bei hinreichend feinen Aussagen schon großes Ausmaß annehmen kann. Die Leistungsfähigkeit
des Systems hängt
nur von der Anzahl an Regeln, der Qualität der Regeln, den bereitgestellten
initialen Fakten und der Messgenauigkeit dieser Fakten ab und lässt so sehr
viele Freiheitsgerade zur Implementierung. Es bleibt zu bemerken,
dass dies ein höchst
mächtiger
Rechenapparat ist, der in der Theorie der Informatik alles Berechenbare
berechnen kann. Die Einfachheit dieser Beispiele dient nur den eigentlichen
Vorgang transparent zu machen. Bei einer geeigneten Realisierung,
werden sich weit größere Inferenzketten
ergeben, die aber den Rahmen der Darstellung hier sprengen würden. Aus
der durch die Inferenz herbeigeführte
Situationsklassifikation lassen sich dann unter Hinzunahme weiterer
Fakten wie

-
Der Regelkreis effektiv schließen.
-
Es bleibt zu bemerken, dass auch
neuere Abwandlungen des Inferenz Kerngedankens wie Fuzzy Regeln,
Neuro-Fuzzy Regeln, Bayes Netzwerke nichts am Prinzip ändern, sondern
nur anstatt den harten Entscheidungsgrenzen die durch boolsche Logik
vorgegeben ist, weiche und stetige Aussagen über die Regelbasis generieren.
In diesen Ansätzen
werden die althergebrachten Logikelemente UND,ODER,NICHT, WENN, DANN
... durch weichere Äquivalente
explizit oder implizit ersetzt. Im Falle wahrscheinlichkeitstheoretischer Ansätze wird
für die
Regeln nach dem Bayes Ansatz eine Wahrscheinlichkeit durch das Regelwerk
zugewiesen, wobei die Regeln mit maximaler Wahrscheinlichkeit ausgewählt werden.
Dies ist dem Fachmann hinreichend bekannt und kann im Falle einer
Implementierung vorteilhaft sein ohne der Lehre dieser Erfindung
zu widersprechen. Es bleibt auch die Möglichkeit die Inferenzmaschine
direkt als Computerprogramm in Code zu verfassen. Im System werden
aus der Menge aller Regeln und Fakten 80, werden iterativ
einzelne Regeln 81 herausgegriffen und Ihre Prämissen geprüft. Durch
die Iterative Ausführung
wird so zur Laufzeit dieses Verfahrens der Baum von Regeln mit erfüllter Prämisse 82 erzeugt,
den man als Argumentation oder Beweis interpretieren kann. Der Prozess
geht weiter bis keine weiteren Regeln mehr bewiesen werden kann
und ableitbare Steuersignale vorliegen.
-
6 zeigt
eine schematische Darstellung eines Teilbereichs des Mikroskopsystems,
der die Verbindung des Rechnersystems 23 mit den verschiedenen
Stellelementen des Scanmikroskops 100. In einer Ausführungsform,
kann z.B. ein FPGA 63 vorgesehen sein, der die Berechnung
der spektralen Signaturen für
jede Achse ausführt.
Das FPGA 63 kann in Mikroskop selbst angeordnet sein, oder
in einer separat dafür
vorgesehenen Elektronikbox 64 untergebracht werden oder
als Einschub im Rechner selbst ausgebildet sein. Im dem in 4 dargestellten Ausführungsbeispiel
ist das FPGA 63 in einer Elektronikbox 64 untergebracht.
Ebenso ist es denkbar, dass eine in Software realisierte Berechnung
spektraler Signaturen für
jede Achse durchgeführt wird.
Dabei können
sowohl die Software 25 und/oder das FPGA 63 in
entsprechender Weise zusammenarbeiten. Eine in Software 25/FPGA
63 realisierte Berechnung statistischer Signaturkenngrößen ist
realisiert. Ferner ist ein Softwaremodul 25a vorgesehen,
das zum Tracking der Veränderungen
der Signaturen dient. Ein weiteres Softwaremodul 25b dient
zur Interpretation der Veränderung
und Umsetzung in entsprechende Aktuatorsignale. So ist z.B. das
Scanmikroskop 100 mit einem XYZ-Tisch 65 versehen,
der in allen drei Raumrichtungen verstellbar ausgestaltet ist. Für jede Achse
ist ein Stellmotor 66 vorgesehen, über den eine geeignete Verstellung
des XYZ-Tisches 65 durchgeführt wird. Die Signale für die Verstellung
werden von dem weiteren Softwaremodul 25b erzeugt. Ebenso
erzeugt das weitere Softwaremodul 25b Signale zum Verstellen
eines Objektivrevolvers 67 des Scanmikroskops 100.
Der Objektivrevolver 67 umfasst einen ersten Stellmotor
68 zum Drehen des Objektivrevolvers 67, so dass eines der
mehreren Objektive 70 in die Arbeitsposition verbracht
wird. Ferner kann ein zweiter Stellmotor oder Aktuator 69 (Piezo)
vorgesehen sein, der den eine Relativbewegung zwischen dem Objektivrevolver 67 und
dem XYZ-Tische 65 erzeugt. Das auswählen eines anderen Objektivs 70 wird
z.B. dann angeregt, wenn das Ergebnis der Berechnungen durch die
Softwaremodule 25a und 25b die Auswahl eines neuen
Bildfensters erforderlich machen. Ebenso werden an die Galvos 71 des
Scanmoduls 7 entsprechende Steuersignale geliefert. Ein
Detektormodul 22 ist ebenfalls über mindestens ein geeignetes Stellelement 73 entsprechend
der Vorgaben durch den Benutzer und/oder mindestes eines der Softwaremodule 25a oder 25b einstellbar.
Eine weitere Möglichkeit
der Verstellung ist durch eine geeignete Einstellung des Beleuchtungslichts
gegeben. Hierzu ist ein Stellmittel 72 vorgesehen, das
ein Auswahlmittel 76 betätigt, um einen bestimmten spektralen
Bereich einer spektralen Beleuchtung auszuwählen. Die Anzahl der Stellmöglichkeiten
hängen
im wesentlichen von der Ausstattung des Mikroskopsystems ab. Eine
Standard Konfiguration eines Scanmikroskops hat zum Beispiel neben
einer Galvanometersteuerung in XYZ für die Steuerung des Abtastpunkts
häufig
noch einen XY Tisch und einen groben z-Aktor womit sich für XYZ jeweils
2 Sätze
Aktoren ergeben die zur Steuerung genutzt werden können. Die
genaue Ausgestaltung wann welcher Aktor gesteuert wird bleibt dem
Können
des Fachmanns überlassen,
der die Regelbasis so wählt,
dass große
Verfahrwege mit dem groben Aktor kompensiert werden und kleine Verfahrwege
mit dem feinen Aktor. Es bleibt zu bemerken dass eine Kompensation
spektraler Veränderungen
nur auf einem System Sinn macht, dass mit einem einstellbaren Spektraldetektor
ausgestattet ist. Generell lassen sich so alle Freiheitsgerade in
XYZ-Lambda kompensieren so lange die Mikroskopkonfiguration für diese
Freiheitsgerade Aktorik aufweist.
-
Die Erfindung wurde in Bezug auf
eine besondere Ausführungsform
beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen
und Abwandlungen durchgeführt
werden können,
ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
-
- 1
- Beleuchtungssystem
- 3
- Beleuchtungslichtstrahl
- 5
- Umlenkmittel
- 6
- Beleuchtungspinhole
- 7
- Scanmodul
- 8
- mikrostrukturiertes
Element
- 9
- Scanspiegel
- 10
- Laser
- 12
- Scanoptik
- 13
- Mikroskopoptik
- 15
- Objekt
- 17
- Detektionslichtstrahl
- 18
- Detektionspinhole
- 20
- SP-Modul
- 22
- Detektormodul
- 23
- Rechnersystem
- 24
- Speicher
- 25
- Software
- 25a
- Softwaremodul
- 25b
- Softwaremodul
- 27
- Peripheriegerät
- 29
- Einstellvorrichtung
- 30
- Maus
- 31
- Prisma
- 32
- aufgespaltener
Lichtfächer
- 33
- Fokussieroptik
- 34
- Spiegelblendenanordnung
- 35
- Spiegelblendenanordnung
- 36
- Detektor
- 37
- Detektor
- 38
- Detektor
- 40
- Einstellelement
- 41
- Einstellelement
- 50
- Bild
vom Objekt
- 501
- Bild
des Objekts zu T1
- 502
- Bild
des Objekts zu T2
- 51
- Laserstrahl
- 52
- Detektionslicht
- 53
- Pfeile
- 54
- Bildpunkt
- 58
- erstes
Element
- 59
- zweites
Element
- 60
- Verteilungsfunktion
- 601
- Verteilungsfunktion
bezüglich
der x-Achse zu T1
- 602
- Verteilungsfunktion
bezüglich
der x-Achse zu T2
- 611
- Verteilungsfunktion
bezüglich
der y-Achse T1
- 612
- Verteilungsfunktion
bezüglich
der y-Achse T2
- 63
- FPGA
- 64
- Elektronikbox
- 65
- XYZ-Tisch
- 66
- Stellmotor
- 67
- Objektivrevolver
- 68
- erster
Stellmotor
- 69
- Stellmotor
oder Aktuator
- 70
- Objektive
- 71
- Galvos
- 72
- Stellmittel
- 73
- Stellelement
- 74
- Lage
- 75
- Lage
- 76
- Auswahlmittel
- 78
- Lage
- 79
- Lage
- 80
- Fakten
- 81
- Regeln
- 82
- Prämisse
- 100
- Scanmikroskop