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DE10244235A1 - Absolute position measuring device compares scanned signals for complementary partial regions of each code element for providing binary information - Google Patents

Absolute position measuring device compares scanned signals for complementary partial regions of each code element for providing binary information Download PDF

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DE10244235A1
DE10244235A1 DE10244235A DE10244235A DE10244235A1 DE 10244235 A1 DE10244235 A1 DE 10244235A1 DE 10244235 A DE10244235 A DE 10244235A DE 10244235 A DE10244235 A DE 10244235A DE 10244235 A1 DE10244235 A1 DE 10244235A1
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DE
Germany
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code
code element
difference
measuring device
position measuring
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE10244235A
Other languages
German (de)
Inventor
Erich Dipl.-Ing. Strasser (Fh)
Rudolf Dipl.-Ing. Mittmann (FH)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Priority to US10/500,787 priority patent/US7013575B2/en
Priority to CNB028272919A priority patent/CN1302260C/en
Priority to PCT/EP2002/013547 priority patent/WO2003060431A1/en
Priority to DE50203793T priority patent/DE50203793D1/en
Priority to ES02787886T priority patent/ES2244823T3/en
Priority to JP2003560479A priority patent/JP4044524B2/en
Priority to AT02787886T priority patent/ATE300725T1/en
Priority to EP02787886A priority patent/EP1468254B1/en
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
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    • G01D5/34792Absolute encoders with analogue or digital scales with only digital scales or both digital and incremental scales

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Abstract

The position measuring device has a scanning unit (AE) for scanning a sequential pseudo-random code (C) having a series of code elements (C1,C2,C3) extending in the measuring direction (X), each having 2 complementary partial regions. The binary information (B1,B2,B3) for each code element is obtained by comparing scanned signals for both partial regions. An Independent claim for an absolute position measuring method is also included.

Description

Die Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung der absoluten Position gemäß dem Anspruch 1 sowie ein Verfahren zur absoluten Positionsmessung gemäß dem Anspruch 9.The invention relates to a position measuring device to determine the absolute position according to claim 1 and a Method for absolute position measurement according to claim 9.

Auf vielen Gebieten werden vermehrt absolute Positionsmesseinrichtungen eingesetzt, bei denen die absolute Positionsinformation aus einer Codespur mit in Messrichtung hintereinander angeordneten Codeelementen abgeleitet wird. Die Codeelemente sind dabei in pseudozufälliger Verteilung vorgesehen, so dass eine bestimmte Anzahl von aufeinanderfolgenden Codeelementen jeweils ein Bitmuster bildet. Bei der Verschiebung der Abtasteinrichtung gegenüber der Codespur um ein einziges Codeelement wird bereits ein neues Bitmuster gebildet und über den gesamten absolut zu erfassenden Messbereich steht eine Folge von unterschiedlichen Bitmustern zur Verfügung.In many areas there is an increase absolute position measuring devices are used, in which the absolute Position information from a code track with one behind the other in the measuring direction arranged code elements is derived. The code elements are thereby in pseudo-random Distribution provided so that a certain number of consecutive Code elements each form a bit pattern. When moving opposite the scanner the code track around a single code element is already a new one Bit pattern formed and over there is a consequence of the entire measuring range to be absolutely recorded of different bit patterns available.

Ein derartiger sequentieller Code wird als Kettencode oder als Pseudo-Random-Code bezeichnet.Such a sequential code is called a chain code or a pseudo-random code.

In der Veröffentlichung "Absolute position measurement using optical detection of coded patterns", von J.T.M. Stevenson und J.R. Jordan in Journal of Physics E / Scientific Instruments 21 (1988), No. 12, Seiten 1140 bis 1145 ist angeführt, dass jedes Codeelement aus einer vorgegebenen Abfolge zweier Teilbereiche mit zueinander komplementären optischen Eigenschaften besteht.In the publication "Absolute position measurement using optical detection of coded patterns ", by J.T.M. Stevenson and J.R. Jordan in Journal of Physics E / Scientific Instruments 21 (1988), No. 12, pages 1140-1145 states that each code element from a predetermined sequence of two sub-areas with each other complementary optical properties.

In der Veröffentlichung ist auf die GB 2 126 444 A hingewiesen. Dort wird nun zur Erzeugung der binären Information bei einer derartigen Manchester-Codierung vorgeschlagen, die analogen Abtastsignale der Codebereiche mit einer vorgegebenen Triggerschwelle zu vergleichen und davon abhängig eine binäre Information 0 oder 1 zu generieren.In the release is on the GB 2 126 444 A. There is now used to generate the binary information with such Manchester coding proposed the analog scanning signals of the code areas with a compare the given trigger threshold and depending on it one binary Generate information 0 or 1.

Dieser Vergleich mit einer fest vorgegebenen Triggerschwelle hat den Nachteil, dass Schwankungen in den analogen Abtastsignalen zur fehlerhaften Generierung der binären Informationen führen können.This comparison with a fixed trigger threshold has the disadvantage that fluctuations in the analog scanning signals can lead to incorrect generation of the binary information.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine absolute Positionmesseinrichtung mit hoher Zuverlässigkeit bzw. Betriebssicherheit zu schaffen, mit der also eine möglichst fehlerfreie Erzeugung der absoluten Position möglich ist.The invention is therefore the object an absolute position measuring device with high reliability or to create operational security, with which one as possible error-free generation of the absolute position is possible.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.This task is due to the characteristics of claim 1 solved.

Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Bestimmung einer absoluten Position anzugeben, mit dem eine möglichst fehlerfreie Erzeugung der binären Information und somit der absoluten Position ermöglicht wird.The invention is also the Task, a method for determining an absolute position specify with which one if possible error-free generation of the binary Information and thus the absolute position is made possible.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruches 9 gelöst.This task comes with the characteristics of claim 9 solved.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.Advantageous embodiments of the Invention are in the dependent claims specified.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen näher erläutert, dabei zeigen:The invention is explained in more detail with reference to the drawings demonstrate:

1 eine Positionsmesseinrichtung in schematischer Darstellung; 1 a position measuring device in a schematic representation;

2 das Prinzip einer Fehlerprüfung; 2 the principle of error checking;

3 die Signale zur Fehlerprüfung gemäß 2; 3 the signals for error checking according to 2 ;

4 eine Positionsmesseinrichtung mit einer inkrementalen Spur zur Erzeugung von Steuersignalen; 4 a position measuring device with an incremental track for generating control signals;

5a analoge Abtastsignale der inkrementalen Spur; 5a analog scan signals of the incremental track;

5b Steuersignale aus den analogen Abtastsignalen gemäß 5a; 5b Control signals from the analog scanning signals according to 5a ;

6a eine erste Abtastposition der Positionsmesseinrichtung; 6a a first scanning position of the position measuring device;

6b eine zweite Abtastposition der Positionmesseinrichtung; 6b a second scanning position of the position measuring device;

6c eine dritte Abtastposition der Positionsmesseinrichtung und 6c a third scanning position of the position measuring device and

6d eine vierte Abtastposition der Positionsmesseinrichtung. 6d a fourth scanning position of the position measuring device.

In 1 ist eine erfindungsgemäß ausgestaltete Positionsmesseinrichtung schematisch dargestellt. Diese Positionsmesseinrichtung arbeitet nach dem optischen Abtastprinzip, bei dem ein Code C im Durchlichtverfahren abgetastet wird. Zur Abtastung des Codes C dient eine Abtasteinrichtung AE, die in Messrichtung X relativ zum Code C bewegbar angeordnet ist.In 1 A position measuring device designed according to the invention is shown schematically. This position measuring device works according to the optical scanning principle, in which a code C is scanned using the transmitted light method. A scanning device AE, which is arranged to be movable in the measuring direction X relative to the code C, is used to scan the code C.

Der Code C besteht aus einer in Messrichtung X hintereinander angeordneten Folge von gleich langen Codeelementen C1, C2, C3. Jedes Codeelement C1, C2, C3 besteht wiederum aus zwei gleich langen in Messrichtung X nebeneinander unmittelbar aufeinanderfolgend angeordneten Teilbereichen A und B, die zueinander komplementär ausgebildet sind. Komplementär bedeutet dabei, dass sie inverse Eigenschaften besitzen, also beim optischen Abtastprinzip transparent und nicht transparent bzw. bei Auflicht-Abtastung reflektierend bzw. nicht reflektierend sind.Code C consists of one in the measuring direction X successive sequence of code elements of the same length C1, C2, C3. Each code element C1, C2, C3 in turn consists of two of equal length in the direction of measurement X next to each other in direct succession arranged partial areas A and B, which are complementary to each other. Complementary means that they have inverse properties, i.e. with optical scanning principle transparent and not transparent or with reflected light scanning are reflective or non-reflective.

Der sequentielle Code C wird von der Abtasteinrichtung AE abgetastet, die eine Lichtquelle L enthält, deren Licht über eine Kollimatorlinse K mehrere aufeinanderfolgende Codeelemente C1, C2, C3 beleuchtet. Das Licht wird von dem Code C positionsabhängig moduliert, so dass hinter dem Code C eine positionsabhängige Lichtverteilung entsteht, die von einer Detektoreinheit D der Abtasteinrichtung AE erfasst wird.The sequential code C is from the scanning device AE, which contains a light source L, the Light over a collimator lens K several successive code elements C1, C2, C3 illuminated. The light is modulated by code C depending on the position, so that there is a position-dependent light distribution behind code C, which is detected by a detector unit D of the scanning device AE becomes.

Die Detektoreinheit D ist ein Zeilensensor mit einer in Messrichtung X angeordneten Folge von Detektorelementen D1 bis D11. Jedem Teilbereich A, B der Codeelemente C1, C2, C3 ist in jeder Relativlage zumindest ein Detektorelement D1 bis D11 eindeutig zugeordnet, so dass in jeder Relativlage der Detektoreinheit D gegenüber dem Code C ein Abtastsignal S1A bis S3B aus jedem Teilbereich A, B gewonnen wird. Diese Abtastsignale S1A bis S3B werden einer Auswerteeinrichtung AW zugeführt, welche die beiden Abtastsignale S1A, S1B; S2A, S2B; S3A, S3B der beiden Teilbereiche C1A, C1B; C2A, C2B; C2A, C2B; C3A, C3B eines Codeelementes C1, C2, C3 jeweils miteinander vergleicht und durch diesen Vergleich für jedes Codeelement C1, C2, C3 einen digitalen Wert bzw. ein Bit B1, B2, B3 erzeugt. Eine Folge mehrerer digitaler Werte B1, B2, B3 ergibt ein Codewort CW welches die absolute Position definiert. Bei einer Verschiebung der Detektoreinheit D gegenüber dem Code C um die Breite bzw. Länge eines Codeelementes C1, C2, C3 wird ein neues Codewort CW erzeugt und über den absolut zu vermessenden Messbereich wird eine Vielzahl von unterschiedlichen Codewörtern CW gebildet.The detector unit D is a line sensor with a sequence of detector elements D1 to D11 arranged in the measuring direction X. At least one detector element D1 to D11 is uniquely assigned to each subarea A, B of the code elements C1, C2, C3, so that in each relative position of the detector unit D compared to the code C, a scanning signal S1A to S3B is obtained from each subarea A, B. , These scanning signals S1A to S3B become one Evaluation device AW supplied, which the two scanning signals S1A, S1B; S2A, S2B; S3A, S3B of the two subareas C1A, C1B; C2A, C2B; C2A, C2B; C3A, C3B of a code element C1, C2, C3 each compares with one another and generates a digital value or a bit B1, B2, B3 for each code element C1, C2, C3. A sequence of several digital values B1, B2, B3 results in a code word CW which defines the absolute position. When the detector unit D is shifted relative to the code C by the width or length of a code element C1, C2, C3, a new code word CW is generated and a large number of different code words CW are formed over the measuring range to be measured absolutely.

1 zeigt eine Momentanstellung des Codes C relativ zur Abtasteinrichtung AE. Die Detektorelemente D1 bis D11 sind aufeinanderfolgend in einem Abstand mit der halben Breite eines Teilbereiches C1A bis C3B des Codes C angeordnet. Dadurch ist sichergestellt, dass in jeder Position zumindest ein Detektorelement D1 bis D11 einem Teilbereich C1A bis C3B eindeutig zugeordnet ist und nicht einen Übergang zwischen zwei Teilbereichen C1A bis C3B abtastet. In der dargestellten Position wird der Teilbereich C1A vom Detektorelement D1 und der Teilbereich C1B vom Detektorelement D3 abgetastet. Die Detektorelemente D1, D3 erfassen die Lichtverteilung und erzeugen in Abhängigkeit der Lichtintensität ein analoges Abtastsignal S1A, S1B proportional zur Lichtintensität. Da die beiden Teilbereiche C1A und C1B komplementär zueinander ausgebildet sind, ist auch die Intensität der Abtastsignale S1A und S1B invers zueinander, die Signalpegel sind also weit voneinander beabstandet. 1 shows a current position of the code C relative to the scanning device AE. The detector elements D1 to D11 are successively arranged at a distance of half the width of a partial area C1A to C3B of the code C. This ensures that at least one detector element D1 to D11 is uniquely assigned to a partial area C1A to C3B in each position and does not scan a transition between two partial areas C1A to C3B. In the position shown, the partial area C1A is scanned by the detector element D1 and the partial area C1B by the detector element D3. The detector elements D1, D3 detect the light distribution and, depending on the light intensity, generate an analog scanning signal S1A, S1B proportional to the light intensity. Since the two subareas C1A and C1B are complementary to one another, the intensity of the scanning signals S1A and S1B is also inverse to one another, that is to say the signal levels are spaced far apart.

Dieser Signalabstand wird nun zur Erzeugung der binären Information B1 ausgenutzt, indem geprüft wird, welches der beiden Abtastsignale S1A, S1B des Codeelementes C1 größer ist. Diese Prüfung kann durch Quotientenbildung oder durch Differenzbildung erfolgen. Am Beispiel wird die Differenzbildung eingesetzt, wozu gemäß 1 als Vergleichseinrichtung ein Triggerbaustein T1 dient. Der Triggerbaustein T1 erzeugt B1=0, wenn S1A kleiner S1B und B1=1, wenn S1A größer S1B ist. In gleicher Weise werden binäre Informationen B2 und B3 durch Abtastung der Codeelemente C2, C3 und Vergleich der analogen Abtastsignale S2A, S2B; S3A, S3B der Teilbereiche C2A, C2B; C3A, C3B jeweils eines Codeelementes C2, C3 durch Triggerbausteine T2, T3 gewonnen.This signal spacing is now used to generate the binary information B1 by checking which of the two scanning signals S1A, S1B of the code element C1 is larger. This check can be done by forming quotients or by forming differences. Using the example, difference formation is used, for which purpose 1 A trigger module T1 serves as a comparison device. The trigger module T1 generates B1 = 0 if S1A is smaller than S1B and B1 = 1 if S1A is larger than S1B. In the same way, binary information B2 and B3 are obtained by scanning the code elements C2, C3 and comparing the analog scanning signals S2A, S2B; S3A, S3B of subareas C2A, C2B; C3A, C3B each of a code element C2, C3 obtained by trigger modules T2, T3.

Einer ersten Abfolge der komplementär zueinander ausgebildeten Teilbereich A, B wird also ein erster digitaler Wert und einer zweiten Abfolge der komplementär zueinander ausgebildeten Teilbereiche A, B wird ein zweiter digitaler Wert zugeordnet. Im Beispiel wird der Abfolge opak → transparent der Wert 0 und der Abfolge transparent → opak der Wert 1 zugeordnet.A first sequence of complementary to each other trained subarea A, B thus becomes a first digital value and a second sequence of complementary ones Subareas A, B are assigned a second digital value. in the Example becomes the sequence opaque → transparent assigned the value 0 and the sequence transparent → opaque the value 1.

Da die beiden Teilbereiche A und B jedes Codeelementes C1, C2, C3 zueinander komplementär sind, ist der Störabstand der Abtastsignale S sehr groß. Eine Veränderung der Lichtintensität der Lichtquelle L beeinflusst die Abtastsignale S beider Teilbereiche A und B gleichermaßen.Since the two sub-areas A and B each code element C1, C2, C3 are complementary to each other, is the signal-to-noise ratio the scanning signals S very large. A change the light intensity the light source L influences the scanning signals S of both sections A and B alike.

Aufgrund der komplementären Ausgestaltung jeweils zweier Teilbereiche A, B eines Codeelementes C1, C2, C3 müssen bei korrekter Betriebsweise der Positionsmesseinrichtung durch Abtastung dieser Teilbereich A, B jeweils analoge Abtastsignale S erzeugt werden, deren Differenz einen vorgegebenen Wert übersteigt. Durch Beobachtung dieses Differenzwertes ist eine gute Fehlerprüfung möglich. Die Grundlage dieser Fehlerprüfung ist, dass davon ausgegangen werden kann, dass bei Unterschreiten des Differenzwertes um einen vorgegebenen Betrag die binäre Information B1, B2, B3 unsicher ist und daher zu dieser binären Information B1, B2, B3 ein Fehlersignal F1 erzeugt wird.Because of the complementary design two sub-areas A, B of a code element C1, C2, C3 have to with correct operation of the position measuring device by scanning it Subareas A, B are generated analog scanning signals S, whose difference exceeds a predetermined value. Through observation this difference value allows a good error check. The basis of this error checking is that it can be assumed that if the Difference value by a predetermined amount the binary information B1, B2, B3 is uncertain and therefore for this binary information B1, B2, B3 an error signal F1 is generated.

Das Prinzip der Erzeugung des Fehlersignals F1 ist in 2 dargestellt. Die analogen Abtastsignale S1A und S1B des Codeelementes C1 werden einer Fehlerprüfeinrichtung P zugeführt. Die Fehlerprüfeinrichtung P vergleicht S1A und S1B durch Differenzbildung (S1A – S1B) und prüft, ob der Differenzbetrag einen vorgegebenen Vergleichswert V übersteigt oder nicht übersteigt. Wenn der Differenzbetrag (S1A – S1B) den vorgegebenen Vergleichswert V nicht übersteigt, wird ein Fehlersignal F1 ausgegeben. In 3 sind diese Signalverhältnisse dargestellt.The principle of generating the error signal F1 is in 2 shown. The analog scanning signals S1A and S1B of the code element C1 are fed to an error checking device P. The error checking device P compares S1A and S1B by forming the difference (S1A-S1B) and checks whether the difference amount exceeds or does not exceed a predetermined comparison value V. If the difference amount (S1A - S1B) does not exceed the predetermined comparison value V, an error signal F1 is output. In 3 these signal relationships are shown.

Die Anordnung der beiden Teilbereiche A und B jedes Codeelementes C1, C2, C3 aufeinanderfolgend direkt nebeneinander in Messrichtung X hat den Vorteil, dass die Detektorelemente D1 bis D11 in einem geringen Abstand in Messrichtung X nebeneinander angeordnet werden können und somit die Positionsmesseinrichtung gegen Verdrehung der Detektoreinheit D gegenüber dem Code C, also gegen Moiré-Schwankungen unempfindlich ist. Weiterhin ist die Störempfindlichkeit gegen Verschmutzungen gering, da davon ausgegangen werden kann, dass beide Teilbereiche A und B eines Codeelementes C1, C2, C3 gleichermaßen beeinflusst werden.The arrangement of the two sections A and B of each code element C1, C2, C3 successively directly side by side in measuring direction X has the advantage that the detector elements D1 to D11 next to each other at a short distance in the measuring direction X. can be arranged and thus the position measuring device against rotation of the detector unit D opposite the code C, i.e. against moiré fluctuations is insensitive. Furthermore, the sensitivity to contamination is low, since it can be assumed that both sub-areas A and B of a code element C1, C2, C3 influenced equally become.

Am Beispiel der Detektorelemente D1 und D2 ist in 1 leicht erkennbar, dass bei einer Verschiebung des Codes C um die Länge eines Teilbereiches A, B nach links das Detektorelement D1 den Teilbereich C1 B und das Detektorelement D3 den Teilbereich C2A abtastet, also Teilbereiche zweier Codeelemente C1, C2. Der Triggerbaustein T1 kann somit keine einem Codeelement C1, C2, C3 zugeordnete binäre Information B1, B2, B3 liefern. Nachfolgend werden nun Maßnahmen erläutert, mit denen sichergestellt wird, dass zur Codeworterzeugung die korrekten Detektorelemente D1 bis D11 verwendet werden, also die Detektorelemente D1 bis D11, die jeweils die Teilbereiche eines einzigen Codeelementes C1, C2, C3 abtasten.The example of the detector elements D1 and D2 shows in 1 Easily recognizable that when the code C is shifted to the left by the length of a partial area A, B, the detector element D1 scans the partial area C1 B and the detector element D3 scans the partial area C2A, that is to say partial areas of two code elements C1, C2. The trigger module T1 can therefore not supply any binary information B1, B2, B3 assigned to a code element C1, C2, C3. Measures are now explained below with which it is ensured that the correct detector elements D1 to D11 are used for code word generation, that is to say the detector elements D1 to D11, which each scan the partial areas of a single code element C1, C2, C3.

Anhand der 4 bis 6 wird eine bevorzugte Maßnahme hierfür beschrieben. Parallel neben dem Code C ist gemäß 4 eine Inkrementalspur R mit einer periodischen Teilung der Periodenlänge entsprechend der Länge eines Codeelementes C1, C2, C3 angeordnet. Die Inkrementalspur R wird in bekannter Weise von zumindest zwei um ¼ Teilungsperiode in Messrichtung X gegeneinander versetzten Detektorelementen DR1, DR2 zur Erzeugung zweier um 90° gegeneinander phasenversehobener analoger Abtastsignale SR1, SR2 abgetastet. Diese analogen Abtastsignale SR1, SR2 werden in bekannter Weise interpoliert und der interpolierte Positionswert wird mit dem Codewort CW kombiniert, wodurch die grobe absolute Positionsmessung durch die hochauflösende Inkrementalmessung verfeinert wird.Based on 4 to 6 becomes a preferred one Measure described for this. Parallel to the code C is according to 4 arranged an incremental track R with a periodic division of the period length corresponding to the length of a code element C1, C2, C3. The incremental track R is scanned in a known manner by at least two detector elements DR1, DR2 which are offset by ¼ division period in the measuring direction X to generate two analog scanning signals SR1, SR2 which are phase-shifted by 90 °. These analog scanning signals SR1, SR2 are interpolated in a known manner and the interpolated position value is combined with the code word CW, as a result of which the coarse absolute position measurement is refined by the high-resolution incremental measurement.

Durch die Inkrementalmessung wird die Länge jedes Codeelementes C1, C2, C3 interpoliert. Durch den Interpolationswert ist nun auf einfache Weise eine Unterscheidung des rechten und linken Teilbereiches eines Codeelementes C1, C2, C3 möglich. Zur Unterscheidung der Teilbereiche A und B reicht eine 4-fach Interpolation, also eine einfach Triggerung der analogen Abtastsignale SR1, SR2 aus. Die dadurch gewonnene Bitkombination aus den Digitalsignalen E1, E2 definiert die Reihenfolge der Teilbereiche A, B eindeutig und sie dient als Steuersignal zur Festlegung der Detektorelemente D1 bis D11, aus denen ein korrektes Codewort CW erzeugbar ist. Die Digitalsignale E1, E2 definieren also, welche Abtastsignale S miteinander verglichen werden und aus welchen Abtastsignalen S digitale Werte B1, B2, B3 für das Codewort CW gewonnen werden können.Through the incremental measurement the length each code element C1, C2, C3 interpolated. By the interpolation value is now a simple distinction between the right and left part a code element C1, C2, C3 possible. A 4-fold interpolation is sufficient to differentiate the subareas A and B, thus a simple triggering of the analog scanning signals SR1, SR2. The resulting bit combination of the digital signals E1, E2 clearly defines the order of sub-areas A, B and it serves as a control signal for determining the detector elements D1 to D11, from which a correct code word CW can be generated. The Digital signals E1, E2 thus define which scanning signals S together are compared and from which scanning signals S digital values B1, B2, B3 for the code word CW can be obtained.

Zur weiteren Erläuterung dieses Verfahrens sind in den 6a bis 6d vier verschiedene Positionen P1, P2, P3, P4 des Codes C gegenüber der Detektoreinheit D dargestellt. Die Detektorelemente D1 bis D11 sind in Messrichtung X in Abständen entsprechend der halben Länge eines Teilbereiches A, B angeordnet und jeweils zwei Detektorelemente D1 bis D11, die in einem gegenseitigen Abstand entsprechend der Länge eines Teilbereiches A, B angeordnet sind, sind in Differenz geschaltet.To further explain this process are in the 6a to 6d four different positions P1, P2, P3, P4 of the code C relative to the detector unit D are shown. The detector elements D1 to D11 are arranged in the measuring direction X at intervals corresponding to half the length of a partial area A, B, and two detector elements D1 to D11, which are arranged at a mutual distance corresponding to the length of a partial area A, B, are connected in difference.

In 6a ist die Position P1 dargestellt, bei der aus der Inkrementalspur R die Information E1=0 und E2=0 gewonnen wird. Das Bit B1 des Codeelementes C1 wird durch Differenzbildung der Detektorelemente D4 und D6, also (D4-D6) gebildet. Bei der Position P2 gemäß 6b ist E1=0 und E2=1, so dass durch eine Steuereinheit M die Detektorelemente D3 und D5 ausgewählt werden. Bei der Position P3 gemäß 6c ist E1=1 und E2=1, so dass von der Steuereinheit M die Detektorelemente D2 und D4 zur Differenzbildung ausgewählt werden. Bei der Position P4 gemäß 6d ist E1=1 und E2=0, so dass die Detektorelemente D1 und D3 ausgewählt werden.In 6a the position P1 is shown, in which the information E1 = 0 and E2 = 0 is obtained from the incremental track R. Bit B1 of code element C1 is formed by forming the difference between detector elements D4 and D6, ie (D4-D6). At position P2 according to 6b E1 = 0 and E2 = 1, so that the detector elements D3 and D5 are selected by a control unit M. At position P3 according to 6c E1 = 1 and E2 = 1, so that the control unit M selects the detector elements D2 and D4 for difference formation. At position P4 according to 6d E1 = 1 and E2 = 0, so that the detector elements D1 and D3 are selected.

In gleicher Weise werden die korrekten Detektorelemente zur Bildung der weiteren Bits des Codewortes CW ermittelt. Wenn beispielsweise zur Bildung des Bits B1 die Detektorelemente D1 und D3 ausgewählt worden sind, dienen zur Bildung des Bits B2 die Detektorelemente D5 und D7 sowie zur Bildung des Bits 83 die Detektorelemente D9 und D11, wie in 1 dargestellt ist. Wobei in 1 nur die in dieser Momentanstellung verwendeten Triggerbausteine T1, T2, T3 dargestellt sind.The correct detector elements for forming the further bits of the code word CW are determined in the same way. For example, if detector elements D1 and D3 have been selected to form bit B1, detector elements D5 and D7 are used to form bit B2 and to form the bit 83 the detector elements D9 and D11 as in 1 is shown. Where in 1 only the trigger modules T1, T2, T3 used in this current position are shown.

Eine weitere Möglichkeit zur Ermittlung der korrekten Detektorelemente D1 bis D11 bzw. der korrekten analogen Abtastsignale S besteht darin, dass alle Detektorelemente D1 bis D11, die im Abstand der Länge eines Teilbereiches A, B voneinander beabstandet sind miteinander verglichen werden. Im Abstand eines Codeelementes C1, C2, C3 gibt es nun Detektorpaare D1, D3 und D5, D7 – am Beispiel der in 6d dargestellten Momentanposition P4- die in gewünschter Weise jeweils die Differenz der Teilbereiche A, B eines Codeelementes C1, C2 abtasten. Die weiteren Detektorpaare D3, D5 tasten aufeinanderfolgende Teilbereiche B, A zweier aufeinanderfolgender Codeelemente C1, C2 ab und erzeugen somit mit der anhand 2 erläuterten Fehlerprüfeinrichtung P ein Fehlersignal F1. Um nun die korrekten Detektorelemente D1 bis D11 zu ermitteln, wird die Detektorgruppe D1, D3; D5, D7 gesucht, bei der am wenigsten Fehlersignale F auftreten. Im Detail ist bzw. sind zur Durchführung dieser zweiten möglichen Maßnahme folgende Anordnung bzw. folgende Verfahrensschritte erforderlich:

  • – Detektorelemente D1 bis D11 sind in Messrichtung X in Abständen entsprechend der halben Länge eines Teilbereiches A, B angeordnet;
  • – die Detektorelemente D1 bis D11 bilden eine erste Gruppe (in den 6a bis 6d geradzahlig nummerierte Detektorelemente D2, D4, D6, D8, D10) mit einem gegenseitigen Abstand entsprechend der Länge eines Teilbereiches A, B;
  • – die Detektorelemente D1 bis D11 bilden eine zweite Gruppe (in den 6a bis 6d ungeradzahlig nummerierte Detektorelemente D1, D3, D5, D7, D9) mit einem gegenseitigen Abstand entsprechend der Länge eines Teilbereiches A, B;
  • – die Detektorelemente D2, D4, D6, D8, D10 der ersten Gruppe sind gegenüber den Detektorelementen D1, D3, D5, D7, D9 der zweiten Gruppe um die halbe Länge eines Teilbereiches A, B versetzt angeordnet;
  • – unmittelbar aufeinanderfolgende Detektorelemente einer Gruppe sind jeweils in Differenz geschaltet;
  • – von den beiden Gruppen werden nun die Vergleichsergebnisse der Detektorelementenpaare in einem Raster entsprechend der Länge eines Codeelementes C1, C2, C3 zur Bildung des Codewortes CW verwendet, dessen Folge am wenigsten Fehler F erzeugt, gemäß 6d also die Folge (D1-D3)=B1, (D5-D7)=B2 usw.
A further possibility for determining the correct detector elements D1 to D11 or the correct analog scanning signals S consists in comparing all detector elements D1 to D11 which are spaced apart from one another by the length of a partial region A, B. At a distance from a code element C1, C2, C3 there are now detector pairs D1, D3 and D5, D7 - using the example in FIG 6d represented instantaneous position P4- which each scan the difference of the partial areas A, B of a code element C1, C2 in the desired manner. The further pairs of detectors D3, D5 scan successive partial areas B, A of two successive code elements C1, C2 and thus generate them with the aid of 2 explained an error signal F1. In order to determine the correct detector elements D1 to D11, the detector group D1, D3; D5, D7 searched for the least amount of error signals F. In detail, the following arrangement or the following method steps are or are required to carry out this second possible measure:
  • - Detector elements D1 to D11 are arranged in the measuring direction X at intervals corresponding to half the length of a partial area A, B;
  • - The detector elements D1 to D11 form a first group (in the 6a to 6d even numbered detector elements D2, D4, D6, D8, D10) with a mutual distance corresponding to the length of a partial area A, B;
  • - The detector elements D1 to D11 form a second group (in the 6a to 6d odd numbered detector elements D1, D3, D5, D7, D9) with a mutual distance corresponding to the length of a partial area A, B;
  • - The detector elements D2, D4, D6, D8, D10 of the first group are offset from the detector elements D1, D3, D5, D7, D9 of the second group by half the length of a partial area A, B;
  • - Immediately successive detector elements of a group are each switched in difference;
  • - The two groups now use the comparison results of the detector element pairs in a raster corresponding to the length of a code element C1, C2, C3 to form the code word CW, the result of which produces the least error F, according to 6d thus the sequence (D1-D3) = B1, (D5-D7) = B2 etc.

Die beiden Teilbereiche A, B eines jeden Codeelementes C1, C2, C3 können optisch abtastbar ausgebildet sein, wobei dann ein Teilbereich A für das Abtastlicht transparent oder reflektierend und der anderen Teilbereich B opak oder nicht reflektierend ausgebildet ist. Die Erfindung ist aber nicht auf das optische Abtastprinzip beschränkt.The two subareas A, B of each code element C1, C2, C3 can be designed to be optically scannable, a subarea A then the scanning light is transparent or reflective and the other partial area B is opaque or non-reflective. However, the invention is not limited to the optical scanning principle.

Die absolute Positionsmesseinrichtung kann zur Messung von linearen oder rotatorischen Bewegungen eingesetzt werden, wobei der Code C an einem der beweglichen Objekte und die Abtasteinrichtung AE am anderen der zu messenden Objekte angebracht ist. Der Code C kann dabei direkt an dem zu messenden Objekt angebracht sein oder auf einem Maßstab, der dann wiederum mit dem zu messenden Objekt gekoppelt ist.The absolute position measuring device can be used to measure linear or rotary movements with the code C on one of the moving objects and the Scanning device AE attached to the other of the objects to be measured is. The code C can be attached directly to the object to be measured be or on a scale which is then coupled to the object to be measured.

Die zu messenden Objekte können dabei der Tisch und der Schlitten einer Werkzeugmaschine, einer Koordinatenmessmaschine oder der Rotor und der Stator eines Elektromotors sein.The objects to be measured can the table and the slide of a machine tool, a coordinate measuring machine or the rotor and the stator of an electric motor.

Claims (15)

Positionsmesseinrichtung mit – einem Code (C), bestehend aus einer Folge von in Messrichtung X hintereinander angeordneten Codeelementen (C1, C2, C3), wobei jedes Codeelement (C1, C2, C3) jeweils aus zwei Teilbereichen (A, B) besteht, die zueinander komplementär sind und in Messrichtung X aufeinanderfolgend angeordnet sind; – einer Abtasteinrichtung (AE) mit mehreren Detektorelementen (D1 bis D11) zur Abtastung mehrerer Codeelemente (C1, C2, C3) und zur Bildung zumindest eines Abtastsignals (S) innerhalb eines jeden Teilbereichs (A, B) der abgetasteten Codeelemente (C1, C2, C3); – einer Auswerteeinheit (AW) mit einer Vergleichseinrichtung (T1, T2, T3), die jeweils die Abtastsignale (S) der Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) miteinander vergleicht und in Abhängigkeit des Vergleichsergebnisses eine binäre Information (B1, B2, B3) für das Codeelement (C1, C2, C3) bildet.Position measuring device with - one Code (C), consisting of a sequence of one after the other in the measuring direction X. arranged code elements (C1, C2, C3), each code element (C1, C2, C3) each consist of two sub-areas (A, B) that are mutually related complementary and are arranged in succession in the measuring direction X; - one Scanning device (AE) with several detector elements (D1 to D11) for scanning several code elements (C1, C2, C3) and for formation at least one scanning signal (S) within each sub-area (A, B) of the scanned code elements (C1, C2, C3); - one Evaluation unit (AW) with a comparison device (T1, T2, T3), each of the scanning signals (S) of the partial areas (A, B) one Code element (C1, C2, C3) compared with each other and depending on the Comparison result a binary Information (B1, B2, B3) for forms the code element (C1, C2, C3). Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1, wobei die Vergleichseinrichtung (T1, T2, T3) eine Einrichtung zur Bildung der Differenz der analogen Abtastsignale (S) beider Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) ist.Position measuring device according to claim 1, wherein the Comparison device (T1, T2, T3) a device for education the difference of the analog scanning signals (S) of the two sections (A, B) of a code element (C1, C2, C3). Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Abtastsignale (S) aus aufeinanderfolgenden Teilbereichen (A, B) jeweils einer Vergleichseinrichtung (T1, T2, T3) zugeführt sind und die Auswerteeinheit (AW) eine Steuereinheit (M) aufweist, die dazu ausgelegt ist, sicherzustellen, dass die binären Informationen (B1, B2, B3) jeweils aus den beiden Teilbereichen (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) gebildet werden.Position measuring device according to claim 1 or 2, wherein the scanning signals (S) from successive partial areas (A, B) are each fed to a comparison device (T1, T2, T3) and the evaluation unit (AW) has a control unit (M) which is designed to ensure that the binary information (B1, B2, B3) each from the two sub-areas (A, B) of a code element (C1, C2, C3) can be formed. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 3, wobei parallel zum Code (C) zumindest eine Spur (R) angeordnet ist, dessen Information (E1, E2) der Steuereinheit (M) zugeführt ist und wobei aufgrund dieser Information (E1, E2) die Abtastsignale (S) aufeinanderfolgender Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) zur Bildung der binären Informationen (B1, B2, B3) ausgewählt werden.Position measuring device according to claim 3, wherein parallel for the code (C) at least one track (R) is arranged, its information (E1, E2) is supplied to the control unit (M) and is due to this information (E1, E2) the scanning signals (S) successively Subareas (A, B) of a code element (C1, C2, C3) for formation the binary Information (B1, B2, B3) can be selected. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 4, wobei die Informationsspur (R) eine periodische inkrementale Teilung ist.Position measuring device according to claim 4, wherein the Information track (R) is a periodic incremental division. Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Auswerteeinheit (AW) eine Fehlerprüfeinrichtung (P) aufweist, die dazu ausgelegt ist, die Differenz der Abtastsignale (S) der Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) mit einer Solldifferenz zu vergleichen und bei Unterschreiten der Solldifferenz ein Fehlersignal (F1) abzugeben.Position measuring device according to one of the preceding Expectations, the evaluation unit (AW) having an error checking device (P), which is designed to measure the difference between the scanning signals (S) Subareas (A, B) of a code element (C1, C2, C3) with a target difference to compare and an error signal if the target difference is undershot (F1). Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die beiden Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) zueinander komplementäre optische Eigenschaften besitzen.Position measuring device according to one of the preceding Expectations, the two subareas (A, B) of a code element (C1, C2, C3) complementary to each other have optical properties. Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Detektorelemente (D1 bis D11) in Messrichtung X in Abständen entsprechend der halben Länge eines Teilbereiches (A, B) angeordnet sind und jeweils zwei Detektorelemente (D1 bis D11), die in einem gegenseitigen Abstand entsprechend der Länge eines Teilbereiches (A, B) angeordnet sind in Differenz geschaltet sind.Position measuring device according to one of the preceding Expectations, the detector elements (D1 to D11) correspondingly at intervals in the measuring direction X. half the length of a partial area (A, B) and two detector elements each (D1 to D11) which are spaced apart according to the Length of a Sub-area (A, B) are arranged in differential. Verfahren zur absoluten Positionsmessung mit folgenden Verfahrensschritten – Abtasten eines Codes (C), bestehend aus einer Folge von in Messrichtung X hintereinander angeordneten Codeelementen (C1, C2, C3), wobei die Codeelemente (C1, C2, C3) jeweils aus zwei Teilbereichen (A, B) bestehen, die zueinander komplementär sind und in Messrichtung X aufeinanderfolgend angeordnet sind; – Erzeugen zumindest eines Abtastsignals (S) innerhalb eines jeden Teilbereichs (A, B) der abgetasteten Codeelemente (C1, C2, C3); – Vergleichen der Abtastsignale (S) der Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) miteinander und – Bilden einer binären Information (B1, B2, B3) aus dem Vergleich.Absolute position measurement method with the following steps - feel a code (C), consisting of a sequence of in the measuring direction X successively arranged code elements (C1, C2, C3), the Code elements (C1, C2, C3) each from two sub-areas (A, B) exist that are complementary to each other and in the measuring direction X are arranged in succession; - Generate at least one Sampling signal (S) within each section (A, B) of the scanned code elements (C1, C2, C3); - Compare the scanning signals (S) the subareas (A, B) of a code element (C1, C2, C3) with each other and - Form a binary Information (B1, B2, B3) from the comparison. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Vergleich eine Differenzbildung der analogen Abtastsignale (S) der Teilbereiche (A, B) ist.The method of claim 9, wherein the comparison is a Difference formation of the analog scanning signals (S) of the partial areas (A, B) is. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, mit dem Verfahrensschritt – Vergleich der Abtastsignale (S) jeweils unmittelbar aufeinanderfolgender Teilbereiche (A, B) und Auswahl der Abtastsignale (S), welche jeweils durch Abtastung der Teilbereiche (A, B) eines Codewortes (C1, C2, C3) gebildet sind.Method according to one of Claims 9 or 10, with the method step - comparing the scanning signals (S) in each case directly successive sub-areas (A, B) and selecting the scanning signals (S), each of which by Ab keying of the sub-areas (A, B) of a code word (C1, C2, C3) are formed. Verfahren nach Anspruch 11, wobei die Auswahl durch ein Steuersignal (E1, E2) erfolgt, das durch Abtastung zumindest einer Informationsspur (R) gewonnen ist.The method of claim 11, wherein the selection is by a control signal (E1, E2) takes place, which at least by sampling an information track (R) is obtained. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 12, wobei die Differenz der Abtastsignale (S) der Teilbereiche (A, B) eines Codeelementes (C1, C2, C3) gebildet wird, die Differenz mit einer Solldifferenz verglichen wird und bei Unterschreiten der Solldifferenz ein Fehlersignal (F1) gebildet wird.Method according to one of the preceding claims 9 to 12, the difference between the scanning signals (S) of the partial areas (A, B) a code element (C1, C2, C3) is formed, the difference is compared with a target difference and if it falls below the Should an error signal (F1) be formed. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 11, wobei die Detektorelemente (D1 bis D11) in Messrichtung X in Abständen entsprechend der halben Länge eines Teilbereiches (A, B) angeordnet sind und jeweils aus zwei Detektorelementen (D1 bis D11), die in einem gegenseitigen Abstand entsprechend der Länge eines Teilbereiches (A, B) angeordnet sind die Differenz gebildet wird.Method according to one of the preceding claims 9 to 11, the detector elements (D1 to D11) in the measuring direction X in intervals corresponding to half the length a partial area (A, B) are arranged and each of two Detector elements (D1 to D11), which are at a mutual distance according to the length the difference is formed in a partial area (A, B) becomes. Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Differenz jeweils mit einer Solldifferenz verglichen wird und bei Unterschreiten der Solldifferenz ein Fehlersignal (F1) gebildet wird und die durch die Differenzbildung gewonnene binäre Information (B1, B2, B3) der Detektorelementenpaare in einem Raster entsprechend der Länge eines Codeelementes (C1, C2, C3) zur Bildung des Codewortes CW ausgewählt werden, dessen Folge am wenigsten Fehler (F) erzeugt.The method of claim 14, wherein the difference is compared in each case with a target difference and if it falls below the target difference an error signal (F1) is formed and by binary information obtained from difference formation (B1, B2, B3) of the pairs of detector elements in a grid corresponding to the length of one Code element (C1, C2, C3) can be selected to form the code word CW, the Result least error (F) generated.
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