DE10240245A1

DE10240245A1 - Gasmessfühler

Info

Publication number: DE10240245A1
Application number: DE2002140245
Authority: DE
Inventors: Juergen Ruth; Andreas Pesch
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2002-08-31
Filing date: 2002-08-31
Publication date: 2004-03-18
Anticipated expiration: 2022-09-01
Also published as: DE10240245B4; WO2004023129A1

Abstract

Es wird ein Gasmessfühler (10) zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung der Temperatur des Messgases oder der Konzentration einer Gaskomponente des Messgases, vorgeschlagen, der ein in einem Gehäuse (21) angeordnetes, in Planartechnik aufgebautes Sensorelement (20, 120) enthält. Das Sensorelement (20, 120) weist zur Abdichtung im Gehäuse (21) eine Dichtfläche (43) auf, wobei die Längsachse des Gehäuses (21) senkrecht zur Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) steht. Weiterhin weist das Sensorelement (20, 120) mindestens eine Kontaktfläche (36, 37) auf, die mit einem Leiterelement (25) elektrisch verbunden ist, wobei die Kontaktfläche (36, 37) des Sensorelements (20, 120) senkrecht zur Längsachse des Gehäuses (21) steht.

Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Gasmessfühler nach dem Oberbegriff der unabhängigen Ansprüche.
Ein derartiger Gasmessfühler ist aus der DE 101 51 291 A1 bekannt. Der Gasmessfühler weist ein rohrförmiges metallisches Gehäuse auf, in dem ein in Planartechnik hergestelltes, längliches Sensorelement mit rechteckigem Querschnitt angeordnet ist. Zur Herstellung des Sensorelements werden ungesinterte keramische Folien (Grünfolien) mit elektrischen Elementen (zum Beispiel Elektroden und Heizer) und mit anderen Funktionsschichten (zum Beispiel Isolationsschichten oder porösen, gasdurchlässigen Schichten) bedruckt, zusammenlaminiert und gesintert. Das Sensorelement ist so im Gehäuse des Gasmessfühlers angeordnet, dass die Großflächen des keramischen Schichtsystems des Sensorelements parallel zur Längsachse des Gehäuses angeordnet sind. Das Sensorelement weist ein dem zu bestimmenden Messgas zugewandtes, messgasseitiges Ende und ein vom Messgas abgewandtes, anschlussseitiges Ende auf.
Am anschlussseitigen Ende sind auf der Außenfläche des Sensorelements Kontaktflächen vorgesehen, die mit den elektrischen Elementen am messgasseitigen Ende des Sensorelements durch innerhalb des Schichtverbunds angeordnete Zuleitungen elektrisch verbunden sind. Diese Kontaktflächen sind mittels einer Klemmkontaktierung mit Leiterelementen elektrische kontaktiert, durch die das Sensorelement mit einer außerhalb des Gasmessfühlers befindlichen Auswerteelektronik elektrisch verbunden ist. Die Kontaktflächen sind auf einer Großfläche des Sensorelements vorgesehen, und die Klemmkraft, durch die die Leiterelemente auf die Kontaktflächen gedrückt werden, wirkt senkrecht zur Längsachse des Gehäuses.
Zur Abdichtung des messgasseitigen Abschnitts vom anschlussseitigen Abschnitt des Gehäuses ist das Sensorelement entlang seiner Längserstreckung mittig von einem Dichtelement umgeben, das zwei Steatitschichten und zwischen den Steatitschichten eine Bornitridschicht enthält. Das Dichtelement ist zwischen zwei keramischen Formteilen angeordnet, die das Dichtelement zusammenpressen und so verformen, dass das Dichtelement sich gasdicht an Sensorelement und Gehäuse anlegt. Die Dichtfläche, mit der das Dichtelement an dem Sensorelement und dem Gehäuse anliegt, liegt parallel zur Längsachse des Gehäuses.
Bei einem derartigen Gasmessfühler ist nachteilig, dass durch die Abdichtung des Sensorelements entlang seiner Längserstreckung beziehungsweise durch die Kontaktierung des Sensorelements mittels seitlich am Sensorelement aufgebrachter Kontaktflächen das Sensorelement einen großen Platzbedarf hat. Zudem muss zur Abdichtung und zur Kontaktierung des Sensorelements an zwei Stellen, nämlich mutig beim Dichtelement und bei den anschlussseitigen Kontaktflächen, durch unterschiedliche Vorrichtungen eine Klemm- beziehungsweise Federkraft aufgebracht werden, was fertigungstechnisch aufwendig und teuer ist. Zudem ist die Abdichtung eines im Querschnitt rechteckigen Körpers aufwendig.
Vorteile der Erfindung
Der erfindungsgemäße Gasmessfühler mit den Kennzeichen der unabhängigen Ansprüche hat demgegenüber den Vorteil, dass ein platzsparendes Sondenkonzept realisiert werden kann, bei dem die zur Abdichtung und zur Kontaktierung des Sensorelements erforderliche Kraft senkrecht zur Längsachse des Gehäuses wirkt. Hierzu weist das Sensorelement eine Dichtfläche und/oder eine Kontaktfläche auf, die senkrecht zur Längsachse des Gehäuses ausgerichtet ist. Alternativ ist bei einem Sensorelement, dessen Schichtebenen senkrecht zur Längsachse des Gehäuses angeordnet sind, die Dichtfläche konisch geformt und weist zur Längsachse des Gehäuses einen Winkel von 45 bis 90 Grad, insbesondere von 60 bis 85 Grad, auf.
Durch die platzsparende Bauweise ergibt sich gegenüber den herkömmlichen Sensorkonzepten eine deutliche Einsparung von Platin und Zirkonoxid. Zudem kann eine kleinbauende Sonde deutlich schneller auf die gewünschte Betriebstemperatur aufgeheizt werden. Weiterhin ist der erfindungsgemäße Gasmessfühler besonders stabil gegenüber Schwingbelastung.
Durch die Anordnung der Dichtfläche und/oder der Kontaktfläche senkrecht zur Längsachse des Gehäuses kann zudem die thermische Ausdehnung der den Gasmessfühler bildenden Elemente ausgenutzt werden, um die zur Abdichtung und zur Kontaktierung des Sensorelements notwendige Kraft parallel zur Längsachse des Sensorelements durch die im Betrieb des Gasmessfühlers vorliegenden hohen Temperaturen noch zu erhöhen.
Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen des in den unabhängigen Ansprüchen angegebenen Gasmessfühlers möglich.
Ist sowohl die Dichtfläche als auch die Kontaktfläche des Sensorelements senkrecht zur Längsachse des Gehäuses angeordnet, oder ist die Dichtfläche konisch ausgestaltet, so genügt ein Mittel zur Ausübung einer Kraft parallel zur Längsachse des Gehäuses, um das Sensorelement abzudichten und zu kontaktieren. Dieses Mittel ist vorteilhaft ein Federelement, das auf der der Dichtfläche des Sensorelements abgewandten Seite des Sensorelements angeordnet ist. Das Federelement drückt das Leiterelement auf die Kontaktfläche und übt eine Kraft auf das Sensorelement aus, durch die die Dichtfläche des Sensorelements auf die Dichtfläche des Dichtkörpers gedrückt wird.
Vorteilhaft ist zwischen dem Federelement und dem Sensorelement eine Kontaktierungsscheibe aus einem elektrisch isolierenden Material vorgesehen. Die Kontaktierungsscheibe weist auf ihrer dem Sensorelement zugewandten Seite eine Aussparung zur Aufnahme des Leiterelements auf, wobei ein Teilbereich des Leiterelements aus der Aussparung herausragt und auf der Kontaktfläche aufliegt. Durch die Kontaktierungsscheibe wird das Leiterelement fixiert und gegenüber dem Gehäuse, dem Federelement und weiteren Leiterelementen isoliert. Liegt das Leiterelement mit einem Teilbereich in der Aussparung der Kontaktierungsscheibe, so wird verhindert, dass das Leiterelement aufgrund des Anpressdrucks und der hohen Temperaturen verfließt, also seine ursprüngliche Querschnittsform verliert.
Vorteilhaft weist die Kontaktierungsscheibe zur Führung und Fixierung in Richtung der Längsachse des Gehäuses eine Durchführung zur Aufnahme des Leiterelements auf. Sind mehrere Leiterelemente vorgesehen, so weist die Kontaktierungsscheibe für jedes Leiterelement eine Durchführung und/oder eine Aussparung auf.
Vorteilhaft wird als Federelement eine Spiralfeder oder eine Tellerfeder verwendet, die preisgünstig ist und eine hohe Hitzebeständigkeit aufweist. Bei Verwendung einer Tellerfeder lässt sich eine besonders große Kraft auf das Sensorelement ausüben.
Für eine besonders kompakte Bauweise des Gasmessfühlers liegt die Dichtfläche des Sensorelements auf einem Dichtring auf, der am Gehäuse angeformt ist oder an ein an das Gehäuse angeformte Widerlager angrenzt.
Zur elektrischen Isolation des Sensorelements gegen das Gehäuse ist das Sensorelement an seinen dem Gehäuse zugewandten Seiten von einem hülsenförmigen Isolierkörper, beispielsweise aus Aluminiumoxid, umgeben. Um das Sensorelement auch gegenüber dem Dichtring und damit dem Gehäuse zu isolieren, ist bei einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung die Dichtfläche als eine Keramik enthaltende Isolationsschicht ausgeführt.
Eine besonders kompakte Bauweise ergibt sich, wenn sich direkt an das Gehäuse eine Metallmantelleitung anschließt, in der die Leiterelemente geführt sind. Die Metallmantelleitung ist an dem Gehäuse beispielsweise durch Laserschweißen festgelegt, oder das das Gehäuse und die Metallmantelleitung umfassende Element ist einstöckig ausgeführt. Fertigungstechnisch besonders günstig ist eine Ausführung, bei der der Außendurchmesser des Gehäuses dem Außendurchmesser der Metallmantelleitung entspricht, so dass das Gehäuse durch den Endabschnitt der Metallmantelleitung gebildet wird.
Weiterhin wird eine kompakte Bauweise vorteilhaft durch ein zylinderförmiges Sensorelement erreicht, das als keramischer Schichtverbund ausgebildet ist und dessen Schichtebenen senkrecht zur Längsachse des Gehäuses angeordnet sind. Die rotationssymmetrische Form des Sensorelements vereinfacht die Herstellung und den Einbau in das Gehäuse.
Zeichnung
Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Die 1 zeigt als erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Gasmessfühler zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration eines Messgases in Schnittdarstellung, 2 zeigt als zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Temperaturmessfühler in Schnittdarstellung.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Die 1 zeigt als erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Gasmessfühler 10 mit einem in einem rohrförmigen Gehäuse 21 angeordneten zylinderförmigen Sensorelement 20. Das Sensorelement 20 ist auf seiner einen messgasseitigen Stirnfläche 28 dem zu bestimmenden Messgas, beispielsweise einem Abgas eines Verbrennungsmotors, ausgesetzt. Auf der gegenüberliegenden, anschlussseitigen Stirnfläche 29 des Sensorelements 20 erfolgt der elektrische Anschluss des Sensorelements 20.
Das Sensorelement 20 ist in Planartechnik hergestellt und weist eine erste, eine zweite und eine dritte Festelektrolytschicht 31, 32, 33 auf. Auf der Außenfläche der ersten dem Messgas ausgesetzten Festelektrolytschicht 31 und damit auf der messgasseitigen Stirnfläche 28 des Sensorelements 20 ist eine erste Elektrode 34 vorgesehen. In die an die erste Festelektrolytschicht 31 angrenzende zweite Festelektrolytschicht 32 ist ein Referenzgasraum 38 eingebracht. Im Referenzgasraums 38 ist auf der ersten Festelektrolytschicht 31 eine zweite Elektrode 35 vorgesehen. Die erste und die zweite Elektrode 34, 35 bilden zusammen mit der zwischen den beiden Elektroden 34, 35 angeordneten ersten Festelektrolytschicht 31 eine elektrochemische Nernstzelle.
In der dritten, an die zweite Festelektrolytschicht 32 angrenzenden Festelektrolytschicht 33 ist eine Gaszutrittsöffnung 39 vorgesehen, durch die der Referenzgasraum 38 mit einem Referenzgas enthaltenden Bereich außerhalb des Sensorelements 20 verbunden ist. Weiterhin sind auf der anschlussseitigen Stirnfläche 29 des Sensorelements 20, also auf der Außenfläche der dritten Festelektrolytschicht 33 eine erste und eine zweite Kontaktfläche 36, 37 aufgebracht, die mit der ersten beziehungsweise zweiten Elektrode 34, 35 durch Durchkontaktierungen (nicht dargestellt) elektrisch verbunden sind.
Auf der messgasseitigen Stirnfläche 28 des Sensorelements 20 ist nahe dem Außenrand der messgasseitigen Stirnfläche 28 eine ringförmige Dichtfläche 43 des Sensorelements 20 vorgesehen, auf der eine entsprechende Dichtfläche 42 eines Dichtrings 41 aufliegt. Die Dichtfläche 43 des Sensorelements 20 ist durch den entsprechenden Abschnitt der ersten Festelektrolytschicht 31 gebildet. In einer nicht dargestellten alternativen Ausführungsform ist auf die erste Festelektrolytschicht 31 eine ringförmige Isolationsschicht aufgebracht, die aus Keramik besteht, die Dichtfläche 43 des Sensorelements 20 bildet und den Dichtring 41 und damit das Gehäuse 21 gegen die erste Festelektrolytschicht 31 elektrisch isoliert.
Die Festelektrolytschichten 31, 32, 33 des Sensorelements 20 bestehen aus mit Yttrium stabilisiertem Zirkonoxid. Die porösen Elektroden 34, 35 und die Kontaktflächen 36, 37 bestehen aus einem Cermet, das Platin und Zirkonoxid enthält.
Das zylinderförmige Sensorelement 20 ist in dem rohrförmigen Gehäuse 21 derart festgelegt, dass die Längsachsen des Sensorelements 20 und des Gehäuses 21 zusammenfallen. Das Sensorelement 20 ist an seiner Mantelfläche von einem hülsenförmigen Isolierkörper 23 umgeben, durch den das Sensorelement 20 von dem metallischen Gehäuse 21 isoliert ist. Der Isolierkörper 23 besteht überwiegend aus Aluminiumoxid.
Am messgasseitigen Ende des Gehäuses 21 ist durch Laserschweißen ein Schutzrohr 22 festgelegt. Auf der dem Sensorelement 20 zugewandten Seite weist das Schutzrohr 22 einen nach innen weisenden Abschnitt 44 auf, der als Widerlager für den Dichtring 41 dient. Das Sensorelement 20 wird mit seiner Dichtfläche 43 durch ein Federelement 26 auf den Dichtring 41 gedrückt und so im Gehäuse 21 abgedichtet.
Das Federelement 26 ist im Gehäuse 21 zwischen einem am Gehäuse 21 angeformten Widerlager und einer Kontaktierungsscheibe 24 angeordnet. Die Kontaktierungsscheibe 24 weist zwei Durchführungen 52 auf, durch die zwei Leiterelemente 25 geführt sind. Die Leiterelemente 25 weisen zwischen der Kontaktierungsscheibe 24 und dem Sensorelement 20 einen zur anschlussseitigen Stirnfläche 29 parallelen Abschnitt auf. Dieser Abschnitt wird durch das Federelement 26 über die Kontaktierungsscheibe 24 auf die jeweiligen Kontaktflächen 36, 37 gedrückt. Um ein Verfließen dieses Abschnittes der Leiterelemente 25 zu verhindern, sind auf der dem Sensorelement 20 zugewandten Seite der Kontaktierungsscheibe 24 für jedes Leiterelement 25 eine Aussparung 51 vorgesehen, aus der das Leiterelement 25 mit einem Teilabschnitt herausragt.
An das Gehäuse 21 schließt sich eine Metallmantelleitung mit einem Metallmantel an, in dem die Leiterelemente 25 geführt sind. Die Leiterelemente 25 sind durch eine Isolation von dem Metallmantel elektrisch isoliert. Die Metallmantelleitung ist durch eine Schweißverbindung am Gehäuse 21 festgelegt oder einstückig mit dem Gehäuse 21 verbunden.
In einer alternativen Ausführungsform der Erfindung weist das Sensorelement einen Heizer auf, durch den das Sensorelement auf eine vorbestimmte Betriebstemperatur aufgeheizt wird. Der Heizer ist zwischen der dritten Festelektrolytschicht und einer vierten Festelektrolytschicht angeordnet und von den Festelektrolytschichten durch eine Isolation elektrisch isoliert. Der Heizer ist durch zwei Durchkontaktierungen mit weiteren Kontaktflächen auf der anschlussseitigen Stirnfläche des Sensorelements verbunden.
2 zeigt als zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Gasmessfühler zur Bestimmung der Temperatur eines Messgases. Das zweite Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem in 1 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel in der Ausgestaltung des Sensorelements 120. Der Verbau des Sensorelements 120 in das Gehäuse 21 sowie Abdichtung und Kontaktierung entsprechen dem ersten Ausführungsbeispiel. Daher wurden einander entsprechende Elemente in 2 mit denselben Bezugszeichen wie in 1 bezeichnet.
Das Sensorelement 120 weist eine erste Keramikfolie 161 und eine zweite Keramikfolie 162 auf, zwischen denen eine mäanderförmige Widerstandsschicht 165 sowie eine erste Isolationsschicht 163 vorgesehen ist. Die erste Isolationsschicht 163 umgibt die Widerstandsschicht 165 vollständig, so dass die Widerstandsschicht 165 durch die erste Isolationsschicht 163 von der ersten und der zweiten Keramikfolie 161. 162 elektrisch isoliert ist.
Auf der dem Messgas abgewandten Seite des Sensorelements 120 ist auf der ersten Keramikfolie 161 eine zweite Isolationsschicht 164 vorgesehen, auf der die erste und die zweite Kontaktfläche 36, 37 vorgesehen sind. Die Widerstandsschicht 165 ist durch nicht dargestellte Durchkontaktierungen mit den beiden Kontaktflächen 36, 37 elektrisch verbunden. Aus dem temperaturabhängigen Widerstand der Widerstandsschicht 165 wird mittels einer außerhalb des Gasmessfühlers angeordneten Auswerteelektronik (nicht dargestellt) die Temperatur des Messgases bestimmt.
Zum Abgleich der Widerstandsschicht 165 ist in der zweiten Keramikfolie 162 eine Öffnung vorgesehen, die nach erfolgtem Abgleich durch den sogenannten Trimmlochverschluss 166 verschlossen wird.
Die erste und zweite Keramikfolie 161, 162 besteht überwiegend aus Zirkonoxid, die erste und zweite Isolationsschicht 163, 164 aus Aluminiumoxid. Die Widerstandsschicht 165 besteht überwiegend aus Platin. Der Trimmlochverschluss 166 besteht aus einem Glas. In einer alternativen Ausführung kann der Trimmlochverschluss 166 auch eine Glaskeramik oder eine Keramik aufweisen.
Der Verbau einschließlich der Halterung, der Abdichtung und der Kontaktierung des Sensorelements 120 zur Bestimmung der Temperatur des Messgases entspricht dem Verbau des Sensorelements 20 des ersten Ausführungsbeispiels.
Eine alternative, nicht dargestellte Ausführungsform der Erfindung unterscheidet sich von dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel lediglich darin, dass die Dichtfläche des Sensorelements konisch ausgeführt ist, wobei die Symmetrieachse der konischen Dichtfläche parallel zur Symmetrieachse des rohrförmigen Gehäuses liegt und wobei die konische Dichtfläche einen Winkel zur Längsachse des Gehäuses von 75 Grad aufweist. Der Dichtring liegt bei dieser Ausführungsform plan auf der Dichtfläche auf und ist somit ebenfalls konisch geformt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die im ersten und zweiten Ausführungsbeispiel beschriebenen Sensorelemente beschränkt, sondern allgemein auf in Planartechnik hergestellte Sensorelemente übertragbar. Diese Sensorelemente können auch zum Nachweis von Sauerstoff oder einer anderen Gaskomponente wie Stickoxide, Kohlenwasserstoffe, Wasserstoff oder Kohlendioxid geeignet sein und mehr als eine elektrochemische Zelle, beispielsweise eine Nernstzelle und eine Pumpzelle (Breitband-Lambda-Sonde) aufweisen.

Claims

Gasmessfühler (10) zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung der Temperatur des Messgases oder der Konzentration einer Gaskomponente des Messgases, mit einem in einem Gehäuse (21} angeordneten, in Planartechnik aufgebauten Sensorelement (20, 120), das zur Abdichtung im Gehäuse (21) eine Dichtfläche (43) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Längsachse des Gehäuses (21) senkrecht zur Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) steht.
Gasmessfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) auf einem Dichtring (41) aufliegt.
Gasmessfühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Dichtring (41) am Gehäuse (21) angeformt ist oder für den Dichtring (41) ein an das Gehäuse (21) angeformtes Widerlager (44) vorgesehen ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet. dass die Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) auf einer dem Messgas zugewandten und/oder ausgesetzten Außenfläche des Sensorelements (20, 120) vorgesehen ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) als eine auf das Sensorelement (20, 120) aufgebrachte, Keramik enthaltende Isolationsschicht ausgebildet ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine messgasseitige Stirnfläche (28) des Sensorelements (20, 120) oder eine der messgasseitigen Stirnfläche (28) nächstliegende Festelektrolytschicht (31, 162) des Sensorelements (20, 120) die Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) oder zumindest den Dichtring (41) in Richtung der Längsachse des Gehäuses (21) nicht überragt.
Gasmessfühler (10) zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung der Temperatur des Messgases oder der Konzentration einer Gaskomponente des Messgases, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem in einem Gehäuse (21) angeordneten, in Planartechnik aufgebauten Sensorelement (20, 120), das mindestens eine Kontaktfläche (36, 37) aufweist, die mit einem Leiterelement (25) elektrisch verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktfläche (36, 37} des Sensorelements (20, 120) senkrecht zur Längsachse des Gehäuses (21) steht.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Federelement (26) vorgesehen ist, das auf das Sensorelement (20, 120) mittelbar oder unmittelbar eine Kraft in Richtung der Längsachse des Gehäuses (21) ausübt.
Gasmessfühler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (26) eine Kraft ausübt, durch die das Leiterelement (25) auf die Kontaktfläche (36, 37) und die Dichtfläche (43) des Sensorelements (20, 120) auf die Dichtfläche (42) des Dichtrings (41) gedrückt wird.
Gasmessfühler nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (26) auf der dem Messgas abgewandten Seite des Sensorelements (20, 120) angeordnet ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktfläche (36, 37) auf der der Dichtfläche (43) abgewandten Seite des Sensorelements (20, 120) vorgesehen ist.
Gasmessfühler nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Federelement (26) und dem Sensorelement (20, 120) eine Kontaktierungsscheibe (24) vorgesehen ist.
Gasmessfühler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsscheibe (24) in Richtung der Längsachse des Gehäuses (21) eine Durchführung (52) zur Aufnahme des Leiterelements (25) aufweist.
Gasmessfühler nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsscheibe (24) auf ihrer dem Sensorelement (20, 120) zugewandten Seite eine Aussparung (51) zur Aufnahme des Leiterelements (25) aufweist, wobei ein Teilbereich des Leiterelements (25) aus der Aussparung (51) herausragt.
Gasmessfühler nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Leiterelemente (25) vorgesehen sind, und dass die Kontaktierungsscheibe (24) für jedes Leiterelement (25) eine Durchführung (52) und/oder eine Aussparung (51) aufweist.
Gasmessfühler nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (26) als Tellerfeder ausgebildet ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (20, 120) von einem hülsenförmigen Isolierkörper (23) umgeben und so vom Gehäuse (21) elektrisch isoliert ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Leiterelement (25) in einer sich direkt an das Gehäuse (21) anschließende Metallmantelleitung geführt ist.
Gasmessfühler nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (21) und die Metallmantelleitung einstückig ausgebildet ist, oder Gehäuse (21) und Metallmantelleitung durch eine Schweißverbindung, insbesondere eine Laserschweißverbindung, verbunden sind.
Gasmessfühler nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Außendurchmesser der Metallmantelleitung zumindest ungefähr dem Außendurchmesser des Gehäuses (21) entspricht.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (20, 120) zylinderförmig ist; und dass das Gehäuse (21) im wesentlichen rohrförmig ist.
Gasmessfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet., dass das Sensorelement (20, 120) als keramischer Schichtverbund ausgebildet ist, dessen Schichtebenen senkrecht zur Längsachse des Gehäuses (21) angeordnet sind.
Gasmessfühler (10) zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung der Temperatur des Messgases oder der Konzentration einer Gaskomponente des Messgases, insbesondere nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem in einem Gehäuse angeordneten, in Planartechnik in Schichtebenen aufgebauten Sensorelement, das zur Abdichtung im Gehäuse eine Dichtfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtebenen des Sensorelements senkrecht zur Längsachse des Gehäuses angeordnet sind, und dass die Dichtfläche konisch geformt ist und zur Längsachse des Gehäuses einen Winkel von 45 bis 90 Grad, insbesondere von 60 bis 85 Grad, aufweist.
Gasmessfühler nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtfläche des Sensorelements auf einem konisch geformten Dichtring aufliegt.