DE10229855A1 - Luftgelagertes Antriebssystem - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung schafft ein luftgelagertes Antriebssystem, das kostengünstig herstellbar ist und exakte und stabile Antriebsleistungen bietet. Das luftgelagerte Antriebssystem weist auf: eine Basis, einen beweglichen Teil, ein Luftlager zum Bilden eines Luftspalts zwischen der Basis und dem beweglichen Teil, Luftdüsen sowie einen Ansaugeinlaß, die jeweils in der Basis gebildet sind, zum Blasen von Luft zum beweglichen Teil hin bzw. zum Absaugen von Luft von ihm, um eine Schwebekraft auf den beweglichen Teil auszuüben bzw. diesen in Ausübung einer Anziehungskraft zur Basis hin anzuziehen, eine Luftzufuhranordnung zum Zuführen von Luft zu den Luftdüsen, eine Anziehungsanordnung zum Anziehen des beweglichen Teils zur Basis hin, und zwei Einstellanordnungen zum Einstellen der durch die von den Luftdüsen ausgeblasene Luft erzeugten Schwebekraft bzw. der von dem Ansaugeinlaß ausgeübten Anziehungskraft.

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft ein luftgelagertes Antriebssystem und insbesondere einen Mechanismus des Antriebssystems zum Steuern eines einen Luftfilm bildenden Spalts, der von einer Luftlagerung gebildet wird (nachstehend wird der Spalt für den Luftfilm einfach als Luftspalt bezeichnet).
• Rundheitstester werden herkömmlich dafür verwendet, verschiedene Daten über geometrische Rundheitspräzision einer zylindrischen Form wie beispielsweise die Rundheit, die Konzentrizität und die Koaxialität zu gewinnen. Durch Anordnen eines Werkstücks auf einem Drehtisch, Drehen des Werkstücks mittels des Drehtisches und Erfassen eines Profils des Werkstücks mittels eines Erfassungskopfes sammeln die Rundheitstester Daten über das Profil des Werkstücks und messen sowie berechnen die geometrische Rundheitspräzision des Werkstücks.
• Wie beispielsweise in den japanischen Offenlegungsschriften 2000-120686 und 2000-348429 offenbart, werden Luftlager, die sehr viel weniger Reibungswiderstand, Wärmeerzeugung und Rotationsvibrationen aufweisen als Kugellager und ähnliches, in großem Umfang für eine Vielzahl von präzisen Antriebssystemen eingesetzt, beispielsweise zum Erzielen einer Drehbewegung des Drehtisches und einer linearen Vorschubbewegung des Erfassungskopfs der Rundheitstester.
• Im allgemeinen weist ein Drehantriebssystem 10, das eine in Fig. 2 gezeigte Luftlagerung aufweist, einen Stator (auch als Basis bezeichnet) 12, einen Rotor 14, eine obere Platte (auch als beweglicher Teil bezeichnet) 16 und eine untere Platte 18 auf. Der Rotor 14 ist einstückig mit der oberen Platte 16 und der unteren Platte 18 gebildet und ist vom Stator 12 unterstützt bzw. gelagert.
• Durch Zufuhr von Luft 26 wird zwischen der unteren Fläche der oberen Platte 16 und der oberen Fläche des Stators 12 ein oberer Luftspalt 20 gebildet, zwischen der unteren Fläche des Stators 12 und der oberen Fläche der unteren Platte 18 wird ein unterer Luftspalt 22 gebildet, und zwischen der Außenumfangsfläche des Rotors 14 und der Innenumfangsfläche des Stators 12 wird ein rohrförmiger Luftspalt 24 gebildet. Diese Spalte 20, 22 und 24 ermöglichen es daher dem Rotor 14, zusammen mit der oberen Platte 16 und der unteren Platte 18 relativ zum Stator 12 weich bzw. stetig zu rotieren.
• Bei dem das herkömmliche Luftlager verwendenden Antriebssystem ist im allgemeinen ein Luftspalt zwischen der Basis und jenen der beweglichen Teils gebildet, die der Basis zugewandt sind. Beispielsweise fließt in dem in Fig. 1 gezeigten Drehantriebssystem 10 Luft in diese drei Spalte 20, 22 und 24. Um eine exakte Rotation des Rotors 14 zusammen mit der oberen Platte 16 und der unteren Platte 18 unter Beibehaltung aller Luftspalte zwischen der Basis und den der Basis zugewandten beweglichen Teilen mit jeweiligen festen Abständen zu erzielen, müssen alle vorstehenden Spalte, der obere Spalt 20, der untere Spalt 22 und der rohrförmige Spalt 24, sehr präzise sein. Um diese Präzision zu erreichen, müssen viele weitere Teile sehr präzise sein, wie nachstehend beispielhaft beschrieben ist.
• Innerhalb gegenwärtig erzielbarer Niveaus an geometrischer Präzision muß beispielsweise der Stator 12 die Ebenheit seiner oberen und unteren Fläche, die Parallelität zwischen den gegenüberliegenden Flächen (nachstehend auch als Oberfläche-Oberfläche-Parallelität bezeichnet), die Rechtwinkligkeit bzw. Winkelhaltigkeit der Achse seiner Innenumfangsfläche bezüglich der obigen Flächen, die Zylindrizität der Innenumfangsfläche etc. erfüllen. Außerdem muß der Rotor 14 die Ebenheit seiner oberen und unteren Fläche, die Parallelität zwischen diesen Flächen, die Rechtwinkligkeit bzw. Winkelhaltigkeit der Achse seiner Außenumfangsfläche bezüglich der obigen Flächen, die Zylindrizität der Außenumfangsfläche etc. erfüllen. Außerdem muß die obere Platte 16 die Ebenheit ihrer oberen und unteren Fläche etc. erfüllen, und die untere Platte 18 muß die Ebenheit ihrer oberen Fläche etc. erfüllen.
• Da das Erfüllen der vorstehenden verschiedenen extrem hohen geometrischen Präzisionsanforderungen einen großen Umfang an Arbeit und Zeit zum Verarbeiten und Feinbearbeiten dieser Komponenten erfordert und demzufolge erhöhte Kosten des Antriebssystems nach sich zieht, besteht Bedarf an einem zu reduzierten Kosten herstellbaren neuen Antriebssystem, bei dem jedoch die erforderlichen exakten und stabilen Antriebseigenschaften nicht beeinträchtigt sind.
• Wenn außerdem der Schwerpunkt eines auf der oberen Platte 16 zur Messung von dessen Rundheit angeordneten Werkstücks und die Rotationsachse der oberen Platte 16 nicht zusammenfallen, wird eine exzentrische Last auf die rotierende obere Platte 16 ausgeübt, was dazu führt, daß der Luftfilm zwischen der unteren Fläche der oberen Platte 16 und der oberen Fläche des Stators 12 nach Maßgabe der Rotation des sich drehenden Werkstücks variiert, woraus das Problem entsteht, daß es schwierig ist, die geometrische Rundheitspräzision des Werkstücks exakt zu messen, da die Rotationsachse des Werkstücks geneigt ist.
• Angesichts der oben beschriebenen Probleme des Standes der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein luftgelagertes Antriebssystem zu schaffen, das kostengünstig herstellbar ist und exakte sowie stabile Antriebseigenschaften erzielt. Außerdem soll ein Rundheitstester geschaffen werden, der dieses luftgelagerte Antriebssystem beinhaltet.
• Diese Aufgaben werden mit einem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 1 bzw. einem Rundheitstester gemäß Anspruch 10 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
• Bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 1 kann durch Einstellen der Dicke des Luftfilms zwischen dem beweglichen Teil und der Basis unter Verwendung der Luftdüse und des Ansaugeinlasses die Dicke des Luftfilms fein eingestellt werden, ohne daß die Luftlagerung große Abmessungen hätte.
• Bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 2 kann der bewegliche Teil in einfacher Weise berührungslos positioniert werden, da die Schwebehöhe des beweglichen Teils in seiner Druckrichtung gesteuert werden kann.
• Da bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 3 eine geringere Anzahl an Komponenten vorhanden ist, die eine präzise Bearbeitung erfordern, können ungelernte Arbeiter die Komponenten bearbeiten, was zu reduzierten Bearbeitungskosten der Komponenten führt, ohne daß das Risiko der Verschlechterung der Drehgenauigkeit des Antriebssystems eingegangen wird.
• Da der Rotor bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 4 in der Mitte des zylindrischen Lochs berührungslos positioniert wird, umfaßt das luftgelagerte Antriebssystem eine Radiallagerung und eine Drucklagerung, die integriert gebildet sind, was zu einer reduzierten Größe des Antriebssystems führt.
• Da die Dicke des Luftfilms zwischen der Basis und dem beweglichen Teil in einfacher Weise gesteuert werden kann und dementsprechend die Variation der Dicke reduziert werden kann, weist das Antriebssystem eine verbesserte Antriebsgenauigkeit auf.
• Bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 6 kann die Gefahr eines Unfalls während des Transports, wie beispielsweise das Herausgleiten des Rotors aus dem Stator, beseitigt werden.
• Die erforderliche gleichförmige Dicke des Luftspalts wird bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 7 durch Einstellen der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität des Luftspalts erzielt, indem beispielsweise die Höhe und der Winkel des beweglichen Teils relativ zur Basis eingestellt wird.
• Bei der vorliegenden Erfindung wird selbst dann, wenn eine Unwucht auf den sich drehenden beweglichen Teil ausgeübt wird, wenn die Drehachse und der Schwerpunkt eines zum Messen von dessen Rundheit auf dem beweglichen Teil angeordneten, sich drehenden Werkstücks nicht zusammenfallen, der Luftfilm zwischen der unteren Fläche des beweglichen Teils und der oberen Fläche der Basis so gesteuert, daß er nach Maßgabe der Rotation des sich drehenden Werkstücks eine konstante Dicke aufweist, wodurch eine exakte Rotation des Werkstücks erzielt wird, ohne daß die Drehachse des Werkstücks geneigt würde.
• Da bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 8 die Schwebehöhe der Bewegungsplanfläche relativ zur Druckplanfläche exakt gemessen werden kann, kann der Neigungswinkel der Bewegungsplanfläche exakter berechnet werden, wodurch es möglich wird, daß die Steueranordnung die Schwebehöhe exakter steuern kann, wodurch eine exaktere Rotation des Werkstücks erzielt werden kann.
• Da bei dem luftgelagerten Antriebssystem gemäß Anspruch 9 der Drucksensor zum Messen eines Unterdrucks vorgesehen ist, kann die Schwebehöhe der Bewegungsplanfläche über der Druckplanfläche unabhängig vom Gewicht des Werkstücks konstant gehalten werden, indem der Unterdruck so eingestellt wird, daß die Anziehungskraft konstant gehalten wird.
• Wie bereits beschrieben, stellen die Einstellanordnungen der erfindungsgemäßen Konfiguration eine Balance der Schwebekraft und der Anziehungskraft so ein, daß ein Luftspalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke gebildet wird, wodurch ein kostengünstig herstellbares sowie exakt und stabil betreibbares Antriebssystem geschaffen wird.
• Bei dem erfindungsgemäßen Antriebssystem ist zumindest eine Gruppe aus mehreren Luftdüsen und einer Mehrzahl der Ansaugeinlässe in der Basis angeordnet. Die entsprechenden Einstellanordnungen stellen unabhängig einen Teil der Schwebekraft unter Verwendung jeder der mehreren Luftdüsen und/oder einen Teil der Anziehungskraft unter Verwendung jeder der mehreren Ansaugeinlässe unabhängig ein. Außerdem umfaßt das Antriebssystem eine Steueranordnung zum Steuern der entsprechenden Einstellanordnungen zur Ausführung der obigen unabhängigen Einstellung, wodurch noch genauere und stabilere Antriebseigenschaften des Antriebssystems erzielt werden.
• Weitere Vorteile, Merkmale und Besonderheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden, nicht beschränkenden Beschreibung vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung. Es zeigen:
• Fig. 1 und 3 schematische Darstellungen der Konfiguration eines luftgelagerten Antriebssystems gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Anwendung auf einen Rundheitstester;
• Fig. 2 eine Darstellung eines bekannten luftgelagerten Antriebssystems;
• Fig. 4 einen vertikalen Schnitt eines Luftlagers gemäß der vorliegenden Erfindung bzw. die schematische Konfiguration des Antriebssystems unter Verwendung des Luftlagers;
• Fig. 5 eine Draufsicht auf die Luftdüsen und einen Ansaugeinlaß des Luftlagers; und
• Fig. 6A bis 7B Darstellungen des Betriebs des Luftlagers.
• Die Fig. 1 und 3 sind schematische Ansichten der Konfiguration eines luftgelagerten Antriebssystems gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, das zum Drehen eines Drehtisches eines Rundheitstesters eingesetzt wird.
• Ein in Fig. 1 gezeigter Rundheitstester 150 weist eine Haupteinheit 152, eine elektrische Einheit 154 und einen Computer 156 auf.
• Die Haupteinheit 152 weist eine Plattform 158 und einen Drehtisch 160 auf, der gemäß der Ausführungsform unter Zwischenlage eines luftgelagerten Antriebssystems 110 auf der Plattform 158 angeordnet ist, und der Drehtisch 160 weist ein auf ihm angeordnetes Werkstück 162 auf. Der Computer 156 gibt einen Antriebsbefehl in die elektrische Einheit 154 ein, um den Drehtisch 160 mittels eines herkömmlichen Motors (nicht gezeigt) zu einer Bewegung mit gegebener Drehzahl zu veranlassen. Die Drehzahl des Drehtisches 160 wird fortlaufend von einem unter dem Drehtisch 160 angeordneten codierten Drehgeber (nicht gezeigt) erfaßt, und die Erfassungswerte werden in Form digitaler Signale in den Computer 156 eingegeben.
• Außerdem weist die Haupteinheit 152 einen Erfassungskopf 164 zum Erfassen von Unregelmäßigkeiten des Profils des Werkstücks 162 und einen am Erfassungskopf 164 befestigten Meßfühler 166 auf. Versatzerfassungssignale vom Erfassungskopf 164 werden von der elektrischen Einheit 154 in digitale Signale umgesetzt und fortlaufend in den Computer 156 eingegeben. Der Meßfühler 166 wird ständig gegen den Erfassungskopf 164 gedrückt, beispielsweise in der Radialrichtung des Drehtisches 160. Indem dem Drehtisch 160 ermöglicht wird, das Werkstück 162 zu drehen, während die Spitze des Meßfühlers 166 in Kontakt mit dem Werkstück 162 gehalten wird, erfaßt der Erfassungskopf 164 den durch die Unregelmäßigkeiten des Profils des Werkstücks 162 verursachten Versatz des Meßfühlers 166. Die Versatzerfassungssignale aus der Erfassungskopf 164 werden zusammen mit den Erfassungssignalen der Drehzahl von dem codierten Drehgeber in dem Computer 156 gespeichert. Die Meßdaten werden rechnerisch verarbeitet, um die Rundheit, Koaxialität etc. zu ermitteln, indem Berechnungsverfahren wie beispielsweise die Methode der kleinsten Quadrate verwendet werden.
• Um beispielsweise eine exakte Drehung des Drehtisches 160 des Rundheitstesters 150 zu erzielen, wird im allgemeinen ein luftgelagertes Antriebssystem verwendet, das extrem wenig Reibungswiderstand, Wärmeerzeugung, Rotationsvibration etc. erzeugt. Das luftgelagerte Antriebssystem 110 ist beispielsweise unter dem Drehtisch 160 der Haupteinheit 152 angeordnet, wie in Fig. 3 gezeigt. Der eine Luftlagerung verwendende Drehtisch 160 muß eine extrem hohe Rotationsgenauigkeit aufweisen, und das Erzielen einer derartigen Rotationsgenauigkeit erfordert eine extrem hohe geometrische Präzision der Basis und der beweglichen Teile, die der Basis zugewandt sind, was viel Arbeit und Zeit zum Verarbeiten und Feinbearbeiten dieser Komponenten erfordert und demzufolge zu erhöhten Kosten des Antriebssystems 110 führt.
• Aufgrund der obigen Probleme wird eine in den Fig. 4 und 5 gezeigte Selbstanziehungs- und Levitations- bzw. Schwebeluftlagerung eingesetzt, um gemäß dem Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform die Gesamtanzahl an Elementen zu reduzieren, die eine kostenträchtige geometrische Präzision erfordern. Beispielsweise wird die Oberfläche-Oberfläche-Parallelität nicht in der herkömmlichen Weise des Bearbeitens und Feinbearbeitens der Komponenten erzielt, sondern durch Einstellen eines Luftspalts einer Selbstanziehungs- und Schwebeluftlagerung auf einen gegebenen Wert. Fig. 4 stellt einen vertikalen Querschnitt einer Luftlagerung gemäß der Ausführungsform und die schematische Konfiguration des Antriebssystems 110 und der schematischen Konfiguration des die Luftlagerung verwendenden Antriebssystems 110 dar. Fig. 5 ist eine Draufsicht auf Luftdüsen und einen Ansaugeinlaß der Luftlagerung.
• Das die Luftlagerung verwendende Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform ist mit einem Spaltsteuermechanismus durch Verwendung eines Luftfilms in einem Spalt zwischen der oberen Fläche (das heißt Druckplanfläche) eines Stators (das heißt Basis) 112 und der zur Achse eines Rotors 114 senkrechten unteren Fläche (das heißt Bewegungsplanfläche) einer oberen Platte (das heißt Bewegungsteil) 116 versehen. Mit dieser Konfiguration wird Luft zur inneren Umfangsfläche und der oberen Fläche des Stators 112 hin geblasen.
• Der Stator 112 weist eine Mehrzahl von Luftdüsen 170a bis 170h an seiner oberen Fläche mit einem gegebenen Winkelabstand voneinander auf, die konzentrisch zum Umfangskreis des Rotors 114 angeordnet sind. Außerdem weist das Antriebssystem 110 eine Mehrzahl von Luftzufuhrleitungen 171, eine Luftzufuhranordnung 172, eine Luftzufuhreinstellanordnung 174 und den Computer (das heißt eine Steueranordnung) 156 auf.
• Die Luftdüsen 170a bis 170h sind mit der Luftzufuhreinstellanordnung 174 verbunden, und die Luftzufuhreinstellanordnung 174 ist mit der Luftzufuhranordnung 172 verbunden, und zwar jeweils durch die entsprechenden Luftzufuhrleitungen 171.
• Über diese Verbindungen liefert die Luftzufuhranordnung 172 Luft 126 durch die entsprechenden Luftzufuhrleitungen 171 über die Luftzufuhreinstellanordnung 174 an jede der Luftdüsen 170a bis 170h.
• Der Computer 156 ist mit der Luftzufuhreinstellanordnung 174 verbunden und steuert den Betrieb der Luftzufuhreinstellanordnung 174 so, daß die aus den einzelnen Luftdüsen 170a bis 170h blasende Menge an Luft unabhängig eingestellt wird. Durch diese Einstellung kann eine auf die untere Fläche der oberen Platte 116 ausgeübte Anhebe- bzw. Schwebekraft an jeder der Luftdüsen 170a bis 170h eingestellt werden.
• Die Menge an Luft, die in einen rohrförmigen Spalt zwischen der äußeren Umfangsfläche des Rotors 114 und die innere Umfangsfläche des Stators 112 geblasen wird, ist im wesentlichen fest.
• Bei dem Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform wird, da der Spaltsteuermechanismus unter Verwendung eines Luftfilms zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 in oben beschriebener Weise vorgesehen ist, eine Anziehungskraft der Luft in einer Richtung senkrecht zur obigen oberen Fläche eingestellt, und der Stator 112 weist eine in etwa O-förmige ringartige Vakuumansaugnut (auch als Ansaugeinlaß bezeichnet) 176 an seiner oberen Fläche innerhalb eines durch die Luftdüsen 170a bis 170h gebildeten Kreises auf. Außerdem weist das Antriebssystem 110 eine Mehrzahl von Luftansaugleitungen 177, eine Vakuumerzeugungsanordnung 178 (das heißt eine Anziehungsanordnung) 178, eine Luftansaugeinstellanordnung 180 und den Computer (das heißt eine Steueranordnung) 156 auf.
• Die Vakuumansaugnut 176 ist durch mindestens eine Luftansaugleitung 177 mit der Luftansaugeinstellanordnung 180 verbunden, und die Luftansaugeinstellanordnung 180 ist über die Luftansaugleitung 177 mit der Anziehungsanordnung 178 verbunden.
• Mit diesen Verbindungen saugt die Vakuumerzeugungsanordnung 178 Luft in der Vakuumansaugnut 176 durch die Luftansaugleitung 177 über die Luftansaugeinstellanordnung 180 ab.
• Der Computer 156 ist mit der Luftansaugeinstellanordnung 180 verbunden und steuert den Betrieb der Luftansaugeinstellanordnung 180 so, daß die aus der Vakuumansaugnut 176 angesaugte Luftmenge eingestellt wird. Durch diese Einstellung kann die auf die untere Fläche der oberen Platte 116 ausgeübte Anziehungskraft eingestellt werden.
• Der Stator 112 weist drei kapazitive Spaltsensoren (nicht gezeigt) auf seiner oberen Fläche in einem Winkelabstand von 120° auf, die konzentrisch zum Umfangskreis des Rotors 114 angeordnet sind, zum Messen von Entfernungen an den drei Punkten zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116. Der Computer 156 empfängt Ausgangssignale der Spaltsensoren bezüglich der drei Abstände und berechnet eine Neigung der unteren Fläche der oberen Platte 116 relativ zur oberen Fläche des Stators 112. Auf der Basis des berechneten Ergebnisses stellt der Computer 156 die aus den einzelnen Luftdüsen 170a bis 170h jeweils ausgeblasene Luftmenge unabhängig voneinander so ein, daß die Neigung der oberen Platte 116 korrigiert wird, indem die Luftzufuhreinstellanordnung 174 gesteuert wird. Ein Korrekturvorgang für die obige Neigung wird ständig ausgeführt. Dementsprechend wird selbst dann, wenn die Richtung der Neigung mit der Rotation der oberen Platte 116 variiert, die Neigung bedarfsgemäß durch Einstellen der aus den einzelnen Luftdüsen 170a bis 170h ausgeblasenen Luftmenge so, daß sie die optimale Menge darstellt, korrigiert.
• Als Folge erfordert das Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform keine präzise Verarbeitung und Feinbearbeitung der Komponenten, wie es in herkömmlicher Weise zum Erzielen geometrischer Präzision der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität der Komponenten erforderlich ist. Statt dessen steuert, wie in den Fig. 6a bis 7b gezeigt, wenn auf die untere Fläche der oberen Platte 116 eine Schwebekraft von den Luftdüsen 170a bis 170h zusammen mit einer Anziehungskraft von der Vakuumansaugnut 176 ausgeübt wird, der Computer 156 den Betrieb jeder Einstellanordnung so, daß ein Spalt mit einer erforderlichen gleichförmigen Dicke eines Luftfilms zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 durch Einstellen der Balance der Schwebekraft und der Anziehungskraft gebildet wird, wodurch es möglich wird, daß die obere Platte 116 berührungslos auf dem Stator 112 positioniert wird.
• Demzufolge kann die Parallelität zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 durch Steuern des Luftspalts derart, daß er eine erforderliche gleichförmige Dicke aufweist, verbessert werden.
• Die vorstehende Konfiguration ermöglicht es, daß der Drehtisch 160 sich exakt und stabil dreht, und sie vermeidet eine kostenträchtige Verarbeitung und Endbearbeitung der Komponenten zum Erzielen der geometrischen Präzision der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität der Komponenten, wie es bei der herkömmlichen Herstellungsweise erforderlich wäre.
• Anhand von Fig. 6A bis 7B wird in beispielhafter Weise der Betrieb der Luftlagerung beschrieben. Wenn die obere Platte 116 auf einer Schwebehöhe d+, die größer als die vorgeschriebene Höhe d ist, relativ zum Stator 112 gemäß Darstellung in Fig. 6A liegt, steuert der Computer die einzelnen Einstellanordnungen so, daß die aus den Luftdüsen 170a bis 170h ausgeblasene Luftmenge reduziert wird, während die von der Vakuumansaugnut 176 abgesaugte Luftmenge konstant gehalten wird, wobei die von der Vakuumansaugnut 176 auf die untere Fläche der oberen Platte 116 ausgeübte Anziehungskraft mit 182 bezeichnet ist. Dann wird, obwohl auf die untere Fläche der oberen Platte 116 eine von der aus den Luftdüsen 170a bis 170h ausgeblasenen Luft erzeugte Schwebekraft 175 sowie die von der Vakuumansaugnut 176 ausgeübte Anziehungskraft 182 spürt, die von der Vakuumansaugnut 176 abgesogene Luftmenge, das heißt die Anziehungskraft, relativ größer, und demzufolge bewegt sich, wie in Fig. 6B gezeigt, die obere Platte 116 zum Stator 112 hinab, woraus der Spalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke d des Luftfilms zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 resultiert.
• Andererseits steuert, wenn die obere Platte 116 bei einer Schwebehöhe d-, die kleiner als die erforderliche Höhe d ist, relativ zum Stator 112 gemäß Darstellung in Fig. 7A liegt, der Computer die einzelnen Einstellanordnungen so, daß die Blasraten erhöht werden, während die Anziehungskraft 182 konstant gehalten wird, die von der Vakuumansaugnut 176 auf die untere Fläche der oberen Platte 116 ausgeübt wird. Dann wird, obwohl auf die untere Fläche der oberen Platte 116 die von der aus den Luftdüsen 170a bis 170h ausgeblasenen Luft erzeugte Schwebekraft 175 sowie die Anziehungskraft 182 von der Vakuumansaugnut 176 ausgeübt wird, die aus den Luftdüsen 170a bis 170h ausgeblasene Luftmenge, das heißt die Schwebekraft, relativ größer, und demzufolge bewegt sich die obere Platte 116 gemäß Darstellung in Fig. 7B nach oben, woraus der Spalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke d des Luftfilms zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 resultiert.
• Wie in Fig. 4 gezeigt, ist die Basis 112 von einem zylindrischen Loch und einer Mehrzahl von Luftdüsen 124 an der inneren Umfangsfläche des zylindrischen Lochs durchsetzt, um durch Luft einen Druck auf die äußere Umfangsfläche des zylindrischen Rotors 114 in der radialen Richtung des Rotors 114 auszuüben, wodurch der Rotor 114 berührungslos so positioniert werden kann, daß die Mittelachse des Rotors 114 mit derjenigen des zylindrischen Lochs zusammenfällt.
• Der Rotor 114 weist ein Gleitschutzelement 190 auf, wie in Fig. 4 gezeigt, das an dessen unteren Fläche beseitigt ist, um zu verhindern, daß der Rotor 114 während des Transports des Rundheitstesters 150 oder ähnlichem herausgleitet. Die untere Fläche des Rotors 114 und das Gleitschutzelement 190 erfordern überhaupt keine hochpräzise Bearbeitung.
• Wie oben beschrieben, erfordert das Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform keine präzise Bearbeitung und Feinbearbeitung der Komponenten, wie es sonst herkömmlich zum Erzielen geometrischer Präzision der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität der Komponenten erforderlich wäre. Statt dessen steuert, wenn auf die obere Platte 116 eine Schwebekraft von den Luftdüsen 170a bis 170h sowie eine Anziehungskraft von der Vakuumansaugnut 176 ausgeübt wird, der Computer 156 den Betrieb jeder Einstellanordnung so, daß ein Luftspalt mit einer erforderlichen gleichförmigen Dicke zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 durch Einstellen der Balance der Schwebekraft und der Anziehungskraft gebildet wird. Diese Anordnung verbessert die Parallelität zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116, wodurch sich der Drehtisch 160 präzise und stabil drehen kann.
• Außerdem kann das herkömmliche Erfordernis nach geometrischer Präzision wie beispielsweise der Parallelität zwischen der oberen Fläche des Stators und der unteren Fläche der oberen Platte beseitigt werden. Des weiteren reicht es ganz einfach aus, anstatt der herkömmlichen unteren Platte das Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform mit dem Gleitschutzelement 190 zu versehen, das dazu dient zu verhindern, daß der Rotor 114 unbeabsichtigt herausgleitet. Demzufolge kann das herkömmliche Erfordernis nach geometrischer Präzision wie beispielsweise der Parallelität zwischen der unteren Fläche des Stators und der oberen Fläche der unteren Platte beseitigt werden. Als Folge nimmt die Gesamtanzahl an Elementen, die geometrische Präzision erfordern, auf etwa zwei Drittel derjenigen des herkömmlichen Antriebssystems ab, wodurch beim Antriebssystem 110 gemäß der Ausführungsform ein einfacher Aufbau und eine präzise Rotation erzielt wird, was zu reduzierten Kosten des Antriebssystems 110 aufgrund einer reduzierten Anzahl an Schritten der Verarbeitung und Feinbearbeitung der Komponenten führt.
• Die herkömmlichen Antriebssysteme weisen lediglich die Funktionen des Zuführens von Luft zur Bildung eines Luftfilms und des Absaugens der Luft für deren Wiederverwendung auf, weisen jedoch keine Funktion der Steuerung eines Luftspalts auf.
• Wie bei der Ausführungsform beschrieben, wird die genaue Steuerung des Luftspalts auf einen konstanten Wert in der Praxis zum ersten Mal realisiert, indem die Mengen an eingeblasener Luft und abgesaugter Luft eingestellt werden, wenn auf die obere Platte 116 eine durch die aus den Luftdüsen 170a bis 170h geblasene Luft erzeugte Schwebekraft sowie eine durch aus der Vakuumerzeugungsnut 176 angesaugte Luft erzeugte Anziehungskraft ausgeübt wird.
• Die vorstehende exakte Steuerung des Luftspalts auf einen konstanten Wert kann nicht durch einfaches Einblasen von Luft und deren Aufnahme in bekannter Weise erzielt werden, und auch nicht durch einfaches Einblasen von Luft aus den Luftdüsen 170a bis 170h oder das Absaugen von Luft aus der Vakuumansaugnut 176. Einfaches Einstellen der Menge eingeblasener Luft reicht nicht aus zum Steuern des Luftspalts auf einen konstanten Wert, da die Änderung der Menge eingeblasener Luft bewirkt, daß die obere Platte 116 vibriert oder flattert, und selbst dann, wenn die Menge eingeblasener Luft in vorgeschriebener Weise gesteuert wird, ist es oft der Fall, daß der tatsächliche Luftspalt nicht in vorgeschriebener Weise variiert, was zu der Schlußfolgerung führt, daß das feine und schnelle Steuern des Luftspalts so, daß der Spalt eine erforderliche Dicke aufweist, schwierig ist.
• Anders als bei der obigen Weise der Steuerung bewegt sich durch Einstellen der Mengen an eingeblasener Luft und abgesaugter Luft, wenn die obere Platte 116, auf die eine Schwebekraft von den Luftdüsen 170a bis 170h sowie eine Anziehungskraft von der Vakuumansaugnut 176 ausgeübt wird, bei der Ausführungsform die obere Platte 116 in vorgeschriebener Weise nach Maßgabe der Mengen an eingeblasener Luft und abgesaugter Luft, wenn diese Mengen eingestellt werden, und demzufolge variiert die Dicke des Luftspalts in vorgeschriebener Weise. Wie oben beschrieben, kann die obere Platte 116 zuverlässiger gesteuert werden, was zu einer feinen und schnellen Steuerung des Luftspalts führt. Eine derartige Steuerung des Spalts kann erzielt werden, indem nur die Menge an eingeblasener Luft und abgesaugter Luft eingestellt wird, wenn die obere Platte 116 eine Schwebe- bzw. Anhebekraft von den Luftdüsen 170a bis 170h sowie eine Anziehungskraft von der Vakuumansaugnut 176 gemäß Erläuterung der Ausführungsform spürt.
• Obwohl in dieser Ausführungsform eine Luftlagerung in Anwendung zum Erzielen einer Drehbewegung des Drehtisches 160 des Rundheitstesters 150 als Beispiel beschrieben wurde, kann die Luftlagerung in geeigneter Weise auch zum Erzielen einer Linearbewegung eingesetzt werden, die für eine exakte und stabile Vorschubbewegung erforderlich ist, beispielsweise des Erfassungskopfs 164 des Rundheitstesters 150. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf Rundheitstester beschränkt, sondern ist bei beliebigen luftgelagerten Antriebssystemen einsetzbar.
• Des weiteren ist die vorliegende Erfindung nicht auf die vorstehenden Konfigurationen der Luftdüsen und des Ansaugeinlasses beschränkt.
• Obwohl die vorstehende Konfiguration, bei der mehrere Luftdüsen vorhanden sind, der Ansaugeinlaß eine Nutform aufweist und die Schwebekraft von den Luftdüsen und eine Anziehungskraft von dem Ansaugeinlaß durch Einstellen der Schwebekraft unter Konstanthalten der Anziehungskraft ausbalanciert werden, wenn auf den beweglichen Teil die Schwebekraft sowie die Anziehungskraft ausgeübt wird, als Beispiel beschrieben ist, können auch andere Konfigurationen eingesetzt werden, solange ein Luftspalt durch Einstellen einer Schwebekraft von einer Luftdüse und eine Anziehungskraft von einem Ansaugeinlaß gesteuert wird, sofern auf den beweglichen Teil die Schwebekraft sowie die Anziehungskraft ausgeübt werden.
• Es ist beispielsweise bevorzugt, eine Schwebekraft von einer Luftdüse und eine Anziehungskraft von Ansaugeinlässen durch Konfigurieren der Luftdüse in einer nutartigen Form und der Ansaugeinlässe so, daß mehrere davon vorhanden sind, und durch Einstellen der Anziehungskraft unter Konstanthalten der Schwebekraft auszubalancieren bzw. auszugleichen, wenn auf den beweglichen Teil die Schwebekraft sowie die Anziehungskraft ausgeübt wird.
• Es ist außerdem bevorzugt, die Schwebekraft von den Luftdüsen und die Anziehungskraft von dem Ansaugeinlaß auszubalancieren, sofern auf den beweglichen Teil die Schwebekraft sowie die Anziehungskraft ausgeübt wird.
• Wenn beispielsweise die rechte Hälfte der oberen Platte 116 bezüglich des Stators 112 in bezug auf die von der Luftdüse 170a zur Luftdüse 170e gezogenen Mittellinie nach oben geneigt ist, das heißt, der kleinste Luftspalt liegt in der Nähe der Luftdüse 170 g, und der größte Luftspalt liegt in der Nähe der Luftdüse 170c, bevor der Steuervorgang startet, steuert der Computer 156 die Luftzufuhreinstellanordnung 174 zum unabhängigen Einstellen der Mengen an Luft, die aus den Luftdüsen 170a bis 170h geblasen werden, wenn auf die untere Fläche der oberen Platte 116 von der Ansaugnut 176 eine Anziehungskraft ausgeübt wird, so daß die Oberfläche-Oberfläche-Parallelität des durch den obigen Luftfilm gebildeten Spalts korrigiert wird, das heißt, zwischen dem Stator 112 und der oberen Platte 116 besteht ein Luftspalt mit einer erforderlichen gleichförmigen Dicke.
• Als Folge besteht zwischen der oberen Platte 116 und dem Stator 112 ein Spalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke, wodurch die erforderliche Parallelität zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 erzielt wird, ohne daß eine strenge geometrische Präzision für die Verarbeitung und Feinbearbeitung des Stators 112, der oberen Platte 116 etc. erforderlich wären, wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform. Diese Konfiguration ermöglicht es, daß das Antriebssystem 110 reduzierte Kosten zum Verarbeiten und Feinbearbeiten seiner Komponenten ermöglicht, und sie ermöglicht überdies, daß der Drehtisch 160 sich exakt und stabil dreht, wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform.
• Im Gegensatz zu der oben beschriebenen Situation steuert, wenn die linke Hälfte der oberen Platte 116 bezüglich des Stators 112 in bezug auf die von der Luftdüse 170a zur Luftdüse 170e gezogenen Mittellinie nach oben geneigt ist, das heißt, der größte Luftspalt liegt vor dem Start des Steuervorgangs in der Nähe der Luftdüse 170 g und der kleinste Luftspalt in der Nähe der Luftdüse 170c, der Computer 156 die Luftzufuhreinstellanordnung 174 zum unabhängigen Einstellen der aus den Luftdüsen 170a bis 170h geblasenen Luftmengen, sofern auf die untere Fläche der oberen Platte 116 eine Anziehungskraft von der Ansaugnut 176 ausgeübt wird, so daß die Oberfläche-Oberfläche- Parallelität des obigen Luftspalts korrigiert wird, das heißt, zwischen dem Stator 112 und der oberen Platte 116 wird ein Luftspalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke gebildet.
• Als Folge besteht zwischen der oberen Platte 116 und dem Stator 112 ein Spalt mit der erforderlichen gleichförmigen Dicke, wodurch die erforderliche Parallelität zwischen der oberen Fläche des Stators 112 und der unteren Fläche der oberen Platte 116 erzielt wird, ohne daß eine strenge geometrische Präzision für die Verarbeitung und Feinbearbeitung des Stators 112, der oberen Platte 116 etc. erforderlich wären, wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform. Diese Konfiguration ermöglicht es, daß das Antriebssystem 110 reduzierte Kosten zum Verarbeiten und Feinbearbeiten seiner Komponenten ermöglicht, und sie ermöglicht überdies, daß der Drehtisch 160 sich exakt und stabil dreht, wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform.
• Wie oben beschrieben, steuert der Computer 156, das heißt die Steueranordnung, durch Balancieren der Schwebekraft 175 von den Luftdüsen 170a bis 170h und der Anziehungskraft 182 von der Vakuumansaugnut 176, sofern auf die untere Fläche der oberen Platte 116 die Schwebekraft 175 sowie die Anziehungskraft 182 ausgeübt wird, den Luftspalt so, daß eine benötigte gleichförmige Dicke beibehalten wird, wodurch sich der Drehtisch 160 präzise und stabil drehen kann.
• Des weiteren ist es bevorzugt, den Rundheitstester 150 mit zusätzlichen Funktionen wie beispielsweise einer automatischen Erfassung der Dicke eines Luftspalts und einer automatischen Steuerung der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität auf der Basis der Meßergebnisse zu versehen, um eine einfache Handhabung zu erzielen.
• Obwohl das Antriebssystem 110 in der oben beschriebenen Ausführungsform als Beispiel mit drei Spaltsensoren versehen ist, kann statt dessen bei jeder der Luftdüsen 170a bis 170h ein Erfassungssensor zum Erfassen der Dicke eines Luftspalts zwischen dem Stator 112 und der oberen Platte 116 angeordnet und über die elektrische Einheit 154 an den Computer 156 angeschlossen sein. Der Computer 156 weist eine Speicheranordnung zum Speichern von Steuerinformation zum Erzielen der erforderlichen Oberfläche-Oberfläche-Parallelität zwischen dem Stator 112 und der oberen Platte 116 und außerdem zum Einstellen der Mengen an eingeblasener Luft und abgesaugter Luft in Antwort auf die Dicke der einzelnen Luftspalte auf.
• Außerdem weist der Computer 156 eine Signaleingabeanordnung und eine CPU auf. Wenn die CPU des Computers 156 ein Befehlssignal zum Steuern des Luftspalts über die Eingabeanordnung empfängt, liest der Computer 156 die Erfassungsergebnisse der Sensoren über die elektrische Einheit 154 ein.
• Auf der Basis der eingelesenen Erfassungsergebnisse berechnet die CPU die jeweiligen Mengen an eingeblasener und abgesaugter Luft, um die erforderliche Oberfläche-Oberfläche-Parallelität aus den in der Speicheranordnung gespeicherten Steuerinformationen zu erzielen, und gibt die berechneten Werte in die Einstellanordnungen 174 und 180 ein. Da die Einstellanordnungen 174 und 180 in Antwort auf die berechneten Werte arbeiten, kann beispielsweise die Oberfläche-Oberfläche- Parallelität automatisch auf der Basis der Erfassungsdaten der Sensoren eingestellt werden, welche die einzelnen Luftspalte erfassen, und außerdem auf der Basis der Erfassungsergebnisse des Computers 156 und der Einstellanordnungen 174 und 180.
• Da die Sensoren den Luftfilm in jedem Spalt in Echtzeit erfassen, wenn der Rundheitstester 150 in Betrieb ist, führen der Computer 156 und die Einstellanordnungen 174 und 180 eine automatische Steuerung zum Einstellen der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität in Antwort auf die Erfassungsergebnisse aus, wenn die Dicke des Spalts variiert, wodurch eine einfache Handhabung erzielt und immer eine hohe geometrische Präzision der Oberfläche-Oberfläche-Parallelität etc. beibehalten wird.
• Obwohl die vorstehenden Spaltsensoren vom Kapazitätstyp sind, können auch kontaktlose Sensoren des elektromagnetischen Typs, optischen Typs etc. verwendet werden.
• Anstatt von dem bei dem Antriebssystem 110 gemäß der vorstehenden Ausführungsform verwendeten Computer 156 kann die Luftzufuhreinstellanordnung 174 unter Verwendung von als Spaltsensoren dienenden pneumatischen Mikrometern und auch durch Verwendung einer Druckermittlungsvorrichtung zum Berechnen eines Luftdrucks gesteuert werden.
• Obwohl bei der oben beschriebenen Ausführungsform die Luftzufuhreinstellanordnung 174 und die Anziehungsanordnung 178 die Mengen an eingeblasener bzw. abgesaugter Luft einstellen, können alternativ zu dieser Konfiguration die Luftansaugleitungen 177 mit einem Drucksensor zum Messen eines Unterdrucks versehen sein (das heißt einem Sensor zur Messung einer Anziehungskraft), und die Luftansaugeinstellanordnung 180 kann die Menge an abgesaugter Luft so einstellen, daß ein Unterdruck (das heißt eine Anziehungskraft) konstant bleibt, während die eingeblasene Luftmenge konstant bleibt. Bei dieser Konfiguration wird, wenn das auf dem Drehtisch 160 befindliche Werkstück 162 schwer ist und der Spalt kleiner wird, in den Spalt weniger Luft eingeblasen, und demzufolge herrscht in ihm ein höherer Unterdruck (das heißt ein größeres Vakuum). Durch Reduzieren des Unterdrucks, das heißt durch Reduzieren der Anziehungskraft, und zwar in der Weise, daß der Unterdruck wieder auf den vorgeschriebenen Wert eingestellt wird, nimmt die am Spalt eingesaugte Luftmenge ab, wodurch der Spalt größer wird. Wenn im Gegensatz dazu das Werkstück 162 leicht ist und der Spalt größer wird, bewirkt eine Reduzierung der Anziehungskraft so, daß die Menge an in den Spalt geblasener Luft zunimmt, daß der Spalt schmäler wird. In anderen Worten kann durch Anordnen eines Sensors zum Messen eines Unterdrucks in der Luftansaugleitung 177 zum Ansaugen von Luft aus dem Ansaugeinlaß 176 und durch Einstellen des Unterdrucks so, daß die Anziehungskraft konstant bleibt, die Schwebehöhe der sich bewegenden Planfläche relativ zur Druckplanfläche konstant gehalten werden. Es muß mindestens ein Drucksensor zum Messen eines Unterdrucks vorhanden sein; es ist jedoch bevorzugt, eine Mehrzahl der Drucksensoren vorzusehen, wenn die Luftansaugleitungen 177 kompliziert sind.

Claims (10)

1. Luftgelagertes Antriebssystem, umfassend:
einen beweglichen Teil (114), der eine Drehbewegung oder eine Linearbewegung ausführt;
eine Basis (112) zum Lagern des beweglichen Teils;
eine Luftlagerung, die zwischen der Basis und dem beweglichen Teil einen Luftspalt (124) zum Lagern des beweglichen Teils auf der Basis umfaßt;
zumindest eine Luftdüse (170a-170h), die in der Basis gebildet ist und dem beweglichen Teil gegenüberliegt, zum Bilden des Luftspalts durch Blasen von Luft zum beweglichen Teil hin und zum Ausüben einer Schwebekraft auf den beweglichen Teil;
eine Luftzufuhranordnung (172) zum Zuführen von Luft zu der zumindest einen Luftdüse;
zumindest einen Ansaugeinlaß (176), der in der Basis gebildet ist und dem beweglichen Teil gegenüberliegt, zum Ausüben einer Anziehungskraft auf den beweglichen Teil, um den beweglichen Teil zur Basis hin anzuziehen;
eine Anziehungsanordnung (178) zum Anziehen, über den Ansaugeinlaß, des beweglichen Teils zur Basis hin;
eine Einstellanordnung (174) zum Einstellen der durch die von der zumindest einen Luftdüse erzeugten Schwebekraft; und
eine Einstellanordnung (180) zum Einstellen der durch die von dem zumindest einen Ansaugeinlaß erzeugten Anziehungskraft.

2. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 1, bei dem der bewegliche Teil einen zylindrischen Rotor (114) und eine Bewegungsplanfläche umfaßt, die senkrecht zur Mittelachse des Rotors ist, die Basis (112) zumindest eine Druckplanfläche umfaßt, die der Bewegungsplanfläche gegenüberliegt, und die Druckplanfläche die zumindest eine Luftdüse (170a-170h) und den zumindest einen Ansaugeinlaß (176) umfaßt, die so in ihr gebildet sind, daß die Bewegungsplanfläche mittels des Luftfilms im Luftspalt in einer vorgeschriebenen Höhe bezüglich der Druckplanfläche zum Schweben bringbar ist.

3. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 2, bei dem nur eine einzige Druckplanfläche vorhanden ist.

4. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 2 oder 3, bei dem die Basis (112) ein zylindrisches Loch zum Halten des Rotors (114) in dessen Radialrichtung und eine Mehrzahl von Luftdüsen (170a-170h) aufweist, die an der Umfangsfläche des zylindrischen Lochs angeordnet sind, so daß der Rotor in der Mitte des zylindrischen Lochs positioniert wird.

5. Luftgelagertes Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem entweder die zumindest eine Luftdüse (170a-170h) oder der zumindest eine Ansaugeinlaß (176) die Form einer Nut aufweist.

6. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 2 oder 3, bei dem der bewegliche Teil (114) des weiteren ein Schlupfschutzelement (190) zum Verhindern des Herausschlupfens des beweglichen Teils aus der Basis (112) umfaßt.

7. Luftgelagertes Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner umfassend:
eine Steueranordnung (156) zum Steuern der Einstellanordnungen (174, 180) zum Einstellen des Gleichgewichts der auf den beweglichen Teil (114) ausgeübten Schwebekraft und Anziehungskraft derart, daß der Luftspalt zwischen der Basis (112) und dem beweglichen Teil (114) eine gleichförmige Dicke beibehält, wenn auf den beweglichen Teil die Schwebekraft und die Anziehungskraft einwirken,
wobei die entsprechende Einstellanordnung (174, 180) entweder die Schwebekraft durch Verwendung der zumindest einen Luftdüse (170a-170h) oder die Anziehungskraft durch Verwendung des zumindest einen Ansaugeinlasses (176) einstellt oder die Schwebekraft und die Anziehungskraft unabhängig voneinander einstellt, und
wobei die Steueranordnung die entsprechenden Einstellanordnungen so steuert, daß sie die vorgenannte unabhängige Einstellung so ausführen, daß der Luftspalt zwischen der Basis und dem beweglichen Teil die gleichförmige Dicke beibehält, wenn auf den beweglichen Teil die Schwebekraft und die Anziehungskraft ausgeübt werden.

8. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 7, bei dem die Steueranordnung (156) zumindest einen konzentrisch zum Umfangskreis des Rotors (114) angeordneten Spaltsensor zum Messen einer Schwebehöhe der Bewegungsplanfläche relativ zur Druckplanfläche umfaßt.

9. Luftgelagertes Antriebssystem nach Anspruch 7, bei dem die Steueranordnung (156) zumindest einen Drucksensor zum Messen eines Unterdrucks umfaßt.

10. Rundheitstester, umfassend ein luftgelagertes Antriebssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem das Antriebssystem (110) einen Drehtisch (160) des Rundheitstesters (150) antreibt.