DE10225609A1

DE10225609A1 - Chemical vapor deposition device for coating of workpieces, preferably plastic bottles, comprises a transport unit, coating stations, an evacuating unit, and a unit for producing a plasma in partial regions of the coating stations

Info

Publication number: DE10225609A1
Application number: DE2002125609
Authority: DE
Inventors: Michael Litzenberg; Stephan Behle; Frank Lewin; Andreas Luettringhaus-Henkel; Hartwig Mueller; Matthias Bicker; Klaus Vogel; Juergen Klein; Gregor Arnold; Marten Walther
Original assignee: SIG Technology AG
Current assignee: KHS GmbH
Priority date: 2002-06-07
Filing date: 2002-06-07
Publication date: 2003-12-24

Abstract

Device for chemical vapor deposition (CVD) coating of workpieces comprises a transport unit (2), coating stations (31, 32, 33, 34), an evacuating unit (19), and a unit for producing a plasma in partial regions of the coating stations. At least two workpieces are received by at least one of the coating stations. An independent claim is also included for a process for CVD coating workpieces using the above device.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem das Werkstück innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert wird. The invention relates to a method for plasma treatment of workpieces in which the workpiece is at least in one partially evacuable plasma chamber Treatment station is used and in which the Workpiece within the treatment station of one Holding element is positioned.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und mindestens ein Halteelement zur Positionierung des Werkstückes aufweist. The invention also relates to a device for Plasma treatment of workpieces that have at least one evacuable plasma chamber for receiving the workpieces and in which the plasma chamber in the area of a Treatment station is arranged, as well as at which the Plasma chamber from a chamber floor, a chamber lid and a lateral chamber wall is limited and at least one holding element for positioning the Has workpiece.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt. Such methods and devices are, for example used to make plastics with surface coatings Mistake. In particular, there are already such Methods and devices known to make inner or outer To coat surfaces of containers used for Packing of liquids are provided. About that devices for plasma sterilization are also known.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle. In PCT-WO 95/22413 a plasma chamber is used Inside coating of bottles made of PET described. The too coating bottles are made by a movable Floor lifted into a plasma chamber and in the area a bottle mouth with an adapter brought. Evacuation can occur through the adapter of the bottle interior. In addition, by a hollow lance into the interior of the adapter Bottles introduced to supply process gas. An ignition of the plasma is done using a microwave.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt. From this publication it is already known a plurality of plasma chambers on a rotating wheel to arrange. This will result in a high production rate of Bottles supported per unit of time.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde. In EP-OS 10 10 773 a feed device explained to evacuate a bottle interior and with To supply process gas. In PCT-WO 01/31680 a Plasma chamber described, in which the bottles of one movable lid that was previously introduced with a Mouth area of the bottles was connected.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt. PCT-WO 00/58631 also already shows the arrangement of plasma stations on a rotating wheel and describes a group for such an arrangement Assignment of vacuum pumps and plasma stations to one favorable evacuation of the chambers and the interior of the Support bottles. In addition, the Coating of several containers in one Plasma station or a common cavity mentioned.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben. Another arrangement for performing a Internal coating of bottles is described in PCT-WO 99/17334 described. In particular, an arrangement of a Microwave generator above the plasma chamber and a Vacuum and equipment supply through a bottom of the Plasma chamber described through.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiO_x verwendet. Zusätzlich können in den hierdurch erzeugten Barriereschichten auch Anteile von Kohlenstoff, Wasserstoff und Stickstoff enthalten sein. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO₂-haltigen Flüssigkeiten. In the vast majority of the known methods, container layers made of silicon oxides with the general chemical formula SiO _x are used to improve the barrier properties of the thermoplastic plastic material. In addition, portions of carbon, hydrogen and nitrogen can also be contained in the barrier layers produced in this way. Barrier layers of this type prevent oxygen from entering the packaged liquids and escape of carbon dioxide in the case of liquids containing CO ₂ .

Die bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Massenproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein geringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß. The previously known methods and devices are still not adequate for one Mass production to be used in both low coating price per workpiece as well as a high one Production speed must be achieved.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Betriebsmittelzuführung zur Behandlungsstation bei kompaktem Aufbau, kurzer Prozeßnebenzeiten und großer Zuverlässigkeit unterstützt wird. The object of the present invention is therefore a To specify methods of the type mentioned in the introduction, that a supply of resources to the treatment station compact design, short process idle times and large Reliability is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zur gleichzeitigen Versorgung von mindestens zwei Kammern mit mindestens einem Betriebsmittel eine Strömung des Betriebsmittels mindestens einmal in zwei Teilströme verzweigt wird. This object is achieved in that simultaneous supply of at least two chambers a flow of the Equipment at least once in two partial flows is branched.

Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß eine Betriebsmittelzuführung zur Plasmakammer bei kompaktem Aufbau unterstützt wird. Another object of the present invention is a Device of the type mentioned in the introduction construct a resource supply to the Plasma chamber is supported with a compact structure.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens zwei Plasmakammern an mindestens eine Verzweigung zur Aufteilung einer Strömung eines Betriebsmittels in mindestens zwei Teilströmungen angeschlossen sind. This object is achieved in that at least two plasma chambers to at least one Branch to split a flow of a Equipment in at least two partial flows are connected.

Durch die gleichzeitige Versorgung mehrerer Kammern und durch die Verzweigung mindestens einer Betriebsmittelströmung wird eine sehr kompakte Baueinheit bereitgestellt, die eine räumlich dichte Anordnung mehrerer Plasmakammern nebeneinander unterstützt und die sowohl die Montage als auch spätere Servicearbeiten erleichtert. Darüber hinaus werden durch die Verzweigung sehr kurze Verbindungskanäle bereitgestellt, die zu einer Verkürzung der Prozeßnebenzeiten führen, da beispielsweise bei einer Vakuumzuführung auch die Anschlußkanäle evakuiert werden müssen, was zu einem entsprechenden Zeitaufwand führt. Through the simultaneous supply of several chambers and by branching at least one Resource flow becomes a very compact unit provided a spatially dense arrangement of several Plasma chambers supported side by side and the both the Assembly and subsequent service work made easier. In addition, the branching makes it very short Connection channels provided that lead to a shortening of the non-process times lead, for example, with a Vacuum supply also the connection channels are evacuated must, which leads to a corresponding expenditure of time.

Eine günstige Strömungsführung wird dadurch unterstützt, daß die Verzweigung in einer vertikalen Richtung durchgeführt wird. Favorable flow guidance is supported that the branching in a vertical direction is carried out.

Eine andere Variante besteht darin, daß die Verzweigung in einer horizontalen Richtung durchgeführt wird. Another variant is that the branch in in a horizontal direction.

Bei einer Beschichtung von hohlen Werkstücken, die mit ihrer Mündung nach unten angeordnet sind, erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Evakuierung einer Kavität der Plasmastation durch den Kammerboden hindurch erfolgt. When coating hollow workpieces with their mouth are arranged downwards, it turns out as advantageous that an evacuation of a cavity of the Plasma station takes place through the chamber floor.

Eine gerätetechnisch einfache Realisierung wird ebenfalls dadurch unterstützt, daß durch den Kammerboden hindurch Prozeßgas zugeführt wird. A simple technical implementation is also supported by that through the chamber floor Process gas is supplied.

Eine schnelle und gleichmäßige Verteilung des Prozeßgases in einem Innenraum des Werkstückes kann dadurch erreicht werden, daß das Prozeßgas durch eine Lanze hindurch in einen Innenraum des Werkstückes zugeführt wird. A quick and even distribution of the process gas can be achieved in an interior of the workpiece be that the process gas through a lance in an interior of the workpiece is supplied.

Zur Betriebsmittelversorgung eines das Werkstück umgebenden Raumes der Plasmakammer wird vorgeschlagen, daß mindestens ein Betriebsmittel von mindestens einer Verzweigung direkt in mindestens zwei Kammern eingeleitet wird. For supplying equipment to a workpiece Space of the plasma chamber is proposed that at least a resource of at least one branch directly is initiated in at least two chambers.

Für eine Versorgung eines Innenraumes des Werkstückes wird vorgeschlagen, daß mindestens ein Betriebsmittel von mindestens einer Verzweigung in Innenräume von mindestens zwei Werkstücken eingeleitet wird. For supplying an interior of the workpiece suggested that at least one resource of at least one branch in interiors of at least two workpieces is introduced.

Eine gezielte lokale Betriebsmitteleinbringung in den Innenraum des Werkstückes wird dadurch unterstützt, daß mindestens ein Betriebsmittel von mindestens einer Verzweigung in mindestens zwei Lanzen eingeleitet wird. A targeted local input of resources in the Interior of the workpiece is supported in that at least one item of equipment from at least one Branching is initiated in at least two lances.

Bei sämtlichen Plasmaapplikationen erweist es sich als vorteilhaft, daß von der Verzweigung eine Unterdruckzuführung verteilt wird. In all plasma applications, it turns out to be advantageous that one of the branching Vacuum feed is distributed.

Bei einer Durchführung von Plasmabeschichtungen ist vorgesehen, daß von der Verzweigung eine Prozeßgaszuführung verteilt wird. When performing plasma coatings provided that a process gas supply from the branch is distributed.

Eine einfache Beendigung eines jeweiligen Bearbeitungsvorganges wird dadurch unterstützt, daß von der Verzweigung eine Belüftungszuführung verteilt wird. A simple ending to each Processing process is supported by the fact that Branching a ventilation feed is distributed.

Zur Unterstützung einer steuerbaren Zündung des Plasmas wird vorgeschlagen, daß im Bereich des Kammerdeckels von einem Mikrowellengenerator erzeugte Mikrowellen in die Kavität eingeleitet werden. To support controllable ignition of the plasma it is proposed that in the area of the chamber lid of a microwave generator generated microwaves in the Cavity are initiated.

Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Werkstück aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird. A typical application is that a workpiece is treated from a thermoplastic.

Insbesondere ist daran gedacht daß ein Innenraum des Werkstückes behandelt wird. In particular, it is thought that an interior of the Workpiece is treated.

Ein umfangreiches Anwendungsgebiet wird dadurch erschlossen, daß als Werkstück ein Behälter behandelt wird. This makes it an extensive area of application concluded that a container is treated as a workpiece.

Insbesondere ist dabei daran gedacht, daß als Werkstück eine Getränkeflasche behandelt wird. In particular, it is thought that as a workpiece a bottle of beverage is being treated.

Eine hohe Produktionsrate bei großer Zuverlässigkeit und hoher Produktqualität kann dadurch erreicht werden, daß die mindestens eine Plasmastation von einem rotierenden Plasmarad von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositionierung überführt wird. A high production rate with great reliability and high product quality can be achieved in that the at least one plasma station from a rotating one Plasma wheel from input positioning to one Output positioning is transferred.

Eine Vergrößerung der Produktionskapazität bei nur geringfügig gesteigertem gerätetechnischen Aufwand kann dadurch erreicht werden, daß von einer Plasmastation mehrere Kavitäten bereitgestellt werden. An increase in production capacity at only slightly increased equipment costs can be achieved by a plasma station multiple cavities are provided.

Eine weitere konstruktive Vereinfachung wird dadurch unterstützt, daß von der Verzweigung eine Mikrowellenzuführung verteilt wird. This will further simplify construction supports that from the branching one Microwave supply is distributed.

Eine typische Anwendung wird dadurch definiert, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird. A typical application is defined as: Plasma treatment a plasma coating is carried out.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird. In particular, it is thought that the plasma treatment performed using a low pressure plasma becomes.

Bei einer Beschichtung von Werkstücken aus Kunststoff erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird. When coating plastic workpieces it proves advantageous that a Plasma polymerization is carried out.

Eine gute Oberflächenhaftung wird dadurch unterstützt, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden. A good surface adhesion is supported by the fact that through the plasma at least partially organic substances be deposited.

Besonders vorteilhafte Verwendungseigenschaften bei Werkstücken zur Verpackung von Lebensmitteln können dadurch erreicht werden, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden. Particularly advantageous use properties This allows workpieces for packaging food be achieved by the plasma at least in part inorganic substances are separated.

Bei der Behandlung von Verpackungen ist insbesondere daran gedacht, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes abgeschieden wird. When it comes to the treatment of packaging, this is particularly important thought that through the plasma a substance for Improvement of the barrier properties of the workpiece is deposited.

Zur Unterstützung einer hohen Gebrauchsqualität wird vorgeschlagen, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes abgeschieden wird. To support a high quality of use proposed that in addition an adhesion promoter to Improving adherence of the substance on one Surface of the workpiece is deposited.

Eine hohe Produktivität kann dadurch unterstützt werden, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden. High productivity can be supported that at least two workpieces in a common cavity be treated at the same time.

Ein weiteres Anwendungsgebiet besteht darin, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird. Another area of application is that as Plasma treatment performed a plasma sterilization becomes.

Ebenfalls ist daran gedacht, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes durchgeführt wird. It is also contemplated that as a plasma treatment Surface activation of the workpiece is carried out.

Eine Verminderung des Aufwandes für eine Zündung des Plasmas kann dadurch erfolgen, daß mindestens eine Verzweigung an mindestens einen Mikrowellengenerator angeschlossen ist. A reduction in the effort required to ignite the Plasma can be made in that at least one Branch to at least one microwave generator connected.

Eine wirkungsvolle Evakuierung der Plasmakammern wird dadurch unterstützt, daß mindestens eine Verzweigung an ein Primärvakuumventil zur Zuschaltung eines ersten Unterdruckes angeschlossen ist. An effective evacuation of the plasma chambers will supported by the fact that at least one branch to a Primary vacuum valve for switching on a first one Negative pressure is connected.

Zur Vermeidung von Deformationen des Werkstückes wird vorgeschlagen daß das Primärvakuumventil mindestens zeitweilig sowohl einen Innenraum des Werkstückes als auch einen weiteren Innenraum der Plasmakammer an eine gemeinsame Unterdruckversorgung anschließt. To avoid deformation of the workpiece suggested that the primary vacuum valve at least temporarily both an interior of the workpiece as well another interior of the plasma chamber to one common vacuum supply connects.

Für eine schnelle Evakuierung mit geringem Aufwand erweist es sich als vorteilhaft, daß mindestens eine Verzweigung an ein Sekundärvakuumventil zur Zuschaltung eines relativ zum ersten Unterdruck niedrigeren Unterdruckes angeschlossen ist. Proved for quick evacuation with little effort it is advantageous to have at least one branch a secondary vacuum valve to connect a relative to first vacuum connected to lower vacuum is.

Zur Erzeugung eines im Innenraum des Werkstückes relativ zur weiteren Plasmakammer niedrigeren Unterdruckes wird vorgeschlagen, daß das Sekundärvakuumventil mindestens zeitweilig ausschließlich einen Innenraum des Werkstückes mit der Unterdruckquelle verbindet. To generate a relative in the interior of the workpiece becomes another plasma chamber of lower negative pressure suggested that the secondary vacuum valve at least temporarily only an interior of the workpiece connects to the vacuum source.

Eine Deformation eines fertig behandelten Werkstückes wird ebenfalls dadurch vermieden, daß mindestens eine Verzweigung an ein Werkstückentlüftungsventil zur Verbindung eines Innenraumes des Werkstückes mit einem Umgebungsdruck angeschlossen ist. A deformation of a finished workpiece is also avoided in that at least one Branch to a workpiece vent valve for Connection of an interior of the workpiece with a Ambient pressure is connected.

Zur Unterstützung eines einfachen Öffnens der Plasmakammer wird vorgeschlagen, daß mindestens eine Verzweigung an ein Kammerentlüftungsventil zur Verbindung eines Innenraumes der Plasmakammer mit einem Umgebungsdruck angeschlossen ist. To support easy opening of the plasma chamber it is proposed that at least one branch to a Chamber ventilation valve for connecting an interior connected to the plasma chamber with an ambient pressure is.

Eine Prozeßgaszuführung wird dadurch unterstützt, daß mindestens eine Verzweigung an ein Primärprozeßgasventil angeschlossen ist. A process gas supply is supported in that at least one branch to a primary process gas valve connected.

Zur Ermöglichung einer zeitlich aufeinander folgenden Zuführung unterschiedlich zusammengesetzter Prozeßgase wird vorgeschlagen, daß mindestens eine Verzweigung an ein Sekundärprozeßgasventil angeschlossen ist. To enable a consecutive time Supply of differently composed process gases suggested that at least one branch to one Secondary process gas valve is connected.

Eine Unterdruckaufrechterhaltung während der Durchführung des Plasmabehandlungsvorganges wird dadurch unterstützt, daß mindestens eine Verzweigung an ein Prozeßvakuumventil angeschlossen ist. Maintaining negative pressure during execution the plasma treatment process is supported by that at least one branch to a process vacuum valve connected.

Eine Abschottung eines Innenraumes des Werkstückes gegenüber einem weiteren Innenraum der Plasmakammer wird dadurch unterstützt, daß mindestens eine Verzweigung an ein Kammervakuumventil angeschlossen ist. A partition of an interior of the workpiece towards a further interior of the plasma chamber supported by the fact that at least one branch to a Chamber vacuum valve is connected.

Eine kompakte Ausführungsform kann dadurch bereitgestellt werden, daß mindestens eine Verzweigung im Bereich eines Kammersockels der Plasmastation angeordnet ist. A compact embodiment can thereby be provided be that at least one branch in the area of a Chamber base of the plasma station is arranged.

Zur Unterstützung einer guten Zugänglichkeit ist insbesondere daran gedacht, daß mindestens eine Verzweigung in lotrechter Richtung unterhalb des Kammerbodens angeordnet ist. To support good accessibility is especially thought that at least one branch in the vertical direction below the chamber floor is arranged.

Eine sehr kompakte Konstruktion kann dadurch bereitgestellt werden, daß mindestens eine Verzweigung mit dem Kammersockel ein gemeinsames Bauteil ausbildet. A very compact construction can thereby be provided be that at least one branch with the Chamber base forms a common component.

Ebenfalls trägt es zu einer kompakten Konstruktion bei, daß mindestens zwei der Ventile im Bereich eines gemeinsamen Ventilblockes angeordnet sind. It also contributes to a compact construction that at least two of the valves in the area of a common Valve block are arranged.

Eine sehr raumsparende Konstruktion kann dadurch erreicht werden, daß mindestens eine der Verzweigungen im Bereich des Ventilblockes angeordnet ist. A very space-saving construction can be achieved be that at least one of the branches in the range the valve block is arranged.

Insbesondere ist zur Unterstützung einer einfachen Montage sowie einer einfachen Durchführung von Servicearbeiten daran gedacht, daß der Ventilblock mit den mindestens zwei Ventilen und der mindestens einen Verzweigung in lotrechter Richtung unterhalb des Kammersockels angeordnet ist. In particular, to support easy assembly as well as a simple implementation of service work remembered that the valve block with the at least two Valves and the at least one branch in the vertical Direction below the chamber base is arranged.

Eine nochmalige Steigerung der Kompaktheit kann dadurch erreicht werden, daß der Ventilblock mit mindestens einer Verzweigung ein gemeinsames Bauteil ausbildet. This can increase the compactness again achieved that the valve block with at least one Branching forms a common component.

Eine an unterschiedliche Anwendungsanforderungen anpaßbare Ansteuerung wird dadurch bereitgestellt, daß mindestens eines der Ventile als ein elektromagnetisch gesteuertes Ventil ausgebildet ist. A adaptable to different application requirements Control is provided in that at least one of the valves as an electromagnetically controlled one Valve is formed.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen: Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawings shown schematically. Show it:

Fig. 1 eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist. Fig. 1 is a schematic diagram of a plurality of plasma chambers, which are arranged on a rotating plasma wheel and in which the plasma wheel is coupled to input and output wheels.

Fig. 2 eine Anordnung ähnlich zu Fig. 1, bei der die Plasmastation jeweils mit zwei Plasmakammern ausgestattet sind, Fig. 2 shows an arrangement similar to Fig. 1, wherein the plasma station are each equipped with two plasma chambers,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern, Fig. 3 is a perspective view of a plasma wheel having a plurality of plasma chambers,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität, Fig. 4 is a perspective view of a plasma station with a cavity,

Fig. 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß Fig. 4 mit geschlossener Plasmakammer, Fig. 5 is a front view of the device of FIG. 4 with a closed plasma chamber,

Fig. 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in Fig. 5, Fig. 6 shows a cross section according to section line VI-VI in Fig. 5,

Fig. 7 eine Darstellung entsprechend Fig. 5 mit geöffneter Plasmakammer, Fig. 7 is a view corresponding to Fig. 5 with an open plasma chamber,

Fig. 8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in Fig. 7, Fig. 8 is a vertical section according to section line VIII-VIII in Fig. 7,

Fig. 9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß Fig. 6, Fig. 9 is an enlarged representation of the plasma chamber, to be coated bottle according to Fig. 6

Fig. 10 eine nochmals vergrößerte Darstellung eines Anschlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer, Fig. 10 shows a further enlarged view of a connecting element for holding the workpiece in the plasma chamber,

Fig. 11 eine schematische Darstellung einer Positionierung eines flaschenförmigen Werkstückes innerhalb der Plasmakammer unter Verwendung eines zangenartigen Halteelementes, Fig. 11 is a schematic representation of a positioning of a bottle-shaped workpiece within the plasma chamber using a pincer-like holding element,

Fig. 12 einen Vertikalschnitt durch eine Plasmastation mit zwei Plasmakammern, die über eine kanalartige Verzweigung an eine gemeinsame Betriebsmittelzuführung angeschlossen sind, Fig. 12 is a vertical section through a plasma station with two plasma chambers, which are connected via a channel-like branching to a common operating-medium supply,

Fig. 13 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie XIII-XIII in Fig. 12 und Fig. 13 is a vertical section along section line XIII-XIII in Fig. 12 and

Fig. 14 eine schematische Darstellung für einen Anschluß eines mit sich verzweigenden Anschlußkanälen versehenen Kammersockels an eine Mehrzahl von Ventilen. Fig. 14 is a schematic representation for a terminal of a connector provided with branching channels chamber base to a plurality of valves.

Aus der Darstellung in Fig. 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen. From the illustration in FIG. 1, a plasma module (1) can be seen which is provided with a rotating plasma wheel (2). A plurality of plasma stations ( 3 ) are arranged along a circumference of the plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are provided with cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ) for receiving workpieces ( 5 ) to be treated.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt. The workpieces ( 5 ) to be treated are fed to the plasma module ( 1 ) in the area of an input ( 6 ) and forwarded via a separating wheel ( 7 ) to a transfer wheel ( 8 ) which is equipped with positionable support arms ( 9 ). The support arms ( 9 ) are arranged pivotably relative to a base ( 10 ) of the transfer wheel ( 8 ), so that a change in the distance of the workpieces ( 5 ) can be carried out relative to one another. As a result, the workpieces ( 5 ) are transferred from the transfer wheel ( 8 ) to an input wheel ( 11 ) with a greater distance between the workpieces ( 5 ) relative to one another relative to the separating wheel ( 7 ). The input wheel ( 11 ) transfers the workpieces ( 5 ) to be treated to the plasma wheel ( 2 ). After the treatment has been carried out, the treated workpieces ( 5 ) are removed from the area of the plasma wheel ( 2 ) by an output wheel ( 12 ) and transferred to the area of an output section ( 13 ).

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 sind die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. In the embodiment according to FIG. 2, the plasma stations ( 3 ) are each equipped with two cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ). As a result, two workpieces ( 5 ) can be treated at the same time.

Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen. Basically, it is possible to make the cavities ( 4 ) completely separate from one another, but in principle it is also possible to delimit only partial areas from one another in a common cavity space in such a way that an optimal coating of all workpieces ( 5 ) is ensured. In particular, it is contemplated here to separate the partial cavities from one another at least by means of separate microwave couplings.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeordnet, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf. Fig. 3 shows a perspective view of a plasma module ( 1 ) with a partially constructed plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are arranged on a support ring ( 14 ) which is designed as part of a rotary connection and is mounted in the area of a machine base ( 15 ). The plasma stations ( 3 ) each have a station frame ( 16 ) which holds plasma chambers ( 17 ). The plasma chambers ( 17 ) have cylindrical chamber walls ( 18 ) and microwave generators ( 19 ).

In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden. A rotary distributor ( 20 ) is arranged in a center of the plasma wheel ( 2 ), via which the plasma stations ( 3 ) are supplied with operating resources and energy. Ring lines ( 21 ) can be used in particular for the distribution of operating resources.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet. The workpieces ( 5 ) to be treated are shown below the cylindrical chamber walls ( 18 ). Lower parts of the plasma chambers ( 17 ) are not shown for the sake of simplicity.

Fig. 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. Fig. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist. Fig. 4 shows a plasma station ( 3 ) in perspective. It can be seen that the station frame ( 16 ) is provided with guide rods ( 23 ) on which a carriage ( 24 ) for holding the cylindrical chamber wall ( 18 ) is guided. Fig. 4 shows the carriage ( 24 ) with the chamber wall ( 18 ) in a raised state, so that the workpiece ( 5 ) is released.

Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet. The microwave generator ( 19 ) is arranged in the upper region of the plasma station ( 3 ). The microwave generator ( 19 ) is connected via a deflection ( 25 ) and an adapter ( 26 ) to a coupling channel ( 27 ) which opens into the plasma chamber ( 17 ). In principle, the microwave generator ( 19 ) can be coupled both directly in the area of the chamber cover ( 31 ) and via a spacer element to the chamber cover ( 31 ) with a predeterminable distance to the chamber cover ( 31 ) and thus in a larger surrounding area of the chamber cover ( 31 ) , The adapter ( 26 ) has the function of a transition element and the coupling channel ( 27 ) is designed as a coaxial conductor. A quartz glass window is arranged in the region of a junction of the coupling channel ( 27 ) in the chamber cover ( 31 ). The deflection ( 25 ) is designed as a waveguide.

Das Werkstück (5) wird im Bereich eines Dichtelementes (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es beispielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen. The workpiece ( 5 ) is positioned in the area of a sealing element ( 28 ) which is arranged in the area of a chamber base ( 29 ). The chamber base ( 29 ) is designed as part of a chamber base ( 30 ). To facilitate adjustment, it is possible to fix the chamber base ( 30 ) in the area of the guide rods ( 23 ). Another variant is to attach the chamber base ( 30 ) directly to the station frame ( 16 ). With such an arrangement, it is also possible, for example, to design the guide rods ( 23 ) in two parts in the vertical direction.

Fig. 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß Fig. 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in Fig. 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden. FIG. 5 shows a front view of the plasma station ( 3 ) according to FIG. 3 in a closed state of the plasma chamber ( 17 ). The carriage ( 24 ) with the cylindrical chamber wall ( 18 ) is lowered compared to the positioning in FIG. 4, so that the chamber wall ( 18 ) has moved against the chamber bottom ( 29 ). The plasma coating can be carried out in this positioning state.

Fig. 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anordnung gemäß Fig. 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwandung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten. FIG. 6 shows the arrangement according to FIG. 5 in a vertical sectional view. It can be seen in particular that the coupling channel ( 27 ) opens into a chamber cover ( 31 ) which has a laterally projecting flange ( 32 ). A seal ( 33 ) is arranged in the area of the flange ( 32 ) and is acted upon by an inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ). In a lowered state of the chamber wall (18) therethrough, a seal is made of the chamber wall (18) relative to the chamber lid (31). A further seal ( 35 ) is arranged in a lower region of the chamber wall ( 18 ) in order to ensure a seal here also relative to the chamber bottom ( 29 ).

In der in Fig. 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werkstückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersockels (30) eine hohle Lanze (36) angeordnet, die in den Innenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. Zur Durchführung einer Positionierung der Lanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in Fig. 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden. In the positioning shown in FIG. 6, the chamber wall ( 18 ) encloses the cavity ( 4 ), so that both an interior of the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) can be evacuated. To support a supply of process gas, a hollow lance ( 36 ) is arranged in the area of the chamber base ( 30 ) and can be moved into the interior of the workpiece ( 5 ). The lance ( 36 ) is positioned by a lance slide ( 37 ) which can be positioned along the guide rods ( 23 ). A process gas channel ( 38 ) runs inside the lance slide ( 37 ) and, in the raised position shown in FIG. 6, is coupled to a gas connection ( 39 ) of the chamber base ( 30 ). This arrangement avoids hose-like connecting elements on the lance slide ( 37 ).

Fig. 7 und Fig. 8 zeigen die Anordnung gemäß Fig. 5 und Fig. 6 in einem angehobenen Zustand der Kammerwandung (18). In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, das behandelte Werkstück (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen und ein neues zu behandelndes Werkstück (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammerwandung (18) in einem durch Verschiebung nach oben erreichten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in vertikaler Richtung nach unten durchzuführen. Fig. 7 and Fig. 8 show the arrangement of FIG. 5 and FIG 6 in a raised state of the chamber wall (18).. In this position of the chamber wall ( 18 ), it is possible to remove the treated workpiece ( 5 ) from the area of the plasma station ( 3 ) and to insert a new workpiece ( 5 ) to be treated. As an alternative to the positioning of the chamber wall ( 18 ) shown in the drawings in an open state of the plasma chamber ( 17 ) achieved by displacement upwards, it is also possible to carry out the opening process by displacing a structurally modified sleeve-shaped chamber wall downwards in the vertical direction.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kopplungskanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im wesentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet. In the exemplary embodiment shown, the coupling channel ( 27 ) has a cylindrical design and is arranged essentially coaxially with the chamber wall ( 18 ).

Fig. 9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß Fig. 6 in einer vergrößerten teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kammerwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergreifen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) hindurchgeführt ist. FIG. 9 shows the vertical section according to FIG. 6 in an enlarged partial illustration in the vicinity of the chamber wall ( 18 ). In particular, the overlap of the inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ) over the flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) and the holding of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 28 ). In addition, it can be seen that the lance ( 36 ) is guided through a recess ( 40 ) in the holding element ( 28 ).

Die Positionierung des Werkstückes (5) im Bereich des Dichtelementes (28) ist in der nochmals vergrößerten Darstellung in Fig. 10 zu erkennen. Das Dichtelement (28) ist in eine Führungshülse (41) eingesetzt, die mit einer Federkammer (42) versehen ist. In die Federkammer (42) ist eine Druckfeder (43) eingesetzt, die einen Außenflansch (44) des Dichtelementes (28) relativ zur Führungshülse (41) verspannt. The positioning of the workpiece ( 5 ) in the area of the sealing element ( 28 ) can be seen in the enlarged illustration in FIG. 10. The sealing element ( 28 ) is inserted into a guide sleeve ( 41 ) which is provided with a spring chamber ( 42 ). A compression spring ( 43 ) is inserted into the spring chamber ( 42 ) and clamps an outer flange ( 44 ) of the sealing element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ).

In der in Fig. 10 dargestellten Positionierung ist ein an der Lanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außenflansch (44) geführt und drückt das Dichtelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand cer Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Dichtelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist. In the positioning shown in FIG. 10, a thrust plate ( 45 ) mounted on the lance ( 36 ) is guided against the outer flange ( 44 ) and presses the sealing element ( 28 ) into its upper end position. In this positioning, an interior of the workpiece ( 5 ) is insulated from the interior of the cavity ( 4 ). In a lowered state, the lance ( 36 ), the compression spring ( 43 ) moves the sealing element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ) in such a way that a connection between the interior of the workpiece ( 5 ) and the interior of the cavity ( 4 ) is created.

Fig. 11 zeigt die Positionierung des Werkstückes (5) innerhalb der Plasmakammer (17) mit Hilfe eines Halteelementes (46). Das Halteelement (46) ist zangenartig ausgebildet und besitzt zwei verschwenkbar gelagerte Haltearme (47, 48). Die Haltearme (47, 48) sind relativ zu Drehachsen (49, 50) verschwenkbar. Zur Gewährleistung einer automatischen Fixierung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (46) werden die Haltearme (47, 48) von Federn (51, 52) in eine jeweilige Haltepositionierung gedrückt. Fig. 11 shows the positioning of the workpiece ( 5 ) within the plasma chamber ( 17 ) with the aid of a holding element ( 46 ). The holding element ( 46 ) is designed like pliers and has two pivotably mounted holding arms ( 47 , 48 ). The holding arms ( 47 , 48 ) can be pivoted relative to axes of rotation ( 49 , 50 ). To ensure automatic fixation of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 46 ), the holding arms ( 47 , 48 ) are pressed by springs ( 51 , 52 ) into a respective holding position.

Das Halteelement (46) ist oberhalb des Kammersockels (30) angeordnet, so daß nach einem Anheben der Kammerwandung (18) eine seitliche Zugänglichkeit des Halteelements (46) gegeben ist. Das Werkstück (5) kann hierdurch von einem Positionierelement an das Halteelement (46) übergeben werden, ohne daß eine Hubbewegung des Werkstückes (5) in Richtung einer Kavitätenlängsachse (53) erfolgen muß. The holding element ( 46 ) is arranged above the chamber base ( 30 ), so that after lifting the chamber wall ( 18 ) there is lateral accessibility of the holding element ( 46 ). The workpiece ( 5 ) can thereby be transferred from a positioning element to the holding element ( 46 ) without a lifting movement of the workpiece ( 5 ) in the direction of a longitudinal axis ( 53 ) of the cavity.

Fig. 12 zeigt eine Plasmastation (3) mit zwei Plasmakammern (17) zur gleichzeitigen Plasmabehandlung von zwei Werkstücken (5). Jede der Plasmakammern (17) ist über einen Kopplungskanal (27) sowie einen Adapter (26) und eine Umlenkung (25) an jeweils einen Mikrowellengenerator (19) angeschlossen. Grundsätzlich ist es ebenfalls denkbar, für zwei oder mehr Plasmakammern (17) einen gemeinsamen Mikrowellengenerator (19) zu verwenden und über eine nicht dargestellte Verzweigung eine Aufteilung der generierten Mikrowellenstrahlung vorzunehmen, um eine gleichmäßige Zündung des Plasmas in jeder der Plasmakammern (17) zu gewährleisten. Fig. 12 shows a plasma station ( 3 ) with two plasma chambers ( 17 ) for the simultaneous plasma treatment of two workpieces ( 5 ). Each of the plasma chambers ( 17 ) is connected via a coupling channel ( 27 ) as well as an adapter ( 26 ) and a deflection ( 25 ) to a respective microwave generator ( 19 ). In principle, it is also conceivable to use a common microwave generator ( 19 ) for two or more plasma chambers ( 17 ) and to split the generated microwave radiation via a branch, not shown, in order to ensure uniform ignition of the plasma in each of the plasma chambers ( 17 ) ,

In die Plasmakammern (17) münden Kopplungskanäle (54) ein, die jeweils an eine Verzweigung (55) zur Aufteilung einer Menge eines zugeführten Betriebsmittels in zwei Teilmengen angeschlossen sind. Bei einer Verwendung von mehr als zwei Plasmakammern (17) wird die Verzweigung (55) entweder mit einer entsprechenden Anzahl von Ausgängen versehen, oder es werden kaskadiert mehrere Teilverzweigungen hintereinander angeordnet. Die in Fig. 12 dargestellte Anordnung der Verzweigung (55) in unmittelbarer Nähe der Plasmakammer (17) führt zu sehr kurzen Kopplungskanälen (27). Bei einer Zufuhr von Unterdruck hat dies den Vorteil, daß nur ein relativ geringes Volumen der Kopplungskanäle (27) zu evakuieren ist. Coupling channels ( 54 ) open into the plasma chambers ( 17 ), each of which is connected to a branch ( 55 ) for dividing a quantity of an operating medium supplied into two subsets. If more than two plasma chambers ( 17 ) are used, the branch ( 55 ) is either provided with a corresponding number of outputs, or a plurality of partial branches are cascaded in a row. The arrangement of the branch ( 55 ) shown in FIG. 12 in the immediate vicinity of the plasma chamber ( 17 ) leads to very short coupling channels ( 27 ). If a vacuum is supplied, this has the advantage that only a relatively small volume of the coupling channels ( 27 ) has to be evacuated.

Fig. 13 zeigt einen Vertikalschnitt durch die Anordnung gemäß Fig. 12 bei zusätzlich eingezeichnetem Lanzenschlitten (37). In der dargestellten Positionierung ist die Plasmakammer (17) geschlossen und der Lanzenschlitten (37) gegen den Kammersockel (30) geführt, so daß eine Strömung von Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) hinein gesteuert werden kann. FIG. 13 shows a vertical section through the arrangement according to FIG. 12 with an additionally shown lance slide ( 37 ). In the position shown, the plasma chamber ( 17 ) is closed and the lance slide ( 37 ) is guided against the chamber base ( 30 ) so that a flow of process gas into the interior of the workpiece ( 5 ) can be controlled.

Im Bereich des Kammersockels (30) sind Kammerkanäle (56) zum Anschluß von Innenräumen der Plasmakammern (17) an die jeweiligen Betriebsmittelzuführungen sowie an den Positionierkanal (57) angeordnet, innerhalb dessen ein Kupplungsrohr (58) längsverschieblich und abgedichtet geführt ist, das eine Verbindung mit dem Plasmagaskanal (38) innerhalb des Lanzenschlittens (37) bereitstellt. Unabhängig von einer jeweiligen Positionierung des Lanzenschlittens (37) zum Kammersockel (30) wird hierdurch die Lanze (36) an eine Prozeßgaszuführung angeschlossen, so daß ein Eindringen von Umgebungsluft in die Prozeßgaszuführung vermieden ist. In the area of the chamber base ( 30 ), chamber channels ( 56 ) are arranged for connecting interior spaces of the plasma chambers ( 17 ) to the respective equipment feeds and to the positioning channel ( 57 ), within which a coupling tube ( 58 ) is guided in a longitudinally displaceable and sealed manner, which connects with the plasma gas channel ( 38 ) within the lance slide ( 37 ). Regardless of a respective positioning of the lance slide ( 37 ) to the chamber base ( 30 ), the lance ( 36 ) is hereby connected to a process gas supply, so that penetration of ambient air into the process gas supply is avoided.

Fig. 14 zeigt die Anordnung gemäß Fig. 12 in einer stark schematisierten Darstellung sowie mit zusätzlicher Darstellung von Ventilen (59) zur Steuerung einer Betriebsmittelzufuhr. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel sind aufgrund der schaltungstechnischen Anordnung der Kopplungskanäle (54) drei Verzweigungen (55) verwendet. Zu erkennen sind ebenfalls Quarzglasfenster (68) zur Abdichtung der Innenräume der Plasmakammern (17) relativ zu den Innenräumen der Kopplungskanäle (27) bei gleichzeitiger Durchtrittsmöglichkeit für die Mikrowellenstrahlung. FIG. 14 shows the arrangement according to FIG. 12 in a highly schematic representation and with an additional representation of valves ( 59 ) for controlling an operating medium supply. In the exemplary embodiment shown, three branches ( 55 ) are used due to the circuit arrangement of the coupling channels ( 54 ). Quartz glass windows ( 68 ) can also be seen for sealing the interior of the plasma chambers ( 17 ) relative to the interior of the coupling channels ( 27 ) with simultaneous passage for the microwave radiation.

Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden ein Primärvakuumventil (60) zur Zuführung einer ersten Unterdruckstufe sowie ein Sekundärvakuumventil (61) zur Zuführung eines gegenüber der ersten Unterdruckstufe niedrigeren Unterdruckes verwendet. Zur Aufrechterhaltung des Vakuums synchron zur Zuführung des Prozeßgases ist darüber hinaus ein Prozeßvakuumventil (62) angeordnet. Das Prozeßvakuumventil (62) vermeidet einen Übertritt von abgesaugtem Prozeßgas in die Versorgungskreise für das Primärvakuum und das Sekundärvakuum. According to the present embodiment, a primary vacuum valve ( 60 ) for supplying a first vacuum level and a secondary vacuum valve ( 61 ) for supplying a lower pressure than the first vacuum level are used. A process vacuum valve ( 62 ) is also arranged to maintain the vacuum synchronously with the supply of the process gas. The process vacuum valve ( 62 ) avoids the transfer of extracted process gas into the supply circuits for the primary vacuum and the secondary vacuum.

Zur Unterstützung einer wahlweisen oder gemeinsamen Zuführung von Unterdruck zum Innenraum des Werkstückes (5) und/oder in den weiteren Innenraum der Plasmakammer (17) ist ein Kammervakuumventil (63) verwendet, das eine entsprechende Absperrfunktion durchführt. Insbesondere ist daran gedacht, das jeweilige Versorgungsvakuum über die Ventile (60, 61, 62) jeweils unmittelbar dem Innenraum des Werkstückes (5) zuzuführen und über das Kammervakuumventil (63) gesteuert eine bedarfsabhängige Zuschaltung des weiteren Innenraumes der Plasmakammer (17) vorzunehmen. A chamber vacuum valve ( 63 ) is used to support an optional or joint supply of negative pressure to the interior of the workpiece ( 5 ) and / or into the further interior of the plasma chamber ( 17 ), which performs a corresponding shut-off function. In particular, it is contemplated to supply the respective supply vacuum directly to the interior of the workpiece ( 5 ) via the valves ( 60 , 61 , 62 ) and to control the further interior of the plasma chamber ( 17 ) in a controlled manner via the chamber vacuum valve ( 63 ).

Zur Unterstützung einer vorgebbaren und voneinander unabhängigen Entlüftung sowohl des Innenraumes des Werkstückes (5) als auch des weiteren Innenraumes der Plasmakammer (17) sind ein Werkstückentlüftungsventil (64) sowie ein Kammerentlüftungsventil (65) verwendet. A workpiece vent valve ( 64 ) and a chamber vent valve ( 65 ) are used to support a predeterminable and mutually independent venting of both the interior of the workpiece ( 5 ) and the further interior of the plasma chamber ( 17 ).

Zur Unterstützung einer Zuführung unterschiedlicher Prozeßgaszusammensetzungen sind ein Primärprozeßgasventil (66) sowie ein Sekundärprozeßgasventil (67) verwendet. A primary process gas valve ( 66 ) and a secondary process gas valve ( 67 ) are used to support the supply of different process gas compositions.

Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst das Werkstück (5) unter Verwendung des Eingaberades (11) zum Plasmarad (2) transportiert wird und daß in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) das Einsetzen des Werkstückes (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines Innenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt. A typical treatment process is explained below using the example of a coating process and carried out in such a way that the workpiece ( 5 ) is first transported to the plasma wheel ( 2 ) using the input wheel ( 11 ) and that the sleeve-like chamber wall ( 18 ) is inserted in a pushed-up state of the workpiece ( 5 ) into the plasma station ( 3 ). After the insertion process has been completed, the chamber wall ( 18 ) is lowered into its sealed position and, at the same time, both the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) are evacuated at the same time.

Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werkstückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Dichtelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des, Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanze (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Lanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler auf eine innere Oberfläche des Werkstückes (5) als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden abzuscheiden. After sufficient evacuation of the interior of the cavity ( 4 ), the lance ( 36 ) is moved into the interior of the workpiece ( 5 ) and, by moving the sealing element ( 28 ), the interior of the workpiece ( 5 ) is partitioned off from the interior of the cavity ( 4 ) performed. It is also possible to move the lance ( 36 ) into the workpiece ( 5 ) synchronously with the beginning of the evacuation of the interior of the cavity. The pressure in the interior of the workpiece ( 5 ) is then further reduced. In addition, the positioning movement of the lance ( 36 ) is at least partially already carried out parallel to the positioning of the chamber wall ( 18 ). After reaching a sufficiently low vacuum, process gas is introduced into the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma is ignited with the aid of the microwave generator ( 19 ). In particular, it is intended to use the plasma to deposit both an adhesion promoter on an inner surface of the workpiece ( 5 ) and the actual barrier layer made of silicon oxides.

Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Lanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschichteten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu beschichtenden Werkstückes (5) durchzuführen. Zur Ermöglichung einer seitlichen Positionierung des Werkstückes (5) wird das Dichtelement (28) mindestens bereichsweise wieder in den Kammersockel (3) hinein verfahren. After the coating process has been completed, the lance ( 36 ) is removed from the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpiece ( 5 ) are ventilated. After reaching the ambient pressure within the cavity ( 4 ), the chamber wall ( 18 ) is raised again in order to remove the coated workpiece ( 5 ) and to enter a new workpiece ( 5 ) to be coated. To enable the workpiece ( 5 ) to be positioned laterally, the sealing element ( 28 ) is moved back into the chamber base ( 3 ) at least in some areas.

Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstücken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden. As an alternative to the described inner coating of workpieces ( 5 ), outer coatings, sterilizations or surface activations can also be carried out.

Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtelementes (28) und/oder der Lanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und /oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran gedacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinierung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kurvensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann beispielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen gekoppelt. The chamber wall ( 18 ), the sealing element ( 28 ) and / or the lance ( 36 ) can be positioned using different drive units. In principle, the use of pneumatic drives and / or electrical drives, in particular in one embodiment as a linear motor, is conceivable. In particular, however, it is contemplated to implement curve control to support exact movement coordination by rotating the plasma wheel ( 2 ). The curve control can be carried out, for example, in such a way that control cams are arranged along a circumference of the plasma wheel ( 2 ), along which curve rollers are guided. The cam rollers are coupled to the components to be positioned.

Über die Verzweigungen (55) ist es grundsätzlich möglich, mehrere Plasmakammern (17) an gemeinsame Ventile (59) anzuschließen. Alternativ oder zusätzlich ist es möglich, über die Verzweigungen mehrere Kavitäten innerhalb einer Plasmakammer mit gemeinsamen Ventilen (59) zu verbinden. Schließlich ist auch daran gedacht, alternativ oder ergänzend zu den obigen Varianten mehrere Innenräume von Werkstücken (5) innerhalb einer gemeinsamen Plasmakammer (17) oder innerhalb einer gemeinsamen Kavität mit gemeinsamen Ventilen (59) zu verbinden. In principle, it is possible to connect several plasma chambers ( 17 ) to common valves ( 59 ) via the branches ( 55 ). Alternatively or additionally, it is possible to connect several cavities within a plasma chamber to common valves ( 59 ) via the branches. Finally, it is also contemplated, as an alternative or in addition to the above variants, to connect a plurality of interiors of workpieces ( 5 ) within a common plasma chamber ( 17 ) or within a common cavity with common valves ( 59 ).

Die Betätigung der Ventile (59) erfolgt vorzugsweise über eine programmierbare elektronische Steuerung. Zunächst wird nach einem Schließen der Plasmakammer (17) das Primärvakuumventil (60) geöffnet und der Innenraum des Werkstückes (5) und der Innenraum der Plasmakammer (17) gleichzeitig evakuiert. Hierbei wird ein Druckniveau im Bereich von 20 mbar bis 50 mbar erreicht. Nach einem Schließen des Primärvakuumventils (60) erfolgt ein Öffnen des Sekundärvakuumventils (61) und der Innenraum des Werkstückes (5) und der Innenraum der Plasmakammer (17) werden zunächst gleichzeitig an eine Unterdruckquelle mit einem niedrigeren Druckniveau angeschlossen. Nach einer ausreichenden Evakuierung des das Werkstück (5) umgebenden Innenraumes der Plasmakammer (17) schließt das Kammervakuumventil (63) und lediglich der Innenraum des Werkstückes (5) wird weiter evakuiert. Hierbei wird ein Druckniveau von etwa 0,1 mbar erreicht. The valves ( 59 ) are preferably actuated via a programmable electronic control. First, after closing the plasma chamber ( 17 ), the primary vacuum valve ( 60 ) is opened and the interior of the workpiece ( 5 ) and the interior of the plasma chamber ( 17 ) are evacuated at the same time. A pressure level in the range of 20 mbar to 50 mbar is reached. After the primary vacuum valve ( 60 ) has been closed, the secondary vacuum valve ( 61 ) is opened and the interior of the workpiece ( 5 ) and the interior of the plasma chamber ( 17 ) are initially simultaneously connected to a vacuum source with a lower pressure level. After sufficient evacuation of the interior of the plasma chamber ( 17 ) surrounding the workpiece ( 5 ), the chamber vacuum valve ( 63 ) closes and only the interior of the workpiece ( 5 ) is evacuated further. A pressure level of approximately 0.1 mbar is reached.

Nach einem Schließen des Kammervakuumventils (63) und einer in der Regel bereits zuvor erfolgten Positionierung der Lanze (36) innerhalb des Innenraumes des Werkstückes (5) öffnet das Primärprozeßgasventil (66) und ein Prozeßgas einer ersten Zusammensetzung wird zugeführt. Zur Prozeßgasversorgung der Lanze (36) ist insbesondere daran gedacht, die beispielsweise in Fig. 6 dargestellten Gasanschlüsse (39) im Bereich des Kammersockels (30) derart auszuführen, daß innerhalb einer bohrungsartigen Ausnehmung ein rohrartiges Kupplungselement in einer Längsrichtung verschieblich geführt ist. Eine Abdichtung kann über eine dynamische Ringdichtung erfolgen. Das rohrartige Verbindungselement ist vom Lanzenschlitten (37) getragen und stellt eine Verbindung zum Plasmagaskanal (38) innerhalb des Lanzenschlittens (37) her. Durch eine entsprechende Verschiebung des rohrartigen Verbindungselementes innerhalb der bohrungsartigen Ausnehmung ist für jede Positionierung des Lanzenschlittens (37) eine Verbindung mit der Prozeßgasverteilung gewährleistet. After the chamber vacuum valve ( 63 ) has been closed and the lance ( 36 ) has generally already been positioned within the interior of the workpiece ( 5 ), the primary process gas valve ( 66 ) opens and a process gas of a first composition is supplied. For the process gas supply to the lance ( 36 ), the gas connections ( 39 ), for example shown in FIG. 6, in the region of the chamber base ( 30 ) are designed in such a way that a tubular coupling element is displaceably guided in a longitudinal direction within a bore-like recess. Sealing can be done using a dynamic ring seal. The tubular connecting element is carried by the lance slide ( 37 ) and establishes a connection to the plasma gas channel ( 38 ) within the lance slide ( 37 ). A corresponding displacement of the tubular connecting element within the bore-like recess ensures a connection to the process gas distribution for each positioning of the lance slide ( 37 ).

Nach einer ausreichenden Prozeßgaszuführung zündet der Mikrowellengenerator (19) das Plasma im Innenraum des Werkstückes (5). Zu einem vorgebbaren Zeitpunkt schließt das Primärprozeßgasventil (66) und das Sekundärprozeßgasventil (67) öffnet zur Zuführung eines Prozeßgases einer zweiten Zusammensetzung. Zumindest zeitweise parallel zum Öffnen der Prozeßgasventile (66, 67) öffnet auch das Prozeßvakuumventil (62), um einen ausreichend niedrigen Unterdruck im Innenraum des Werkstückes (5) auf recht zu erhalten. Hierbei erweist sich ein Druckniveau von etwa 0,3 mbar als zweckmäßig. After a sufficient supply of process gas, the microwave generator ( 19 ) ignites the plasma in the interior of the workpiece ( 5 ). At a predetermined time, the primary process gas valve ( 66 ) closes and the secondary process gas valve ( 67 ) opens to supply a process gas of a second composition. At least temporarily, parallel to the opening of the process gas valves ( 66 , 67 ), the process vacuum valve ( 62 ) also opens in order to maintain a sufficiently low negative pressure in the interior of the workpiece ( 5 ). Here, a pressure level of approximately 0.3 mbar proves to be expedient.

Nach einem Abschluß der Plasmabeschichtung öffnet zunächst das Werkstückentlüftungsventil (64) und schließt den Innenraum des Werkstückes (5) an einen Umgebungsdruck an. Mit einer vorgebbaren zeitlichen Verzögerung nach einem Öffnen des Werkstückentlüftungsventils (64) öffnet auch das Kammerentlüftungsventil (65), um den Innenraum der Plasmakammer (17) wieder vollständig auf den Umgebungsdruck anzuheben. Nach einem zumindest annäherungsweise Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Plasmakammer (17) kann die Plasmakammer (17) öffnen und das beschichtete Werkstück (5) wird entnommen und durch ein neues zu beschichtendes Werkstück (5) ersetzt. After completion of the plasma coating, the workpiece vent valve ( 64 ) first opens and connects the interior of the workpiece ( 5 ) to an ambient pressure. With a predeterminable time delay after opening the workpiece vent valve ( 64 ), the chamber vent valve ( 65 ) also opens in order to raise the interior of the plasma chamber ( 17 ) completely to the ambient pressure again. After at least approximately reaching the ambient pressure within the plasma chamber ( 17 ), the plasma chamber ( 17 ) can open and the coated workpiece ( 5 ) is removed and replaced by a new workpiece ( 5 ) to be coated.

Zur Entfernung eventueller Rückstände des Plasmabehandlungsverfahrens innerhalb des Werkstückes (5) ist es möglich, vor einer Entnahme des Werkstückes (5) aus der Plasmakammer (17) Druckluft in das Werkstück (5) einzubringen und hierdurch die eventuellen Verunreinigungen zu entfernen. Die Ableitung der Druckluft kann entweder in eine Umgebung der Plasmastation (3) erfolgen, insbesondere ist aber auch daran gedacht, gleichzeitig zur Druckbeaufschlagung auch einen der Unterdruckanschlüsse zu aktivieren und hierdurch ein definiertes Absaugen der Verunreinigungen durchzuführen. Alternativ ist ebenfalls daran gedacht, den Reinigungsvorgang ausschließlich durch eine zusätzliche Unterdruckbeaufschlagung durchzuführen und den Reinigungsvorgang durch nachströmende Umgebungsluft durchzuführen. To remove any residues of the plasma treatment process within the workpiece ( 5 ), it is possible to introduce compressed air into the workpiece ( 5 ) before removing the workpiece ( 5 ) from the plasma chamber ( 17 ) and thereby to remove any impurities. The discharge of the compressed air can either take place in an environment of the plasma station ( 3 ), but in particular it is also contemplated to activate one of the negative pressure connections at the same time as the pressure is applied and thereby to carry out a defined suction of the contaminants. Alternatively, it is also contemplated to carry out the cleaning process exclusively by applying an additional vacuum and to carry out the cleaning process by inflowing ambient air.

Bei einer Druckluftzuführung ist insbesondere an eine Zuführung durch die Lanze (36) hindurch gedacht, da hierdurch sie Spülluft in einen Bereich des Innenraumes des Werkstückes (5) eingebracht werden kann, der einer Öffnung des Werkstückes (5) abgewandt angeordnet ist. Hierdurch wird eine Spülluftströmung in Richtung auf die Öffnung des Werkstückes (5) unterstützt und ein wirksamer Reinigungsvorgang durchgeführt. In the case of a compressed air supply, in particular a supply through the lance ( 36 ) is envisaged, since this allows flushing air to be introduced into an area of the interior of the workpiece ( 5 ) which is arranged facing away from an opening of the workpiece ( 5 ). This supports a purging air flow in the direction of the opening of the workpiece ( 5 ) and an effective cleaning process is carried out.

Claims

1. A method for plasma treatment of workpieces, in which the workpiece is used in an at least partially evacuable chamber of a treatment station and in which the workpiece is positioned within the treatment station by a holding element, characterized in that for the simultaneous supply of at least two chambers with at least one Equipment a flow of the equipment is branched at least once into at least two partial flows.

2. The method according to claim 1, characterized in that the branching ( 55 ) is carried out in a vertical direction.

3. The method according to claim 1, characterized in that the branching ( 55 ) is carried out in a horizontal direction.

4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that an evacuation of a cavity ( 4 ) of the plasma station ( 3 ) through the chamber floor ( 29 ) takes place.

5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that process gas is supplied through the chamber bottom ( 29 ).

6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the process gas is fed through a lance ( 36 ) into an interior of the workpiece ( 5 ).

7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one operating fluid from at least one branch ( 55 ) is introduced directly into at least two chambers.

8. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one resource of at least one branch ( 55 ) is introduced into the interior of at least two workpieces ( 5 ).

9. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one operating medium from at least one branch ( 55 ) is introduced into at least two lances ( 36 ).

10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a vacuum supply is distributed from the branch ( 55 ).

11. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a process gas supply is distributed from the branch ( 55 ).

12. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a ventilation feed is distributed from the branch ( 55 ).

13. The method according to any one of claims 1 to 12, characterized in that in the region of the chamber cover ( 31 ) from a microwave generator ( 19 ) microwaves are introduced into the cavity ( 4 ).

14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that a workpiece ( 5 ) is treated from a thermoplastic.

15. The method according to any one of claims 1 to 14, characterized in that an interior of a hollow workpiece ( 5 ) is treated.

16. The method according to any one of claims 1 to 15, characterized in that a container is treated as the workpiece ( 5 ).

17. The method according to any one of claims 1 to 16, characterized in that a beverage bottle is treated as the workpiece ( 5 ).

18. The method according to any one of claims 1 to 17, characterized in that the at least one plasma station ( 3 ) from a rotating plasma wheel ( 2 ) is transferred from an input position to an output position.

19. The method according to any one of claims 1 to 18, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are provided by a plasma station ( 3 ).

20. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a microwave feed is distributed from the branch ( 55 )

21. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma coating is carried out.

22. The method according to any one of claims 1 to 21, characterized characterized in using the plasma treatment a low pressure plasma is carried out.

23. The method according to any one of claims 1 to 22, characterized characterized in that a plasma polymerization was carried out becomes.

24. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma organic substances are separated.

25. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma inorganic substances are separated.

26. The method according to any one of claims 1 to 25, characterized in that a substance for improving the barrier properties of the workpiece ( 5 ) is deposited by the plasma.

27. The method according to claim 26, characterized in that an adhesion promoter is additionally deposited to improve the adherence of the substance on a surface of the workpiece ( 5 ).

28. The method according to any one of claims 1 to 27, characterized in that at least two workpieces ( 5 ) are treated simultaneously in a common cavity.

29. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma sterilization is carried out.

30. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized in that a surface activation of the workpiece ( 5 ) is carried out as a plasma treatment.

31.Device for the plasma treatment of workpieces, which has at least one evacuable plasma chamber for receiving the workpieces and in which the plasma chamber is arranged in the region of a treatment station, and in which the plasma chamber is delimited by a chamber base, a chamber cover and a lateral chamber wall and at least one Holding element for positioning the workpiece, characterized in that at least two plasma chambers ( 17 ) are connected to at least one branch ( 55 ) for dividing a flow of an operating medium into at least two partial flows.

32. Apparatus according to claim 31, characterized in that the branch ( 55 ) extends in a vertical direction.

33. Apparatus according to claim 31, characterized in that the branch ( 55 ) extends in a horizontal direction.

34. Device according to one of claims 31 to 33, characterized in that for evacuating a cavity ( 4 ) of the plasma station ( 3 ) in the chamber bottom ( 29 ) at least one vacuum channel is arranged.

35. Device according to one of claims 31 to 34, characterized in that at least one channel for supplying process gas is arranged in the chamber bottom ( 29 ).

36. Device according to one of claims 31 to 35, characterized in that for the supply of process gas in an interior of the workpiece ( 5 ) into a lance ( 36 ) is arranged positionable relative to the chamber bottom ( 29 ).

37. Device according to one of claims 31 to 36, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected directly to interiors of at least two plasma chambers ( 17 ).

38. Device according to one of claims 31 to 37, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a coupling channel ( 54 ) for connecting interiors of at least two workpieces ( 5 ).

39. Device according to one of claims 31 to 38, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to at least two lances ( 36 ).

40. Device according to one of claims 31 to 39, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to at least one vacuum supply.

41. Device according to one of claims 31 to 39, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to at least one process gas supply.

42. Device according to one of claims 31 to 39, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to at least one ventilation feed.

43. Device according to one of claims 31 to 42, characterized in that a microwave generator ( 19 ) is arranged in the region of the chamber cover ( 31 ).

44. Device according to one of claims 31 to 43, characterized in that the plasma station ( 3 ) for coating a workpiece ( 5 ) is made of a thermoplastic material.

45. Device according to one of claims 31 to 44, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating a container-like workpiece ( 5 ).

46. Device according to one of claims 31 to 45, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating an interior of a hollow workpiece ( 5 ).

47. Device according to one of claims 31 to 46, characterized in that the plasma station ( 3 ) for coating a workpiece ( 5 ) is designed in the form of a beverage bottle.

48. Device according to one of claims 31 to 47, characterized in that the at least one plasma station ( 3 ) is carried by a rotating plasma wheel ( 2 ).

49. Device according to one of claims 31 to 48, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are arranged in the region of the plasma station ( 3 ).

50. Device according to one of claims 31 to 49, characterized in that one for providing at least two cavities ( 4 ) provided chamber wall ( 18 ) is arranged positionable.

51. Device according to one of claims 31 to 39, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to at least one microwave generator ( 19 ).

52. Device according to one of claims 31 to 51, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a primary vacuum valve ( 60 ) for connecting a first negative pressure.

53. Apparatus according to claim 52, characterized in that the primary vacuum valve ( 60 ) at least temporarily connects both an interior of the workpiece ( 5 ) and a further interior of the plasma chamber ( 17 ) to a common vacuum supply.

54. Device according to one of claims 31 to 53, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a secondary vacuum valve ( 61 ) for connecting a lower vacuum relative to the first negative pressure.

55. Device according to one of claims 31 to 54, characterized in that the secondary vacuum valve ( 61 ) connects at least temporarily only an interior of the workpiece ( 5 ) with the vacuum source.

56. Device according to one of claims 31 to 55, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a workpiece ventilation valve ( 64 ) for connecting an interior of the workpiece ( 5 ) with an ambient pressure.

57. Device according to one of claims 31 to 56, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a chamber ventilation valve ( 61 ) for connecting an interior of the plasma chamber ( 17 ) with an ambient pressure.

58. Device according to one of claims 31 to 57, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a primary process gas valve ( 66 ).

59. Device according to one of claims 31 to 58, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a secondary process gas valve ( 67 ).

60. Device according to one of claims 31 to 59, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a process vacuum valve ( 62 ).

61. Device according to one of claims 31 to 60, characterized in that at least one branch ( 55 ) is connected to a chamber vacuum valve ( 63 ).

62. Device according to one of claims 31 to 61, characterized in that at least one branch ( 55 ) is arranged in the region of a chamber base ( 30 ) of the plasma station ( 3 ).

63. Device according to one of claims 31 to 62, characterized in that at least one branch ( 55 ) is arranged in the vertical direction below the chamber bottom ( 29 ).

64. Device according to one of claims 31 to 63, characterized in that at least one branch ( 55 ) with the chamber base ( 30 ) forms a common component.

65. Device according to one of claims 31 to 54, characterized in that at least two of the valves ( 59 ) are arranged in the region of a common valve block.

66. Device according to one of claims 31 to 65, characterized in that at least one of the branches ( 55 ) is arranged in the region of the valve block.

67. Apparatus according to claim 65 or 66, characterized in that the valve block with the at least two valves ( 59 ) and the at least one branch ( 55 ) is arranged in the vertical direction below the chamber base ( 30 ).

68. Device according to one of claims 31 to 67, characterized in that the valve block with at least one branch ( 55 ) forms a common component.

69. Device according to one of claims 31 to 68, characterized in that at least one of the valves ( 59 ) is designed as an electromagnetically controlled valve.