DE10215463C1 - Durchlaufanlage und Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von Werkstück - Google Patents
Durchlaufanlage und Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von WerkstückInfo
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Abstract
Zur Vermeidung von Fehlstellen in der Metallschicht in Bohrungen in Leiterplatten werden eine Durchlaufanlage und ein Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von Leiterplatten vorgeschlagen, bei denen Maßnahmen zur Verringerung einer elektrischen Spannung vorgesehen sind, die sich zwischen benachbarten, durch die Anlage beförderten Leiterplatten einstellt.
Description
Die Erfindung betrifft eine Durchlaufanlage zum elektrolytischen Metallisieren
von Werkstücken sowie ein Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von
Werkstücken in einer Durchlaufanlage.
Eine derartige Durchlaufanlage wird z. B. in der Druckschrift DE 36 24 481 A1
beschrieben. In einem Behälter befinden sich die elektrolytischen Zellen mit
Anoden und dem Behandlungsgut als Kathode. Elektrolyt befindet sich in ei
nem Sammelbehälter und wird mittels Pumpen in den Arbeitsraum befördert.
Die Transportorgane sind Klammern. Im Arbeitsraum übernehmen an einem
Band endlos umlaufende Klammern die Stromzuführung und den Transport der
Leiterplatten und Leiterfolien.
In anderen Anlagen wird der Strom dem Behandlungsgut über angetriebene
Kontakträder zugeführt. Die Kontakträder dienen auch dazu, das Behandlungs
gut durch die Anlage zu befördern. Eine derartige Anlage mit Kontakträdern ist
in der DE 32 36 545 A1 beschrieben.
Weiter sind auch horizontale Durchlaufanlagen bekannt, bei denen das Be
handlungsgut senkrecht an umlaufenden Transportmitteln mittels Klammern
aufgehängt ist (US 3,643,670 A).
Die bekannten Anlagen weisen den Vorteil auf, dass die Leiterplatten rationell
hergestellt werden können, da nur geringer Handhabungsaufwand erforderlich
Es hat sich jedoch herausgestellt, dass in Bohrungen in den Leiterplatten Fehl
stellen in der Kupferschicht entstehen, die in derartigen Anlagen auf den Boh
rungswandungen auf elektrolytischem Wege aufgebracht wird. In gleicher Wei
se entstehen auch bei der vollflächigen elektrolytischen Verkupferung von Aus
senseiten der Leiterplatten Fehlstellen, wenn diese Platten mit der SBU
(sequential build-up)-Technik hergestellt werden. Hierbei wird an der Aussen
seite von nicht mit einer Kupferschicht versehenem Leiterplattenmaterial zu
nächst stromlos dünn verkupfert und diese erste Kupferschicht elektrolytisch
verstärkt.
Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht von daher
darin, Werkstücke, insbesondere Leiterplatten und andere Schaltungsträger,
ohne derartige Fehlstellen in der elektrolytischen Metallschicht in Durchlauf
anlagen herzustellen.
Die Aufgabe wird durch die Durchlaufanlage zum elektrolytischen Metallisieren
nach Anspruch 1 und das Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren in einer
Durchlaufanlage nach Anspruch 13 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der
Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die erfindungsgemässe Durchlaufanlage dient zum elektrolytischen Metallisie
ren von Werkstücken als Behandlungsgut, insbesondere von Leiterplatten und
anderen Schaltungsträgern, beispielsweise Hybridschaltungsträgern, insbeson
dere Multi-Chip-Modulen. In der Durchlaufanlage können die Werkstücke auf
einander folgend in insbesondere horizontaler Transportrichtung mittels ge
eigneter Transportmittel befördert werden. Die Anlage weist vorzugsweise Mit
tel zum In-Kontakt-Bringen der Werkstücke mit Elektrolytflüssigkeit während
des Durchlaufes durch die Anlage auf. Ferner sind mindestens eine elektrische
Kontaktiereinrichtung für die Werkstücke sowie im wesentlichen parallel zur
Transportbahn angeordnete Anoden und mindestens eine Stromversorgung
vorgesehen.
Beim Betrieb der Durchlaufanlage zum elektrolytischen Metallisieren der Werk
stücke werden diese der Anlage zugeführt, durch die Anlage mit Transportmit
teln, insbesondere in horizontaler Transportrichtung, hindurch befördert und
aus der Anlage wieder herausgeführt. Während des Durchlaufes werden die
Werkstücke mit Elektrolytflüssigkeit in Kontakt gebracht und über mindestens
eine elektrische Kontaktiereinrichtung mit einer Stromversorgung elektrisch
verbunden.
Es hat sich herausgestellt, dass zwischen benachbarten (in der Anlage unmit
telbar aufeinander folgenden) Werkstücken, die durch die Anlage befördert
werden, eine elektrische Spannung (Potentialunterschied) entsteht. Eine der
artige Vorrichtung ist dann geeignet, die Bildung der genannten Fehlstellen zu
vermeiden, wenn Mittel zur Verringerung, insbesondere Minimierung, dieser
elektrischen Spannung vorgesehen sind.
In der nachfolgenden Erfindungsbeschreibung wird ausschliesslich auf Leiter
platten Bezug genommen. Die Erfindung bezieht sich jedoch in gleicher Weise
auch auf andere Schaltungsträger und auf sonstiges Behandlungsgut, das in
einer derartigen Durchlaufanlage behandelbar ist. Insofern ist der Begriff "Leiter
platte" jeweils auch durch den allgemeineren Begriff "Werkstücke" ersetzbar.
Die Leiterplatten können beispielsweise mit Klammern oder Kontakträdern in
der Durchlaufanlage kontaktiert werden. Diese Kontaktiereinrichtungen können
die Leiterplatten gleichzeitig auch durch die Anlage befördern. Zum Galvanisie
ren werden die Leiterplatten kathodisch geschaltet.
Beim Einlauf in eine Behandlungseinrichtung derartiger Durchlaufanlagen
werden die Leiterplatten durch vier unterschiedliche Zonen transportiert:
Zone A: Heranführen der Leiterplatten in elektrolytfreier Umgebung. Die Leiterplatten fahren im allgemeinen in dichter Folge mit geringem Abstand in die Durchlaufanlage ein. Der Abstand benachbarter Leiterplatten beträgt, in Transportrichtung gesehen, typischerwei se etwa 10 mm.
Zone B: Die Leiterplatten durchfahren beispielsweise Einlaufschlitze in Trennwänden und Dichtwalzen oder andere Dichtmittel und ge langen in den Elektrolyten (Einlaufbereich). In diesem Bereich besteht die Möglichkeit, dass elektrolytische Reaktionen an der Leiterplattenoberfläche stattfinden.
Zone C: Die Leiterplatten werden elektrisch kontaktiert und mit einem Pol der Badstromquelle verbunden (Übergangsbereich).
Zone D: Die Leiterplatten erreichen den Bereich der Anoden (Be handlungsbereich). Zusammen mit den Anoden bilden sie dort die elektrolytische Zelle zur bestimmungsgemässen Behandlung.
Zone A: Heranführen der Leiterplatten in elektrolytfreier Umgebung. Die Leiterplatten fahren im allgemeinen in dichter Folge mit geringem Abstand in die Durchlaufanlage ein. Der Abstand benachbarter Leiterplatten beträgt, in Transportrichtung gesehen, typischerwei se etwa 10 mm.
Zone B: Die Leiterplatten durchfahren beispielsweise Einlaufschlitze in Trennwänden und Dichtwalzen oder andere Dichtmittel und ge langen in den Elektrolyten (Einlaufbereich). In diesem Bereich besteht die Möglichkeit, dass elektrolytische Reaktionen an der Leiterplattenoberfläche stattfinden.
Zone C: Die Leiterplatten werden elektrisch kontaktiert und mit einem Pol der Badstromquelle verbunden (Übergangsbereich).
Zone D: Die Leiterplatten erreichen den Bereich der Anoden (Be handlungsbereich). Zusammen mit den Anoden bilden sie dort die elektrolytische Zelle zur bestimmungsgemässen Behandlung.
Durch Versuche wurde festgestellt, dass die Kupferoberflächen auf den Leiter
platten in herkömmlichen Durchlaufanlagen in dem Einlaufbereich, in dem die
Leiterplatten bereits mit Elektrolytflüssigkeit in Kontakt getreten, aber noch nicht
kontaktiert und in den Bereich der Anoden gelangt sind, in störender Weise
elektrochemisch geätzt werden. Ein derartiger Ätzangriff ist bei allen üblicher
weise verwendeten Elektrolyten zu beobachten und von der Art der Anoden
nahezu unabhängig. Besonders störend wirkt sich der Angriff bei der Verwen
dung von sehr dünnen Kupferschichten aus. Die für das Galvanisieren erforder
lichen Kupferschichten werden in einigen Bereichen auf den Leiterplatten ganz
aufgelöst. Dadurch kommt es zu Produktionsausschuss.
Dieser Effekt tritt zwischen den nacheinander transportierten Platten auf. In
Experimenten wurde herausgefunden, dass bei benachbarten Leiterplatten der
Randbereich der einen Platte gegenüber dem Randbereich der benachbarten
Platte zu einem störenden Potentialunterschied führt. In den Zonen B bis D
bildet sich somit zwischen den beiden benachbarten Platten eine lokale elek
trolytische Zelle mit unterschiedlichen Zellspannungen aus.
Der anodisch gepolte Randbereich der einen von zwei benachbarten Leiter
platten wird demgemäss elektrochemisch geätzt. Die Ätzrate ist im wesentli
chen von der Zellspannung, vom Abstand der benachbarten Platten und von
der Behandlungszeit der Leiterplatten, d. h. von deren Transportgeschwindig
keit, abhängig. Infolge der Spitzenwirkung des elektrischen Feldes werden ins
besondere die Kanten im Randbereich dieser Platte stärker geätzt als flächige
Regionen in diesen Randbereichen. Derartige Kanten bilden z. B. die Eingänge
von Durchgangslöchern und Sacklöchern in den Leiterplatten.
Vor dem elektrolytischen Galvanisieren werden diese gebohrten Löcher durch
ein aussenstromloses chemisches Verfahren metallisiert und somit elektrisch
leitfähig gemacht. Diese chemischen Metallisierungsverfahren sind im Ver
gleich zur elektrolytischen Metallisierung technisch aufwendig und teuer. Des
halb wird versucht, mit sehr kleinen Schichtdicken bei der chemischen Metalli
sierung auszukommen. Eine typische Schichtdicke für die chemische Verkupfe
rung beträgt z. B. 0,2 µm. An den Oberflächen der Leiterplatten befinden sich im
allgemeinen wesentlich dickere Basismetallschichten mit z. B. 5 µm bis 17 µm
Dicke. Diese Schichten sind durch einen elektrochemischen Ätzangriff im Ein
laufbereich der Galvanisierungsanlage nicht gefährdet. Bei einer vollflächigen
dünnen chemischen Kupferschicht, die bei der SBU-Technik aufgebracht wird,
ist auch diese Fläche durch den Ätzangriff zumindest in den Zonen B und C
betroffen. Erst wenn sich die Leiterplatten im Bereich D in der eigentlichen elek
trolytischen Zelle befinden, werden die Leiterplatten allseitig galvanisiert. Die
Leiterplatten werden in dieser Zone im allgemeinen nicht geätzt.
Nachfolgend werden die Verhältnisse bei Durchführung des Galvanisierverfah
rens in Anlagen nach dem Stand der Technik an Hand der Fig. 1 und 2 näher Y
beschrieben, um die Funktionsweise der vorliegenden Erfindung erläutern zu
können. Es zeigen im einzelnen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung des vorderen Bereichs einer
Durchlaufanlage nach dem Stand der Technik im Querschnitt;
Fig. 2 eine Darstellung gemäss Fig. 1 mit der Angabe der elektrischen
Spannungsabfälle zwischen benachbarten Platten.
In Fig. 1 ist ein Badbehälter 1 einer Durchlaufanlage dargestellt, in dem sich
Elektrolytflüssigkeit im Elektrolytraum 2 befindet, die mittels Dichtwalzen 3 und
einer Dichtwand 4 innerhalb des Behandlungsbereichs der Anlage angestaut
ist. Die Leiterplatten 5, 6, 7 werden in der Transportrichtung, dargestellt durch
einen Pfeil, mittels Transportwalzen 8 zur Durchlaufanlage und durch diese
hindurch befördert. Im Bereich der Dichtwalzen 3 gelangen die einfahrenden
Leiterplatten 5, 6, 7 in den Elektrolytraum 2. An der ersten Kontaktiereinrichtung
9 werden die Platten 5, 6, 7 erstmals mittels eines metallischen Kontaktes mit
dem Minuspol einer (hier nicht dargestellten) Badstromquelle elektrisch kontak
tiert. Im weiteren Verlauf des Transportweges folgen weitere Kontaktiereinrich
tungen 16, die den Galvanisierstrom den Leiterplatten 5, 6, 7 zuführen.
Gemäss Fig. 1 befindet sich die Leiterplatte 5 am weitesten innerhalb der An
lage im Bereich von Elektrolytzuführeinrichtungen 10, beispielsweise Schwall
düsen, sowie im Bereich von Anoden 11. Dieser Bereich der Anlage wird mit
Zone D (Behandlungsbereich) bezeichnet. In der Zone D ist die Leiterplatte 5
vollständig elektrisch kontaktiert. Zugleich befindet sie sich auch vollständig in
der elektrolytischen Zelle, die durch die Leiterplatte 5 selbst und die Anoden 11
gebildet wird. Die Platte 5 wird an der gesamten Oberfläche - sowohl an der
einen Aussenseite als auch an der anderen Aussenseite - galvanisiert, da sich
an beiden Seiten der Transportbahn für die Leiterplatte 5 Anoden 11 befinden.
In der Zone C (Übergangsbereich) ist die Leiterplatte 6 über die Kontaktierein
richtungen 9 und 16 zwar bereits elektrisch kontaktiert. Da in diesem Bereich
jedoch keine Anoden 11 angeordnet sind, fliesst in dieser Zone auch kein wir
kungsvoller Galvanisierstrom auf diese Leiterplatte 6.
In der Zone B (Einlaufbereich) ist die Leiterplatte 6 ebenfalls über die Kontak
tiereinrichtung 9 bereits elektrisch kontaktiert und verhält sich daher wie in Zone
C.
Die Leiterplatte 7 dagegen befindet sich mit ihrem vorderen Bereich zwar schon
in Zone B im Elektrolytraum 2, ist aber noch nicht wie wie die Leiterplatte 6
kontaktiert.
In Zone A ist kein Elektrolyt vorhanden. Elektrolytisch ist dieser Bereich wir
kungslos.
Beim Durchfahren der Leiterplatten 5, 6, 7 durch die beschriebenen Zonen neh
men diese Platten unterschiedliche elektrische Potentiale an. Diese Unterschie
de bewirken zwischen den benachbarten Leiterplatten 5 und 6 sowie zwischen
den Platten 6 und 7, dass jeweils elektrische Spannungen (Potentialdifferen
zen) zwischen diesen Platten entstehen. Dies bedeutet, dass sich jeweils zwi
schen zwei Leiterplatten, die mit Elektrolytflüssigkeit in Kontakt stehen, lokale
elektrolytische Zellen ausbilden. Die Zellspannung dieser lokalen elektrolyti
schen Zellen ist die auftretende elektrische Spannung, die örtlich unterschied
lich sein kann.
In Fig. 2 sind die in einer derartigen Anlage auftretenden elektrischen Potential
differenzen dargestellt.
Der Randbereich 12 der Leiterplatte 5 steht in diesem Falle dem Randbereich
13 der Leiterplatte 6 gegenüber. Der Abstand der beiden Leiterplatten 5 und 6
beträgt beispielsweise ca. 10 mm. Auf der Strecke zwischen diesen beiden
Leiterplatten und auch zwischen den Leiterplatten 6 und 7 bilden sich Spannun
gen U(s) aus. Diese Spannungen U(s) verändern sich entlang des Weges s,
den die Leiterplatten 5, 6, 7 in der Durchlaufanlage zurücklegen. Besonders un
terschiedlich ist die Spannung U(s) in den beschriebenen Zonen B und C.
Der Elektrolyt im Elektrolytraum 2 in der Zone B stellt eine elektrisch schwach
leitfähige Verbindung der Leiterplatte 7 zu den Anoden 11 her. Dies hat zur
Folge, dass die sich teilweise in der Zone B befindende Leiterplatte 7 in ihrem
Randbereich 15 ein anodisches Potential annimmt. Die Leiterplatte 6 ist da
gegen bereits über die erste Kontaktiereinrichtung 9 und eine weitere Kontak
tiereinrichtung 16 elektrisch niederohmig kontaktiert. Damit befindet sich diese
Leiterplatte 6 nahe am Basispotential, d. h. etwa bei 0 Volt. Dies führt dazu,
dass eine Spannung U(s) zwischen den Leiterplatten 6 und 7 auftritt. Im Rand
bereich 15 ist das Potential der Platte 7 gegenüber dem Basispotential daher
positiv. Dies hat zur Folge, dass dieser anodische Bereich der Leiterplatte 7
elektrochemisch geätzt wird.
Die Spannung U(s) zwischen den benachbarten Platten 6 und 7 ist beim Durch
tritt durch die Dicht- bzw. Trennwand 4 und die Dichtwalzen 3 zunächst klein,
z. B. beträgt sie etwa 50 Millivolt. Sie nimmt beim Transport der Leiterplatte 7
durch die Anlage zu, bis diese Platte 7 die erste Kontaktiereinrichtung 9 er
reicht, und erreicht dort einen Spannungswert von etwa 500 Millivolt. Damit
nimmt auch die Ätzrate an der Leiterplatte 7 kontinuierlich zu.
In der Zone C sind die benachbarten Leiterplatten 5 und 6 über die Kontaktier
einrichtungen 9 und 16 elektrisch niederohmig kontaktiert. Dies hat zur Folge,
dass die Spannung U(s) zwischen diesen beiden Platten 5 und 6 in diesem
Anlagenbereich gegen Null geht. Im Leiterplattenrandbereich 12 und im Rand
bereich 13 der Leiterplatte 6 wird das Metall daher elektrochemisch kaum ge
ätzt.
Der Ätzangriff in der Zone B ist dagegen so stark, dass es zu Qualitätsproble
men bei der elektrolytischen Behandlung in der Durchlaufanlage kommen kann.
Die Art der elektrischen Kontaktierung an den Kontaktiereinrichtungen 9 und 16
ist dabei von untergeordneter Bedeutung. Es wurde festgestellt, dass ein stö
render Ätzangriff bei der Walzenkontaktierung, bei der Radkontaktierung und
bei der Klammerkontaktierung gleichermassen auftritt.
Somit bildet die eine Platte eines jeden Paares benachbarter Leiterplatten in
einer Durchlaufanlage die Anode und die andere die Kathode der von diesen
beiden Platten gebildeten elektrolytischen Zelle. Die Anode dieses Paares wird
elektrochemisch geätzt, d. h. die oberste metallische Schicht wird abgetragen.
Diese Schicht ist die oben beschriebene durch ein aussenstromloses chemi
sches Verfahren metallisierte Kupferschicht. Durch den Ätzangriff wird damit
die Bildung lokaler Fehlstellen in der chemischen Kupferschicht im Randbereich
der Leiterplatten verursacht. Dies zu vermeiden ist Aufgabe der Erfindung.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die elektrische Spannung zwischen
benachbarten Leiterplatten in der Anlage mit der Zielsetzung verringert/mini
miert wird, dass die elektrische Spannung 0 Volt beträgt.
In einer Ausführungsform der Erfindung weist die Durchlaufanlage hierzu min
destens eine im Einlaufbereich für die Leiterplatten in der Anlage vorgesehene
Schutzelektrode auf. Grundsätzlich kann auch eine Schutzelektrode im Aus
laufbereich für die Leiterplatten in der Anlage vorgesehen sein, um auch dort
einen störenden Einfluss sich einstellender Potentialdifferenzen zu verringern
bzw. zu minimieren. Die Schutzelektrode dient dazu, die elektrische Spannung
zwischen benachbarten Leiterplatten in der Anlage zu verringern bzw. zu mini
mieren.
Die Schutzelektrode ist vorzugsweise elektrisch mit dem Basispotential (0 Volt)
verbunden. Sie ist in der Durchlaufanlage so angeordnet, dass sie im wesentli
chen den Einlaufbereich von dem Behandlungsbereich für die Leiterplatten
abgrenzt. Der Behandlungsbereich für die Leiterplatten ist der Bereich, in dem
die Anoden angeordnet sind. Zwischen dem Einlaufbereich und dem Behand
lungsbereich liegt vorzugsweise ein Übergangsbereich. In dem Übergangsbe
reich können die Werkstücke bereits elektrisch kontaktiert werden, ohne al
lerdings in den Bereich der Anoden zu gelangen.
Durch die in diesem Bereich angeordnete Schutzelektrode nimmt die dort be
findliche Leiterplatte über die Schutzelektrode ein gewisses kathodisches Po
tential an, so dass die elektrische Spannung zur vorauslaufenden Platte verrin
gert wird. Die Schutzelektrode ist insbesondere im Übergangsbereich zwischen
der Zone B und der Zone C angeordnet, vor allem, in Transportrichtung gese
hen, unmittelbar vor der ersten elektrischen Kontaktiereinrichtung für die Leiter
platten (erstmaliges elektrisches Kontaktieren der Leiterplatten).
Die Schutzelektrode ist in der Anlage vorzugsweise so angeordnet, dass sie die
Leiterplatten beim Durchlauf durch die Anlage nicht berührt. Dadurch wird ver
mieden, dass die Leiterplatten beschädigt werden. Ausserdem verschleisst die
Schutzelektrode nicht, so dass diese praktisch wartungsfrei ist.
Die Schutzelektrode wird gegenüber den Anoden kathodisch polarisiert und
kann hierzu an den Minuspol der Stromquelle angeschlossen werden. Dadurch
wird der, in Transportrichtung gesehen, vor der Schutzelektrode liegende Be
reich (Zone B) im Elektrolytraum gegenüber dem Behandlungsbereich wir
kungsvoll abgeschirmt, wobei das Potential in diesem Bereich durch das katho
dische Potential der Schutzelektrode eingestellt werden kann.
Zur besseren Einstellung des kathodischen Potentials in Zone B im Elektrolyt
raum kann die Schutzelektrode über mindestens einen Begrenzungswiderstand
mit der Stromversorgung für die elektrolytische Metallisierung verbunden sein.
Ist der Begrenzungswiderstand einstellbar, kann auch das kathodische Potenti
al in Zone B noch genauer eingestellt werden. Unter einer Einstellung des Be
grenzungswiderstandes wird nicht nur die Regulierung dieses Widerstandsbau
elements sondern auch die Auswahl eines Begrenzungswiderstandes mit ge
eignetem Widerstandswert verstanden.
Insbesondere hierdurch kann eine noch bessere Vergleichmässigung des Po
tentials der Leiterplatten in den Zonen B und C erreicht werden.
Durch Wahl der Anzahl, der Form, der räumlichen Anordnung und/oder der
Grösse der Schutzelektroden kann das kathodische Potential von Leiterplatte
zu Leiterplatte im Bereich der Schutzelektrode weiter vergleichmässigt werden.
Die Schutzelektrode kann insbesondere aus einem elektrisch leitfähigen und
gegen die eingesetzten Chemikalien beständigen Material hergestellt sein.
Eine weitere Möglichkeit zur Verringerung der elektrischen Spannung zwischen
den benachbarten Leiterplatten besteht darin, den Kontaktiereinrichtungen im
Übergangsbereich (Zone C) und im Anfangsbereich von Zone D jeweils minde
stens einen Vorwiderstand zuzuordnen. Hierzu wird insbesondere eine elek
trische Verbindung zwischen der jeweiligen Kontaktiereinrichtung und dem Vor
widerstand hergestellt. Dieser Vorwiderstand kann beispielsweise in die Strom
zuführung von der Stromquelle zur Kontaktiereinrichtung eingebaut werden. Die
Vorwiderstände können in die Strompfade zu den Kontaktstellen seriell zwi
schen den Kontaktiereinrichtungen geschaltet sein. Die Widerstandswerte die
ser Vorwiderstände sind, in Transportrichtung gesehen, von Kontaktstelle zu
Kontaktstelle vorzugsweise unterschiedlich gross.
Dadurch kann das elektrische Potential der Kontaktiereinrichtungen eingestellt
werden. Indem die Widerstandswerte dieser Vorwiderstände auch einstellbar
sein können, d. h. dass deren Grösse erhöht oder verringert werden kann, kann
das Potential der Kontaktiereinrichtungen noch genauer eingestellt werden, um
die elektrische Spannung zwischen benachbarten Leiterplatten zu verringern.
Unter der Einstellung des Widerstandswertes eines Vorwiderstandes wird nicht
nur die Regulierung eines Widerstandsbauelements sondern auch die Auswahl
eines Vorwiderstandes mit geeignetem Widerstandswert verstanden.
Im allgemeinen ist eine Vielzahl von Kontaktiereinrichtungen in der Durchlauf
anlage vorgesehen, beispielsweise eine Reihe von Klammern, die hinterein
ander und im Abstand voneinander an einem endlosen über Rollen umlaufen
den Band angebracht sind und die Leiterplatten klemmend ergreifen, oder meh
rere Kontaktierrollen, die ebenfalls hintereinander und im Abstand voneinander
in Transportrichtung angeordnet sind und auf den Rändern der Leiterplatten
abrollen, oder mehrere Kontaktwalzen, die ebenfalls hintereinander und im
Abstand voneinander in Transportrichtung angeordnet sind und auf den Leiter
platten abrollen.
In einem derartigen Fall kann jeder Kontaktiereinrichtung im Übergangsbereich
jeweils ein Vorwiderstand zugeordnet sein, wobei der jeweilige Vorwiderstand
bevorzugt seriell in die Stromzuführung zwischen benachbarten, parallel ge
schalteten Kontaktiereinrichtungen geschaltet ist. Die Grösse der einzelnen
Vorwiderstände kann in diesem Falle einstellbar sein. Damit sind die Span
nungsabfälle in den den einzelnen Kontaktiereinrichtungen zugeordneten Vor
widerständen individuell einstellbar. Somit kann die elektrische Spannung zwi
schen benachbarten Leiterplatten über den mindestens einen Vorwiderstand
noch weiter verringert werden, so dass eine Regelung und Einstellung des ka
thodischen Potentials der Leiterplatten ermöglicht wird, durch die auch unter
schiedliche geometrische Verhältnisse in der Durchlaufanlage und unterschied
liche Formate und andere Parameter der Leiterplatten, beispielsweise die Dicke
der Kupferkaschierung, das Leiterzugmuster (Grösse der zu metallisierenden
Fläche) und die Art der Metallisierung (gegebenenfalls andere Metalle, die sich
auf den Leiterplattenoberflächen befinden), berücksichtigt werden.
Weiterhin hat es sich als vorteilhaft erwiesen, falls mindestens zwei Kontaktier
einrichtungen mit elektrischen Vorwiderständen vorgesehen sind, die Vorwider
stände so einzustellen bzw. so zu wählen, dass der Spannungsabfall in dem
Vorwiderstand am grössten ist, der der, in Transportrichtung gesehen, ersten
Kontaktiereinrichtung zugeordnet ist. Dadurch werden die sich üblicherweise im
Übergangsbereich von der Zone C zur Zone D einstellenden Potentialdifferen
zen zwischen den einzelnen Leiterplatten, die sich in diesen Bereichen befin
den, verringert.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist die Stromversorgung mit
den elektrischen Kontaktiereinrichtungen für die Werkstücke über Stromleitun
gen und eine Schleifschiene elektrisch verbunden, wobei die Schleifschiene in
der Nähe des Einlaufbereiches der Anlage, d. h. in dem dem Einlaufbereich
zugewandten Endbereich der Schiene, insbesondere in der Zone C, in elek
trisch zueinander isolierte Abschnitte unterteilt ist und den einzelnen Abschnit
ten jeweils ein Vorwiderstand zugeordnet ist. Eine derartige Anordnung wird
insbesondere dann eingesetzt, wenn in der Anlage umlaufende Klammern oder
andere umlaufende Kontaktierelemente verwendet werden, da die Vorwider
stände in diesem Falle nicht den umlaufenden Kontaktierelementen sondern
den ortsfesten Schleifschienenabschnitten zugeordnet sind. Dadurch entfalten
die einzelnen Vorwiderstände deren jeweilige Wirkung an bestimmten Orten
innerhalb der Anlage, um den u. a. vom Ort in der Anlage abhängigen Potential
verlauf zu kompensieren. Die Vorwiderstände sind in diesem Falle bestimmten
Kontaktierelementen jeweils nur während des Zeitintervalls zugeordnet, in dem
das Kontaktierelement über den jeweiligen Schleifschienenabschnitt momentan
kontaktiert wird. Im Gegensatz hierzu können die Vorwiderstände den ortsfest
eingebauten Kontaktrollen oder -walzen unmittelbar zugeordnet sein.
Die Vorwiderstände werden den Kontaktierelementen bzw. Schleifschienen
abschnitten vorzugsweise im Übergangsbereich und im Anfangsbereich des
Behandlungsbereichs in der Anlage vorgesehen, nicht jedoch im restlichen
Behandlungsbereich.
Im allgemeinen werden die Leiterplatten im Elektrolytraum mit der Elektrolyt
flüssigkeit in Kontakt gebracht, indem sie während des Durchlaufes durch die
Anlage in einen mit Elektrolytflüssigkeit befüllten Elektrolytraum eingefahren
werden. Hierzu werden sie in einen Stauraum für die Flüssigkeit eingefahren
und nach dem Durchlauf durch die Anlage aus diesem wieder ausgefahren.
Üblicherweise sind hierzu Dichtmittel am Einlauf und am Auslauf für die Leiter
platten vorgesehen, um die Elektrolytflüssigkeit im Elektrolytraum zurück zu
halten. Derartige Dichtmittel sind beispielsweise relativ enge Schlitze in den
Behälterwänden, durch die die Leiterplatten ein- bzw. ausgefahren werden so
wie Dichtwalzen, die unmittelbar hinter den Schlitzen angeordnet sind. Der
artige Dichtwalzen schliessen den Elektrolytraum gegenüber dem Aussenraum
ab und verhindern weitgehend ein Ausfliessen der Elektrolytflüssigkeit aus dem
Elektrolytraum. Die Dichtwalzen liegen normalerweise dicht aufeinander und
werden nur durch die hindurchtretenden Leiterplatten auseinander gedrückt.
Zur näheren Erläuterung der Erfindung dienen die Fig. 3 und 4. Es zeigen im
einzelnen:
Fig. 3 eine schematische Darstellung des vorderen Bereichs einer Gal
vanisieranlage im Querschnitt mit einer erfindungsgemässen
Schutzelektrode und die damit zu erzielende Verringerung der
elektrischen Potentialdifferenz zwischen benachbarten Leiterplat
ten;
Fig. 4 eine schematische Darstellung des vorderen Bereichs einer Gal
vanisieranlage im Querschnitt mit einer zusätzlichen erfindungs
gemässen Massnahme und die damit zu erzielende Vergleich
mässigung der Potentialdifferenzen.
Der in Fig. 3 dargestellte vordere Bereich einer Durchlaufanlage gemäss der
vorliegenden Erfindung weist einen Behälter für die Elektrolytflüssigkeit in ei
nem Elektrolytraum 2 auf. Die Leiterplatten 5, 6, 7 werden mittels ortsfester
Transportwalzen 8 durch die Anlage befördert. Sie treten durch einen Einlauf
schlitz in der Dichtwand 4 und zwischen Dichtwalzen 3 in die Anlage ein. Der
Schlitz in der Dichtwand 4 wird so eng wie möglich gewählt, um ein Ausströmen
von Elektrolytflüssigkeit zu verhindern. Die Dichtwalzen 3 schliessen den Elek
trolytraum 2 gegenüber dem Aussenraum ab, so dass auch von daher Elek
trolytflüssigkeit nur in geringer Menge in den Aussenraum abfliessen kann.
Beim Einfahren heben die Leiterplatten 5, 6, 7 die obere der beiden Dichtwalzen
3 an, um in den Elektrolytraum 2 einzufahren. Die Leiterplatten 5, 6, 7 werden in
enger Folge durch die Anlage befördert. Beispielsweise beträgt der Abstand
zwischen zwei Leiterplatten etwa 10 mm.
In erfindungsgemässer Weise wird zur Vermeidung eines Ätzangriffes auf die
Metallschichten auf den Leiterplatten 5, 6, 7 mindestens eine Schutzelektrode
17, 18 in den Elektrolytraum 2 in der Zone B installiert, so wie es die Fig. 3
zeigt. Vorzugsweise ist eine derartige Schutzelektrode 17, 18 sowohl an der
oberen als auch an der unteren Seite der Transportbahn angeordnet, in der die
Leiterplatten 5, 6, 7 befördert werden. Die Schutzelektroden 17, 18 werden aus
einem chemisch beständigen zumindest in Teilbereichen der Oberfläche elek
trisch leitfähigen Material hergestellt. Hierzu geeignet sind bestimmte Edelstäh
le, Titan oder andere säurefeste, elektrisch leitfähige Werkstoffe.
Die oberen und unteren Schutzelektroden 17, 18 bewirken, dass die Leiterplat
ten 5, 6, 7 in der Zone B ein kathodisches Potential annehmen, bevor sie auf
dem Weg durch die Anlage über die Kontaktiereinrichtungen 9, 16 mit der
Stromversorgung elektrisch verbunden werden und somit auf das Basispoten
tial 0 Volt gebracht werden.
Hierzu werden die Leiterplatten 5, 6, 7 in der durch einen Pfeil angegebenen
Richtung durch die Anlage befördert. In der in Fig. 3 dargestellten Momentauf
nahme ist die Leiterplatte 5 bereits am weitesten in die Anlage befördert wor
den und wird dort bereits von den Kontaktiereinrichtungen 16 elektrisch kontak
tiert. Dagegen ist die Leiterplatte 7 erst mit ihrem Frontbereich in den Elektrolyt
raum 2 eingetreten. Der hintere Bereich dieser Leiterplatte 5 befindet sich noch
im Aussenraum der Anlage. Die bereits in die Anlage eingefahrene Leiterplatte
6 befindet sich zwischen den beiden Platten 5 und 7 und zwar in den Zonen B
und C. Diese Leiterplatte ist in der Mitte über die Kontaktiereinrichtung 9 und im
vorderen Bereich über die Kontaktiereinrichtungen 16 bereits elektrisch kontak
tiert. Diese Leiterplatte passiert auch gerade die Schutzelektroden 17, 18.
Die Schutzelektroden 17, 18 stehen mit dem Basispotential der (hier nicht dar
gestellten) Stromquelle in elektrischem Kontakt.
In der elektrischen Verbindung zwischen den Schutzelektroden 17, 18 und der
Stromversorgung sind Begrenzungswiderstände 19, 20 vorgesehen, über deren
Widerstandswerte das kathodische Potential der Schutzelektroden 17, 18 ein
stellbar ist.
Bei einem Widerstandswert der Begrenzungswiderstände 19, 20 von ≈ 0 Ohm
wirken die Schutzelektroden 17, 18 am stärksten. Die kathodische Polarisierung
der Schutzelektroden 17, 18 ist dann so gross, dass sich die Polarität der Span
nung U(s) zwischen den Leiterplatten 6 und 7 umkehrt. Unter diesen Bedingun
gen nimmt die Leiterplatte 7 gegenüber der Leiterplatte 6 ein kathodisches Po
tential an, so dass sich eine elektrolytische Zelle zwischen diesen beiden Lei
terplatten bildet. Der Randbereich 14 der Leiterplatte 6 wird in diesem Falle
gegenüber dem Randbereich 15 der Leiterplatte 7 anodisch polarisiert. Somit
besteht in diesem Falle die Gefahr, dass die Leiterplatte 6 geätzt wird. Diese
Überkompensation wird durch die Einfügung der Begrenzungswiderstände
19, 20 und geeignete Einstellung der Werte dieser Vorwiderstände bzw. durch
entsprechende Wahl von Begrenzungswiderständen mit geeigneten Wider
standswerten und/oder durch Verkleinerung der wirksamen Oberfläche der
Schutzelektroden 17, 18 vermieden. In diesem Fall wird der Begrenzungswider
stand durch den Elektrolyt gebildet. Die Werte der Begrenzungswiderstände
19, 20 werden vorzugsweise in einem Bereich von 10 bis 100 Milliohm einge
stellt. Sie werden so dimensioniert, dass das Potential der Schutzelektroden
17, 18 einen gegenüber U(s) zwischen den Leiterplatten 6 und 7 entgegenge
richteten Spannungsabfall erzeugt, der etwa so gross ist wie U(s), gemessen in
Volt, um das Potential in den Leiterplatten 6 und 7 zu vergleichmässigen.
Auch wenn nur eine der beiden Schutzelektroden 17 oder 18 verwendet wird,
wird bereits eine Vergleichmässigung des kathodischen Potentials erreicht,
wenn auch die Wirkung geringer ist.
Durch eine derartig ausgerüstete Durchlaufanlage wird ein Ätzangriff der in der
Zone B befindlichen Leiterplatten vermieden.
Sobald die Leiterplatte 6 an der ersten Kontaktiereinrichtung 9 erstmals nieder
ohmig kontaktiert wird und in die Zone C einfährt, fliesst praktisch noch kein
Galvanisierstrom zur Leiterplatte 6, weil diese Leiterplatte 6 sich noch in Zone
B befindet und den Bereich der Anoden 11 noch nicht erreicht hat. Über die
Kontaktiereinrichtungen 9 fliesst von daher nur ein kleiner Strom. Die elektri
schen Spannungsabfälle an der Kontaktiereinrichtung 9 im Verlauf des Weges
s sind klein.
Anders verhält es sich mit der Leiterplatte 5, die sich bereits in Zone D befindet.
Hier sind die Ströme über die Kontaktiereinrichtungen 16 gross. Entsprechend
gross sind auch die Spannungsabfälle an diesen Kontaktiereinrichtungen 16.
Zwischen den Randbereichen 12 und 13 der Leiterplatten 5 und 6 bildet sich
eine Spannung U(s) aus. Der Randbereich 12 der Leiterplatte 5 ist gegenüber
dem Randbereich 13 der Leiterplatte 6 positiv polarisiert. In der Zone C wird der
Randbereich 12 deshalb elektrochemisch geätzt.
Ein derartiger Ätzangriff wird mit der Massnahme vermieden, die an Hand von
Fig. 4 beschrieben wird. In die Strompfade der Kontaktiereinrichtungen 9, 16
werden Vorwiderstände 21 eingefügt, die diesen Kontaktiereinrichtungen 9, 16
zugeordnet sind. Diese Vorwiderstände 21 sind mit R1, R2 und R3 bezeichnet.
Die Anzahl der Vorwiderstände 21 richtet sich nach den örtlichen Gegebenhei
ten, insbesondere nach der Anzahl der Kontaktiereinrichtungen 9, 16 in der
Zone C und der Zone D. Die Vorwiderstände R1, R2 und R3 sind in Reihe ge
schaltet. Die gleiche Wirkung wird erzielt, wenn in den Strompfad jeder Kontak
tiereinrichtung 9, 16 ein Vorwiderstand 21 eingefügt wird.
Die Vorwiderstände 21 werden so dimensioniert, dass bei dem in Zone C noch
kleinen Galvanisierstrom, der über die Kontaktiereinrichtungen 9, 16 fliesst, ein
etwa gleich grosser Spannungsabfall entsteht wie der Spannungsabfall an den
den Kontaktiereinrichtungen 16 in Zone D zugeordneten Vorwiderständen 21.
Damit wird die Spannung U(s) zwischen den Leiterplatten 5 und 6 auch in die
ser Zone niedrig. Ein Ätzangriff findet somit auch in dieser Zone nicht statt. Bei
üblichen Galvanisieranlagen liegen die Vorwiderstandswerte für R1, R2, R3 im
Bereich von etwa 100 Milliohm bis etwa 1 Milliohm. Der zu verwendende Vor
widerstandswert nimmt in Transportrichtung der Leiterplatten 5, 6, 7 vorzugs
weise ab, weil der Strom durch die Kontaktiereinrichtungen 9, 16 zunimmt.
Alle in den einzelnen Zonen auftretenden Potentiale und Spannungsabfälle der
Kompensationsmassnahmen werden mit zunehmender Stromdichte grösser
und umgekehrt. Weil grössere Stromdichten grössere Kompensationsmass
nahmen erfordern, ist die Erfindung nahezu unabhängig von der verwendeten
Stromdichte.
Besonders vorteilhaft ist die Erfindung in Bezug auf Verschleissfreiheit. Es wer
den nur passive Elemente verwendet, insbesondere wird kein Schleifkontakt
verwendet, um die störenden elektrischen Spannungen zwischen den Leiter
platten abzuleiten.
Überraschend zeigt sich auch, dass die kathodische(n) Schutzelektrode(n) nur
minimal metallisiert werden. Eine geringfügig chemisch ätzende Elektrolytflüs
sigkeit reicht aus, die Metallisierung der Schutzelektroden zu unterdrücken. In
diesem Falle ist die erfindungsgemässe Massnahme völlig wartungsfrei.
1
Badbehälter
2
Elektrolytraum
3
Dichtwalzen
4
Dichtwand
5
,
6
,
7
Leiterplatten
8
Transportwalze
9
Kontaktiereinrichtung
10
Elektrolytflüssigkeit-Zuführungseinrichtungen (beispielsweise Schwall
düsen)
11
Anoden
12
Randbereich der Leiterplatte
5
13
,
14
Randbereiche der Leiterplatte
6
15
Randbereich der Leiterplatte
7
16
Kontaktiereinrichtung
17
Obere Schutzelektrode
18
Untere Schutzelektrode
19
Begrenzungswiderstand der Schutzelektrode
17
20
Begrenzungswiderstand der Schutzelektrode
18
21
Vorwiderstände der Kontaktiereinrichtungen
9
,
16
U(s) Spannung zwischen zwei Leiterplattenrandbereichen
s Weg der Leiterplatten
s Weg der Leiterplatten
5
,
6
,
7
durch die Durchlaufanlage
Claims (23)
1. Durchlaufanlage zum elektrolytischen Metallisieren von Werkstücken, da
durch gekennzeichnet, dass Mittel (17, 18; 21) zur Verringerung einer sich
zwischen benachbarten, durch die Anlage beförderten Werkstücken (5, 6, 7)
einstellenden elektrischen Spannung vorgesehen sind.
2. Durchlaufanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die min
destens eine Schutzelektrode (17, 18) im wesentlichen den Einlaufbereich von
einem Behandlungsbereich für die Werkstücke (5, 6, 7) abgrenzt, in dem die
Anoden (11) angeordnet sind.
3. Durchlaufanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die min
destens eine Schutzelektrode (17, 18) so angeordnet ist, dass sie die Werk
stücke (5, 6, 7) beim Durchlauf durch die Anlage nicht berührt.
4. Durchlaufanlage nach einem der Ansprüche 2 und 3, dadurch gekenn
zeichnet, dass die mindestens eine Schutzelektrode (17, 18) gegenüber den
Anoden (11) kathodisch polarisierbar ist.
5. Durchlaufanlage nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeich
net, dass die mindestens eine Schutzelektrode (17, 18) über mindestens einen
Begrenzungswiderstand (19, 20) mit der Stromquelle für die elektrolytische Me
tallisierung verbunden ist.
6. Durchlaufanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der min
destens eine Begrenzungswiderstand (19, 20) einstellbar ist.
7. Durchlaufanlage nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeich
net, dass die Anzahl, die Form, die räumliche Anordnung und/oder die Grösse
der mindestens einen Schutzelektrode (17, 18) nach Massgabe der Verringe
rung der elektrischen Spannung zwischen benachbarten Werkstücken (5, 6, 7) in
der Anlage festgelegt sind.
8. Durchlaufanlage nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, dass den elektrischen Kontaktiereinrichtungen (9, 16) für die
Werkstücke (5, 6, 7) jeweils mindestens ein Vorwiderstand (21) zugeordnet ist.
9. Durchlaufanlage nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, dass die Stromquelle mit den elektrischen Kontaktiereinrichtun
gen (9, 16) für die Werkstücke (5, 6, 7) über Stromleitungen und eine Schleif
schiene elektrisch verbunden ist, wobei die Schleifschiene in der Nähe des
Einlaufbereiches der Anlage in elektrisch zueinander isolierte Abschnitte unter
teilt ist und den einzelnen Abschnitten jeweils mindestens ein Vorwiderstand
(21) zugeordnet ist.
10. Durchlaufanlage nach einem der Ansprüche 8 und 9, dadurch gekenn
zeichnet, dass der mindestens eine Vorwiderstand (21) einstellbar ist.
11. Durchlaufanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekenn
zeichnet, dass, falls mindestens zwei Kontaktiereinrichtungen (9, 16) vorgese
hen sind, die Vorwiderstände (21) so einstellbar sind, dass der Spannungs
abfall in dem Vorwiderstand (21) am grössten ist, der der, in Transportrichtung
gesehen, ersten Kontaktiereinrichtung (9) zugeordnet ist.
12. Durchlaufanlage nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch ge
kennzeichnet, dass zum In-Kontakt-Bringen der Werkstücke (5, 6, 7) mit Elek
trolytflüssigkeit während des Durchlaufes der Werkstücke (5, 6, 7) durch die
Anlage ein Stauraum für die Elektrolytflüssigkeit vorgesehen ist, in den die
Werkstücke (5, 6, 7) einfahrbar und aus dem die Werkstücke (5, 6, 7) nach dem
Durchlauf durch die Anlage wieder ausfahrbar sind.
13. Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von Werkstücken in einer
Durchlaufanlage, bei dem die Werkstücke der Anlage zugeführt, durch diese
hindurch befördert und aus dieser wieder herausgeführt werden, dadurch ge
kennzeichnet, dass eine sich zwischen benachbarten, durch die Anlage be
förderten Werkstücken (5, 6, 7) einstellende elektrische Spannung verringert
wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die elek
trische Spannung zwischen benachbarten Werkstücken (5, 6, 7) in der Anlage
durch mindestens eine in der Anlage vorgesehene Schutzelektrode (17, 18)
verringert wird.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die elek
trische Spannung durch die mindestens eine Schutzelektrode (17, 18) dadurch
verringert wird, dass diese im wesentlichen den Einlaufbereich von dem Be
reich in der Anlage abgrenzt, in dem die Anoden (11) angeordnet sind.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 und 15, dadurch gekennzeich
net, dass die mindestens eine Schutzelektrode (17, 18) in der Anlage so an
geordnet wird, dass sie die Werkstücke (5, 6, 7) beim Durchlauf durch die An
lage nicht berührt.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
dass die mindestens eine Schutzelektrode (17, 18) an den Minuspol der Strom
quelle für die elektrolytische Metallisierung angeschlossen wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet,
dass das kathodische Potential der mindestens einen Schutzelektrode (17, 18)
über mindestens einen Begrenzungswiderstand (19, 20) eingestellt wird, der mit
dem Minuspol der Stromquelle elektrisch verbunden ist.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet,
dass die Anzahl, die Form, die räumliche Anordnung und/oder die Grösse der
mindestens einen Schutzelektrode (17, 18) nach Massgabe der Verringerung
der elektrischen Spannung festgelegt werden.
20. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die elek
trische Spannung zwischen benachbarten Werkstücken (5, 6, 7) in der Anlage
über jeweils mindestens einen Vorwiderstand (21) eingestellt wird, der den
Kontaktiereinrichtungen (9, 16) zugeordnet ist.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die elek
trische Spannung dadurch verringert wird, dass durch Einstellung der Wider
standswerte der Vorwiderstände (21) ein unterschiedlicher Spannungsabfall in
den den einzelnen Kontaktiereinrichtungen (9, 16) zugeordneten Vorwiderstän
den (21) entsteht.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass, falls minde
stens zwei Kontaktiereinrichtungen (9, 16) vorgesehen sind, die Vorwiderstände
(21) so eingestellt werden, dass der Spannungsabfall in dem Vorwiderstand
(21) am grössten ist, der der, in Transportrichtung gesehen, ersten Kontaktier
einrichtung (9) zugeordnet ist.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 22, dadurch gekennzeichnet,
dass die Werkstücke (5, 6, 7) während des Durchlaufes durch die Anlage da
durch mit der Elektrolytflüssigkeit in Kontakt gebracht werden, dass sie in einen
Stauraum für die Flüssigkeit eingefahren und nach dem Durchlauf durch die
Anlage aus diesem Stauraum wieder ausgefahren werden.
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