DE102023100393A1

DE102023100393A1 - Mirror socket, optical system and projection exposure system

Info

Publication number: DE102023100393A1
Application number: DE102023100393.3A
Authority: DE
Inventors: Roman Orlik; Daniel Paetz; Anastasia Garatidou; Johannes Kruis; Marwene Nefzi; Klaus Rief
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2023-01-10
Filing date: 2023-01-10
Publication date: 2024-07-11

Abstract

Eine Spiegelbuchse (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) für ein optisches Element (102, 102'), aufweisend eine Mittelachse (126), eine erste Raumrichtung (x), die senkrecht zu der Mittelachse (126) orientiert ist, und eine zweite Raumrichtung (y), die senkrecht zu der Mittelachse (126) und senkrecht zu der ersten Raumrichtung (x) orientiert ist, wobei die Spiegelbuchse (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) entlang der ersten Raumrichtung (x) betrachtet eine erste Steifigkeit und entlang der zweiten Raumrichtung (y) betrachtet eine zweite Steifigkeit aufweist, und wobei die erste Steifigkeit und die zweite Steifigkeit unterschiedlich groß sind.

A mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) for an optical element (102, 102'), having a central axis (126), a first spatial direction (x) oriented perpendicular to the central axis (126), and a second spatial direction (y) oriented perpendicular to the central axis (126) and perpendicular to the first spatial direction (x), wherein the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has a first stiffness when viewed along the first spatial direction (x) and a second stiffness when viewed along the second spatial direction (y), and wherein the first stiffness and the second stiffness are of different magnitudes.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Spiegelbuchse für ein optisches Element, ein optisches System mit einer derartigen Spiegelbuchse und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Spiegelbuchse und/oder einem derartigen optischen System.The present invention relates to a mirror socket for an optical element, an optical system with such a mirror socket and a projection exposure system with such a mirror socket and/or such an optical system.

Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.Microlithography is used to produce microstructured components, such as integrated circuits. The microlithography process is carried out using a lithography system that has an illumination system and a projection system. The image of a mask (reticle) illuminated by the illumination system is projected by the projection system onto a substrate, such as a silicon wafer, that is coated with a light-sensitive layer (photoresist) and arranged in the image plane of the projection system in order to transfer the mask structure onto the light-sensitive coating of the substrate.

Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm, verwenden. Bei solchen EUV-Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materialien von Licht dieser Wellenlänge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von - wie bisher - brechenden Optiken, das heißt, Linsen, eingesetzt werden.Driven by the pursuit of ever smaller structures in the manufacture of integrated circuits, EUV lithography systems are currently being developed that use light with a wavelength in the range of 0.1 nm to 30 nm, in particular 13.5 nm. In such EUV lithography systems, reflective optics, i.e. mirrors, must be used instead of - as previously - refractive optics, i.e. lenses, due to the high absorption of light of this wavelength by most materials.

Ein wie zuvor erwähnter Spiegel eines Projektionssystems kann mit Hilfe von Spiegelbuchsen mit einer Tragstruktur, beispielsweise in Form eines Tragrahmens (Engl.: Force Frame), oder mit Aktuatoren zum Ausrichten des Spiegels gekoppelt sein. Die Spiegelbuchsen werden hierzu mit dem Spiegel verklebt. Der Spiegel weist sechs Freiheitsgrade, nämlich drei translatorische Freiheitsgrade entlang einer ersten Raumrichtung, einer zweiten Raumrichtung und einer dritten Raumrichtung und drei rotatorische Freiheitsgrade jeweils um die zuvor erwähnten Raumrichtungen auf.A mirror of a projection system as mentioned above can be coupled with a support structure, for example in the form of a support frame (English: force frame), or with actuators for aligning the mirror using mirror bushings. The mirror bushings are glued to the mirror for this purpose. The mirror has six degrees of freedom, namely three translational degrees of freedom along a first spatial direction, a second spatial direction and a third spatial direction and three rotational degrees of freedom around the spatial directions mentioned above.

Bevorzugt sind genau drei Spiegelbuchsen vorgesehen, wobei jeder Spiegelbuchse genau zwei Freiheitsgrade zugeordnet sind. Dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich. Beispielsweise können auch einer Spiegelbuchse drei Freiheitsgrade, einer weiteren Spiegelbuchse zwei Freiheitsgrade und einer weiteren Spiegelbuchse kann ein Freiheitsgrad zugeordnet sein. Um in den Spiegel möglichst wenig Kräfte einzubringen, was beispielsweise zu unerwünschten Deformationen des Spiegels führen kann, ist es wünschenswert, dass die Spiegelbuchsen in unterschiedlichen Raumrichtungen unterschiedlich große Steifigkeiten aufweisen.Preferably, exactly three mirror bushings are provided, with each mirror bushing being assigned exactly two degrees of freedom. However, this is not absolutely necessary. For example, one mirror bushing can be assigned three degrees of freedom, another mirror bushing two degrees of freedom and another mirror bushing one degree of freedom. In order to introduce as few forces as possible into the mirror, which can lead to undesirable deformations of the mirror, for example, it is desirable for the mirror bushings to have different degrees of rigidity in different spatial directions.

Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine verbesserte Spiegelbuchse für ein optisches Element bereitzustellen.Against this background, it is an object of the present invention to provide an improved mirror socket for an optical element.

Demgemäß wird eine Spiegelbuchse für ein optisches Element vorgeschlagen. Die Spiegelbuchse umfasst eine Mittelachse, eine erste Raumrichtung, die senkrecht zu der Mittelachse orientiert ist, und eine zweite Raumrichtung, die senkrecht zu der Mittelachse und senkrecht zu der ersten Raumrichtung orientiert ist, wobei die Spiegelbuchse entlang der ersten Raumrichtung betrachtet eine erste Steifigkeit und entlang der zweiten Raumrichtung betrachtet eine zweite Steifigkeit aufweist, und wobei die erste Steifigkeit und die zweite Steifigkeit unterschiedlich groß sind.Accordingly, a mirror bushing for an optical element is proposed. The mirror bushing comprises a central axis, a first spatial direction that is oriented perpendicular to the central axis, and a second spatial direction that is oriented perpendicular to the central axis and perpendicular to the first spatial direction, wherein the mirror bushing has a first rigidity when viewed along the first spatial direction and a second rigidity when viewed along the second spatial direction, and wherein the first rigidity and the second rigidity are of different magnitudes.

Dadurch, dass die Spiegelbuchse in der ersten Raumrichtung und in der zweiten Raumrichtung betrachtet unterschiedlich große Steifigkeiten aufweist, ist es möglich, mehrere das optische Element tragende Spiegelbuchsen derart anzuordnen, dass in das optische Element keine unerwünschten Kräfte oder Momente eingebracht werden. Unerwünschte Deformationen einer optisch wirksamen Fläche des optischen Elements können hierdurch vermieden werden. Dies verbessert die Abbildungsqualität einer Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Spiegelbuchse.Because the mirror bushing has different levels of rigidity when viewed in the first spatial direction and in the second spatial direction, it is possible to arrange several mirror bushings supporting the optical element in such a way that no undesirable forces or moments are introduced into the optical element. Undesirable deformations of an optically effective surface of the optical element can thus be avoided. This improves the image quality of a projection exposure system with such a mirror bushing.

Das optische Element ist ein Spiegelmodul oder ein Spiegel, insbesondere ein EUV-Spiegel, oder kann als Spiegelmodul oder Spiegel bezeichnet werden. Das optische Element kann jedoch auch eine Linse sein. Vorzugsweise sind dem optischen Element mehrere, beispielsweise genau drei, Spiegelbuchsen zugeordnet. Nachfolgend wird auf nur eine Spiegelbuchse eingegangen. Das optische Element weist eine optisch wirksame Fläche, insbesondere eine Spiegelfläche, auf. Das optische Element, und insbesondere die optisch wirksame Fläche, ist dazu geeignet, Beleuchtungsstrahlung, insbesondere EUV-Strahlung, zu reflektieren. Die optisch wirksame Fläche kann durch eine auf ein Substrat, beispielsweise einen Glasblock oder Glaskeramikblock, aufgebrachte Beschichtung sein.The optical element is a mirror module or a mirror, in particular an EUV mirror, or can be referred to as a mirror module or mirror. However, the optical element can also be a lens. Preferably, several, for example exactly three, mirror sockets are assigned to the optical element. Only one mirror socket is discussed below. The optical element has an optically effective surface, in particular a mirror surface. The optical element, and in particular the optically effective surface, is suitable for reflecting illumination radiation, in particular EUV radiation. The optically effective surface can be a coating applied to a substrate, for example a glass block or glass ceramic block.

Die Spiegelbuchse ist bevorzugt stoffschlüssig mit dem optischen Element, insbesondere mit einer Rückseite des optischen Elements, verbunden. Stoffschlüssige Verbindungen sind Verbindungen, bei denen die Verbindungspartner durch atomare oder molekulare Kräfte zusammengehalten werden. Sie sind gleichzeitig nicht lösbare Verbindungen, die sich nur durch Zerstörung der Verbindungsmittel und/oder der Verbindungspartner trennen lassen. Beispielsweise ist die Spiegelbuchse mit dem optischen Element verklebt.The mirror bushing is preferably firmly bonded to the optical element, in particular to a rear side of the optical element. Firm bonds are bonds in which the connecting partners are held together by atomic or molecular forces. At the same time, they are non-detachable bonds that can only be separated by destroying the connecting means and/or the connecting partners. For example, the mirror bushing is glued to the optical element.

Die Spiegelbuchse ist bevorzugt rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut. Vorzugsweise ist die Spiegelbuchse im Wesentlichen rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut. „Im Wesentlichen“ heißt dabei, dass nicht auszuschließen ist, dass die Spiegelbuchse auch Bereiche oder Abschnitte aufweist, die nicht rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut sind. Die Mittelachse kann auch als Symmetrieachse der Spiegelbuchse bezeichnet werden. Insbesondere sind zumindest ein Außenteil und/oder ein Innenteil der Spiegelbuchse rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut. Die Rotationssymmetrie ist jedoch nicht zwingend erforderlich.The mirror bushing is preferably constructed rotationally symmetrically to the central axis. Preferably, the mirror bushing is constructed essentially rotationally symmetrically to the central axis. "Essentially" means that it cannot be ruled out that the mirror bushing also has areas or sections that are not constructed rotationally symmetrically to the central axis. The central axis can also be referred to as the axis of symmetry of the mirror bushing. In particular, at least one outer part and/or one inner part of the mirror bushing are constructed rotationally symmetrically to the central axis. However, rotational symmetry is not absolutely necessary.

Jeder Spiegelbuchse ist bevorzugt ein Koordinatensystem zugeordnet, das die erste Raumrichtung, die auch als x-Richtung bezeichnet werden kann, die zweite Raumrichtung, die auch als y-Richtung bezeichnet werden kann, und eine dritte Raumrichtung oder z-Richtung aufweist. Die dritte Raumrichtung kann parallel zu der Mittelachse orientiert sein oder mit dieser übereinstimmen. Die zweite Raumrichtung ist senkrecht zu der ersten Raumrichtung orientiert. Die dritte Raumrichtung ist senkrecht zu der ersten Raumrichtung und senkrecht zu der zweiten Raumrichtung orientiert. Unter „senkrecht“ ist vorliegend ein Winkel von 90° ± 10°, weiter bevorzugt von 90° ± 5°, weiter bevorzugt von 90° ± 3°, weiter bevorzugt von 90° ± 1°, weiter bevorzugt von genau 90°, zu verstehen. Die erste Raumrichtung und die zweite Raumrichtung spannen eine Ebene auf, die senkrecht zu der Mittelachse orientiert ist.Each mirror bushing is preferably assigned a coordinate system which has the first spatial direction, which can also be referred to as the x-direction, the second spatial direction, which can also be referred to as the y-direction, and a third spatial direction or z-direction. The third spatial direction can be oriented parallel to the central axis or coincide with it. The second spatial direction is oriented perpendicular to the first spatial direction. The third spatial direction is oriented perpendicular to the first spatial direction and perpendicular to the second spatial direction. In this case, “perpendicular” is understood to mean an angle of 90° ± 10°, more preferably 90° ± 5°, more preferably 90° ± 3°, more preferably 90° ± 1°, more preferably exactly 90°. The first spatial direction and the second spatial direction span a plane which is oriented perpendicular to the central axis.

Unter der „Steifigkeit“ ist vorliegend ganz allgemein der Widerstand eines Körpers, vorliegend der Spiegelbuchse, gegen eine durch eine äußere Belastung aufgeprägte elastische Verformung zu verstehen und vermittelt den Zusammenhang zwischen der Belastung des Körpers und dessen Verformung. Die Steifigkeit wird bestimmt durch den Werkstoff des Körpers und dessen Geometrie. Beispielsweise lässt sich durch eine Anpassung einer Geometrie der Spiegelbuchse erreichen, dass die erste Steifigkeit und die zweite Steifigkeit unterschiedlich groß sind. Vorzugsweise ist die zweite Steifigkeit größer als die erste Steifigkeit.In this case, “stiffness” is generally understood to mean the resistance of a body, in this case the mirror bushing, to elastic deformation imposed by an external load and conveys the connection between the load on the body and its deformation. The stiffness is determined by the material of the body and its geometry. For example, by adjusting the geometry of the mirror bushing, the first stiffness and the second stiffness can be different. Preferably, the second stiffness is greater than the first stiffness.

Insbesondere weist die Spiegelbuchse entlang der Mittelachse beziehungsweise entlang der dritten Raumrichtung betrachtet eine dritte Steifigkeit auf. Die dritte Steifigkeit ist vorzugsweise größer als die erste Steifigkeit und größer als die zweite Steifigkeit. Dass die erste Steifigkeit und die zweite Steifigkeit „unterschiedlich“ groß sind, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die zweite Steifigkeit größer als die erste Steifigkeit ist. Alternativ kann auch die erste Steifigkeit größer als die zweite Steifigkeit sein.In particular, the mirror bushing has a third stiffness when viewed along the central axis or along the third spatial direction. The third stiffness is preferably greater than the first stiffness and greater than the second stiffness. The fact that the first stiffness and the second stiffness are "different" in size means in particular that the second stiffness is greater than the first stiffness. Alternatively, the first stiffness can also be greater than the second stiffness.

Gemäß einer Ausführungsform weist die Spiegelbuchse ferner ein Außenteil, ein innerhalb des Außenteils angeordnetes Innenteil und elastische verformbare Stege auf, wobei das Außenteil mit Hilfe der Stege mit dem Innenteil verbunden ist.According to one embodiment, the mirror bushing further comprises an outer part, an inner part arranged within the outer part and elastically deformable webs, wherein the outer part is connected to the inner part by means of the webs.

Das Außenteil kann ringförmig sein. Daher kann das Außenteil auch als Außenring bezeichnet werden. Das Außenteil kann rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut sein. Das Innenteil kann ringförmig sein. Daher kann das Innenteil auch als Innenring bezeichnet werden. Das Innenteil kann rotationssymmetrisch zu der Mittelachse aufgebaut sein. Vorzugsweise ist das Außenteil mit dem optischen Element verbunden, insbesondere verklebt. Das Innenteil kann mit einer Tragstruktur, beispielsweise in Form eines Tragrahmens (Engl.: Force Frame), verbunden sein. Das Innenteil dient als Schnittstelle zu einer Umgebung. Unter der „Umgebung“ können vorliegend die zuvor erwähnte Tragstruktur oder ein Aktuator beziehungsweise Aktuatoren zu verstehen sein. Beispielsweise ist das Innenteil mit der Tragstruktur verklemmt und/oder verschraubt. Die Tragstruktur weist einen Anbindungspunkt, beispielsweise umfassend eine Verschraubung, zum Anbinden des Innenteils auf. Umgekehrt kann auch das Außenteil mit der Tragstruktur und das Innenteil mit dem optischen Element verbunden sein.The outer part can be ring-shaped. The outer part can therefore also be referred to as an outer ring. The outer part can be constructed rotationally symmetrically to the central axis. The inner part can be ring-shaped. The inner part can therefore also be referred to as an inner ring. The inner part can be constructed rotationally symmetrically to the central axis. The outer part is preferably connected to the optical element, in particular glued. The inner part can be connected to a support structure, for example in the form of a support frame (English: force frame). The inner part serves as an interface to an environment. The "environment" in this case can be understood to mean the aforementioned support structure or an actuator or actuators. For example, the inner part is clamped and/or screwed to the support structure. The support structure has a connection point, for example comprising a screw connection, for connecting the inner part. Conversely, the outer part can also be connected to the support structure and the inner part to the optical element.

Die Stege fungieren als sogenannte Festkörpergelenke und ermöglichen eine Bewegung des Innenteils relativ zu dem Außenteil oder umgekehrt. Unter einem „Festkörpergelenk“ ist vorliegend allgemein ein Bereich, beispielsweise eine Querschnittseinengung oder -ausdünnung, eines Bauteils zu verstehen, welcher eine Relativbewegung zwischen zwei Starrkörperbereichen des Bauteils durch Biegung oder Torsion ermöglicht. Vorliegend bilden bevorzugt das Außenteil und das Innenteil die Starrkörperbereiche, zwischen denen die elastisch verformbaren Stege als Festkörpergelenke vorgesehen sind. Die Stege selbst können zusätzlich Nuten, Querschnittseinengungen oder Querschnittsausdünnungen aufweisen, die als direkt an den Stegen vorgesehene Festkörpergelenke fungieren. Hierdurch wird nochmals eine verbesserte Verformbarkeit der Stege erreicht.The webs function as so-called solid joints and enable movement of the inner part relative to the outer part or vice versa. In this case, a "solid joint" is generally understood to mean an area, for example a cross-sectional constriction or thinning, of a component, which enables relative movement between two rigid body areas of the component by bending or torsion. In this case, the outer part and the inner part preferably form the rigid body areas between which the elastically deformable webs are provided as solid joints. The webs themselves can also have grooves, cross-sectional constrictions or cross-sectional thinnings that function as solid body joints provided directly on the webs. This further improves the deformability of the webs.

Dass die Stege „elastisch“ oder „federelastisch“ verformbar sind, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die Stege mit Hilfe einer Kraft oder eines Moments von einem unverformten Zustand in einen verformten Zustand verbracht werden können. Sobald die Kraft oder das Moment nicht mehr auf den jeweiligen Steg wirkt, verbringt sich dieser selbständig aus dem verformten Zustand zurück in den unverformten Zustand. Insbesondere sind die Stege damit federelastisch verformbar.The fact that the webs are “elastic” or “spring-elastic” deformable means in this case in particular that the webs can be moved from an undeformed state to a deformed state with the help of a force or a moment. As soon as the force or the moment no longer acts on the respective web, it moves itself from the deformed state back to the undeformed state. In particular, the webs are elastically deformable.

Jeder Steg weist bevorzugt eine Querschnittsfläche auf, die beliebig geformt sein kann. Beispielsweise ist die Querschnittsfläche rechteckförmig, dreiecksförmig, rund, kreuzförmig oder dergleichen. Die Stege weisen eine Stegbreite und eine Steghöhe auf. Unter einem „Aspektverhältnis“ kann vorliegend ein Verhältnis der Steghöhe zu der Stegbreite zu verstehen sein. Durch eine Veränderung des Aspektverhältnisses kann die Steifigkeit der Stege verändert werden. Besonders bevorzugt sind ein erster Steg und ein zweiter Steg vorgesehen. Das heißt, dass genau zwei Stege vorgesehen sein können. Grundsätzlich ist die Anzahl der Stege jedoch beliebig.Each web preferably has a cross-sectional area that can be of any shape. For example, the cross-sectional area is rectangular, triangular, round, cross-shaped or the like. The webs have a web width and a web height. An "aspect ratio" can be understood here as a ratio of the web height to the web width. The rigidity of the webs can be changed by changing the aspect ratio. A first web and a second web are particularly preferably provided. This means that exactly two webs can be provided. In principle, however, the number of webs is arbitrary.

Die Querschnittsfläche der Stege kann entlang einer Steglänge der Stege betrachtet konstant sein. Unter der „Steglänge“ ist vorliegend eine Länge des jeweiligen Stegs entlang seiner Haupterstreckungsrichtung, entlang der sich der Steg ausgehend von dem Innenteil hin zu dem Außenteil erstreckt, zu verstehen. Die Querschnittsfläche kann sich auch entlang der Steglänge betrachtet verändern. Beispielsweise vergrößert sich die Querschnittsfläche ausgehend von dem Außenteil zu dem Innenteil oder umgekehrt.The cross-sectional area of the webs can be constant when viewed along a web length of the webs. The “web length” in this case is understood to mean a length of the respective web along its main direction of extension, along which the web extends from the inner part to the outer part. The cross-sectional area can also change when viewed along the web length. For example, the cross-sectional area increases from the outer part to the inner part or vice versa.

Zusätzlich zu den Stegen kann das Innenteil auch mit Hilfe zusätzlicher Blattfedern an dem Außenteil aufgehängt sein. Die Blattfedern versteifen die Spiegelbuchse zusätzlich entlang der Mittelachse oder der dritten Raumrichtung und versteifen die Spiegelbuchse in den beiden anderen Raumrichtungen nur minimal. Die Blattfedern können gefaltet sein. Beispielsweise weist jede Blattfeder einen ersten Blattfederabschnitt und einen zweiten Blattfederabschnitt auf. Die Blattfederabschnitte sind bevorzugt zueinander geneigt. Beispielsweise können der erste Blattfederabschnitt und der zweite Blattfederabschnitt senkrecht zueinander orientiert sein.In addition to the webs, the inner part can also be suspended from the outer part with the help of additional leaf springs. The leaf springs additionally stiffen the mirror bushing along the central axis or the third spatial direction and only minimally stiffen the mirror bushing in the other two spatial directions. The leaf springs can be folded. For example, each leaf spring has a first leaf spring section and a second leaf spring section. The leaf spring sections are preferably inclined towards each other. For example, the first leaf spring section and the second leaf spring section can be oriented perpendicular to each other.

Die Stege verlaufen vorzugsweise entlang derjenigen der beiden Raumrichtungen, entlang der die größere Steifigkeit vorgesehen ist. Dies ist bevorzugt die zweite Raumrichtung oder y-Richtung. Die Stege können jedoch auch entlang der ersten Raumrichtung oder x-Richtung verlaufen. In diesem letztgenannten Fall weist die Spiegelbuchse entlang der ersten Raumrichtung oder x-Richtung betrachtet ihre größere Steifigkeit auf. Entlang der dritten Raumrichtung oder z-Richtung betrachtet weist die Spiegelbuchse bevorzugt ihre größte Steifigkeit auf. Das heißt, dass die Steifigkeit der Spiegelbuchse entlang der dritten Raumrichtung oder z-Richtung betrachtet größer als entlang der anderen beiden Raumrichtungen ist.The webs preferably run along the one of the two spatial directions along which the greater rigidity is provided. This is preferably the second spatial direction or y-direction. However, the webs can also run along the first spatial direction or x-direction. In this latter case, the mirror bushing has its greater rigidity when viewed along the first spatial direction or x-direction. When viewed along the third spatial direction or z-direction, the mirror bushing preferably has its greatest rigidity. This means that the rigidity of the mirror bushing is greater when viewed along the third spatial direction or z-direction than along the other two spatial directions.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform verlaufen die Stege entlang derjenigen Raumrichtung, entlang der betrachtet die Spiegelbuchse die größere Steifigkeit aufweist.According to a further embodiment, the webs run along the spatial direction along which the mirror bushing has the greater rigidity.

Wie zuvor erwähnt, ist dies bevorzugt die zweite Raumrichtung oder y-Richtung. Die Stege können dabei linear entlang dieser Raumrichtung verlaufen. Die Stege können jedoch auch gekrümmt, insbesondere bogenförmig gekrümmt, sein. Vorzugsweise verlaufen die Stege entlang der zweiten Raumrichtung oder y-Richtung. Senkrecht zu den Stegen weist die Spiegelbuchse demgemäß eine geringere Steifigkeit auf als entlang der Stege betrachtet.As previously mentioned, this is preferably the second spatial direction or y-direction. The webs can run linearly along this spatial direction. However, the webs can also be curved, in particular curved in an arc shape. The webs preferably run along the second spatial direction or y-direction. Perpendicular to the webs, the mirror bushing accordingly has a lower rigidity than when viewed along the webs.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Innenteil zwischen einem ersten Steg und einem zweiten Steg angeordnet.According to a further embodiment, the inner part is arranged between a first web and a second web.

Die Anzahl der Stege ist grundsätzlich beliebig. Besonders bevorzugt sind jedoch genau zwei Stege vorgesehen, zwischen denen das Innenteil platziert ist. Die Stege können mit Hilfe von als Festkörpergelenken fungierenden Anbindungspunkten mit dem Innenteil verbunden sein. Die Stege können beispielsweise mit Hilfe von Schlitzen von dem Außenteil freigeschnitten sein. Die Schlitze können beispielsweise mit Hilfe eines Erodierverfahrens hergestellt sein.The number of webs is basically arbitrary. However, it is particularly preferred to have exactly two webs between which the inner part is placed. The webs can be connected to the inner part using connection points that act as solid joints. The webs can be cut free from the outer part using slots, for example. The slots can be produced using an erosion process, for example.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind das Außenteil, das Innenteil und die Stege einstückig, insbesondere materialeinstückig, miteinander verbunden.According to a further embodiment, the outer part, the inner part and the webs are connected to one another in one piece, in particular in one piece.

„Einstückig“ oder „einteilig“ heißt dabei insbesondere, dass das Außenteil, das Innenteil und die Stege ein gemeinsames Bauteil, nämlich die Spiegelbuchse, bilden und nicht aus unterschiedlichen Unterbauteilen zusammengesetzt sind. „Materialeinstückig“ bedeutet vorliegend, dass das Außenteil, das Innenteil und die Stege durchgehend aus demselben Material gefertigt sind. Die materialeinstückige Ausführung ist optional. Eine Umsetzung mit unterschiedlichen Materialien ist grundsätzlich auch möglich. Vorzugsweise ist die Spiegelbuchse aus einem metallischen Werkstoff gefertigt. Beispielsweise kann eine Eisen-Nickel-Legierung, insbesondere Invar, eingesetzt werden. Die Spiegelbuchse kann beispielsweise mit Hilfe eines Fräsverfahrens und/oder eines Erodierverfahrens hergestellt sein. Die Spiegelbuchse kann jedoch auch mit Hilfe eines additiven oder generativen Fertigungsverfahrens, insbesondere mit Hilfe eines 3D-Druckverfahrens, hergestellt sein.“One-piece” or “single-piece” means in particular that the outer part, the inner part and the webs form a common component, namely the mirror bushing, and are not composed of different sub-components. “One-piece material” in this case means that the outer part, the inner part and the webs are made entirely of the same material. The one-piece material design is optional. Implementation with different materials is also possible in principle. The mirror bushing is preferably made of a metallic material. For example, an iron-nickel alloy, in particular Invar, can be used. The mirror bushing can be manufactured, for example, using a milling process and/or an erosion process. However, the mirror bushing can also be manufactured using an additive or generative manufacturing process, in particular using a 3D printing process.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform verlaufen die Stege parallel zueinander und beabstandet voneinander.According to a further embodiment, the webs run parallel to each other and spaced apart from each other.

Wie zuvor erwähnt, verlaufen die Stege bevorzugt entlang der zweiten Raumrichtung oder y-Richtung. Entlang der ersten Raumrichtung oder x-Richtung betrachtet sind die Stege bevorzugt voneinander beabstandet platziert, so dass das Innenteil zwischen den Stegen platziert werden kann. Beispielsweise sind die Stege endseitig beidseits mit dem Außenteil und mittig mit dem Innenteil verbunden.As previously mentioned, the webs preferably run along the second spatial direction or y-direction. Viewed along the first spatial direction or x-direction, the webs are preferably placed at a distance from one another so that the inner part can be placed between the webs. For example, the webs are connected to the outer part on both sides at the ends and to the inner part in the middle.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind die Stege bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmt.According to a further embodiment, the webs are curved in an arc shape, in particular in a circular arc shape.

Die Stege können somit zumindest abschnittsweise um das Innenteil herum verlaufen. Die Stege können das Innenteil somit umlaufen oder umschließen. Durch die bogenförmige Geometrie der Stege ist es möglich, die Steglänge der Stege im Vergleich zu einer geraden Anordnung der Stege zu vergrößern.The webs can therefore run around the inner part, at least in sections. The webs can thus run around or enclose the inner part. The curved geometry of the webs makes it possible to increase the length of the webs compared to a straight arrangement of the webs.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weisen die Stege jeweils einen ersten Stegabschnitt und einen zweiten Stegabschnitt auf, wobei der erste Stegabschnitt und der zweite Stegabschnitt mit Hilfe von Umlenkungsabschnitten miteinander verbunden sind, so dass die Stege eine umfänglich geschlossene Geometrie aufweisen.According to a further embodiment, the webs each have a first web section and a second web section, wherein the first web section and the second web section are connected to one another by means of deflection sections, so that the webs have a circumferentially closed geometry.

Die Stegabschnitte können dabei gerade und parallel zueinander verlaufen. Alternativ können die Stegabschnitte auch bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmt sein. Auch in diesem Fall können die Stegabschnitte parallel zueinander verlaufen. Die Stegabschnitte und die Umlenkungsabschnitte bilden zusammen eine umfänglich geschlossene, insbesondere ringförmige, Geometrie. Beispielsweise sind die Stege O-förmig. Demgemäß umfasst der Begriff „ringförmig“ auch geschlossene Geometrien, die nicht kreisförmig sind. Alternativ können die Stegabschnitte und die Umlenkungsabschnitte auch derart angeordnet sein, dass die Stege eine umfänglich offene Geometrie aufweisen. In diesem Fall können die Stege beispielsweise zickzackförmig oder mäanderförmig gekrümmt sein.The web sections can run straight and parallel to one another. Alternatively, the web sections can also be curved in an arc shape, in particular in a circular arc shape. In this case, too, the web sections can run parallel to one another. The web sections and the deflection sections together form a circumferentially closed, in particular annular, geometry. For example, the webs are O-shaped. Accordingly, the term "annular" also includes closed geometries that are not circular. Alternatively, the web sections and the deflection sections can also be arranged in such a way that the webs have a circumferentially open geometry. In this case, the webs can be curved in a zigzag or meander shape, for example.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform bilden die Stege zusammen einen Ringsteg, der zumindest abschnittsweise um das Innenteil umläuft.According to a further embodiment, the webs together form an annular web which runs around the inner part at least in sections.

Das Innenteil ist innerhalb des Ringstegs platziert. Der Ringsteg kann umfänglich geschlossen sein. In diesem Fall läuft der Ringsteg vollständig um das Innenteil um. Der Ringsteg kann mit Hilfe von Anbindungspunkten mit dem Innenteil und mit Hilfe von weiteren Anbindungspunkten mit dem Außenteil verbunden sein. Die Anbindungspunkte des Innenteils und die Anbindungspunkte des Außenteils sind vorzugsweise um 90° zueinander versetzt platziert. Alternativ kann der Ringsteg auch umfänglich offen sein. In diesem Fall ist der Ringsteg beispielsweise mit Hilfe genau eines Anbindungspunkts mit dem Innenteil und mit Hilfe von zwei Anbindungspunkten mit dem Außenteil verbunden. Der Ringsteg kann kreisförmig oder auch oval mit unterschiedlich langen Hauptachsen ausgeformt sein. Demgemäß bedeutet „ringförmig“ vorliegend nicht zwingend kreisrund. So kann neben der Steglänge auch eine Kurvenform der Stege für eine Anpassung der Steifigkeit in der x-Richtung und in der y-Richtung genutzt werden. In Richtung der längeren Hauptachse wird bevorzugt eine größere Steifigkeit erzielt. Quer zu der langen Hauptachse, das heißt entlang der kurzen Hauptachse, wird bevorzugt eine kleinere Steifigkeit erzielt.The inner part is placed inside the ring web. The ring web can be closed around the circumference. In this case, the ring web runs completely around the inner part. The ring web can be connected to the inner part using connection points and to the outer part using additional connection points. The connection points of the inner part and the connection points of the outer part are preferably placed offset by 90° to one another. Alternatively, the ring web can also be open around the circumference. In this case, for example, the ring web is connected to the inner part using exactly one connection point and to the outer part using two connection points. The ring web can be circular or oval with main axes of different lengths. Accordingly, “ring-shaped” does not necessarily mean circular in this case. In addition to the web length, a curved shape of the webs can also be used to adjust the rigidity in the x-direction and in the y-direction. Greater rigidity is preferably achieved in the direction of the longer main axis. Transverse to the long main axis, i.e. along the short main axis, a smaller stiffness is preferably achieved.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weisen die Stege entlang der Mittelachse betrachtet eine Steghöhe auf, wobei die Steghöhe ausgehend von dem Außenteil in Richtung des Innenteils variabel ist.According to a further embodiment, the webs have a web height when viewed along the central axis, wherein the web height is variable starting from the outer part in the direction of the inner part.

„Variabel“ heißt hierbei insbesondere, dass sich die Steghöhe verändert, beispielsweise größer oder kleiner wird. Dies kann beispielsweise durch Einfräsungen, Abschrägungen oder dergleichen erreicht werden. Hierdurch kann die Steifigkeit der Stege angepasst werden. Dies führt dazu, dass ein bauraumbegrenzendes Volumen effizient genutzt werden kann."Variable" here means in particular that the web height changes, for example, becomes larger or smaller. This can be achieved, for example, by milling, beveling or the like. This allows the stiffness of the webs to be adjusted. This means that a volume that limits the installation space can be used efficiently.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Spiegelbuchse Bohrungen auf, durch die zum Herstellen der Spiegelbuchse ein Erodierdraht hindurchführbar ist.According to a further embodiment, the mirror bushing has bores through which an erosion wire can be passed to produce the mirror bushing.

Dies erleichtert die Herstellbarkeit der Spiegelbuchse.This makes it easier to manufacture the mirror bushing.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Spiegelbuchse aus einem amagnetischen Werkstoff, insbesondere aus Molybdän, gefertigt.According to a further embodiment, the mirror bushing is made of a non-magnetic material, in particular molybdenum.

Das ermöglicht den Einsatz der Spiegelbuchse auch in Magnetfeldern. Ausschlaggebend sind hierbei Magnetostriktionseffekte, die zu einer Deformation des Werkstoffs der Spiegelbuchse bei einer Magnetfeldänderung führen können. Insbesondere kann eine molybdänhaltige Legierung eingesetzt werden. Der Begriff „amagnetisch“ kann durch den Begriff „nichtmagnetisch“ ersetzt werden. Alternativ kann die Spiegelbuchse beispielsweise auch aus einer Eisen-Nickel-Legierung, insbesondere aus Invar, gefertigt sein.This allows the mirror bushing to be used in magnetic fields. The decisive factor here is magnetostriction effects, which can lead to a deformation of the material of the mirror bushing when the magnetic field changes. In particular, an alloy containing molybdenum can be used. The term "amagnetic" can be replaced by the term "non-magnetic". Alternatively, the mirror bushing can also be made from an iron-nickel alloy, particularly Invar.

Ferner wird ein optisches Systems für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das optische System umfasst ein optisches Element, eine Tragstruktur zum Tragen des optischen Elements und zumindest eine derartige Spiegelbuchse, wobei das optische Element mit Hilfe der zumindest einen Spiegelbuchse mit der Tragstruktur verbunden ist.Furthermore, an optical system for a projection exposure system is proposed. The optical system comprises an optical element, a support structure for supporting the optical element and at least one such mirror socket, wherein the optical element is connected to the support structure by means of the at least one mirror bushing.

Das optische System kann eine beliebige Anzahl an optischen Elementen und/oder Spiegelbuchsen aufweisen. Das optische System kann eine Projektionsoptik oder Teil einer derartigen Projektionsoptik sein. Daher kann das optische System auch als Projektionsoptik bezeichnet werden. Das optische System kann jedoch auch ein Beleuchtungssystem oder Teil eines derartigen Beleuchtungssystems sein. Daher kann das optische System alternativ auch als Beleuchtungssystem bezeichnet werden. Nachfolgend wird jedoch davon ausgegangen, dass das optische System eine Projektionsoptik oder Teil einer Projektionsoptik ist. Das optische System ist für die EUV-Lithographie geeignet. Das optische System kann jedoch auch für die DUV-Lithographie geeignet sein.The optical system can have any number of optical elements and/or mirror sockets. The optical system can be a projection optics or part of such a projection optics. Therefore, the optical system can also be referred to as a projection optics. However, the optical system can also be an illumination system or part of such an illumination system. Therefore, the optical system can alternatively be referred to as an illumination system. However, it is assumed below that the optical system is a projection optics or part of a projection optics. The optical system is suitable for EUV lithography. However, the optical system can also be suitable for DUV lithography.

Wie zuvor erwähnt, ist das optische Element ein Spiegel, insbesondere ein EUV-Spiegel. Die Tragstruktur kann ein wie zuvor erwähnter Tragrahmen sein. Dass die Tragstruktur das optische Element „trägt“, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die Tragstruktur eine Gewichtskraft des optischen Elements aufnehmen kann. Somit kann beispielsweise eine Gewichtskraft des optischen Elements über die Spiegelbuchse auf die Tragstruktur übertragen werden. Die Spiegelbuchse hat bevorzugt die Aufgabe, das optische Element mechanisch von der Tragstruktur zu entkoppeln, so dass an der Spiegelbuchse keine parasitären Kräfte in das optische Element eingebracht werden, die beispielsweise zu einer unerwünschten Deformation des optischen Elements führen könnten.As previously mentioned, the optical element is a mirror, in particular an EUV mirror. The support structure can be a support frame as previously mentioned. The fact that the support structure "supports" the optical element means in this case in particular that the support structure can absorb a weight of the optical element. Thus, for example, a weight of the optical element can be transferred to the support structure via the mirror bushing. The mirror bushing preferably has the task of mechanically decoupling the optical element from the support structure so that no parasitic forces are introduced into the optical element at the mirror bushing, which could, for example, lead to an undesirable deformation of the optical element.

Vorzugsweise sind dem optischen Element mehrere Spiegelbuchsen zugeordnet. Die Spiegelbuchsen koppeln das optische Element an die Tragstruktur. Das optische Element weist sechs Freiheitsgrade, nämlich drei translatorische Freiheitsgrade jeweils entlang der ersten Raumrichtung oder x-Richtung, der zweiten Raumrichtung oder y-Richtung und der dritten Raumrichtung oder z-Richtung sowie drei rotatorische Freiheitsgrade jeweils um die drei Raumrichtungen auf. Das heißt, eine Position und eine Orientierung des optischen Elements können mit Hilfe der sechs Freiheitsgrade bestimmt oder beschrieben werden.Preferably, several mirror bushings are assigned to the optical element. The mirror bushings couple the optical element to the support structure. The optical element has six degrees of freedom, namely three translational degrees of freedom along the first spatial direction or x-direction, the second spatial direction or y-direction and the third spatial direction or z-direction, as well as three rotational degrees of freedom around the three spatial directions. This means that a position and an orientation of the optical element can be determined or described using the six degrees of freedom.

Unter der „Position“ des optischen Elements sind insbesondere dessen Koordinaten bezüglich der x-Richtung, der y-Richtung und der z-Richtung zu verstehen. Unter der „Orientierung“ des optischen Elements ist insbesondere dessen Verkippung bezüglich der drei Raumrichtungen zu verstehen. Das heißt, das optische Element kann um die x-Richtung, die y-Richtung und/oder die z-Richtung verkippt werden. Hiermit ergeben sich sechs Freiheitsgrade für die Position und Orientierung des optischen Elements.The "position" of the optical element refers in particular to its coordinates in relation to the x-direction, the y-direction and the z-direction. The "orientation" of the optical element refers in particular to its tilting in relation to the three spatial directions. This means that the optical element can be tilted in the x-direction, the y-direction and/or the z-direction. This results in six degrees of freedom for the position and orientation of the optical element.

Eine „Lage“ des optischen Elements umfasst dessen Position als auch dessen Orientierung. Der Begriff „Lage“ ist demgemäß durch die Formulierung „Position und Orientierung“ und umgekehrt ersetzbar. Unter einem „Justieren“ oder „Ausrichten“ des optischen Elements ist vorliegend insbesondere ein Verändern der Lage des optischen Elements zu verstehen. Die Justierung oder Ausrichtung des optischen Elements kann vorzugsweise in mehreren oder allen der sechs vorgenannten Freiheitsgraden erfolgen. Beispielsweise können an den Spiegelbuchsen Unterlegelemente, beispielsweise in Form von Unterlegscheiben, untergelegt werden, um die Lage des optischen Elements zu justieren.A "position" of the optical element includes its position as well as its orientation. The term "position" can therefore be replaced by the wording "position and orientation" and vice versa. "Adjusting" or "aligning" the optical element in this case is understood to mean in particular changing the position of the optical element. The adjustment or alignment of the optical element can preferably be carried out in several or all of the six aforementioned degrees of freedom. For example, shims, for example in the form of washers, can be placed on the mirror bushings in order to adjust the position of the optical element.

Gemäß einer Ausführungsform weist das optische System ferner drei Spiegelbuchsen auf, wobei das optische Element sechs Freiheitsgrade aufweist, und wobei jeder Spiegelbuchse genau zwei der Freiheitsgrade zugeordnet sind.According to one embodiment, the optical system further comprises three mirror sockets, wherein the optical element has six degrees of freedom, and wherein each mirror socket is assigned exactly two of the degrees of freedom.

Insbesondere weist jede Spiegelbuchse in den der jeweiligen Spiegelbuchse zugeordneten beiden Freiheitsgraden eine große Steifigkeit auf und in den vier weiteren Freiheitsgraden eine geringere Steifigkeit. Dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich. Beispielsweise können auch einer Spiegelbuchse drei Freiheitsgrade, einer weiteren Spiegelbuchse zwei Freiheitsgrade und einer weiteren Spiegelbuchse kann ein Freiheitsgrad zugeordnet sein. Die drei Spiegelbuchsen sind vorzugsweise auf Ecken eines gedachten und von den drei Spiegelbuchsen gebildeten Dreiecks platziert.In particular, each mirror bushing has a high degree of rigidity in the two degrees of freedom assigned to the respective mirror bushing and a lower degree of rigidity in the four other degrees of freedom. However, this is not absolutely necessary. For example, one mirror bushing can be assigned three degrees of freedom, another mirror bushing two degrees of freedom and another mirror bushing one degree of freedom. The three mirror bushings are preferably placed on corners of an imaginary triangle formed by the three mirror bushings.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist jede der drei Spiegelbuchsen eine von der Mittelachse und derjenigen Raumrichtung, entlang der betrachtet die Spiegelbuchse die kleinere Steifigkeit aufweist, aufgespannte Ebene auf, wobei die drei Spiegelbuchsen derart angeordnet sind, dass die Ebenen einander in einer gemeinsamen Schnittlinie schneiden.According to a further embodiment, each of the three mirror bushings has a plane spanned by the central axis and the spatial direction along which the mirror bushing has the smaller rigidity, wherein the three mirror bushings are arranged such that the planes intersect one another in a common intersection line.

Die Ebene wird insbesondere von der Mittelachse beziehungsweise der dritten Raumrichtung oder z-Richtung und der ersten Raumrichtung oder x-Richtung aufgespannt. Somit weist die Spiegelbuchse senkrecht zu dieser Ebene, also entlang der zweiten Raumrichtung oder y-Richtung betrachtet, ihre größte Steifigkeit auf. Bevorzugt sind die drei Spiegelbuchsen derart angeordnet, dass ihre lateral weiche Richtung jeweils radial in Richtung einer Mitte des optischen Elements weist und ihre lateral steife Richtung senkrecht dazu orientiert ist. Die Schnittlinie liegt insbesondere in der Mitte des optischen Elements.The plane is spanned in particular by the central axis or the third spatial direction or z-direction and the first spatial direction or x-direction. The mirror bushing therefore has its greatest rigidity perpendicular to this plane, i.e. viewed along the second spatial direction or y-direction. The three mirror bushings are preferably arranged in such a way that their laterally soft direction points radially towards a center of the optical element and their laterally stiff direction is oriented perpendicular to it. The intersection line is in particular in the center of the optical element.

Weiterhin wird eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Spiegelbuchse und/oder einem derartigen optischen System vorgeschlagen.Furthermore, a projection exposure system with such a mirror socket and/or such an optical system is proposed.

Das optische System ist bevorzugt eine Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage. Das optische System kann jedoch auch ein Beleuchtungssystem sein. Die Projektionsbelichtungsanlage kann eine EUV-Lithographieanlage sein. EUV steht für „Extreme Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Die Projektionsbelichtungsanlage kann auch eine DUV-Lithographieanlage sein. DUV steht für „Deep Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm.The optical system is preferably a projection optics of the projection exposure system. However, the optical system can also be an illumination system. The projection exposure system can be an EUV lithography system. EUV stands for "Extreme Ultraviolet" and refers to a wavelength of the working light between 0.1 nm and 30 nm. The projection exposure system can also be a DUV lithography system. DUV stands for "Deep Ultraviolet" and refers to a wavelength of the working light between 30 nm and 250 nm.

„Ein“ ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.In this case, "one" is not necessarily to be understood as being limited to just one element. Rather, several elements, such as two, three or more, can also be provided. Any other counting word used here should not be understood as meaning that there is a limitation to the exact number of elements mentioned. Rather, numerical deviations upwards and downwards are possible, unless otherwise stated.

Die für die Spiegelbuchse beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für das vorgeschlagene optische System und/oder die vorgeschlagene Projektionsbelichtungsanlage entsprechend und umgekehrt.The embodiments and features described for the mirror socket apply accordingly to the proposed optical system and/or the proposed projection exposure system and vice versa.

Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.Further possible implementations of the invention also include combinations of features or embodiments described above or below with respect to the exemplary embodiments that are not explicitly mentioned. The person skilled in the art will also add individual aspects as improvements or additions to the respective basic form of the invention.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

1 zeigt einen schematischen Meridionalschnitt einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie;
2 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines optischen Systems für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß 1;
3 zeigt eine schematische Aufsicht des optischen Systems gemäß 2;
4 zeigt eine schematische Aufsicht einer Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
5 zeigt die Schnittansicht V-V gemäß 4;
6 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
7 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 6.;
8 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
9 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 6;
10 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
11 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 10;
12 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
13 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 12;
14 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
15 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 14;
16 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
17 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 16;
18 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
19 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 18;
20 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
21 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 20;
22 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
23 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 22;
24 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
25 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 24;
26 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
27 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 26;
28 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
29 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 28;
30 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2;
31 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 30;
32 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse für das optische System gemäß 2; und
33 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse gemäß 32;

Further advantageous embodiments and aspects of the invention are the subject of the dependent claims and the embodiments of the invention described below. The invention is explained in more detail below using preferred embodiments with reference to the attached figures.

1 shows a schematic meridional section of a projection exposure system for EUV projection lithography;
2 shows a schematic view of an embodiment of an optical system for the projection exposure apparatus according to 1 ;
3 shows a schematic plan view of the optical system according to 2 ;
4 shows a schematic plan view of an embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
5 shows the sectional view VV according to 4 ;
6 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
7 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 6 .;
8th shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
9 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 6 ;
10 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
11 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 10 ;
12 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
13 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 12 ;
14 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
15 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 14 ;
16 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
17 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 16 ;
18 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
19 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 18 ;
20 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
21 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 20 ;
22 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
23 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 22 ;
24 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
25 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 24 ;
26 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
27 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 26 ;
28 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
29 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 28 ;
30 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ;
31 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 30 ;
32 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror socket for the optical system according to 2 ; and
33 shows a schematic rear view of the mirror socket according to 32 ;

In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.In the figures, identical or functionally equivalent elements have been given the same reference symbols unless otherwise stated. It should also be noted that the representations in the figures are not necessarily to scale.

1 zeigt eine Ausführungsform einer Projektionsbelichtungsanlage 1 (Lithographieanlage), insbesondere einer EUV-Lithographieanlage. Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Licht- beziehungsweise Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem 2 separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem 2 die Lichtquelle 3 nicht. 1 shows an embodiment of a projection exposure system 1 (lithography system), in particular an EUV lithography system. An embodiment of an illumination system 2 of the projection exposure system 1 has, in addition to a light or radiation source 3, an illumination optics 4 for illuminating an object field 5 in an object plane 6. In an alternative embodiment, the light source 3 can also be provided as a separate module from the rest of the illumination system 2. In this case, the illumination system 2 does not comprise the light source 3.

Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9, insbesondere in einer Scanrichtung, verlagerbar.A reticle 7 arranged in the object field 5 is exposed. The reticle 7 is held by a reticle holder 8. The reticle holder 8 can be displaced via a reticle displacement drive 9, in particular in a scanning direction.

In der 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches Koordinatensystem mit einer x-Richtung x, einer y-Richtung y und einer z-Richtung z eingezeichnet. Die x-Richtung x verläuft senkrecht in die Zeichenebene hinein. Die y-Richtung y verläuft horizontal und die z-Richtung z verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der 1 längs der y-Richtung y. Die z-Richtung z verläuft senkrecht zur Objektebene 6.In the 1 For explanation, a Cartesian coordinate system with an x-direction x, a y-direction y and a z-direction z is drawn. The x-direction x runs perpendicularly into the drawing plane. The y-direction y runs horizontally and the z-direction z runs vertically. The scanning direction runs in the 1 along the y-direction y. The z-direction z is perpendicular to the object plane 6.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.The projection exposure system 1 comprises a projection optics 10. The projection optics 10 serves to image the object field 5 into an image field 11 in an image plane 12. The image plane 12 runs parallel to the object plane 6. Alternatively, an angle other than 0° between the object plane 6 and the image plane 12 is also possible.

Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung y verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.A structure on the reticle 7 is imaged onto a light-sensitive layer of a wafer 13 arranged in the area of the image field 11 in the image plane 12. The wafer 13 is held by a wafer holder 14. The wafer holder 14 can be displaced via a wafer displacement drive 15, in particular along the y-direction y. The displacement of the reticle 7 on the one hand via the reticle displacement drive 9 and the wafer 13 on the other hand via the wafer displacement drive 15 can be synchronized with one another.

Bei der Lichtquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Lichtquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung 16 hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Engl.: Laser Produced Plasma, mit Hilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Engl.: Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Engl.: Free-Electron-Laser, FEL) handeln.The light source 3 is an EUV radiation source. The light source 3 emits in particular EUV radiation 16, which is also referred to below as useful radiation, illumination radiation or illumination light. The useful radiation 16 has in particular a wavelength in the range between 5 nm and 30 nm. The light source 3 can be a plasma source, for example an LPP source (Laser Produced Plasma, plasma generated with the aid of a laser) or a DPP source (Gas Discharged Produced Plasma, plasma generated by means of gas discharge). It can also be a synchrotron-based radiation source. The light source 3 can be a free-electron laser (FEL).

Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Lichtquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Engl.: Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Engl.: Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.The illumination radiation 16 that emanates from the light source 3 is bundled by a collector 17. The collector 17 can be a collector with one or more ellipsoidal and/or hyperboloidal reflection surfaces. The at least one reflection surface of the collector 17 can be exposed to the illumination radiation 16 in grazing incidence (GI), i.e. with angles of incidence greater than 45°, or in normal incidence (NI), i.e. with angles of incidence less than 45°. The collector 17 can be structured and/or coated on the one hand to optimize its reflectivity for the useful radiation and on the other hand to suppress stray light.

Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Lichtquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.After the collector 17, the illumination radiation 16 propagates through an intermediate focus in an intermediate focal plane 18. The intermediate focal plane 18 can represent a separation between a radiation source module, comprising the light source 3 and the collector 17, and the illumination optics 4.

Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche auch als Feldfacetten bezeichnet werden können. Von diesen ersten Facetten 21 sind in der 1 nur beispielhaft einige dargestellt.The illumination optics 4 comprise a deflection mirror 19 and a first facet mirror 20 arranged downstream of this in the beam path. The deflection mirror 19 can be a flat deflection mirror or alternatively a mirror with a beam-influencing effect beyond the pure deflection effect. Alternatively or additionally, the deflection mirror 19 can be designed as a spectral filter which separates a useful light wavelength of the illumination radiation 16 from false light of a different wavelength. If the first facet mirror 20 is arranged in a plane of the illumination optics 4 which is optically conjugated to the object plane 6 as a field plane, it is also referred to as a field facet mirror. The first facet mirror 20 comprises a plurality of individual first facets 21, which can also be referred to as field facets. Of these first facets 21, only one is shown in the 1 only a few examples are shown.

Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.The first facets 21 can be designed as macroscopic facets, in particular as rectangular facets or as facets with an arcuate or partially circular edge contour. The first facets 21 can be designed as flat facets or alternatively as convex or concave curved facets.

Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 A1 bekannt ist, können die ersten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.As for example from the EN 10 2008 009 600 A1 As is known, the first facets 21 themselves can also be composed of a plurality of individual mirrors, in particular a plurality of micromirrors. The first facet mirror 20 can in particular be designed as a microelectromechanical system (MEMS system). For details, please refer to the EN 10 2008 009 600 A1 referred to.

Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung y.Between the collector 17 and the deflection mirror 19, the illumination radiation 16 runs horizontally, i.e. along the y-direction y.

Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 A1 , der EP 1 614 008 B1 und der US 6,573,978 .In the beam path of the illumination optics 4, a second facet mirror 22 is arranged downstream of the first facet mirror 20. If the second facet mirror 22 is arranged in a pupil plane of the illumination optics 4, it is also referred to as a pupil facet mirror. The second facet mirror 22 can also be arranged at a distance from a pupil plane of the illumination optics 4. In this case, the combination of the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22 is also referred to as a specular reflector. Specular reflectors are known from the US 2006/0132747 A1 , the EP 1 614 008 B1 and the US$6,573,978 .

Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.The second facet mirror 22 comprises a plurality of second facets 23. In the case of a pupil facet mirror, the second facets 23 are also referred to as pupil facets.

Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.The second facets 23 can also be macroscopic facets, which can be round, rectangular or hexagonal, for example, or alternatively facets composed of micromirrors. In this regard, reference is also made to the EN 10 2008 009 600 A1 referred to.

Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.The second facets 23 can have planar or alternatively convex or concave curved reflection surfaces.

Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Engl.: Fly's Eye Integrator) bezeichnet.The illumination optics 4 thus form a double-faceted system. This basic principle is also known as a fly's eye integrator.

Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der zweite Facettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 A1 beschrieben ist.It may be advantageous not to arrange the second facet mirror 22 exactly in a plane that is optically conjugated to a pupil plane of the projection optics 10. In particular, the second facet mirror 22 can be arranged tilted relative to a pupil plane of the projection optics 10, as is the case, for example, in the EN 10 2017 220 586 A1 described.

Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.With the help of the second facet mirror 22, the individual first facets 21 are imaged in the object field 5. The second facet mirror 22 is the last bundle-forming or actually the last mirror for the illumination radiation 16 in the beam path in front of the object field 5.

Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel, Grazing Incidence Spiegel) umfassen.In a further embodiment of the illumination optics 4 (not shown), a transmission optics can be arranged in the beam path between the second facet mirror 22 and the object field 5, which contributes in particular to the imaging of the first facets 21 in the object field 5. The transmission optics can have exactly one mirror, but alternatively also two or more mirrors, which are arranged one behind the other in the beam path of the illumination optics 4. The transmission optics can in particular comprise one or two mirrors for vertical incidence (NI mirrors, normal incidence mirrors) and/or one or two mirrors for grazing incidence (GI mirrors, grazing incidence mirrors).

Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.The illumination optics 4 has in the version shown in the 1 As shown, after the collector 17 there are exactly three mirrors, namely the deflection mirror 19, the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22.

Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.In a further embodiment of the illumination optics 4, the deflection mirror 19 can also be omitted, so that the illumination optics 4 can then have exactly two mirrors after the collector 17, namely the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22.

Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.The imaging of the first facets 21 by means of the second facets 23 or with the second facets 23 and a transmission optics into the object plane 6 is usually only an approximate imaging.

Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.The projection optics 10 comprises a plurality of mirrors Mi, which are numbered according to their arrangement in the beam path of the projection exposure system 1.

Bei dem in der 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel M1 bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,5 und die auch größer sein kann als 0,6 und die beispielsweise 0,7 oder 0,75 betragen kann.In the 1 In the example shown, the projection optics 10 comprises six mirrors M1 to M6. Alternatives with four, eight, ten, twelve or another number of mirrors Mi are also possible. The projection optics 10 is a double-obscured optics. The penultimate mirror M5 and the last mirror M6 each have a passage opening for the illumination radiation 16. The projection optics 10 has a numerical aperture on the image side that is greater than 0.5 and can also be greater than 0.6 and can be, for example, 0.7 or 0.75.

Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hochreflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.Reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as free-form surfaces without a rotational symmetry axis. Alternatively, the reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as aspherical surfaces with exactly one rotational symmetry axis of the reflection surface shape. The mirrors Mi, just like the mirrors of the illumination optics 4, can have highly reflective coatings for the illumination radiation 16. These coatings can be designed as multilayer coatings, in particular with alternating layers of molybdenum and silicon.

Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung y zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y-Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung y kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.The projection optics 10 have a large object-image offset in the y-direction y between a y-coordinate of a center of the object field 5 and a y-coordinate of the center of the image field 11. This object-image offset in the y-direction y can be approximately as large as a z-distance between the object plane 6 and the image plane 12.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe βx, βy in x- und y-Richtung x, y auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe βx, βy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (βx, βy) = (+/- 0,25, +/- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.The projection optics 10 can in particular be anamorphic. In particular, it has different image scales βx, βy in the x and y directions x, y. The two image scales βx, βy of the projection optics 10 are preferably (βx, βy) = (+/- 0.25, +/- 0.125). A positive image scale β means an image without image inversion. A negative sign for the image scale β means an image with image inversion.

Die Projektionsoptik 10 führt somit in x-Richtung x, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4:1.The projection optics 10 thus leads to a reduction in the ratio 4:1 in the x-direction x, i.e. in the direction perpendicular to the scanning direction.

Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung y, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8:1.The projection optics 10 leads to a reduction of 8:1 in the y-direction y, i.e. in the scanning direction.

Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung x, y, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.Other image scales are also possible. Image scales with the same sign and absolutely the same in the x and y directions x, y, for example with absolute values of 0.125 or 0.25, are also possible.

Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung x, y im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung x, y sind bekannt aus der US 2018/0074303 A1 .The number of intermediate image planes in the x and y directions x, y in the beam path between the object field 5 and the image field 11 can be the same or can be different depending on the design of the projection optics 10. Examples of projection optics with different numbers of such intermediate images in the x and y directions x, y are known from US 2018/0074303 A1 .

Jeweils eine der zweiten Facetten 23 ist genau einer der ersten Facetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der ersten Facetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die ersten Facetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten zweiten Facetten 23.Each of the second facets 23 is assigned to exactly one of the first facets 21 to form a respective illumination channel for illuminating the object field 5. This can result in particular in illumination according to the Köhler principle. The far field is broken down into a plurality of object fields 5 using the first facets 21. The first facets 21 generate a plurality of images of the intermediate focus on the second facets 23 assigned to them.

Die ersten Facetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten zweiten Facette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.The first facets 21 are each imaged onto the reticle 7 by an associated second facet 23, superimposed on one another, to illuminate the object field 5. The illumination of the object field 5 is in particular as homogeneous as possible. It preferably has a uniformity error of less than 2%. The field uniformity can be achieved by superimposing different illumination channels.

Durch eine Anordnung der zweiten Facetten 23 kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der zweiten Facetten 23, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.By arranging the second facets 23, the illumination of the entrance pupil of the projection optics 10 can be defined geometrically. By selecting the illumination channels, in particular the subset of the second facets 23 that guide light, the intensity distribution in the entrance pupil of the projection optics 10 can be set. This intensity distribution is also referred to as the illumination setting or illumination pupil filling.

Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.A likewise preferred pupil uniformity in the area of defined illuminated sections of an illumination pupil of the illumination optics 4 can be achieved by a redistribution of the illumination channels.

Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.In the following, further aspects and details of the illumination of the object field 5 and in particular of the entrance pupil of the projection optics 10 are described.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.The projection optics 10 can in particular have a homocentric entrance pupil. This can be accessible. It can also be inaccessible.

Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des zweiten Facettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.The entrance pupil of the projection optics 10 cannot usually be illuminated precisely with the second facet mirror 22. When the projection optics 10 images the center of the second facet mirror 22 telecentrically onto the wafer 13, the aperture rays often do not intersect at a single point. However, a surface can be found in which the pairwise determined distance of the aperture rays is minimal. This surface represents the entrance pupil or a surface conjugated to it in spatial space. In particular, this surface shows a finite curvature.

Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.It is possible that the projection optics 10 have different positions of the entrance pupil for the tangential and the sagittal beam path. In this case, an imaging element, in particular an optical component of the transmission optics, should be provided between the second facet mirror 22 and the reticle 7. With the help of this optical element, the different positions of the tangential entrance pupil and the sagittal entrance pupil can be taken into account.

Bei der in der 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der zweite Facettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 definiert ist. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.In the 1 In the arrangement of the components of the illumination optics 4 shown, the second facet mirror 22 is arranged in a surface conjugated to the entrance pupil of the projection optics 10. The first facet mirror 20 is arranged tilted to the object plane 6. The first facet mirror 20 is arranged tilted to an arrangement plane that is defined by the deflection mirror 19. The first facet mirror 20 is arranged tilted to an arrangement plane that is defined by the second facet mirror 22.

2 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines optisches Systems 100 für die Projektionsbelichtungsanlage 1. 3 zeigt eine schematische Aufsicht des optischen Systems 100. Nachfolgend wird auf die 2 und 3 gleichzeitig Bezug genommen. 2 shows a schematic view of an embodiment of an optical system 100 for the projection exposure apparatus 1. 3 shows a schematic plan view of the optical system 100. The following is the 2 and 3 simultaneously referred to.

Das optische System 100 kann eine wie zuvor erläuterte Projektionsoptik 4 oder Teil einer derartigen Projektionsoptik 4 sein. Daher kann das optische System 100 auch als Projektionsoptik bezeichnet werden. Das optische System 100 kann jedoch auch ein wie zuvor erläutertes Beleuchtungssystem 2 oder Teil eines derartigen Beleuchtungssystems 2 sein. Daher kann das optische System 100 alternativ auch als Beleuchtungssystem bezeichnet werden. Nachfolgend wird jedoch davon ausgegangen, dass das optische System 100 eine Projektionsoptik 4 oder Teil einer derartigen Projektionsoptik 4 ist. Das optische System 100 ist für die EUV-Lithographie geeignet. Das optische System 100 kann jedoch auch für die DUV-Lithographie geeignet sein.The optical system 100 can be a projection optics 4 as previously explained or part of such a projection optics 4. Therefore, the optical system 100 can also be referred to as a projection optics. However, the optical system 100 can also be an illumination system 2 as previously explained or part of such an illumination system 2. Therefore, the optical system 100 can alternatively also be referred to as an illumination system. However, it is assumed below that the optical system 100 is a projection optics 4 or part of such a projection optics 4. The optical system 100 is suitable for EUV lithography. However, the optical system 100 can also be suitable for DUV lithography.

Das optische System 100 kann mehrere optische Elemente 102 umfassen, von denen in den 2 und 3 jedoch nur eines gezeigt ist. Daher wird nachfolgend auf nur ein optisches Element 102 eingegangen. Das optische Element 102 kann einer der Spiegel M1 bis M6 sein. Insbesondere ist das optische Element 102 der Spiegel M5. Das optische Element 102 umfasst ein Substrat 104 und eine optisch wirksame Fläche 106, beispielsweise eine Spiegelfläche. Das Substrat 104 kann auch als Spiegelsubstrat bezeichnet werden. Das Substrat 104 kann Glas, Keramik, Glaskeramik oder andere geeignete Werkstoffe umfassen.The optical system 100 may comprise a plurality of optical elements 102, of which in the 2 and 3 however, only one is shown. Therefore, only one optical element 102 is discussed below. The optical element 102 can be one of the mirrors M1 to M6. In particular, the optical element 102 is the mirror M5. The optical element 102 comprises a substrate 104 and an optically effective surface 106, for example a mirror surface. The substrate 104 can also be referred to as a mirror substrate. The substrate 104 can comprise glass, ceramic, glass ceramic or other suitable materials.

Die optisch wirksame Fläche 106 ist an einer Vorderseite 108 des Substrats 104 vorgesehen. Die optisch wirksame Fläche 106 kann mit Hilfe einer auf die Vorderseite 108 aufgebrachten Beschichtung verwirklicht sein. Die optisch wirksame Fläche 106 ist eine Spiegelfläche. Die optisch wirksame Fläche 106 ist geeignet, im Betrieb des optischen Systems 100 Beleuchtungsstrahlung 16, insbesondere EUV-Strahlung, zu reflektieren. Die optisch wirksame Fläche 106 kann in der Aufsicht gemäß 3 eine ovale oder elliptische Geometrie aufweisen. Das optische Element 102 beziehungsweise das Substrat 104 kann eine dreieckförmige Geometrie aufweisen. Grundsätzlich ist die Geometrie jedoch beliebig.The optically effective surface 106 is provided on a front side 108 of the substrate 104. The optically effective surface 106 can be realized with the aid of a coating applied to the front side 108. The optically effective surface 106 is a mirror surface. The optically effective surface 106 is suitable for use in the operation of the optical system 100 illumination radiation 16, in particular EUV radiation. The optically effective surface 106 can be seen in plan view according to 3 have an oval or elliptical geometry. The optical element 102 or the substrate 104 can have a triangular geometry. In principle, however, the geometry is arbitrary.

Der optisch wirksamen Fläche 106 beziehungsweise der Vorderseite 108 abgewandt weist das optische Element 102 eine Rückseite 110 auf. Die Rückseite 110 weist keine definierten optischen Eigenschaften auf. Das heißt insbesondere, dass die Rückseite 110 keine Spiegelfläche ist und somit auch keine reflektierenden Eigenschaften aufweist.The optical element 102 has a rear side 110 facing away from the optically effective surface 106 or the front side 108. The rear side 110 has no defined optical properties. This means in particular that the rear side 110 is not a mirror surface and therefore does not have any reflective properties.

An der Rückseite 110 sind mehrere Spiegelbuchsen 112, 114, 116 vorgesehen. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 können jedoch auch auf oder an der Vorderseite 108, insbesondere neben der optisch wirksamen Fläche 106, positioniert sein. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 können Klebebuchsen sein. Es sind eine erste Spiegelbuchse 112, eine zweite Spiegelbuchse 114 und eine dritte Spiegelbuchse 116 vorgesehen. Mit anderen Worten umfasst das optische Element 102 genau drei Spiegelbuchsen 112, 114, 116. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 können geometrisch identisch aufgebaut sein. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 erstrecken sich in der Orientierung der 2 unterseitig aus der Rückseite 110 heraus. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 können mit dem Substrat 104 verklebt sein. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 bilden Ecken eines gedachten Dreiecks.Several mirror bushings 112, 114, 116 are provided on the rear side 110. The mirror bushings 112, 114, 116 can, however, also be positioned on or at the front side 108, in particular next to the optically effective surface 106. The mirror bushings 112, 114, 116 can be adhesive bushings. A first mirror bushing 112, a second mirror bushing 114 and a third mirror bushing 116 are provided. In other words, the optical element 102 comprises exactly three mirror bushings 112, 114, 116. The mirror bushings 112, 114, 116 can be constructed geometrically identically. The mirror bushings 112, 114, 116 extend in the orientation of the 2 from the underside of the rear side 110. The mirror bushings 112, 114, 116 can be glued to the substrate 104. The mirror bushings 112, 114, 116 form corners of an imaginary triangle.

Das optische Element 102 beziehungsweise die optisch wirksame Fläche 106 weist sechs Freiheitsgrade, nämlich drei translatorische Freiheitsgrade jeweils entlang der ersten Raumrichtung oder x-Richtung x, der zweiten Raumrichtung oder y-Richtung y und der dritten Raumrichtung oder z-Richtung z sowie drei rotatorische Freiheitsgrade jeweils um die x-Richtung x, die y-Richtung y und die z-Richtung z auf. Das heißt, eine Position und eine Orientierung des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 können mit Hilfe der sechs Freiheitsgrade bestimmt oder beschrieben werden.The optical element 102 or the optically effective surface 106 has six degrees of freedom, namely three translational degrees of freedom along the first spatial direction or x-direction x, the second spatial direction or y-direction y and the third spatial direction or z-direction z, as well as three rotational degrees of freedom about the x-direction x, the y-direction y and the z-direction z. This means that a position and an orientation of the optical element 102 or the optically effective surface 106 can be determined or described using the six degrees of freedom.

Unter der „Position“ des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 sind insbesondere dessen beziehungsweise deren Koordinaten oder die Koordinaten eines an dem optischen Element 102 vorgesehenen Messpunkts bezüglich der x-Richtung x, der y-Richtung y und der z-Richtung z zu verstehen. Unter der „Orientierung“ des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 ist insbesondere dessen beziehungsweise deren Verkippung bezüglich der drei Richtungen x, y, z zu verstehen. Das heißt, das optische Element 102 beziehungsweise die optisch wirksame Fläche 106 kann um die x-Richtung x, die y-Richtung y und/oder die z-Richtung z verkippt werden.The “position” of the optical element 102 or the optically effective surface 106 is to be understood in particular as its coordinates or the coordinates of a measuring point provided on the optical element 102 with respect to the x-direction x, the y-direction y and the z-direction z. The “orientation” of the optical element 102 or the optically effective surface 106 is to be understood in particular as its tilt with respect to the three directions x, y, z. This means that the optical element 102 or the optically effective surface 106 can be tilted about the x-direction x, the y-direction y and/or the z-direction z.

Hiermit ergeben sich die sechs Freiheitsgrade für die Position und Orientierung des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106. Eine „Lage“ des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 umfasst sowohl dessen beziehungsweise deren Position als auch dessen beziehungsweise deren Orientierung. Der Begriff „Lage“ ist demgemäß durch die Formulierung „Position und Orientierung“ und umgekehrt ersetzbar. This results in six degrees of freedom for the position and orientation of the optical element 102 or the optically effective surface 106. A "position" of the optical element 102 or the optically effective surface 106 includes both its position and its orientation. The term "position" can therefore be replaced by the wording "position and orientation" and vice versa.

In der 2 ist mit durchgezogenen Linien eine Ist-Lage IL des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 und mit gestrichelten Linien und dem Bezugszeichen 102' beziehungsweise 106' eine Soll-Lage SL des optischen Elements 102 beziehungsweise der optisch wirksamen Fläche 106 gezeigt. Das optische Element 102 kann aus seiner Ist-Lage IL in die Soll-Lage SL und umgekehrt verbracht werden. Beispielsweise erfüllt das optische Element 102 in der Soll-Lage SL bestimmte optische Spezifikationen oder Anforderungen, die das optische Element 102 in der Ist-Lage IL nicht erfüllt.In the 2 an actual position IL of the optical element 102 or the optically effective surface 106 is shown with solid lines and a desired position SL of the optical element 102 or the optically effective surface 106 is shown with dashed lines and the reference symbol 102' or 106'. The optical element 102 can be moved from its actual position IL to the desired position SL and vice versa. For example, the optical element 102 in the desired position SL meets certain optical specifications or requirements that the optical element 102 in the actual position IL does not meet.

Um das optische Element 102 aus der Ist-Lage IL in die Soll-Lage SL zu verbringen, ist es beispielsweise möglich, das optische Element 102 an den Spiegelbuchsen 112, 114, 116 zu spacern oder im Betrieb veränderbar zu aktuieren. Unter „spacern“ ist vorliegend zu verstehen, dass an den Spiegelbuchsen 112, 114, 116 Unterlegelemente, insbesondere sogenannte Spacer, beispielsweise in der Form von Unterlegscheiben, untergelegt werden. Hierdurch ist es möglich, das optische Element 102 zu justieren oder auszurichten.In order to move the optical element 102 from the actual position IL to the target position SL, it is possible, for example, to space the optical element 102 on the mirror bushings 112, 114, 116 or to actuate it in a changeable manner during operation. In this case, “spacer” is to be understood as meaning that support elements, in particular so-called spacers, for example in the form of washers, are placed on the mirror bushings 112, 114, 116. This makes it possible to adjust or align the optical element 102.

Unter einem „Justieren“ oder „Ausrichten“ ist vorliegend insbesondere ein Verändern der Lage des optischen Elements 102 zu verstehen. Beispielsweise kann das optische Element 102 so von der Ist-Lage IL in die Soll-Lage SL verbracht werden. Die Justierung oder Ausrichtung des optischen Elements 102 kann somit in allen sechs vorgenannten Freiheitsgraden erfolgen.In this case, “adjustment” or “alignment” is to be understood in particular as a change in the position of the optical element 102. For example, the optical element 102 can be moved from the actual position IL to the target position SL. The adjustment or alignment of the optical element 102 can thus take place in all six aforementioned degrees of freedom.

Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 sind mit Hilfe von Anbindungspunkten 118, 120, 122 an eine feste Welt oder Tragstruktur 124 angebunden. Die Anbindungspunkte 118, 120, 122 können eine Schraubverbindung umfassen. Die Tragstruktur 124 kann ein Tragrahmen (Engl.: Force Frame) oder jede beliebige andere Tragstruktur sein. Jeder Spiegelbuchse 112, 114, 116 ist ein Anbindungspunkt 118, 120, 122 zugeordnet. Das heißt insbesondere, dass genau drei Anbindungspunkte 118, 120, 122 vorgesehen sind. Jedem Anbindungspunkt 118, 120, 122 können zwei der vorgenannten Freiheitsgrade zugeordnet sein. Mit Hilfe der drei Anbindungspunkte 118, 120, 122 sind somit alle sechs Freiheitsgrade des optischen Elements 102 definiert.The mirror bushings 112, 114, 116 are connected to a fixed world or support structure 124 by means of connection points 118, 120, 122. The connection points 118, 120, 122 can comprise a screw connection. The support structure 124 can be a support frame (English: force frame) or any other support structure. Each mirror bushing 112, 114, 116 is assigned a connection point 118, 120, 122. This means in particular that exactly three connection points 118, 120, 122 are provided. Each connection point 118, 120, 122 can be assigned two of the aforementioned degrees of freedom. With the help of the three connection points 118, 120, 122, all six degrees of freedom of the optical element 102 are thus defined.

Der ersten Spiegelbuchse 112 ist ein erster Anbindungspunkt 118 zugeordnet. Der zweiten Spiegelbuchse 114 ist ein zweiter Anbindungspunkt 120 zugeordnet. Der dritten Spiegelbuchse 116 ist ein dritter Anbindungspunkt 122 zugeordnet. Die Spiegelbuchsen 112, 114, 116 sind bevorzugt identisch aufgebaut. Entsprechend sind auch die Anbindungspunkte 118, 120, 122 identisch aufgebaut. Nachfolgend wird daher nur auf die erste Spiegelbuchse 112 beziehungsweise auf den ersten Anbindungspunkt 118 eingegangen, die im Folgenden einfach als Spiegelbuchse 112 beziehungsweise als Anbindungspunkt 118 bezeichnet werden. Alle nachfolgenden Ausführungen betreffend die Spiegelbuchse 112 sind auf die Spiegelbuchsen 114, 116 und umgekehrt anwendbar. Entsprechendes gilt für den Anbindungspunkt 118 und die Anbindungspunkte 120, 122.The first mirror bushing 112 is assigned a first connection point 118. The second mirror bushing 114 is assigned a second connection point 120. The third mirror bushing 116 is assigned a third connection point 122. The mirror bushings 112, 114, 116 are preferably constructed identically. The connection points 118, 120, 122 are also constructed identically. Therefore, only the first mirror bushing 112 and the first connection point 118 are discussed below, which are referred to below simply as the mirror bushing 112 and the connection point 118. All of the following statements regarding the mirror bushing 112 are applicable to the mirror bushings 114, 116 and vice versa. The same applies to the connection point 118 and the connection points 120, 122.

Sind alle sechs Freiheitsgrade festgelegt, so ist das optische Element 102 statisch bestimmt. Jede weitere zusätzliche Festlegung kann zu einer Überbestimmtheit führen. Ist das optische Element 102 überbestimmt, können Kräfte und damit auch Deformationen in das optische Element 102 eingebracht werden. Dies gilt es durch eine geeignete Ausgestaltung der Spiegelbuchsen 112, 114, 116 zu vermeiden.If all six degrees of freedom are defined, the optical element 102 is statically determined. Any additional determination can lead to overdetermination. If the optical element 102 is overdetermined, forces and thus also deformations can be introduced into the optical element 102. This must be avoided by a suitable design of the mirror bushings 112, 114, 116.

4 zeigt eine schematische Aufsicht einer Ausführungsform einer wie zuvor erwähnten Spiegelbuchse 112A. 5 zeigt eine schematische Schnittansicht der Spiegelbuchse 112A gemäß der Schnittlinie V-V der 4. Nachfolgend wird auf die 4 und 5 gleichzeitig Bezug genommen. 4 shows a schematic plan view of an embodiment of a mirror sleeve 112A as previously mentioned. 5 shows a schematic sectional view of the mirror bushing 112A along the section line VV of the 4 . The following refers to the 4 and 5 simultaneously referred to.

Der Spiegelbuchse 112A ist ein Koordinatensystem umfassend die x-Richtung x, die y-Richtung y und die z-Richtung z zugeordnet. Die Spiegelbuchse 112A weist eine Symmetrie- oder Mittelachse 126 auf, zu welcher die Spiegelbuchse 112A im Wesentlichen rotationssymmetrisch aufgebaut ist. Die Spiegelbuchse 112A kann jedoch auch Interfaces oder Schnittstellen, wie beispielsweise Bohrungen oder Einfräsungen, aufweisen, die nicht rotationssymmetrisch aufgebaut sind. Die Mittelachse 126 stimmt mit der z-Richtung z überein oder ist parallel zu dieser orientiert.The mirror bushing 112A is assigned a coordinate system comprising the x-direction x, the y-direction y and the z-direction z. The mirror bushing 112A has a symmetry or central axis 126, to which the mirror bushing 112A is essentially rotationally symmetrical. However, the mirror bushing 112A can also have interfaces or interfaces, such as holes or millings, which are not rotationally symmetrical. The central axis 126 corresponds to the z-direction z or is oriented parallel to it.

Die Spiegelbuchse 112A umfasst ein Außenteil 128 und ein innerhalb des Außenteils 128 platziertes Innenteil 130. Das Außenteil 128 ist ringförmig und kann daher auch als Außenring bezeichnet werden. Das Innenteil 130 ist ringförmig und kann daher auch als Innenring bezeichnet werden. Das Außenteil 128 ist mit dem optischen Element 102 verbunden, insbesondere verklebt. Das Innenteil 130 ist mit dem Anbindungspunkt 118 verbunden, beispielsweise verschraubt und/oder verklemmt. Das Innenteil 130 kann Teil des Anbindungspunkts 118 sein. Entlang der z-Richtung z betrachtet weist die Spiegelbuchse 112A eine größere Steifigkeit als entlang der Richtungen x, y auf.The mirror bushing 112A comprises an outer part 128 and an inner part 130 placed inside the outer part 128. The outer part 128 is ring-shaped and can therefore also be referred to as an outer ring. The inner part 130 is ring-shaped and can therefore also be referred to as an inner ring. The outer part 128 is connected to the optical element 102, in particular glued. The inner part 130 is connected to the connection point 118, for example screwed and/or clamped. The inner part 130 can be part of the connection point 118. Viewed along the z-direction z, the mirror bushing 112A has a greater rigidity than along the directions x, y.

Die x-Richtung x und die z-Richtung z beziehungsweise die x-Richtung x und die Mittelachse 126 spannen eine erste Ebene E1 auf. Die y-Richtung y und die z-Richtung z beziehungsweise die y-Richtung y und die Mittelachse 126 spannen eine zweite Ebene E2 auf. Die Spiegelbuchse 112A ist jeweils spiegelsymmetrisch zu der ersten Ebene E1 und der zweiten Ebene E2 aufgebaut. Die Ebenen E1, E2 schneiden einander in der Mittelachse 126. Die Ebenen E1, E2 sind senkrecht zueinander orientiert.The x-direction x and the z-direction z or the x-direction x and the central axis 126 span a first plane E1. The y-direction y and the z-direction z or the y-direction y and the central axis 126 span a second plane E2. The mirror bushing 112A is constructed mirror-symmetrically to the first plane E1 and the second plane E2. The planes E1, E2 intersect each other in the central axis 126. The planes E1, E2 are oriented perpendicular to each other.

Wie die 3 zeigt, sind die drei Spiegelbuchsen 112, 114, 116 derart platziert, dass die drei ersten Ebenen E1 einander in einer gemeinsamen Schnittgeraden oder Schnittlinie G schneiden. Die Schnittlinie G verläuft parallel zu der z-Richtung z oder stimmt mit dieser überein. Die Schnittlinie G schneidet die optisch wirksame Fläche 106.As the 3 shows, the three mirror bushings 112, 114, 116 are positioned such that the three first planes E1 intersect each other in a common intersection line or intersection line G. The intersection line G runs parallel to the z-direction z or coincides with it. The intersection line G intersects the optically effective surface 106.

Nun zurückkehrend zu den 4 und 5 ist das Außenteil 128 mit Hilfe von Stegen 132, 134 mit dem Innenteil 130 verbunden. Es sind ein erster Steg 132 und ein zweiter Steg 134 vorgesehen. Das Außenteil 128, das Innenteil 130 und die Stege 132, 134 können einstückig, insbesondere materialeinstückig, ausgebildet sein. „Einstückig“ oder „einteilig“ heißt dabei insbesondere, dass das Außenteil 128, das Innenteil 130 und die Stege 132, 134 ein gemeinsames Bauteil, nämlich die Spiegelbuchse 112A, bilden und nicht aus unterschiedlichen Unterbauteilen zusammengesetzt sind. „Materialeinstückig“ bedeutet vorliegend, dass das Außenteil 128, das Innenteil 130 und die Stege 132, 134 durchgehend aus demselben Material gefertigt sind.Now returning to the 4 and 5 the outer part 128 is connected to the inner part 130 by means of webs 132, 134. A first web 132 and a second web 134 are provided. The outer part 128, the inner part 130 and the webs 132, 134 can be formed in one piece, in particular from one piece of material. “One piece” or “one-piece” means in particular that the outer part 128, the inner part 130 and the webs 132, 134 form a common component, namely the mirror bushing 112A, and are not composed of different sub-components. “One piece of material” in this case means that the outer part 128, the inner part 130 and the webs 132, 134 are made entirely from the same material.

Die Stege 132, 134 verlaufen entlang der y-Richtung y. Hierdurch weist die Spiegelbuchse 112A entlang der y-Richtung y betrachtet eine größere Steifigkeit als entlang der x-Richtung x betrachtet auf. Unter der „Steifigkeit“ ist vorliegend der Widerstand eines Körpers, nämlich der Spiegelbuchse 112A, gegen eine durch äußere Belastung aufgeprägte elastische Verformung zu verstehen und vermittelt den Zusammenhang zwischen der Belastung des Körpers und dessen Verformung. Die Steifigkeit wird bestimmt durch den Werkstoff des Körpers und dessen Geometrie. Durch eine Veränderung einer Geometrie der Stege 132, 134 lässt sich so die Steifigkeit der Spiegelbuchse 112A beeinflussen.The webs 132, 134 run along the y-direction y. As a result, the mirror bushing 112A has a greater rigidity when viewed along the y-direction y than when viewed along the x-direction x. In this case, “rigidity” is to be understood as the resistance of a body, namely the mirror bushing 112A, to an elastic deformation imposed by external loading and conveys the connection between the loading of the body and its deformation. The rigidity is determined by the material of the body and its geometry. The rigidity of the mirror bushing 112A can be influenced by changing the geometry of the webs 132, 134.

Der Kraftfluss verläuft dabei von dem Innenteil 130 über die Stege 132, 134 zu dem Außenteil 128 oder andersrum, wobei die Verformung der Stege 132, 134 maßgeblich die Steifigkeit definiert. Die Krafteinleitung erfolgt dabei bevorzugt an dem Innenteil 130, wobei das Außenteil 128 mit dem optischen Element 102 verbunden ist. Die Krafteinleitung kann auch umgekehrt an dem Außenteil 128 erfolgen, wobei in diesem Fall das Innenteil 130 mit dem optischen Element 102 verbunden ist.The force flow runs from the inner part 130 via the webs 132, 134 to the outer part 128 or vice versa, with the deformation of the webs 132, 134 defining the rigidity to a large extent. The force is preferably introduced at the inner part 130, with the outer part 128 being connected to the optical element 102. The force can also be introduced conversely at the outer part 128, in which case the inner part 130 is connected to the optical element 102.

Das Innenteil 130 weist einen mittigen Durchbruch 136, beispielsweise in Form einer kreisrunden Bohrung, auf. Das Innenteil 130 kann Schnittstellen, beispielsweise in Form des Durchbruchs 136, zur Umgebung aufweisen. Der Durchbruch 136 kann kreisringförmig sein. Als Schnittstellen sind jedoch auch Gewindebohrungen, Klebeanbindungen oder dergleichen möglich. Zwischen dem Außenteil 128 und dem Innenteil 130 ist ein Spalt 138 vorgesehen. Die Stege 132, 134 verlaufen durch den Spalt 138 hindurch, so dass die Stege 132, 134 den Spalt 138 überbrücken.The inner part 130 has a central opening 136, for example in the form of a circular hole. The inner part 130 can have interfaces to the environment, for example in the form of the opening 136. The opening 136 can be circular. However, threaded holes, adhesive connections or the like are also possible as interfaces. A gap 138 is provided between the outer part 128 and the inner part 130. The webs 132, 134 run through the gap 138 so that the webs 132, 134 bridge the gap 138.

Wie die 5 zeigt, weisen die Stege 132, 134 eine schraffiert dargestellte Querschnittsfläche 140 mit einer bevorzugt rechteckförmigen Geometrie auf. Die Querschnittsfläche 140 kann rechteckförmig sein und umfasst eine entlang der z-Richtung z verlaufende Steghöhe h und eine entlang der x-Richtung x verlaufende Stegbreite b. Die Steghöhe h ist größer als die Stegbreite b. Durch ein Verändern eines Verhältnisses der Steghöhe h zu der Stegbreite b kann die Steifigkeit der Stege 132, 134 verändert werden. Die Querschnittsfläche 140 kann grundsätzlich jede beliebige Geometrie aufweisen. Beispielsweise kann die Querschnittsfläche 140 auch quadratisch, trapezförmig, rund, dreieckförmig, kreuzförmig oder dergleichen sein.As the 5 shows, the webs 132, 134 have a cross-sectional area 140 shown in hatched form with a preferably rectangular geometry. The cross-sectional area 140 can be rectangular and comprises a web height h running along the z-direction z and a web width b running along the x-direction x. The web height h is greater than the web width b. The rigidity of the webs 132, 134 can be changed by changing a ratio of the web height h to the web width b. The cross-sectional area 140 can basically have any geometry. For example, the cross-sectional area 140 can also be square, trapezoidal, round, triangular, cross-shaped or the like.

Jeder Steg 132, 134 weist eine Oberseite 142, eine der Oberseite 142 abgewandte Unterseite 144 und zwei Seitenflächen 146, 148 auf. Die Stege 132, 134 sind elastisch, insbesondere federelastisch, verformbar. Das heißt, dass die Stege 132, 134 reversibel verformbar sind. „Federelastisch“ bedeutet dabei, dass die Stege 132, 134 durch das Aufbringen einer Kraft oder eines Moments von einem unverformten Zustand in einen verformten Zustand verbracht werden kann. Sobald diese Kraft oder dieses Moment nicht mehr wirkt, verbringen sich die Stege 132, 134 selbstständig aus dem verformten Zustand zurück in den unverformten Zustand.Each web 132, 134 has a top side 142, a bottom side 144 facing away from the top side 142, and two side surfaces 146, 148. The webs 132, 134 are elastically deformable, in particular spring-elastic. This means that the webs 132, 134 are reversibly deformable. "Spring-elastic" means that the webs 132, 134 can be moved from an undeformed state to a deformed state by applying a force or a moment. As soon as this force or moment is no longer effective, the webs 132, 134 move independently from the deformed state back to the undeformed state.

Die Spiegelbuchse 112A weist entlang der x-Richtung x betrachtet ihre geringste und entlang der z-Richtung z betrachtet ihre größte Steifigkeit auf. Entlang der z-Richtung z betrachtet ist die Steifigkeit größer als entlang der x-Richtung x und größer als entlang der y-Richtung y betrachtet. Dadurch, dass die Spiegelbuchse 112A entlang der x-Richtung x betrachtet weicher als entlang der y-Richtung y betrachtet ist, ist es möglich, dass eine bessere mechanische Entkopplung des optischen Elements 102 von der Tragstruktur 124 erzielt werden kann.The mirror bushing 112A has its lowest stiffness when viewed along the x-direction x and its greatest stiffness when viewed along the z-direction z. When viewed along the z-direction z, the stiffness is greater than when viewed along the x-direction x and greater than when viewed along the y-direction y. Because the mirror bushing 112A is softer when viewed along the x-direction x than when viewed along the y-direction y, it is possible to achieve better mechanical decoupling of the optical element 102 from the support structure 124.

6 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112B. 7 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112B. Im Folgenden wird auf die 6 und 7 gleichzeitig Bezug genommen. 6 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112B. 7 shows a schematic rear view of the mirror socket 112B. In the following, reference is made to the 6 and 7 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112B entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112A. Die Spiegelbuchse 112B umfasst ein Außenteil 128 sowie ein Innenteil 130, die rotationssymmetrisch zu einer Mittelachse 126 aufgebaut sind. Das Außenteil 128 weist eine dem optischen Element 102 abgewandte Vorderseite 150 und eine dem optischen Element 102 zugewandte Rückseite 152 auf.The mirror bushing 112B corresponds in its construction to that of the mirror bushing 112A. The mirror bushing 112B comprises an outer part 128 and an inner part 130, which are constructed rotationally symmetrically to a central axis 126. The outer part 128 has a front side 150 facing away from the optical element 102 and a rear side 152 facing the optical element 102.

Die Rückseite 152 ist mit dem optischen Element 102 stoffschlüssig verbunden, insbesondere verklebt. Stoffschlüssige Verbindungen sind Verbindungen, bei denen die Verbindungspartner durch atomare oder molekulare Kräfte zusammengehalten werden. Sie sind gleichzeitig nicht lösbare Verbindungen, die sich nur durch Zerstörung der Verbindungsmittel und/oder der Verbindungspartner trennen lassen.The rear side 152 is connected to the optical element 102 in a material-locking manner, in particular by adhesive bonding. Material-locking connections are connections in which the connecting partners are held together by atomic or molecular forces. At the same time, they are non-detachable connections that can only be separated by destroying the connecting means and/or the connecting partners.

An der Rückseite 152 sind mehrere Klebepads oder Klebebereiche 154 vorgesehen, von denen in der 7 nur einer mit einem Bezugszeichen versehen ist. Die Klebebereiche 154 sind gleichmäßig um die Mittelachse 126 herum verteilt angeordnet. Die Klebebereiche 154 wechseln sich mit kleberfreien Bereichen 156 ab. Das heißt, dass zwischen zwei Klebebereichen 154 ein Bereich 156 und umgekehrt angeordnet ist. Entlang der z-Richtung z betrachtet sind die Bereiche 156 gegenüber den Klebebereichen 154 zurückgesetzt. An den Klebebereichen 154 ist ein Klebstoff (nicht gezeigt), beispielsweise ein Epoxidharz oder ein Cyanacrylat, vorgesehen.On the back 152, several adhesive pads or adhesive areas 154 are provided, of which in the 7 only one is provided with a reference symbol. The adhesive areas 154 are evenly distributed around the central axis 126. The adhesive areas 154 alternate with adhesive-free areas 156. This means that an area 156 is arranged between two adhesive areas 154 and vice versa. Viewed along the z-direction z, the areas 156 are set back from the adhesive areas 154. An adhesive (not shown), for example an epoxy resin or a cyanoacrylate, is provided on the adhesive areas 154.

Das Innenteil 130 ist mit Hilfe von Stegen 132, 134 mit dem Außenteil 128 verbunden. Die Stege 132, 134 verlaufen entlang der y-Richtung y. Das Innenteil 130 ist entlang der x-Richtung x betrachtet zwischen den beiden Stegen 132, 134 platziert. Das Innenteil 130 ist mit Hilfe von stegförmigen Anbindungspunkten 158, 160 mit den Stegen 132, 134 verbunden.The inner part 130 is connected to the outer part 128 by means of webs 132, 134. The webs 132, 134 run along the y-direction y. The inner part 130 is placed between the two webs 132, 134 when viewed along the x-direction x. The inner part 130 is connected to the webs 132, 134 by means of web-shaped connection points 158, 160.

Jeder Steg 132, 134 weist mehrere Festkörpergelenke 162 auf, von denen in den 6 und 7 nur eines mit einem Bezugszeichen versehen ist. Unter einem „Festkörpergelenk“ ist vorliegend allgemein ein Bereich, beispielsweise eine Querschnittseinengung oder Ausdünnung, eines Bauteils zu verstehen, welcher eine Relativbewegung zwischen zwei Starrkörperbereichen des Bauteils durch Biegung oder Torsion ermöglicht. Die Festkörpergelenke 162 sind insbesondere als zweiseitige verrundete Einkerbungen, die an den Stegen 132, 134 angebracht sind, ausgebildet. Die Anbindungspunkte 158, 160 sind zwischen zwei Festkörpergelenken 162 platziert. Auch die Stege 132, 134 selbst fungieren als Festkörpergelenke zwischen dem Außenteil 128 und dem Innenteil 130.Each web 132, 134 has several solid joints 162, of which in the 6 and 7 only one is provided with a reference symbol. In this case, a “solid-state joint” is understood to mean general my is to be understood as an area, for example a cross-sectional constriction or thinning, of a component, which enables a relative movement between two rigid body areas of the component by bending or torsion. The solid body joints 162 are designed in particular as two-sided rounded notches that are attached to the webs 132, 134. The connection points 158, 160 are placed between two solid body joints 162. The webs 132, 134 themselves also function as solid body joints between the outer part 128 and the inner part 130.

Zum Ausrichten der Spiegelbuchse 112B weist diese eine an dem Außenteil 128 vorgesehene Nut 164 auf. Das Innenteil 130 weist eine Vorderseite 166, die parallel zu der Vorderseite 150 orientiert ist, und eine Rückseite 168 auf, die parallel zu der Rückseite 152 orientiert ist. An der Vorderseite 166 ist eine dem Durchbruch 136 zugewandte Fase 170 vorgesehen.To align the mirror bushing 112B, it has a groove 164 provided on the outer part 128. The inner part 130 has a front side 166, which is oriented parallel to the front side 150, and a rear side 168, which is oriented parallel to the rear side 152. A bevel 170 facing the opening 136 is provided on the front side 166.

8 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112C. 9 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112C. Im Folgenden wird auf die 8 und 9 gleichzeitig Bezug genommen. 8th shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112C. 9 shows a schematic rear view of the mirror socket 112C. In the following, reference is made to the 8th and 9 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112C entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112A. Die Spiegelbuchse 112C umfasst ein Außenteil 128 sowie ein Innenteil 130, die rotationssymmetrisch zu einer Mittelachse 126 aufgebaut sind. Das Außenteil 128 weist eine dem optischen Element 102 abgewandte Vorderseite 150 und eine dem optischen Element 102 zugewandte Rückseite 152 auf.The mirror bushing 112C corresponds in its construction to that of the mirror bushing 112A. The mirror bushing 112C comprises an outer part 128 and an inner part 130, which are constructed rotationally symmetrically to a central axis 126. The outer part 128 has a front side 150 facing away from the optical element 102 and a rear side 152 facing the optical element 102.

Die Rückseite 152 ist mit dem optischen Element 102 stoffschlüssig verbunden, insbesondere verklebt. An der Rückseite 152 sind mehrere Klebepads oder Klebebereiche 154 vorgesehen, von denen in der 9 nur einer mit einem Bezugszeichen versehen ist. Die Klebebereiche 154 sind gleichmäßig um die Mittelachse 126 herum verteilt angeordnet. Die Klebebereiche 154 wechseln sich mit kleberfreien Bereichen 156 ab. Das heißt, dass zwischen zwei Klebebereichen 154 ein Bereich 156 und umgekehrt angeordnet ist. Entlang der z-Richtung z betrachtet sind die Bereiche 156 gegenüber den Klebebereichen 154 zurückgesetzt.The rear side 152 is materially connected, in particular glued, to the optical element 102. Several adhesive pads or adhesive areas 154 are provided on the rear side 152, of which 9 only one is provided with a reference symbol. The adhesive areas 154 are evenly distributed around the central axis 126. The adhesive areas 154 alternate with adhesive-free areas 156. This means that an area 156 is arranged between two adhesive areas 154 and vice versa. Viewed along the z-direction z, the areas 156 are set back from the adhesive areas 154.

Die Stege 132, 134 sind mit Hilfe von Schlitzen 172, 174 von dem Außenteil 128 freigeschnitten. An den Schlitzen 172, 174 sind endseitig Bohrungen 176 vorgesehen, von denen in den 8 und 9 nur eine mit einem Bezugszeichen versehen ist. Jedem Schlitz 172, 174 sind zwei Bohrungen 176 zugeordnet. Durch die Bohrungen 176 kann ein Erodierdraht zum Erodieren der Schlitze 172, 174 hindurchgeführt werden.The webs 132, 134 are cut free from the outer part 128 by means of slots 172, 174. Holes 176 are provided at the ends of the slots 172, 174, from which 8th and 9 only one is provided with a reference symbol. Each slot 172, 174 is assigned two holes 176. An erosion wire can be passed through the holes 176 to erode the slots 172, 174.

Die Spiegelbuchse 112C weist eine an dem Außenteil 128 vorgesehene Nut 164 auf. Die Nut 164 dient in diesem Fall zur Reduzierung der Stegsteifigkeit. Das Innenteil 130 weist eine Vorderseite 166, die parallel zu der Vorderseite 150 orientiert ist, und eine Rückseite 168 auf, die parallel zu der Rückseite 152 orientiert ist. An der Vorderseite 166 ist eine dem Durchbruch 136 zugewandte Fase 170 vorgesehen. Die Vorderseite 166 ist entlang der z-Richtung z betrachtet bezüglich der Vorderseite 150 zurückgesetzt platziert.The mirror bushing 112C has a groove 164 provided on the outer part 128. The groove 164 serves in this case to reduce the web stiffness. The inner part 130 has a front side 166, which is oriented parallel to the front side 150, and a rear side 168, which is oriented parallel to the rear side 152. A bevel 170 facing the opening 136 is provided on the front side 166. The front side 166 is placed set back with respect to the front side 150, viewed along the z-direction z.

10 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112D. 11 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112D. Im Folgenden wird auf die 10 und 11 gleichzeitig Bezug genommen. 10 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112D. 11 shows a schematic rear view of the mirror socket 112D. In the following, reference is made to the 10 and 11 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112D entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112C. Die Spiegelbuchse 112D unterscheidet sich von der Spiegelbuchse 112C nur dadurch, dass die Stege 132, 134 nicht linear entlang der y-Richtung y verlaufen, sondern eine bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmige, Geometrie aufweisen. Dementsprechend sind auch die Schlitze 172, 174 bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmt.The mirror bushing 112D corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112C. The mirror bushing 112D differs from the mirror bushing 112C only in that the webs 132, 134 do not run linearly along the y-direction y, but have an arc-shaped, in particular circular-arc-shaped, geometry. Accordingly, the slots 172, 174 are also curved in an arc-shaped, in particular circular-arc-shaped, shape.

12 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112E. 13 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112E. Im Folgenden wird auf die 12 und 13 gleichzeitig Bezug genommen. 12 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112E. 13 shows a schematic rear view of the mirror socket 112E. In the following, reference is made to the 12 and 13 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112E entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112C. Die Spiegelbuchse 112E unterscheidet sich von der Spiegelbuchse 112C nur dadurch, dass die Schlitze 172, 174 keine zwei endseitigen Bohrungen 176, sondern jeweils eine mittige Bohrung 178 aufweisen. Ferner ist an dem Innenteil 130 eine Nut 180 vorgesehen.The mirror bushing 112E corresponds in its construction to that of the mirror bushing 112C. The mirror bushing 112E differs from the mirror bushing 112C only in that the slots 172, 174 do not have two end holes 176, but rather each have a central hole 178. Furthermore, a groove 180 is provided on the inner part 130.

Das Innenteil 130 ist mittig an den Stegen 132, 134 befestigt, welche an Stegenden in das Außenteil 128 auslaufen. Das Innenteil 130 ist in einer Verbindungslinie der Anbindungspunkte 158, 160 senkrecht zu den Stegen 132, 134 mit den Anbindungspunkten 158, 160 an die Stege 132, 134 weich angebunden. Die geeignete Wahl einer Drehorientierung der Spiegelbuchse 112E an dem optischen Element 102 ist abhängig von der zu erzielenden Entkopplungswirkung und der Dynamikperformance.The inner part 130 is attached centrally to the webs 132, 134, which run into the outer part 128 at the web ends. The inner part 130 is connected in a connecting line of the connection points 158, 160 perpendicular to the webs 132, 134 with the Connection points 158, 160 are softly connected to the webs 132, 134. The appropriate choice of a rotational orientation of the mirror bushing 112E on the optical element 102 depends on the decoupling effect to be achieved and the dynamic performance.

14 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112F. 15 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112F. Im Folgenden wird auf die 14 und 15 gleichzeitig Bezug genommen. 14 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112F. 15 shows a schematic rear view of the mirror socket 112F. In the following, reference is made to the 14 and 15 referred to at the same time.

Die Spiegelbuchse 112F entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112A. Die Spiegelbuchse 112F umfasst ein Außenteil 128 sowie ein Innenteil 130, die rotationssymmetrisch zu einer Mittelachse 126 aufgebaut sind. Das Außenteil 128 weist eine dem optischen Element 102 abgewandte Vorderseite 150 und eine dem optischen Element 102 zugewandte Rückseite 152 auf. Die Rückseite 152 ist mit dem optischen Element 102 stoffschlüssig verbunden, insbesondere verklebt.The mirror bushing 112F corresponds in its construction to that of the mirror bushing 112A. The mirror bushing 112F comprises an outer part 128 and an inner part 130, which are constructed rotationally symmetrically to a central axis 126. The outer part 128 has a front side 150 facing away from the optical element 102 and a rear side 152 facing the optical element 102. The rear side 152 is integrally connected to the optical element 102, in particular glued.

An der Rückseite 152 sind mehrere Klebepads oder Klebebereiche 154 vorgesehen, von denen in der 15 nur einer mit einem Bezugszeichen versehen ist. Die Klebebereiche 154 sind gleichmäßig um die Mittelachse 126 herum verteilt angeordnet. Die Klebebereiche 154 wechseln sich mit kleberfreien Bereichen 156 ab. Das heißt, dass zwischen zwei Klebebereichen 154 ein Bereich 156 und umgekehrt angeordnet ist. Entlang der z-Richtung z betrachtet sind die Bereiche 156 gegenüber den Klebebereichen 154 zurückgesetzt.On the back 152, several adhesive pads or adhesive areas 154 are provided, of which in the 15 only one is provided with a reference symbol. The adhesive areas 154 are evenly distributed around the central axis 126. The adhesive areas 154 alternate with adhesive-free areas 156. This means that an area 156 is arranged between two adhesive areas 154 and vice versa. Viewed along the z-direction z, the areas 156 are set back from the adhesive areas 154.

Das Innenteil 130 ist mit Hilfe von Stegen 132, 134 mit dem Außenteil 128 verbunden. Die Stege 132, 134 verlaufen entlang der y-Richtung y. An dem Außenteil 128 sind jeweils beidseits jeden Stegs 132, 134 Schlitze 182 vorgesehen, von denen in den 14 und 15 nur einer mit einem Bezugszeichen versehen ist. Die Schlitze 182 erstrecken sich ausgehend von dem Spalt 138 radial in das Außenteil 128 hinein. Die Schlitze 182 sind beispielsweise mit Hilfe eines Erodierverfahrens hergestellt.The inner part 130 is connected to the outer part 128 by means of webs 132, 134. The webs 132, 134 run along the y-direction y. On the outer part 128, slots 182 are provided on both sides of each web 132, 134, of which 14 and 15 only one is provided with a reference number. The slots 182 extend radially from the gap 138 into the outer part 128. The slots 182 are produced, for example, by means of an erosion process.

Zum Ausrichten der Spiegelbuchse 112F weist diese eine an dem Innenteil 130 vorgesehene Nut 180 auf. Das Innenteil 130 weist eine Vorderseite 166, die parallel zu der Vorderseite 150 orientiert ist, und eine Rückseite 168 auf, die parallel zu der Rückseite 152 orientiert ist. An der Vorderseite 166 ist eine dem Durchbruch 136 zugewandte Fase 170 vorgesehen.To align the mirror bushing 112F, it has a groove 180 provided on the inner part 130. The inner part 130 has a front side 166, which is oriented parallel to the front side 150, and a rear side 168, which is oriented parallel to the rear side 152. A bevel 170 facing the opening 136 is provided on the front side 166.

Das Innenteil 130 ist mit Hilfe der zwei geraden Stege 132, 134, die entlang der y-Richtung y verlaufen an dem Außenteil 128 aufgehängt. Die Spiegelbuchse 112F ist spiegelsymmetrisch aufgebaut und relativ weich in der x-Richtung x angebunden. Über eine jeweilige Steglänge der Stege 132, 134 kann das gewünschte Absolutniveau der Steifigkeit eingestellt werden.The inner part 130 is suspended from the outer part 128 by means of the two straight webs 132, 134 that run along the y-direction y. The mirror bushing 112F is constructed in a mirror-symmetrical manner and is connected relatively softly in the x-direction x. The desired absolute level of rigidity can be set via a respective web length of the webs 132, 134.

Für eine möglichst weiche Anbindung in der x-Richtung x sind die Stege 132, 134 mit Hilfe der Schlitze 182 bis in den Randbereich des Außenteils 128 hineinerodiert. Die Stege 132, 134 sind in einem inneren Bereich, insbesondere an dem Innenteil 130, zusätzlich verstärkt, wodurch eine hohe axiale Steifigkeit entlang der z-Richtung z erreicht wird.To ensure the softest possible connection in the x-direction x, the webs 132, 134 are eroded into the edge region of the outer part 128 using the slots 182. The webs 132, 134 are additionally reinforced in an inner region, in particular on the inner part 130, whereby a high axial rigidity along the z-direction z is achieved.

16 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112G. 17 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112G. Im Folgenden wird auf die 16 und 17 gleichzeitig Bezug genommen. 16 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112G. 17 shows a schematic rear view of the mirror socket 112G. In the following, reference is made to the 16 and 17 referred to at the same time.

Die Spiegelbuchse 112G entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112E. Die Spiegelbuchse 112G unterscheidet sich von der Spiegelbuchse 112E dadurch, dass der Spalt 138 zwischen dem Innenteil 130 und dem Außenteil 128 nicht rechteckförmig, sondern zylinderförmig ist. Diese Form der Spiegelbuchse 112G ergibt sich, da der Spalt 138 seitlich durch die geraden Stege 132, 134 begrenzt wird. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112E sind bei der Spiegelbuchse 112G längere Stege 132, 134 vorgesehen, die in das Außenteil 128 auslaufen. Dadurch kann ein äquivalentes Steifigkeitsverhalten zu der Spiegelbuchse 112E bei der Verwendung eines amagnetischen Werkstoffs, wie beispielsweise Molybdän, mit einem höherem Elastizitätsmodul erzielt werden.The mirror bushing 112G corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112E. The mirror bushing 112G differs from the mirror bushing 112E in that the gap 138 between the inner part 130 and the outer part 128 is not rectangular, but cylindrical. This shape of the mirror bushing 112G arises because the gap 138 is laterally limited by the straight webs 132, 134. In contrast to the mirror bushing 112E, the mirror bushing 112G has longer webs 132, 134 that run into the outer part 128. This makes it possible to achieve equivalent rigidity to the mirror bushing 112E when using a non-magnetic material, such as molybdenum, with a higher modulus of elasticity.

Bei der Spiegelbuchse 112G ist das Innenteil 130 an zwei doppelseitig eingespannten Stegen 132, 134 mit Hilfe der Anbindungspunkte 158, 160 aufgehängt. Die Anordnung der Stege 132, 134 ist spiegelsymmetrisch und relativ weich in der x-Richtung x angebunden. Über die Steglänge der Stege 132, 134 kann das gewünschte Absolutniveau der Steifigkeit eingestellt werden. Über das Aspektverhältnis der Querschnittsfläche 140 der Stege 132, 134 wird gezielt ein hohes Verhältnis der Steifigkeit entlang der z-Richtung z und der Steifigkeit entlang der x-Richtung x eingestellt.In the mirror bushing 112G, the inner part 130 is suspended from two double-sidedly clamped webs 132, 134 using the connection points 158, 160. The arrangement of the webs 132, 134 is mirror-symmetrical and connected relatively softly in the x-direction x. The desired absolute level of rigidity can be set via the web length of the webs 132, 134. A high ratio of the rigidity along the z-direction z and the rigidity along the x-direction x is specifically set via the aspect ratio of the cross-sectional area 140 of the webs 132, 134.

Die Anbindung des Innenteils 130 an die Stege 132, 134 entlang der x-Richtung x führt zu einem geringen Kipp der Anbindungspunkte 158, 160 bei einer Belastung in x-Richtung x und damit zu einem geringen induzierten Moment um die y-Richtung y. Durch die Bohrungen 178 im mittleren Bereich der Stege 132, 134 lässt sich ein Erodierdraht zum Fertigen der Schlitze 172, 174 und somit der Stege 132, 134 einführen.The connection of the inner part 130 to the webs 132, 134 along the x-direction x leads to a slight tilting of the connection points 158, 160 under a load in the x-direction x and thus to a small induced moment about the y-direction y. An erosion wire can be inserted through the holes 178 in the middle area of the webs 132, 134 to produce the slots 172, 174 and thus the webs 132, 134.

18 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112H. 19 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112H. Im Folgenden wird auf die 18 und 19 gleichzeitig Bezug genommen. 18 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112H. 19 shows a schematic rear view of the mirror socket 112H. In the following, reference is made to the 18 and 19 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112H entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112E. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112E weist die Spiegelbuchse 112H zwei Stege 132, 134 auf, die jeweils zwei parallel zueinander verlaufende Stegabschnitte 184, 186 umfassen. Zwischen den Stegabschnitten 184, 186 ist ein Schlitz 188 vorgesehen. Es sind ein erster Stegabschnitt 184 und ein zweiter Stegabschnitt 186 vorgesehen. Die Stegabschnitte 184, 186 sind an Umlenkungsabschnitten 190, 192 miteinander verbunden, so dass die Stegabschnitte 184, 186 und die Umlenkungsabschnitte 190, 192 eine umfänglich geschlossene Geometrie bilden.The mirror bushing 112H corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112E. In contrast to the mirror bushing 112E, the mirror bushing 112H has two webs 132, 134, each of which comprises two web sections 184, 186 running parallel to one another. A slot 188 is provided between the web sections 184, 186. A first web section 184 and a second web section 186 are provided. The web sections 184, 186 are connected to one another at deflection sections 190, 192, so that the web sections 184, 186 and the deflection sections 190, 192 form a circumferentially closed geometry.

Die Stege 132, 134 sind mit Hilfe von Anbindungspunkten 158, 160 an das Innenteil 130 und mit Hilfe von Anbindungspunkten 194, 196 an das Außenteil 128 angebunden. Durch die geschlossene Ringform der Stege 132, 134 lässt sich eine große Steglänge realisieren und geringe Steifigkeiten in lateraler Richtung erzielen. Die gerade Stegform kann jedoch durch das Außenteil 128 in ihrer Ausdehnung begrenzt sein.The webs 132, 134 are connected to the inner part 130 by means of connection points 158, 160 and to the outer part 128 by means of connection points 194, 196. The closed ring shape of the webs 132, 134 allows a large web length to be achieved and low stiffness in the lateral direction to be achieved. The straight web shape can, however, be limited in its extension by the outer part 128.

20 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 1121. 21 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112I. Im Folgenden wird auf die 20 und 21 gleichzeitig Bezug genommen. 20 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 1121. 21 shows a schematic rear view of the mirror socket 112I. In the following, reference is made to the 20 and 21 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 1121 entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112H. Die Spiegelbuchse 1121 unterscheidet sich von der Spiegelbuchse 112H nur dadurch, dass die Stege 132, 134 nicht linear entlang der y-Richtung y verlaufen, sondern eine bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmige, Geometrie aufweisen. Dementsprechend sind auch die Stegabschnitte 184, 186 bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmt.The mirror bushing 1121 corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112H. The mirror bushing 1121 differs from the mirror bushing 112H only in that the webs 132, 134 do not run linearly along the y-direction y, but have an arc-shaped, in particular circular-arc-shaped, geometry. Accordingly, the web sections 184, 186 are also curved in an arc-shaped, in particular circular-arc-shaped, manner.

Der Vorteil der gebogenen Stege 132, 134 liegt in der größeren realisierbaren Steglänge ohne Kollision mit dem Außenteil 128. Die Krümmung der Stege 132, 134 hat jedoch ebenfalls Einfluss auf das Steifigkeitsverhalten, sodass bei gleicher Steglänge eine höhere Steifigkeit in der x-Richtung x erzielt wird als bei der Spiegelbuchse 112H gemäß den 18 und 19.The advantage of the curved webs 132, 134 lies in the larger web length that can be achieved without collision with the outer part 128. However, the curvature of the webs 132, 134 also influences the stiffness behavior, so that with the same web length, a higher stiffness in the x-direction x is achieved than with the mirror bushing 112H according to the 18 and 19 .

22 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112J. 23 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112J. Im Folgenden wird auf die 22 und 23 gleichzeitig Bezug genommen. 22 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112J. 23 shows a schematic rear view of the mirror socket 112J. In the following, reference is made to the 22 and 23 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112J entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112E. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112E weist die Spiegelbuchse 112J zwei bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmte Stege 132, 134 auf, die zusammen einen geschlossenen Ringsteg 198 bilden, der vollständig um das Innenteil 130 umläuft. Der Ringsteg 198 ist über zwei Anbindungspunkte 158, 160 an das Innenteil 130 angebunden. Ferner ist der Ringsteg 198 über zwei Anbindungspunkte 194, 196 an das Außenteil 128 angebunden. Die Anbindungspunkte 158, 160 und die Anbindungspunkte 194, 196 sind um 90° zueinander versetzt platziert. Zwischen dem Innenteil 130 und dem Ringsteg 198 sind Schlitze 200, 202 vorgesehen.The mirror bushing 112J corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112E. In contrast to the mirror bushing 112E, the mirror bushing 112J has two arched, in particular circular, curved webs 132, 134, which together form a closed ring web 198 that completely surrounds the inner part 130. The ring web 198 is connected to the inner part 130 via two connection points 158, 160. Furthermore, the ring web 198 is connected to the outer part 128 via two connection points 194, 196. The connection points 158, 160 and the connection points 194, 196 are placed offset by 90° from one another. Slots 200, 202 are provided between the inner part 130 and the ring web 198.

Der Ringsteg 198 ist in der Orientierung der 23 oben und unten mit Hilfe der Anbindungspunkte 194, 196 an das Außenteil 128 angebunden. Das Innenteil 130 ist in der Orientierung der 23 rechts und links an den Ringsteg 198 angebunden. Die Anbindung ist im Verhältnis zur axialen z-Richtung z lateral relativ steif.The Ringsteg 198 is in the orientation of the 23 top and bottom by means of the connection points 194, 196 to the outer part 128. The inner part 130 is in the orientation of the 23 connected to the ring web 198 on the right and left. The connection is relatively stiff in relation to the axial z-direction z lateral.

24 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112K. 25 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112K. Im Folgenden wird auf die 24 und 25 gleichzeitig Bezug genommen. 24 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112K. 25 shows a schematic rear view of the mirror socket 112K. In the following, the 24 and 25 referred to at the same time.

Die Spiegelbuchse 112K entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112J. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112J bilden die Stege 132, 134 bei der Spiegelbuchse 112K keinen geschlossenen, sondern einen offenen Ringsteg 198. Der Ringsteg 198 ist mit Hilfe eines Anbindungspunkts 158 mit dem Innenteil 130 und mit Hilfe zweier Anbindungspunkte 194, 196 mit dem Außenteil 128 verbunden. Dadurch, dass der Ringsteg 198 nicht geschlossen, sondern offen ist, ist die Steifigkeit der Anbindung sehr weich.The mirror bushing 112K corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112J. In contrast to the mirror bushing 112J, the webs 132, 134 in the mirror bushing 112K do not form a closed, but rather an open ring web 198. The ring web 198 is connected to the inner part 130 by means of a connection point 158 and to the outer part 128 by means of two connection points 194, 196. Because the ring web 198 is not closed, but rather open, the rigidity of the connection is very soft.

26 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112L. 27 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112L. Im Folgenden wird auf die 26 und 27 gleichzeitig Bezug genommen. 26 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112L. 27 shows a schematic rear view of the mirror socket 112L. In the following, the 26 and 27 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112L entspricht von ihrem Aufbau her im Wesentlichen dem Aufbau der Spiegelbuchse 112F. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112F sind bei der Spiegelbuchse 112L die Stege 132, 134 entlang der x-Richtung x betrachtet voneinander beabstandet platziert, so dass sich eine unsymmetrische Aufhängung des Innenteils 130 an dem Außenteil 128 ergibt. Das Innenteil 130 ist mit Hilfe der Stege 132, 134 einseitig an das Außenteil 128 angebunden.The mirror bushing 112L is essentially the same in terms of its structure as the mirror bushing 112F. In contrast to the mirror bushing 112F, the webs 132, 134 of the mirror bushing 112L are spaced apart from one another along the x-direction x, so that a asymmetrical suspension of the inner part 130 on the outer part 128. The inner part 130 is connected to the outer part 128 on one side by means of the webs 132, 134.

28 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112M. 29 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112M. Im Folgenden wird auf die 28 und 29 gleichzeitig Bezug genommen. 28 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112M. 29 shows a schematic rear view of the mirror socket 112M. In the following, the 28 and 29 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112M entspricht von ihrem Aufbau her im Wesentlichen dem Aufbau der Spiegelbuchse 112L. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112L sind bei der Spiegelbuchse 112M die Stege 132, 134 nicht gerade, sondern verlaufen bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, um das Innenteil 130 herum. An dem Außenteil 128 sind Anschläge 204, 206 für das Innenteil 130 vorgesehen, die sich in den Spalt 138 hinein in Richtung des Innenteils 130 erstrecken.The mirror bushing 112M is essentially the same in terms of its structure as the mirror bushing 112L. In contrast to the mirror bushing 112L, the webs 132, 134 in the mirror bushing 112M are not straight, but rather run in an arc shape, in particular in a circular arc shape, around the inner part 130. Stops 204, 206 for the inner part 130 are provided on the outer part 128, which extend into the gap 138 in the direction of the inner part 130.

Die Spiegelbuchse 112M weist somit ein punktsymmetrisches Stegdesign mit einseitig eingespannten Stegen 132, 134 auf. Die Stege 132, 134 werden kreisförmig um das Innenteil 130 herumgeführt und mit einer großen Steglänge in dem begrenzten Bauraum zwischen dem Innenteil 130 und dem Außenteil 128 umgesetzt. Durch eine Variation der Steglänge lässt sich die Grundsteifigkeit innerhalb eines großen Bereichs einstellen.The mirror bushing 112M thus has a point-symmetrical web design with webs 132, 134 clamped on one side. The webs 132, 134 are guided in a circle around the inner part 130 and are implemented with a large web length in the limited installation space between the inner part 130 and the outer part 128. By varying the web length, the basic rigidity can be adjusted within a large range.

30 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112N. 31 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112N. Im Folgenden wird auf die 30 und 31 gleichzeitig Bezug genommen. 30 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112N. 31 shows a schematic rear view of the mirror socket 112N. In the following, reference is made to the 30 and 31 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112N entspricht von ihrem Aufbau her im Wesentlichen dem Aufbau der Spiegelbuchse 112M. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112M sind bei der Spiegelbuchse 112M zusätzliche Blattfedern 208, 210 vorgesehen. Es sind eine erste Blattfeder 208 und eine zweite Blattfeder 210 vorgesehen. Die Blattfedern 208, 210 erstrecken sich aus den Anschlägen 204, 206 heraus und verbinden das Außenteil 128 zusätzlich zu den gekrümmten Stegen 132, 134 mit dem Innenteil 130.The mirror bushing 112N is essentially the same in terms of its structure as the mirror bushing 112M. In contrast to the mirror bushing 112M, the mirror bushing 112M has additional leaf springs 208, 210. A first leaf spring 208 and a second leaf spring 210 are provided. The leaf springs 208, 210 extend out of the stops 204, 206 and connect the outer part 128 to the inner part 130 in addition to the curved webs 132, 134.

Die Blattfedern 208, 210 sind gefaltet. Jede Blattfeder 208, 210 weist einen ersten Blattfederabschnitt 212 und einen zweiten Blattfederabschnitt 214 auf. Die Blattfederabschnitte 212, 214 sind senkrecht zueinander platziert. Die gefalteten Blattfedern 208, 210 bewirken eine höhe axiale Steifigkeit entlang der z-Richtung z ohne signifikante Änderung der lateralen Steifigkeiten in der x-Richtung x und in der y-Richtung y.The leaf springs 208, 210 are folded. Each leaf spring 208, 210 has a first leaf spring section 212 and a second leaf spring section 214. The leaf spring sections 212, 214 are placed perpendicular to each other. The folded leaf springs 208, 210 provide a high axial stiffness along the z-direction z without significantly changing the lateral stiffnesses in the x-direction x and in the y-direction y.

32 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Spiegelbuchse 112O. 33 zeigt eine schematische Rückansicht der Spiegelbuchse 112O. Im Folgenden wird auf die 32 und 33 gleichzeitig Bezug genommen. 32 shows a schematic perspective view of another embodiment of a mirror bushing 112O. 33 shows a schematic rear view of the mirror socket 112O. In the following, reference is made to the 32 and 33 simultaneously referred to.

Die Spiegelbuchse 112O entspricht von ihrem Aufbau her dem der Spiegelbuchse 112E. Im Unterschied zu der Spiegelbuchse 112E weist die Spiegelbuchse 112O zwei Stege 132, 134 auf, die jeweils mehrere bogenförmig, insbesondere kreisbogenförmig, gekrümmte Stegabschnitte 216, 218, 220 umfassen. Die Stegabschnitte 216, 218, 220 sind mit Hilfe von Schlitzen 222, 224, 226, 228 voneinander, von dem Außenteil 128 und von dem Innenteil 130 freigeschnitten. Die Stegabschnitte 216, 218, 220 sind mit Hilfe von Umlenkungsabschnitten 230, 232 miteinander verbunden.The mirror bushing 112O corresponds in its structure to that of the mirror bushing 112E. In contrast to the mirror bushing 112E, the mirror bushing 112O has two webs 132, 134, each of which comprises a plurality of arched, in particular circular, curved web sections 216, 218, 220. The web sections 216, 218, 220 are cut free from one another, from the outer part 128 and from the inner part 130 using slots 222, 224, 226, 228. The web sections 216, 218, 220 are connected to one another using deflection sections 230, 232.

Der Verlauf der Stege 132, 134 von dem Innenteil 130 zu dem Außenteil 128 hin ist mehrfach gefaltet, wodurch eine sehr große Steglänge erzielt werden kann. Die Anbindung des Innenteils 130 an das Außenteil 128 kann sehr weich ausgeführt werden. Durch die gefaltete Geometrie weisen die Stege 132, 134 eine zickzackförmige oder mäanderförmige Geometrie auf.The course of the webs 132, 134 from the inner part 130 to the outer part 128 is folded several times, whereby a very large web length can be achieved. The connection of the inner part 130 to the outer part 128 can be made very soft. Due to the folded geometry, the webs 132, 134 have a zigzag or meander-shaped geometry.

Sämtliche Ausführungsformen der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O können aus einem amagnetischen oder nichtmagnetischen Material oder Werkstoff gefertigt sein. Hierdurch ist es möglich, parasitäre Kräfte und Momente, verursacht durch stärkere Magnetfelder, zu minimieren. Beispielsweise kann Molybdän eingesetzt werden. Für den Fall, dass kein amagnetischer Werkstoff eingesetzt wird, kann beispielsweise eine Eisen-Nickel-Legierung, insbesondere Invar, Anwendung finden.All embodiments of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O can be made of an amagnetic or non-magnetic material. This makes it possible to minimize parasitic forces and moments caused by stronger magnetic fields. For example, molybdenum can be used. In the event that no amagnetic material is used, an iron-nickel alloy, in particular Invar, can be used.

Die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O ermöglicht eine richtungsabhängige Entkopplung von Kräften und Momenten. Die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O ist auf die mechanischen Eigenschaften, wie beispielsweise das hohe Elastizitätsmodul von Molybdän, der gewählten amagnetischen Werkstoffe angepasst. Hierdurch ist eine Reduzierung von Deformationen der optisch wirksamen Fläche 106 (Engl.: Surface Figure Deformation, SFD) durch äußere Einflüsse auf die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O sowie von Magneteffekten der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O selbst und damit eine Verbesserung der Abbildungsqualität möglich.The mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O enables a direction-dependent decoupling of forces and moments. The mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O is adapted to the mechanical properties of the selected non-magnetic materials, such as the high elastic modulus of molybdenum. This reduces deformations of the optically effective surface 106 (Surface Figure Deformation, SFD) due to external influences on the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O as well as magnetic effects of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O itself and thus an improvement in the image quality is possible.

Das Redesign der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O aus einem amagnetischen Werkstoff dient zur Reduzierung von parasitären Kräften, beispielsweise durch Magnetostriktionseffekte bei einer Verwendung der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O in stärkeren Magnetfeldern. Der bisher verwendete Werkstoffe Invar wird durch Molybdän ersetzt. Als wichtiger mechanischer Parameter ist das Elastizitätsmodul des neuen Werkstoffs Molybdän mit E_Mo = 320 GPa (E_Invar = 1,37 GPa) um das etwa 2,3-fache höher.The redesign of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O from a non-magnetic material serves to reduce parasitic forces, for example due to magnetostriction effects when using the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O in stronger magnetic fields. The previously used material Invar is replaced by molybdenum. As an important mechanical parameter, the elastic modulus of the new material molybdenum with E _Mo = 320 GPa (E _Invar = 1.37 GPa) is about 2.3 times higher.

Durch eine Anpassung der Geometrie der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, insbesondere der Stege 132, 134, soll ein äquivalentes Steifigkeitsverhalten der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O erreicht werden, sodass das Verhalten bezüglich SFD und Dynamik unverändert erhalten bleibt.By adapting the geometry of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, in particular the webs 132, 134, an equivalent stiffness behavior of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O is to be achieved so that the behavior with regard to SFD and dynamics remains unchanged.

Umgesetzt wird die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O durch einen zweiteiligen Aufbau. Das Außenteil 128 und das Innenteil 130 sind durch die Stege 132, 134 miteinander verbunden. Die Anbindung des Innenteils 130 an das Außenteil 128 ist dabei bevorzugt entlang der x-Richtung x betrachtet weich, sodass eine Entkopplungswirkung erzielt wird und Deformationen des optischen Elements 102 so gering wie möglich gehalten werden können. Die Anbindung in axialer z-Richtung z ist möglichst steif für ein gutes dynamisches Verhalten des optischen Elements 102 mit hoher Bandbreite. Über die Form und Dimension der Stege 132, 134 lassen sich Anbindesteifigkeiten der Stege 132, 134 gezielt einstellen. The mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 1121, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O is implemented using a two-part structure. The outer part 128 and the inner part 130 are connected to one another by the webs 132, 134. The connection of the inner part 130 to the outer part 128 is preferably soft when viewed along the x-direction x, so that a decoupling effect is achieved and deformations of the optical element 102 can be kept as low as possible. The connection in the axial z-direction z is as rigid as possible for good dynamic behavior of the optical element 102 with a high bandwidth. The shape and dimensions of the webs 132, 134 allow the connection stiffness of the webs 132, 134 to be specifically adjusted.

Es gibt fertigungstechnisch bedingte und bauraumbedingte Randbedingungen an das Design der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, welche eine entsprechende Dimensionierung der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O erfordern. Beispielsweise weist das Innenteil 130 einen Außendurchmesser von etwa 10mm auf. Das Außenteil 128 weist beispielsweise einen Außendurchmesser von etwa 20 mm auf.There are manufacturing-related and installation space-related boundary conditions for the design of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, which require appropriate dimensioning of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O. For example, the inner part 130 has an outer diameter of approximately 10 mm. The outer part 128, for example, has an outer diameter of approximately 20 mm.

Die gewünschten Geometrien der Stege 132, 134 können durch Drahterodieren eines zuvor drehend und fräsend bearbeiteten Bauteils hergestellt werden, woraus sich Anforderungen bezüglich der Strukturgrößen ergeben. In der Regel können Stegbreiten b beziehungsweise Spaltbreiten von etwa 0,4 mm und größer gefertigt werden. Durch geeignete Fertigungsprozesse sind jedoch auch kleinere Strukturen möglich. Das Design der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O ermöglicht die Einbindung von Merkmalen, die eine einfache Herstellung ermöglichen. Ein Beispiel dafür ist eine Durchgangsbohrung, durch die ein Erodierdraht in das Design eingeführt werden kann.The desired geometries of the webs 132, 134 can be produced by wire EDM of a component that has previously been machined by turning and milling, which results in requirements regarding the structure sizes. As a rule, web widths b or gap widths of about 0.4 mm and larger can be manufactured. However, smaller structures are also possible using suitable manufacturing processes. The design of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O enables the integration of features that enable easy manufacturing. An example of this is a through hole through which an EDM wire can be introduced into the design.

Über die jeweilige Steglänge der Stege 132, 134 und/oder die Querschnittsfläche 140 kann die Größe der Steifigkeit eingestellt werden. Ein Aspektverhältnis der Steghöhe h zu der Stegbreite b bestimmt ein Steifigkeitsverhältnis c(z)/c(x). Ziel ist ein Verhältnis von c(z)/c(x) = 10 oder größer, ohne die Steifigkeit in axialer Richtung von c(z) = etwa 107 N/m zu unterschreiten. Deshalb werden bevorzugt Querschnittsflächen 140 mit möglichst großer Steghöhe h verwendet. Über eine Variation der Querschnittsfläche 140 über die Steglänge können Steifigkeit und Spannung optimiert werden. Die Anordnung und Form der Stege 132, 134 beeinflusst dabei die Steifigkeit.The level of stiffness can be adjusted via the respective web length of the webs 132, 134 and/or the cross-sectional area 140. An aspect ratio of the web height h to the web width b determines a stiffness ratio c(z)/c(x). The aim is a ratio of c(z)/c(x) = 10 or greater, without falling below the stiffness in the axial direction of c(z) = approximately 107 N/m. Therefore, cross-sectional areas 140 with the largest possible web height h are preferably used. Stiffness and tension can be optimized by varying the cross-sectional area 140 over the web length. The arrangement and shape of the webs 132, 134 influence the stiffness.

Die Aufgabe der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O ist die richtungsabhängige Entkopplung des optischen Elements 102 von der Tragstruktur 124 mit einem relativ steifen Buchsenwerkstoff, sodass das optische Element 102 axial steif und lateral weich angebunden ist. Dies wird durch eine geeignete Geometrie der Stege 132, 134 zwischen dem Innenteil 130 und dem Außenteil 128 erreicht.The task of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O is the direction-dependent decoupling of the optical element 102 from the support structure 124 with a relatively stiff bushing material, so that the optical element 102 is axially stiff and laterally softly connected. This is achieved by a suitable geometry of the webs 132, 134 between the inner part 130 and the outer part 128.

Die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O zeichnet sich insbesondere dadurch aus, dass die geforderten Steifigkeitseigenschaften durch eine Anpassung der Geometrie der Stege 132, 134 auch unter Verwendung eines anderen Werkstoffes mit höherem Elastizitätsmodul, vorliegend Molybdän, erreicht werden können. Durch einen Werkstoffwechsel auf ein amagnetisches Material wird der Einfluss von Magnetkräften und Magnetostriktion minimiert. Ein steifigkeitsäquivalentes oder besseres Design wird durch eine angepasste Geometrie der Stege 132, 134 erzielt.The mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O is characterized in particular by the fact that the required stiffness properties can be achieved by adapting the geometry of the webs 132, 134, even using a different material with a higher modulus of elasticity, in this case molybdenum. By changing the material to a non-magnetic material, the influence of magnetic forces and magnetostriction is minimized. A design with equivalent or better stiffness is achieved by adapting the geometry of the webs 132, 134.

Jede Ausführungsform der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O weist Stege 132, 134 zwischen dem Innenteil 130 und dem Außenteil 128 mit einem ausreichenden Aspektverhältnis von Steghöhe h zu Stegbreite b zur Realisierung des geforderten Steifigkeitsverhältnisses (lateral/axial) sowie der Steglänge zur Einstellung des absoluten Steifigkeitsranges auf. Dies kann beispielsweise durch Drahterodieren erfolgen. Zur Reduzierung der Magneteffekte ist der Einsatz eines amagnetischen Werkstoffes erforderlich.Each embodiment of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O has webs 132, 134 between the inner part 130 and the outer part 128 with a sufficient aspect ratio of web height h to web width b to realize ization of the required stiffness ratio (lateral/axial) and the web length to set the absolute stiffness range. This can be done, for example, by wire erosion. To reduce the magnetic effects, the use of a non-magnetic material is necessary.

Vorteilhafterweise weist die Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O Bohrungen 176, 178 oder beliebige Durchbrüche oder dergleichen für die Zuführung eines Drahts zum Drahterodieren auf. Dabei sind Mindestspaltbreiten beziehungsweise Stegbreiten b für das Drahterodieren zu berücksichtigen.The mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O advantageously has bores 176, 178 or any desired openings or the like for feeding a wire for wire erosion. Minimum gap widths or web widths b for wire erosion must be taken into account.

Durch eine Variation der Querschnittsfläche 140 der Stege 132, 134 über die Steglänge kann die Steifigkeit nochmals verbessert angepasst werden. Es können Bauraumbeschränkungen umgangen werden und/oder die Einstellung der Steifigkeit durch eine in der Höhe abgestufte Steggeometrie bewerkstelligt werden. Es ergibt sich ein hohes Verhältnis der lateralen Steifigkeiten c(y)/c(x).By varying the cross-sectional area 140 of the webs 132, 134 over the web length, the stiffness can be further improved. Installation space restrictions can be circumvented and/or the stiffness can be adjusted using a web geometry with a stepped height. This results in a high ratio of the lateral stiffnesses c(y)/c(x).

Zum Herstellen der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O können beliebige Fertigungsprozesse, wie beispielsweise Drehen, Fräsen, Schleifen, Erodieren oder dergleichen, eingesetzt werden. Das Verhältnis der lateralen Steifigkeiten c(y)/c(x) ist nicht fest vorgegeben, ist jedoch bevorzugt größer als 1, um an dem optischen Element 102 sowohl die gewünschte Entkopplung von SFD-Effekten als auch ein ausreichendes dynamisches Verhalten zu erreichen.Any manufacturing process, such as turning, milling, grinding, eroding or the like, can be used to produce the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O. The ratio of the lateral stiffnesses c(y)/c(x) is not fixed, but is preferably greater than 1 in order to achieve both the desired decoupling of SFD effects and sufficient dynamic behavior on the optical element 102.

Bei der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O können amagnetische Werkstoffe eingesetzt werden, die andere mechanische und thermische Eigenschaften besitzen. Trotzdem erfolgt durch die optimierte Anpassung der Spiegelbuchse 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O kein Verlust an Systemperformance aufgrund von SFD-, Thermal- und/oder Dynamikeffekten.For the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, non-magnetic materials with different mechanical and thermal properties can be used. Nevertheless, the optimized adaptation of the mirror bushing 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O ensures no loss of system performance due to SFD, thermal and/or dynamic effects.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.Although the present invention has been described using exemplary embodiments, it can be modified in many ways.

BEZUGSZEICHENLISTELIST OF REFERENCE SYMBOLS

11: ProjektionsbelichtungsanlageProjection exposure system
22: BeleuchtungssystemLighting system
33: LichtquelleLight source
44: BeleuchtungsoptikLighting optics
55: ObjektfeldObject field
66: ObjektebeneObject level
77: RetikelReticle
88th: RetikelhalterReticle holder
99: RetikelverlagerungsantriebReticle displacement drive
1010: ProjektionsoptikProjection optics
1111: BildfeldImage field
1212: BildebeneImage plane
1313: WaferWafer
1414: WaferhalterWafer holder
1515: WaferverlagerungsantriebWafer relocation drive
1616: BeleuchtungsstrahlungIllumination radiation
1717: Kollektorcollector
1818: ZwischenfokusebeneIntermediate focal plane
1919: UmlenkspiegelDeflecting mirror
2020: erster Facettenspiegelfirst faceted mirror
2121: erste Facettefirst facet
2222: zweiter Facettenspiegelsecond facet mirror
2323: zweite Facettesecond facet
100100: optisches Systemoptical system
102102: optisches Elementoptical element
102'102': optisches Elementoptical element
104104: SubstratSubstrat
106106: optisch wirksame Flächeoptically effective surface
106'106': optisch wirksame Flächeoptically effective surface
108108: Vorderseitefront
110110: Rückseiteback
112112: SpiegelbuchseMirror socket
112A112A: SpiegelbuchseMirror socket
112B112B: SpiegelbuchseMirror socket
112C112C: SpiegelbuchseMirror socket
112D112D: SpiegelbuchseMirror socket
112E112E: SpiegelbuchseMirror socket
112F112F: SpiegelbuchseMirror socket
112G112G: SpiegelbuchseMirror socket
112H112H: SpiegelbuchseMirror socket
112I112I: SpiegelbuchseMirror socket
112J112J: SpiegelbuchseMirror socket
112K112K: SpiegelbuchseMirror socket
112L112L: SpiegelbuchseMirror socket
112M112M: SpiegelbuchseMirror socket
112N112N: SpiegelbuchseMirror socket
112O112O: SpiegelbuchseMirror socket
114114: SpiegelbuchseMirror socket
116116: SpiegelbuchseMirror socket
118118: AnbindungspunktConnection point
120120: AnbindungspunktConnection point
122122: AnbindungspunktConnection point
124124: TragstrukturSupporting structure
126126: MittelachseCentral axis
128128: AußenteilOuter part
130130: Innenteilinner part
132132: Stegweb
134134: Stegweb
136136: Durchbruchbreakthrough
138138: Spaltgap
140140: QuerschnittsflächeCross sectional area
142142: OberseiteTop
144144: Unterseitebottom
146146: SeitenflächeSide surface
148148: SeitenflächeSide surface
150150: Vorderseitefront
152152: Rückseiteback
154154: KlebebereichAdhesive area
156156: BereichArea
158158: AnbindungspunktConnection point
160160: AnbindungspunktConnection point
162162: FestkörpergelenkSolid joint
164164: NutGroove
166166: Vorderseitefront
168168: Rückseiteback
170170: Fasechamfer
172172: Schlitzslot
174174: Schlitzslot
176176: Bohrungdrilling
178178: Bohrungdrilling
180180: NutGroove
182182: Schlitzslot
184184: StegabschnittBridge section
186186: StegabschnittBridge section
188188: Schlitzslot
190190: UmlenkungsabschnittDeflection section
192192: UmlenkungsabschnittDeflection section
194194: AnbindungspunktConnection point
196196: AnbindungspunktConnection point
198198: RingstegRing Bridge
200200: Schlitzslot
202202: Schlitzslot
204204: Anschlagattack
206206: Anschlagattack
208208: BlattfederLeaf spring
210210: BlattfederLeaf spring
212212: BlattfederabschnittLeaf spring section
214214: BlattfederabschnittLeaf spring section
216216: StegabschnittBridge section
218218: StegabschnittBridge section
220220: StegabschnittBridge section
222222: Schlitzslot
224224: Schlitzslot
226226: Schlitzslot
228228: Schlitzslot
230230: UmlenkungsabschnittDeflection section
232232: Umlenkungsabschnitt Deflection section
bb: StegbreiteBridge width
E1E1: Ebenelevel
E2E2: Ebenelevel
GG: SchnittlinieCutting line
hH: SteghöheBridge height
ILIL: Ist-LageCurrent situation
M1M1: SpiegelMirror
M2M2: SpiegelMirror
M3M3: SpiegelMirror
M4M4: SpiegelMirror
M5M5: SpiegelMirror
M6M6: SpiegelMirror
SLSL: Soll-LageTarget position
xx: x-Richtungx-direction
yy: y-Richtungy-direction
zz: z-Richtungz-direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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US 20180074303 A1 [0091]

Claims

Mirror socket (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) for an optical element (102, 102'), having a central axis (126), a first spatial direction (x) which is oriented perpendicular to the central axis (126), and a second spatial direction (y) which is oriented perpendicular to the central axis (126) and perpendicular to the first spatial direction (x), wherein the mirror socket (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has a first stiffness when viewed along the first spatial direction (x) and a second stiffness when viewed along the second spatial direction (y), and wherein the first stiffness and the second stiffness are of different magnitudes.

Mirror socket after Claim 1 , further comprising an outer part (128), an inner part (130) arranged within the outer part (128) and elastically deformable webs (132, 134), wherein the outer part (128) is connected to the inner part (130) by means of the webs (132, 134).

Mirror socket after Claim 2 , wherein the webs (132, 134) run along that spatial direction (x, y) along which the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has the greater rigidity.

Mirror socket after Claim 2 or 3 , wherein the inner part (130) is arranged between a first web (132) and a second web (134).

Mirror socket according to one of the Claims 2 - 4 , wherein the outer part (128), the inner part (130) and the webs (132, 134) are connected to one another in one piece, in particular in one piece.

Mirror socket according to one of the Claims 2 - 5 , wherein the webs (132, 134) run parallel to one another and spaced apart from one another and/or wherein the webs (132, 134) are curved in an arc shape, in particular in a circular arc shape.

Mirror socket according to one of the Claims 2 - 6 , wherein the webs (132, 134) each have a first web section (184) and a second web section (186), and wherein the first web section (184) and the second web section (186) are connected to one another by means of deflection sections (190, 192), so that the webs (132, 134) have a circumferentially closed geometry.

Mirror socket according to one of the Claims 2 - 6 , wherein the webs (132, 134) together form an annular web (198) which runs at least partially around the inner part (130).

Mirror socket according to one of the Claims 2 - 8th , wherein the webs (132, 134) have a web height (h) viewed along the central axis (126), and wherein the web height (h) is variable starting from the outer part (128) in the direction of the inner part (130).

Mirror socket according to one of the Claims 1 - 9 , wherein the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has bores (176, 178) through which an eroding wire is passed to produce the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116). can be passed through.

Mirror socket according to one of the Claims 1 - 10 , wherein the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) is made of a non-magnetic material, in particular molybdenum.

Optical system (100) for a projection exposure system (1), comprising an optical element (102, 102'), a support structure (124) for supporting the optical element (102, 102'), and at least one mirror socket (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) according to one of the Claims 1 - 11 , wherein the optical element (102, 102') is connected to the support structure (124) by means of the at least one mirror socket (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116).

Optical system according to Claim 12 , further comprising three mirror bushings (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116), wherein the optical element (102, 102') has six degrees of freedom, and wherein each mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) exactly two of the degrees of freedom are assigned.

Optical system according to Claim 13 , wherein each of the three mirror bushings (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has a direction away from the central axis (126) and the spatial direction (x, y), along which the mirror bushing (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) has the smaller stiffness, and wherein the three mirror bushings (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) are arranged such that the planes (E1) intersect each other in a common intersection line (G).

Projection exposure system (1) with a mirror socket (112, 112A, 112B, 112C, 112D, 112E, 112F, 112G, 112H, 112I, 112J, 112K, 112L, 112M, 112N, 112O, 114, 116) according to one of the Claims 1 - 11 and/or an optical system (100A, 100B) according to one of the Claims 12 - 14 .