DE102022102162A1

DE102022102162A1 - Floating Unit

Info

Publication number: DE102022102162A1
Application number: DE102022102162.9A
Authority: DE
Inventors: Janis Wortmann
Original assignee: EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GmbH
Current assignee: EITZENBERGER GMBH, DE
Priority date: 2022-01-31
Filing date: 2022-01-31
Publication date: 2023-08-03
Also published as: EP4452794A1; KR20240161093A; US20250214787A1; IL314401A; WO2023143954A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Floating Unit (10) zum Tragen und Transportieren eines im Wesentlichen flachen Körpers (12), mit einer Trägerplatte (14), welche auf einer ersten Oberfläche (16) eine erste Vielzahl von Druckdüsen (18) und eine erste Vielzahl von Vakuumdüsen (20) aufweist, wobei in der ersten Oberfläche (16) eine erste Vielzahl von Kanälen (22, 22') vorgesehen ist, die sich sowohl von den Druckdüsen (18) der ersten Vielzahl von Druckdüsen als auch von den Vakuumdüsen (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen erstrecken.

Description

Die Erfindung betrifft eine Floating Unit zum Tragen und Transportieren eines im Wesentlichen flachen Körpers, mit einer Trägerplatte, welche auf einer ersten Oberfläche eine erste Vielzahl von Druckdüsen und eine erste Vielzahl von Vakuumdüsen aufweist.
Derartige Vorrichtungen kommen zum Einsatz, um flache Körper sicher zu tragen und exakt zu positionieren. Insbesondere werden Floating Units eingesetzt, um Gläser für die Bildschirmfertigung zu beschichten. Bei der Beschichtung schwebt ein solches Glas über der Trägerplatte mit einem definierten Abstand von beispielsweise wenigen µm zur Trägerplatte. Dies wird durch das Wechselspiel von Druckdüsen und Vakuumdüsen erreicht. Es wird also nicht einfach nur ein Luftpolster durch Druckdüsen, welche gegen den Umgebungsdruck arbeiten, zur Verfügung gestellt; hierdurch könnten nicht die exakten Anforderungen an die Positionierung erfüllt werden. Das Zusammenspiel von Überdruck und Unterdruck erlaubt es erst, die Gläser so genau zu positionieren, dass sie im engen Fokus eines stationären Lasers bewegt werden können.
Eine Floating Unit, die die genannten Zwecke erfüllt, ist beispielsweise in dem Dokument US 9,022,699 B2 beschrieben.
Die Floating Units des Standes der Technik verursachen einen erheblichen Druckluftverbrauch, wodurch es bei Anlagen im industriellen Maßstab zu wesentlichen Energiekosten kommen kann. Ebenfalls sind Systeme des Standes der Technik im Hinblick auf den Abstand zwischen Trägerplatte und Glas oft nicht hinreichend „steif‟, so dass es beispielsweise aufgrund von Unebenheiten im Glas zu unakzeptablen Toleranzen im Abstand zwischen Trägerplatte und Glas kommen kann. Dies macht Schwierigkeiten bei der exakten Positionierung des Glases sowie bei mangelnder Unterstützung des Glases im Randbereich einer Trägerplatte, beispielsweise beim Übergang des Glases von einer Floating Unit zu einer benachbarten Floating Unit.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Floating Unit mit optimierter Präzision und verringertem Druckluftverbrauch zur Verfügung zu stellen.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs gelöst.
Die Floating Unit gemäß der vorliegenden Erfindung baut auf dem Stand der Technik dadurch auf, dass in der ersten Oberfläche eine erste Vielzahl von Kanälen vorgesehen ist, die sich sowohl von den Druckdüsen der ersten Vielzahl von Druckdüsen als auch von den Vakuumdüsen der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen erstrecken. Durch das Bereitstellen von Druck- und Vakuumkanälen kann ein extrem präzisier und extrem kleiner Abstand zwischen dem flachen Körper und der Trägerplatte sichergestellt werden. Der kleine Abstand sorgt für einen hohen pneumatischen Widerstand, was wiederum einen geringen Druckluftverbrauch sowie, damit einhergehend, geringe Energiekosten sicherstellt.
Besonders bevorzugt ist es, dass die Kanäle der ersten Vielzahl von Kanälen parallel angeordnet sind.
Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass Kanäle die Druckdüsen zugeordnet sind, und Kanäle, die Vakuumdüsen zugeordnet sind, senkrecht zu ihrer Erstreckung abwechselnd vorgesehen sind.
Nützlicherweise ist vorgesehen, dass sich die Kanäle von jeder Druckdüse der ersten Vielzahl von Druckdüsen und von jeder Vakuumdüse der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen in entgegengesetzte Richtungen ausgehend von den Druckdüsen und den Vakuumdüsen erstrecken. Durch diese Anordnung verteilt sich die Druckluft gleichmäßig, und sie wird auch in daran angepasster Form über die Vakuumdüsen wieder abgeführt.
Dabei kann es besonders vorteilhaft sein, dass die Druckdüsen der ersten Vielzahl von Druckdüsen und die Vakuumdüsen der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen jeweils in der Mitte der Kanäle angeordnet sind.
Für die Form der Kanäle hat es sich experimentell als vorteilhaft erwiesen, dass sich die Kanäle in ihrem Querschnitt von der ersten Oberfläche der Trägerplatte in eine Tiefe der Trägerplatte verjüngen.
Weiter ist es besonders nützlich, dass die Druckdüsen der ersten Vielzahl von Drückdüsen einen geringeren Querschnitt aufweisen als die Vakuumdüsen der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen. Hierdurch können Druck-Massenstrom-Charakteristiken zur Verfügung gestellt werden, welche für einen geringen Abstand zwischen Glas und Trägerplatte sowie extrem hohe Steifigkeit des pneumatischen Systems sorgen.
Dem angepasst ist vorgesehen, dass die sich von den Druckdüsen der ersten Vielzahl von Drückdüsen erstreckenden Kanäle einen geringeren Querschnitt aufweisen als die sich von den Vakuumdüsen der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen erstreckenden Kanäle. Dabei haben die Kanäle beispielsweise eine Länge von 18 mm und einen gegenseitigen Abstand von 6,1 mm. Die Breite der Kanäle kann im Bereich von 50 µm liegen, ebenso deren Tiefe. Allerdings ist es bevorzugt, dass die Druckkanäle, angepasst an die kleinere Druckdüsengröße, um einen Faktor von 2 bis 3 schmaler und eventuell flacher sind als die Vakuumkanäle.
Insgesamt ist es nützlich, dass die erste Vielzahl von Drückdüsen, die erste Vielzahl von Vakuumdüsen und die zugehörigen Kanäle ein regelmäßiges erstes Anordnungsmuster aufweisen. Eine strenge Regelmäßigkeit in der Anordnung der Düsen und Kanäle ist zwar nicht zwingend erforderlich, sie ist aber im Hinblick auf die gewünschten geringen Toleranzen zu bevorzugen.
Weiterhin kann vorgesehen sein, dass in einer für den flächigen Körper vorgesehenen Transportrichtung im Anschluss an das erste Anordnungsmuster eine zweite Vielzahl von Druckdüsen vorgesehen ist, die ein zweites Anordnungsmuster aufweisen, das sich von dem ersten Anordnungsmuster unterscheidet. Dieser zweiten Vielzahl von Druckdüsen müssen nicht unbedingt Vakuumdüsen zugeordnet sein. Man hat es dann auf der Trägerplatte mit einem ersten Anordnungsmuster zu tun, welches den geringen Abstand zwischen Glas und Trägerplatte mit der erforderlichen Steifigkeit definiert. Die zweite Vielzahl von Druckdüsen stellt dann zusätzlich gegen den Atmosphärendruck schlicht ein Luftpolster zur Verfügung, welches die Platte trägt, etwa in der Art eines Lufthockeytischs.
Es kann auch nützlich sein, dass in einem Randbereich der ersten Oberfläche der Trägerplatte Randdruckdüsen mit sich davon erstreckenden Randkanälen vorgesehen sind, wobei die Randkanäle nicht parallel zu den der ersten Vielzahl von Druckdüsen und Vakuumdüsen zugeordneten Kanälen sind. Hierdurch wird im Randbereich der Trägerplatte zusätzliche Unterstützung des Glases zur Verfügung gestellt, so dass einer unerwünschten Neigung des Glases nach unten, wenn es über die Trägerplatte hinausragt, entgegengewirkt wird.
Dabei hat es sich als nützlich erwiesen, dass die Randkanäle senkrecht zu den der ersten Vielzahl von Druckdüsen und Vakuumdüsen zugeordneten Kanälen sind.
Die erfindungsgemäße Floating Unit ist in besonders vorteilhafter Weise dadurch weitergebildet, dass eine Druckdüse der ersten Vielzahl von Druckdüsen einer ersten Druck-Massenstrom-Funktion folgt und dass eine Vakuumdüse der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen einer zweiten Druck-Massenstrom-Funktion folgt, dass bei einem ersten Massenstrom ein Absolutwert des Drucks gemäß der ersten Druck-Massenstrom-Funktion größer ist als ein Absolutwert des Drucks gemäß der zweiten Druck-Massenstrom-Funktion und dass es einen zweiten Massenstrom gibt, der größer ist als der erste Massenstrom, bei dem die Absolutwerte des Drucks beider Druck-Massenstrom-Funktionen identisch sind, wobei der zweite Massenstrom einem stabilen Abstand zwischen dem flachen Körper und der Trägerplatte entspricht. Bei geringem Massenstrom herrscht an der kleineren Druckdüse ein geringerer Druck als an der größeren Vakuumdüse, stets in absoluten Werten des Drucks gedacht. Nimmt der Massenstrom zu, so fällt aber die Druck-Massenstrom-Funktion der Druckdüse schneller ab als die Druck-Massenstrom-Funktion der Vakuumdüse. Folglich kann man einen Massenstromwert erreichen, bei dem die Drücke an der Druckdüse und der Vakuumdüse identisch sind. Damit ist der stabile Abstand zwischen dem Glas und der Trägerplatte definiert.
Damit im Zusammenhang steht auch, dass bei dem zweiten Massenstrom ein Absolutwert einer Steigung einer Tangente an die erste Druck-Massenstrom-Funktion größer ist als ein Absolutwert einer Steigung einer Tangente an die zweite Druck-Massenstrom-Funktion. Je größer die Differenz zwischen den Steigungen der Tangenten an die Druck-Massenstrom-Funktionen ist, desto steifer ist das pneumatische System.
Die erfindungsgemäße Floating Unit ist dadurch weitergebildet, dass an einer zweiten Oberfläche der Trägerplatte, gegenüberliegend der ersten Oberfläche, ein Verteiler zum Bereitstellen und Abführen von Luft angeordnet ist. Der Verteiler kommuniziert mit Bohrungen in der Trägerplatte zum Zuführen und zum Abführen der Luft.
Weiterhin ist vorgesehen, dass eine Laservorrichtung zum Erfassen einer Position des flachen Körpers vorgesehen ist. Diese Laservorrichtung dient allgemein dem Positionieren des Glases auf der Trägerplatte. Sie kann aber auch in das pneumatische System eingreifen, indem die Förder- und Abführvolumina der Druckluft in Abhängigkeit von mit einer Laseroptik erfassten Signalen gesteuert oder geregelt werden.
Um große flache Körper zu transportieren und zu bearbeiten ist es vorgesehen, ein System aus mehreren Floating Units zur Verfügung zu stellen, wobei die ersten Oberflächen der Floating Units in einer Ebene liegen. Hierdurch können die Gläser von einer Floating Unit zu einer benachbarten Floating Unit übergeben werden.
Die Erfindung wird nun mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beispielhaft erläutert.

1 zeigt eine Seitenansicht einer Floating Unit mit einem von der Floating Unit getragenen flachen Körper.
2 zeigt eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform einer Floating Unit.
3 zeigt Düsen mit zugeordneten Kanälen.
4 zeigt einen Kanal im Querschnitt.
5 zeigt eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform einer Floating Unit.
6 zeigt eine Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform einer Floating Unit.
7 zeigt ein Druck-Massenstrom-Diagramm.

Bei der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.
1 zeigt eine Seitenansicht einer Floating Unit 10 mit einem von der Floating Unit 10 getragenen flachen Körper 12. 2 zeigt eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform einer Floating Unit 10. Die Floating Unit 10 weist eine Trägerplatte 14 mit einer ersten Oberfläche 16 auf. Dabei handelt es sich vorzugsweise um eine Metalloberfläche, beispielsweise aus Aluminium oder Stahl. Die Oberfläche 16 kann behandelt sein, beispielsweise eloxiert. Es ist von Vorteil, wenn die Oberfläche 16 eine gute Ebenheit aufweist, etwa im Bereich von 10 µm. In der Oberfläche 16 ist eine Vielzahl von Druckdüsen 18 und eine Vielzahl von Vakuumdüsen 20 vorgesehen. Von jeder Druckdüse 18 erstreckt sich ein Kanal 22 (ein Druckkanal), und von jeder Vakuumdüse 20 erstreckt sich ein Kanal 22' (ein Vakuumkanal). Sowohl die Druckdüsen 18 als auch die Vakuumdüsen 20 liegen in der Mitte der zugeordneten Kanäle 22, 22'. Die Druckdüsen 18 und die Vakuumdüsen 20 beziehungsweise die zugeordneten Kanäle 22, 22' sind parallel angeordnet und senkrecht zu ihrer Erstreckung abwechselnd vorgesehen. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel bilden die Kanäle senkrecht zu ihrer Erstreckung exakte „Spalten“. Dies ist nicht zwingend erforderlich. Eine Anordnung mit einem gewissen Versatz ist ebenfalls möglich. An den Rändern der Trägerplatte 14 senkrecht zur Erstreckung der Kanäle finden sich als letzte „Zeile“ Druckdüsen 18 sowie die den Druckdüsen 18 zugeordneten Kanäle 22. Die Bewegungsrichtung beziehungsweise die Transportrichtung des flachen Körpers 12 ist mit dem Doppelpfeil 24 angegeben. An einer Oberfläche 38 der Trägerplatte 14, die der Oberfläche 16 gegenüber angeordnet ist, ist ein Druckluftverteiler 40 vorgesehen. Dieser stellt Druckkanälen und Vakuumkanälen, die sich vertikal durch die Trägerplatte 14 erstrecken, die erforderlichen Luftdrücke zur Verfügung. Die den Druckdüsen 18 zugeordneten Kanäle 22 sind mit einer feineren Linie gezeichnet als die Kanäle 22', die den Vakuumdüsen 20 zugeordnet sind. Hierdurch wird symbolisch gezeigt, dass die Vakuumdüsen 20 und die zugeordneten Kanäle 22' im Querschnitt größer sind als die Druckdüsen 18 und die zugeordneten Kanäle 22, beispielsweise um einen Faktor von 2 bis 3. Die Anzahl an Düsen 18, 20 und Kanälen 22, 22' in der Trägerplatte kann stark variieren, insbesondere je nach Anwendung. Beispielsweise können mehrere hundert Düsen 18, 20 sowie Kanäle 22, 22' oder auch mehrere zehntausend Düsen 18, 20 und Kanäle 22, 22' pro Floating Unit 10 vorgesehen sein. Die Positionen der Düsen 18, 20 sind in den Zeichnungen als dicke Punkte in der Mitte der die Kanäle 22, 22' symbolisierenden Linien dargestellt. Die Dicke der Punkte korreliert nicht mit den Querschnitten der Düsen 18, 20. Die Düsen sind vielmehr am Boden der Kanäle 22, 22' angeordnet, so dass ihr Durchmesser nicht größer ist als die Breite der Kanäle 22, 22'.
3 zeigt Düsen 18, 20 mit zugeordneten Kanälen 22, 22'. Hier ist der Umstand, dass sowohl die Düsen 18, 20 als auch die Kanäle 22, 22' unterschiedliche Abmessungen haben, graphisch veranschaulicht.
4 zeigt einen Kanal im Querschnitt. Im Prinzip können die Kanäle 22, 22' unterschiedliche Querschnitte aufweisen. Bei einer bewährten Ausführungsform verjüngen sich die Kanäle 22, 22' in die Tiefe der Trägerplatte 14, was vorliegend am Beispiel eines Druckkanals 22 veranschaulicht ist. Der Querschnitt ist nahezu V-förmig.
5 zeigt eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform einer Floating Unit 10. Die Anordnung von Druckdüsen 18, Vakuumdüsen 20 und zugeordneten Kanälen 22, 22' ist ähnlich wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 2. Zusätzlich sind an den Rändern der Trägerplatte 14, über welche ein Glas hinaus transportiert werden muss, Randdüsen 30 und zugeordnete Randkanäle 32 vorgesehen, wobei es sich hier ausschließlich um Druckdüsen handelt. Die Gläser erfahren hierdurch im Randbereich zusätzliche Unterstützung.
6 zeigt eine Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform einer Floating Unit. Hier gibt es nur drei Spalten von abwechselnd angeordneten Druckdüsen 18 und Vakuumdüsen 20 sowie Druckkanälen 22 und Vakuumkanälen 22'. Diese wenigen Spalten können ausreichend sein, um den Abstand zwischen Glas und Trägerplatte 14 zu definieren und dem pneumatischen System die ausreichende Steifigkeit zur Verfügung zu stellen. In den Randbereichen der Trägerplatte 14 sind dann lediglich noch zusätzliche Druckdüsen 26 angeordnet, welche das Glas nach Art eines Lufthockeytischs zusätzlich tragen. Diese Druckdüsen 26 dürfen wesentlich weniger dich angeordnet sein. Es können Kanäle mit den Druckdüsen 26 verbunden sein.
7 zeigt ein Druck-Massenstrom-Diagramm. In diesem Diagramm ist der Druck p am Düsenausgang in bar gegen den Massenstrom q_m in willkürlicher Einheit aufgetragen. Der obere Graph 34 entspricht der Druck-Massenstrom-Funktion einer Druckdüse, während der untere Graph 36 einer Druck-Massenstrom-Funktion einer Vakuumdüse folgt. Bei einem sehr niedrigen Massenstrom q_m0 herrscht an der kleinen Druckdüse ein Druck mit einem höheren Absolutwert als an der größeren Vakuumdüse. Mit zunehmendem Massenstrom fällt die Druck-Massenstrom-Funktion 34 der Druckdüse jedoch schneller ab als die Druck-Massenstrom-Funktion der Vakuumdüse 36. Bei geeigneter Auslegung gibt es dann einen Massenstromwert q_m1, bei dem die Absolutwerte der Drücke an Druckdüse und Vakuumdüse identisch sind. Dies ist der stabile Zustand, wodurch der Abstand zwischen Glas und Trägerplatte definiert ist. Für die Steifigkeit des pneumatischen Systems sind die Tangenten an die Druck-Massenstrom-Funktionen bei q_m1 entscheidend. Je größer die Differenz in den Steigungen der Tangenten ist, umso steifer ist das System.
Die in der vorstehenden Beschreibung, in den Zeichnungen sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung wesentlich sein.
Bezugszeichenliste

10: Floating Unit
12: flacher Körper
14: Trägerplatte
16: ersten Oberfläche
18: Druckdüse
20: Vakuumdüse
22: Kanal
22': Kanal
24: Transportrichtung
26: Druckdüse
28: Randbereich
30: Randdruckdüse
32: Randkanal
34: Druck-Massenstrom-Funktion
36: Druck-Massenstrom-Funktion
38: zweite Oberfläche
40: Verteiler
42: Laservorrichtung
qm0: erster Massenstrom
qm1: zweiter Massenstrom

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

US 9022699 B2 [0003]

Claims

Floating Unit (10) zum Tragen und Transportieren eines im Wesentlichen flachen Körpers (12), mit einer Trägerplatte (14), welche auf einer ersten Oberfläche (16) eine erste Vielzahl von Druckdüsen (18) und eine erste Vielzahl von Vakuumdüsen (20) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass in der ersten Oberfläche (16) eine erste Vielzahl von Kanälen (22, 22') vorgesehen ist, die sich sowohl von den Druckdüsen (18) der ersten Vielzahl von Druckdüsen als auch von den Vakuumdüsen (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen erstrecken.
Floating Unit (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanäle (22, 22') der ersten Vielzahl von Kanälen parallel angeordnet sind.
Floating Unit (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Kanäle (22), die Druckdüsen (18) zugeordnet sind, und Kanäle (22'), die Vakuumdüsen (20) zugeordnet sind, senkrecht zu ihrer Erstreckung abwechselnd vorgesehen sind.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kanäle (22, 22') von jeder Druckdüse (18) der ersten Vielzahl von Druckdüsen und von jeder Vakuumdüse (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen in entgegengesetzte Richtungen ausgehend von den Druckdüsen (18) und den Vakuumdüsen (20) erstrecken.
Floating Unit (10) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdüsen (18) der ersten Vielzahl von Druckdüsen und die Vakuumdüsen (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen jeweils in der Mitte der Kanäle (22, 22') angeordnet sind.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kanäle (22, 22') in ihrem Querschnitt von der ersten Oberfläche (16) der Trägerplatte (14) in eine Tiefe der Trägerplatte (14) verjüngen.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdüsen (18) der ersten Vielzahl von Drückdüsen einen geringeren Querschnitt aufweisen als die Vakuumdüsen (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die sich von den Druckdüsen (18) der ersten Vielzahl von Drückdüsen erstreckenden Kanäle (22) einen geringeren Querschnitt aufweisen als die sich von den Vakuumdüsen (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen erstreckenden Kanäle (22').
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Vielzahl von Drückdüsen (18), die erste Vielzahl von Vakuumdüsen (20) und die zugehörigen Kanäle (22, 22') ein regelmäßiges erstes Anordnungsmuster aufweisen.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einer für den flächigen Körper (12) vorgesehenen Transportrichtung (24) im Anschluss an das erste Anordnungsmuster eine zweite Vielzahl von Druckdüsen (26) vorgesehen ist, die ein zweites Anordnungsmuster aufweisen, das sich von dem ersten Anordnungsmuster unterscheidet.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Randbereich (28) der ersten Oberfläche der Trägerplatte Randdruckdüsen (30) mit sich davon erstreckenden Randkanälen (32) vorgesehen sind, wobei die Randkanäle (32) nicht parallel zu den der ersten Vielzahl von Druckdüsen (18) und Vakuumdüsen (20) zugeordneten Kanälen (22, 22') sind.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Randkanäle (32) senkrecht zu den der ersten Vielzahl von Druckdüsen (18) und Vakuumdüsen (20) zugeordneten Kanälen (22, 22') sind.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Druckdüse (18) der ersten Vielzahl von Druckdüsen einer ersten Druck-Massenstrom-Funktion (34) folgt und dass eine Vakuumdüse (20) der ersten Vielzahl von Vakuumdüsen einer zweiten Druck-Massenstrom-Funktion (36) folgt, dass bei einem ersten Massenstrom (q_m0) ein Absolutwert des Drucks gemäß der ersten Druck-Massenstrom-Funktion (34) größer ist als ein Absolutwert des Drucks gemäß der zweiten Druck-Massenstrom-Funktion (36) und dass es einen zweiten Massenstrom (q_m1) gibt, der größer ist als der erste Massenstrom (q_m0), bei dem die Absolutwerte des Drucks beider Druck-Massenstrom-Funktionen (34, 36) identisch sind, wobei der zweite Massenstrom (q_m1) einem stabilen Abstand zwischen dem flachen Körper (12) und der Trägerplatte (14) entspricht.
Floating Unit (10) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem zweiten Massenstrom (q_m1) ein Absolutwert einer Steigung einer Tangente an die erste Druck-Massenstrom-Funktion (34) größer ist als ein Absolutwert einer Steigung einer Tangente an die zweite Druck-Massenstrom-Funktion (36).
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an einer zweiten Oberfläche (38) der Trägerplatte (14), gegenüberliegend der ersten Oberfläche (16), ein Verteiler (40) zum Bereitstellen und Abführen von Luft angeordnet ist.
Floating Unit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Laservorrichtung (42) zum Erfassen einer Position des flachen Körpers (12) vorgesehen ist.
System aus mehreren Floating Units (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 16, wobei die ersten Oberflächen (16) der Floating Units (10) in einer Ebene liegen.