DE102021116163A1 - Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system - Google Patents
Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system Download PDFInfo
- Publication number
- DE102021116163A1 DE102021116163A1 DE102021116163.0A DE102021116163A DE102021116163A1 DE 102021116163 A1 DE102021116163 A1 DE 102021116163A1 DE 102021116163 A DE102021116163 A DE 102021116163A DE 102021116163 A1 DE102021116163 A1 DE 102021116163A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- container
- cleaning
- ozone
- component
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000605 extraction Methods 0.000 title abstract description 14
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/16—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using chemical substances
- A61L2/20—Gaseous substances, e.g. vapours
- A61L2/202—Ozone
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
- B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
- B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
- B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2202/00—Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
- A61L2202/10—Apparatus features
- A61L2202/12—Apparatus for isolating biocidal substances from the environment
- A61L2202/122—Chambers for sterilisation
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Komponenten eines Transport- oder Entnahmesystems (1) in einem geschlossenen Raum, in welchem wenigstens eine zu reinigende Fläche wenigstens einer Komponente eingebracht wird oder vorgesehen ist. Dem geschlossenen Raum ist Ozon (11) als alleiniges Reinigungsmittel zugeführt. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Reinigungssystem.The invention relates to a method for cleaning components of a transport or extraction system (1) in a closed space, in which at least one surface to be cleaned of at least one component is introduced or provided. Ozone (11) is supplied to the closed room as the sole cleaning agent. The invention further relates to a corresponding cleaning system.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Komponenten eines Transport- oder Entnahmesystems sowie ein Reinigungssystem.The invention relates to a method for cleaning components of a transport or removal system and a cleaning system.
Derartige Entnahmesysteme dienen generell zur Entnahme von Chemikalien aus Behältern. Die Entnahme von Chemikalien aus einem Behälter erfolgt automatisiert über ein Tauchrohr, das mittels eines Entnahmekopfs an einer Behälteröffnung anschließbar ist. Ebenso kann auch eine Belüftung von Behältern mit Chemikalien erfolgen.Such removal systems are generally used to remove chemicals from containers. Chemicals are removed from a container automatically via a dip tube that can be connected to a container opening by means of a removal head. Containers with chemicals can also be ventilated.
Ein derartiges Entnahmesystem ist in der
Die in den Behältern gelagerten und über ein Entnahmesystem entnehmbaren Chemikalien werden insbesondere im Herstellungsprozess von Halbleiterprodukten wie Mikrochips benötigt. Mit diesen Chemikalien werden Behandlungsprozesse während der Herstellungsprozesse der Halbleiterprodukte durchgeführt. Typischerweise werden dort als Chemikalien Flusssäure, Salpetersäure, Wasserstoffperoxid, Natronlauge und Lösemittel eingesetzt. Die Behälter können generell auch Bestandteile von Transportsystemen sein.The chemicals stored in the containers and which can be removed via a removal system are required in particular in the manufacturing process of semiconductor products such as microchips. With these chemicals, treatment processes are carried out during the manufacturing processes of the semiconductor products. Typically, the chemicals used there are hydrofluoric acid, nitric acid, hydrogen peroxide, caustic soda and solvents. In general, the containers can also be components of transport systems.
Bei der Herstellung von Halbleiterprodukten sind strenge Reinheitsanforderungen einzuhalten. Die Herstellung von Halbleiterprodukten erfolgt in Reinräumen. Dementsprechend gelten auch für die eingesetzten Fertigungsmittel, insbesondere die verwendeten Chemikalien sowie die Entnahmesysteme zur Entnahme der Chemikalien aus Behältern, strenge Reinheitsanforderungen.Strict cleanliness requirements must be observed in the manufacture of semiconductor products. Semiconductor products are manufactured in clean rooms. Accordingly, strict cleanliness requirements also apply to the production equipment used, in particular the chemicals used and the removal systems for removing the chemicals from containers.
Ein Problem hierbei besteht darin, dass die Komponenten von Entnahmesystemen, insbesondere auch die Behälter, in denen die Chemikalien gelagert werden, Verunreinigungen aufweisen, die an die Chemikalien übertragen werden. Diese Verunreinigungen entstehen bereits bei dem Herstellungsprozess des Entnahmesystems. Die so auf die Chemikalien übertragenen Verunreinigungen beeinträchtigen die Fertigungsprozesse der Halbleiterprodukte, für die die Chemikalien eingesetzt werden.A problem here is that the components of withdrawal systems, in particular also the containers in which the chemicals are stored, contain contaminants which are transferred to the chemicals. This contamination already occurs during the manufacturing process of the extraction system. The contaminants thus transferred to the chemicals adversely affect the manufacturing processes of the semiconductor products that use the chemicals.
Daher ist es erforderlich, die Komponenten der Entnahmesysteme zu reinigen, bevor sie in den Fertigungsprozess der Halbleiterprodukte eingesetzt werden.It is therefore necessary to clean the components of the extraction systems before they are used in the manufacturing process of the semiconductor products.
Ein bekanntes Reinigungsverfahren besteht darin, die Komponenten des jeweiligen Entnahmesystems, insbesondere deren zugeordnete Behälter, vorab mit der Chemikalie zu spülen, die später im Entnahmesystem eingesetzt wird. Dies ist vorteilhaft, da damit keine Fremdchemikalien mit den Komponenten des Entnahmesystems in Kontakt kommen, sondern nur die Chemikalie, für die das Entnahmesystem später verwendet werden soll.A known cleaning method consists in rinsing the components of the respective removal system, in particular their associated containers, in advance with the chemical that is later used in the removal system. This is advantageous because no foreign chemicals come into contact with the components of the extraction system, only the chemical for which the extraction system is later to be used.
Nachteilig hierbei ist, dass die zur Reinigung verwendeten Chemikalien verunreinigt sind. Diese können für die Fertigungsprozesse zur Herstellung der Halbleiterprodukte nicht mehr verwendet werden und müssen entsorgt werden. Dies stellt einen wesentlichen Kostenfaktor dar und zudem auch eine erhebliche Umweltbelastung.The disadvantage here is that the chemicals used for cleaning are contaminated. These can no longer be used for the manufacturing processes used to manufacture the semiconductor products and must be disposed of. This represents a significant cost factor and also a significant environmental impact.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein rationelles, effizientes und zugleich umweltschonendes Verfahren für die Reinigung von Komponenten eines Entnahmesystems bereitzustellen.The object of the invention is to provide a rational, efficient and at the same time environmentally friendly method for cleaning components of a removal system.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale der unabhängigen Ansprüche vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.To solve this problem, the features of the independent claims are provided. Advantageous embodiments and expedient developments of the invention are described in the dependent claims.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Komponenten eines Transport- oder Entnahmesystems in einem geschlossenen Raum, in welchem wenigstens eine zu reinigende Fläche wenigstens einer Komponente eingebracht wird oder vorgesehen ist. Dem geschlossenen Raum ist Ozon als alleiniges Reinigungsmittel zugeführt.The invention relates to a method for cleaning components of a transport or removal system in a closed space, in which at least one surface to be cleaned of at least one component is introduced or provided. Ozone is supplied to the closed room as the sole cleaning agent.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Reinigungssystem.The invention further relates to a corresponding cleaning system.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, Komponenten von Transport- oder Entnahmesystemen mit Ozon als alleiniges Reinigungsmittel zu reinigen.An essential advantage of the invention consists in cleaning components of transport or extraction systems with ozone as the sole cleaning agent.
Der Reinigungsvorgang erfolgt vorteilhaft nach dem Herstellungsprozess der Komponenten des Transport- oder Entnahmesystems. Prinzipiell können auch bereits im Einsatz befindliche Entnahmesysteme mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gereinigt werden. Dasselbe gilt für im Einsatz befindliche Transportsysteme. Dabei können unterschiedliche Transportsysteme zum Transport von Chemikalien vorgesehen sein. Ohne Beschränkung der Allgemeinheit wird die Erfindung im Folgenden für Entnahmesysteme beschrieben.The cleaning process advantageously takes place after the manufacturing process of the components of the transport or extraction system. In principle, extraction systems that are already in use can also be cleaned with the method according to the invention. The same applies to transport systems in use. Different transport systems can be provided for transporting chemicals. Without restricting the generality, the invention is described below for extraction systems.
Ozon stellt ein hochwirksames Reinigungsmittel dar. Ozon gehört mit seinem Standardelektrodenpotential von +2,07 zu einem der stärksten Oxidationsmittel und oxidiert fast alle Metalle zu ihrer höchsten Oxidationsstufe.Ozone is a highly effective cleaning agent. With its standard electrode potential of +2.07, ozone is one of the strongest oxidizing agents and oxidizes almost all metals to their highest oxidation state.
Durch die Verwendung von Ozon als Reinigungsmittel können somit Komponenten des Entnahmesystems sehr gründlich gereinigt werden, wobei durch diesen Reinigungsprozess insbesondere die Reinheitsanforderungen für Fertigungsanlagen für Halbleiterprodukte, insbesondere Mikrochips erfüllt werden können.By using ozone as a cleaning agent, components of the Ent Acquisition system are cleaned very thoroughly, with this cleaning process in particular the cleanliness requirements for manufacturing plants for semiconductor products, especially microchips can be met.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein wesentlicher Vorteil des als Reinigungsmittel genutzten Ozons ausgenutzt. Ozon hat einen physikalisch und chemisch genau gekennzeichneten Isomerieverfall.In the method according to the invention, a significant advantage of the ozone used as a cleaning agent is exploited. Ozone has a physically and chemically well-characterized isomerism.
Dieser Umstand wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ausgenutzt, dass das sich im geschlossenen, das heißt gasdicht gekapselten Raum befindliche Ozon zu reinem Sauerstoff zersetzt. Dabei wird vorteilhaft die Verweilzeit des Ozons im Raum so gewählt, dass sich dort das Ozon im Lauf der Zeit vollständig zersetzt.This circumstance is exploited in the method according to the invention, in that the ozone in the closed, ie gas-tight, encapsulated space decomposes into pure oxygen. In this case, the residence time of the ozone in the room is advantageously chosen such that the ozone there completely decomposes over time.
Die erforderliche Reinigungswirkung des Ozons setzt bereits nach einigen Minuten ein. Danach kann das Ozon im Raum verbleiben und sich zu Sauerstoff zersetzen, was die Reinigungswirkung des Ozons in keiner Weise beeinträchtigt. Sauerstoff als verbleibende Restsubstanz kann nach erfolgter Reinigung und Öffnen des Raums einfach in die Atmosphäre entweichen. Damit entstehen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren aus dem Raum keinerlei schädlichen Restprodukte, die entsorgt werden müssten. Das erfindungsgemäße Verfahren gewährleistet somit nicht nur eine vollständige Reinigung von Komponenten des Entnahmesystems. Vielmehr ist das Verfahren rationell, kostengünstig und darüber hinaus umweltfreundlich durchführbar.The required cleaning effect of the ozone starts after just a few minutes. After that, the ozone can remain in the room and decompose into oxygen, which in no way affects the cleaning effect of the ozone. Oxygen as the remaining residual substance can simply escape into the atmosphere after the room has been cleaned and opened. With the method according to the invention, no harmful residual products arise from the room that would have to be disposed of. The method according to the invention thus ensures not only a complete cleaning of components of the removal system. Rather, the method is efficient, inexpensive and can also be carried out in an environmentally friendly manner.
Gemäß einer ersten Variante der Erfindung ist eine Verpackung vorgesehen, deren Innenraum den Raum bildet, wobei eine Komponente im Innenraum der Verpackung gelagert ist. Dabei ist die Verpackung gasdicht.According to a first variant of the invention, packaging is provided whose interior forms the space, with a component being stored in the interior of the packaging. The packaging is gas-tight.
Die Verpackung besteht somit aus gasdichtem Material wie zum Beispiel einem Kunststoff und weist eine Öffnung zum Einleiten von Ozon auf, die gasdicht abgeschlossen werden kann.The packaging thus consists of a gas-tight material such as a plastic and has an opening for introducing ozone, which can be sealed gas-tight.
Vorteilhaft ist die in einer Verpackung gelagerte Komponente eine Armatur, eine Pumpe, eine Rohrleitung, ein Schlauch, ein Verschluss oder ein Tauchrohr.The component stored in a package is advantageously a fitting, a pump, a pipeline, a hose, a closure or a dip tube.
Die Größe und Form der Verpackung ist an die jeweilige Komponente des Entnahmesystems angepasst.The size and shape of the packaging is adapted to the respective component of the withdrawal system.
Gemäß einer zweiten Variante ist eine Komponente ein Behälter, dessen Innenraum den Raum bildet und dessen den Innenraum begrenzende Innenwand die zu reinigende Fläche der Komponente bildet.According to a second variant, a component is a container whose interior space forms the space and whose inner wall delimiting the interior space forms the surface of the component to be cleaned.
In diesem Fall wird Ozon als Reinigungsmittel über eine Behälteröffnung in den Behälter eingeleitet, wonach die Behälteröffnung gasdicht abgeschlossen wird. Damit kann das Ozon nicht aus dem Innenraum des Behälters entweichen.In this case, ozone as a cleaning agent is introduced into the container via a container opening, after which the container opening is sealed gas-tight. This means that the ozone cannot escape from the interior of the container.
Die den Innenraum begrenzenden Innenwände bilden die einzigen zu reinigenden Flächen des Behälters, da nur sie in Kontakt mit der in den Behälter zu füllenden Chemikalie kommen können. Da sich das Ozon im gesamten Innenraum ausbildet, ist eine vollständige Reinigung der Innenwände des Behälters gewährleistet.The inner walls delimiting the interior form the only surfaces of the container to be cleaned, since only they can come into contact with the chemical to be filled into the container. Since the ozone is formed throughout the interior, a complete cleaning of the inner walls of the container is guaranteed.
Der Behälter kann insbesondere ein Transportbehälter sein. Generell kann der Behälter auch ein Fass, eine Flasche, ein Kanister oder ein IBC(intermediate bulk container)-Behälter sein.The container can in particular be a transport container. In general, the container can also be a drum, a bottle, a can or an IBC (intermediate bulk container).
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
-
1 : Schematische Darstellung eines Entnahmesystems. -
2 : Erste Anordnung zur Reinigung von Komponenten des Entnahmesystems gemäß1 mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens. -
3 : Zweite Anordnung zur Reinigung von Komponenten des Entnahmesystems gemäß1 mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens.
-
1 : Schematic representation of a sampling system. -
2 : First order for cleaning components of the extraction system according to1 by means of the method according to the invention. -
3 : Second arrangement for cleaning components of the extraction system according to1 by means of the method according to the invention.
Der Behälterverschluss 2 umfasst einen Entnahmekopf 4 und ein Tauchrohr 5. Das Tauchrohr 5 ist in einer Behälteröffnung 6 des Behälters 3 gelagert und fest mit dem Behälter 3 verbunden. Die Komponenten des Behälterverschlusses 2 bestehen aus chemisch resistenten Kunststoffen, so dass diese von den im Behälter 3 gelagerten Spezialchemikalien nicht angegriffen werden. Der Behälterverschluss 2 dient meist auch als Verschluss des Behälters 3 während dessen Transports.The
Der Entnahmekopf 4 dient zur Entnahme von Flüssigkeiten aus dem Behälter 3. Hierzu weist der Entnahmekopf 4 an seinem oberen Ende einen Flüssigkeitsanschluss 4a auf. An diesem Flüssigkeitsanschluss 4a wird eine Leitung 7 angeschlossen, die zu einer Pumpe 8 führt.The
Die Pumpe 8 wird von einer Steuereinheit 9 gesteuert. Hierzu ist die Pumpe 8 über ein Kabel 10 an die Steuereinheit 9 angeschlossen.The pump 8 is controlled by a
Erfindungsgemäß werden die Komponenten des Entnahmesystems 1, die mit den Spezialchemikalien in Kontakt kommen, mit Ozon 11 als einzigem Reinigungsmittel gereinigt. Prinzipiell könnte nach der Reinigung noch eine Spülung mit Wasser erfolgen. Die Reinigung kann nach der Herstellung der Komponenten und vor ihrem industriellem Einsatz erfolgen. Alternativ kann die Reinigung auch während des industriellen Einsatzes, insbesondere während vorgegebener Wartungsintervalle erfolgen.According to the invention, the components of the
In einer Verpackung 12 wird eine zu reinigende Komponente des Entnahmesystems 1 gelagert, wobei im vorliegenden Fall die Komponente von einer Armatur 13 gebildet ist.A component of the
Weitere zu reinigende Komponenten können Pumpen 8, Rohrleitungen oder Teile hiervon, Schläuche, Verschlüsse, Tauchrohre 5 und dergleichen sein.Other components to be cleaned can be pumps 8, pipelines or parts thereof, hoses, closures,
Die Verpackung 12 besteht aus gasdichtem Material. Das Ozon 11 wird über ein Verschlussmittel 14 in den Innenraum der Verpackung 12 mittels nicht dargestellten Zuführmittel eingeleitet, wobei das Verschlussmittel 14 nach Schließen die Verpackung 12 gasdicht abschließt. Der Innenraum der Verpackung 12 bildet den Raum.The
Bei beiden Ausführungsformen verbleibt das Ozon 11 so lange im Raum bis es sich zu Sauerstoff zersetzt hat. Die notwendige Reinigungswirkung entfaltet das Ozon 11 zum Großteil nach wenigen Minuten. Eine vollständige Reinigung der Komponenten erfolgt weit vor der Zersetzung des Ozons 11 zu Sauerstoff.In both embodiments, the
BezugszeichenlisteReference List
- (1)(1)
- Entnahmesystemwithdrawal system
- (2)(2)
- Behälterverschlusscontainer closure
- (3)(3)
- Behältercontainer
- (4)(4)
- Entnahmekopfremoval head
- (4a)(4a)
- Flüssigkeitsanschlussliquid connection
- (5)(5)
- Tauchrohrdip tube
- (6)(6)
- Behälteröffnungcontainer opening
- (7)(7)
- LeitungManagement
- (8)(8th)
- Pumpepump
- (9)(9)
- Steuereinheitcontrol unit
- (10)(10)
- KabelCable
- (11)(11)
- Ozonozone
- (12)(12)
- VerpackungPackaging
- (13)(13)
- Armaturfitting
- (14)(14)
- Verschlussmittelmeans of closure
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents cited by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
- EP 2848583 B1 [0003]EP 2848583 B1 [0003]
Claims (10)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102021116163.0A DE102021116163A1 (en) | 2021-06-22 | 2021-06-22 | Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102021116163.0A DE102021116163A1 (en) | 2021-06-22 | 2021-06-22 | Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102021116163A1 true DE102021116163A1 (en) | 2022-12-22 |
Family
ID=84283405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102021116163.0A Pending DE102021116163A1 (en) | 2021-06-22 | 2021-06-22 | Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102021116163A1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10041319A1 (en) | 1999-09-07 | 2001-04-19 | Alcoa Gmbh Verpackwerke | Device and method for filling containers |
| EP2848583B1 (en) | 2013-09-12 | 2016-05-25 | as Strömungstechnik GmbH | Retrieval system |
-
2021
- 2021-06-22 DE DE102021116163.0A patent/DE102021116163A1/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10041319A1 (en) | 1999-09-07 | 2001-04-19 | Alcoa Gmbh Verpackwerke | Device and method for filling containers |
| EP2848583B1 (en) | 2013-09-12 | 2016-05-25 | as Strömungstechnik GmbH | Retrieval system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102016012488A1 (en) | Cleaning, disinfection and drying system | |
| DE202020006155U1 (en) | Cleaning device for a dosing system | |
| DE19945500A1 (en) | Hydrogen peroxide sterilization process for folding boxes holding edible dairy liquids and pastes minimizes unwanted emissions and energy losses | |
| DE102021116163A1 (en) | Method for cleaning components of a transport or extraction system and a cleaning system | |
| DE102013219782A1 (en) | CLEANING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING WASH GOOD, ESPECIALLY FOR CLEANING SEMICONDUCTOR MODULES | |
| EP3079993A1 (en) | Method for sterilizing packaging | |
| EP2289839B1 (en) | Device and method for preparing a sterile liquid for a filling plant | |
| DE102015109080B3 (en) | Sampling device for liquids and / or gases with a sample bottle and a cleaning module | |
| DE102010003468A1 (en) | Sterilization device for beaker shaped packing container, has transport device for transporting packing container into receptacle of conveyor | |
| DE102009020629A1 (en) | Method for cleaning and disinfecting e.g. interior space of molding machine used in food processing industry, involves conveying and distributing servicing, cleaning and disinfection agents | |
| EP2839846B1 (en) | Device for treatment of containers in a beverage bottling system | |
| DE102022122541A1 (en) | Device and method for treating containers | |
| EP0087055A1 (en) | Method for the solvent treatment of metallic objects in particular | |
| EP0060314A1 (en) | Process for decontaminating objects | |
| DE19522596C2 (en) | Device for the recovery and / or cleaning of contaminated lubricating oils | |
| DE102015118197A1 (en) | System and method for the treatment of liquid wastes in weightlessness | |
| DE19701677C1 (en) | Process and assembly to progressively remove especially poison gases e.g. ethylene oxide | |
| EP3907192B1 (en) | Method for preserving a water treatment plant with surface wetting of a water treatment structure | |
| DE102011086392A1 (en) | Device for calibrating sensor e.g. potentiometric sensors such as pH-sensor, has tubular calibration unit and calibration container that are connected with cleaning unit and control unit | |
| DE102023100730B4 (en) | Method for cleaning pot-shaped hollow bodies, in particular transport containers for semiconductor wafers or for lithography masks with a corresponding device | |
| DE102024102178A1 (en) | Method for operating a container treatment plant | |
| DE102023133017A1 (en) | Plant and method for treating containers | |
| DE102014201814A1 (en) | Sterilentnahmevorrichtung with cleaning device | |
| WO2024227601A1 (en) | System for processing pharmaceutical containers and method for operating such a system | |
| EP4438064A1 (en) | Decontamination method, in particular for pharmaceutical installations and applications, and decontamination arrangement for pharmaceutical applications |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: B08B0009200000 Ipc: B08B0009000000 |
|
| R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: B08B0009000000 Ipc: B08B0007000000 |
|
| R016 | Response to examination communication |