DE102020216026A1

DE102020216026A1 - Transmitting unit for a LIDAR sensor, LIDAR sensor and a method for emitting primary light into a field of view using a LIDAR sensor

Info

Publication number: DE102020216026A1
Application number: DE102020216026.0A
Authority: DE
Inventors: Hans-Jochen Schwarz; Alf Neustadt; Mirko Hattass; Annette Frederiksen
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2020-12-16
Filing date: 2020-12-16
Publication date: 2022-06-23
Also published as: CN114636990A

Abstract

Sendeeinheit (300-A bis 300-E) für einen LIDAR-Sensor (700) zur Aussendung von Primärlicht (302) in ein Sichtfeld (306) des LIDAR-Sensors (700) aufweisend wenigstens eine Emittereinheit (301), welche dazu ausgebildet ist, Primärlicht (302) in Form eines Ausleuchtungsmusters (507) auszusenden, wobei das Ausleuchtungsmuster (507) wenigstens eine erste (311, 501) und eine zweite Ausdehnung (401, 502) aufweist, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind, und wobei die erste Ausdehnung (311, 501) größer oder kleiner ist als die zweite Ausdehnung (401, 502), und wobei das ausgesendete Ausleuchtungsmuster (507) entlang eines Orientierungsvektors (508) ausgerichtet ist, der parallel zur ersten Ausdehnung (311, 501) ist; und wenigstens einen ersten Umlenkspiegel (303) und wenigstens einen beweglichen Spiegel (304); wobei der erste Umlenkspiegel (303) dazu ausgebildet ist, das Primärlicht (302) auf den beweglichen Spiegel (304) umzulenken; wobei der bewegliche Spiegel (304) dazu ausgebildet ist, das Primärlicht (302) im Sichtfeld (306) entlang einer ersten Richtung (403) und entlang einer zweiten Richtung (314), welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, abzutasten; und wobei der erste Umlenkspiegel (303) derart in einem Strahlengang des Primärlichts (302) angeordnet ist, dass das von der Emittereinheit (301) ausgesendete Primärlicht (302) unter einem ersten Einfallswinkel (312) zu einer Flächennormale (317) des ersten Umlenkspiegels (303) von weniger als ± 12°, bevorzugt weniger als ± 9°, besonders bevorzugt weniger als ± 7° einfällt.Transmission unit (300-A to 300-E) for a LIDAR sensor (700) for emitting primary light (302) into a field of view (306) of the LIDAR sensor (700), having at least one emitter unit (301) which is designed for this purpose to emit primary light (302) in the form of an illumination pattern (507), the illumination pattern (507) having at least a first (311, 501) and a second extent (401, 502) which are orthogonally aligned to one another, and the first extent (311, 501) is larger or smaller than the second extent (401, 502), and wherein the emitted illumination pattern (507) is aligned along an orientation vector (508) that is parallel to the first extent (311, 501); and at least one first deflection mirror (303) and at least one movable mirror (304); wherein the first deflection mirror (303) is designed to deflect the primary light (302) onto the movable mirror (304); wherein the moveable mirror (304) is configured to scan the primary light (302) in the field of view (306) along a first direction (403) and along a second direction (314) oriented perpendicular to the first direction; and wherein the first deflection mirror (303) is arranged in a beam path of the primary light (302) in such a way that the primary light (302) emitted by the emitter unit (301) is at a first angle of incidence (312) to a surface normal (317) of the first deflection mirror ( 303) of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7°.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor, einen LIDAR-Sensor und ein Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld mittels eines LIDAR-Sensors gemäß der unabhängigen Ansprüche.The present invention relates to a transmission unit for a LIDAR sensor, a LIDAR sensor and a method for emitting primary light into a field of view using a LIDAR sensor according to the independent claims.

Stand der TechnikState of the art

Die DE 10 2017 123 878 A1 offenbart eine Sendeeinrichtung enthaltend bevorzugt wenigstens zwei Laserdioden und einen um seinen Mittelpunkt auslenkbaren Scanspiegel, der innerhalb eines Gehäuses mit einem transparenten Abdeckelement angeordnet ist. Das Abdeckelement ist wenigstens in einem Auskoppelbereich durch einen Ausschnitt einer monozentrischen Halbkugelschale mit einem Krümmungsmittelpunkt gebildet, die so den Scanspiegel überdeckt und angeordnet ist, dass der Krümmungsmittelpunkt und der Mittelpunkt des Scanspiegels zusammenfallen und wird in einem Einkoppelbereich durch einen optischen Block gebildet, mit einer torodialen Eintrittsfläche, wenigstens einer torodialen Austrittsfläche und wenigstens einer dazwischen angeordneten ersten Spiegelfläche zur Umlenkung und Vorkollimation der Laserstrahlen.the DE 10 2017 123 878 A1 discloses a transmission device containing preferably at least two laser diodes and a scanning mirror that can be deflected about its center and is arranged inside a housing with a transparent cover element. The cover element is formed at least in a decoupling area by a section of a monocentric hemispherical shell with a center of curvature, which covers the scanning mirror and is arranged in such a way that the center of curvature and the center of the scanning mirror coincide and is formed in a coupling-in area by an optical block with a toroidal Entry surface, at least one toroidal exit surface and at least one first mirror surface arranged in between for deflection and pre-collimation of the laser beams.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of Invention

Die vorliegende Erfindung geht aus von einer Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld des LIDAR-Sensors. Die Sendeeinheit weist wenigstens eine Emittereinheit auf, welche dazu ausgebildet ist, Primärlicht in Form eines Ausleuchtungsmuster auszusenden, wobei das Ausleuchtungsmuster wenigstens eine erste und eine zweite Ausdehnung aufweist, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind, und wobei die erste Ausdehnung größer oder kleiner als die zweite Ausdehnung ist, und wobei das ausgesendete Ausleuchtungsmuster entlang eines Orientierungsvektors ausgerichtet ist, der parallel zur ersten Ausdehnung ist. Die Sendeeinheit weist weiterhin wenigstens einen ersten Umlenkspiegel und wenigstens einen beweglichen Spiegel auf. Der erste Umlenkspiegel ist dazu ausgebildet, das Primärlicht auf den beweglichen Spiegel umzulenken. Der bewegliche Spiegel ist dazu ausgebildet, das Primärlicht im Sichtfeld entlang einer ersten Richtung und entlang einer zweiten Richtung, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, abzutasten. Der erste Umlenkspiegel ist derart in einem Strahlengang des Primärlichts angeordnet, dass das von der Emittereinheit ausgesendete Primärlicht unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des ersten Umlenkspiegels von weniger als ± 12°, bevorzugt weniger als ± 9°, besonders bevorzugt weniger als ± 7° einfällt.The present invention is based on a transmission unit for a LIDAR sensor for emitting primary light into a field of view of the LIDAR sensor. The transmission unit has at least one emitter unit, which is designed to emit primary light in the form of an illumination pattern, the illumination pattern having at least a first and a second extent, which are aligned orthogonally to one another, and the first extent being larger or smaller than the second extent and wherein the transmitted illumination pattern is aligned along an orientation vector that is parallel to the first extent. The transmission unit also has at least one first deflection mirror and at least one movable mirror. The first deflection mirror is designed to deflect the primary light onto the movable mirror. The moveable mirror is configured to scan the primary light in the field of view along a first direction and along a second direction oriented perpendicular to the first direction. The first deflection mirror is arranged in a beam path of the primary light in such a way that the primary light emitted by the emitter unit is at a first angle of incidence to a surface normal of the first deflection mirror of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7° occurs.

Der erste Einfallswinkel zu der Flächennormalen des ersten Umlenkspiegels ist hierbei insbesondere als vertikaler Einfallswinkel aufzufassen. Das Primärlicht kann gleichzeitig unter einem zweiten Einfallswinkel zu der Flächennormalen des ersten Spiegels auf den Umlenkspiegel einfallen. Der zweite Einfallswinkel ist hierbei insbesondere als horizontaler Einfallswinkel aufzufassen. Der zweite Einfallswinkel kann beispielsweise bis zu ± 20° betragen.The first angle of incidence to the surface normal of the first deflection mirror is to be understood here in particular as a vertical angle of incidence. The primary light can simultaneously strike the deflection mirror at a second angle of incidence to the surface normal of the first mirror. The second angle of incidence is to be understood here in particular as a horizontal angle of incidence. The second angle of incidence can be up to ±20°, for example.

Die erste Richtung ist bevorzugt senkrecht zum Orientierungsvektor des Ausleuchtungsmusters orientiert. Die zweite Richtung ist bevorzugt parallel zum Orientierungsvektor des Ausleuchtungsmusters orientiert. Der Orientierungsvektor des Ausleuchtungsmusters ist bevorzugt senkrecht zur ersten Richtung und parallel zur zweiten Richtung orientiert.The first direction is preferably oriented perpendicular to the orientation vector of the illumination pattern. The second direction is preferably oriented parallel to the orientation vector of the illumination pattern. The orientation vector of the illumination pattern is preferably oriented perpendicular to the first direction and parallel to the second direction.

Die Emittereinheit kann wenigstens einen Laser aufweisen. Der wenigstens eine Laser kann als DFB-Laser (DFB: engl. für Distributed feedback, DFB), als DBR-Laser (DBR: engl. für Distributed Bragg Reflector), als Kanten- oder Oberflächenemitter oder als Festkörperlaser ausgebildet sein. Ein Laser der Emittereinheit kann temperaturstabilisiert ausgebildet sein. Die Emittereinheit kann einen einzigen Laser mit hoher Divergenz entlang der ersten Richtung aufweisen. Die Emittereinheit kann einen einzigen Laser mit hoher Divergenz entlang der zweiten Richtung aufweisen. Die Emittereinheit kann eine Mehrzahl Laser aufweisen, die dazu ausgebildet sind, das Ausleuchtungsmuster zu erzeugen. Hierfür kann die Mehrzahl Laser beispielsweise in einer Spalte oder in einer Zeile angeordnet sein. Die Sendeeinheit kann weitere optische Elemente, wie zum Beispiel optische Linsen, Spiegel, Strahlteiler oder ähnliches aufweisen. Das Ausleuchtungsmuster kann auch mittels eines solchen optischen Elements ausgebildet werden. In einem optischen Pfad der Sendeeinheit kann relativ bald nach Austritt aus dem LIDAR-Sensor (unmittelbar oder nach wenigen Zentimetern) eine zusammenhängende, über den Abstand zum LIDAR-Sensor zunehmend homogenere Beleuchtung des Sichtfeldes mit dem Ausleuchtungsmuster entstehen. Die Emittereinheit ist insbesondere dazu ausgebildet, das Primärlicht gepulst auszusenden. Die Emittereinheit ist insbesondere dazu ausgebildet, das Ausleuchtungsmuster gepulst auszusenden. Das Ausleuchtungsmuster ist insbesondere als eine Linie, ein Rechteck oder ein Muster, zum Beispiel ein Karomuster, ausgebildet.The emitter unit can have at least one laser. The at least one laser can be embodied as a DFB laser (DFB: Distributed Feedback, DFB), as a DBR laser (DBR: Distributed Bragg Reflector), as an edge or surface emitter or as a solid-state laser. A laser of the emitter unit can be temperature-stabilized. The emitter unit can have a single laser with high divergence along the first direction. The emitter unit can have a single laser with high divergence along the second direction. The emitter unit may include a plurality of lasers configured to generate the illumination pattern. For this purpose, the plurality of lasers can be arranged in a column or in a row, for example. The transmission unit can have further optical elements, such as optical lenses, mirrors, beam splitters or the like. The illumination pattern can also be formed using such an optical element. In an optical path of the transmitter unit, relatively soon after exiting the LIDAR sensor (immediately or after a few centimeters), a coherent illumination of the field of view with the illumination pattern that is increasingly more homogeneous over the distance to the LIDAR sensor can occur. The emitter unit is designed in particular to emit the primary light in a pulsed manner. The emitter unit is designed in particular to emit the illumination pattern in a pulsed manner. The illumination pattern is designed in particular as a line, a rectangle or a pattern, for example a checkered pattern.

Der erste Umlenkspiegel ist insbesondere unbeweglich ausgebildet. Der erste Umlenkspiegel kann auch als Faltspiegel bezeichnet werden. Alternativ zum ersten Umlenkspiegel könnte die Sendeeinheit auch ein anderes erstes Umlenkelement aufweisen. Ein solches erstes Umlenkelement könnte zum Beispiel ein Prisma oder ein diffraktives optisches Element mit einer Umlenkfunktion sein. Der bewegliche Spiegel kann mittels einer elektrischen, einer elektromagnetischen und/oder mittels einer piezo-elektrischen Antriebseinheit bewegt werden. Der bewegliche Spiegel kann als mikromechanischer Spiegel ausgebildet sein. Der bewegliche Spiegel kann Abmessungen von wenigen bis mehreren 100 µm aufweisen. Der bewegliche Spiegel kann Abmessungen im mm-Bereich aufweisen. Durch ein Bewegen des beweglichen Spiegels in seinen zwei Achsen kann das Sichtfeld des LIDAR-Sensors abgetastet werden.The first deflection mirror is designed in particular to be immovable. The first deflection mirror can also be referred to as a folding mirror. As an alternative to the first deflection mirror, the transmission unit could also have another first deflection element. Such a first deflection element could be, for example, a prism or a diffractive opti cal element with a deflection function. The movable mirror can be moved by means of an electric, an electromagnetic and/or by means of a piezoelectric drive unit. The movable mirror can be designed as a micromechanical mirror. The movable mirror can have dimensions of a few to several 100 μm. The movable mirror can have dimensions in the mm range. By moving the moveable mirror in its two axes, the field of view of the LIDAR sensor can be scanned.

Die erste Richtung, entlang derer das Primärlicht im Sichtfeld abgetastet wird, ist insbesondere vertikal im Sichtfeld angeordnet. Die zweite Richtung entlang derer das Primärlicht im Sichtfeld abgetastet wird ist insbesondere horizontal im Sichtfeld angeordnet. Alternativ ist es auch möglich, dass die erste Richtung horizontal und die zweite Richtung vertikal im Sichtfeld angeordnet sind.The first direction, along which the primary light is scanned in the field of view, is arranged in particular vertically in the field of view. The second direction along which the primary light is scanned in the field of view is in particular arranged horizontally in the field of view. Alternatively, it is also possible for the first direction to be arranged horizontally and the second direction to be arranged vertically in the field of view.

Der Vorteil der Erfindung besteht darin, dass mittels des ersten Umlenkspiegels die Baugröße der Sendeeinheit geringgehalten werden kann. Mittels des ersten Umlenkspiegels kann entsprechend auch die Baugröße des LIDAR-Sensors geringgehalten werden. Dadurch, dass das von der Emittereinheit ausgesendete Primärlicht unter einem Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des ersten Umlenkspiegels von weniger als ± 12° einfällt, kann ermöglicht werden, dass sich der Orientierungsvektor durch die Reflexion am ersten Umlenkspiegel nur um einen Winkel von nahe 0° oder nahe 90° dreht. Andere Winkeldrehungen, insbesondere solche, die deutlich verschieden von 0° oder 90° sind, können vermieden werden. Der Orientierungsvektor des Ausleuchtungsmusters kann hierdurch beim Austritt aus dem LIDAR-Sensor senkrecht zur ersten Richtung und parallel zur zweiten Richtung orientiert sein. Der Orientierungsvektor des Ausleuchtungsmusters kann beim Austritt aus dem LIDAR-Sensor nahezu senkrecht zur ersten Richtung und nahezu parallel zur zweiten Richtung orientiert sein. Es kann vermieden werden, dass eine Verdrehung der Orientierung des Orientierungsvektors auftritt. Insbesondere bei einem größeren Sichtfeld kann dies zu einer homogeneren Abtastung des Sichtfeldes führen. Vor allem Bereiche des Sichtfeldes des LIDAR-Sensors, die weiter weg vom LIDAR-Sensor sind (zum Beispiel in einer Entfernung von 100 m), können homogen abgetastet werden. Hierdurch kann beim Abtasten des Sichtfeldes eine nahezu lückenlose Beleuchtung erreicht werden. Unbeleuchtete Bereiche im Sichtfeld können vermieden werden. Hierdurch kann das Risiko, dass kleine Objekte im Sichtfeld nicht erfasst werden, wesentlich verringert werden.The advantage of the invention is that the size of the transmission unit can be kept small by means of the first deflection mirror. The size of the LIDAR sensor can also be kept small accordingly by means of the first deflection mirror. Because the primary light emitted by the emitter unit is incident at an angle of incidence of less than ±12° to a surface normal of the first deflection mirror, it can be made possible for the orientation vector to only deviate by an angle of close to 0° or close to 0° due to the reflection on the first deflection mirror rotates 90°. Other angular rotations, particularly those that are significantly different from 0° or 90°, can be avoided. As a result, the orientation vector of the illumination pattern can be oriented perpendicularly to the first direction and parallel to the second direction when exiting the LIDAR sensor. The orientation vector of the illumination pattern can be oriented almost perpendicular to the first direction and almost parallel to the second direction when exiting the LIDAR sensor. Twisting of the orientation of the orientation vector can be avoided from occurring. In particular with a larger field of view, this can lead to a more homogeneous scanning of the field of view. In particular, areas of the LIDAR sensor's field of view that are further away from the LIDAR sensor (e.g. at a distance of 100 m) can be scanned homogeneously. As a result, almost uninterrupted illumination can be achieved when scanning the field of view. Unlit areas in the field of view can be avoided. This can significantly reduce the risk of missing small objects in the field of view.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der bewegliche Spiegel derart im Strahlengang des Primärlichts angeordnet ist, dass das vom ersten Umlenkspiegel umgelenkte Primärlicht unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des beweglichen Spiegels von weniger als ± 12° einfällt. Der erste Einfallswinkel zu der Flächennormalen des beweglichen Spiegels ist hierbei insbesondere als vertikaler Einfallswinkel aufzufassen. Das Primärlicht kann gleichzeitig unter einem zweiten Einfallswinkel zu der Flächennormalen des beweglichen Spiegels auf den beweglichen Spiegel einfallen. Der zweite Einfallswinkel ist hierbei insbesondere als horizontaler Einfallswinkel aufzufassen. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass auch hierdurch eine Winkeldrehung des Orientierungsvektors des Ausleuchtungsmusters, die deutlich verschieden von 0° oder 90° ist, vermieden werden kann.In an advantageous embodiment of the invention, the movable mirror is arranged in the beam path of the primary light in such a way that the primary light deflected by the first deflection mirror is incident at a first angle of incidence of less than ±12° to a surface normal of the movable mirror. The first angle of incidence to the surface normal of the movable mirror is to be understood here in particular as a vertical angle of incidence. The primary light can simultaneously impinge on the movable mirror at a second angle of incidence to the surface normal of the movable mirror. The second angle of incidence is to be understood here in particular as a horizontal angle of incidence. The advantage of this configuration is that this also makes it possible to avoid an angular rotation of the orientation vector of the illumination pattern, which is clearly different from 0° or 90°.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die erste Ausdehnung größer als 7 mm ist und dass die zweite Ausdehnung größer als 7 mm ist. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass die Ausdehnung des Ausleuchtungsmusters damit größer als eine Augenpupille ist. Es ist möglich mittels der Sendeeinheit Primärlicht mit höherer Enrgie und somit höherer Reichweite auszusenden und dabei trotzdem Anforderungen an die Augensicherheit einzuhalten. Die Größe der Ausdehnung steht hierbei auch nicht einer kleinen Baugröße eines LIDAR-Sensors entgegen, der eine solche Sendeeinheit aufweist. Vielmehr ist es mit der vorliegenden Sendeeinheit möglich, eine Baugröße des LIDAR-Sensors von weniger als 20 cm Kantenlänge zu realisieren.In a further advantageous embodiment of the invention it is provided that the first extent is greater than 7 mm and that the second extent is greater than 7 mm. The advantage of this configuration is that the extent of the illumination pattern is larger than the pupil of the eye. It is possible by means of the transmitter unit to emit primary light with higher energy and thus a longer range while still complying with eye safety requirements. In this case, the size of the expansion does not stand in the way of a small overall size of a LIDAR sensor that has such a transmission unit. Rather, it is possible with the present transmission unit to realize a size of the LIDAR sensor with an edge length of less than 20 cm.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der bewegliche Spiegel dazu ausgebildet ist, das Primärlicht im Sichtfeld entlang der ersten Richtung um mehr als ± 3° abzutasten. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass ein möglichst großes Sichtfeld abgetastet werden kann. Auch hierdurch kann eine homogene Ausleuchtung des Sichtfeldes realisiert werden.In a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the movable mirror is designed to scan the primary light in the field of view by more than ±3° along the first direction. The advantage of this configuration is that the largest possible field of view can be scanned. A homogeneous illumination of the field of view can also be realized in this way.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Sendeeinheit eine erste und wenigstens eine zweite Emittereinheit aufweist. Die erste Emittereinheit kann dazu ausgebildet sein, Primärlicht in Form eines ersten Ausleuchtungsmusters auszusenden. Die zweite Emittereinheit kann dazu ausgebildet sein, Primärlicht in Form eines zweiten Ausleuchtungsmusters auszusenden. Das erste Ausleuchtungsmuster und das zweite Ausleuchtungsmuster können hinsichtlich ihrer Ausdehnungen und ihrer Orientierung im Raum ähnlich oder nahezu identisch sein. Die erste Emittereinheit kann hierbei dazu ausgebildet sein, einen ersten Ausschnitt des Sichtfeldes abzutasten. Die zweite Emittereinheit kann dazu ausgebildet sein, einen zweiten Ausschnitt des Sichtfeldes abzutasten. Es kann der erste Ausschnitt des Sichtfeldes direkt an den zweiten Ausschnitt des Sichtfeldes angrenzen. Es können der erste Ausschnitt des Sichtfeldes und der zweite Ausschnitt des Sichtfeldes wenigstens teilweise überlappen. Das von der ersten Emittereinheit ausgesendete Ausleuchtungsmuster kann an das von der zweiten Emittereinheit ausgesendete Ausleuchtungsmuster angrenzen oder mit diesem überlappen. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass ein größeres Sichtfeld abgetastet werden kann.In a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the transmission unit has a first and at least one second emitter unit. The first emitter unit can be designed to emit primary light in the form of a first illumination pattern. The second emitter unit can be designed to emit primary light in the form of a second illumination pattern. The first illumination pattern and the second illumination pattern can be similar or almost identical in terms of their dimensions and their orientation in space. In this case, the first emitter unit can be designed to scan a first section of the field of view. The second emitter unit can be designed to scan a second section of the field of view. The first section of the field of view can directly adjoin the second section of the field of view. The first section of the field of view and the second section of the field of view can at least partially overlap. The illumination pattern emitted by the first emitter unit can border on or overlap with the illumination pattern emitted by the second emitter unit. The advantage of this configuration is that a larger field of view can be scanned.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der erste Umlenkspiegel dazu ausgebildet ist, das von der ersten und das von der wenigstens einen zweiten Emittereinheit ausgesendete Primärlicht auf den beweglichen Spiegel umzulenken. Sowohl Primärlicht, welches von der ersten Emittereinheit ausgesendet wird, als auch Primärlicht welches von der wenigstens einen zweiten Emittereinheit ausgesendet wird, kann somit über einen ersten Spiegel umgelenkt werden. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass die Baugröße der Sendeeinheit und somit auch die Baugröße des LIDAR-Sensors geringgehalten werden kann.In a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the first deflection mirror is designed to deflect the primary light emitted by the first and by the at least one second emitter unit onto the movable mirror. Both primary light, which is emitted by the first emitter unit, and primary light, which is emitted by the at least one second emitter unit, can thus be deflected via a first mirror. The advantage of this configuration is that the size of the transmission unit and thus also the size of the LIDAR sensor can be kept small.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Sendeeinheit weiterhin wenigstens einen zweiten ersten Umlenkspiegel aufweist, wobei der eine erste Umlenkspiegel dazu ausgebildet ist, das von der ersten Emittereinheit ausgesendete Primärlicht auf den beweglichen Spiegel umzulenken; und wobei der wenigstens eine zweite erste Umlenkspiegel dazu ausgebildet ist, das von der wenigstens einen zweiten Emittereinheit ausgesendete Primärlicht auf den beweglichen Spiegel umzulenken. Der wenigstens eine zweite erste Umlenkspiegel kann unbeweglich ausgebildet sein. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass die Anordnung der ersten Emittereinheit und der zweiten Emittereinheit, sowie weiterer optischer Elemente der Sendeeinheit flexibler gestaltet werden kann.In a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the transmitter unit also has at least one second first deflection mirror, the one first deflection mirror being designed to deflect the primary light emitted by the first emitter unit onto the movable mirror; and wherein the at least one second first deflection mirror is designed to deflect the primary light emitted by the at least one second emitter unit onto the movable mirror. The at least one second first deflection mirror can be immovable. The advantage of this configuration is that the arrangement of the first emitter unit and the second emitter unit, as well as other optical elements of the transmission unit, can be designed to be more flexible.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Sendeeinheit wenigstens einen zweiten Umlenkspiegel aufweist, wobei der zweite Umlenkspiegel dazu ausgebildet ist, das von der Emittereinheit ausgesendete Primärlicht unter Drehung des Orientierungsvektors um einen ersten Winkel auf den ersten Umlenkspiegel umzulenken, und wobei der erste Umlenkspiegel weiterhin dazu ausgebildet ist, das Primärlicht unter Drehung des Orientierungsvektors um einen zweiten Winkel auf den beweglichen Spiegel umzulenken; und wobei der erste und der zweite Winkel jeweils von 0° und von 90° verschieden sind. Der zweite Umlenkspiegel kann unbeweglich ausgebildet sein. Alternativ zum zweiten Umlenkspiegel könnte die Sendeeinheit auch ein anderes zweites Umlenkelement aufweisen. Ein solches zweites Umlenkelement könnte zum Beispiel ein Prisma oder ein diffraktives optisches Element mit einer Umlenkfunktion sein. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass hierdurch noch besser erreicht werden kann, dass der Orientierungsvektor des wenigstens einen Ausleuchtungsmusters beim Austritt aus dem LIDAR-Sensor senkrecht zur ersten Richtung und parallel zur zweiten Richtung orientiert ist. Eine Winkeldrehung des Orientierungsvektors um einen Winkel deutlich verschieden von 0° oder 90° kann noch effektiver vermieden werden. Beispielsweise kann einer der Umlenkspiegel dazu ausgebildet sein, eine an dem anderen Umlenkspiegel auftretende, von 0° oder 90° verschiedene Winkeldrehung zu kompensieren. Beispielsweise kann der erste Umlenkspiegel dazu ausgebildet sein, eine an dem zweiten Umlenkspiegel auftretende, von 0° oder 90° verschiedene Winkeldrehung zu kompensieren. Beispielsweise kann der zweite Umlenkspiegel dazu ausgebildet sein, eine an den ersten Umlenkspiegel auftretende, von 0° oder 90° verschiedene Winkeldrehung zu kompensieren. Besonders bevorzugt kann einer der Umlenkspiegel dazu ausgebildet sein, eine an dem anderen Umlenkspiegel auftretende, von 0° oder 90° verschiedene Winkeldrehung aufzuheben.In a further advantageous embodiment of the invention, it is provided that the transmission unit has at least one second deflection mirror, with the second deflection mirror being designed to deflect the primary light emitted by the emitter unit by rotating the orientation vector by a first angle onto the first deflection mirror, and with the first deflection mirror is further configured to deflect the primary light onto the movable mirror while rotating the orientation vector by a second angle; and wherein the first and second angles are different from 0° and from 90°, respectively. The second deflection mirror can be immovable. As an alternative to the second deflection mirror, the transmission unit could also have another second deflection element. Such a second deflection element could be, for example, a prism or a diffractive optical element with a deflection function. The advantage of this configuration is that it can be achieved even better that the orientation vector of the at least one illumination pattern is oriented perpendicularly to the first direction and parallel to the second direction when exiting the LIDAR sensor. An angular rotation of the orientation vector by an angle that is significantly different from 0° or 90° can be avoided even more effectively. For example, one of the deflection mirrors can be designed to compensate for an angular rotation that is different from 0° or 90° and occurs on the other deflection mirror. For example, the first deflection mirror can be designed to compensate for an angular rotation that is different from 0° or 90° and occurs on the second deflection mirror. For example, the second deflection mirror can be designed to compensate for an angular rotation that is different from 0° or 90° and occurs at the first deflection mirror. Particularly preferably, one of the deflection mirrors can be designed to cancel an angular rotation that is different from 0° or 90° and occurs on the other deflection mirror.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist die Sendeeinheit wenigstens einen dritten Umlenkspiegel auf, wobei der dritte Umlenkspiegel derart in einem optischen Strahlengang der Sendeeinheit zwischen dem zweiten und dem ersten Umlenkspiegel angeordnet ist, dass das von zweiten Umlenkspiegel umgelenkte Primärlicht auf den dritten Umlenkspiegel trifft und wobei der dritte Umlenkspiegel dazu ausgebildet ist, das Primärlicht unter Drehung des Orientierungsvektors um einen dritten Winkel auf den ersten Umlenkspiegel umzulenken, und wobei der dritte Winkel von 0° und von 90° verschieden ist. Alternativ zum dritten Umlenkspiegel könnte die Sendeeinheit auch ein anderes drittes Umlenkelement aufweisen. Ein solches drittes Umlenkelement könnte zum Beispiel ein Prisma oder ein diffraktives optisches Element mit einer Umlenkfunktion sein. Der dritte Umlenkspiegel kann unbeweglich ausgebildet sein. Hierdurch ist es möglich, dass eine Kompensation einer von 0° oder 90° verschiedenen Winkeldrehung, mittels mehr als zweier Umlenkspiegel realisiert wird. Hierdurch wird vorteilhafter Weise eine größere Flexibilität beim Aufbau der Sendeeinheit erreicht.In a particularly preferred embodiment of the invention, the transmitting unit has at least one third deflecting mirror, the third deflecting mirror being arranged in an optical beam path of the transmitting unit between the second and the first deflecting mirror in such a way that the primary light deflected by the second deflecting mirror strikes the third deflecting mirror and wherein the third deflection mirror is designed to deflect the primary light onto the first deflection mirror by rotating the orientation vector by a third angle, and wherein the third angle is different from 0° and from 90°. As an alternative to the third deflection mirror, the transmission unit could also have another third deflection element. Such a third deflection element could be, for example, a prism or a diffractive optical element with a deflection function. The third deflection mirror can be immovable. This makes it possible to compensate for an angular rotation other than 0° or 90° by means of more than two deflection mirrors. This advantageously achieves greater flexibility when constructing the transmission unit.

Die Erfindung geht weiterhin aus von einem LIDAR-Sensor zur optischen Erfassung eines Sichtfeldes aufweisend eine Sendeeinheit, wie sie oben beschrieben wurde, und wenigstens eine Detektoreinheit zum Detektieren von im Sichtfeld von einem Objekt reflektierten und/oder gestreuten Sekundärlicht.The invention is also based on a LIDAR sensor for the optical detection of a field of view, having a transmission unit as above was described, and at least one detector unit for detecting secondary light reflected and/or scattered by an object in the field of view.

Die Detektoreinheit kann als Einzelphotonendetektoreinheit ausgebildet sein. Eine Einzelphotonendetektoreinheit kann wenigstens einen Einzelphotonendetektor aufweisen. Der wenigstens eine Einzelphotonendetektor kann beispielsweise als SPAD (engl. für Single Photon Avalanche Diode) oder als SiPM (engl. für Silicon photon multiplier) ausgebildet sein. Eine SiPM-Detektoreinheit weist im Besonderen eine Vielzahl von SPADs in spezieller Schaltung auf. Die Einzelphotonendetektoreinheit ist zur Einzelphotonenzählung ausgebildet. Die Einzelphotonendetektoreinheit kann mehrere Einzelphotonendetektorzellen aufweisen. Die Einzelphotonendetektoreinheit kann beispielsweise als eine eindimensionale Anordnung mehrerer Einzelphotonendetektorzellen ausgebildet sein. Die Einzelphotonendetektoreinheit kann in BSI-Technik (BSI: engl. für backside illumination) aufgebaut sein. Hierfür können einzelne Einzelphotonendetektorzellen an nur äußerst kleinen Chipflächen, quasi lückenlos, angeordnet sein. Insbesondere ist die Detektoreinheit dazu ausgebildet, ein Erfassungsmuster zu erfassen, welches dem Ausleuchtungsmuster gleicht. Die Detektoreinheit empfängt hierbei insbesondere Sekundärlicht aus einem vorgegebenen Ausschnitt des Sichtfeldes, in welchen zuvor das Primärlicht mittels der Emittereinheit ausgesandt wurde. Die Aussendung des Primärlichts und das Empfangen des Sekundärlicht erfolgt dabei vorzugsweise gleichzeitig über den vorgegebenen Ausschnitt des Sichtfeldes.The detector unit can be designed as a single photon detector unit. A single photon detector unit can have at least one single photon detector. The at least one single photon detector can be embodied, for example, as a SPAD (single photon avalanche diode) or as an SiPM (silicon photon multiplier). In particular, a SiPM detector unit has a large number of SPADs in a special circuit. The single photon detector unit is designed for single photon counting. The single photon detector unit can have multiple single photon detector cells. The single photon detector unit can be designed, for example, as a one-dimensional arrangement of a plurality of single photon detector cells. The single photon detector unit can be constructed using BSI technology (BSI: English for backside illumination). For this purpose, individual single photon detector cells can be arranged on only extremely small chip areas, virtually without gaps. In particular, the detector unit is designed to detect a detection pattern that is the same as the illumination pattern. In this case, the detector unit receives, in particular, secondary light from a predetermined section of the field of view, into which the primary light was previously emitted by means of the emitter unit. The transmission of the primary light and the reception of the secondary light preferably take place simultaneously over the specified section of the field of view.

Der optische Pfad der Sendeeinheit und der optische Pfad der Detektoreinheit können biaxial, koaxial oder teilweise koaxial zueinander verlaufen.The optical path of the transmission unit and the optical path of the detector unit can run biaxially, coaxially or partially coaxially with one another.

Der LIDAR-Sensor weist weiterhin insbesondere wenigstens eine Auswerteeinheit auf. Die wenigstens eine Auswerteeinheit kann dafür ausgebildet sein, eine Lichtlaufzeit des ausgesandten Primärlichts und des wieder empfangenen Sekundärlichts zu bestimmen. Der Abstand zwischen dem LIDAR-Sensor und einem Objekt im Sichtfeld kann beispielsweise auf der Basis einer Signallaufzeit (Time of Flight, TOF) bestimmt werden. Zu den Lichtlaufzeitverfahren zählen Pulsverfahren, die den Empfangszeitpunkt eines reflektierten Laserpulses bestimmen, oder Phasenverfahren, die ein amplitudenmoduliertes Lichtsignal aussenden und den Phasenversatz zu dem empfangenen Lichtsignal bestimmen. Eine zeitkorrelierte Einzelphotonenzählung (engl.: time-correlated single photon counting, TCSPC) kann für ein ToF-System realisierbar sein.The LIDAR sensor also has in particular at least one evaluation unit. The at least one evaluation unit can be designed to determine a light propagation time of the emitted primary light and of the secondary light that is received again. The distance between the LIDAR sensor and an object in the field of view can be determined, for example, based on a signal propagation time (time of flight, TOF). The time-of-flight methods include pulse methods, which determine the time at which a reflected laser pulse is received, or phase methods, which emit an amplitude-modulated light signal and determine the phase offset to the received light signal. Time-correlated single photon counting (TCSPC) may be feasible for a ToF system.

Die Erfindung geht weiterhin aus von einem Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld eines LIDAR-Sensors. Das Verfahren weist den Schritt des Aussendens von Primärlicht in Form eines Ausleuchtungsmusters mittels einer Emittereinheit auf, wobei das Ausleuchtungsmuster wenigstens eine erste und eine zweite Ausdehnung aufweist, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind, und wobei die erste Ausdehnung größer oder kleiner ist als die zweite Ausdehnung, und wobei das ausgesendete Ausleuchtungsmuster entlang eines Orientierungsvektors ausgerichtet ist, der parallel zur ersten Ausdehnung ist. In einem weiteren Schritt kommt es zum Einfallen des von der Emittereinheit ausgesendeten Primärlichts auf einen ersten Umlenkspiegel unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des ersten Umlenkspiegels von weniger als ± 12°, bevorzugt weniger als ± 9°, besonders bevorzugt weniger als ± 7°. In einem weiteren Schritt kommt es zum Umlenken des Primärlichts mittels des ersten Umlenkspiegels auf einen beweglichen Spiegel. In einem weiteren Schritt kommt es zum Abtasten des Primärlichts im Sichtfeld entlang einer ersten Richtung und entlang einer zweiten Richtung, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, mittels des beweglichen Spiegels.The invention is also based on a method for emitting primary light into a field of view of a LIDAR sensor. The method has the step of emitting primary light in the form of an illumination pattern by means of an emitter unit, the illumination pattern having at least a first and a second extent which are aligned orthogonally to one another, and the first extent being larger or smaller than the second extent, and wherein the transmitted illumination pattern is aligned along an orientation vector that is parallel to the first dimension. In a further step, the primary light emitted by the emitter unit impinges on a first deflection mirror at a first angle of incidence to a surface normal of the first deflection mirror of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7°. In a further step, the primary light is deflected by means of the first deflection mirror onto a movable mirror. In a further step, the primary light in the field of view is scanned along a first direction and along a second direction, which is oriented perpendicular to the first direction, by means of the movable mirror.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It goes without saying that the features mentioned above and those still to be explained below can be used not only in the combination specified in each case, but also in other combinations or on their own, without departing from the scope of the present invention.

Figurenlistecharacter list

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche oder gleichwirkende Elemente. Es zeigen:

1: Beispiel eine Sendeeinheit mit auftretender Drehung eines Orientierungsvektors eines Ausleuchtungsmusters;
2: A: ideale Beleuchtung des Sichtfeldes eines LIDAR-Sensors und B: reale Beleuchtung des Sichtfeldes eines LIDAR Sensors;
3: A: Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels in der Übersicht, B: Details;
4: weiteres Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels;
5: A: Ausleuchtungsmuster einer ersten Emittereinheit und B: Ausleuchtungsmuster einer zweiten Emittereinheit;
6: weiteres Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels;
7: Ausführungsbeispiel eines LIDAR-Sensors mit einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels;
8: weiteres Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels;
9: weiteres Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit mit vorteilhafter Anordnung eines ersten Umlenkspiegels;
10: Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld; und
11: mögliche Orientierungsvektoren eines Ausleuchtungsmusters.

Exemplary embodiments of the present invention are explained in more detail below with reference to the accompanying drawings. The same reference symbols in the figures denote the same or equivalent elements. Show it:

1 : Example of a transmission unit with occurring rotation of an orientation vector of an illumination pattern;
2 : A: ideal illumination of the field of view of a LIDAR sensor and B: real illumination of the field of view of a LIDAR sensor;
3 : A: Overview of an exemplary embodiment of a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror, B: Details;
4 : further exemplary embodiment of a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror;
5 : A: illumination pattern of a first emitter unit and B: illumination pattern of a second emitter unit;
6 : further exemplary embodiment of a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror;
7 : exemplary embodiment of a LIDAR sensor with a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror;
8th : further exemplary embodiment of a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror;
9 : further exemplary embodiment of a transmission unit with an advantageous arrangement of a first deflection mirror;
10 : embodiment of a method for emitting primary light into a field of view; and
11 : possible orientation vectors of an illumination pattern.

1 zeigt beispielhaft die Sendeeinheit 100 für einen LIDAR-Sensor zur Aussendung von Primärlicht 102 in ein Sichtfeld 106. Die Sendeeinheit 100 weist die erste Emittereinheit 101-1 und die zweite Emittereinheit 101-2, den Umlenkspiegel 103 und den beweglichen Spiegel 104 auf. Die erste Emittereinheit 101-1 und die zweite Emittereinheit 101-2 sind dazu ausgebildet, Primärlicht 102-1 in Form eines ersten Ausleuchtungsmusters 107-1 und Primärlicht 102-2 in Form eines zweiten Ausleuchtungsmuster 107-2 auszusenden. Die Ausleuchtungsmuster 107-1 und 107-2 sind im hier gezeigten Beispiel jeweils in Form einer Linie ausgebildet, welche entlang des Orientierungsvektors 108-1 bzw. des Orientierungsvektors 108-2 ausgerichtet sind. Das von den Emittereinheiten 101-1 und 101-2 ausgesendete Primärlicht 102-1 und 102-2 trifft hierbei auf den Umlenkspiegel 103, welcher dazu ausgebildet ist, das Primärlicht 102-1 und 102-2 auf den beweglichen Spiegel 104 umzulenken. Der bewegliche Spiegel 104 ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 102-1 und 102-2 im Sichtfeld 106 entlang einer ersten Richtung x und entlang einer zweiten Richtung y, welche senkrecht zur ersten Richtung x orientiert ist, abzutasten. Der bewegliche Spiegel 104 kann durch ein Bewegen in seinen zwei Achsen 105-1 und 105-2 das Sichtfeld 106 abtasten. Der bewegliche Spiegel 104 ist hierbei derart ausgebildet, dass er das Primärlicht 102-1 derart umlenken kann, dass ein erster Ausschnitt 106-1 des Sichtfeldes 106 mit dem Primärlicht 102-1 abgetastet wird; und dass er das Primärlicht 102-2 derart umlenken kann, dass ein zweiter Abschnitt 106-2 des Sichtfeldes 106 mit dem Primärlicht 102-2 abgetastet wird. In 1 ist erkennbar, dass die Orientierungsvektoren 108-1 und 108-2 nicht mehr senkrecht und auch nicht mehr parallel zur ersten Richtung x bzw. zur zweiten Richtung y orientiert sind. Dies führt zu einer Problematik die in 2 deutlich wird. 1 shows an example of the transmission unit 100 for a LIDAR sensor for emitting primary light 102 into a field of view 106. The transmission unit 100 has the first emitter unit 101-1 and the second emitter unit 101-2, the deflection mirror 103 and the movable mirror 104. The first emitter unit 101-1 and the second emitter unit 101-2 are designed to emit primary light 102-1 in the form of a first illumination pattern 107-1 and primary light 102-2 in the form of a second illumination pattern 107-2. In the example shown here, the illumination patterns 107-1 and 107-2 are each in the form of a line which is aligned along the orientation vector 108-1 or the orientation vector 108-2. The primary light 102-1 and 102-2 emitted by the emitter units 101-1 and 101-2 strikes the deflection mirror 103, which is designed to deflect the primary light 102-1 and 102-2 onto the movable mirror 104. The movable mirror 104 is designed to scan the primary light 102-1 and 102-2 in the field of view 106 along a first direction x and along a second direction y, which is oriented perpendicularly to the first direction x. The movable mirror 104 can scan the field of view 106 by moving in its two axes 105-1 and 105-2. The movable mirror 104 is designed in such a way that it can deflect the primary light 102-1 in such a way that a first section 106-1 of the field of view 106 is scanned with the primary light 102-1; and that it can redirect the primary light 102-2 such that a second portion 106-2 of the field of view 106 is scanned with the primary light 102-2. In 1 it can be seen that the orientation vectors 108-1 and 108-2 are no longer oriented perpendicularly and also no longer parallel to the first direction x or to the second direction y. This leads to a problem that 2 becomes clear.

2A zeigt eine ideale Beleuchtung 200-A eines mittels einer Sendeeinheit eines LIDAR-Sensors ausgeleuchteten Sichtfeldes. Eine derartige, lückenlose Beleuchtung 200-A kann erreicht werden, wenn die Orientierungsvektoren 108-1 und 108-2 in 1 parallel oder senkrecht zur ersten Richtung x bzw. zur zweiten Richtung y orientiert wären. Die Linien 201-A verdeutlichen hierbei das Abtasten parallel zur x-Achse während zum Beispiel einer Bewegung des beweglichen Spiegels 104 in 1 in seiner Achse 105-2 entlang einer Hin-Richtung und die Linien 201-B das Abtasten parallel zur x-Achse während einer Bewegung des beweglichen Spiegels 104 in seiner Achse 105-2 entlang einer Rück-Richtung. Nach dem Abtasten einer Linie 201-A entlang der Hin-Richtung wird der bewegliche Spiegel 104 in seiner Achse 105-1 derart bewegt, dass eine Linie 202-A in Bezug auf die vorher abgetastete Linien 201-A entlang der y-Achse verschoben ist. Nach dem Abtasten einer Linie 201-B entlang der Rück-Richtung wird der bewegliche Spiegel 104 in seiner Achse 105-1 derart bewegt, dass eine Linie 201-A in Bezug auf die vorher abgetastete Linie 202-A entlang der y-Achse verschoben ist. Auf diese Weise kann mittels der Bewegung des beweglichen Spiegels 104 das gesamte Sichtfeld 106 abgetastet werden. Das Sichtfeld 106 kann rasterförmig abgetastet werden. Alternativ kann 2A auch so verstanden werden, dass sowohl die Linien 201-A als auch die Linien 202-A das Abtasten parallel zur x-Achse während zum Beispiel einer Bewegung des beweglichen Spiegels 104 in 1 in seiner Achse 105-2 entlang einer Hin-Richtung verdeutlichen. Bei der Bewegung entlang der Rück-Richtung wird in diesem Fall kein Primärlicht ausgesendet. Der bewegliche Spiegel 104 könnte sich bei dieser Alternative zum Beispiel sägezahnartig bewegen. 2A 12 shows an ideal illumination 200-A of a field of view illuminated by means of a transmission unit of a LIDAR sensor. Such a gapless illumination 200-A can be achieved if the orientation vectors 108-1 and 108-2 in 1 would be oriented parallel or perpendicular to the first direction x or to the second direction y. The lines 201-A illustrate the scanning parallel to the x-axis during, for example, a movement of the movable mirror 104 in 1 in its axis 105-2 along a forward direction and lines 201-B scanning parallel to the x-axis during movement of movable mirror 104 in its axis 105-2 along a return direction. After scanning a line 201-A along the forward direction, the movable mirror 104 is moved in its axis 105-1 such that a line 202-A is shifted along the y-axis with respect to the previously scanned line 201-A . After scanning a line 201-B along the return direction, the movable mirror 104 is moved in its axis 105-1 such that a line 201-A is shifted along the y-axis with respect to the previously scanned line 202-A . In this way, the entire field of view 106 can be scanned by means of the movement of the movable mirror 104 . The field of view 106 may be raster scanned. Alternatively can 2A also be understood that both lines 201-A and lines 202-A represent scanning parallel to the x-axis during, for example, movement of movable mirror 104 in 1 in its axis 105-2 along a forward direction. In this case, no primary light is emitted when moving along the backward direction. For example, the moveable mirror 104 could move in a sawtooth fashion in this alternative.

2B zeigt hingegen eine reale Beleuchtung 200-B eines mittels einer Sendeeinheit 100 eines LIDAR-Sensors ausgeleuchteten Sichtfeldes 106, wie sie in 1 dargestellt ist. Durch die Anordnung der Emittereinheiten 101-1 und 101-2, des Umlenkspiegels 103 und des beweglichen Spiegels 104 und der dadurch bedingten Verkippung der Orientierungsvektoren 108-1 und 108-2 kann eine lückenlose Beleuchtung nicht mehr gewährleistet werden. Dadurch, dass die Orientierungsvektoren 108-1 und 108-2 am Umlenkspiegel um einen Winkel, der deutlich verschieden von 0° oder 90° ist, gedreht werden, kommt es zu unbeleuchteten Bereichen im Sichtfeld 106. Insbesondere bei großen Sichtfeldern kann diese Problematik verstärkt auftreten. Dadurch besteht das Risiko, dass kleine Objekte 203 im Sichtfeld 106 übersehen werden. 2 B 1 shows, however, a real illumination 200-B of a field of view 106 illuminated by means of a transmission unit 100 of a LIDAR sensor, as shown in 1 is shown. Due to the arrangement of the emitter units 101-1 and 101-2, the deflection mirror 103 and the movable mirror 104 and the resulting tilting of the orientation vectors 108-1 and 108-2, a gap-free illumination can no longer be guaranteed. Due to the fact that the orientation vectors 108-1 and 108-2 on the deflection mirror are rotated by an angle that is significantly different from 0° or 90°, there are unilluminated areas in the field of view 106. This problem can occur more frequently with large fields of view in particular . As a result, there is a risk that small objects 203 in the field of view 106 will be overlooked.

3A zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit 300-A zur Aussendung von Primärlicht 302-1 in ein Sichtfeld 306, die derart ausgestaltet ist, dass dieses Problem verhindert werden kann. Die Sendeeinheit 300-A weist die Emittereinheit 301-1 auf, welche dazu ausgebildet ist, das Primärlicht 302-1 in Form eines Ausleuchtungsmusters auszusenden. Hierbei weist das Ausleuchtungsmuster eine erste Ausdehnung 311 und eine hier nicht gezeigte zweite Ausdehnung auf, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind. Hierbei kann die erste Ausdehnung 311 größer oder kleiner als die zweite Ausdehnung sein. Das ausgesendete Ausleuchtungsmuster ist weiterhin entlang eines Orientierungsvektors ausgerichtet ist (siehe Beschreibung zu 5), der parallel zur ersten Ausdehnung ist. Die Sendeeinheit 300-A weist weiterhin den ersten Umlenkspiegel 303-1 und den beweglichen Spiegel 304 auf. Der erste Umlenkspiegel 303-1 ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 302-1 auf den beweglichen Spiegel 304 umzulenken. Der bewegliche Spiegel 304 ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 302-1 im Sichtfeld 106 entlang einer, hier nicht eingezeichneten, ersten Richtung und entlang einer zweiten Richtung 314, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, abzutasten. Die gestrichelte Linie 310 markiert in diesem Beispiel eine zentrale optische Achse eines Ausgangsstrahls des Primärlichts 102-1 aus der Sendeeinheit 300-A. Der bewegliche Spiegel 304 kann ausgebildet sein, das Primärlicht 302-1 im Sichtfeld 306 entlang der ersten Richtung um einen Winkel von mehr als ± 3° abzutasten. Der bewegliche Spiegel 304 kann ausgebildet sein, das Primärlicht 302-1 im Sichtfeld 306 entlang der zweiten Richtung 314 um einen Winkel 313 von mehr als ± 3° abzutasten. 3A shows an exemplary embodiment of a transmission unit 300-A for emitting primary light 302-1 into a field of view 306, which is designed in such a way that this problem can be prevented. the Transmission unit 300-A has the emitter unit 301-1, which is designed to emit the primary light 302-1 in the form of an illumination pattern. In this case, the illumination pattern has a first extension 311 and a second extension (not shown here), which are aligned orthogonally to one another. Here, the first extent 311 can be larger or smaller than the second extent. The emitted illumination pattern is also aligned along an orientation vector (see description for 5 ) that is parallel to the first extent. The transmission unit 300 - A also has the first deflection mirror 303 - 1 and the movable mirror 304 . The first deflection mirror 303 - 1 is designed to deflect the primary light 302 - 1 onto the movable mirror 304 . The movable mirror 304 is designed to scan the primary light 302-1 in the field of view 106 along a first direction (not shown here) and along a second direction 314, which is oriented perpendicular to the first direction. In this example, the dashed line 310 marks a central optical axis of an output beam of the primary light 102-1 from the transmission unit 300-A. The movable mirror 304 can be configured to scan the primary light 302-1 in the field of view 306 along the first direction by an angle of more than ±3°. The movable mirror 304 can be designed to scan the primary light 302 - 1 in the field of view 306 along the second direction 314 by an angle 313 of more than ±3°.

Die Sendeeinheit 300-A weist außerdem die optischen Elemente 309-1 auf. Die optischen Elemente 309-1 können beispielsweise optische Linsen, Spiegel oder Strahlteiler sein. Das Ausleuchtungsmuster kann zum Beispiel mittels der optischen Elemente 309-1 ausgebildet werden. Die optischen Elemente 309-1 können alternativ oder zusätzlich zur Strahlführung ausgebildet sein.The transmission unit 300-A also has the optical elements 309-1. The optical elements 309-1 can be optical lenses, mirrors or beam splitters, for example. The illumination pattern can be formed, for example, by means of the optical elements 309-1. The optical elements 309-1 can be embodied as an alternative or in addition to beam guidance.

Der in 3A mit dem Kasten 318 markierte Bereich ist in 3B vergrößert dargestellt. Hier ist ersichtlich, dass der erste Umlenkspiegel 303-1 derart in dem Strahlengang des Primärlichts 302-1 angeordnet ist, dass das von der Emittereinheit 301-1 ausgesendete Primärlicht 302-1 unter einem ersten Einfallswinkel 312 zu einer Flächennormalen 317 des ersten Umlenkspiegel 303 von weniger als ± 7° einfällt. Der erste Einfallswinkel 312 beträgt im hier gezeigten Beispiel 6°. Zur besseren Verdeutlichung wird ein mittlerer Bereich des auf den Umlenkspiegel 303-1 einfallenden Primärlichts 302-1 und des vom Umlenkspiegel 303-1 umgelenkten Primärlichts 302-1 als Pfeile 316 dargestellt. Der erste Einfallswinkel 312 zu der Flächennormalen 317 des Umlenkspiegels 303-1 kann hierbei insbesondere als vertikaler Einfallswinkel aufgefasst werden. Weiterhin ist in 3A erkennbar, dass das vom ersten Umlenkspiegel 303-1 umgelenkte Primärlicht 302-1 unter einem ersten Einfallswinkel 315 zu einer Flächennormalen des beweglichen Spiegels 304 von weniger als ± 12° einfallen kann. Der erste Einfallswinkel 315 zu der Flächennormalen des beweglichen Spiegels 304 kann hierbei als vertikaler Einfallswinkel aufgefasst werden.the inside 3A area marked with box 318 is in 3B shown enlarged. It can be seen here that the first deflection mirror 303-1 is arranged in the beam path of the primary light 302-1 in such a way that the primary light 302-1 emitted by the emitter unit 301-1 is at a first angle of incidence 312 to a surface normal 317 of the first deflection mirror 303 from less than ± 7°. The first angle of incidence 312 is 6° in the example shown here. For better clarification, a central region of the primary light 302-1 incident on the deflection mirror 303-1 and of the primary light 302-1 deflected by the deflection mirror 303-1 is shown as arrows 316. The first angle of incidence 312 to the surface normal 317 of the deflection mirror 303 - 1 can be understood here in particular as a vertical angle of incidence. Furthermore, in 3A It can be seen that the primary light 302-1 deflected by the first deflection mirror 303-1 can strike at a first angle of incidence 315 to a surface normal of the movable mirror 304 of less than ±12°. The first angle of incidence 315 to the surface normal of the movable mirror 304 can be interpreted as a vertical angle of incidence.

Dadurch, dass der Einfallswinkel 312 zu einer Flächennormalen 317 des ersten Umlenkspiegel 303 weniger als ± 7° beträgt, kann ermöglicht werden, dass sich der Orientierungsvektor durch die Reflexion am ersten Umlenkspiegel nur um einen Winkel von 0° oder 90° dreht. Dies ist in 11 beispielhaft dargestellt. 11A zeigt mögliche Orientierungsvektoren eines Ausleuchtungsmusters und auftretende Winkeldrehungen der Orientierungsvektoren bei einer Reflexion an einem Spiegel. Der Spiegel kann ein oben beschriebener Umlenkspiegel oder auch ein oben beschriebener beweglicher Spiegel sein. Der Orientierungsvektor kann parallel zu einer ersten Ebene sein, wie es die Linie 706 schematisch darstellt. Der Orientierungsvektor kann auch senkrecht zu dieser Ebene sein, wie es der Kreis 705 schematisch darstellt. Trifft das Ausleuchtungsmuster nun entlang der Richtung 708-1 auf einen Spiegel 709, so kann es vom Spiegel 709 in die Richtung 708-2 reflektiert werden. Der Orientierungsvektor kann durch die Reflexion am Spiegel 709 um einen Winkel von 0° oder 90° gedreht werden. In diesem Fall ist der Orientierungsvektor nach der Reflexion parallel zu der ersten Ebene, wie es die Linie 711 schematisch darstellt oder senkrecht zu dieser Ebene, wie es der Kreis 710 schematisch darstellt. Wie 11B zeigt, kann die Linie 711, welche parallel zu der ersten Ebene ausgerichtet ist, die gleiche Orientierung aufweisen wie vor der Reflexion oder eben auch um 90° verdreht sein. Dies ist durch die Linien 711-A und 711-B verdeutlicht. War der Orientierungsvektors 706 vor der Reflexion parallel zu der ersten Ebene, so kann er nach der Reflexion auch senkrecht zu der ersten Ebene sein, und umgekehrt. Auch dies entspricht einer Drehung um einen Winkel von 90°. In all diesen Varianten kann ermöglicht werden, dass eine möglichst lückenlose Beleuchtung des Sichtfeldes mittels der Sendeeinheit realisiert. Andere Winkeldrehungen, zum Beispiel solche, die deutlich verschieden von 0° oder 90° sind, wie es beispielhaft die Linie 707 in 11B darstellt, und durch die es zu unbeleuchteten Bereichen im Sichtfeld kommen würde, können vermieden werden.Because the angle of incidence 312 to a surface normal 317 of the first deflection mirror 303 is less than ±7°, it is possible for the orientation vector to rotate by only an angle of 0° or 90° as a result of the reflection at the first deflection mirror. this is in 11 shown as an example. 11A shows possible orientation vectors of an illumination pattern and angular rotations of the orientation vectors that occur when reflected on a mirror. The mirror can be a deflection mirror as described above or also a movable mirror as described above. The orientation vector may be parallel to a first plane, as represented by line 706 schematically. The orientation vector can also be perpendicular to this plane, as circle 705 schematically represents. If the illumination pattern now strikes a mirror 709 along the direction 708-1, it can be reflected by the mirror 709 in the direction 708-2. The orientation vector can be rotated through an angle of 0° or 90° by the reflection at the mirror 709 . In this case, the orientation vector after reflection is parallel to the first plane, as line 711 schematically represents, or perpendicular to this plane, as circle 710 schematically represents. As 11B shows, the line 711, which is aligned parallel to the first plane, can have the same orientation as before the reflection or it can also be rotated by 90°. This is illustrated by lines 711-A and 711-B. If the orientation vector 706 was parallel to the first plane before reflection, it can also be perpendicular to the first plane after reflection, and vice versa. This also corresponds to a rotation through an angle of 90°. In all of these variants, it can be made possible for the field of view to be illuminated as completely as possible by means of the transmission unit. Other angular rotations, for example those that are significantly different from 0° or 90°, as exemplified by line 707 in 11B and which would result in unlit areas in the field of view can be avoided.

Das Ausführungsbeispiel aus 3 kann als eine Sendeeinheit mit nur einer Emittereinheit 301-1 verstanden werden. Alternativ kann das Ausführungsbeispiel aus 3 auch als Seitenansicht einer Sendeeinheit mit wenigstens zwei Emittereinheiten (301-1 und 301-2), wie sie beispielsweise in 4 dargestellt ist, aufgefasst werden.The exemplary embodiment 3 can be understood as a transmission unit with only one emitter unit 301-1. Alternatively, the embodiment 3 also as a side view of a transmitter unit with at least two emitter units (301-1 and 301-2), such as those shown in 4 is shown to be understood.

4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Sendeeinheit 300-B. Der Aufbau der Sendeeinheit 300-B weist hierbei Ähnlichkeiten zur Sendeeinheit 300-A aus 3 auf, so das im Folgenden vor allem auf die Unterschiede eingegangen wird. Zusätzlich zur oben bereits beschriebenen Emittereinheit 301-1, den optischen Elementen 309-1, dem im ersten Umlenkspiegel 303-1 und dem beweglichen Spiegel 304 weist die Sendeeinheit 300-B die zweite Emittereinheit 301-2 auf, welche dazu ausgebildet ist das Primärlicht 302-2 in Form eines Ausleuchtungsmusters auszusenden. Auch dieses Ausleuchtungsmuster weist wenigstens eine erste Ausdehnung und eine zweite Ausdehnung 401 auf, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind. Auch hier ist die erste Ausdehnung größer oder kleiner als die zweite Ausdehnung. Auch das von der Sendeeinheit 301-2 ausgesendete Ausleuchtungsmuster ist entlang eines Orientierungsvektors ausgerichtet, der parallel zur ersten Ausdehnung ist. Die Sendeeinheit 300-B weist nun einen zweiten ersten Umlenkspiegel 303-2 auf. Der zweite erste Umlenkspiegel 303-2 ist dazu ausgebildet, das von der zweiten Emittereinheit 301-2 ausgesendete Primärlicht 302-2 auf den beweglichen Spiegel 304 umzulenken. Auch der zweite erste Umlenkspiegel 303-2 ist derart in einem Strahlengang des Primärlichts 302-2 angeordnet, dass das von der Emittereinheit 301-2 ausgesendete Primärlicht 302-2 unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des zweiten ersten Umlenkspiegels 303-2 von weniger als ± 12° einfällt. Der bewegliche Spiegel 304 ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 302-2 im Sichtfeld 306 entlang einer ersten Richtung 403 und entlang einer zweiten Richtung, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, abzutasten. Somit wird letztlich sowohl das Primärlicht 302-1 als auch das Primärlicht 302-2 vom selben beweglichen Spiegel 304 in das Sichtfeld umgelenkt. Es wird ein erster Ausschnitt 403-1 des Sichtfeldes 306 mittels des Primärlichts 302-1 abgetastet. Es wird ein zweiter Ausschnitt 403-2 des Sichtfeldes 306 mittels des Primärlichts 302-2 abgetastet. Der bewegliche Spiegel 304 kann dabei dazu ausgebildet sein, das Primärlicht 302-1 im Sichtfeld entlang der ersten Richtung 403, insbesondere in dem ersten Ausschnitt 403-1, um einen Winkel von 402-1, der mehr als ± 3° beträgt, abzutasten. Der bewegliche Spiegel 304 kann dabei auch dazu ausgebildet sein, das Primärlicht 302-2 im Sichtfeld entlang der ersten Richtung 403, insbesondere in dem zweiten Ausschnitt 403-2, um einen Winkel 402-2, der mehr als ± 3° beträgt, abzutasten. Die Sendeeinheit 300-B kann außerdem im Strahlengang des Primärlichts 302-2, wie hier beispielhaft gezeigt, die optischen Elemente 309-2 aufweisen. 4 shows a further exemplary embodiment of a transmission unit 300-B. The structure of the transmission unit 300-B shows similarities to the transmission unit 300-A 3 on, so that in the following mainly the differences will be discussed. In addition to the emitter unit 301-1 already described above, the optical elements 309-1, the deflection mirror in the first 303-1 and the movable mirror 304, the transmitter unit 300-B has the second emitter unit 301-2, which is designed for the primary light 302 -2 to send out in the form of an illumination pattern. This illumination pattern also has at least a first extent and a second extent 401, which are aligned orthogonally to one another. Again, the first extent is larger or smaller than the second extent. The illumination pattern transmitted by the transmission unit 301-2 is also aligned along an orientation vector that is parallel to the first extent. The transmission unit 300-B now has a second first deflection mirror 303-2. The second first deflection mirror 303-2 is designed to deflect the primary light 302-2 emitted by the second emitter unit 301-2 onto the movable mirror 304. The second first deflecting mirror 303-2 is also arranged in a beam path of the primary light 302-2 in such a way that the primary light 302-2 emitted by the emitter unit 301-2 is at a first angle of incidence to a surface normal of the second first deflecting mirror 303-2 of less than ± 12°. The moveable mirror 304 is designed to scan the primary light 302-2 in the field of view 306 along a first direction 403 and along a second direction, which is oriented perpendicularly to the first direction. Thus, both the primary light 302 - 1 and the primary light 302 - 2 are ultimately deflected into the field of view by the same movable mirror 304 . A first section 403-1 of the field of view 306 is scanned using the primary light 302-1. A second section 403-2 of the field of view 306 is scanned using the primary light 302-2. The movable mirror 304 can be designed to scan the primary light 302-1 in the field of view along the first direction 403, in particular in the first section 403-1, at an angle of 402-1 that is more than ±3°. The movable mirror 304 can also be designed to scan the primary light 302-2 in the field of view along the first direction 403, in particular in the second section 403-2, at an angle 402-2 that is more than ±3°. The transmission unit 300-B can also have the optical elements 309-2 in the beam path of the primary light 302-2, as shown here by way of example.

Die in 4 gezeigte Sendeeinheit 300-B kann auch als Draufsicht einer Sendeeinheit mit den zwei Emittereinheiten 301-1 und 301-2 aufgefasst werden. Die passende Seitenansicht hierzu wäre die in 3 dargestellte Sendeeinheit 300-A. Die in 4 gezeigte Sendeeinheit 300-B kann auch mehr als zwei Emittereinheiten aufweisen. Beispielsweise könnte der Aufbau an der gestrichelten Linien 404 gespiegelt sein. In diesem Fall würde die Sendeeinheit 300-B vier Emittereinheiten, vier erste Umlenkspiegel 303, vier Mal optische Elemente 309, sowie den gemeinsamen beweglichen Spiegel 304 aufweisen.In the 4 The transmission unit 300-B shown can also be interpreted as a plan view of a transmission unit with the two emitter units 301-1 and 301-2. The appropriate side view for this would be the in 3 illustrated transmission unit 300-A. In the 4 The transmission unit 300-B shown can also have more than two emitter units. For example, the structure at dashed line 404 could be mirrored. In this case, the transmission unit 300 -B would have four emitter units, four first deflection mirrors 303 , four optical elements 309 , and the shared movable mirror 304 .

5 zeigt Ausleuchtungsmuster der beschriebenen Sendeeinheiten 300, wie sie beispielsweise auf einem Bildschirm in 100 m Abstand zu der jeweiligen Sendeeinheit projiziert werden könnten. 5A zeigt hierbei ein Ausleuchtungsmuster 507-1, wie es von einer ersten Emittereinheit 301-1 ausgesendet werden kann. Das Ausleuchtungsmuster 507-1 weist eine erste Ausdehnung 501 und eine zweite Ausdehnung 502 auf, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind. Im hier gezeigten Beispiel ist die erste Ausdehnung 501 größer als die zweite Ausdehnung 502. Die erste Ausdehnung 501 kann hierbei größer als 7 mm sein. Auch die zweite Ausdehnung 502 kann größer als 7 mm sein. Das ausgesendete Ausleuchtungsmuster 507-1 ist entlang des Orientierungsvektors 508-1 ausgerichtet. Der Orientierungsvektor 508-1 ist parallel zur ersten Ausdehnung 501. 5B zeigt ein Ausleuchtungsmuster 507-2 mit einem Orientierungsvektors 508-2, wie es von einer zweiten Emittereinheit 301-2 einer beschriebenen Sendeeinheit 300 ausgesendet werden kann. Der Orientierungsvektors 508-1 ist hierbei parallel zur x-Achse ausgerichtet. Auch der Orientierungsvektors 508-2 ist nahezu parallel zur x-Achse ausgerichtet. Beim Aussenden von Primärlicht 302-1 mittels einer Sendeeinheit 300 hat sich somit der Orientierungsvektors 507-1 bei einer 5 shows illumination patterns of the transmission units 300 described, as they could be projected, for example, on a screen at a distance of 100 m from the respective transmission unit. 5A 1 shows an illumination pattern 507-1 as it can be emitted by a first emitter unit 301-1. The illumination pattern 507-1 has a first extent 501 and a second extent 502, which are aligned orthogonally to one another. In the example shown here, the first extent 501 is greater than the second extent 502. The first extent 501 can be greater than 7 mm. The second extent 502 can also be greater than 7 mm. The transmitted illumination pattern 507-1 is aligned along the orientation vector 508-1. The orientation vector 508-1 is parallel to the first extent 501. 5B shows an illumination pattern 507-2 with an orientation vector 508-2, as can be emitted by a second emitter unit 301-2 of a transmitter unit 300 described. In this case, the orientation vector 508-1 is aligned parallel to the x-axis. The orientation vector 508-2 is also aligned almost parallel to the x-axis. When emitting primary light 302-1 by means of a transmission unit 300, the orientation vector 507-1 has thus changed at a

Reflexion am ersten Umlenkspiegel 303 nur um einen Winkel von 0° oder 90° gedreht. Beim Aussenden von Primärlicht 302-2 mittels einer Sendeeinheit 300 hat sich der Orientierungsvektors 507-2 um einen Winkel gedreht, der nahezu 0° oder 90° beträgt. Hierdurch ist es möglich mittels einer beschriebenen Sendeeinheit 300 eine möglichst lückenlose Beleuchtung eines Sichtfeldes 306 zu realisieren.Reflection at the first deflection mirror 303 rotated only by an angle of 0 ° or 90 °. When primary light 302-2 is emitted by a transmitter unit 300, the orientation vector 507-2 has rotated through an angle that is almost 0° or 90°. As a result, it is possible by means of a transmitter unit 300 described to realize illumination of a field of view 306 that is as uninterrupted as possible.

6 zeigt als ein weiteres Ausführungsbeispiel die Sendeeinheit 300-C, welche ähnlich zur Sendeeinheit 300-A aus 3A ist. Im Folgenden wird nur auf die Unterschiede eingegangen. Die Sendeeinheit 300-C weist neben dem hiermit 303-A gekennzeichneten ersten Umlenkspiegel einen zweiten Umlenkspiegel 303-B auf. Der zweite Umlenkspiegel 303-B ist dabei dazu ausgebildet, das von der Emittereinheit 301-1 ausgesendete Primärlicht 302-1 unter Drehung des Orientierungsvektors um einen ersten Winkel auf den ersten Umlenkspiegel 303-A umzulenken. Der erste Umlenkspiegel 303-A ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 102-1 unter Drehung des Orientierungsvektors um einen zweiten Winkel auf den beweglichen Spiegel 304 umzulenken. Hierbei sind der erste und der zweite Winkel jeweils von 0° und von 90° verschieden. Auch bei der hier gezeigten Sendeeinheit 300-C ist der erste Umlenkspiegel 303-A derart im Strahlengang des Primärlichts 302-1 angeordnet, dass das von der Emittereinheit 301-1 ausgesendete Primärlicht 302-1 unter einem ersten Einfallswinkel 312-A zu einer Flächennormalen 317 des ersten Umlenkspiegels 303-A von weniger als ± 12° einfällt. Im hier gezeigten Beispiel beträgt der Winkel 312-A 8°. Das von der Emittereinheit 101-1 ausgesendete Primärlicht 302-1 kann unter einem Einfallswinkel 312-B zu einer Flächennormalen des zweiten Umlenkspiegels 303-B von mehr als ± 12° einfallen. Im hier gezeigten Beispiel beträgt der Winkel 312-B 29°. Der Pfeil 601 kann eine Ausdehnung der Sendeeinheit 300-C darstellen. Beispielsweise ist die Sendeeinheit in dieser Richtung 200 mm groß. 6 FIG. 1 shows, as a further exemplary embodiment, the transmission unit 300-C, which is similar to the transmission unit 300-A 3A is. Only the differences are discussed below. The transmission unit 300-C has a second deflection mirror 303-B in addition to the first deflection mirror marked 303-A. The second deflection mirror 303-B is designed to direct the primary light 302-1 emitted by the emitter unit 301-1 to the first deflection mirror by rotating the orientation vector by a first angle 303-A to redirect. The first deflection mirror 303-A is designed to deflect the primary light 102-1 onto the movable mirror 304 by rotating the orientation vector by a second angle. Here, the first and the second angle are different from 0° and from 90°. In the case of the transmitter unit 300-C shown here, too, the first deflection mirror 303-A is arranged in the beam path of the primary light 302-1 in such a way that the primary light 302-1 emitted by the emitter unit 301-1 is at a first angle of incidence 312-A to a surface normal 317 of the first deflection mirror 303-A of less than ±12°. In the example shown here, the angle 312-A is 8°. The primary light 302-1 emitted by the emitter unit 101-1 can strike at an angle of incidence 312-B to a surface normal of the second deflection mirror 303-B of more than ±12°. In the example shown here, the angle 312-B is 29°. Arrow 601 may represent an expansion of transmitter unit 300-C. For example, the transmission unit is 200 mm in this direction.

7 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines LIDAR-Sensors 700 mit einer Sendeeinheit 300-D. Die Sendeeinheit 300-D weist im vorliegenden Beispiel vier Emittereinheiten 301 auf. Der Einfachheit halber ist in der 7 nur die Emittereinheit 301-1 gezeigt. Das von der Emittereinheit 301-1 ausgesendete Primärlicht 302-1 passiert den Strahlteiler 309-1-A und die optische Linse 109-1-B, bevor es auf den Spiegel 309-1-C trifft. Der Spiegel 309-1-C lenkt das Primärlicht 302-1 durch eine weitere optische Linse 309-1-B auf einen weiteren Spiegel 309-1-C. Vom weiteren Spiegel 309-1-C wird das Primärlicht 302-1 auf den Spiegel 309-D gelenkt. Der Spiegel 309-D ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 302-1 durch die optische Linse 309-1-B hindurch auf den Spiegel 309-1-E umzulenken. Ein Einfallswinkel auf den Spiegeln 309-1-A, 309-1-C. 309-1-D und 309-1-E ist hierbei so gewählt, dass sich der Orientierungsvektor durch die jeweilige Reflexion nur um einen Winkel von nahe 0° oder 90° dreht. Der Spiegel 309-E-1 wiederum ist dazu ausgelegt, das Primärlicht 302-1 derart auf den ersten Umlenkspiegel 303 umzulenken, dass das Primärlicht 302-1 unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des ersten Umlenkspiegel 303 von weniger als ± 12° auf den ersten Umlenkspiegel 303 einfällt. Der erste Umlenkspiegel 303 ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 302-1 auf den beweglichen Spiegel 304 umzulenken. Der bewegliche Spiegel wiederum ist dazu ausgebildet, das Primärlicht 102-1 im Sichtfeld 306 entlang einer ersten Richtung und entlang einer zweiten Richtung, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, abzutasten. Hierbei kann das Primärlicht 102-1 eine Frontscheibe 703 des LIDAR Sensors 700 passieren. Die Strahlengänge für das Primärlicht der weiteren, hier nicht gezeigten Emittereinheiten, entspricht dem eben beschriebenen Strahlengang. Hierbei weist die Sendeeinheit 300-D den für sämtliches Primärlicht gemeinsamen Spiegel 309-D und den für sämtliches Primärlicht gemeinsamen ersten Umlenkspiegel 303 auf. Die anderen optischen Elemente, wie zum Beispiel die Spiegel 309-E-2 bis 309-E-4 hingegen sind in jedem Strahlengang separat vorhanden. Der LIDAR-Sensor 700 weist weiterhin die Detektoreinheit 701 zum Detektieren von im Sichtfeld 306 von einem Objekt reflektierten und/oder gestreuten Sekundärlicht auf. Die in 7 gezeigte Detektoreinheit 701 detektiert hierbei Sekundärlicht 704, dessen Strahlengang weitestgehend koaxial zum Primärlicht 302-1 verläuft. Am Strahlteiler 309-1-A wird das Sekundärlicht 704 auf die Detektoreinheit 701 umgelenkt. Der LIDAR-Sensor 700 kann weitere Detektoreinheiten aufweisen. Insbesondere weist der LIDAR-Sensors 700 weitere Detektoreinheiten auf, deren Strahlengang jeweils koaxial zum von den weiteren drei Emittereinheiten ausgesendetem Primärlicht verläuft. 7 shows an embodiment of a LIDAR sensor 700 with a transmission unit 300-D. The transmission unit 300-D has four emitter units 301 in the present example. For the sake of simplicity, in the 7 only the emitter unit 301-1 is shown. The primary light 302-1 emitted by the emitter unit 301-1 passes through the beam splitter 309-1-A and the optical lens 109-1-B before hitting the mirror 309-1-C. The mirror 309-1-C directs the primary light 302-1 through a further optical lens 309-1-B onto a further mirror 309-1-C. The primary light 302-1 is directed onto the mirror 309-D by the additional mirror 309-1-C. The mirror 309-D is designed to deflect the primary light 302-1 through the optical lens 309-1-B onto the mirror 309-1-E. An angle of incidence on mirrors 309-1-A, 309-1-C. 309-1-D and 309-1-E is selected in such a way that the orientation vector only rotates through an angle of almost 0° or 90° due to the respective reflection. The mirror 309-E-1 in turn is designed to deflect the primary light 302-1 onto the first deflection mirror 303 in such a way that the primary light 302-1 falls at a first angle of incidence to a surface normal of the first deflection mirror 303 of less than ±12° first deflection mirror 303 is incident. The first deflection mirror 303 is designed to deflect the primary light 302 - 1 onto the movable mirror 304 . The moveable mirror, in turn, is designed to scan the primary light 102-1 in the field of view 306 along a first direction and along a second direction, which is oriented perpendicular to the first direction. In this case, the primary light 102 - 1 can pass through a front pane 703 of the LIDAR sensor 700 . The beam paths for the primary light of the other emitter units, not shown here, correspond to the beam path just described. In this case, the transmission unit 300-D has the mirror 309-D that is common to all of the primary light and the first deflection mirror 303 that is common to all of the primary light. The other optical elements, such as the mirrors 309-E-2 to 309-E-4, on the other hand, are present separately in each beam path. The LIDAR sensor 700 also has the detector unit 701 for detecting secondary light reflected and/or scattered by an object in the field of view 306 . In the 7 The detector unit 701 shown here detects secondary light 704, the beam path of which runs largely coaxially with the primary light 302-1. The secondary light 704 is deflected onto the detector unit 701 at the beam splitter 309-1-A. The LIDAR sensor 700 can have further detector units. In particular, the LIDAR sensor 700 has further detector units, the beam path of which each runs coaxially to the primary light emitted by the further three emitter units.

Die in 7 mit den Boxen 702 umrandeten Bauteile des LIDAR-Sensors 700 sind hierbei derart angeordnet, dass sie aus der Papierebene herausragen. In the 7 The components of the LIDAR sensor 700 bordered by the boxes 702 are arranged in such a way that they protrude from the plane of the paper.

Sämtliche Bauteile, die nicht umrandet sind, sind räumlich gesehen in der Papierebene angeordnet. Diese spezielle Ausgestaltung der Sendeeinheit 300-D bzw. des LIDAR-Sensors 700 bietet geometrische Vorteile. Die Sendeeinheit 300-D bzw. der LIDAR-Sensors 700 können bei dieser Ausgestaltung flacher realisiert werden. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn der LIDAR-Sensor in einem kleinen Einbauort verwendet werden soll.All components that are not framed are spatially arranged in the plane of the paper. This special configuration of the transmission unit 300-D or of the LIDAR sensor 700 offers geometric advantages. The transmission unit 300-D or the LIDAR sensor 700 can be realized flatter in this configuration. This is particularly advantageous if the LIDAR sensor is to be used in a small installation space.

8 zeigt als ein weiteres Ausführungsbeispiel die Sendeeinheit 300-E. Diese Sendeeinheit ähnelt in weiten Teilen der Sendeeinheit 300-D aus 7. Der Einfachheit halber wird hier der erste Teil des Strahlengangs weggelassen und nur noch der zweite Teil des Strahlengangs ab dem Spiegel 309-D gezeigt. Im Unterschied zur Sendeeinheit 300-D weist die Sendeeinheit 300-E keinen gemeinsamen Spiegel 309-D, sondern jeweils einen einzelnen Spiegel 309-D-1 bis 309-D-4 im jeweiligen Strahlengang des von den vier Emittereinheiten ausgesendetem Primärlicht auf. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass sie auch in der Breite nicht so viel Platz braucht wie die Sendeeinheit 300-D. Ein noch kleinerer LIDAR-Sensor kann realisiert werden. 8th shows the transmission unit 300-E as a further exemplary embodiment. This transmission unit is largely similar to the transmission unit 300-D 7 . For the sake of simplicity, the first part of the ray path is omitted here and only the second part of the ray path from mirror 309-D is shown. In contrast to the transmission unit 300-D, the transmission unit 300-E does not have a common mirror 309-D, but rather an individual mirror 309-D-1 to 309-D-4 in the respective beam path of the primary light emitted by the four emitter units. The advantage of this configuration is that it does not take up as much space in terms of width as the transmitter unit 300-D. An even smaller LIDAR sensor can be realized.

Auch eine Sendeeinheit mit einem ersten Umlenkspiegel 303-A und mit einem zweiten Umlenkspiegel 303-B kann mehrere Emittereinheiten aufweisen. Dies ist beispielsweise mittels der in 9 gezeigten Sendeeinheit 300-F dargestellt. Die Sendeeinheit 300-F weist die erste Emittereinheit 301-1 zur Aussendung von Primärlicht 302-1 und die zweite Emittereinheit 301-2 zur Aussendung von Primärlicht 302-2 auf. Das ausgesendete Primärlicht 302-1 und 302-2 trifft auf den gemeinsamen Umlenkspiegel 303-B, welcher dazu ausgebildet ist das Primärlicht 302-1 und das Primärlicht 302-2 unter Drehung des Orientierungsvektors um einen ersten Winkel auf den jeweiligen ersten Umlenkspiegel umzulenken. Hierbei wird das Primärlicht 302-1 auf den ersten Umlenkspiegel 303-A-1 umgelenkt. Das Primärlicht 302-2 wird auf den ersten Umlenkspiegel 303-A-2 umgelenkt. Der jeweilige erste Umlenkspiegel 303-A-1 und 303-A-2 ist weiterhin dazu ausgebildet das Primärlicht 302-1 bzw. 302-2 unter Drehung des Orientierungsvektors um einen zweiten Winkel auf den beweglichen Spiegel 304 umzulenken. Der erste und der zweite Winkel sind hierbei von 0° und von 90° verschieden.A transmission unit with a first deflection mirror 303-A and with a second deflection mirror 303-B can also have a plurality of emitter units. This can be done, for example, using the in 9 shown transmission unit 300-F. The transmission unit 300-F has the first emitter unit 301-1 for emitting primary light 302-1 and the second emitter unit 301-2 for emitting primary light 302-2 on. The emitted primary light 302-1 and 302-2 impinges on the common deflection mirror 303-B, which is designed to deflect the primary light 302-1 and the primary light 302-2 by rotating the orientation vector by a first angle onto the respective first deflection mirror. Here, the primary light 302-1 is deflected onto the first deflection mirror 303-A-1. The primary light 302-2 is deflected onto the first deflection mirror 303-A-2. The respective first deflection mirror 303-A-1 and 303-A-2 is also designed to deflect the primary light 302-1 or 302-2 by rotating the orientation vector by a second angle onto the movable mirror 304. The first and the second angle are different from 0° and from 90°.

10 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens 1000 zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld. Das Verfahren startet im Schritt 1001. Im Schritt 1002 kommt es zum Aussenden von Primärlicht in Form eines Ausleuchtungsmusters mittels einer Emittereinheit, wobei das Ausleuchtungsmuster wenigstens eine erste und eine zweite Ausdehnung aufweist, welche orthogonal zueinander ausgerichtet sind. Hierbei ist die erste Ausdehnung größer oder kleiner als die zweite Ausdehnung. Außerdem ist das ausgesendete Ausleuchtungsmuster entlang eines Orientierungsvektors ausgerichtet, der parallel zur ersten Ausdehnung ist. In einem weiteren Schritt 1003 kommt es zum Einfallen des von der Emittereinheit ausgesendeten Primärlichts auf einen ersten Umlenkspiegel unter einem ersten Einfallswinkel zu einer Flächennormalen des ersten Umlenkspiegels von weniger als ± 12°, bevorzugt weniger als ± 9°, besonders bevorzugt weniger als ± 7°. In einem weiteren Schritt 1004 kommt es zum Umlenken des Primärlichts mittels des ersten Umlenkspiegels auf einen beweglichen Spiegel. Im Schritt 1005 kommt es zum Abtasten des Primärlichts im Sichtfeld entlang einer ersten Richtung und entlang einer zweiten Richtung, welche senkrecht zur ersten Richtung orientiert ist, mittels des beweglichen Spiegels. Das Verfahren endet im Schritt 1006. 10 10 shows an embodiment of a method 1000 for emitting primary light into a field of view. The method starts in step 1001. In step 1002, primary light is emitted in the form of an illumination pattern by means of an emitter unit, the illumination pattern having at least a first and a second extension, which are aligned orthogonally to one another. In this case, the first extent is larger or smaller than the second extent. In addition, the transmitted illumination pattern is aligned along an orientation vector that is parallel to the first extent. In a further step 1003, the primary light emitted by the emitter unit impinges on a first deflection mirror at a first angle of incidence to a surface normal of the first deflection mirror of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7° . In a further step 1004, the primary light is deflected by means of the first deflection mirror onto a movable mirror. In step 1005, the primary light in the field of view is scanned along a first direction and along a second direction, which is oriented perpendicular to the first direction, by means of the movable mirror. The method ends in step 1006.

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

DE 102017123878 A1 [0002]

Claims

Transmission unit (300-A to 300-E) for a LIDAR sensor (700) for emitting primary light (302) into a field of view (306) of the LIDAR sensor (700), having: • at least one emitter unit (301) which is designed to emit primary light (302) in the form of an illumination pattern (507), the illumination pattern (507) having at least a first (311, 501) and a second extent (401, 502). , which are aligned orthogonally to one another, and wherein the first extent (311, 501) is larger or smaller than the second extent (401, 502), and wherein the emitted illumination pattern (507) is aligned along an orientation vector (508) which is parallel to the first dimension (311, 501); and • at least one first deflection mirror (303) and at least one movable mirror (304); whereby • the first deflection mirror (303) is designed to deflect the primary light (302) onto the movable mirror (304); whereby • the movable mirror (304) is designed to scan the primary light (302) in the field of view (306) along a first direction (403) and along a second direction (314) which is oriented perpendicularly to the first direction; and where • the first deflection mirror (303) is arranged in a beam path of the primary light (302) in such a way that the primary light (302) emitted by the emitter unit (301) is at a first angle of incidence (312) to a surface normal (317) of the first deflection mirror (303 ) of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7°.

Sending unit (300-A to 300-E) after claim 1 , wherein the movable mirror (304) is arranged in the beam path of the primary light (302) in such a way that the primary light (302) deflected by the first deflection mirror (303) is less than a first angle of incidence (315) to a surface normal of the movable mirror (304). than ± 12°.

Sending unit (300-A to 300-E) after claim 1 or 2 , wherein the first (311, 501) dimension is greater than 7 mm and wherein the second dimension (401, 502) is greater than 7 mm.

Transmission unit (300-A to 300-E) according to one of the preceding claims, wherein the movable mirror (304) is designed to deflect the primary light (302) in the field of view (306) along the first direction (403) by more than ± 3° to feel.

Transmission unit (300-B, 300-D, 300-E) according to one of the preceding claims, wherein the transmission unit (300-B, 300-D, 300-E) has a first (301-1) and at least one second emitter unit (301 -2) has.

Transmitter unit (300-C, 300-D, 300-E) claim 5 , wherein the first deflection mirror (303) is designed to direct the primary light (302-1, 302-2) emitted by the first (301-1) and by the at least one second emitter unit (301-2) onto the movable mirror ( 304) to redirect.

Transmission unit (300-B) after claim 5 , further comprising at least a second first deflection mirror (303-2); and wherein the one first deflection mirror (303-1) is designed to deflect the primary light (302-1) emitted by the first emitter unit (301-1) onto the movable mirror (304); and wherein the at least one second first deflection mirror (303-2) is designed to deflect the primary light (302-2) emitted by the at least one second emitter unit (301-2) onto the movable mirror (304).

Transmission unit (300-C to 300-E) according to one of the preceding claims, having at least one second deflection mirror (303-B), wherein the second deflection mirror (303-B) is designed to transmit the primary light ( 302) by rotating the orientation vector (508) by a first angle onto the first deflection mirror (303), and wherein the first deflection mirror (303) is further designed to deflect the primary light (302) by rotating the orientation vector (508) by a second redirect angles onto the moveable mirror (304); and wherein the first and second angles are different from 0° and from 90°, respectively.

Having a LIDAR sensor (700) for optically detecting a field of view • a transmission unit (300-A to 300-E) according to any one of the preceding claims; and • at least one detector unit (701) for detecting secondary light (704) reflected and/or scattered by an object in the field of view.

Method (1000) for emitting primary light into a field of view by means of a LIDAR sensor, comprising the steps of: • emitting (1002) primary light in the form of an illumination pattern by means of an emitter unit, the illumination pattern having at least a first and a second extension which are orthogonal to one another are aligned, and wherein the first extent is greater or less than the second extent, and wherein the transmitted illumination pattern is aligned along an orientation vector that is parallel to the first extent; • Incident (1003) of the emitted from the emitter unit transmitted primary light onto a first deflection mirror at a first angle of incidence to a surface normal of the first deflection mirror of less than ±12°, preferably less than ±9°, particularly preferably less than ±7°; • Deflection (1004) of the primary light by means of the first deflection mirror onto a movable mirror; • scanning (1005) the primary light in the field of view along a first direction and along a second direction oriented perpendicular to the first direction with the moveable mirror.