DE102024200575A1

DE102024200575A1 - Konnektor-Baugruppe

Info

Publication number: DE102024200575A1
Application number: DE102024200575.4A
Authority: DE
Inventors: Eugen Anselm; Sebastian Weber; Andreas Strahl
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2023-04-17
Filing date: 2024-01-23
Publication date: 2024-10-17

Abstract

Konnektor-Baugruppe (24) zur Konnektierung eines Spiegelsubstrats (25) mit einer Anbaukomponente (26), mit einer Einsatz-Konnektorkomponente (27), die in eine Konnektions-Aufnahme (28) des Spiegelsubstrats (25) einsetzbar ist und mit einer Klemm-Komponente (29), die formschlüssig zur Ausbildung einer Konnektierungs-Klemmkraft mit der Einsatz-Konnektorkomponente verbindbar ist, wobei über die Konnektierungs-Klemmkraft die Anbaukomponente mit dem Spiegelsubstrat (25) verbindbar ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Konnektor-Baugruppe zur Konnektierung eines Spiegelsubstrats mit einer Anbaukomponente. Ferner betrifft die Erfindung eine Spiegelvorrichtung mit einer derartigen Konnektor-Baugruppe und ein optisches System mit einer derartigen Spiegelvorrichtung.
Spiegelsubstrate sowie hiermit konnektierte Anbauelemente für Spiegelsubstrate sind durch Vorbenutzung in verschiedenster Form bekannt.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Konnektor-Baugruppe bereitzustellen, die die Konnektierung einer Anbaukomponente mit einem Spiegelsubstrat verbessert, insbesondere das Anbringen der Anbaukomponente an das Spiegelsubstrat erleichtert.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Konnektor-Baugruppe mit den in Anspruch 1 genannten Merkmalen.
Der Kern der Erfindung liegt darin, die Anbaukomponente über die Konnektor-Baugruppe formschlüssig mit dem Spiegelsubstrat zu verbinden.
Die Anbaukomponente kann Teil der Konnektor-Baugruppe sein. Alternativ kann die Anbaukomponente auch als zur Konnektor-Baugruppe separate Komponente gestaltet sein.
Die Anbaukomponente kann integraler Bestandteil der Klemm-Komponente und/oder der Einsatz-Konnektorkomponente sein.
Eine formschlüssige Konnektierung der Anbaukomponente über die Konnektor-Baugruppe an dem Spiegelsubstrat ist besonders vorteilhaft. Durch eine formschlüssige Konnektierung mittels der mindestens einen Klemm-Komponente ist die Anbaukomponente jederzeit reversibel austauschbar. Insbesondere im Fall einer defekten oder nicht mehr benötigten Anbaukomponente ist diese problemlos austauschbar und/oder entfernbar.
Die Konnektions-Aufnahme des Spiegelsubstrats kann als Sacklochbohrung oder als geschlossene Tasche ausgeführt sein. Die Konnektions-Aufnahme kann auch als Durchgangsbohrung ausgeführt sein. Die Konnektions-Aufnahme kann eine Mittelachse, insbesondere eine Symmetrieachse aufweisen. Die Konnektions-Aufnahme ist insbesondere zu der Symmetrieachse rotationssymmetrisch ausgebildet.
Das Spiegelsubstrat kann insbesondere als rotationssymetrischer Körper ausgebildet sein. Auch eine Ausgestaltung des Spiegelsubstrats als dreh- und/oder spiegelsymmetrischer Körper ist denkbar. Das Spiegelsubstrat kann auch ohne inhärente Symmetrien ausgebildet sein.
Das Spiegelsubstrat kann insbesondere aus Keramik als Beispiel für einen spröden Werkstoff gefertigt sein. Vorteilhafterweise kann das Spiegelsubstrat aus einer zur Gruppe der Carbide gehörenden chemischen Verbindung aus Silicium und Kohlenstoff gefertigt sein. Besonders bevorzugt ist eine Ausgestaltung des Spiegelsubstrats aus Siliciumcarbid, insbesondere siliciuminflitriertem Siliciumcarabid (SiSiC).
Die Konnektions-Aufnahme ist derart ausgebildet, dass sie die Einsatz-Konnektorkomponente zumindest teilweise aufnehmen kann. Die Einsatz-Konnektorkomponente ist insbesondere reversibel in die Konnektions-Aufnahme einsetzbar und aus der Konnektions-Aufnahme entfernbar.
Die Klemm-Komponente kann als rotationssymmetrischer Körper ausgebildet sein. Eine Symmetrieachse der Klemm-Komponente kann insbesondere mit der Symmetrieachse der Einsatz-Konnektorkomponente zusammenfallen.
Ein weiterer Vorteil einer formschlüssigen Konnektierung ist dadurch gegeben, dass die Kraftübertragung der Klemm-Komponente auf die Einsatz-Konnektorkomponente gleichmäßig und homogen eingestellt werden kann. Der Betrag der Konnektionsklemmkraft lässt sich anpassen und auf die jeweils vorliegenden Anforderungen der Konnektor-Baugruppe abstimmen.
Ein weiterer Vorteil einer formschlüssigen Konnektierung, insbesondere gegenüber einer stoffschlüssigen Konnektierung liegt darin, dass die Konnektierung mit geringerem Aufwand und reversibel durchgeführt werden kann. Es werden keine zusätzlichen Stoffe und/oder qualifiziertes Fachpersonal zur Durchführung der Konnektierung benötigt. Der Energiebedarf gegenüber einer stoffschlüssigen Verbindung, insbesondere einer Schweiß- oder einer Lötverbindung ist reduziert. Hierdurch lässt sich die Montage der Konnektor-Baugruppe zeit- und/oder kostenoptimiert durchführen.
Eine Form und Gestaltung der Einsatz-Konnektorkomponente und/oder der Klemm-Komponente kann an Anforderungen des Spiegelsubstrats, an Anforderungen der Anbaukomponente sowie an weitere bauliche Anforderungen flexibel angepasst werden.
Die Konnektor-Baugruppe kann als axiale Schnittstelle gestaltet sein, bei der eine Richtung der Klemmkraft parallel zu einer optischen Achse einer Spiegelfläche des Spiegelsubstrats verläuft. Alternativ kann die Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle ausgeführt sein, bei der die Konnektierungs-Klemmkraft senkrecht zur optischen Achse einer Spiegelfläche des Spiegelsubstrats, also radial zu dieser, verläuft. Auch eine Kombination in Form einer axial/radialen Schnittstelle, bei der eine Klemmkraftübertragung sowohl parallel als auch senkrecht zur optischen Achse einer Spiegelfläche des Spiegelsubstrats erfolgt, ist möglich.
Die Einsatz-Konnektorkomponente kann zumindest teilweise innerhalb des Spiegelsubstrats angeordnet sein.
Durch das Verkeilen der Einsatz-Konnektorkomponente mit dem Spiegelsubstrat ist die Verbindung der beiden Bauteile besonders stabil und sicher. Eine aufeinander abgestimmte Passform der Einsatz-Konnektorkomponente und der Klemm-Komponente an das Spiegelsubstrat erleichtert darüber hinaus die Montage der Konnektor-Baugruppe an dem Spiegelsubstrat.
Die Klemm-Komponente kann eine obere Deckfläche aufweisen, mittels der sie an dem Spiegelsubstrat anliegt. Diese obere Deckfläche kann insbesondere plan, also senkrecht zu einer Symmetrieachse der Konnektions-Aufnahme angeordnet sein. Es ist auch denkbar, dass die Deckfläche der Klemm-Komponente kegelförmig ausgebildet ist. Eine zugeordnete Anlagefläche des Spiegelsubstrates kann jeweils dazu passgenau ausgebildet sein.
Bei einer möglichen kegelförmigen Ausgestaltung der oberen Deckfläche der Klemm-Komponente kann die Klemm-Komponente, zumindest teilweise, innerhalb des Spiegelsubstrates oder das Spiegelsubstrat, zumindest teilweise im Bereich der Konnektionsaufnahme, innerhalb der Klemm-Komponente angeordnet sein.
Die Einsatz-Konnektorkomponente kann einen T-Nut-förmigen Querschnitt aufweisen.
Eine Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 2 ist besonders vorteilhaft. Durch die Anlagefläche der Einsatz-Konnektorkomponente kann die Einsatz-Konnektorkomponente besonders effizient mit dem Spiegelsubstrat verklemmt werden. Das Spiegelsubstrat kann eine, zur Einsatz-Anlagefläche der Einsatz-Konnektorkomponente insbesondere passgenaue Substrat-Anlagefläche aufweisen. Die Einsatz-Anlagefläche einerseits und die Substrat-Anlagefläche andererseits können komplementär zueinander gestaltet sein. Die Einsatz-Anlagefläche kann konkav oder konvex geformt sein. Die Einsatz-Anlagefläche kann kegelförmig, kegelstumpfförmig beziehungsweise konusförmig gestaltet sein.
Eine Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 3 hat sich bewährt. Durch die Ausgestaltung der ersten Anlagefläche der Einsatz-Konnektorkomponente als ebene Fläche ist die Einsatz-Konnektorkomponente besonders einfach und flexibel an dem Spiegelsubstrat montierbar. Insbesondere die Konnektierungs-Klemmkraft kann durch die Ausgestaltung der Konnektierung mittels ebener Anlageflächen besonders groß gewählt werden. Hierdurch kann eine besonders sichere Konnektierung der Einsatz-Konnektorkomponente an dem Spiegelsubstrat sichergestellt werden.
Eine Ausführungsvariante der Erfindung gemäß Anspruch 4 ist besonders vorteilhaft. Die Klemm-Komponente kann insbesondere als Mutter mit einem Innengewinde ausgeführt sein. Auch jede andere Art von Klemm-Komponenten mit einer Sack- oder einer Durchgangsbohrung und einem geeigneten Innengewinde ist denkbar. Die Einsatz-Konnektorkomponente verfügt, zumindest abschnittsweise, über einen Gewindeabschnitt. An dem Gewindeabschnitt befindet sich insbesondere ein Außengewinde. Bei dem Außengewinde kann es sich um jede gängige Art von Gewinde, beispielsweise ein Trapezgewinde, handeln.
Eine Konnektierung der Einsatz-Konnektorkomponente mit der Klemm-Komponente über eine Gewindeverbindung ist einfach zu realisieren. Insbesondere ist die Montage der Einsatz-Konnektorkomponente an dem Spiegelsubstrat dadurch einfach durchführbar.
Eine Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 5 ist besonders bevorzugt. Der Bundabschnitt und der Halsabschnitt können zueinander derart angeordnet sein, dass sie eine gemeinsame Symmetrieachse besitzen.
Der Bundabschnitt kann als ein zu einer Symmetrieachse der Einsatz-Konnektorkomponente drehsymmetrischer und/oder spiegelsymmetrischer Körper ausgebildet sein. Der Bundabschnitt kann dabei eine ganzzahlige Drehsymmetrie n aufweisen, wobei insbesondere gilt n = 1, insbesondere n = 2, insbesondere n = 3, insbesondere n = 4, insbesondere n = 5, insbesondere n = 6, insbesondere n = 7 und insbesondere n = 8. Es sind auch noch höherzählige Drehsymmetrien denkbar. Es ist auch denkbar, dass der Bundabschnitt als rotationssymetrischer Körper ausgebildet ist.
Der Halsabschnitt kann als rotationssymetrischer Körper ausgebildet sein. In zur gemeinsamen Symmetrieachse axialer Richtung kann der Halsabschnitt eine größere Ausdehnung als der Bundabschnitt aufweisen. In zur gemeinsamen Symmetrieachse radialer Richtung kann der Halsabschnitt eine geringere Ausdehnung als der Bundabschnitt aufweisen.
Durch die Ausgestaltung der Einsatz-Konnektorkomponente mittels einer Bundabschnitts und eines hieran angeformten Halsabschnitts ist die Einsatz-Konnektorkomponente besonders stabil. Durch die Verbindung der Einsatz-Konnektorkomponente mit dem Spiegelsubstrat weist somit auch die Konnektor-Baugruppe im montierten Zustand eine erhöhte Stabilität auf.
Eine Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 6 hat sich in der Praxis bewährt. Einsatz-Konnektorkomponenten und/oder Klemm-Komponenten, die aus Metall gefertigt sind, sind besonders robust und widerstandsfähig.
Es ist dabei möglich, dass die Einsatz-Konnektorkomponente und die Klemm-Komponente aus demselben Material gefertigt sind. Es ist insbesondere auch denkbar, dass die beiden Komponenten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sind. Insbesondere kann als Metall zur Fertigung der Einsatz-Konnektorkomponente und/oder der Klemm-Komponente Invar verwendet werden. Die Verwendung von Invar hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, aufgrund des geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Auch ein anderes Material mit geringem Wärmeausdehnungskoeffizienten kann zur Fertigung der Einsatz-Konnektorkomponente und/oder der Klemm-Komponente zum Einsatz kommen.
Die Vorteile einer Spiegelvorrichtung nach Anspruch 7 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Konnektor-Baugruppe bereits erläutert wurden.
Herstellungsschritte und/oder Wartungs- beziehungsweise Reparaturarbeiten können bei einer Spiegelvorrichtung, die mit der Konnektor-Baugruppe ausgerüstet ist, zeit- und/oder kostenoptimiert durchgeführt werden.
Die Anbaukomponente kann gleichzeitig die Funktion der Klemm-Komponente und/oder der Einsatz-Konnektorkomponente erfüllen. Falls für eine Spiegel-Vorrichtung mehrere Konnektor-Baugruppen verwendet werden können diese gleich ausgebildet sein. Sie können insbesondere auch voneinander verschieden ausgebildet sein. Insbesondere kann eine solche Spiegelvorrichtung mindestens eine Konnektor-Baugruppe in der Ausführung als axiale Schnittstelle und mindestens eine Konnektor-Baugruppe in der Ausführung als radiale Schnittstelle aufweisen. Die Spiegelvorrichtung kann alternativ oder zusätzlich auch mindestens eine Konnektor-Baugruppe, ausgeführt als axiale/radiale Schnittstelle aufweisen. Soweit die Spiegelvorrichtung mehrere axiale Schnittstellen, mehrere radiale Schnittstellen und/oder mehrere axiale/radiale Schnittstellen aufweist, also Schnittstellen verschiedener Kraftrichtungs-Übertragungstypen aufweist, können innerhalb einer Kraftrichtungs-Übertragungstype auch verschiedene Ausführungen von Konnektor-Baugruppen innerhalb ein und derselben Spiegelvorrichtung zum Einsatz kommen.
Die Konnektions-Aufnahme des Spiegelsubstrats kann eine Vielzahl verschiedener Formen, Größen und/oder Geometrien aufweisen. Es ist beispielsweise denkbar, dass das Spiegelsubstrat eine Innen-Anlagefläche beispielsweise zur Anlage an der Einsatz-Konnektorkomponente, und/oder eine Außen-Anlagefläche, beispielsweise zur Anlage an der Klemm-Komponente aufweist, die konkav oder konvex, insbesondere konkav kegelförmig oder konvex kegelförmig ausgebildet sind.
Hierdurch ist es möglich verschiedene Spiegelsubstrate auf verschiedene Einsatz-Konnektorkomponenten und/oder verschiedene Klemm-Komponenten abzustimmen. Hierdurch ergeben sich verschiedene Ausgestaltung der Konnektions-Aufnahme eines Spiegelsubstrates die für eine Spiegelvorrichtung beliebig kombinierbar sind.
Durch den T-Nut förmigen Querschnitt der Konnektions-Aufnahme des Spiegelsubstrats der Spiegelvorrichtung nach Anspruch 8 kann die Einsatz-Konnektorkomponente besonders effizient in die Konnektions-Aufnahme eingebracht werden. Hierdurch ist die erfindungsgemäße Spiegelvorrichtung besonders stabil.
Gemäß Anspruch 9 kann die Spiegelvorrichtung als EUV-Kollektor ausgebildet sein. Ein EUV-Kollektor, der eine erfindungsgemäß Konnektor-Baugruppe umfasst, kann einfach hergestellt und/oder einfach gewartet und/oder einfach gehaltert werden.
Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 10 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Spiegelvorrichtung bereits erläutert wurden. Bei dem optischen System kann es sich um eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere für die EUV-Lithographie handeln.
Bestandteil des optischen Systems kann eine Lichtquelle sein, insbesondere eine Lichtquelle für die Projektionslithographie. Bei der Lichtquelle kann es sich um eine EUV-Lichtquelle handeln.
Nachfolgend wird anhand der Zeichnung mindestens ein Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

1 schematisch im Meridionalschnitt eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithografie;
2 einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als axiale Schnittstelle ausgebildet,
3 einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle ausgebildet,
4 eine weitere Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle,
5 eine weitere Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle,
6 eine weitere Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle,
7 eine weitere Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle,
8 eine weitere Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe als radiale Schnittstelle,
9 eine Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe, die zusätzliche Befestigungselemente umfasst.

Im Folgenden werden zunächst unter Bezugnahme auf die 1 exemplarisch die wesentlichen Bestandteile einer Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie beschrieben. Die Beschreibung des grundsätzlichen Aufbaus der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie deren Bestandteile sei hierbei nicht einschränkend verstanden.
Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Licht- bzw. Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem die Lichtquelle 3 nicht.
Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9 insbesondere in einer Scanrichtung verlagerbar.
In der 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem eingezeichnet. Die x-Richtung verläuft senkrecht zur Zeichenebene hinein. Die y-Richtung verläuft horizontal und die z-Richtung verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der 1 längs der y-Richtung. Die z-Richtung verläuft senkrecht zur Objektebene 6.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.
Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.
Bei der Strahlungsquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Strahlungsquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung oder Beleuchtungsstrahlung bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Laser Produced Plasma, mithilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Free-Electron-Laser, FEL) handeln.
Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Strahlungsquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.
Der Kollektor 17 stellt eine Spiegelvorrichtung eines optischen Systems der Projektionsbelichtungsanlage 1 dar, zu dem neben dem Kollektor auch die Beleuchtungsoptik 4 und die Projektionsoptik 10 gehören kann. Zur Konnektierung eines Spiegelsubstrats des Kollektors 17 mit einer Anbaukomponente, was bei der Herstellung des Kollektors 17 und/oder beim Einsatz des Kollektors 17 in der Projektionsbelichtungsanlage 1 genutzt werden kann, dient eine Konnektor-Baugruppe, die nachfolgend im Zusammenhang mit den 2 ff. noch erläutert wird.
Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Strahlungsquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.
Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen ersten Facettenspiegel 19. Sofern der erste Facettenspiegel 19 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 19 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 20, welche im Folgenden auch als Feldfacetten bezeichnet werden. Von diesen Facetten sind in der 1 nur beispielhaft einige dargestellt.
Die ersten Facetten 20 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 20 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.
Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 A1 bekannt ist, können die ersten Facetten 20 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 19 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 19 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 21. Sofern der zweite Facettenspiegel 21 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 21 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 19 und dem zweiten Facettenspiegel 21 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 A1 , der EP 1 614 008 B1 und der US 6,573,978 .
Der zweite Facettenspiegel 21 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 22. Die zweiten Facetten 22 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.
Bei den zweiten Facetten 22 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Die zweiten Facetten 22 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.
Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Fly's Eye Integrator) bezeichnet.
Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 21 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der Pupillenfacettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 A1 beschrieben ist.
Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 21 und einer abbildenden optischen Baugruppe in Form einer Übertragungsoptik 23 werden die einzelnen ersten Facetten 20 in das Objektfeld 5 abgebildet.
Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel, Gracing Incidence Spiegel) umfassen. Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der 1 gezeigt ist, also nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich die Übertragungsoptik 23, den ersten Facettenspiegel 19 und den Pupillenfacettenspiegel 21.
Soweit die Übertragungsoptik 23 nach dem zweiten Facettenspiegel 21 entfällt, ist der zweite Facettenspiegel 21 der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5. Ein Beispiel für eine Beleuchtungsoptik 4 ohne Übertragungsoptik ist offenbart in der 2 der WO 2019/096654 A1 .
Die Abbildung der ersten Facetten 20 mittels der zweiten Facetten 22 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 22 und einer Übertragungsoptik 23 in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.
Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.
Bei dem in der 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 acht Spiegel M1 bis M8. Alternativen mit vier, sechs, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine obskurierte Optik. Der letzte Spiegel M8 hat eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,4 und die beispielsweise 0,5 betragen kann. Die bildseitige numerische Apertur kann auch noch größer sein, kann größer sein als 0,6 und kann zum Beispiel 0,7 oder 0,75 betragen.
Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hoch reflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe β_x, β_y in x- und y-Richtung auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe β_x, β_y der Projektionsoptik 7 liegen bevorzugt bei (β_x, β_y) = (+/- 0,25, +/- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.
Die Projektionsoptik 7 führt in x-Richtung, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4:1.
Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8:1.
Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder 0,25, sind möglich.
Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung sind bekannt aus der US 2018/0074303 A1 .
Jeweils eine der Pupillenfacetten 22 ist genau einer der Feldfacetten 20 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der Feldfacetten 20 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die Feldfacetten 20 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten Pupillenfacetten 22.
Die Feldfacetten 20 werden jeweils von einer zugeordneten Pupillenfacette 22 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Durch eine Anordnung der Pupillenfacetten kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der Pupillenfacetten, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung flybezeichnet.
Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem Pupillenfacettenspiegel 21 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des Pupillenfacettenspiegels 21 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.
Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik 23, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 21 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.
Bei der in der 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der Pupillenfacettenspiegel 21 nicht in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Er ist außerdem verkippt zur Objektebene 5 angeordnet. Der zweite Facettenspiegel 21 ist weiterhin verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom ersten Facettenspiegel 19 definiert ist.
In der 2 ist eine Ausführung einer Konnektor-Baugruppe 24 im Querschnitt dargestellt. Die Konnektor-Baugruppe 24 dient zur Konnektierung des Spiegelsubstrats des Kollektors 17 mit einer Anbaukomponente, beispielsweise einer zur Beschichtung des Kollektors 17 erforderlichen Komponente und/oder einer Haltekomponente des Kollektors 17.
In der 2 ist abschnittsweise ein beispielhaftes Spiegelsubstrat 25 sowie ebenfalls beispielhaft eine Anbaukomponente 26 dargestellt, die nachfolgend noch erläutert werden.
Die Konnektor-Baugruppe 24 umfasst mindestens eine Einsatz-Konnektorkomponente 27. Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 ist in eine Konnektions-Aufnahme 28 des Spiegelsubstrats 25 einsetzbar und ist insoweit komplementär zur Konnektions-Aufnahme 28 geformt.
Die Konnektor-Baugruppe 24 umfasst weiterhin mindestens eine Klemm-Komponente 29. Letztere ist formschlüssig zur Ausbildung einer Konnektierungs-Klemmkraft mit der Einsatz-Konnektorkomponente 27 verbunden. Die Klemm-Komponente 29 kann ihrerseits integraler Bestandteil der Anbaukomponente 26 sein oder kann eine Komponente darstellen, die an der Anbaukomponente 26 befestigt ist. Über die Konnektierungs-Klemmkraft, die parallel zu einer Längsachse 30 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 verläuft, ist die Klemm-Komponente 29 und damit die Anbaukomponente 26 mit dem Spiegelsubstrat 25 verbunden.
2 zeigt eine Ausführung der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe 24 als axiale Schnittstelle, bei der sowohl die Konnektierungs-Klemmkraft als auch die Längsachse 30 parallel zu einer optischen Achse des Kollektors 17 verlaufen, bei der die Konnektierungs-Klemmkraft und auch die Achse 30 senkrecht zur optischen Achse des Kollektors 11, also radial zu dieser, verlaufen. Es ist auch denkbar, dass die Konnektor-Baugruppe 24 als radiale Schnittstelle ausgebildet ist. Nähere Erläuterungen zur Ausbildung der Konnektor-Baugruppe 24 als radiale Schnittstelle folgen in der Beschreibung der 3 bis 9.
Das Spiegelsubstrat 25 ist im in der 2 dargestellten Abschnitt insbesondere symmetrisch zur Achse 30 ausgebildet. Die Achse 30 kann eine Symmetrieachse, insbesondere eine Rotations-Symmetrie-Achse, des Spiegelsubstrats 25 darstellen oder parallel hierzu verlaufen. Das Spiegelsubstrat 25 kann insbesondere als um die optische Achse des Kollektors 17 rotationssymmetrischer Körper ausgebildet sein.
Das Spiegelsubstrat 25 umfasst ferner eine Konnektions-Aufnahme 28. Die Konnektions-Aufnahme 28 ist im Spiegelsubstrat 25 als Ausnehmung ausgeführt. In 2 ist die Konnektions-Aufnahme 28 als sich bodenseitig stufenweise erweiternde Sacklochbohrung ausgebildet. Entsprechend ist das Spiegelsubstrat 25 im Querschnitt einteilig dargestellt. Die Konnektions-Aufnahme 28 ist symmetrisch zur Achse 30 ausgebildet. Sie kann rotationssymmetrisch zur Achse 30 ausgebildet sein. Die Konnektions-Aufnahme 28 kann alternativ auch profilförmig, insbesondere T-Nut-förmig, ausgebildet sein. Eine Profil-Längsachse verläuft in diesem Fall senkrecht zur Zeichenebene der 2. Die Konnektions-Aufnahme 28 ist in diesem Fall komplementär hierzu ebenfalls profilförmig ausgeführt.
In die Konnektions-Aufnahme 28 ist die Einsatz-Konnektorkomponente 27 eingesetzt. Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 umfasst insbesondere einen Bundabschnitt 33 und einen daran angrenzenden Halsabschnitt 34. Die Ausdehnung des Bundabschnitts 33 in Radialrichtung zur Achse 30 ist insbesondere größer als die Ausdehnung des Halsabschnitts 34 in Radialrichtung zur Achse 30.
Der Bundabschnitt 33 ist als ein zur Achse 30 symmetrischer Körper ausgebildet. Der Bundabschnitt 33 kann dabei zur Achse 30 spiegelsymmetrisch und/oder rotationssymmetrisch, insbesondere mehrzählig drehsymmetrisch, ausgebildet sein. Insbesondere ist eine 1-zählige, insbesondere eine 2-zählige, insbesondere eine 3-zählige, insbesondere eine 4-zählige, insbesondere eine 5 zählige, insbesondere eine 6-zählige, insbesondere eine 7 zählige und insbesondere eine 8-zählige Drehsymmetrie denkbar. Auch höherzählige Symmetrien sind denkbar. Der Halsabschnitt 34 ist als ein zur Achse 30 rotationssymmetrischer Körper oder alternativ wiederum als zur Achse 30 spiegelsymmetrischer Profilkörper ausgebildet.
Durch die unterschiedlich gewählten Ausdehnungen ergibt sich eine Stufe 35 beim Übergang des Halsabschnitts 34 in den Bundabschnitt 33. Durch diese Stufe bildet die Einsatz-Konnektorkomponente 27 eine Einsatz-Anlagefläche 31 aus, die in der 1 horizontal verläuft. Mit der Einsatz-Anlagefläche 31 liegt die Einsatz-Konnektorkomponente 27 an einer gegenüberliegenden, in der 2 ebenfalls horizontal verlaufenden Substrat-Innen-Anlagefläche 32 des Spiegelsubstrats 25 an.
Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 weist, zumindest abschnittsweise, insbesondere im unteren Bereich des Halsabschnitts 34, ein, nicht in den Figuren dargestelltes, Gewinde in Form eines Außengewindes auf. Bei dem Gewinde kann es sich um ein klassisches metrisches ISO-Gewinde handeln. Auch der Einsatz eines Trapezgewindes, eines Sägezahngewindes oder eines Flachgewindes ist denkbar.
Die Klemm-Komponente 29 ist auf der den Bundabschnitt 33 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 abgewandten Seite in der 2 unterhalb des Spiegelsubstrats 25 angeordnet. Die Klemm-Komponente 29 ist dabei derart ausgebildet, dass sie zusammen mit der Einsatz-Konnektorkomponente 27 eine Konnektierungs-Klemmkraft auf das Spiegelsubstrat 25 ausübt. Über diese Klemmkraft ist die Einsatz-Konnektorkomponente 27, die Klemm-Komponente 29 und damit auch die Anbaukomponente 26 formschlüssig an dem Spiegelsubstrat 25 befestigt.
Die Klemm-Komponente 29 weist eine zur Achse 30 orthogonale Deckfläche 36 auf. Diese Deckfläche 36 ist gegen eine in der 2 ebenfalls horizontal verlaufende, Substrat-Außen-Anlagefläche 37 das Spiegelsubstrat 25 gepresst. Die Substrat-Außen-Anlagefläche 37 ist entsprechend ebenfalls orthogonal zur Achse 30 ausgebildet. Eine solche Ausbildung der Substrat-Außen-Anlagefläche 37 wird auch als „Planfläche“ bezeichnet.
Die Substrat-Innen-Anlagefläche 33 einerseits und die Substrat-Außen-Anlagefläche 37 andererseits geben zwei Durchtrittsebenen vor, die der Halsabschnitt 34 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 durchtritt. Insoweit hat das Spiegelsubstrat 25 also zwischen diesen beiden Durchtrittsebenen eine Durchtrittsöffnung für die Einsatz-Konnektorkomponente 27.
Bei der Klemm-Komponente 29 kann es sich beispielsweise um eine Mutter mit einem Innengewinde handeln. Auch jede andere Ausbildung der Klemm-Komponente 29 als rotationssymmetrischer Körper mit einem, zur Aufnahme des Gewindes der Einsatz-Konnektorkomponente 27 geeigneten, Innengewindes ist denkbar.
3 bis 9 zeigen alternative Ausführungsvarianten der erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe. Im Wesentlichen identische Komponenten dieser Ausführungsvarianten zu der vorhergehender Ausführungsvariante tragen dieselben Bezugsziffern. Um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, werden sie an dieser Stelle nicht erneut diskutiert.
Die Längsachse 30 der Konnektor-Baugruppe 38 nach 3, die eine Symmetrieachse der Einsatz-Konnektorkomponente 27 darstellt, verläuft radial zur optischen Achse des Kollektors 17 und ist gemäß den Ausführungsvarianten nach den 3 bis 9 eine horizontale Achse. Die Konnektor-Baugruppe nach den 3 bis 9 sind als radiale Schnittstellen für die jeweilige Anbaukomponente ausgeführt.
In der Ausführungsvariante der Konnektor-Baugruppe 38 nach 3 ist die Konnektions-Aufnahme 28 als Durchgangsbohrung im Spiegelsubstrat 25 ausgebildet. Der in der 3 dargestellte Substratabschnitt ist in dieser Ausführungsvariante als ein zur Achse 30 rotationssymmetrischer Körper ausgebildet.
Die Substrat-Innen-Anlagefläche 32 ist in dieser Ausführungsvariante nicht orthogonal zur Achse 30 ausgebildet, sondern als Konusfläche. In der 3 von rechts her gesehen bildet die Substrat-Innen-Anlagefläche 32 einen konkaven Konus beziehungsweise einen konkaven Kegel.
Die Einsatz-Anlagefläche 31 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 ist komplementär konisch zur Substrat-Innen-Anlagefläche 32 ausgebildet. Hierdurch kann die Einsatz-Konnektorkomponente 27 formschlüssig an dem Spiegelsubstrat 25 angebracht werden. Der Bundabschnitt 33 ist im Bereich dieser Einsatz-Anlagefläche 31 konvex konisch gestaltet.
Die Deckfläche der Klemm-Komponente 29 ist wie bereits in 2 diskutiert als orthogonal zur Achse 30 ausgebildet. Die Substrat-Außen-Anlagefläche 37 des Substrates ist also als Planfläche ausgebildet.
Gemäß der Ausführungsvariante in 3 weist das Spiegelsubstrat 25 also sowohl eine Planfläche 37 als auch einen konkave Kegelfläche 32 auf. Die Planfläche 37 dient zur Konnektierung des Spiegelsubstrats 25 mit der Klemm-Komponente 29. Die konkave Kegelfläche 32 dient zur Auflage der Einsatz-Konnektorkomponente 27. Eine solche Verbindung kann als Schwalbenschwanzverbindung ausgeführt sein.
Auch gemäß der in 4 dargestellten Ausführungsvariante einer Konnektor-Baugruppe 39 ist die Einsatz-Konnektorkomponente 27 als Schwalbenschwanz ausgebildet. Des Weiteren ist in dieser Ausführungsvariante auch die Deckfläche 36 der Klemm-Komponente 29 nicht orthogonal zur Achse 30 ausgebildet. Die Deckfläche 36 der Klemm-Komponente 29 ist als konvexe Konusfläche ausgeführt.
Entsprechend ist auch die Substrat-Außen-Anlagefläche 37 des Spiegelsubstrates 25 als konkave Konusfläche ausgeführt. Die Substrat-Außen-Anlagefläche 37 befindet sich in dieser Ausführungsvariante innerhalb des Spiegelsubstrates 25. Das Spiegelsubstrat 25 bildet eine obere und eine untere konkave Kegelfläche aus.
Gemäß der Ausführungsvariante der Konnektor-Baugruppe 40 nach 5 weist die Klemm-Komponente 29 eine Deckfläche 36 in Form einer konkaven Konusfläche auf. Eine dazu formschlüssige Ausbildung der Substrat-Außen-Anlagefläche 37 des Spiegelsubstrats 25 ist komplementär als konvexe Kegelfläche ausgeführt. Eine Substrat-Innen-Anlagefläche 32 ist bei der Konnektor-Baugruppe 40 als konkave Kegelfläche ausgeführt.
Eine Konnektor-Baugruppe 41 gemäß 6 ist im Vergleich zur Ausführung nach 4 mit in Bezug auf das Spiegelsubstrat 25 invers, also konvex kegelförmig geformten Anlageflächen 32, 37 gestaltet. Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 weist also hierzu komplementär eine Einsatz-Anlagefläche 31 auf, die konkav kegelförmig gestaltet ist.
Auch die Deckfläche 36 der Klemm-Komponente 29 ist bei der Ausführung nach 6 konkav kegelförmig und komplementär zur zugeordneten Substrat-Anlagefläche gestaltet.
Die Ausführungsvariante einer erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe 42 nach 7 weist ein Spiegelsubstrat 25 mit einer Kombination mit einer konvexen Substrat-Innen-Anlagefläche 32 und einer konkaven Substrat-Außen-Anlagefläche 37 auf. Die jeweils zugeordnete Einsatz-Anlagefläche 31 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 einerseits und die Deckfläche 36 der Klemm-Komponente 29 andererseits sind hierzu komplementär geformt.
Eine Ausführungsvariante einer erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe 43 gemäß 8 weist ein Spiegelsubstrat 25 mit einer Kombination einer konvexen Substrat-Innen-Anlagefläche 32 und einer planen Substrat-Außen-Anlagefläche 37 auf. Insoweit kann die Konnektor-Baugruppe 43 nach 8 als Kombination der Ausführungen nach den 1 und 7 verstanden werden.
Gemäß einer Ausführungsvariante einer erfindungsgemäßen Konnektor-Baugruppe 44 nach 9 ist die Einsatz-Konnektorkomponente 27 mittels zusätzlicher Befestigungsschrauben 45 an dem Spiegelsubstrat 25 angebracht. Zusätzlich kann die Einsatz-Konnektorkomponente 27 mittels der in 2 bis 8 diskutierten Klemmmechanismen über eine weitere Klemm-Komponente an dem Spiegelsubstrat 25 angebracht sein.
In der Ausführungsvariante gemäß 9 weist die Einsatz-Konnektorkomponente 27 nicht zwingend ein Außen-Gewinde auf. Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 steht nicht zwingend in formschlüssiger Verbindung mit der Klemm-Komponente 29.
Das Spiegelsubstrat 25 weist in dieser Ausführungsvariante mindestens zwei Aufnahmen 46 für die Befestigungsschrauben 45 auf. Diese Aufnahmen 46 können jeweils ein Innengewinde umfassen, das auf das Außengewinde der Befestigungsschrauben 45 abgestimmt ist. Alternativ können die Aufnahmen auch gewindelos gestaltet sein.
Die Befestigungsschrauben 45 sind kopfseitig jeweils in zu den Schraubenköpfen komplementären Aufnahmen im Bundabschnitt 33 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 eingelassen. Auf der Seite des Spiegelsubstrats 25, die den Bundabschnitt 33 gegenüberliegt, sind zwei Muttern 47 angeordnet, die als Klemm-Komponenten der Konnektor-Baugruppe 44 nach 9 dienen. Die Befestigungsschrauben 45 sind mit ihren Schraubenenden, die die Aufnahmen 46 des Substrats 25 durchtreten, in die Muttern 47 eingeschraubt, sodass wiederum eine Klemmkraft in Richtung der Achse 30 ausgeübt ist, über die das Spiegelsubstrat 25 zwischen dem Bundabschnitt 33 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 und den Muttern 47 als Klemm-Komponenten geklemmt ist.
Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 kann in der Ausführungsvariante nach 9 T-Nut-förmig ausgebildet. Das Spiegelsubstrat 25 weist in dieser Ausführungsvariante zwei Planflächen zur Kontaktierung mit der Einsatz-Konnektorkomponente 27 und den Klemm-Komponenten 47 auf.
Bei der Ausführung nach 9 hat der Halsabschnitt 34 der Einsatz-Konnektorkomponente 27 ein freies Ende 48. Letzteres kann zu weiteren Konnektierungszwecken genutzt werden.
Die Einsatz-Konnektorkomponente 27 hat den Bundabschnitt 33 deckseitig sowie den Halsabschnitt 34 endseitig begrenzende Referenzflächen R1, R2.
Letztere können zu Kalibrierungszwecken insbesondere zur Positionierung der Anbaukomponente zum Spiegelsubstrat, dienen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102008009600 A1 [0055, 0058]
US 20060132747 A1 [0056]
EP 1614008 B1 [0056]
US 6573978 [0056]
DE 102017220586 A1 [0061]
WO 2019096654 A1 [0064]
US 20180074303 A1 [0073]

Claims

Konnektor-Baugruppe (24; 38; 39; 40; 41; 42; 43; 44) zur Konnektierung eines Spiegelsubstrats (25) mit einer Anbaukomponente (26), mit 1.1. einer Einsatz-Konnektorkomponente (27), die in eine Konnektions-Aufnahme (28) des Spiegelsubstrats (25) einsetzbar ist und 1.2. einer Klemm-Komponente (29), die formschlüssig zur Ausbildung einer Konnektierungs-Klemmkraft mit der Einsatz-Konnektorkomponente verbindbar ist, wobei über die Konnektierungs-Klemmkraft die Anbaukomponente mit dem Spiegelsubstrat verbindbar ist.
Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einsatz-Konnektorkomponente eine Einsatz-Anlagefläche (31) aufweist, über die die Einsatz-Konnektorkomponente (27) am Spiegelsubstrat (25) anlegbar ist.
Konnektor-Baugruppe gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einsatz-Konnektorkomponente (27) eine ebene Einsatz-Anlagefläche (31) aufweist, über die die Einsatz-Konnektorkomponente (27) am Spiegelsubstrat (25) anlegbar ist.
Konnektor-Baugruppe gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemm-Komponente (29) mit der Einsatz-Konnektorkomponente (27) über eine Gewindeverbindung formschlüssig verbunden ist.
Konnektor-Baugruppe gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einsatz-Konnektorkomponente (27) einen Bundabschnitt (33) und einen hieran angeformten Halsabschnitt (34) aufweist, wobei eine hierüber gebildete Stufe (35) zur Anlage am Spiegelsubstrat (25) ausgeführt ist.
Konnektor-Baugruppe gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einsatz-Konnektorkomponente (27) und/oder die Klemm-Komponente (29) aus Metall gefertigt ist.
Spiegelvorrichtung (17), 7.1.mit mindestens einer Konnektor-Baugruppe (24; 38; 39; 40; 41; 42; 43; 44) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 und 7.2. mit einem Spiegelsubstrat (25), das eine Konnektions-Aufnahme (28) für die Einsatz-Konnektorkomponente (27) aufweist.
Spiegelvorrichtung (17) gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Konnektions-Aufnahme (28) des Spiegelsubstrats (25) einen T-Nut-förmigen Querschnitt aufweist.
Spiegelvorrichtung (17) gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8, gekennzeichnet durch eine Ausführung als EUV-Kollektor (17).
Optisches System mit einer Spiegelvorrichtung (17) nach einem der Ansprüche 7 bis 9.