DE102011100422A1

DE102011100422A1 - Berührungsfreie Transportvorrichtung

Info

Publication number: DE102011100422A1
Application number: DE102011100422A
Authority: DE
Inventors: Katsuaki Takahashi; Taira OMIYA; Koji Iida
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2010-05-11
Filing date: 2011-05-03
Publication date: 2012-02-16
Anticipated expiration: 2031-05-04
Also published as: JP5110480B2; KR20110124709A; DE102011100422B4; CN102311007B; CN102311007A; TWI455233B; TW201203437A; US20110278870A1; KR101296704B1; US8419094B2; JP2011236006A

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine berührungsfreie Transportvorrichtung (10). Die berührungsfreie Transportvorrichtung (10) umfasst ein Gehäuse (12) und eine Platte (14), die in eine kreisförmige Vertiefung (34) in einem zentralen Abschnitt einer unteren Fläche (12b) des Gehäuses (12) eingesetzt ist. Das Gehäuse (12) ist an die Form eines Werkstücks (S), des transportiert werden soll, angepasst und beispielsweise achteckig. In der Platte (14) ist eine Mehrzahl von Düsen (46) mit gleichen Winkelabständen radial angeordnet. Die Düsen (46) umfassen erste Düsennuten (48) und zweite Düsennuten (50) mit Querschnittsflächen, deren Größe proportional zu den Abständen zwischen einer Hauptseite (18) des Gehäuses (12) und der Düse (46) und zwischen einer schrägen Seite (20) des Gehäuses (12) und der Düse (46) festgelegt wird, um zu erreichen, dass die Strömungsraten des Druckfluides durch die erste Düsennut (48) und die zweite Düsennut (50) unterschiedlich sind.

Description

Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine berührungsfreie (kontaktlose) Transportvorrichtung, mit welcher ein dünnes plattenförmiges Werkstück kontaktfrei gehalten und transportiert werden kann, indem das Werkstück durch Ansaugen angezogen wird.
Wenn dünne plattenförmige Werkstücke, beispielsweise Flüssigkristall-Glassubstrate zur Verwendung in Flüssigkristall-Anzeigeeinrichtungen, Halbleiter-Wafer oder dergleichen transportiert werden sollen, wird bisher beispielsweise eine berührungsfreie Transportvorrichtung verwendet, mit welcher das Werkstück unter Nutzung eines Fluides schwebend gehalten werden kann.
Eine solche berührungsfreie Transportvorrichtung ist beispielsweise in der japanischen Patentoffenlegungsschrift JP 10-181879 A beschrieben und umfasst ein Transportpolster mit einer Mehrzahl von Durchgängen, die sich in vertikaler Richtung durch das Polster erstrecken. Ein den Durchgängen zugeführtes Druckfluid strömt durch Öffnungen, die an einem unteren Endabschnitt des Transportpolsters ausgebildet sind. Das Druckfluid fließt dann entlang der unteren Fläche des Transportpolsters. Die berührungslose Transportvorrichtung mit dem Transportpolster wird mittels eines Roboterarms oder dergleichen über das und nahe zu dem Werkstück bewegt. Hierdurch strömt das Druckfluid mit hoher Geschwindigkeit zwischen der unteren Fläche des Transportpolsters und dem Werkstück, wodurch aufgrund des Bernoulli-Effektes ein Unterdruck generiert wird. Dadurch wird das Werkstück zu dem Transportpolster gezogen und durch Ansaugen in einem kontaktfreien Zustand gehalten.
Außerdem offenbart die japanische Patentoffenlegungsschrift JP 2006-346783 A eine berührungsfreie Transportvorrichtung mit einer Zufuhrsäule, die einen Fluidzufuhranschluss und ein Ablasspolster oder -pad aufweist, das an einem unteren Abschnitt der Zufuhrsäule befestigt ist. Das Ablasspad weist einen Fluidablassdurchgang auf, der sich in der Umfangsrichtung öffnet. Der Fluidablassdurchgang besteht aus einer Lücke, die kontinuierlich entlang der Umfangsrichtung des Ablasspad ausgebildet ist. Das von dem Fluidzufuhranschluss zugeführte Druckfluid strömt von dem Fluidablassanschluss entlang der Umfangsrichtung des Ablasspads. Hierdurch wird ein Unterdruck generiert, so dass das Werkstück durch Ansaugen gehalten wird.
Im Allgemeinen transportieren solche berührungsfreien Transportvorrichtungen ein kreisförmiges scheibenförmiges Werkstück, wie einen Halbleiter-Wafer oder dergleichen. Um ein solches Werkstück zu halten, lassen die Vorrichtungen ein Druckfluid radial von dem Zentrum des Transportpolsters durch eine Öffnung desselben strömen.
Zusammenfassung der Erfindung
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine berührungsfreie Transportvorrichtung vorzuschlagen, mit welcher ein nicht kreisförmiges Werkstück zuverlässig und stabil gehalten und transportiert werden kann, indem ein Druckfluid in einer von der Form des Werkstücks abhängigen Menge zugeführt wird.
Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine berührungsfreie Transportvorrichtung zum Anziehen eines Werkstücks durch Saugen mittels der Zufuhr eines Druckfluids und zum Halten und Transportieren des Werkstücks in einem kontaktfreien Zustand folgende Elemente:
einen Grundkörper, der eine äußere Form hat, die der Form des Werkstücks entspricht, und
einen Fluidablassabschnitt, der an einer Endfläche des Grundkörpers vorgesehen ist, die dem Werkstück zugewandt ist, wobei der Fluidablassabschnitt eine Mehrzahl von Ablasslöchern zum Ablassen des Druckfluides entlang der Endfläche aufweist,
wobei der Grundkörper eine Mehrzahl äußerer Kantenabschnitte aufweist, wobei die Abstände zwischen den Ablasslöchern und den äußeren Kantenabschnitten unterschiedlich sind, und
wobei die Ablasslöcher den äußeren Kantenabschnitten zugewandt sind und Querschnittsflächen aufweisen, die proportional zu den Abständen zwischen den Ablasslöchern und den äußeren Kantenabschnitten ausgebildet sind.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist der Grundkörper eine Außengestalt auf mit einer Mehrzahl äußerer Kantenabschnitte und entsprechend der Form eines Werkstücks. Der Grundkörper umfasst an seiner einen Endfläche den Fluidablassabschnitt, der dem Werkstück zugewandt ist. Der Fluidablassanschluss umfasst eine Mehrzahl von Ablasslöchern zum Ablassen eines Druckfluides entlang der Endfläche des Grundkörpers. Die Querschnittsflächen der Ablasslöcher werden proportional zu dem Abstand zwischen den Ablasslöchern und den Außenkantenabschnitten festgelegt.
Somit wird das Druckfluid durch die Ablasslöcher abgelassen, die Querschnittsflächen aufweisen, die in Abhängigkeit von den Abständen zwischen den Ablasslöchern und den äußeren Kantenabschnitten festgelegt werden. Dadurch kann das Druckfluid entlang der Endfläche bis nahe zu den äußeren Kantenabschnitten mit im Wesentlichen der gleichen Strömungsrate zugeführt werden. Dementsprechend strömt das Druckfluid mit adäquaten Strömungsraten zu Positionen, die entsprechenden Abschnitten eines nicht kreisförmigen Werkstücks zugeordnet sind. Dann wird ein Unterdruck an diesen Positionen generiert. Dadurch kann das Werkstück zuverlässig und stabil mittels des Unterdrucks gehalten und transportiert werden.
Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung einer berührungsfreien Transportvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der berührungsfreien Transportvorrichtung gesehen in einer Richtung, die sich von der Richtung in 1 unterscheidet;
3 ist ein Schnitt durch die berührungsfreie Transportvorrichtung gemäß 1;
4 ist eine Draufsicht auf die berührungsfreie Transportvorrichtung gemäß 1 gesehen von deren unterer Fläche;
5 ist eine Draufsicht auf eine Platte;
6 ist ein vergrößerter Schnitt durch 3;
7A ist ein Schnitt entlang der Linie VIIA-VIIA in 4;
7B ist ein Schnitt entlang der Linie VIIB-VIIB in 4;
8A ist ein Diagramm, das die Änderung der Vibration eines nicht kreisförmigen Werkstücks in der Nähe einer Ecke desselben zeigt, wenn das Werkstück mit Hilfe der berührungsfreien Transportvorrichtung gemäß 1 gehalten wird;
8B ist ein Diagramm, das die Änderung der Vibration des nicht kreisförmigen Werkstücks in der Nähe einer Ecke desselben zeigt, wenn das Werkstück mit Hilfe einer herkömmlichen berührungsfreien Transportvorrichtung gehalten wird;
9 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung einer berührungsfreien Transportvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
10 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der berührungsfreien Transportvorrichtung gesehen aus einer Richtung, die sich von der Richtung in 9 unterscheidet;
11 ist eine Draufsicht auf eine Platte, die in 9 gezeigt ist;
12 ist eine Seitenansicht der Platte gesehen in einer Richtung, die in 11 durch den Pfeil X angedeutet wird; und
13 ist eine Seitenansicht der Platte gesehen in einer Richtung, die in 11 durch den Pfeil Y angedeutet wird.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Bevorzugte Ausführungsformen einer berührungsfreien Transportvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. In 1 bezeichnet das Bezugszeichen 10 eine berührungsfreie Transportvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Wie in den 1 bis 6 gezeigt ist, umfasst die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 ein Gehäuse (Grundkörper) 12, eine als kreisförmige Scheibe geformte Platte (Fluidablassabschnitt) 14, die in einem zentralen Abschnitt des Gehäuses 12 angeordnet ist, und einen Dichtring 16, der zwischen dem Gehäuse 12 und der Platte 14 angeordnet ist.
Das Gehäuse 12 ist beispielsweise zu einem metallischen Block geformt und hat eine achteckige Form, die durch Abschneiden der vier Ecken eines Quadrates mit einem bestimmten Winkel erhalten wird. Im Einzelnen ist die Gestalt des Gehäuses 12 so ausgeformt, dass sie der Form eines Werkstücks S, das durch die berührungsfreie Transportvorrichtung transportiert werden soll, entspricht. Um beispielsweise in einem Fall, in dem das Werkstück S eine Solarzelle ist, zu erreichen, dass die Form des Gehäuses 12 mit der Form des Werkstücks S übereinstimmt, wird die Form des Gehäuses 12 so ausgeformt, dass vier Hauptseiten (erste Seiten) 18 senkrecht zueinander angeordnet sind und vier schräge Seiten (zweite Seiten) 20 jeweils benachbarte Hauptseiten miteinander verbinden und um 45° relativ zu den Hauptseiten 18 geneigt sind. Die Hauptseiten 18 und die schrägen Seiten 20 bilden gemeinsam äußere Kantenabschnitte der Außenform des Gehäuses 12.
Wie in den 3 und 4 gezeigt ist, ist die Größe des Gehäuses 12 im Wesentlichen gleich oder etwas kleiner als die Größe des Werkstücks S, das durch die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 transportiert werden soll.
An der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 ist eine Mehrzahl von (beispielsweise vier) Bolzenlöchern 24 ausgebildet, durch welche Befestigungsbolzen 62 eingesetzt werden, um die Platte 14 zu fixieren. In der Nähe der Bolzenlöcher 24 ist eine Mehrzahl von (beispielsweise vier) Befestigungslöchern 26 ausgebildet (vgl. 1).
Die Bolzenlöcher 24 sind auf einem Kreis mit gleichen Winkelabständen angeordnet, wobei der Kreis einen bestimmten Radius um die Mitte des Gehäuses 12 aufweist. Die Bolzenlöcher 24 erstrecken sich in Dickenrichtung durch das Gehäuse 12. Jedes der Bolzenlöcher 24 hat an der Seite der oberen Fläche 12a (in der Richtung, die durch den Pfeil A angedeutet wird) einen Abschnitt mit großem Durchmesser zur Aufnahme eines Kopfes 22a des Befestigungsbolzens 22 und an der unteren Fläche (Endfläche) 12b (in der Richtung des Pfeils B) einen Abschnitt mit kleinem Durchmesser, durch welchen ein Gewinde 22b des Befestigungsbolzens 22 eingesetzt ist.
Die Befestigungslöcher 26 sind radial außerhalb der Bolzenlöcher 24 angeordnet. Durch Einschrauben nicht dargestellter Bolzen in die Befestigungslöcher 26 wird das Gehäuse 12 mit einem Ende eines Roboterarms oder dergleichen verbunden.
An der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 ist neben einem der Bolzenlöcher 24 ein Zufuhranschluss 32 ausgebildet. Der Zufuhranschluss 32 öffnet sich zu der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 und ist an eine Leitung (nicht dargestellt) angeschlossen, der von einer nicht dargestellten Druckfluidzufuhrquelle ein Druckfluid zugeführt wird.
Andererseits ist an der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 im Wesentlichen zentral eine kreisförmige Vertiefung (Aussparung) 34 ausgebildet, die als eine Werkstückhaltefläche zum Halten des Werkstücks S in einem kontaktfreien Zustand dient.
Die Vertiefung 34 ist so geformt, dass eine Platte 14, die später beschrieben wird, in die Vertiefung 34 eingesetzt werden kann. Die Vertiefung 34 umfasst ein erstes Loch 36, ein zweites Loch 38 und ein drittes Loch 40. Das erste Loch 36 liegt der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 (in der Richtung des Pfeils A) am nächsten. Das zweite Loch 38 grenzt an das erste Loch 36 an und hat einen Durchmesser, der im Vergleich zu dem Durchmesser des ersten Loches 36 radial nach außen zunimmt. Das dritte Loch 40 liegt der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 am nächsten (in der Richtung des Pfeils B) und hat einen Durchmesser, der im Vergleich zu dem Durchmesser des zweiten Loches 38 nach außen weiter radial zunimmt.
Im Einzelnen sind, wie in den 2 und 3 gezeigt ist, in der Vertiefung 34 das erste Loch 36, das zweite Loch 38 und das dritte Loch 40 in dieser Reihenfolge von der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 (in der Richtung des Pfeils A) zu der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 (in der Richtung des Pfeils B) angeordnet. Der Durchmesser der Vertiefung 34 ist schrittweise zu der unteren Fläche 12b hin (in der Richtung des Pfeils B) vergrößert. Anders ausgedrückt liegt das erste Loch 36 an der tiefsten Position der Vertiefung 34.
Das erste Loch 36 hat eine im Wesentlichen flache Bodenfläche 36a und eine innere Umfangsfläche, die senkrecht zu der Bodenfläche 36a steht. Die Bolzenlöcher 24 erstrecken sich durch das Gehäuse 12 von der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 (der Richtung des Pfeils A) zu der Bodenfläche 36a des ersten Loches 36.
Ähnlich wie bei dem ersten Loch 36 hat das zweite Loch 38 eine im Wesentlichen flache Bodenfläche 38a und eine innere Umfangsfläche 38b, die senkrecht zu der Bodenfläche 38a steht. Die innere Umfangsfläche 38b des zweiten Lochs 38 grenzt an den Zufuhranschluss 32 an und steht mit diesem in Verbindung.
Ähnlich dem ersten Loch 36 und dem zweiten Loch 38 hat auch das dritte Loch 40 eine im Wesentlichen flache Bodenfläche 40a. Außerdem hat das dritte Loch 40 eine innere Umfangsfläche 40b, die sich so verjüngt, dass der Durchmesser des dritten Lochs 40 von dem Verbindungsbereich zwischen der Bodenfläche 40a und der inneren Umfangsfläche 40b radial nach außen zunehmend größer wird. Der Neigungswinkel der inneren Umfangsfläche 40b relativ zu der Bodenfläche 40a beträgt beispielsweise 30°.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform öffnet sich der Zufuhranschluss 32 an der oberen Fläche 12a des Gehäuses 12 (der Richtung des Pfeils A). Die vorliegende Erfindung ist hierauf jedoch nicht beschränkt. So kann sich der Zufuhranschluss 32 auch zu einer Seitenfläche des Gehäuses 12 öffnen und mit dem zweiten Loch 38 in Verbindung stehen.
Die Platte 14 besteht beispielsweise aus einem metallischen Material, so wie das Gehäuse 12. Die Platte 14 umfasst eine kreisförmige Basis 42 und einen Vorsprung 44, der einen kleineren Durchmesser hat als die Basis 42 und der um eine bestimmte Höhe von der Basis 42 vorsteht. Der äußere Durchmesser des Vorsprungs 44 ist im Wesentlichen genauso groß wie der Innendurchmesser des ersten Loches 36.
Wie in den 1, 4 und 5 gezeigt ist, ist an einer Endfläche der Basis 42 an der Seite des Vorsprungs 44 eine Mehrzahl von Düsen (Ablasslöchern) 46 in radialer Richtung angeordnet, um ein Druckfluid nach außen auszustrahlen. Bei der vorliegenden Ausführungsform sind beispielsweise acht Düsen 46 vorgesehen und mit gleichen Winkelabständen entlang der Umfangsrichtung der Basis 42 angeordnet. Jede der Düsen 46 weist eine Nut mit einer bestimmten Tiefe relativ zu der Endfläche der Basis 42 auf, die sich in der radialen Richtung der Basis 42 erstreckt.
Die Düsen 46 umfassen erste Düsennuten (erste Durchgänge) 48 und zweite Düsennuten (zweite Durchgänge) 50, welche zwischen den ersten Düsennuten 48 positioniert sind. Wie in 7A gezeigt ist, hat jede der ersten Düsennuten 48 eine im Querschnitt rechteckige Form mit einer bestimmten Breite W1 und einer bestimmten Tiefe H1. Die erste Düsennut 48 erstreckt sich von der äußeren Umfangsfläche der Basis 42 um eine bestimmte Länge radial nach innen. Ein Ende der ersten Düsennut 48 hat eine halbkreisförmige Gestalt. Das Ende der ersten Düsennut 48 weist einen bestimmten Abstand von der äußeren Umfangsfläche des Vorsprungs 44 der Platte 14 auf. Anders ausgedrückt erstrecken sich die ersten Düsennuten 48 jeweils in radialer Richtung von der äußeren Umfangsfläche der Basis 42 in die Nähe der äußeren Umfangsfläche des Vorsprungs 44.
Wie in 5 gezeigt ist, sind die ersten Düsennuten 48 mit gleichen Winkelabständen von jeweils 90° um die Mitte der Platte 14 angeordnet.
Ebenso wie die ersten Düsennuten 48 haben auch die zweiten Düsennuten 50 jeweils einen rechteckigen Querschnitt. Die zweiten Düsennuten 50 erstrecken sich von der äußeren Umfangsfläche der Basis 42 um eine festgelegte Länge radial nach innen. Ein Ende der zweiten Düsennut 50 hat eine halbkreisförmige Gestalt. Das Ende der zweiten Düsennut 50 weist einen bestimmten Abstand von der äußeren Umfangsfläche des Vorsprungs 44 der Platte 14 auf. Das Ende der ersten Düsennuten 48 und das Ende der zweiten Düsennuten 50 weisen jeweils den gleichen Abstand von der äußeren Umfangsfläche des Vorsprungs 44 auf.
Die zweiten Düsennuten 50 sind jeweils zwischen einer der ersten Düsennuten 48 und einer anderen, der einen ersten Düsennut 48 benachbarten weiteren ersten Düsennut 48 angeordnet. Die zweiten Düsennuten 50 sind mit gleichen Winkelabständen von 90° um die Mitte der Platte 14 angeordnet.
Im Einzelnen sind die ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 in gleichen Winkelabständen von 45° abwechselnd um die Mitte der Platte 14 angeordnet, wobei die ersten Düsennuten 48 jeweils gleiche Winkelabstände von 90° und auch die zweiten Düsennuten 50 jeweils gleiche Winkelabstände von 90° aufweisen.
Wenn die Platte 14 in die Vertiefung 34 des Gehäuses 12 eingesetzt ist, sind die ersten Düsennuten 48 den Hauptseiten 18 im Wesentlichen senkrecht zugewandt, während die zweiten Düsennuten 50 den schrägen Nuten 20 im Wesentlichen senkrecht zugewandt sind.
Wie in 7B gezeigt ist, ist die Breite W2 der zweiten Düsennuten 50 jeweils größer als die Breite W1 der ersten Düsennuten 48 (W1 < W2). Die Tiefe (Höhe) H2 jeder der zweiten Düsennuten 50 ist gleich der Tiefe (Höhe) H1 der ersten Düsennuten 48 (H1 = H2). Da die zweiten Düsennuten 50 breiter sind als die ersten Düsennuten 48 ist die Querschnittsfläche D2 (W2 × H1) jeder der zweiten Düsennuten 50 größer als die Querschnittsfläche D1 (W1 × H1) jeder der ersten Düsennuten 48 (D2 > D1).
Die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 wird relativ zu der Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 in Abhängigkeit von einem Verhältnis (L2:L1) eines zweiten Abstandes L2 zu einem ersten Abstand L1 festgelegt, wobei der erste Abstand L1 ein Abstand zwischen dem Öffnungsende der ersten Düsennut 48 und der Hauptseite 18 und der zweiten Abstand L2 der Abstand zwischen dem Öffnungsende der zweiten Düsennut 50 und der schrägen Seite 20 ist. Beispielsweise in einem Fall, in dem das Verhältnis des zweiten Abstandes L2 zu dem ersten Abstand L1 = 1,5 ist, wird die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 auf 1,5× die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 eingestellt, da der zweite Abstand L2 1,5× größer ist als der erste Abstand L1.
Da der zweite Abstand L2 zwischen der Düse 46 und der schrägen Seite 20 länger ist als der erste Abstand L1 zwischen der Düse 46 und der Hauptseite 18 (L1 < L2), wird sich die Strömungsrate des Druckfluides in der Nähe der Hauptseiten 18 von der Strömungsrate in der Nähe der schrägen Seiten 20 unterscheiden, wenn ein Druckfluid durch die Öffnungsenden der Düsen 46, die auf dem gleichen Kreis angeordnet sind, mit gleichen Strömungsraten abgeführt wird. Anders ausgedrückt wird die Strömungsrate in der Nähe der schrägen Seiten 20 kleiner als die Strömungsrate in der Nähe der Hauptseiten 18 in Abhängigkeit von den ersten und zweiten Abständen L1, L2.
Um einen solchen Unterschied zu vermeiden, wird die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 in Abhängigkeit von dem Verhältnis des zweiten Abstandes L2 zu dem ersten Abstand L1 so gewählt, das sie größer ist als die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48. Hierdurch nimmt die Strömungsrate des Druckfluides an der zweiten Düsennut 50 zu. Als Folge hiervon kann die Strömungsrate des Druckfluides nahe der schrägen Seiten 20 der Strömungsrate in der Nähe der Hauptseiten 28 angenähert werden.
In einem Fall, in dem der zweite Abstand L2 kleiner ist als der erste Abstand L1 (L1 > L2), wird dagegen die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 so gewählt, dass sie kleiner ist als die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 (D1 > D2).
An einer Endfläche des Vorsprungs 44 ist an einer Position, die radial einwärts der äußeren Umfangsfläche des Vorsprungs 44 positioniert ist, eine Ringnut ausgebildet. Der Dichtring 16 wird in der Nut angebracht. Der Dichtring 16 besteht beispielsweise aus einem elastischen Material und steht etwas von der Endfläche des Vorsprungs 44 vor.
An der Endfläche des Vorsprungs 44 ist außerdem eine Mehrzahl von Gewindelöchern 42 auf einem Kreis und an Positionen ausgebildet, die radial einwärts der Ringnut positioniert sind. Die Platte 14 wird erst in die Vertiefung 34 des Gehäuses 12 eingesetzt. Anschließend werden die Befestigungsbolzen 22 durch die Bolzenlöcher 24 eingesetzt und die Gewinde 22 der Befestigungsbolzen 23 werden in die Gewindelöcher 52 eingeschraubt. Dadurch wird die Platte 14 an dem Gehäuse 12 fixiert.
Wie in 4 gezeigt ist, ist die Platte 14 so in die Vertiefung 34 des Gehäuses 12 eingesetzt, dass die Basis 42 an der Seite der unteren Fläche 12b (der Richtung des Pfeils B) des Gehäuses 12 positioniert ist, während der Vorsprung 44 an der Seite der oberen Fläche 12a (der Richtung des Pfeils A) des Gehäuses 12 positioniert ist. Die Basis 42 ist in das dritte Loch 40 eingesetzt, und der Vorsprung 44 ist in die ersten und zweiten Löcher 36, 38 so eingesetzt, dass der Dichtring 16 an der Bodenwandfläche 36a des ersten Loches 36 anliegt. Hierdurch wird verhindert, dass Druckfluid, welches von dem Zufuhranschluss 32 dem zweiten Loch 38 zugeführt wird, zu dem zentralen Abschnitt der Bodenwandfläche 36a in dem ersten Loch 36 strömt.
Außerdem ist ein ringförmiger Raum 54 mit einem bestimmten Freiraum zwischen dem Vorsprung 44 und der inneren Umfangsfläche 38b des zweiten Loches 38 ausgebildet. Der Raum 54 steht mit dem Zufuhranschluss 32 und den Düsen 46 in Verbindung.
Außerdem liegt die Endfläche der Basis 42 an der Seite des Vorsprungs 44 an der Bodenwandfläche 40a des dritten Loches 40 an. Durchgänge für ein Druckfluid sind zwischen den ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 der Nuten 46 und der Bodenfläche 40a ausgebildet, wobei die Durchgänge an der Seite der inneren Umfangsfläche 40b mit dem dritten Loch 40 in Verbindung stehen. Die Platte 14 ist so in die Vertiefung 34 des Gehäuses 12 eingesetzt, dass die Basis 42 nicht aus der Vertiefung 34 vorsteht. Die Endfläche der Platte 14 liegt im Wesentlichen bündig mit der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 oder ist etwas von der unteren Fläche 12b in die Vertiefung 34 zurückgesetzt.
Da die Basis 42 und das Gehäuse 12 an anderen Positionen als den Düsen 46 aneinander anliegen, fließt das Druckfluid lediglich durch die Nuten 46 und nicht drumherum. Somit strömt das Druckfluid lediglich durch die Düsen 46 radial nach außen und strömt weiter durch den Raum 54 entlang der inneren Umfangsfläche 40b des dritten Loches 40.
Die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden ihre Betriebsweise und Wirkungen erläutert. In der nachfolgenden Beschreibung wird ein Fall erläutert, bei dem ein achteckiges Werkstück S (beispielsweise eine Solarzelle), die durch Abschneiden der vier Ecken eines quadratischen Blocks in einem bestimmten Winkel erhalten wird, transportiert wird.
Zunächst wird ein Druckfluid durch eine an eine nicht dargestellte Druckfluidzufuhrquelle angeschlossene Leitung dem Zufuhranschluss 32 zugeführt. Das Druckfluid strömt von dem Zufuhranschluss 32 zu dem Raum 54 zwischen dem Vorsprung 44 der Platte 14 und dem zweiten Loch 38 des Gehäuses 12 und anschließend radial nach außen durch die ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 der Düsen 46. Im Einzelnen strömt das Druckfluid von dem ringförmigen Raum 54 durch die acht ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 und wird dann in acht Richtungen radial nach außen abgeführt.
Da sich in diesem Fall die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 von der Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 unterscheidet, ist die Strömungsrate des durch die zweite Düsennut 50 mit einer größeren Querschnittsfläche fließenden Druckfluides größer als die Strömungsrate durch die erste Düsennut 48 mit einer kleineren Querschnittsfläche.
Als nächstes strömt das von den Düsen 46 abgeführte Druckfluid radial nach außen entlang der inneren Umfangsfläche 40b des dritten Loches 40 und wird zu der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 geführt. Anschließend strömt das Druckfluid zu der unteren Fläche 12b und fließt dann mit hoher Geschwindigkeit entlang der unteren Fläche 12b. Dadurch wird an der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 durch den Bernoulli-Effekt ein Unterdruck generiert.
Die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 mit dem Gehäuse 12 wird beispielsweise durch einen Roboterarm etc. verschoben. Hierbei wird das Gehäuse 12 parallel näher zu dem achteckigen Werkstück S bewegt, so dass die Hauptseiten 18 und die schrägen Seiten 20 des Gehäuses 12 der Form des Werkstücks S zugeordnet sind. Dann wird das Werkstück S durch die mittels des Unterdrucks generierte Ansaugung zu der unteren Fläche 12b gezogen. Da in diesem Fall zwischen dem Werkstück S und dem Gehäuse 12 eine Luftschicht vorliegt, in welcher das Druckfluid strömt, berührt das Werkstück S das Gehäuse 12 nicht. Dadurch wird das Werkstück S in einem kontaktfreien Zustand (berührungslos) gehalten.
Das Druckfluid wird durch die ersten und zweiten Düsennuten 48, 50, die unterschiedliche Querschnittsflächen aufweisen, mit unterschiedlichen Strömungsraten nach außen abgeführt und strömt entlang der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12.
In diesem Fall wird die Strömungsrate des Druckfluides, das von den zweiten Düsennuten 50 zu den vier schrägen Seiten 20 strömt, so eingestellt, dass sie größer ist als die Strömungsrate des Druckfluides, das von den ersten Düsennuten 48 zu den vier Hauptseiten 18 strömt. Somit kann in dem Gehäuse 12 auch in der Nähe der schrägen Seiten 20, die einen größeren Abstand von den Düsen 46 aufweisen, das Druckfluid mit gleichen Strömungsraten fließen wie in der Nähe der Hauptseiten 18. Hierdurch kann ein ausreichender Unterdruck generiert werden, um das Werkstück S sowohl in der Nähe der Hauptseiten 18 als auch in der Nähe der schrägen Seiten 20 zu halten. Dadurch wird das Werkstück S zuverlässig und stabil gehalten.
Anders ausgedrückt wird das gesamte Werkstück S stabil im Wesentlichen parallel zu dem Gehäuse 12 gehalten.
Als nächstes wird mit Bezug auf die 8A und 8B eine Änderung der Vibration des Werkstücks S in der Nähe der Ecken Sa erläutert. 8A ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Änderung der Vibration und der Zeit in einem Fall darstellt, in dem ein achteckiges Werkstück S mit Hilfe der berührungsfreien Transportvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Erfindung gehalten wird. 8B ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Änderung der Vibration und der Zeit in einem Fall darstellt, in welchem das achteckige Werkstück S mittels einer herkömmlichen berührungsfreien Transportvorrichtung gehalten wird.
Wie aus 8A ersichtlich ist, wird das Werkstück in einem Zustand, in welchem das Werkstück S durch die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Erfindung gehalten wird, nach oben (+) und nach unten (–) relativ zu einem Referenzwert C der Verschiebung 0, die anzeigt, dass das Werkstück S nicht verschoben wird, verschoben. Die Verschiebung weicht nach oben und unten ab, so dass das Werkstück vibriert. Die Amplituden der Vibration sind aber kleiner als bei der herkömmlichen berührungsfreien Transportvorrichtung, die in 8B gezeigt ist.
Wie sich aus den 8A und 8B ergibt, kann somit eine Vibration des Werkstücks S in der Nähe der Ecken Sa, die am empfindlichsten gegenüber Vibrationen sind, im Vergleich zu einem Fall, bei dem ein nicht kreisförmiges Werkstück S durch die herkömmliche berührungsfreie Transportvorrichtung gehalten wird, wirksam verhindert werden. Dementsprechend kann die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform das Werkstück S zuverlässig und stabil halten. Eine Beschädigung oder dergleichen des Werkstücks S durch die Vibration kann zuverlässig vermieden werden.
Wenn die berührungsfreie Transportvorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform ein nicht kreisförmiges Werkstück, beispielsweise ein achteckiges Werkstück S oder dergleichen, hält und transportiert, hat das Werkstück 12 in der oben beschriebenen Weise einen achteckigen Querschnitt, so dass die Form des Gehäuses 12 der Form des Werkstücks S entspricht. Außerdem ist eine Mehrzahl von Düsen 46 vorgesehen, um ein Druckfluid zu der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 zu führen. Die Düsen 46 sind jeweils so angeordnet, dass sie senkrecht zu den Hauptseiten 18 und den schrägen Seiten 20, welche die äußeren Kantenabschnitte des Gehäuses 12 bilden, angeordnet sind. Außerdem wird die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennuten 50, welche den schrägen Seiten 20 zugewandt sind, relativ zu der Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennuten 48, welche den Hauptseiten 18 zugewandt sind, in Abhängigkeit von einem Verhältnis des zweiten Abstandes L2 zwischen den schrägen Seiten 20 und dem Öffnungsende der zweiten Düsennut 50 zu dem ersten Abstand L1 zwischen der Hauptseite 18 und dem Öffnungsende der ersten Düsennut 48 festgelegt.
Dementsprechend wird die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50, die einen größeren Abstand von der schrägen Seite 20 aufweist, größer gewählt als die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48, Somit kann das Druckfluid auch in der Nähe der schrägen Seiten 20, die einen größeren Abstand von den Düsen 46 aufweisen, mit adäquaten Strömungsraten strömen.
Wenn das Druckfluid von den Düsen 46 entlang der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 abgeführt wird, variieren hierdurch die Strömungsraten in der Nähe der Hauptseiten 18 und der Nähe der schrägen Seiten 20 nicht. Sie können somit einander im Wesentlichen angeglichen werden. Hierdurch kann die Ansaugkraft, die an der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 erzeugt wird, über die gesamte untere Fläche 12b im Wesentlichen gleichmäßig aufgebracht werden. Dementsprechend kann das achteckige Werkstück S durch Ansaugen zu dem Gehäuse 12 angezogen und zuverlässig und stabil transportiert werden.
Die Form des Gehäuses 12 wird in Abhängigkeit von der Form eines Werkstücks S festgelegt und ist so gestaltet, dass ihre äußere Form eine Mehrzahl von größeren Kantenabschnitten aufweist. Die Zahl der ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 wird in Abhängigkeit von der Zahl der äußeren Kantenabschnitte festgelegt. Die Querschnittsflächen D1, D2 werden in Abhängigkeit von Abständen zwischen den äußeren Kantenabschnitten und den ersten Düsennuten 48 und zwischen den äußeren Kantenabschnitten und den zweiten Düsennuten 50 festgelegt. Dadurch können Werkstücke S mit unterschiedlichen Formen zuverlässig und stabil transportiert werden.
Bei der obigen Ausführungsform umfasst die Form des Gehäuses 12 zwei Arten äußerer Kantenabschnitte (Hauptseiten 18, schräge Seiten 20) mit unterschiedlichen Abständen zu den Düsen 46. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Beispielsweise kann die Form des Gehäuses 12 auch drei Arten äußerer Kantenabschnitte mit unterschiedlichen Abständen zu den Düsen 46 aufweisen. In diesem Fall kann die berührungsfreie Transportvorrichtung Düsennuten mit drei Arten von Querschnittsflächen in Abhängigkeit von dem Abstand zwischen den Düsen und den äußeren Kantenabschnitten aufweisen. Hierdurch kann ein Werkstück mit einer äußeren Form, die der Form mit den drei Arten äußerer Kantenabschnitte entspricht, stabil transportiert werden.
Bei der berührungsfreien Transportvorrichtung 10 gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform bestehen das Gehäuse 12 und die Platte 14 aus metallischem Material. Die vorliegende Erfindung ist jedoch hierauf nicht eingeschränkt. Beispielsweise können das Gehäuse 12 und die Platte 14 auch aus einem Harz- oder Kunststoffmaterial bestehen.
Bei der oben beschriebenen berührungsfreien Transportvorrichtung 10 sind die Düsen 46 an der Basis 42 der Platte 14 vorgesehen. Die Düsen 46 können jedoch auch an der Bodenfläche 40a des dritten Loches 40 gegenüber der Basis 42 vorgesehen sein anstatt an der Seite der Platte 14.
Außerdem haben bei der oben beschriebenen Ausführungsform die ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 einen rechteckigen Querschnitt mit Breiten W1, W2 und Tiefen H1, H2, die kleiner sind als die Breiten W1, W2. Die vorliegende Erfindung ist jedoch auch in dieser Hinsicht nicht eingeschränkt. Wenn sich die Größenbeziehung zwischen der Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 und der Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 nicht ändert, können die Tiefen H1, H2 auch so gewählt werden, dass sie größer sind als die Breiten W1, W2. Alternativ können die ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 auch einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.
Anders ausgedrückt sind die Querschnittsformen der ersten und zweiten Düsennuten 48, 50 nicht eingeschränkt, solange die Querschnittsfläche D1 der ersten Düsennut 48 und die Querschnittsfläche D2 der zweiten Düsennut 50 in Abhängigkeit von dem Verhältnis zwischen dem ersten Abstand L1 und dem zweiten Abstand L2 festgelegt werden.
Als nächstes wird eine berührungsfreie Transportvorrichtung 100 gemäß einer zweiten Ausführungsform mit Bezug auf die 9 bis 13 erläutert. Diejenigen Aufbauelemente der berührungsfreien Transportvorrichtung 100, die die gleichen sind wie bei der berührungsfreien Transportvorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform, werden mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Insoweit wird auf die obige Beschreibung dieser Elemente verwiesen.
Die berührungsfreie Transportvorrichtung 100 gemäß der zweiten Ausführungsform unterscheidet sich von der berührungsfreien Transportvorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform dahingehend, dass anstelle der Düsen 46 ein Fluidauslassabschnitt 102 mit einer gezackten Gestalt an der Platte 104 vorgesehen ist. Vorsprünge und Vertiefungen sind kontinuierlich entlang einer Umfangsrichtung des Abschnitts 102 ausgebildet.
Wie in den 9 und 10 gezeigt ist, ist der Fluidauslassabschnitt 102 an einer Endfläche der Basis 42 der Platte 104 an der Seite des Vorsprungs (in der Richtung des Pfeils A) angeordnet. Der Fluidauslassabschnitt 102 besteht aus einer Mehrzahl von (beispielsweise acht) oberen Abschnitten 106 und Talabschnitten (Auslasslöcher) 108. Die oberen Abschnitte 102 stehen in einer Richtung weg von der Endfläche vor. Die Talabschnitte 108 sind zwischen den oberen Abschnitten 106 ausgebildet und in die Basis 42 zurückgesetzt.
Wie in den 11 bis 13 gezeigt ist, sind die oberen Abschnitte 106 entlang der Umfangsrichtung der Basis 42 mit gleichen Winkelabständen angeordnet. Jeder der oberen Abschnitte 106 hat einen im Wesentlichen dreieckigen Querschnitt, der sich in einer Richtung weg von der Basis 42 (in der Richtung des Pfeils A) verjüngt. Wenn die Platte 104 in das Gehäuse 12 eingesetzt wird, sind die oberen Abschnitte 106 der Bodenfläche 40a des dritten Loches 40 zugewandt und weisen einen bestimmten Abstand von der Bodenfläche 40a auf. Somit gibt es einen bestimmten Freiraum zwischen den oberen Abschnitten 106 des Fluidauslassabschnitts 102 und der Bodenfläche 40a des dritten Loches 40 (vgl. 12 und 13).
Die Talabschnitte 108 haben jeweils einen dreieckigen Querschnitt, der durch zwei schräge Flächen definiert wird. Die beiden schrägen Flächen erstrecken sich jeweils von den angrenzenden oberen Abschnitten 106 in einer Richtung, in welcher sich die beiden schrägen Flächen einander annähern, und sind in eine Richtung geneigt, in der sie sich mit einem festen Winkel der Basis 42 annähern (in der Richtung des Pfeils B). Die Zahl der Talabschnitte 108 entspricht der Zahl der oberen Abschnitte 106 (beispielsweise acht). Die Talabschnitte 108 sind jeweils an dem Schnittpunkt der beiden schrägen Flächen am tiefsten.
Es gibt zwei Arten von Talabschnitten 108, nämlich erste Vertiefungen 112 und zweite Vertiefungen 114, bei denen sich die Abstände von den oberen Abschnitten 106 an ihren jeweiligen tiefsten Punkten voneinander unterscheiden. Im Einzelnen weisen die ersten Vertiefungen 112 jeweils einen tiefsten Punkt 110a auf, während die zweiten Vertiefungen 114 jeweils einen tiefsten Punkt 110b aufweisen. Die Tiefe von dem oberen Abschnitt 106 an dem tiefsten Punkt 110b ist größer als die Tiefe an dem tiefsten Punkt 110a. Anders ausgedrückt sind in den Talabschnitten 108 die tiefsten Punkte 110b der zweiten Vertiefungen 114 näher an dem Ende der Basis 42 (in der Richtung des Pfeils B) als die tiefsten Punkte 110a der ersten Vertiefungen 112.
Die offene Querschnittsfläche D4 der zweiten Vertiefung 114 relativ zu der offenen Querschnittsfläche D3 der ersten Vertiefung 112 wird in Abhängigkeit von einem Verhältnis des Abstandes zwischen dem Öffnungsende der zweiten Vertiefung 114 und der schrägen Seite 20 zu einem Abstand zwischen dem Öffnungsende der ersten Vertiefung 112 und der Hauptseite 18 festgelegt.
Wenn die Platte 104 in die Vertiefung 34 des Gehäuses 12 eingesetzt ist, sind die ersten Vertiefungen 112 den Hauptseiten 18 im Wesentlichen senkrecht zugewandt, während die zweiten Vertiefungen 114 den schrägen Seiten 20 im Wesentlichen senkrecht zugewandt sind.
Bei der obigen Erläuterung weisen die oberen Abschnitten 106 der Platte 104 einen Abstand von der Bodenfläche 140a des dritten Loches 40 des Gehäuses 12 auf. Die Erfindung ist jedoch hierauf nicht eingeschränkt. Beispielsweise können die oberen Abschnitte 106 auch an der Bodenfläche 40a anliegen.
Bei der berührungsfreien Transportvorrichtung 100, die wie oben beschrieben aufgebaut ist, wird ein Druckfluid von dem Zufuhranschluss 32 dem Gehäuse 12 zugeführt. Dann wird das Druckfluid durch die ersten und zweiten Vertiefungen 112, 114 des Fluidauslassabschnitts 102 radial nach außen abgeführt. Da die offenen Querschnittsflächen D3, D4 der ersten und zweiten Vertiefungen 112, 114 sich in diesem Fall voneinander unterscheiden, ist die Strömungsrate des Druckfluides, das durch die zweiten Vertiefungen 114 mit einer größeren offenen Querschnittsfläche, abgeführt wird, größer als die Strömungsrate des Druckfluides, das durch die ersten Vertiefungen 112 mit einer kleineren offenen Querschnittsfläche abgeführt wird.
Dann wird das durch die ersten und zweiten Vertiefungen 112, 114 abgeführte Druckfluid zu der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 geführt und strömt mit hoher Geschwindigkeit entlang der unteren Fläche 12b. Dementsprechend wird an der unteren Fläche 12b des Gehäuses 12 durch den Bernoulli-Effekt ein Unterdruck generiert. Dann wird das Werkstück S durch Ansaugen zu der unteren Fläche 12b gezogen. Hierdurch wird das Werkstück S berührungslos an dem Gehäuse 12 gehalten.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 10-181879 A [0003]
JP 2006-346783 A [0004]

Claims

Berührungsfreie Transportvorrichtung zum Anziehen eines Werkstücks durch Ansaugen durch die Zufuhr eines Druckfluides und zum Halten und Transportieren des Werkstücks in einem berührungsfreien Zustand, wobei die berührungsfreie Transportvorrichtung folgende Elemente aufweist: einen Grundkörper (12), dessen äußere Form an die Form des Werkstücks angepasst ist, und einen Fluidauslassabschnitt (14), der an einer dem Werkstück zugewandten Endfläche des Grundkörpers (12) vorgesehen ist, wobei der Fluidauslassabschnitt (14) eine Mehrzahl von Auslasslöchern (46) zum Abführen des Druckfluides entlang der Endfläche aufweist, wobei der Grundkörper (12) eine Mehrzahl von äußeren Kantenabschnitten (18, 20) aufweist, wobei sich der Abstand zwischen den Auslasslöchern (46) und den äußeren Kantenabschnitten (18, 20) unterscheidet, und wobei die Auslasslöcher (46) den äußeren Kantenabschnitten (18, 20) zugewandt sind und Querschnittsflächen aufweisen, die proportional zu den Abständen zwischen den Auslasslöschern (46) und den äußeren Kantenabschnitten (18, 20) ausgebildet sind.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zahl der Auslasslöcher (46) gleich der Zahl der äußeren Kantenabschnitte (18, 20) ist, und dass die Auslasslöcher (46) senkrecht zu den Seitenwänden der äußeren Kantenabschnitte (18, 20) angeordnet sind.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslasslöcher (46) jeweils eine abgeflachte Form haben, die in einer Breitenrichtung parallel zu der Endfläche des Grundkörpers (12) größer und in einer Dickenrichtung des Grundkörpers (12) senkrecht zu der Breitenrichtung kleiner ist.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die äußeren Kantenabschnitte (18, 20) des Grundkörpers (12) vier erste Seiten und vier zweite Seiten, welche jeweils zwischen den ersten Seiten angeordnet und um einen bestimmten Winkel relativ zu den ersten Seiten geneigt sind, aufweisen und dass der Grundkörper (12) eine achteckige Form aufweist, die durch die ersten Seiten und die zweiten Seiten festgelegt wird, und dass die Auslasslöcher (46) vier erste Durchgänge, die den ersten Seiten zugewandt sind, und vier zweite Durchgänge, die jeweils zwischen den ersten Durchgängen vorgesehen sind und den zweiten Seiten zugewandt sind, aufweisen.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslasslöcher (46) jeweils eine in dem Fluidauslassabschnitt (14) ausgebildete Nut aufweisen.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslasslöcher (46) eine erste Düsennut (48) mit einer kleineren Querschnittsfläche und eine zweite Düsennut (50) mit einer Querschnittsfläche, die größer ist als die Querschnittsfläche der ersten Düsennut (48), aufweisen und dass die erste Düsennut (48) einem der äußeren Kantenabschnitte (18) zugewandt ist, wobei der Abstand zwischen der ersten Düsennut (48) und dem einen der äußeren Kantenabschnitte (18) kleiner ist, während die zweite Düsennut (50) einem anderen der äußeren Kantenabschnitte (20) zugewandt ist, wobei der Abstand zwischen der zweiten Düsennut (50) und dem anderen der äußeren Kantenabschnitte (20) größer ist.
Berührungsfreie Transportvorrichtung zum Anziehen eines Werkstücks durch Ansaugen durch Zufuhr eines Druckfluids und zum Halten und Transportieren des Werkstücks in einem berührungsfreien Zustand, wobei die berührungsfreie Transportvorrichtung folgende Elemente aufweist: einen Grundkörper (12), dessen äußere Form der Form des Werkstücks angepasst ist, und einen Fluidauslassabschnitt (102), der an einer dem Werkstück zugewandten Endfläche des Grundkörpers (12) vorgesehen ist, wobei der Fluidauslassabschnitt (102) Auslasslöcher (108) zum Abführen des Druckfluides entlang der Endfläche aufweist, wobei die Auslasslöcher (108) von der Endfläche beabstandet sind, wobei der Grundkörper (12) eine Mehrzahl von äußeren Kantenabschnitten (18, 20) aufweist, wobei die Abstände zwischen dem Fluidauslassabschnitt (102) und den äußeren Kantenabschnitten (18, 20) unterschiedlich sind, und wobei die Auslasslöcher (108) den äußeren Kantenabschnitten zugewandt sind und die Auslasslöcher (108) kontinuierlich so ausgebildet sind, dass die Auslasslöcher (108) von der Endfläche proportional zu den Abständen zwischen den Auslasslöchern (108) und den äußeren Kantenabschnitten (18, 20) beabstandet sind.
Berührungsfreie Transportvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslasslöcher (108) jeweils zu einer Vertiefung mit einem dreieckigen Querschnitt geformt sind, wobei die Auslasslöcher (108) jeweils eine erste Vertiefung (112), deren Tiefe von einem oberen Abschnitt (106) des Fluidauslassabschnitts (102) kleiner ist, und eine zweite Vertiefung (114), deren Tiefe von dem oberen Abschnitt (106) größer ist als die der ersten Vertiefung (112), aufweisen.