DE102011001647A1

DE102011001647A1 - Device for transferring a wafer

Info

Publication number: DE102011001647A1
Application number: DE102011001647A
Authority: DE
Inventors: Henk van Dermeij
Original assignee: KSL KUTTLER AUTOMATION SYSTEMS GmbH; KSL-KUTTLER AUTOMATION SYSTEMS GmbH
Current assignee: KSL KUTTLER AUTOMATION SYSTEMS GmbH; KSL-KUTTLER AUTOMATION SYSTEMS GmbH
Priority date: 2011-03-29
Filing date: 2011-03-29
Publication date: 2012-10-04
Also published as: WO2012130987A1

Abstract

Eine Vorrichtung (6) zur Übergabe eines Wafers (5) in ein Magazin, mit einem angetriebenen Transportband (8, 9) mit zwei Umlaufpunkten (10, 11), umfasst ein expansives Umlaufprofil (16).A device (6) for transferring a wafer (5) into a magazine, with a driven conveyor belt (8, 9) with two circulation points (10, 11), comprises an expansive circulation profile (16).

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Übergabe eines Wafers nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1, sowie ein Verfahren nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 9.The invention relates to a device for transferring a wafer according to the features of the preamble of claim 1, and to a method according to the features of the preamble of claim 9.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

Aus dem Stand der Technik sind eine Vielzahl Von Handlingeinrichtungen für Wafer bekannt. Problematisch ist das Einsortieren von Wafern in so genannte Magazine oder Carrier. Dies erfolgt nach dem Stand der Technik mit Greifern Saugern oder Schwebegreifern. Nachteiliger Weise werden bei den Handlingsaktionen die empfindlichen Wafer leicht beschädigt.A large number of handling devices for wafers are known from the prior art. The problem is the sorting of wafers into so-called magazines or carriers. This is done according to the prior art with grippers suckers or Schwebegreifern. Disadvantageously, the sensitive wafers are easily damaged in handling actions.

BESCHREIBUNG DER ERFINDUNGDESCRIPTION OF THE INVENTION

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Übergabe von Wafern in ein Magazin zu schaffen, die einfach aufgebaut und störunanfällig ist, und verhindert, dass die Wafer beschädigt werden, sowie ein geeignetes Verfahren zum Ablegen der Wafer in dem Magazin.The object of the invention is to provide a device for transferring wafers into a magazine, which is simple in construction and susceptible to interference, and prevents the wafers from being damaged, as well as a suitable method for depositing the wafers in the magazine.

Zur Lösung der Aufgabe führen die Merkmale der kennzeichnenden Teile des Ansprüche 1 und 9.To achieve the object, the features of the characterizing parts of claims 1 and 9 lead.

Bevorzugt umfasst eine Vorrichtung zur Übergabe eines Wafers in ein Magazin, mit einem angetriebenen Transportband mit zwei Umlaufpunkten und mit einem Umlaufprofil ein expansives Umlaufprofil.Preferably, a device for transferring a wafer into a magazine, with a driven conveyor belt with two circulation points and with a circulation profile, comprises an expansive circulation profile.

Im Folgenden ist mit Magazin ein so genannter Carrier gemeint, meist ein rechteckiger Grundkörper an dessen seitlichen Wände gegenüberliegende Nuten vorgesehen sind zur horizontalen Aufnahme von Wafern.In the following, what is meant by magazine is a so-called carrier, usually a rectangular basic body on whose lateral walls opposite grooves are provided for the horizontal recording of wafers.

Bevorzugt ist das Umlaufprofil so expandierbar, dass ein Abstand zwischen den Umlaufpunkten verändert werden kann. Bevorzugt wird ein Abstand zwischen den Umlaufpunkten verlängert, vergrößert oder verkürzt. Besonders bevorzugt ist das Umlaufprofil so expandierbar, dass die Umlaufpunkte ihre vorherige Höhe und Ausrichtung zueinander behalten.Preferably, the circulation profile is expandable so that a distance between the circulation points can be changed. Preferably, a distance between the circulation points is extended, increased or shortened. Particularly preferably, the circulation profile is expandable so that the circulation points keep their previous height and orientation to each other.

In typischen Ausführungsbeispielen ist das Umlaufprofil so expandierbar, dass ein erster Umlaufpunkt ausserhalb der ursprünglichen Transportbandebene angeordnet ist. Dadurch, dass die Vorrichtung ein expansives Umlaufprofil umfasst, ergibt sich der Vorteil, dass die Vorrichtung verlängert werden kann und mit einem vorderen Bereich des Umlaufprofils in das Magazin hineingreifen kann.In typical embodiments, the circulation profile is expandable so that a first circulation point is arranged outside the original conveyor belt level. The fact that the device comprises an expansive circulation profile, there is the advantage that the device can be extended and reach into the magazine with a front portion of the circulation profile.

Zweckmäßiger Weise ist das Transportband elastisch. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass das Transportband straff an den Umlaufpunkten gehalten wird.Appropriately, the conveyor belt is elastic. This results in the advantage that the conveyor belt is held tightly at the circulation points.

Bevorzugt verlängert das Transportband seine Länge um 5% bis 50%, besonders bevorzugt um 10% bis 15%. Dadurch ergibt der Vorteil, dass bei einer Expansion des Umlaufprofils auch das Transportband expandiert wird.Preferably, the conveyor belt extends its length by 5% to 50%, more preferably by 10% to 15%. This results in the advantage that upon expansion of the circulation profile and the conveyor belt is expanded.

Zweckmäßiger Weise weist das Transportband eine Breite auf, die geringer als eine Breite des Wafers ist. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass das Transportband nicht mit den Nuten in dem Magazin, die die seitlichen Enden des Wafers halten, kollidieren.Conveniently, the conveyor belt has a width that is less than a width of the wafer. This has the advantage that the conveyor belt does not collide with the grooves in the magazine that hold the side ends of the wafer.

In typischen Ausführungsbeispielen besteht das Transportband aus einer Mehrzahl, bevorzugt zwei parallel zueinander verlaufende Riemen. Bevorzugt sind die Riemen in einem Abstand voneinander angeordnet. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass der Wafer und die Riemen als Transportband nur eine geringe gemeinsame Kontaktfläche ausbilden.In typical embodiments, the conveyor belt consists of a plurality, preferably two mutually parallel belts. Preferably, the belts are arranged at a distance from each other. This results in the advantage that the wafer and the belt form as a conveyor belt only a small common contact surface.

Vorteilhafter Weise umläuft das Transportband an dem vorderen Umlaufpunkt einen geringeren Radius als an dem hinteren Umlaufpunkt. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass die Vorrichtung in ihrem vorderen Bereich eine geringere Höhe aufweist und so besser in das Magazin greifen kann.Advantageously, the conveyor belt circulates at the front circulation point a smaller radius than at the rear circulation point. This results in the advantage that the device has a lower height in its front region and can thus better grip the magazine.

Bevorzugt umfasst die Vorrichtung ein Paar Untertrumumlenkrollen für ein Untertrum des Transportbandes. Bevorzugt sind die Untertrumumlenkrollen so angeordnet, dass ein Abstand des Untertrums zu einem Obertrum des Transportbandes in einem vorderen Abschnitt des Transportbandes geringer als in einem hinteren Abschnitt des Transportbandes ist. Bevorzugt werden zur Überbrückung von größeren Höhendifferenzen eine Mehrzahl von Umlaufrollenpaaren vorgesehen.Preferably, the device comprises a pair of Untertrumumlenkrollen for a lower strand of the conveyor belt. Preferably, the Untertrumumlenkrollen are arranged so that a distance of the lower strand to a Upper strand of the conveyor belt in a front portion of the conveyor belt is less than in a rear portion of the conveyor belt. Preferably, a plurality of circulation roller pairs are provided for bridging larger height differences.

In typischen Ausführungsbeispielen umfasst das expansive Umlaufprofil einen ersten Teil und einen zweiten Teil, welche teleskopförmig zueinander verfahrbar sind. Bevorzugt sind der erste Teil und der zweite Teil durch eine Verstelleinrichtung verbunden sind. Bevorzugt bildet der erste Teil zumindest teilweise ein vorderes Ende der Vorrichtung, das in das Magazin greift.In typical embodiments, the expansive circulation profile comprises a first part and a second part which are telescopically movable in a telescopic manner. Preferably, the first part and the second part are connected by an adjusting device. Preferably, the first part at least partially forms a front end of the device which engages in the magazine.

In typischen Ausführungsbeispielen sind die Untertrumumlenkrollen an dem ersten Teil des Umlaufprofils befestigt. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass das Obertrum und das Untertrum in dem vorderen Abschnitt des ersten Teils zusammengeführt werden und einen geringeren Abstand zueinander als in dem zweiten Teil aufweisen.In typical embodiments, the lower strand deflection rollers are attached to the first part of the circulation profile. This results in the advantage that the upper strand and the lower strand are brought together in the front portion of the first part and have a smaller distance from each other than in the second part.

Bevorzugt umfasst die Verstelleinrichtung eine Führungsschiene, die mit dem ersten Teil verbunden oder einstückig hergestellt ist. Besonders bevorzugt greift diese Führungsschiene in eine Nut in dem zweiten Teil des Umlaufprofils. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass bei einem Expandieren des Umlaufprofis die Ausrichtung beibehalten wird.Preferably, the adjusting device comprises a guide rail, which is connected to the first part or made in one piece. Particularly preferably, this guide rail engages in a groove in the second part of the circulation profile. This has the advantage that when expanding the recirculating professional, the alignment is maintained.

Zweckmäßiger Weise können die Führungsschiene oder die Führungsnut auch schräg zu der Ausrichtung oder winkelig zu der ursprünglichen Ausrichtung der Vorrichtung vorgesehen sein, so dass das Umlaufprofil in einem Winkel expandiert wird. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass der Wafer an einen Bereich übergeben werden kann, der nicht auf einer Höhe mit dem Transportband, sondern darüber oder darunter liegt.Conveniently, the guide rail or the guide groove can also be provided obliquely to the orientation or at an angle to the original orientation of the device, so that the circulation profile is expanded at an angle. This results in the advantage that the wafer can be transferred to an area that is not at a level with the conveyor belt, but above or below.

Besonders bevorzugt weist die Verstelleinrichtung einen eigenen Antrieb auf. Noch bevorzugter ist der Antrieb der Verstelleinrichtung geeignet, um Bewegungen in zwei Richtungen auszuführen. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass die Verstelleinrichtung Bewegungen in beide Richtungen, also expandieren und zusammenziehen des Umlaufprofils kontrolliert ausführt.Particularly preferably, the adjusting device has its own drive. More preferably, the drive of the adjusting device is suitable for carrying out movements in two directions. This results in the advantage that the adjusting device executes movements in both directions, ie expand and contract the recirculating profile controls.

Gesondert wird Schutz beansprucht für ein Verfahren zur Übergabe eines Wafers in ein Magazin mittels eines Transportbandes mit den folgenden Schritten: Antreiben des Transportbandes; Transportieren des Wafers in einen vorderen Abschnitt des Transportbandes; Expandieren des Umlaufprofils bei gleichzeitigen Antrieben des Transportbandes so, dass ein vorderer Abschnitt der Vorrichtung zumindest teilweise in das Magazin greift und Verkürzen des Umlaufprofils, so dass der Wafer in dem Magazin abgelegt wird. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass der Wafer auf einfach Art und Weise ohne zusätzliches Handling mit bspw. einem Greifer in ein Fach eines Magazins oder eines Carriers einsortiert werden kann.Separately, protection is claimed for a method of transferring a wafer to a magazine by means of a conveyor belt, comprising the steps of: driving the conveyor belt; Transporting the wafer into a front portion of the conveyor belt; Expanding the circulation profile with simultaneous drives of the conveyor belt so that a front portion of the device at least partially engages in the magazine and shortening of the circulation profile, so that the wafer is stored in the magazine. This results in the advantage that the wafer can be sorted in a simple manner without additional handling with, for example, a gripper in a compartment of a magazine or a carrier.

Bevorzugt werden die genannten Schritte wiederholt, wobei nach dem Schritt Verkürzen des Umlaufprofils, so dass der Wafer in dem Magazin abgelegt wird, eine Höhenposition des Magazins verändert wird, so dass der nächste Wafer in darunter oder darüberliegendes Fach des Magazins einsortierte werden kann.Preferably, said steps are repeated, wherein after the step of shortening the recirculating profile, so that the wafer is deposited in the magazine, a height position of the magazine is changed, so that the next wafer can be sorted into below or overlying compartment of the magazine.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Figuren kurz beschrieben, wobei die Figuren zeigen:The invention will be briefly described below with reference to the accompanying figures, in which:

1 zeigt eine schematische Darstellung einer perspektivischen Ansicht einer Einrichtung zum Handeln von Wafern, die in Magazine einsortiert werden; 1 shows a schematic representation of a perspective view of a device for trading wafers, which are sorted into magazines;

2 zeigt eine schematische perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zur Übergabe eines Wafers in ein nicht dargestelltes Magazin; 2 shows a schematic perspective view of an apparatus for transferring a wafer in a magazine, not shown;

3 zeigt eine schematische Darstellung einer Seitenansicht der Vorrichtung zur Übergabe eines Wafers in ein nicht dargestelltes Magazin. 3 shows a schematic representation of a side view of the device for transferring a wafer in a magazine, not shown.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEmbodiment

1 zeigt eine Einheit 1 zum Handling von Wafern. Ein Wafer 5 ist gestrichelt in der 2 dargestellt. Mit der Einheit 1 werden Wafer 5, die auf fünf parallelen Transportlinien 2.1, 2.2, 2.3, 2.4 und 2.5 transportiert werden in Magazine 3 einsortiert. Vor jeder der Transportlinien 2.1 bis 2.5 ist ein Magazin 3 angeordnet. Diese Magazine 3 weisen übereinander liegende Schubfächer auf, in die die einzelnen Wafer 5 eingesteckt werden können. Ein anderer Begriff für solche Magazine ist Carrier. 1 shows a unit 1 for handling wafers. A wafer 5 is dashed in the 2 shown. With the unit 1 become wafers 5 on five parallel transport lines 2.1 . 2.2 . 2.3 . 2.4 and 2.5 be transported in magazines 3 sorted. Before each of the transport lines 2.1 to 2.5 is a magazine 3 arranged. These Magazine 3 have superposed drawers into which the individual wafers 5 can be inserted. Another term for such magazines is Carrier.

Zur besseren Übersichtlichkeit wird im Folgenden nur die Transportlinie 2.3 betrachtet.For the sake of clarity, only the transport line will be described below 2.3 considered.

Das Magazin 3 ist an einem vorderen Ende der Transportlinie 2.3 auf einer Hubeinrichtung 4 angeordnet. Mit nach dem Einlegen eines Wafers 5 in das Magazin 3 wird dessen Höhenposition so verändert, dass der nächste Wafer 5 in ein darunter oder darüber liegendes separates Schubfach eingeordnet werden kann.The magazine 3 is at a front end of the transport line 2.3 on a lifting device 4 arranged. With after inserting a wafer 5 in the magazine 3 whose height position is changed so that the next wafer 5 can be arranged in an underlying or above separate drawer.

Zur Übergabe des Wafers 5, weist die Transportlinie 2.3 eine erfindungsgemässe Vorrichtung 6, wie in 2 dargestellt, auf.To transfer the wafer 5 , points the transport line 2.3 an inventive device 6 , as in 2 shown on.

Die Vorrichtung 6 zur Übergabe des Wafers 5 in ein nicht dargestelltes Magazin 3 umfasst als umlaufendes Transportband einen ersten umlaufenden Riemen 8 und einen zweiten umlaufenden Riemen 9. Das Transportband weist eine geringere Breite als der Wafer 5 auf. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass das Transportband nicht mit den Fächern in dem Magazin 3 kollidiert.The device 6 to transfer the wafer 5 in a magazine, not shown 3 comprises as a circulating conveyor belt a first revolving belt 8th and a second circulating belt 9 , The conveyor belt has a smaller width than the wafer 5 on. This results in the advantage that the conveyor belt does not interfere with the compartments in the magazine 3 collided.

Die Riemen 7 und 8 sind über einen hinteren Umlaufpunkt 10 und einen vorderen Umlaufpunkt 11 geführt. Der hintere Umlaufpunkt 10 wird über einen Antrieb 12 angetrieben. Dazu weist der Antrieb ein Abtriebsrad 13 und der Umlaufpunkt 10 ein Antriebsrad 14 die über einen Getrieberiemen 15 verbunden sind, auf. Als vordere Umlaufpunkt 11 wird der dem Magazin 3 zugewandte Umlaufpunkt 11 bezeichnet. Als hinterer Umlaufpunkt 10 wird der dem Magazin 3 abgewandte Umlaufpunkt 10 bezeichnet.The belts 7 and 8th are over a rear circulation point 10 and a front circulation point 11 guided. The rear circulation point 10 is about a drive 12 driven. For this purpose, the drive has a driven wheel 13 and the circulation point 10 a drive wheel 14 the over a gear belt 15 are connected to. As a front circulation point 11 becomes the magazine 3 facing circulation point 11 designated. As a rear circulation point 10 becomes the magazine 3 opposite circulation point 10 designated.

Die umlaufenden Riemen 8 und 9 umlaufen ein Umlaufprofil 16. Das Umlaufprofil 16 umfasst einen ersten Teil 17 und einen zweiten Teil 18. Der erste Teil 17 bildet bzw. umfasst einen vorderen Abschnitt 7 in dem der Wafer 5 übergeben wird.The revolving belts 8th and 9 revolve around a circulation profile 16 , The circulation profile 16 includes a first part 17 and a second part 18 , The first part 17 forms or comprises a front portion 7 in which the wafer 5 is handed over.

Der erste Teil 17 und der zweite Teil 18 sind über eine Verstelleinrichtung verbunden. Die Verstelleinrichtung ist geeignet einen Abstand zwischen dem hinteren Umlaufpunkt 10 und dem vorderen Umlaufpunkt 11 zu verstellen. Dazu umfasst die Verstelleinrichtung, wie in 3 dargestellt eine Führungsschiene 19. Die Führungsschiene 19 ist bevorzugt einstückig mit dem ersten Teil 17 verbunden. Der zweite Teil 18 umfasst eine nicht dargestellte Führungsnut, in die die Führungsschiene 19 greift. Desweiteren umfasst die Verstelleinrichtung einen Antrieb 24. Der Antrieb 24 ist geeignet den ersten Teil 17 vom zweiten Teil 18 wegzubewegen und den ersten Teil 17 wieder zum zweiten Teil 18 zurückzubewegen. In den 2 und 3 weisen die Umlaufpunkte 10 und 11 der Vorrichtung 6 einen maximalen Abstand zueinander auf. Dazu sind der erste Teil 17 und der zweite Teil 18 durch die Verstelleinrichtung weit auseinander geschoben.The first part 17 and the second part 18 are connected via an adjusting device. The adjusting device is suitable a distance between the rear circulation point 10 and the front circulation point 11 to adjust. For this purpose, the adjusting device, as in 3 represented a guide rail 19 , The guide rail 19 is preferably integral with the first part 17 connected. The second part 18 includes a guide groove, not shown, into which the guide rail 19 attacks. Furthermore, the adjusting device comprises a drive 24 , The drive 24 is suitable the first part 17 from the second part 18 move away and the first part 17 again to the second part 18 move back. In the 2 and 3 assign the circulation points 10 and 11 the device 6 a maximum distance from each other. These are the first part 17 and the second part 18 pushed far apart by the adjustment.

Wie in 3 dargestellt, ist der erste Teil 17 so ausgebildet, dass dieser in einem vorderen Abschnitt 7 sehr schmal ausgebildet ist. Der Riemen 9 und auch der nicht sichtbare Riemen 8 weisen in dem vorderen Abschnitt 7 einen Abstand a zwischen einem Untertrum 20 und einem Obertrum 21 auf. Der Abstand a ist kürzer als ein Abstand A zwischen dem Obertrum 21 und dem Untertrum 20 in weiter hinter liegenden Bereichen des ersten Teils 17 und des zweiten Teils 18.As in 3 is the first part 17 designed so that this in a front section 7 is very narrow. The belt 9 and also the invisible belt 8th point in the front section 7 a distance a between a lower strand 20 and a top strand 21 on. The distance a is shorter than a distance A between the upper run 21 and the bottom strand 20 in further areas of the first part 17 and the second part 18 ,

Um die Riemen 8 und 9 in den beschriebenen Abständen a und A zu führen umfasst der erste Teil 17 ein Untertrumumlenkrollenpaar aus den Umlenkrollen 22 und 23. Diese sind so angeordnet, dass das Untertrum 20 nach den Umlenkrollen 22 und 23 in dem geringeren Abstand a zum Obertrum 21 als im zweiten Teil 18 geführt ist.To the belts 8th and 9 to lead in the described distances a and A includes the first part 17 a Untertrumumlenkrollenpaar from the pulleys 22 and 23 , These are arranged so that the lower strand 20 after the pulleys 22 and 23 at the smaller distance a to the upper strand 21 than in the second part 18 is guided.

In weiteren nicht dargestellten Ausführungsbeispielen sind, wenn größere Differenzen zwischen dem größeren Abstand A und dem kleineren Abstand a liegen, eine Mehrzahl von Untertrummumlenkrollenpaaren vorgesehen.In further embodiments, not shown, if larger differences between the larger distance A and the smaller distance a, a plurality of Untertrummumlenkrollenpaaren are provided.

Die Funktionsweise der Erfindung ist folgende:
Bei der in 1 dargestellten Einheit 1 zum Handling von Wafern 5 laufen einzelne Wafer 5 auf den Transportlinien 2.1 bis 2.5. Auf jeder der Transportlinien 2.1 bis 2.5 läuft das nachfolgend beschriebene Verfahren im Bereich der erfindungsgemässen Vorrichtung 6 im Wesentlichen analog ab:
Der Wafer 5 wird über das Transportband bzw. die Riemen 8 und 9 in einen vorderen Abschnitt 7 der Vorrichtung 6 transportiert. Dazu werden die Riemen 8 und 9 angetrieben.The operation of the invention is as follows:
At the in 1 represented unit 1 for handling wafers 5 run single wafers 5 on the transport lines 2.1 to 2.5 , On each of the transport lines 2.1 to 2.5 the method described below runs in the range of the device according to the invention 6 essentially analogously from:
The wafer 5 is about the conveyor belt or the belt 8th and 9 in a front section 7 the device 6 transported. These are the straps 8th and 9 driven.

Wenn sich der Wafer 5 in dem vorderen Abschnitt 7 der Vorrichtung 6 befindet, wird das Umlaufprofil 16 der Vorrichtung 6 expandiert. Dazu wird über den Antrieb 24 die Verstelleinrichtung betätigt und die Schiene 19 der Verstelleinrichtung aus der nicht dargestellten Nut des zweiten Teils 18 herausgedrückt und/oder ausgezogen. If the wafer 5 in the front section 7 the device 6 is the circulation profile 16 the device 6 expanded. This is done via the drive 24 the adjusting actuated and the rail 19 the adjustment of the groove of the second part, not shown 18 pushed out and / or pulled out.

Da im vorderen Abschnitt 7 der erste Teil 17 des Umlaufprofils 16 nur eine schmale Höhe a die dem Abstand zwischen dem Obertrum 21 und dem Untertrum 20 der Riemen 8 und 9 entspricht, aufweist, kann dieser Bereich in das Magazin 3 greifen und den Wafer 5 in dem Magazin 3 ablegen. Die über das Transportband hinausstehenden Bereiche des Wafers 5 bleiben an seitlichen Nuten im Magazin 3 liegen. Über die Verstelleinrichtung 19 wird der erste Teil 17 des expansiven Umlaufprofils 16 wieder zurück in Richtung des feststehenden zweiten Teils 18 bewegt. Der Wafer 5 bleibt im nicht dargestellten Magazin 3 liegen.Because in the front section 7 the first part 17 of the circulation profile 16 only a narrow height a the the distance between the upper strand 21 and the bottom strand 20 the belt 8th and 9 equal to, this area can be in the magazine 3 grab and the wafer 5 in the magazine 3 lay down. The regions of the wafer projecting beyond the conveyor belt 5 stay on lateral grooves in the magazine 3 lie. About the adjustment 19 becomes the first part 17 of the expansive circulation profile 16 back to the fixed second part 18 emotional. The wafer 5 remains in the magazine, not shown 3 lie.

Zum Füllen des nächsten Magazinfachs wird das Magazin 3 um eine Position in der Höhe verstellt, so dass bei dem der Übergabe des nächsten Wafers 5 das nächste Fach belegt werden kann. Bezugszeichenliste 1 Einheit 34 67 2 Transportlinie 35 68 3 Magazin 36 69 4 Hubeinrichtung 37 70 5 Wafer 38 71 6 Vorrichtung 39 72 7 vorderer Abschnitt 40 73 8 Riemen 41 74 9 Riemen 42 75 10 Umlaufpunkt 43 76 11 Umlaufpunkt 44 77 12 Antrieb 45 78 13 Antriebsrad 46 79 14 Antriebsrad 47 15 Getrieberiemen 48 16 Umlaufprofil 49 17 erster Teil 50 18 zweiter Teil 51 19 Schiene 52 20 Untertrum 53 21 Obertrum 54 22 Umlenkrolle 55 a Abstand kleiner 23 Umlenkrolle 56 A Abstand größer 24 Antrieb 57 25 58 26 59 27 60 28 61 29 62 30 63 31 64 32 65 33 66 The magazine is filled to fill the next magazine compartment 3 adjusted by one position in height, so that when passing the next wafer 5 the next subject can be taken. LIST OF REFERENCE NUMBERS 1 unit 34 67 2 transport line 35 68 3 magazine 36 69 4 lifting device 37 70 5 wafer 38 71 6 contraption 39 72 7 front section 40 73 8th belt 41 74 9 belt 42 75 10 circumferential point 43 76 11 circumferential point 44 77 12 drive 45 78 13 drive wheel 46 79 14 drive wheel 47 15 transmission belts 48 16 circumferential profile 49 17 first part 50 18 second part 51 19 rail 52 20 strand 53 21 obertrum 54 22 idler pulley 55 a Distance smaller 23 idler pulley 56 A Distance greater 24 drive 57 25 58 26 59 27 60 28 61 29 62 30 63 31 64 32 65 33 66

Claims

Contraption ( 6 ) for transferring a wafer ( 5 ) in a magazine ( 3 ), with a driven conveyor belt ( 8th . 9 ) with two circulation points ( 10 . 11 ), characterized by an expansive circulation profile ( 16 ).

Apparatus according to claim 1, characterized in that the conveyor belt ( 8th . 9 ) is elastic.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the conveyor belt ( 8th . 9 ) at a forward circulation point ( 11 ) rotates at a smaller radius than at a rearward circulation point ( 19 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized by a pair of lower strand deflection rollers ( 22 . 23 ) for a lower strand ( 20 ) of the conveyor belt ( 8th . 9 ), which are arranged so that a distance (a) of the lower strand ( 20 ) to an upper strand ( 21 ) in a front of the magazine ( 3 ) facing section ( 7 ) of the conveyor belt ( 8th . 9 ) less than in a rear section of the magazine ( 3 ) facing away from the conveyor belt ( 8th . 9 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the expansive circulation profile ( 16 ) a first part ( 17 ) and a second part ( 18 ), which are telescopically movable to each other.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the Untertrumumlenkrollenpaar ( 22 . 23 ) on the first part ( 17 ) of the circulation profile ( 16 ) is attached.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the adjusting device is a rail ( 19 ), the first part ( 17 ) and in a groove of the second part ( 18 ) attacks.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the adjusting device is a drive ( 24 ) having.

Method for transferring a wafer ( 5 ) in a magazine ( 3 ), by means of a conveyor belt ( 8th . 9 ), comprising the steps of: a) driving the conveyor belt ( 8th . 9 ); b) transporting the wafer ( 5 ) in a front section ( 7 ) of the conveyor belt ( 8th . 9 ); c) expanding the circulation profile ( 16 ) while simultaneously driving the conveyor belt ( 8th . 9 ), so that a front section ( 7 ) of the conveyor belt ( 8th . 9 ) at least partially into the magazine ( 3 ) attacks; d) shortening the circulation profile, so that the wafer in the magazine ( 3 ) is stored.

A method according to claim 9, characterized in that steps a) to d) are repeated, wherein after step d) a height position of the magazine ( 3 ) is changed so that wafers ( 5 ) in another subject of the magazine ( 3 ).