[go: up one dir, main page]

DE102019201158B4 - Halbleiterbaugruppe - Google Patents

Halbleiterbaugruppe Download PDF

Info

Publication number
DE102019201158B4
DE102019201158B4 DE102019201158.6A DE102019201158A DE102019201158B4 DE 102019201158 B4 DE102019201158 B4 DE 102019201158B4 DE 102019201158 A DE102019201158 A DE 102019201158A DE 102019201158 B4 DE102019201158 B4 DE 102019201158B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sealing resin
semiconductor
semiconductor device
fuse portion
inner wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102019201158.6A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102019201158A1 (de
Inventor
Yoshitaka Otsubo
Masayuki Ando
Kota Ohara
Takamasa ODA
Takuro Mori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of DE102019201158A1 publication Critical patent/DE102019201158A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102019201158B4 publication Critical patent/DE102019201158B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H10W74/111
    • H10W40/47
    • H10W76/60
    • H10W40/255
    • H10W42/80
    • H10W76/12
    • H10W76/15
    • H10W76/47
    • H10W72/884
    • H10W90/734
    • H10W90/754

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Fuses (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)

Abstract

Halbleiterbaugruppe, umfassendein isolierendes Substrat (1) mit einer Schaltungsstruktur (2);eine Halbleitervorrichtung (4), die auf der Schaltungsstruktur (2) vorgesehen ist;ein Gehäuse (5), das die Halbleitervorrichtung (4) auf dem isolierenden Substrat (1) umgibt;einen externen Anschluss (6), der das Innere und Äußere des Gehäuses (5) elektrisch verbindet;einen inneren Draht (7), der die Schaltungsstruktur (2) oder die Halbleitervorrichtung (4) mit einem inneren Endabschnitt des externen Anschlusses (6) elektrisch verbindet;ein Versiegelungsharz (8), das die Halbleitervorrichtung (4) und den inneren Draht (7) innerhalb des Gehäuses (5) versiegelt; undeinen Deckel (9), der eine obere Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) bedeckt, wobei der innere Draht (7) einen Schmelzsicherungsabschnitt (10) umfasst, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, undder Deckel (9) einen Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung enthält, der den Schmelzsicherungsabschnitt (10) bedeckt, während eine Lücke (11) zwischen dem Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) sichergestellt ist, und in einem Bereich außer dem Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) fixiert ist.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterbaugruppe.
  • Hintergrund
  • Halbleiterbaugruppen werden in verschiedenen Anwendungen wie etwa einer Stromerzeugung, Leistungsübertragung und effektiven Energienutzung oder -rückgewinnung verwendet. Es ist übliche Praxis, einen Teil interner Drähte als Schmelzsicherung zu nutzen, um einen Schutz vor einem übermäßigen Strom oder Kurzschlussstrom in Halbleiterbaugruppen vorzusehen, die in einem Versiegelungsharz auf Epoxidbasis oder Polyimidbasis versiegelt sind. Ein Problem bestand darin, dass, wenn der Draht durchgeschmolzen und unterbrochen war, manchmal ein Teil des Drahts mit dem umgebenden Gussharz weggeblasen bzw. abgesprengt wurde und Materialtropfen um die Halbleiterbaugruppe verstreut wurden, was andere Vorrichtungen nachteilig beeinflusst. Um dieses Problem zu verhindern, wurde eine Technik vorgeschlagen, wodurch die gesamte Halbleiterbaugruppe mit einem Gummifilm beschichtet wird (siehe zum Beispiel die japanische Patentanmeldung JP 2000 - 138 107 A ).
  • Die US 5 744 860 A zeigt ein Leistungshalbleitermodul mit mindestens einem Halbleiterchip, der auf einer Grundplatte angeordnet ist und von einem über der Grundplatte angeordneten Gehäuse umgeben ist, und der extern mittels Anschlussfahnen verbunden sein kann. Die Anschlussfahnen sind mit dem mindestens einen Halbleiterchip elektrisch verbunden und durch entsprechende Durchgangsöffnungen im Gehäuse nach außen geführt. Dadurch, dass die Anschlussfahnen als Teile von Anschlussblechen ausgebildet sind, die innerhalb des Gehäuses und parallel zur Grundplatte angeordnet und mit dieser großflächig mechanisch verbunden sind, wird eine Explosion des Moduls im Störfall zuverlässig verhindert bzw. in ihrer Wirkung weitestgehend gedämpft.
  • Die DE 196 39 279 A1 offenbart einen Umrichter mit einem netzseitigen ersten Stromrichter und einem verbraucherseitigen zweiten Stromrichter, der Ventilzweige mit Bipolartransistoren mit isoliertem Gate aufweisen kann. Um hohe Ströme schalten zu können, wie sie bei Traktionsanwendungen benötigt werden, betreibt man mehrere IGBTs elektrisch parallel zueinander. Um eine Zerstörung oder Explosion eines Moduls mit derartigen IGBTs in einem Kurzschlussfall zu vermeiden, ist kathodenseitig zu jedem IGBT eine Schmelzsicherung in Reihe geschaltet, welche beim Überschreiten einer vorgebbaren Grenzstromstärke durchschmilzt und dadurch den Kurzschlussstrom unterbricht. Der Strom fließt dann nur über den parallelgeschalteten IGBT. Als Schmelzsicherungen werden Bond-Drähte verwendet, deren Querschnitt und Anzahl so bemessen sind, dass sie einen Kurzschlussstrom beim Überschreiten der vorgebbaren Grenzstromstärke unterbrechen. Dabei dürfen die anodenseitigen Anschlüsse der IGBTs nicht schmelzen, das heißt, sie müssen einen geringeren elektrischen Widerstand als die kathodenseitigen Anschlüsse aufweisen. Ohne einen Kurzschlussstrombegrenzer treten bei Stromrichtern mit einem Gleichspannungszwischenkreis im Falle des Kurzschlusses eines Zwischenkreiskondensators durch dessen impedanzarme Entladung sehr hohe Kurzschlussströme im Gleichspannungszwischenkreis auf.
  • Zusammenfassung
  • Wenn die Halbleiterbaugruppe eine komplexe Form hat, ist es jedoch schwierig, sie ganz mit einem Gummifilm zu beschichten. Ein weiteres Problem bestand darin, dass ein Bedecken der Baugruppe mit einem Gummifilm, der eine schlechte Wärmeleitfähigkeit aufweist, eine Wärmedissipation während der normalen Nutzung beeinträchtigen würde.
  • Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um das oben beschriebene Problem zu lösen, und es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine einfach herstellbare Halbleiterbaugruppe vorzusehen, die ein Verstreuen von Materialtropfen verhindern kann, ohne eine Wärmedissipation zu beeinträchtigen.
  • Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe wird bei einer Halbleiterbaugruppe erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen abhängigen Ansprüche.
  • Eine Halbleiterbaugruppe gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein isolierendes Substrat mit einer Schaltungsstruktur; eine Halbleitervorrichtung, die auf der Schaltungsstruktur vorgesehen ist; ein Gehäuse, das die Halbleitervorrichtung auf dem isolierenden Substrat umgibt; einen externen Anschluss, der das Innere und Äußere des Gehäuses elektrisch verbindet; einen inneren Draht, der die Schaltungsstruktur oder die Halbleitervorrichtung mit einem inneren Endabschnitt des externen Anschlusses elektrisch verbindet; ein Versiegelungsharz, das die Halbleitervorrichtung und den inneren Draht innerhalb des Gehäuses versiegelt; und einen Deckel, der eine obere Oberfläche des Versiegelungsharzes bedeckt, wobei der innere Draht einen Schmelzsicherungsabschnitt umfasst, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, und der Deckel einen Teil zur Vermeidung einer Verstreuung enthält, der den Schmelzsicherungsabschnitt bedeckt, während eine Lücke zwischen dem Teil zur Vermeidung einer Verstreuung und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes sichergestellt ist, und in einem Bereich außer dem Teil zur Vermeidung einer Verstreuung an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes fixiert ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Schmelzsicherungsabschnitt, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, absichtlich an dem inneren Draht vorgesehen. Die Bruchenergie des Schmelzsicherungsabschnitts wird aus der oberen Oberfläche der Baugruppe freigesetzt, so dass der elektrische Strompfad in kurzer Zeit unterbrochen werden kann. Der Deckel umfasst einen Teil zur Vermeidung einer Verstreuung, der den Schmelzsicherungsabschnitt von oben bedeckt, während eine Lücke zwischen ihm selbst und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes sichergestellt ist, und ist in einem Bereich außer dem Teil zur Vermeidung einer Verstreuung an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes fixiert. Somit kann das Verstreuen von Materialtropfen verhindert werden, und nachteilige Effekte auf andere Vorrichtungen können unterdrückt werden. Die Herstellung ist einfach, da der Deckel einfach mit dem Teil zur Vermeidung einer Verstreuung versehen wird, und eine Wärmedissipation wird nicht beeinträchtigt.
  • Andere und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung vollständiger ersichtlich werden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer ersten Ausführungsform veranschaulicht;
    • 2 ist eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer zweiten Ausführungsform veranschaulicht; und
    • 3 ist eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer dritten Ausführungsform veranschaulicht.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen werden Halbleiterbaugruppen gemäß Ausführungsformen beschrieben. Gleiche Bezugszeichen sind gleichen oder entsprechenden Bestandteilen gegeben, um eine wiederholte Beschreibung zu unterlassen.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer ersten Ausführungsform veranschaulicht. Eine Schaltungsstruktur 2 ist auf einer oberen Oberfläche eines isolierenden Substrats 1 ausgebildet, und eine Wärmedissipationsstruktur 3 ist auf einer unteren Oberfläche des Substrats ausgebildet. Das isolierende Substrat 1 besteht aus einem Harz, während die Schaltungsstruktur 2 und die Wärmedissipationsstruktur 3 aus Kupfer bestehen. Eine Halbleitervorrichtung 4 ist auf der Schaltungsstruktur 2 vorgesehen.
  • Eine Gehäuse 5 umgibt die Halbleitervorrichtung 4 auf dem isolierenden Substrat 1. Ein externer Anschluss 6 ist am Gehäuse 5 vorgesehen, um das Innere und Äußere des Gehäuses 5 elektrisch zu verbinden. Ein innerer Draht 7 verbindet elektrisch die Schaltungsstruktur 2 oder die Halbleitervorrichtung 4 mit einem inneren Endabschnitt der externen Anschlusses 6. Ein Versiegelungsharz 8 versiegelt die Halbleitervorrichtung 4 und den inneren Draht 7 innerhalb des Gehäuses 5. Ein Deckel 9 bedeckt die obere Oberfläche des Versiegelungsharzes 8.
  • Der innere Draht 7 umfasst einen Schmelzsicherungsabschnitt 10 nahe der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes 8. Der Schmelzsicherungsabschnitt 10 schmilzt durch, wenn ein übermäßiger Strom fließt. Der Stromwert, bei dem der Schmelzsicherungsabschnitt 10 durchschmilzt, ist geringer als ein Überspannungs-Bemessungsstrom der Halbleitervorrichtung 4. Der Deckel 9 enthält einen Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung, der den Schmelzsicherungsabschnitt 10 von oben bedeckt, während eine Lücke 11 zwischen ihm selbst und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 sichergestellt ist. Der Deckel 9 ist in einem Bereich außer dem Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung eng an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 fixiert.
  • In dieser Ausführungsform ist der Schmelzsicherungsabschnitt 10, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, mit Absicht an dem inneren Draht 7 vorgesehen. Die Bruchenergie des Schmelzsicherungsabschnitts 10 wird aus der oberen Oberfläche der Baugruppe freigesetzt, so dass der elektrische Strompfad in kurzer Zeit unterbrochen werden kann. Der Deckel 9 enthält den Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung, der den Schmelzsicherungsabschnitt 10 von oben bedeckt, während eine Lücke 11 zwischen ihm selbst und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 sichergestellt ist, und ist in einem Bereich außer dem Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung eng an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 befestigt. Somit kann eine Verstreuung von Materialtropfen verhindert werden, um nachteilige Effekte auf andere Vorrichtungen zu vermeiden. Die Herstellung ist leicht, da der Deckel 9 einfach mit dem Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung versehen wird, und eine Wärmedissipation wird kaum beeinträchtigt.
  • Der Schmelzsicherungsabschnitt 10 ist im Versiegelungsharz 8 eingebettet. Eine Dicke a des Versiegelungsharzes 8 über dem Schmelzsicherungsabschnitt 10 ist geringer als ein Vierfaches des Durchmessers b des Schmelzsicherungsabschnitts (a < 4b). Die Schmelzcharakteristiken des Schmelzsicherungsabschnitts 10 können auf diese Weise gesteuert werden, und die Bruchenergie des Schmelzsicherungsabschnitts 10 kann auf die Oberseite des Versiegelungsharzes 8 begrenzt werden.
  • Der Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung ist ein Biegeabschnitt, der durch Biegen eines Teils des Deckels 9 in eine C-Form, so dass er nach oben vorsteht, geschaffen wird. Auf diese Weise kann die Lücke 11 problemlos nur für den Schmelzsicherungsabschnitt 10 vorgesehen werden. Wenn die untere Oberfläche des Deckels 9 außer der Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung flach ist, kann eine enge Bindung mit dem Versiegelungsharz 8 leicht erreicht werden.
  • Der innere Draht 7 ist konkret ein Bonddraht. Wenn der innere Draht 7 einen kleineren Drahtdurchmesser als andere Drähte innerhalb der Baugruppe aufweist oder die Anzahl innerer Drähte reduziert ist, wird der innere Draht 7 leichter als andere Drähte durchschmelzen. Der Schmelzsicherungsabschnitt 10, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, kann auf diese Weise einfach vorgesehen werden, indem der Drahtdurchmesser oder die Anzahl der inneren Drähte 7 eingestellt wird. Außerdem hat der mit dem Schmelzsicherungsabschnitt 10 versehene innere Draht 7 eine größere Höhe als diejenige anderer Drähte innerhalb der Baugruppe. Daher ist eine Dicke a des Versiegelungsharzes 8 oberhalb des Schmelzsicherungsabschnitts 10 gering.
  • Das Versiegelungsharz 8 enthält zum Beispiel ein Epoxidharz und einen anorganischen Füllstoff. Deshalb weist das Versiegelungsharz 8 eine hohe Wärmeleitfähigkeit auf, so dass Wärme von der Seite der Wärmedissipationsstruktur 3 im Einsatz dissipiert bzw. abgeführt werden kann, selbst wenn die obere Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 von dem Deckel 9 bedeckt ist. Die Verstreuung von Materialtropfen kann verhindert werden, selbst wenn das Versiegelungsharz 8 aus solch einem harten Material besteht.
  • Zweite Ausführungsform
  • 2 zeigt eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer zweiten Ausführungsform veranschaulicht. Der Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung ist ein rohrförmiger Abschnitt, der auf der unteren Oberfläche eines flachen Teils des Deckels 9 vorgesehen ist. Das Vergießen des Harzes wird so ausgeführt, dass das Versiegelungsharz 8 das Innere dieses rohrförmigen Abschnitts nicht füllt, so dass eine Lücke 11 einfach sichergestellt werden kann. Auf diese Weise kann der Teil 12 zur Vermeidung einer Verstreuung in einer geringeren Höhe als die obere Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 vorgesehen werden, so dass die Halbleiterbaugruppe sogar kleiner gemacht werden kann. Außerdem berühren der Deckel 9 und das Versiegelungsharz 8 einander in einer größeren Fläche und sind fest miteinander verbunden, wenn das Harz fest wird bzw. erstarrt, so dass eine Verstreuung von Materialtropfen noch effektiver verhindert werden kann.
  • Der Schmelzsicherungsabschnitt 10 ist aus dem Versiegelungsharz 8 freigelegt. Dies ermöglicht, dass der Schmelzsicherungsabschnitt 10 einheitliche Schmelzcharakteristiken aufweist. Die Bruchenergie des Schmelzsicherungsabschnitts 10 kann ebenfalls reduziert werden, so dass eine Verstreuung von Materialtropfen noch effektiver verhindert werden kann.
  • Dritte Ausführungsform
  • 3 ist eine Querschnittsansicht, die eine Halbleiterbaugruppe gemäß einer dritten Ausführungsform veranschaulicht. Die Bondingfläche des externen Anschlusses 6, die mit dem inneren Draht 7 verbunden werden soll, ist höher als die obere Oberfläche des Versiegelungsharzes 8 positioniert und aus dem Versiegelungsharz 8 freigelegt. Somit kann der Schmelzsicherungsabschnitt 10 problemlos aus dem Versiegelungsharz 8 freigelegt werden. Als Folge kann die Bruchenergie des Schmelzsicherungsabschnitts 10 reduziert werden, und eine Verstreuung von Materialtropfen kann noch effektiver verhindert werden.
  • Die Halbleitervorrichtung 4 ist nicht auf eine aus Silizium geschaffene Halbleitervorrichtung beschränkt, sondern kann stattdessen aus einem Halbleiter mit breiter Bandlücke geschaffen sein, der eine Bandlücke aufweist, die breiter als diejenige von Silizium ist. Der Halbleiter mit breiter Bandlücke ist zum Beispiel ein Siliziumcarbid, ein Material auf Galliumnitridbasis oder Diamant. Ein aus solch einem Halbleiter mit breiter Bandlücke geschaffener Halbleiterchip weist eine Hochspannungsfestigkeit und eine hohe zulässige Stromdichte auf und kann somit miniaturisiert werden. Die Verwendung solch eines miniaturisierten Halbleiterchips ermöglicht die Miniaturisierung und hohe Integration der Halbleiterbaugruppe, in der der Halbleiterchip eingebaut ist. Da der Halbleiterchip eine hohe Wärmebeständigkeit aufweist, kann ferner eine Abstrahl- bzw. Kühlrippe eines Kühlkörpers miniaturisiert werden, und ein wassergekühlter Teil kann luftgekühlt werden, was zu einer weiteren Miniaturisierung der Halbleiterbaugruppe führt. Da der Halbleiterchip einen geringen Leistungsverlust und eine hohe Effizienz aufweist, kann ferner eine hocheffiziente Halbleiterbaugruppe erreicht werden.

Claims (9)

  1. Halbleiterbaugruppe, umfassend ein isolierendes Substrat (1) mit einer Schaltungsstruktur (2); eine Halbleitervorrichtung (4), die auf der Schaltungsstruktur (2) vorgesehen ist; ein Gehäuse (5), das die Halbleitervorrichtung (4) auf dem isolierenden Substrat (1) umgibt; einen externen Anschluss (6), der das Innere und Äußere des Gehäuses (5) elektrisch verbindet; einen inneren Draht (7), der die Schaltungsstruktur (2) oder die Halbleitervorrichtung (4) mit einem inneren Endabschnitt des externen Anschlusses (6) elektrisch verbindet; ein Versiegelungsharz (8), das die Halbleitervorrichtung (4) und den inneren Draht (7) innerhalb des Gehäuses (5) versiegelt; und einen Deckel (9), der eine obere Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) bedeckt, wobei der innere Draht (7) einen Schmelzsicherungsabschnitt (10) umfasst, der durchschmilzt, wenn ein übermäßiger Strom fließt, und der Deckel (9) einen Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung enthält, der den Schmelzsicherungsabschnitt (10) bedeckt, während eine Lücke (11) zwischen dem Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung und der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) sichergestellt ist, und in einem Bereich außer dem Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung an der oberen Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) fixiert ist.
  2. Halbleiterbaugruppe nach Anspruch 1, wobei der Schmelzsicherungsabschnitt (10) im Versiegelungsharz (8) eingebettet ist, und eine Dicke des Versiegelungsharzes (8) über dem Schmelzsicherungsabschnitt (10) geringer als ein Vierfaches eines Durchmessers des Schmelzsicherungsabschnitts (10) ist.
  3. Halbleiterbaugruppe nach Anspruch 1, wobei der Schmelzsicherungsabschnitt (10) aus dem Versiegelungsharz (10) freigelegt ist.
  4. Halbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung ein Biegeabschnitt des Deckels (9) ist, der nach oben vorsteht.
  5. Halbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Teil (12) zur Vermeidung einer Verstreuung ein rohrförmiger Abschnitt ist, der auf einer unteren Oberfläche des Deckels (9) vorgesehen ist.
  6. Halbleiterbaugruppe nach Anspruch 3, wobei eine Bondingfläche des externen Anschlusses (6), an die der innere Draht (7) gebondet werden soll, höher positioniert ist als die obere Oberfläche des Versiegelungsharzes (8) und aus dem Versiegelungsharz (8) freigelegt ist.
  7. Halbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der innere Draht (7) ein Bondingdraht ist.
  8. Halbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Versiegelungsharz (8) ein Epoxidharz und einen anorganischen Füllstoff enthält.
  9. Halbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Halbleitervorrichtung (4) aus einem Halbleiter mit breiter Bandlücke geschaffen ist.
DE102019201158.6A 2018-03-27 2019-01-30 Halbleiterbaugruppe Active DE102019201158B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018060114A JP6895126B2 (ja) 2018-03-27 2018-03-27 半導体パッケージ
JP2018-060114 2018-03-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102019201158A1 DE102019201158A1 (de) 2019-10-02
DE102019201158B4 true DE102019201158B4 (de) 2022-01-27

Family

ID=67910315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102019201158.6A Active DE102019201158B4 (de) 2018-03-27 2019-01-30 Halbleiterbaugruppe

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10593605B2 (de)
JP (1) JP6895126B2 (de)
CN (1) CN110310930B (de)
DE (1) DE102019201158B4 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11527456B2 (en) * 2019-10-31 2022-12-13 Ut-Battelle, Llc Power module with organic layers
JP7209615B2 (ja) * 2019-11-13 2023-01-20 三菱電機株式会社 半導体装置
EP4113603A4 (de) * 2020-03-30 2023-07-19 Huawei Technologies Co., Ltd. Eingebettetes substrat, leiterplattenanordnung und elektronische vorrichtung
JP7735655B2 (ja) * 2020-10-15 2025-09-09 富士電機株式会社 半導体装置
JP7784974B2 (ja) * 2022-09-08 2025-12-12 三菱電機株式会社 半導体装置の製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19639279A1 (de) 1996-09-25 1998-04-02 Abb Daimler Benz Transp Schutzschaltung für ein abschaltbares Halbleiterbauelement
US5744860A (en) 1996-02-06 1998-04-28 Asea Brown Boveri Ag Power semiconductor module
JP2000138107A (ja) 1998-11-04 2000-05-16 Mitsubishi Materials Corp 半導体サージ吸収素子

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0233953A (ja) * 1988-07-22 1990-02-05 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
JP3506733B2 (ja) * 1993-07-09 2004-03-15 ローム株式会社 安全ヒューズ付き面実装型電子部品の構造
JP3019679B2 (ja) * 1993-09-08 2000-03-13 富士電機株式会社 半導体装置の内部配線構造
JPH1012806A (ja) * 1996-06-24 1998-01-16 Toshiba Corp 半導体装置
JP3778268B2 (ja) * 2001-03-21 2006-05-24 オムロン株式会社 過電流遮断構造の製造方法
JP4615289B2 (ja) * 2004-11-12 2011-01-19 三菱電機株式会社 半導体装置
JP5113064B2 (ja) * 2005-10-03 2013-01-09 リッテルフューズ,インコーポレイティド 筐体を形成するキャビティをもったヒューズ
JP2008235502A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Mitsubishi Electric Corp 樹脂封止型半導体装置
CN104112730A (zh) * 2013-06-09 2014-10-22 广东美的制冷设备有限公司 智能功率模块及其制造方法
JP6916997B2 (ja) * 2016-03-17 2021-08-11 富士電機株式会社 半導体装置
JP6627698B2 (ja) * 2016-09-13 2020-01-08 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2018060114A (ja) 2016-10-07 2018-04-12 キヤノン株式会社 投影型表示装置
US9865537B1 (en) * 2016-12-30 2018-01-09 Texas Instruments Incorporated Methods and apparatus for integrated circuit failsafe fuse package with arc arrest

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5744860A (en) 1996-02-06 1998-04-28 Asea Brown Boveri Ag Power semiconductor module
DE19639279A1 (de) 1996-09-25 1998-04-02 Abb Daimler Benz Transp Schutzschaltung für ein abschaltbares Halbleiterbauelement
JP2000138107A (ja) 1998-11-04 2000-05-16 Mitsubishi Materials Corp 半導体サージ吸収素子

Also Published As

Publication number Publication date
CN110310930A (zh) 2019-10-08
US20190304859A1 (en) 2019-10-03
CN110310930B (zh) 2023-06-30
JP2019175923A (ja) 2019-10-10
DE102019201158A1 (de) 2019-10-02
US10593605B2 (en) 2020-03-17
JP6895126B2 (ja) 2021-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019201158B4 (de) Halbleiterbaugruppe
DE102009011233B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
DE10048377B4 (de) Halbleiter-Leistungsmodul mit elektrisch isolierender Wärmesenke und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102008025705B4 (de) Leistungshalbleitervorrichtung
DE112017007994B4 (de) Elektrische Leistungswandlungsvorrichtung
DE102011077543B4 (de) Halbleitervorrichtung
DE19926128B4 (de) Leistungs-Halbleiterbauteil-Gehäuse
DE102004043523B4 (de) Halbleitervorrichtung mit Wärmeabstrahlplatte und Anheftteil
DE102017203024B4 (de) Leistungshalbleitermodul
DE10251248A1 (de) Leistungshalbleitervorrichtung
CH663491A5 (en) Electronic circuit module
DE112014005694T5 (de) Halbleitermodul
EP0889526A2 (de) Leistungshalbleitermodul mit geschlossenen Submodulen
DE112012007049B4 (de) Überspannungsschutzvorrichtung
DE1961314A1 (de) Geschuetztes Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102019121459A1 (de) Halbleitermodul
DE102019002210A1 (de) Halbleiterleistungsmodul zu m schutz vor einem kurzschlussereignis
DE112020000206T5 (de) Halbleitermodul-Schaltkreisstruktur
DE112013006402B4 (de) Halbleitervorrichtung
DE69308497T2 (de) Schutzvorrichtung für Telekommunikationsanlagen
DE102018204764A1 (de) Halbleiter- packagesystem
DE10303103B4 (de) Halbleiterbauteil, insbesondere Leistungshalbleiterbauteil
DE102011000374A1 (de) Wasserdichte Struktur für Halbleitergehäuse
DE112022004779T5 (de) Halbleitervorrichtung
DE69713635T2 (de) Unter internem Druck zusammengesetzte Halbleiteranordnung mit einem Chip-Rahmen, der eine längere Kriechstrecke erlaubt

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R084 Declaration of willingness to licence
R020 Patent grant now final
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0023160000

Ipc: H10W0076400000