DE102019006722B3

DE102019006722B3 - Device for positioning the samples to be examined

Info

Publication number: DE102019006722B3
Application number: DE102019006722.3A
Authority: DE
Inventors: Patentinhaber gleich
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2019-09-25
Filing date: 2019-09-25
Publication date: 2020-08-13
Anticipated expiration: 2039-09-26

Abstract

Die vorgeschlagene Erfindung gehört zu den Einrichtungen zur Untersuchung von Materialien in einer Vakuumkammer und kann Anwendung in der elektronischen Mikroskopie finden.Hauptanspruch: Vorrichtung zum Positionieren der zu untersuchenden Proben in dem Elektronenstrahl eines elektronischen Mikroskops, einschließend eine Latte mit einigen Buchsen für Proben, die in eine Richtung mittels eines Mechanismus verschoben und in verschiedenen Positionen fixiert werden kann und die sich in dem Vakuumraum eines elektronischen Mikroskops befindet, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil dieser Latte sich außer dem Vakuumraum befindet und mit dem anderen Teil dieser Latte mittels eines Metallbalgs verbunden ist, wobei der Verschieb- und Fixiermechanismus sich außer dem Metallbalg befindet.The proposed invention belongs to the devices for the examination of materials in a vacuum chamber and can find application in electronic microscopy. Main claim: Device for positioning the samples to be examined in the electron beam of an electronic microscope, including a lath with some sockets for samples which are in a direction can be shifted by means of a mechanism and fixed in different positions and which is located in the vacuum space of an electronic microscope, characterized in that part of this slat is outside the vacuum space and is connected to the other part of this slat by means of a metal bellows, the displacement and fixing mechanism is located outside of the metal bellows.

Description

Die vorgeschlagene Erfindung gehört zu den Einrichtungen zur Untersuchung von Materialien in einer Vakuumkammer und kann Anwendung in der elektronischen Mikroskopie finden.The proposed invention is one of the devices for examining materials in a vacuum chamber and can be used in electronic microscopy.

Es ist eine Vorrichtung zum Positionieren der zu untersuchenden Proben in dem Elektronenstrahl eines elektronischen Mikroskops, einschließend eine Latte mit einigen Buchsen für Proben, die in eine Richtung mittels eines Mechanismus verschoben und in verschiedenen Positionen fixiert werden kann und die sich in dem Vakuumraum eines elektronischen Mikroskops befindet, bekannt (siehe zum Beispiel US 4 797 261 A , EP 3 032 564 A1 ). Das Problem mit bekannten Vorrichtungen besteht darin, dass ein Mechanismus zur Bewegung der Latte in dem Vakuumraum zu platzieren eine Vergrößerung des Vakuumraumes fordert, was unerwünscht und kompliziert ist. Außerdem kann dieser Mechanismus als eine Quelle von Gaspartikeln sein, was unerwünscht ist. Eine Bewegung der Latte durch die Wand des Vakuumraumes kann Luftzufluss in dem Vakuumraum verursachen. Man soll diese Bewegung so organisieren, dass sie bequem wird und kein Zufluss der Luft in dem Vakuumraum verursacht.It is a device for positioning the samples to be examined in the electron beam of an electronic microscope, including a rod with some sockets for samples, which can be moved in one direction by means of a mechanism and fixed in different positions and which is located in the vacuum space of an electronic microscope is known (see for example U.S. 4,797,261 A , EP 3 032 564 A1 ). The problem with known devices is that placing a mechanism for moving the bar in the vacuum space requires an increase in the vacuum space, which is undesirable and complicated. In addition, this mechanism can act as a source of gas particles, which is undesirable. Movement of the bar through the wall of the vacuum space can cause air to flow into the vacuum space. One should organize this movement in such a way that it becomes comfortable and does not cause an influx of air into the vacuum space.

Der Erfinder schlägt eine Lösung dieses Problems vor. Sie ist mittels Merkmale der Ansprüche beschrieben.The inventor proposes a solution to this problem. It is described by means of features of the claims.

Auf der Zeichnung ist die vorgeschlagene Vorrichtung schematisch abgebildet.The proposed device is shown schematically in the drawing.

In einem Vakuumraum 1 befindet sich ein erster Teil 2 der Latte, die einige Büchsen 3, 4, 5 und 6 für zu untersuchenden Proben trägt. Der Teil 2 stützt auf einen Kugelgelenk 7, der mittels einigen Trägern 8 an eine Wand des Vakuumraumes 1 befestigt sind. Für eine stabile Position des Kugelgelenkes 7 braucht man mindestens drei Trägern 8. Der Teil 2 kann durch den Kugelgelenk 7 in axiale Richtung frei bewegen. Ein zweiter Teil 9 der Latte (faktisch eine Verlängerung des Teils 2) geht durch den Boden eines Metallbalges 10, dessen Wände an die Wand des Vakuumraumes 1 befestigt sind.In a vacuum room 1 there is a first part 2 the latte that some cans 3 , 4th , 5 and 6 for samples to be examined. The part 2 based on a ball joint 7th that by means of several vehicles 8th on a wall of the vacuum space 1 are attached. For a stable position of the ball joint 7th you need at least three carriers 8th . The part 2 can through the ball joint 7th Move freely in the axial direction. A second part 9 the lath (in fact an extension of the part 2 ) goes through the bottom of a metal bellows 10 whose walls are against the wall of the vacuum space 1 are attached.

Eine axiale Verschiebung der beiden Teile 2 und 9 der Leiste ist mittels einer Schraube 11, die in einer Schraubenmutter 12 sitzt und einen Handgriff 13 hat, möglich. Eine vertikale Verschiebung den Enden des Teils 9 ist mittels zwei Schrauben 14 und 15 möglich, die auch in ihren Schraubenmuttern sitzen und Handgriffe haben. Eine Verschiebung den Enden des Teils 9 in der Richtung, die der Fläche der Zeichnung perpendikulär ist, ist mittels zwei Schrauben 16 und 17 möglich, die auch in ihren Schraubenmuttern sitzen und Handgriffe haben.An axial displacement of the two parts 2 and 9 the bar is by means of a screw 11 that is in a screw nut 12th sits and a handle 13th has, possible. A vertical shift of the ends of the part 9 is by means of two screws 14th and 15th possible, which also sit in their nuts and have handles. A shift to the ends of the part 9 in the direction perpendicular to the face of the drawing is by means of two screws 16 and 17th possible, which also sit in their nuts and have handles.

Mit Hilfe der Schrauben 11, 14, 15, 16, 17 kann man die Positionen der Büchsen 3, 4, 5, 6 ganz genau hinter dem Elektronenstrahl des elektronischen Mikroskop bestimmen, der Metallbalg 10 verhindert dabei ein Luftzufuhr.With the help of the screws 11 , 14th , 15th , 16 , 17th one can see the positions of the cans 3 , 4th , 5 , 6 Determine exactly behind the electron beam of the electronic microscope, the metal bellows 10 prevents an air supply.

Die vorgeschlagene Erfindung ist leicht zu verwirklichen.The proposed invention is easy to implement.

Claims

Device for positioning the samples to be examined in the electron beam of an electronic microscope, including a lath (2, 9) with some sockets (3, 4, 5, 6) for samples moving in one direction by means of a mechanism (11, 12, 13 ) can be moved and fixed in different positions and which is located in the vacuum space (1) of an electronic microscope, characterized in that a part (9) of this bar is located outside the vacuum space (1) and with another part (2) this lath is connected by means of a metal bellows (10), the displacement and fixing mechanism (11, 12, 13) being located outside the metal bellows.

Device according to Claim 1 , characterized in that the mechanism (11, 12, 13) for moving the slat contains some screws (11, 14, 15, 16, 17) which are located outside the metal bellows, with their ends touching the second part of the slat and can move this part in three mutually perpendicular directions.