DE102017131000A1

DE102017131000A1 - Kollimationsvorrichtung für einen Nanostack

Info

Publication number: DE102017131000A1
Application number: DE102017131000.2A
Authority: DE
Inventors: Thomas Mitra
Original assignee: Limo GmbH
Current assignee: Limo GmbH
Priority date: 2017-12-21
Filing date: 2017-12-21
Publication date: 2019-06-27

Abstract

Kollimationsvorrichtung (1) für einen Nanostack (7), umfassend ein Substrat (2) mit einer Eintrittsfläche (3) und einer Austrittsfläche (4) für von einem Nanostacks (7) ausgehende Laserstrahlung (9), eine kollimierende Linsenfläche (5), wobei die Eintrittsfläche (3) und/oder die Austrittsfläche (4) als kollimierende Linsenfläche (5) ausgebildet sind oder die kollimierende Linsenfläche (5) aufweisen, wobei die Eintrittsfläche (3) und/oder die Austrittfläche (4) mit einer Struktur, insbesondere einer periodischen Struktur, versehen sind, bei der mehrere Linsen (6) nebeneinander angeordnet sind.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kollimationsvorrichtung für einen Nanostack, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine Laservorrichtung mit einer derartigen Kollimationsvorrichtung sowie eine LIDAR-Vorrichtung mit einer derartigen Laservorrichtung.
Als Nanostacks werden Laserdioden bezeichnet, in denen mehrere Emitter in der Fast Axis im Abstand weniger µm angeordnet sind. Eine typische Anwendung der Nanostacks ist das LIDAR. Stand der Technik ist es, Nanostacks mittels einer normaler FAC-Linse oder einer runden Asphäre zu kollimieren. Das Licht jedes einzelnen Emitters im Stack zu kollimieren, ist aktuell technisch nicht machbar, weil dafür Linsen mit weniger als 10 µm Brennweite und Höhe notwendig wären. Der Nachteil des Stands der Technik besteht darin, dass in der Fernfeldverteilung nach der Kollimation der Aufbau der Quelle aus mehreren Emittern sichtbar wird und dazu führt, dass keine glatte Gaussverteilung vorliegt, sondern ein Profil mit mehreren Spitzen 20, 21, 22 (siehe dazu 7), wobei die Anzahl der Spitzen 20, 21, 22 der Anzahl der Emitter im Nanostack entspricht.
Das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problem ist die Schaffung einer Kollimationsvorrichtung der eingangs genannten Art, die die Laserstrahlung eines Nanostacks, insbesondere mittels einer großen FAC-Linse, so kollimieren kann, dass eine Fernfeldverteilung ohne Mehrfachspitzen, insbesondere eine gaußförmige Fernfeldverteilung erzeugt wird. Weiterhin sollen eine Laservorrichtung der eingangs genannten Art sowie eine LIDAR-Vorrichtung der eingangs genannten Art angegeben werden.
Dies wird erfindungsgemäß durch eine Kollimationsvorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch eine Laservorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 12 und durch eine LIDAR-Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 17 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung.
Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Eintrittsfläche und/oder die Austrittfläche mit einer Struktur, insbesondere einer periodischen Struktur, versehen sind, bei der mehrere Linsen nebeneinander angeordnet sind. Dabei kann die Struktur beispielsweise als wellenförmige Struktur oder als Aneinanderreihung von konvexen Linsen oder als Aneinanderreihung von konkaven Linsen oder als Aneinanderreihung von abwechselnd konkaven und konvexen Linsen ausgebildet sein. Die Struktur verschmiert die divergente Laserstrahlung des Nanostacks ein wenig in der Fast-Axis-Richtung beziehungsweise in der Richtung, in der die Emitter nebeneinander angeordnet sind. Diese Art der Homogenisierung in der Fast-Axis-Richtung wirkt sich sehr positiv auf die Fernfeldverteilung aus, so dass insbesondere im Fernfeld eine glatte Gaussverteilung vorliegt.
Es kann vorgesehen sein, dass die Struktur auf der Eintrittsfläche und die kollimierende Linsenfläche auf der Austrittsfläche angeordnet sind oder dass die Struktur auf der Austrittsfläche und die kollimierende Linsenfläche auf der Eintrittsfläche angeordnet sind. Alternativ kann auch vorgesehen sein, dass die Struktur und die kollimierende Linsenfläche auf der Eintrittsfläche angeordnet sind oder dass die Struktur und die kollimierende Linsenfläche auf der Austrittsfläche angeordnet sind.
Es besteht die Möglichkeit, dass der Mittenabstand der Linsen der Struktur zwischen 0,1 mm und 10,0 mm, insbesondere zwischen 0,4 mm und 2,5 mm, vorzugsweise zwischen 0,8 mm und 1,2 mm, beispielsweise etwa 1,0 mm groß ist.
Es kann vorgesehen sein, dass die Brennweite der Linsen der Struktur zwischen 200 mm und 15.000 mm, insbesondere zwischen 800 mm und 4.000 mm, vorzugsweise zwischen 1.200 mm und 2.500 mm, beispielsweise zwischen 1.600 mm und 1.800 mm groß ist.
Es besteht die Möglichkeit, dass das Verhältnis von Mittenabstand zu Brennweite der Linsen zwischen 0,05 mrad und 2,5 mrad, insbesondere zwischen 0,2 mrad und 1,5 mrad, vorzugsweise zwischen 0,5 mrad und 0,7 mrad, beispielsweise 0,58 mrad groß ist.
Es kann vorgesehen sein, dass die Tiefe der Struktur zwischen 10 nm und 1000 nm, insbesondere zwischen 40 nm und 300 nm, vorzugsweise zwischen 70 nm und 140 nm, beispielsweise etwa 90 nm groß ist.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Höhe der Eintrittsfläche und/oder der Austrittsfläche, insbesondere in der Richtung, in der Emitter des Nanostacks nebeneinander angeordnet sind, zwischen 3 mm und 300 mm, insbesondere zwischen 10 mm und 120 mm, vorzugsweise zwischen 20 mm und 60 mm, beispielsweise etwa 30 mm groß ist.
Es kann vorgesehen sein, dass die Brennweite der kollimierenden Linsenfläche zwischen 0,1 mm und 100 mm, insbesondere zwischen 1,0 mm und 60 mm, vorzugsweise zwischen 10 mm und 40 mm, beispielsweise etwa 30 mm groß ist.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Brennweite der Linsen der Struktur größer als die Brennweite der kollimierenden Linsenfläche ist, insbesondere mehr als doppelt so groß, vorzugsweise mehr als zehnmal so groß, beispielsweise mehr als fünfzigmal so groß ist. Dadurch ist der Einfluss der Linsen auf die Kollimierung der Laserstrahlung vergleichsweise klein, so dass lediglich eine leichte Verschmierung erreicht wird, die zu einer Vermeidung von Spitzen führt.
Gemäß Anspruch 12 ist vorgesehen, dass die Kollimationsvorrichtung eine erfindungsgemäße Kollimationsvorrichtung ist.
Es kann vorgesehen sein, dass die Höhe der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks in der Richtung, in der die Emitter des Nanostacks nebeneinander angeordnet sind, zwischen 2 µm und 100 µm, insbesondere zwischen 5 µm und 50 µm, vorzugsweise zwischen 8 µm und 25 µm, beispielsweise etwa 10 µm groß ist.
Es besteht die Möglichkeit, dass das Verhältnis von Höhe der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks zu Brennweite der kollimierenden Linsenfläche zwischen 0,04 mrad und 1,50 mrad, insbesondere zwischen 0,10 mrad und 0,70 mrad, vorzugsweise zwischen 0,25 mrad und 0,50 mrad, beispielsweise 0,33 mrad groß ist.
Es kann vorgesehen sein, dass das Verhältnis von Mittenabstand zu Brennweite der Linsen der Struktur der Kollimationsvorrichtung größer als das Verhältnis von Höhe der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks zu Brennweite der kollimierenden Linsenfläche ist, insbesondere ist dabei das Verhältnis von Mittenabstand zu Brennweite der Linsen der Struktur der Kollimationsvorrichtung kleiner als das Zehnfache des Verhältnisses von Höhe der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks zu Brennweite der kollimierenden Linsenfläche, vorzugsweise ist das Verhältnis von Mittenabstand zu Brennweite der Linsen der Struktur der Kollimationsvorrichtung etwa doppelt so groß wie das Verhältnis von Höhe der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks zu Brennweite der kollimierenden Linsenfläche.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Brennweite der kollimierenden Linsenfläche größer als der Abstand der Emitter des Nanostacks ist, insbesondere mehr als zehnmal so groß, vorzugsweise mehr als hundertmal so groß, beispielsweise mehr als tausendmal so groß. Auf diese Weise wird erreicht, dass die von den einzelnen Emittern ausgehenden Laserstrahlungen bereits weitestgehend überlappt sind, wenn sie auf die Kollimationsvorrichtung auftreffen.
Gemäß Anspruch 17 ist vorgesehen, dass die Laservorrichtung eine erfindungsgemäße Laservorrichtung ist.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen:

1 eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Laservorrichtung;
2 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kollimationsvorrichtung;
3 eine schematische Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kollimationsvorrichtung,
4 eine schematische Seitenansicht einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kollimationsvorrichtung,
5 eine schematische Seitenansicht einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kollimationsvorrichtung,
6 eine schematische Seitenansicht einer fünften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kollimationsvorrichtung,
7 eine schematisch dargestellte Fernfeldverteilung der Laserstrahlung einer Laservorrichtung gemäß dem Stand der Technik;
8 eine schematisch dargestellte Fernfeldverteilung der Laserstrahlung einer erfindungsgemäßen Laservorrichtung;
9 eine schematische Ansicht einer erfindungsgemäßen LIDAR-Vorrichtung.

In den Figuren sind gleiche und funktional gleiche Teile und Lichtstrahlen mit gleichen Bezugszeichen versehen.
Die in den Figuren ersichtlichen Kollimationsvorrichtungen sind schematisch dargestellt. Insbesondere sind die Linsen der Strukturen in der Regel so flach, dass sie bei maßstabsgetreuer Darstellung nicht sichtbar wären. Die Linsen der Strukturen sind somit zu Darstellungszwecken deutlich vergrößert dargestellt.
Die in 1 und 2 abgebildete Kollimationsvorrichtung 1 besteht aus einem Substrat 2 mit einer Eintrittsfläche 3 und einer Austrittsfläche 4. Auf der Austrittsfläche 4 ist eine kollimierende Linsenfläche 5 ausgebildet, die einer üblichen Fast-Axis-Kollimationslinse entsprechen kann. Die kollimierende Linsenfläche 5 kann als Zylinderlinse ausgebildet sein, wobei sich die Zylinderachse der kollimierenden Linsenfläche 5 in die Zeichenebenen der 1 und 2 hineinerstreckt.
Die Brennweite F der kollimierenden Linsenfläche 5 kann in einem konkreten Ausführungsbeispiel 30 mm groß sein (siehe dazu 1).
Auf der Eintrittsfläche 3 des Substrats 2 ist eine Struktur mit einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten konvexen Linsen 6 vorgesehen. Auch die Linsen 6 können als Zylinderlinsen ausgebildet sein, wobei sich deren Zylinderachsen in die Zeichenebenen der 1 und 2 hineinerstrecken.
In 2 sind sieben Linsen 6 abgebildet. Es besteht durchaus die Möglichkeit, mehr oder weniger Linsen 6 vorzusehen. Beispielsweise können es deutlich mehr sein, insbesondere etwa 30 Linsen.
Die Brennweite der Linsen 6 ist deutlich größer als die Brennweite F der kollimierenden Linsenfläche 5, insbesondere mehr als doppelt so groß, vorzugsweise mehr als zehnmal so groß, beispielsweise mehr als fünfzigmal so groß. Insbesondere kann die Brennweite der Linsen 6 in einem konkreten Ausführungsbeispiel 1,713 m groß sein. In diesem Ausführungsbeispiel beträgt der Radius der Linsen 6 jeweils 1,4 m.
Weiterhin weisen die Linsen 6 einen Mittenabstand P und eine Tiefe T auf, die in 2 verdeutlicht sind. Der Mittenabstand P der Linsen 6 kann in einem konkreten Ausführungsbeispiel 1 mm groß sein. Die Tiefe T der Linsen 6 kann in einem konkreten Ausführungsbeispiel 90 nm groß sein. Es ist somit verständlich, dass die Linsen 6 bei maßstabsgetreuer Darstellung in den Abbildungen nicht sichtbar wären.
Weiterhin ist die Höhe H der Eintrittsfläche 3 beziehungsweise der Austrittsfläche 4 ebenfalls in 2 angedeutet. Die Höhe H kann in einem konkreten Ausführungsbeispiel 30 mm groß sein. Das bedeutet, dass in dem konkreten Ausführungsbeispiel bei einem Mittenabstand P von 1 mm 30 Linsen 6 auf der Eintrittsfläche 3 nebeneinander angeordnet sind.
Die Laservorrichtung 10 gemäß 1 umfasst vor der Kollimationsvorrichtung 1 einen Nanostack 7, der in dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 drei übereinander angeordnete Emitter 8 aufweist. Es besteht durchaus die Möglichkeit, mehr oder weniger Emitter 8 vorzusehen. Die von den Emittern 8 ausgehende Laserstrahlung 9 überlappt vor dem Auftreffen auf die Kollimationsvorrichtung 1 weitgehend. Die Austrittsflächen der Emitter 8 sind in der Brennebene der kollimierenden Linsenfläche 5 angeordnet (siehe 1).
In 1 ist die Höhe h der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks 7 in der Richtung verdeutlicht, in der die Emitter 8 des Nanostacks 7 nebeneinander angeordnet sind. Die Höhe h kann in einem konkreten Ausführungsbeispiel 10 µm groß sein. Dabei kann der Abstand zwischen den einzelnen Emittern etwa 4 µm groß sein.
Die Richtung, in der die Höhe h eingezeichnet ist und die der Richtung entspricht, in der die Emitter 8 nebeneinander angeordnet sind, entspricht insbesondere der Fast-Axis-Richtung der Emitter 8.
8 zeigt, dass in der Fernfeldverteilung 11 der von der Laservorrichtung gemäß 1 ausgehenden Laserstrahlung 9 im Gegensatz zum Stand der Technik lediglich ein Maximum 12 auftritt.
Die Ausführungsform gemäß 3 entspricht im Wesentlichen derjenigen gemäß 2. Bei der Ausführungsform gemäß 4 sind nicht nur konvexe Linsen 6 vorgesehen, sondern abwechselnd konvexe Linsen 6 und konkave Linsen 6'.
Bei der Ausführungsform gemäß 5 ist die durch die konvexe Linsen 6 gebildete Struktur zusammen mit der kollimierenden Linsenfläche 5 auf der Austrittsfläche 4 angeordnet. Es besteht durchaus auch die Möglichkeit, dass die durch die konvexe Linsen 6 gebildete Struktur zusammen mit der kollimierenden Linsenfläche 5 auf der Eintrittsfläche 3 angeordnet ist.
Bei der Ausführungsform gemäß 6 ist die durch die abwechselnd konvexen und konkaven Linsen 6, 6' gebildete Struktur zusammen mit der kollimierenden Linsenfläche 5 auf der Austrittsfläche 4 angeordnet. Es besteht durchaus auch die Möglichkeit, dass die durch die abwechselnd konvexen und konkaven Linsen 6, 6' gebildete Struktur zusammen mit der kollimierenden Linsenfläche 5 auf der Eintrittsfläche 3 angeordnet ist.
9 zeigt eine LIDAR-Vorrichtung, die eine erfindungsgemäße Laservorrichtung 10 umfasst. Die LIDAR-Vorrichtung umfasst weiterhin einen als Scannmittel 13 dienenden rotieren Spiegel. Weiterhin sind nicht abgebildete Empfängermittel für von einem zu detektierenden Objekt zurückgestreute Laserstrahlung 9 vorgesehen.

Claims

Kollimationsvorrichtung (1) für einen Nanostack (7), umfassend - ein Substrat (2) mit einer Eintrittsfläche (3) und einer Austrittsfläche (4) für von einem Nanostack (7) ausgehende Laserstrahlung (9), - eine kollimierende Linsenfläche (5), wobei die Eintrittsfläche (3) und/oder die Austrittsfläche (4) als kollimierende Linsenfläche (5) ausgebildet sind oder die kollimierende Linsenfläche (5) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die Eintrittsfläche (3) und/oder die Austrittfläche (4) mit einer Struktur, insbesondere einer periodischen Struktur, versehen sind, bei der mehrere Linsen (6, 6') nebeneinander angeordnet sind.
Kollimationsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur als wellenförmige Struktur oder als Aneinanderreihung von konvexen Linsen (6) oder als Aneinanderreihung von konkaven Linsen (6') oder als Aneinanderreihung von abwechselnd konkaven und konvexen Linsen (6, 6') ausgebildet ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur auf der Eintrittsfläche (3) und die kollimierende Linsenfläche (5) auf der Austrittsfläche (4) angeordnet sind oder dass die Struktur auf der Austrittsfläche (4) und die kollimierende Linsenfläche (5) auf der Eintrittsfläche (3) angeordnet sind.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur und die kollimierende Linsenfläche (5) auf der Eintrittsfläche (3) angeordnet sind oder dass die Struktur und die kollimierende Linsenfläche (5) auf der Austrittsfläche (4) angeordnet sind.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Mittenabstand (P) der Linsen (6, 6') der Struktur zwischen 0,1 mm und 10,0 mm, insbesondere zwischen 0,4 mm und 2,5 mm, vorzugsweise zwischen 0,8 mm und 1,2 mm, beispielsweise etwa 1,0 mm groß ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennweite der Linsen (6, 6') der Struktur zwischen 200 mm und 15.000 mm, insbesondere zwischen 800 mm und 4.000 mm, vorzugsweise zwischen 1.200 mm und 2.500 mm, beispielsweise zwischen 1.600 mm und 1.800 mm groß ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Mittenabstand (P) zu Brennweite der Linsen (6, 6') zwischen 0,05 mrad und 2,5 mrad, insbesondere zwischen 0,2 mrad und 1,5 mrad, vorzugsweise zwischen 0,5 mrad und 0,7 mrad, beispielsweise 0,58 mrad groß ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe (T) der Struktur zwischen 10 nm und 1000 nm, insbesondere zwischen 40 nm und 300 nm, vorzugsweise zwischen 70 nm und 140 nm, beispielsweise etwa 90 nm groß ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe (H) der Eintrittsfläche (3) und/oder der Austrittsfläche (4), insbesondere in der Richtung, in der Emitter (8) des Nanostack (7) nebeneinander angeordnet sind, zwischen 3 mm und 300 mm, insbesondere zwischen 10 mm und 120 mm, vorzugsweise zwischen 20 mm und 60 mm, beispielsweise etwa 30 mm groß ist.
Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5) zwischen 0,1 mm und 100 mm, insbesondere zwischen 1,0 mm und 60 mm, vorzugsweise zwischen 10 mm und 40 mm, beispielsweise etwa 30 mm groß ist.
Kollimationsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennweite der Linsen (6, 6') der Struktur größer als die Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5) ist, insbesondere mehr als doppelt so groß, vorzugsweise mehr als zehnmal so groß, beispielsweise mehr als fünfzigmal so groß ist.
Laservorrichtung (10), umfassend - einen Nanostack (7) mit Emittern (8), die in einer Richtung beabstandet zueinander nebeneinander angeordnet sind, - eine Kollimationsvorrichtung (1), die die von den Laserdioden (8) ausgehende Laserstrahlung (9) kollimieren kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimationsvorrichtung (1) eine Kollimationsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11 ist.
Laservorrichtung (10) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe (h) der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks (7) in der Richtung, in der die Emitter (8) des Nanostacks (7) nebeneinander angeordnet sind, zwischen 2 µm und 100 µm, insbesondere zwischen 5 µm und 50 µm, vorzugsweise zwischen 8 µm und 25 µm, beispielsweise etwa 10 µm groß ist.
Laservorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Höhe (h) der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks (7) zu Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5) zwischen 0,04 mrad und 1,50 mrad, insbesondere zwischen 0,10 mrad und 0,70 mrad, vorzugsweise zwischen 0,25 mrad und 0,50 mrad, beispielsweise 0,33 mrad groß ist.
Laservorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Mittenabstand (P) zu Brennweite der Linsen (6, 6') der Struktur der Kollimationsvorrichtung (1) größer als das Verhältnis von Höhe (h) der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks (7) zu Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5) ist, insbesondere ist dabei das Verhältnis von Mittenabstand (P) zu Brennweite der Linsen (6, 6') der Struktur der Kollimationsvorrichtung (1) kleiner als das Zehnfache des Verhältnisses von Höhe (h) der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks (7) zu Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5), vorzugsweise ist das Verhältnis von Mittenabstand (P) zu Brennweite der Linsen (6, 6') der Struktur der Kollimationsvorrichtung (1) etwa doppelt so groß wie das Verhältnis von Höhe (h) der Lichtaustrittsfläche des Nanostacks (7) zu Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5).
Laservorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennweite (F) der kollimierenden Linsenfläche (5) größer als der Abstand der Emitter (8) des Nanostacks (7) ist, insbesondere mehr als zehnmal so groß, vorzugsweise mehr als hundertmal so groß, beispielsweise mehr als tausendmal so groß.
LIDAR-Vorrichtung, umfassend - eine Laservorrichtung (10), - Scannmittel (13) für die von der Laservorrichtung (10) ausgehende Laserstrahlung (9), - Empfängermittel für von einem zu detektierenden Objekt zurückgestreute Laserstrahlung (9), dadurch gekennzeichnet, dass die Laservorrichtung (10) eine Laservorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 12 bis 16 ist.